JPH10199833A - スライスベース剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェーハ剥離後に、熱水槽内に残されたスライ
スベース付ワークブロックを自動で熱水槽内から取り出
し、搬出することができるスライスベース剥離装置の提
供。 【解決手段】剥離装置本体１２によるウェーハＷの剥離
作業が終了すると、熱水槽１６内にはスライスベース付
きワークