JP2003514403A - 仮想レーザー・オペレータ - Google Patents
仮想レーザー・オペレータInfo
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- H04B10/50—Transmitters
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70025—Production of exposure light, i.e. light sources by lasers
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- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
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Abstract
(57)【要約】
電子放電レーザーと相互接続されたレーザー・コントローラ（１１８）は、従来のキーボードを模倣するようにプログラム可能である表示画面を含む、遠隔コンピュータと通信する。前記表示画面は、複数の画像化された仮想キーを有し、各々は、従来のキーボードの物理的キーを模倣するようにプログラム可能である。いくつかの仮想キーは、規定されたシーケンスのキーストロークを模倣するようにプログラム可能であり、それはレーザー操作を制御し、監視し、および記録する。規定されたシーケンスは、オペレータのプロンプトによって、任意で自動化し、条件的にし、または介入されることができる。前記遠隔コンピュータは、電気伝導ケーブル、光ファイバ・リンク、またはワイヤレス・チャネルを通して、レーザー・コントローラと直列に通信する。キーストロークは、通常、タッチ・センシティブ・スクリーン上の対応する仮想キーの位置を、手動で押すことによって、または代替的に、従来の位置決め装置を起動させることによって入力される。電子放電レーザーは、ＫｒＦあるいはＡｒＦエキシマ・レーザー、またはＦ2分子レーザーでもよく、それはマイクロリトグラフィのための放射線照射源として適用することができる。
Description
【０００１】
（技術分野）
本発明は、レーザーのための、特に産業上の応用において使用される電子放電
レーザーのための、制御システムおよびオペレータ・インターフェースに関する
。
レーザーのための、制御システムおよびオペレータ・インターフェースに関する
。
【０００２】
（背景技術）
マイクロリトグラフィのためのＫｒＦまたはＡｒＦ電子放電レーザー等、産業
上の応用のためのレーザー（１９９０年９月２５日、Ａｋｉｎｓらに発行された
、アメリカ合衆国特許第４，９５９，８４０号を参照）は、通常、レーザーにあ
る、レーザー・コントローラを含む。レーザー・コントローラへの入力および出
力インターフェースは、通常、二つの方法、すなわち：（１）オペレータが起動
させるハンド・ヘルド・ターミナル（hand held terminal）を通して、および／
または（２）マスター・コントローラとして動作するワークステーション・コン
トローラであって、そのスレーブ（slave）として動作するレジデント・レーザ
ー・コントローラを伴う前記ワークステーション・コントローラを通して、供給
される。ワークステーション・コントローラは、第一に、加工品の位置決めなら
びに方向、および特定の産業応用に関連する他の処理機能等、ワークステーショ
ン・サブシステムを制御し、および同期させる。レーザー・コントローラとワー
クステーション・コントローラとの間のインターフェース仕様は、アプリケーシ
ョンによって大きく変わるかもしれない。例えば、マイクロリトグラフィにおい
ては、サブシステムは、レーザー、照射システム、プロジェクション・システム
およびスキャナ（scanner）を含む。
上の応用のためのレーザー（１９９０年９月２５日、Ａｋｉｎｓらに発行された
、アメリカ合衆国特許第４，９５９，８４０号を参照）は、通常、レーザーにあ
る、レーザー・コントローラを含む。レーザー・コントローラへの入力および出
力インターフェースは、通常、二つの方法、すなわち：（１）オペレータが起動
させるハンド・ヘルド・ターミナル（hand held terminal）を通して、および／
または（２）マスター・コントローラとして動作するワークステーション・コン
トローラであって、そのスレーブ（slave）として動作するレジデント・レーザ
ー・コントローラを伴う前記ワークステーション・コントローラを通して、供給
される。ワークステーション・コントローラは、第一に、加工品の位置決めなら
びに方向、および特定の産業応用に関連する他の処理機能等、ワークステーショ
ン・サブシステムを制御し、および同期させる。レーザー・コントローラとワー
クステーション・コントローラとの間のインターフェース仕様は、アプリケーシ
ョンによって大きく変わるかもしれない。例えば、マイクロリトグラフィにおい
ては、サブシステムは、レーザー、照射システム、プロジェクション・システム
およびスキャナ（scanner）を含む。
【０００３】
ハンド・ヘルド・ターミナルの第一の機能は、レーザーを、ワークステーショ
ンおよびアプリケーションから独立して操作することである。ハンド・ヘルド・
ターミナルは、通常、人間のオペレータによる、レーザーの完全な操作を可能に
し、およびレーザーとオペレータとの間の第一の通信手段として動作する。例え
ば、すべてのレーザー状態（例えば、操作状態、操作エラー等）は、レジデント
・レーザー・コントローラからオペレータへと、通常は表示装置によって、ハン
ド・ヘルド・ターミナルを通して通信される。同様に、オペレータは、ハンド・
ヘルド・ターミナルにおける規定されたキーを押すことによって、例えば操作状
態を変える等、レーザーの様々な機能を制御することができる。キーストローク
は、ハンド・ヘルド・ターミナルによって解釈され、適切な電気的命令に変換さ
れ、および直列に、レジデント・レーザー・コントローラに通信される。
ンおよびアプリケーションから独立して操作することである。ハンド・ヘルド・
ターミナルは、通常、人間のオペレータによる、レーザーの完全な操作を可能に
し、およびレーザーとオペレータとの間の第一の通信手段として動作する。例え
ば、すべてのレーザー状態（例えば、操作状態、操作エラー等）は、レジデント
・レーザー・コントローラからオペレータへと、通常は表示装置によって、ハン
ド・ヘルド・ターミナルを通して通信される。同様に、オペレータは、ハンド・
ヘルド・ターミナルにおける規定されたキーを押すことによって、例えば操作状
態を変える等、レーザーの様々な機能を制御することができる。キーストローク
は、ハンド・ヘルド・ターミナルによって解釈され、適切な電気的命令に変換さ
れ、および直列に、レジデント・レーザー・コントローラに通信される。
【０００４】
オペレータによるレーザーの制御は、様々なキーストロークを配列する機能に
よって、大いに向上する。例えば、オペレータは、順番に、レーザーの操作状態
を変更し、ガス補充を実行し、再度レーザーの操作状態を変更し、そして規定さ
れたシーケンスのキーストロークによって、レーザーを動作させることができる
。逆に、レーザー・コントローラは、オペレータに、ハンド・ヘルド・ターミナ
ルで関連情報を表示することによって、レーザーの状態を知らせ続ける。
よって、大いに向上する。例えば、オペレータは、順番に、レーザーの操作状態
を変更し、ガス補充を実行し、再度レーザーの操作状態を変更し、そして規定さ
れたシーケンスのキーストロークによって、レーザーを動作させることができる
。逆に、レーザー・コントローラは、オペレータに、ハンド・ヘルド・ターミナ
ルで関連情報を表示することによって、レーザーの状態を知らせ続ける。
【０００５】
しばしば、レーザー・オペレータは、レーザーで、反復操作を実行することを
要求される。例えば、新しいレーザー・チャンバ（laser chamber）がインスト
ールされると、オペレータは、一連のガス補充を実行し、その各々の後に、異な
る規定の状態でのレーザーの操作が続く。オペレータは、通常、レーザーが一定
のパフォーマンス基準に達するまで、これらの操作を繰り返す。同様に、オペレ
ータは、通常、週に一回の診断チェックを実行し、レーザを、規定のガス組成で
充満させ、異なる規定の状態でレーザーを操作し、および規定のレーザー操作パ
ラメータの大きさをチェックする。通常、これらの大きさは、手動で、オペレー
タによってログ・シートに記録される。ある場合には、多くの動作が配列される
と、オペレータは、ある動作を省略するか、または一連の中の一つの動作を実行
するかもしれず、それによって誤った結果を得る。同様に、オペレータは、不注
意で、手動ログ・シートに誤ってデータを記録するかもしれない。いずれの場合
も、データの一貫性および正確性は疑わしく、その結果は、レーザーおよび／ま
たはアプリケーションのパフォーマンスに関して、不利な結果を有しうる。
要求される。例えば、新しいレーザー・チャンバ（laser chamber）がインスト
ールされると、オペレータは、一連のガス補充を実行し、その各々の後に、異な
る規定の状態でのレーザーの操作が続く。オペレータは、通常、レーザーが一定
のパフォーマンス基準に達するまで、これらの操作を繰り返す。同様に、オペレ
ータは、通常、週に一回の診断チェックを実行し、レーザを、規定のガス組成で
充満させ、異なる規定の状態でレーザーを操作し、および規定のレーザー操作パ
ラメータの大きさをチェックする。通常、これらの大きさは、手動で、オペレー
タによってログ・シートに記録される。ある場合には、多くの動作が配列される
と、オペレータは、ある動作を省略するか、または一連の中の一つの動作を実行
するかもしれず、それによって誤った結果を得る。同様に、オペレータは、不注
意で、手動ログ・シートに誤ってデータを記録するかもしれない。いずれの場合
も、データの一貫性および正確性は疑わしく、その結果は、レーザーおよび／ま
たはアプリケーションのパフォーマンスに関して、不利な結果を有しうる。
【０００６】
それゆえに、オペレータの反復するタスクを最小限にし、オペレータのエラー
の可能性を減らし、およびレーザー操作状態データの記録の信頼性を向上させる
方法および装置を供給することが、業界において望まれる。
の可能性を減らし、およびレーザー操作状態データの記録の信頼性を向上させる
方法および装置を供給することが、業界において望まれる。
【０００７】
（発明の開示）
電子放電レーザーと相互接続されたレーザー・コントローラは、従来の入力装
置（例えば、標準コンピュータ・キーボード、キーパッド、タッチパッド）を模
倣するようにプログラム可能な表示画面を含む、遠隔コンピュータと通信する。
表示画面は、複数の画像化された仮想キーを有し、その各々は、従来の入力装置
の物理的キーを模倣するようにプログラム可能であり、前記仮想キーの少なくと
も一つは、予め定義されたシーケンスのキーストロークを模倣するように、プロ
グラム上構成される。前記遠隔コンピュータは、電気的伝導ケーブルで、または
代替的に、光ファイバ・リンクを通して、あるいはワイヤレス通信チャネルを介
して、レーザー・コントローラに相互接続される。前記仮想キーは、ファンクシ
ョン・キーおよび／または“ＬＡＳＥＲ ＯＦＦ”キーを含むことができる。
置（例えば、標準コンピュータ・キーボード、キーパッド、タッチパッド）を模
倣するようにプログラム可能な表示画面を含む、遠隔コンピュータと通信する。
表示画面は、複数の画像化された仮想キーを有し、その各々は、従来の入力装置
の物理的キーを模倣するようにプログラム可能であり、前記仮想キーの少なくと
も一つは、予め定義されたシーケンスのキーストロークを模倣するように、プロ
グラム上構成される。前記遠隔コンピュータは、電気的伝導ケーブルで、または
代替的に、光ファイバ・リンクを通して、あるいはワイヤレス通信チャネルを介
して、レーザー・コントローラに相互接続される。前記仮想キーは、ファンクシ
ョン・キーおよび／または“ＬＡＳＥＲ ＯＦＦ”キーを含むことができる。
【０００８】
キーストロークは、手動で、タッチ・センシティブ・スクリーン上の対応する
仮想キーの部分を押すことによって、または代替的には、位置決め装置を起動さ
せることによって、実行される。本発明のある実施例においては、規定されたシ
ーケンスは自動化される一方で、ある実施例においては、シーケンスは、計測さ
れた値、またはプロンプト（prompt）に対するオペレータの応答によって決定さ
れる。好ましい実施例においては、キーストロークは、電子放電レーザーにおい
て動作を起こすように、キーストロークに応答して信号を直列に送り遠隔コンピ
ュータにおいて実行される。動作は、レーザー・パラメータの計測、記録、およ
び／または変更、またはこれらの機能のいずれか、あるいはすべてを含むシーケ
ンスを含むことができる。規定されたシーケンスは、通常は、所望のシーケンス
の操作を、予め選択されたキーストロークとリンクさせる、プログラムで作成さ
れたスクリプトに従って定義される。
仮想キーの部分を押すことによって、または代替的には、位置決め装置を起動さ
せることによって、実行される。本発明のある実施例においては、規定されたシ
ーケンスは自動化される一方で、ある実施例においては、シーケンスは、計測さ
れた値、またはプロンプト（prompt）に対するオペレータの応答によって決定さ
れる。好ましい実施例においては、キーストロークは、電子放電レーザーにおい
て動作を起こすように、キーストロークに応答して信号を直列に送り遠隔コンピ
ュータにおいて実行される。動作は、レーザー・パラメータの計測、記録、およ
び／または変更、またはこれらの機能のいずれか、あるいはすべてを含むシーケ
ンスを含むことができる。規定されたシーケンスは、通常は、所望のシーケンス
の操作を、予め選択されたキーストロークとリンクさせる、プログラムで作成さ
れたスクリプトに従って定義される。
【０００９】
電子放電レーザーは、ＫｒＦあるいはＡｒＦエキシマ・レーザー、またはＦ2
分子レーザーでもよく、マイクロリトグラフィのための放射線照射源を供給する
ことができる。
分子レーザーでもよく、マイクロリトグラフィのための放射線照射源を供給する
ことができる。
【００１０】
本発明は、添付の図面を参照して、後述された詳細な説明を検討することによ
って、より理解されるであろう。
って、より理解されるであろう。
【００１１】
本発明は、添付の図面を参照することによって、よりよく理解され、およびそ
の数多くの目的、特徴、および効果は、当業者に明らかになるかもしれない。理
解を簡潔に、および容易にするために、異なる図面において同様の参照記号を使
用することによって、同様の、または同一の項目を示す。
の数多くの目的、特徴、および効果は、当業者に明らかになるかもしれない。理
解を簡潔に、および容易にするために、異なる図面において同様の参照記号を使
用することによって、同様の、または同一の項目を示す。
【００１２】
（発明を実施するための最良の形態）
以下の内容は、本発明の例示的実施例の詳細な説明である。本発明のこれらの
実施例が、後述の図面を参照して説明されると、説明された方法および／または
特定の構造の様々な変更あるいは適応が明らかになるかもしれない。これらの説
明および図面は、本発明が、説明された実施例にまったく限定されないことが理
解されるとおり、制限的な意味で考えられるべきではない。
実施例が、後述の図面を参照して説明されると、説明された方法および／または
特定の構造の様々な変更あるいは適応が明らかになるかもしれない。これらの説
明および図面は、本発明が、説明された実施例にまったく限定されないことが理
解されるとおり、制限的な意味で考えられるべきではない。
【００１３】
本発明は、レーザー、特に産業上の応用において使用される電子放電レーザー
のための制御システムおよびオペレータ・インターフェースに関する。本発明の
実施例は、例えば、マイクロリトグラフィのための、ＡｒＦならびにＫｒＦエキ
シマ・レーザーおよびＦ2分子レーザーとともに、使用することができる。本発
明は、レーザー・オペレータの反復するタスクを最小限にする方法および装置を
供給する。多くの順次のタスクは、単一のキーストロークによって起動される単
一のタスクへの、自動的に結合されることができる。新しい自動単一キーストロ
ーク・タスクは、予め定義されたサブタスクのシーケンスから構築することによ
って定義されることができ、各々は、事前に個別のキーストロークを必要とする
。データ獲得は自動化される。関連データは自動的に、選択されたタスクの実行
中、電子的に記録される。電子データ記録は、レーザー状態が、予め定義された
状態に到達すると、自動的に起動する。例えば、レーザー・コントローラがエラ
ーを検出すると、データ記録は、自動的に、前記エラーが検出された時の選択さ
れたレーザー・パラメータの大きさを記録することができる。本発明のこれらの
特徴は、データの一貫性を向上させ、および人的エラーを減少させる。本発明の
他の特徴は、レーザー状態監視データの便利な表示のための、拡張された図形表
示機能を供給する。さらに、データを電子的に記録することで、将来的な解析を
容易にする。
のための制御システムおよびオペレータ・インターフェースに関する。本発明の
実施例は、例えば、マイクロリトグラフィのための、ＡｒＦならびにＫｒＦエキ
シマ・レーザーおよびＦ2分子レーザーとともに、使用することができる。本発
明は、レーザー・オペレータの反復するタスクを最小限にする方法および装置を
供給する。多くの順次のタスクは、単一のキーストロークによって起動される単
一のタスクへの、自動的に結合されることができる。新しい自動単一キーストロ
ーク・タスクは、予め定義されたサブタスクのシーケンスから構築することによ
って定義されることができ、各々は、事前に個別のキーストロークを必要とする
。データ獲得は自動化される。関連データは自動的に、選択されたタスクの実行
中、電子的に記録される。電子データ記録は、レーザー状態が、予め定義された
状態に到達すると、自動的に起動する。例えば、レーザー・コントローラがエラ
ーを検出すると、データ記録は、自動的に、前記エラーが検出された時の選択さ
れたレーザー・パラメータの大きさを記録することができる。本発明のこれらの
特徴は、データの一貫性を向上させ、および人的エラーを減少させる。本発明の
他の特徴は、レーザー状態監視データの便利な表示のための、拡張された図形表
示機能を供給する。さらに、データを電子的に記録することで、将来的な解析を
容易にする。
【００１４】
本発明のいくつかの実施例においては、従来の入力装置、例えば、従来のハン
ド・ヘルド・ターミナルは、当業界においてなじみのある、コンパクト・ラップ
トップ・コンピュータ（compact laptop computer）に典型的な、完全機能を供
給するようにアップグレードされる。レーザー・コントローラから離れたラップ
トップまたは同様のコンピュータのディスプレイの小区分は、従来のハンド・ヘ
ルド・ターミナルを模倣することができる。さらに、この模倣は、従来のハンド
・ヘルド・ターミナルを用いて、複数の個別のキーストロークを事前に必要とす
る、複数の配列されたタスクの自動多重タスク管理を供給する、遠隔ラップトッ
プまたは同様のコンピュータに存在する、機能的に拡張されたソフトウェア・プ
ログラムを供給するために、継ぎ目なく転換することができる。コンピュータ技
術および経済によって許されるとおり、カスタム・コンフィギュア・コンピュー
タ（custom configured computers）および／またはより大きな機能性および／
またはコンパクトさ（compactness）を有するコンピュータは、遠隔ラップトッ
プ・コンピュータの代わりになりうる。
ド・ヘルド・ターミナルは、当業界においてなじみのある、コンパクト・ラップ
トップ・コンピュータ（compact laptop computer）に典型的な、完全機能を供
給するようにアップグレードされる。レーザー・コントローラから離れたラップ
トップまたは同様のコンピュータのディスプレイの小区分は、従来のハンド・ヘ
ルド・ターミナルを模倣することができる。さらに、この模倣は、従来のハンド
・ヘルド・ターミナルを用いて、複数の個別のキーストロークを事前に必要とす
る、複数の配列されたタスクの自動多重タスク管理を供給する、遠隔ラップトッ
プまたは同様のコンピュータに存在する、機能的に拡張されたソフトウェア・プ
ログラムを供給するために、継ぎ目なく転換することができる。コンピュータ技
術および経済によって許されるとおり、カスタム・コンフィギュア・コンピュー
タ（custom configured computers）および／またはより大きな機能性および／
またはコンパクトさ（compactness）を有するコンピュータは、遠隔ラップトッ
プ・コンピュータの代わりになりうる。
【００１５】
図１は、完全機能遠隔コンピュータ１００、例えば従来のハンド・ヘルド・タ
ーミナル（図示されていない）のキーパッド部分１０６およびディスプレイ部分
１０８を複製するラップトップ・コンピュータの表示画面１０２の小区分１０４
を図で表したものである。図１に記載の実施例において、表示画面１０２に画像
として表示された仮想キー１１０は、従来のハンド・ヘルド・ターミナル上の対
応する物理的キーとまったく同じコマンドを、レーザー（図示されていない）に
通信する。特定の仮想キー１１０は、従来のコンピュータ位置決め装置、例えば
マウス、トラック・ボール（track ball）、またはグラフィックス・タブレット
およびペン（graphics tablet and pen）（図示されていない）で選択すること
によって、起動することができる。代替的に、仮想キー１１０は、当業界ではな
じみのある、タッチ・センシティブ・スクリーンのその位置を手動で押すことに
よって、起動することができる。仮想キー１１０は、起動されると、前記キーの
機能を、レーザーに隣接するレーザー・コントローラに直列に通信する。逆に、
操作状態データ、例えばエラー・メッセージは、レーザー・コントローラから遠
隔コンピュータ１００に直列に通信され、そこでそれらはデコードされ、遠隔コ
ンピュータ１００の表示部分１０８に表示される。
ーミナル（図示されていない）のキーパッド部分１０６およびディスプレイ部分
１０８を複製するラップトップ・コンピュータの表示画面１０２の小区分１０４
を図で表したものである。図１に記載の実施例において、表示画面１０２に画像
として表示された仮想キー１１０は、従来のハンド・ヘルド・ターミナル上の対
応する物理的キーとまったく同じコマンドを、レーザー（図示されていない）に
通信する。特定の仮想キー１１０は、従来のコンピュータ位置決め装置、例えば
マウス、トラック・ボール（track ball）、またはグラフィックス・タブレット
およびペン（graphics tablet and pen）（図示されていない）で選択すること
によって、起動することができる。代替的に、仮想キー１１０は、当業界ではな
じみのある、タッチ・センシティブ・スクリーンのその位置を手動で押すことに
よって、起動することができる。仮想キー１１０は、起動されると、前記キーの
機能を、レーザーに隣接するレーザー・コントローラに直列に通信する。逆に、
操作状態データ、例えばエラー・メッセージは、レーザー・コントローラから遠
隔コンピュータ１００に直列に通信され、そこでそれらはデコードされ、遠隔コ
ンピュータ１００の表示部分１０８に表示される。
【００１６】
複製された表示小区分１０４は、例えば、従来のＬａｂＶＩＥＷおよび／また
はＶｉｓｕａｌ Ｃ＋＋プログラミング言語で書かれ、スタンド・アロン型でも
よく、またはより大きなソフトウェア・プログラムへのサブプログラムとして統
合されることができる、コンピュータ・ソフトウェア・プログラムのグラフィッ
ク・ユーザ・インターフェース（graphic user interface）（ｇｕｉ）によって
実装される。より大きなプログラムは、例えば、いくつかのキーストロークを配
列し、各キーストロークに対するレーザー・コントローラからの応答を待ち、お
よび／または各順次キーストロークにおいて受信された応答を記憶することがで
きる。従来のハンド・ヘルド・ターミナルの機能を複製し、および拡張する、よ
り大きなソフトウェア・プログラムは、ここでは“仮想レーザー・オペレータ（
Virtual Laser Operator）”と称される。表示画面１０２の複製されたキーパッ
ド部分１０６は、ここでは“仮想パドル（Virtual Paddle）”と称され、仮想キ
ー１１０を含む。
はＶｉｓｕａｌ Ｃ＋＋プログラミング言語で書かれ、スタンド・アロン型でも
よく、またはより大きなソフトウェア・プログラムへのサブプログラムとして統
合されることができる、コンピュータ・ソフトウェア・プログラムのグラフィッ
ク・ユーザ・インターフェース（graphic user interface）（ｇｕｉ）によって
実装される。より大きなプログラムは、例えば、いくつかのキーストロークを配
列し、各キーストロークに対するレーザー・コントローラからの応答を待ち、お
よび／または各順次キーストロークにおいて受信された応答を記憶することがで
きる。従来のハンド・ヘルド・ターミナルの機能を複製し、および拡張する、よ
り大きなソフトウェア・プログラムは、ここでは“仮想レーザー・オペレータ（
Virtual Laser Operator）”と称される。表示画面１０２の複製されたキーパッ
ド部分１０６は、ここでは“仮想パドル（Virtual Paddle）”と称され、仮想キ
ー１１０を含む。
【００１７】
図２は、遠隔コンピュータ１００とレーザー・コントローラとの間の直列通信
プロトコル２００の一例を示す流れ図である。図２において、キーストロークは
、モジュール２０２で検出される。モジュール２０４は、キーストロークを調べ
、キーストロークがない場合には、モジュール２０６に偽論理レベルを発行させ
、それによって、論理制御は、再びキーストロークを調べるために、モジュール
２０４に戻る。キーストロークが存在する場合、ブロック２０６は真論理レベル
を発行し、論理制御をモジュール２０８に転送し、それはキーストロークに関し
て、１６進法コードを検索し、それをレーザー・コントローラに送信する。論理
制御はそれからモジュール２１０に転換し、それは追加のキーストロークが検出
されたかを調べる。検出された場合、論理制御はブロック２０４に戻る；検出さ
れない場合は、論理フローはＥＮＤモジュール２１２で終了する。レーザー・コ
ントローラとコンピュータとの間のインターフェースは、それらの間の通信プロ
トコルが、レーザー・コントローラと、アプリケーション依存ワークステーショ
ン・コントローラとの間のプロトコルから独立している点で、ユニバーサルであ
る。
プロトコル２００の一例を示す流れ図である。図２において、キーストロークは
、モジュール２０２で検出される。モジュール２０４は、キーストロークを調べ
、キーストロークがない場合には、モジュール２０６に偽論理レベルを発行させ
、それによって、論理制御は、再びキーストロークを調べるために、モジュール
２０４に戻る。キーストロークが存在する場合、ブロック２０６は真論理レベル
を発行し、論理制御をモジュール２０８に転送し、それはキーストロークに関し
て、１６進法コードを検索し、それをレーザー・コントローラに送信する。論理
制御はそれからモジュール２１０に転換し、それは追加のキーストロークが検出
されたかを調べる。検出された場合、論理制御はブロック２０４に戻る；検出さ
れない場合は、論理フローはＥＮＤモジュール２１２で終了する。レーザー・コ
ントローラとコンピュータとの間のインターフェースは、それらの間の通信プロ
トコルが、レーザー・コントローラと、アプリケーション依存ワークステーショ
ン・コントローラとの間のプロトコルから独立している点で、ユニバーサルであ
る。
【００１８】
通常、レーザー・コントローラと遠隔コンピュータ１００との間の通信は、電
気伝導ケーブルを利用するが、適度に高い帯域の光ファイバ・データ・リンクま
たはワイヤレス・チャネルが、代替的に使用されうる。図３は、遠隔コンピュー
タ１００とレーザー・コントローラ３０２との間の直列通信リンク３００の一例
を示すブロック図である。遠隔コンピュータ１００は、電気伝導または光ファイ
バー・ケーブル３０６を用いて、電子モジュレータ／ディモジュレータ（モデム
）３０４と相互接続されている。レーザー・コントローラ３０２は、電気伝導ま
たは光ファイバー・ケーブル３１０を用いて、同様のモデム３０８と、同様に相
互接続されている。モデム３０４および３０８は、電気伝導または光ファイバー
直列ケーブル３１２で、ともに接続されている。代替的に、モデム３０４および
３０８は、例えばｒｆ、マイクロ波、または光送信を採用して、ワイヤレス送信
媒体３１４（図３に点線で示されている）を通して通信する。モデム３０４、３
０８およびケーブル３１２またはワイヤレス通信媒体によって、遠隔コンピュー
タ２００とレーザー・コントローラ３０２との間の２方向通信が可能になる。
気伝導ケーブルを利用するが、適度に高い帯域の光ファイバ・データ・リンクま
たはワイヤレス・チャネルが、代替的に使用されうる。図３は、遠隔コンピュー
タ１００とレーザー・コントローラ３０２との間の直列通信リンク３００の一例
を示すブロック図である。遠隔コンピュータ１００は、電気伝導または光ファイ
バー・ケーブル３０６を用いて、電子モジュレータ／ディモジュレータ（モデム
）３０４と相互接続されている。レーザー・コントローラ３０２は、電気伝導ま
たは光ファイバー・ケーブル３１０を用いて、同様のモデム３０８と、同様に相
互接続されている。モデム３０４および３０８は、電気伝導または光ファイバー
直列ケーブル３１２で、ともに接続されている。代替的に、モデム３０４および
３０８は、例えばｒｆ、マイクロ波、または光送信を採用して、ワイヤレス送信
媒体３１４（図３に点線で示されている）を通して通信する。モデム３０４、３
０８およびケーブル３１２またはワイヤレス通信媒体によって、遠隔コンピュー
タ２００とレーザー・コントローラ３０２との間の２方向通信が可能になる。
【００１９】
例示的に、レーザー・オペレータが、レーザーのガス温度および圧力の大きさ
を、特定の間隔で時間の関数として記録し、ならびに記憶することを所望する。
従来のハンド・ヘルド・コントローラを用いると、オペレータは、ハンド・ヘル
ド・ターミナルのディスプレイからこれらのパラメータの大きさを手動で読み取
り、それから前記大きさを手動で、例えばインクで紙に記録することを求められ
る。本発明に従ったコンピュータベースの仮想レーザー・オペレータを用いると
、より大きなソフトウェア・プログラムによって、所望の二つのパラメータの大
きさを読み取り、および読み出しおよび／またはさらなる処理のために、それら
を、例えばスプレッドシート形式で記録するよう求められる複数のキーストロー
クを、単一のキーストロークが模倣する。図４は、レーザー・コントローラから
のデータを読み取り、および記録するための、単一のキーストロークの使用を説
明する、論理的流れ図４００である。単一のキーストロークがブロック４０２で
入力され、ブロック４０４でレーザー・データを検索するために予め定義された
スクリプトに従って、複数のキーの１６進法コードを生成する。データはブロッ
ク４０６で読み取られ、ブロック４０８に転送され、そこで例えばスプレッドシ
ート形式で記憶される。この操作に続いて、論理制御がＥＮＤブロック４１０に
転送され、それはデータの読み取りおよび記録を終了させる。ブロック４０８で
作成されたデータ・ファイル４１２は、任意で、例えばプリンタまたは表示画面
に出力される。
を、特定の間隔で時間の関数として記録し、ならびに記憶することを所望する。
従来のハンド・ヘルド・コントローラを用いると、オペレータは、ハンド・ヘル
ド・ターミナルのディスプレイからこれらのパラメータの大きさを手動で読み取
り、それから前記大きさを手動で、例えばインクで紙に記録することを求められ
る。本発明に従ったコンピュータベースの仮想レーザー・オペレータを用いると
、より大きなソフトウェア・プログラムによって、所望の二つのパラメータの大
きさを読み取り、および読み出しおよび／またはさらなる処理のために、それら
を、例えばスプレッドシート形式で記録するよう求められる複数のキーストロー
クを、単一のキーストロークが模倣する。図４は、レーザー・コントローラから
のデータを読み取り、および記録するための、単一のキーストロークの使用を説
明する、論理的流れ図４００である。単一のキーストロークがブロック４０２で
入力され、ブロック４０４でレーザー・データを検索するために予め定義された
スクリプトに従って、複数のキーの１６進法コードを生成する。データはブロッ
ク４０６で読み取られ、ブロック４０８に転送され、そこで例えばスプレッドシ
ート形式で記憶される。この操作に続いて、論理制御がＥＮＤブロック４１０に
転送され、それはデータの読み取りおよび記録を終了させる。ブロック４０８で
作成されたデータ・ファイル４１２は、任意で、例えばプリンタまたは表示画面
に出力される。
【００２０】
図５は、データ獲得プロシージャ５００が、規定されたイベントによってどの
ように引き起こされるかを示す論理的流れ図である。例えば、レーザー・ガス温
度は、レーザーがガス補充を要求する時に記録され、それはブロック５０２にお
いて検出される。この場合、ソフトウェア・プログラムは、ブロック５０４にお
いて補充要求を調べる。補充要求が検出されなかった場合、ブロック５０６は、
５０２で補充要求を再度調べるために、ブロック５０４に論理制御を戻す；補充
要求が検出された、論理制御は、ブロック５０８に転送され、それは例えば、ガ
ス補充要求が生成された時のレーザー・ガス温度の高さを獲得し、および記憶す
る等、規定されたレーザー・パラメータを読み取り、および記録する。この操作
の後、論理制御はブロック５１０に転送され、それは、調べるべきガス補充要求
がさらにあるか、決定する；もしあれば、論理制御はブロック５０４に戻る；も
しなければ、論理制御はＥＮＤブロック５１２に転送され、それは、データ獲得
プロシージャ５００を終了させる。全体のプロシージャ５００は、単一のキース
トロークによって開始される、予め定義されたスクリプトに従って、自動的に制
御することができる。
ように引き起こされるかを示す論理的流れ図である。例えば、レーザー・ガス温
度は、レーザーがガス補充を要求する時に記録され、それはブロック５０２にお
いて検出される。この場合、ソフトウェア・プログラムは、ブロック５０４にお
いて補充要求を調べる。補充要求が検出されなかった場合、ブロック５０６は、
５０２で補充要求を再度調べるために、ブロック５０４に論理制御を戻す；補充
要求が検出された、論理制御は、ブロック５０８に転送され、それは例えば、ガ
ス補充要求が生成された時のレーザー・ガス温度の高さを獲得し、および記憶す
る等、規定されたレーザー・パラメータを読み取り、および記録する。この操作
の後、論理制御はブロック５１０に転送され、それは、調べるべきガス補充要求
がさらにあるか、決定する；もしあれば、論理制御はブロック５０４に戻る；も
しなければ、論理制御はＥＮＤブロック５１２に転送され、それは、データ獲得
プロシージャ５００を終了させる。全体のプロシージャ５００は、単一のキース
トロークによって開始される、予め定義されたスクリプトに従って、自動的に制
御することができる。
【００２１】
同様に、特定のエラー状態においては、適切な診断データを記録することがで
き、それによって、トラブル・シューティング（trouble shooting）を容易にす
る。任意で、規定のシーケンスの動作が、対応する規定されたシーケンスのキー
ストロークを模倣することによって、自動的に開始される。図６は、規定された
キーストローク・シーケンスの自動アプリケーションの一例６００を示す論理的
流れ図である。ブロック６０２で入力される単一のキーストロークは、予め定義
されたスクリプトに従って、自動シーケンスのキーストロークを開始する。ブロ
ック６０４において、これらのキーストロークの１６進法コードが検索され、お
よびレーザー・コントローラ３０２に送信され、動作が開始され、および計測が
実施される。ブロック６０６において、結果が、所望のエンドポイント結果と比
較される。所望のエンドポイント結果が達成されない場合、論理制御はブロック
６０４に戻り、処理が繰り返される；所望のエンドポイント結果が検出された場
合、論理制御は、ＥＮＤブロック６０８に転送され、それは処理を終了させる。
いくつかの共通メンテナンスまたはトラブル・シューティング・プロシージャを
予めプログラムし、およびオペレータが利用できるようにすることが可能であり
、フッ素ガス最適化、週ごとのシステム検査、データ記録等、多機能プロシージ
ャが、単一のキーストロークで起動される“仮想ホット・キー（virtual hot ke
ys）”で開始することができる。多くの順次キーストロークを必要とする複雑な
プロシージャを自動化することができる。例えば、レーザー・チャンバ交換にお
いて、新しいチャンバは、規定された数のパルスに対して、規定された繰り返し
数で操作される新鮮なガス混合体およびレーザーで満たされる。この補充プロシ
ージャは、（レーザー操作電圧と相対した）レーザー効率が、特定された値に到
達するまで、自動的に繰り返される。
き、それによって、トラブル・シューティング（trouble shooting）を容易にす
る。任意で、規定のシーケンスの動作が、対応する規定されたシーケンスのキー
ストロークを模倣することによって、自動的に開始される。図６は、規定された
キーストローク・シーケンスの自動アプリケーションの一例６００を示す論理的
流れ図である。ブロック６０２で入力される単一のキーストロークは、予め定義
されたスクリプトに従って、自動シーケンスのキーストロークを開始する。ブロ
ック６０４において、これらのキーストロークの１６進法コードが検索され、お
よびレーザー・コントローラ３０２に送信され、動作が開始され、および計測が
実施される。ブロック６０６において、結果が、所望のエンドポイント結果と比
較される。所望のエンドポイント結果が達成されない場合、論理制御はブロック
６０４に戻り、処理が繰り返される；所望のエンドポイント結果が検出された場
合、論理制御は、ＥＮＤブロック６０８に転送され、それは処理を終了させる。
いくつかの共通メンテナンスまたはトラブル・シューティング・プロシージャを
予めプログラムし、およびオペレータが利用できるようにすることが可能であり
、フッ素ガス最適化、週ごとのシステム検査、データ記録等、多機能プロシージ
ャが、単一のキーストロークで起動される“仮想ホット・キー（virtual hot ke
ys）”で開始することができる。多くの順次キーストロークを必要とする複雑な
プロシージャを自動化することができる。例えば、レーザー・チャンバ交換にお
いて、新しいチャンバは、規定された数のパルスに対して、規定された繰り返し
数で操作される新鮮なガス混合体およびレーザーで満たされる。この補充プロシ
ージャは、（レーザー操作電圧と相対した）レーザー効率が、特定された値に到
達するまで、自動的に繰り返される。
【００２２】
従来、ハンド・ヘルド・ターミナルで、上述のステップは、オペレータの介入
および複数の個別のキーストロークの手動による入力を必要としている。本発明
のある実施例において、複数のキーストロークおよびレーザー・パラメータ計測
は完全に自動化される一方で、レーザー・コントローラのワークステーション・
コマンドは、完全機能的である。オペレータが開始するタスクを実行するのに必
要な時間は、大幅に減少し、データ獲得および記録の一貫性および正確性は向上
する。さらに、仮想レーザー・オペレータは、オペレーション、またはオペレー
ションのサブシーケンスの完了時に、例えば“ＴＯ ＣＯＮＴＩＮＵＥ，ＰＲＥ
ＳＳ ＡＮＹ ＫＥＹ”というプロンプトを発行するようにプログラムでき、オ
ペレータに、以下に詳述されるとおり、タスク・シーケンスの継続または終了を
制御させる。
および複数の個別のキーストロークの手動による入力を必要としている。本発明
のある実施例において、複数のキーストロークおよびレーザー・パラメータ計測
は完全に自動化される一方で、レーザー・コントローラのワークステーション・
コマンドは、完全機能的である。オペレータが開始するタスクを実行するのに必
要な時間は、大幅に減少し、データ獲得および記録の一貫性および正確性は向上
する。さらに、仮想レーザー・オペレータは、オペレーション、またはオペレー
ションのサブシーケンスの完了時に、例えば“ＴＯ ＣＯＮＴＩＮＵＥ，ＰＲＥ
ＳＳ ＡＮＹ ＫＥＹ”というプロンプトを発行するようにプログラムでき、オ
ペレータに、以下に詳述されるとおり、タスク・シーケンスの継続または終了を
制御させる。
【００２３】
図１に記載された通り、表示画面小区分１０４の上部にあるコントロール・バ
ー１１２は、主たるユーザ・インターフェースであり、通信の状態および仮想レ
ーザー・オペレータ・プログラムの現在の操作モード（例えば、処理中の直接仮
想パドル制御または自動制御シーケンス）を表示する。コントロール・バー１１
２は、レーザーを止め、それをスタンバイ状態にするため、および仮想パドルに
制御を戻して、動作しているかもしれないすべての自動化処理を中断するための
、“ＬＡＳＥＲ ＯＦＦ”仮想ホット・キー１１４も含む。コントロール・バー
１１２はまた、ＲＥＳＥＴ仮想ホット・キー１１６も含み、それはすべてのプロ
グラムを中断し、制御を仮想パドル１０６に戻す。仮想ホット・キー１１４また
は１１６は、例えば起動されると、それから対応する１６進法コードがすぐに生
成され、直列通信リンク３００を通してレーザー・コントローラ３０２（図３参
照）に発行され、そこでそれはデコードされ、レーザーをスタンバイ状態または
仮想パドル制御にする。さらに、コントロール・バー１１２は、オペレータが、
デフォルト設定を変更し、ヘルプを要求し、通信設定を変更し、および仮想レー
ザー・オペレータ・プログラムを出ることができるようにする、プル・ダウン・
メニュ１１８のアレイを含む。例えば、プル・ダウン・メニュ選択は、仮想パド
ルをプログラミング・モードにし、所望のシーケンスの計測、データ記録、およ
び／またはレーザー制御操作を、予め選択されたキーストロークにリンクさせる
スクリプトを作成するために、オペレータまたはプログラマが、プログラム命令
を従来のプログラミング言語、すなわちＣ＋＋で入力できるようにする。予め選
択されたタスク・シーケンスは、完全に自動的に実行されるようにプログラム可
能である。代替的に、予め選択されたタスク・シーケンスは、個別の操作または
サブタスクに分けることができ、次の操作またはサブタスクを続行する前に、上
述の通り、所望の計測値、および／またはプロンプトへのオペレータ応答を要求
する。
ー１１２は、主たるユーザ・インターフェースであり、通信の状態および仮想レ
ーザー・オペレータ・プログラムの現在の操作モード（例えば、処理中の直接仮
想パドル制御または自動制御シーケンス）を表示する。コントロール・バー１１
２は、レーザーを止め、それをスタンバイ状態にするため、および仮想パドルに
制御を戻して、動作しているかもしれないすべての自動化処理を中断するための
、“ＬＡＳＥＲ ＯＦＦ”仮想ホット・キー１１４も含む。コントロール・バー
１１２はまた、ＲＥＳＥＴ仮想ホット・キー１１６も含み、それはすべてのプロ
グラムを中断し、制御を仮想パドル１０６に戻す。仮想ホット・キー１１４また
は１１６は、例えば起動されると、それから対応する１６進法コードがすぐに生
成され、直列通信リンク３００を通してレーザー・コントローラ３０２（図３参
照）に発行され、そこでそれはデコードされ、レーザーをスタンバイ状態または
仮想パドル制御にする。さらに、コントロール・バー１１２は、オペレータが、
デフォルト設定を変更し、ヘルプを要求し、通信設定を変更し、および仮想レー
ザー・オペレータ・プログラムを出ることができるようにする、プル・ダウン・
メニュ１１８のアレイを含む。例えば、プル・ダウン・メニュ選択は、仮想パド
ルをプログラミング・モードにし、所望のシーケンスの計測、データ記録、およ
び／またはレーザー制御操作を、予め選択されたキーストロークにリンクさせる
スクリプトを作成するために、オペレータまたはプログラマが、プログラム命令
を従来のプログラミング言語、すなわちＣ＋＋で入力できるようにする。予め選
択されたタスク・シーケンスは、完全に自動的に実行されるようにプログラム可
能である。代替的に、予め選択されたタスク・シーケンスは、個別の操作または
サブタスクに分けることができ、次の操作またはサブタスクを続行する前に、上
述の通り、所望の計測値、および／またはプロンプトへのオペレータ応答を要求
する。
【００２４】
仮想パドル１０６は、従来のハンド・ヘルド・ターミナル・キーパッドを模倣
する。仮想パドル１０６に含まれる機能は、レーザーＯＮ／ＯＦＦキー１２０、
１２２およびレーザーを操作するための、通常、手動で起動される他のコマンド
・キーである。ほとんどのキーは、例えば、短縮された英語ラベルを有する等、
自明である。ファンクション・キーＦ１−Ｆ８は、データ記録および他の反復タ
スクのための、カスタマイズされたキーストローク・シーケンスを開始するため
に、例示された実施例において、ユーザがプログラム可能であり、通常は記述的
にはラベル付けされていない。図７Ａ−７Ｇは、それぞれ、ファンクション・キ
ーＦ１−Ｆ８と関連する表示画面区分を図で示した例である。
する。仮想パドル１０６に含まれる機能は、レーザーＯＮ／ＯＦＦキー１２０、
１２２およびレーザーを操作するための、通常、手動で起動される他のコマンド
・キーである。ほとんどのキーは、例えば、短縮された英語ラベルを有する等、
自明である。ファンクション・キーＦ１−Ｆ８は、データ記録および他の反復タ
スクのための、カスタマイズされたキーストローク・シーケンスを開始するため
に、例示された実施例において、ユーザがプログラム可能であり、通常は記述的
にはラベル付けされていない。図７Ａ−７Ｇは、それぞれ、ファンクション・キ
ーＦ１−Ｆ８と関連する表示画面区分を図で示した例である。
【００２５】
ファンクションＦ１は、例示的に異なるレーザー電圧およびエネルギーでの一
定の診断を監視することを含む、週ごとの状態報告を例示的に起動させる。この
プログラムは、自動的に、規定されたシーケンスのエネルギならびに電圧設定を
踏む一方で、自動的に所望の診断データを記録する。図７Ａは、ファンクション
Ｆ１と関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクションＦ２は、例示的に、
Ｆ2フッ素ガス混合体のフィールド最適化、およびＦ2フッ素ガス注入パラメータ
の最適化を可能にする。図７Ｂは、ファンクションＦ２と関連する表示画面区分
の一例を示す。ファンクションＦ４は、例示的に、例えば、３色コード・グラフ
での時間の関数として、図で大きさを表示することによって、範囲外状態に関し
て、オペレータに３つまでのパラメータまたは診断を同時に監視させる。前記３
つのパラメータまたは診断のうち、いずれか一つが、オペレータが決めた範囲外
に出る時は、他の診断／パラメータのリストが照会され、記録される。図７Ｃは
、ファンクションＦ４と関連する表示画面区分の一例を示す。同様に、ファンク
ションＦ５は例示的に、オペレータが選択できる時間間隔で、診断のリストを、
図で記録する。前記診断は、手動で入力されるか、またはセーブされたファイル
から読み取られてもよく、それは任意で、オペレータによってリフレッシュされ
てもよい。図７Ｄは、ファンクションＦ５と関連する表示画面区分の一例を示す
。ファンクションＦ６によって、例示的に、オペレータは、自動的にレーザー波
長をスルーさせ（slew）る一方で、所望の診断を監視することができる。図７Ｅ
は、ファンクションＦ６に関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクション
Ｆ７は、例示的に、週ごとの状態報告データ・ファイルをスプレッドシート形式
へと読み取り、そこから、トラブル・シューティングのために、プロットされ（
plotted）、および解析されることができる。図７Ｆは、ファンクションＦ７と
関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクションＦ８によって、例示的に、
オペレータは、選択された診断の説明を検索できる。図７Ｇは、ファンクション
Ｆ８と関連する表示画面区分の一例を示す。
定の診断を監視することを含む、週ごとの状態報告を例示的に起動させる。この
プログラムは、自動的に、規定されたシーケンスのエネルギならびに電圧設定を
踏む一方で、自動的に所望の診断データを記録する。図７Ａは、ファンクション
Ｆ１と関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクションＦ２は、例示的に、
Ｆ2フッ素ガス混合体のフィールド最適化、およびＦ2フッ素ガス注入パラメータ
の最適化を可能にする。図７Ｂは、ファンクションＦ２と関連する表示画面区分
の一例を示す。ファンクションＦ４は、例示的に、例えば、３色コード・グラフ
での時間の関数として、図で大きさを表示することによって、範囲外状態に関し
て、オペレータに３つまでのパラメータまたは診断を同時に監視させる。前記３
つのパラメータまたは診断のうち、いずれか一つが、オペレータが決めた範囲外
に出る時は、他の診断／パラメータのリストが照会され、記録される。図７Ｃは
、ファンクションＦ４と関連する表示画面区分の一例を示す。同様に、ファンク
ションＦ５は例示的に、オペレータが選択できる時間間隔で、診断のリストを、
図で記録する。前記診断は、手動で入力されるか、またはセーブされたファイル
から読み取られてもよく、それは任意で、オペレータによってリフレッシュされ
てもよい。図７Ｄは、ファンクションＦ５と関連する表示画面区分の一例を示す
。ファンクションＦ６によって、例示的に、オペレータは、自動的にレーザー波
長をスルーさせ（slew）る一方で、所望の診断を監視することができる。図７Ｅ
は、ファンクションＦ６に関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクション
Ｆ７は、例示的に、週ごとの状態報告データ・ファイルをスプレッドシート形式
へと読み取り、そこから、トラブル・シューティングのために、プロットされ（
plotted）、および解析されることができる。図７Ｆは、ファンクションＦ７と
関連する表示画面区分の一例を示す。ファンクションＦ８によって、例示的に、
オペレータは、選択された診断の説明を検索できる。図７Ｇは、ファンクション
Ｆ８と関連する表示画面区分の一例を示す。
【００２６】
本発明の実施例が示され、および説明されてきたが、これらの例示的実施例へ
の変更および変形が、本発明から逸脱することなく、そのより広範な特徴におい
て可能である。明らかには上述されていないが、本発明の範囲内である本発明の
他の実施例があることは明らかであろう。そのため、添付された特許請求の範囲
は、必ず、すべての前記変更および変形が、説明された本発明の真の範囲内に入
るように含むこと；および、この範囲は、前記範囲を示すために提示される例示
的実施例のみに限定されないことが理解されるであろう。
の変更および変形が、本発明から逸脱することなく、そのより広範な特徴におい
て可能である。明らかには上述されていないが、本発明の範囲内である本発明の
他の実施例があることは明らかであろう。そのため、添付された特許請求の範囲
は、必ず、すべての前記変更および変形が、説明された本発明の真の範囲内に入
るように含むこと；および、この範囲は、前記範囲を示すために提示される例示
的実施例のみに限定されないことが理解されるであろう。
【図１】
図１は、従来のハンド・ヘルド・ターミナルのキーパッド部分およびディスプ
レイ部分を複製する、完全に機能的な遠隔コンピュータの表示画面の小区分を図
で示している。
レイ部分を複製する、完全に機能的な遠隔コンピュータの表示画面の小区分を図
で示している。
【図２】
図２は、遠隔コンピュータとレーザー・コントローラとの間の、直列通信プロ
トコルの一例を示す流れ図である。
トコルの一例を示す流れ図である。
【図３】
図３は、遠隔コンピュータとレーザー・コントローラとの間の、直列通信リン
クの一例を示すブロック図である。
クの一例を示すブロック図である。
【図４】
図４は、レーザー・コントローラからのデータを読み取り、および記録するた
めの、単一のキーストロークの使用を示す、論理的流れ図である。
めの、単一のキーストロークの使用を示す、論理的流れ図である。
【図５】
図５は、データ獲得プロシージャが、規定されたイベントによってどのように
始動されるかを示す、論理的流れ図である。
始動されるかを示す、論理的流れ図である。
【図６】
図６は、規定されたキーストローク・シーケンスの、自動的アプリケーション
の一例を示す論理的流れ図である。
の一例を示す論理的流れ図である。
【図７Ａ】
図７Ａは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｂ】
図７Ｂは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｃ】
図７Ｃは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｄ】
図７Ｄは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｅ】
図７Ｅは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｆ】
図７Ｆは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
【図７Ｇ】
図７Ｇは、ファンクション・キーに関連する表示画面区分の例を図で示したも
のである。
のである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，
ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ
Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ
，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，
ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ
Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ
，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，
ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，
ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，Ｃ
Ａ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ
，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，
ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，Ｋ
Ｅ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ
，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，
ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，Ｒ
Ｕ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ
，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，
ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ
(72)発明者 カーレシ ジェイソン アール
アメリカ合衆国 カリフォルニア州
92065 ラモナ マッシー グレイド ロ
ード 13915
(72)発明者 ダンラップ デイヴィッド ジェイ
アメリカ合衆国 カリフォルニア州
92128 サン ディエゴ ウィンド クレ
スト レーン ＃25 11517
(72)発明者 フォメンコフ イゴー ヴィー
アメリカ合衆国 カリフォルニア州
92129 サン ディエゴ ジャーナル ウ
ェイ 14390
Ｆターム(参考） 2H097 AA03 BA10 CA13
5B020 BB02 CC12 DD30 FF51
5F046 CA03 DA30 DD01
5F072 AA04 AA06 HH08 HH09 MM20
YY09
【要約の続き】
でもよく、それはマイクロリトグラフィのための放射線
照射源として適用することができる。
Claims (20)
- 【請求項１】 電子放電レーザーと； 前記電子放電レーザーと相互接続されたレーザー・コントローラ（laser cont
roller）と；および 前記レーザー・コントローラから離れたところにあり、それと通信するコンピ
ュータであって、各々が、入力装置の物理的キーを模倣するようにプログラム可
能である、複数の画像化された仮想キーを有する表示画面を組み込んでいる前記
コンピュータであって、前記仮想キーの少なくとも一つは、規定されたシーケン
スのキーストローク（keystrokes）を模倣するようにプログラム可能であるよう
に構成されている、前記コンピュータと； を具備する装置。 - 【請求項２】 前記表示画面は、“ＬＡＳＥＲ ＯＦＦ”仮想キーを含むこ
とを特徴とする、請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 前記コンピュータは、電気的伝導ケーブルで、前記レーザー
・コントローラと相互接続されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。 - 【請求項４】 前記電子放電レーザーは、ＫｒＦならびにＡｒＦエキシマ・
レーザー（excimer laser）およびＦ2分子レーザーを含む群から選択されること
を特徴とする、請求項１に記載の装置。 - 【請求項５】 前記電子放電レーザーは、マイクロリトグラフィー（microl
ithography）のための、放射線照射源を供給することを特徴とする、請求項１に
記載の装置。 - 【請求項６】 電子放電レーザーを制御する方法であって： 前記電子放電レーザーから離れたコンピュータで、キーストロークをし；およ
び 前記キーストロークに応答して、前記電子放電レーザーにおいて動作を生じさ
せる信号を通信するステップであって、前記キーストロークは、前記コンピュー
タの表示画面上の仮想キーを起動させることによって実行され、前記表示画面は
、入力装置を模倣し、および複数の前記仮想キーを有するようにプログラム可能
であり、前記仮想キーの少なくとも一つは、前記キーストロークの規定されたシ
ーケンスを模倣するようにプログラム可能である前記ステップと を具備する前記方法。 - 【請求項７】 前記動作は、レーザー・パラメータの値を計測することを含
むことを特徴する、請求項６に記載の方法。 - 【請求項８】 前記動作は、レーザー・パラメータの値を記録することを含
むことを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項９】 前記動作は、レーザー・パラメータの値を変更することを含
むことを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１０】 前記規定されたシーケンスの一部は、自動化されることを
特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１１】 前記規定されたシーケンスの一部は、動作が条件となって
決定されることを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１２】 前記規定されたシーケンスは、プログラムで作成されたス
クリプトに従って定義されることを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１３】 前記仮想キーの一つは、ファンクション・キー（function key）を模倣することを特徴とする、請求項６に記載の方法。
- 【請求項１４】 前記キーストロークを実行する前記ステップは、タッチ・
センシティブ・スクリーン（touch sensitive screen）上の対応する仮想キーの
位置を手動で押すことによって実行されることを特徴とする、請求項６に記載の
方法。 - 【請求項１５】 前記キーストロークを実行する前記ステップは、位置決め
装置を起動させることによって実行されることを特徴とする、請求項６に記載の
方法。 - 【請求項１６】 前記信号は、電気伝導ケーブルを通して通信されることを
特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１７】 前記信号は、光ファイバー・ケーブルを通して通信される
ことを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１８】 前記信号は、ワイヤレス通信チャネルを通して通信される
ことを特徴とする、請求項６に記載の方法。 - 【請求項１９】 前記電子放電レーザーは、ＫｒＦならびにＡｒＦエキシマ
レーザーおよびＦ2分子レーザーを含む群から選択されることを特徴とする、請
求項６に記載の方法。 - 【請求項２０】 前記電子放電レーザーは、マイクロリトグラフィのための
放射線照射源を供給することを特徴とする、請求項６に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11502478B2 (en) | 2017-06-12 | 2022-11-15 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus, laser apparatus management system, and laser apparatus management method |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8028049B1 (en) * | 2000-02-01 | 2011-09-27 | Peer Intellectual Property Inc. | Apparatus and method for web-based tool management |
| US7403984B2 (en) * | 2000-02-01 | 2008-07-22 | Asyst Technologies, Inc. | Automated tool management in a multi-protocol environment |
| US7873428B2 (en) * | 2005-04-15 | 2011-01-18 | PEER Intellectual Property, Inc. | Automated job management |
| US9785140B2 (en) * | 2000-02-01 | 2017-10-10 | Peer Intellectual Property Inc. | Multi-protocol multi-client equipment server |
| US7756963B2 (en) * | 2001-07-05 | 2010-07-13 | PEER Intellectual Property, Inc. | Automated tool management in a multi-protocol environment |
| US7515137B2 (en) * | 2001-07-16 | 2009-04-07 | Intel Corporation | Software-based number lock |
| JP4401728B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2010-01-20 | キヤノン株式会社 | 複合現実空間画像生成方法及び複合現実感システム |
| WO2005066744A1 (en) | 2003-12-31 | 2005-07-21 | Abb Research Ltd | A virtual control panel |
| US20050194367A1 (en) * | 2004-03-02 | 2005-09-08 | Fredrick William G.Jr. | System and method for remote controlled actuation of laser processing head |
| US7493048B2 (en) * | 2004-06-30 | 2009-02-17 | Finisar Corporation | Transceiver with persistent logging mechanism |
| US7509050B2 (en) * | 2004-06-30 | 2009-03-24 | Finisar Corporation | Microcode-driven self-calibration of optical transceivers to environmental conditions |
| US7720387B2 (en) * | 2004-06-30 | 2010-05-18 | Finisar Corporation | Microcode-driven calculation of temperature-dependent operational parameters in an optical transmitter/receiver |
| US8705973B2 (en) * | 2004-09-07 | 2014-04-22 | Finisar Corporation | Optical transceiver with off-transceiver logging mechanism |
| US7881616B2 (en) * | 2004-10-29 | 2011-02-01 | Finisar Corporation | Transceiver based loop back initiation |
| DE102005061211B4 (de) * | 2004-12-22 | 2023-04-06 | Abb Schweiz Ag | Verfahren zum Erzeugen einer Mensch-Maschine-Benutzer-Oberfläche |
| US7653314B2 (en) * | 2005-09-16 | 2010-01-26 | Finisar Corporation | Optical transceiver with custom logging mechanism |
| DE102006022304A1 (de) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zur dezentralen Steuerung einer Bearbeitungsmaschine, insbesondere einer Laserbearbeitungsmaschine |
| US7831923B2 (en) * | 2006-11-28 | 2010-11-09 | International Business Machines Corporation | Providing visual keyboard guides according to a programmable set of keys |
| US8583395B2 (en) * | 2007-07-23 | 2013-11-12 | Finisar Corporation | Self-testing optical transceiver |
| US7881615B2 (en) * | 2007-07-26 | 2011-02-01 | Finisar Corporation | Dynamic digital diagnostic alerts |
| US8582978B2 (en) * | 2008-01-16 | 2013-11-12 | Finisar Corporation | Logging mechanism for an intelligent transmitter module |
| US8886763B2 (en) * | 2010-04-30 | 2014-11-11 | Nokia Corporatin | Method and apparatus for providing interoperability between devices |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143481A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH02143479A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH02143480A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH0695778A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-04-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 既存ユーザ入力手順に対し自動応答アクションを行う方法及び装置 |
| JPH08500515A (ja) * | 1992-09-09 | 1996-01-23 | シムス デルテック，インコーポレイテッド | 医薬供給装置等の移動医療装置と通信を行うためのシステムおよび方法 |
| JPH09232659A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-09-05 | Cymer Inc | レーザーのためのガス放電制御システム |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3634662A (en) * | 1968-07-12 | 1972-01-11 | Houdaille Industries Inc | Numerical control system and method |
| JPH0817159B2 (ja) * | 1985-08-15 | 1996-02-21 | キヤノン株式会社 | 堆積膜の形成方法 |
| US5047700A (en) * | 1988-03-23 | 1991-09-10 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Universal computer control system for motors |
| US5311032A (en) * | 1992-11-23 | 1994-05-10 | Eastman Kodak Company | Storage phosphor reader diagnostics |
| US5744791A (en) * | 1996-07-24 | 1998-04-28 | Symbol Technologies, Inc. | Solar energy-powered optical reader |
| US5600121A (en) * | 1995-03-20 | 1997-02-04 | Symbol Technologies, Inc. | Optical reader with independent triggering and graphical user interface |
| US5771114A (en) * | 1995-09-29 | 1998-06-23 | Rosemount Inc. | Optical interface with safety shutdown |
| FR2748824B1 (fr) * | 1996-05-15 | 1998-06-26 | Commissariat Energie Atomique | Optique diffractive a synthese d'ouverture et dispositif de decoupe laser incorporant une telle optique |
| US5856991A (en) * | 1997-06-04 | 1999-01-05 | Cymer, Inc. | Very narrow band laser |
| US6067306A (en) * | 1997-08-08 | 2000-05-23 | Cymer, Inc. | Laser-illuminated stepper or scanner with energy sensor feedback |
| US6240117B1 (en) * | 1998-01-30 | 2001-05-29 | Cymer, Inc. | Fluorine control system with fluorine monitor |
-
1999
- 1999-11-17 US US09/442,140 patent/US6618425B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-10-31 AU AU14497/01A patent/AU1449701A/en not_active Abandoned
- 2000-10-31 EP EP00976764A patent/EP1230752A4/en not_active Ceased
- 2000-10-31 WO PCT/US2000/030055 patent/WO2001037457A1/en active Application Filing
- 2000-10-31 JP JP2001537898A patent/JP2003514403A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143481A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH02143479A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH02143480A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Shimadzu Corp | エキシマレーザ装置 |
| JPH0695778A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-04-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 既存ユーザ入力手順に対し自動応答アクションを行う方法及び装置 |
| JPH08500515A (ja) * | 1992-09-09 | 1996-01-23 | シムス デルテック，インコーポレイテッド | 医薬供給装置等の移動医療装置と通信を行うためのシステムおよび方法 |
| JPH09232659A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-09-05 | Cymer Inc | レーザーのためのガス放電制御システム |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11502478B2 (en) | 2017-06-12 | 2022-11-15 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus, laser apparatus management system, and laser apparatus management method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1230752A4 (en) | 2007-07-18 |
| US6618425B1 (en) | 2003-09-09 |
| EP1230752A1 (en) | 2002-08-14 |
| AU1449701A (en) | 2001-05-30 |
| WO2001037457A1 (en) | 2001-05-25 |
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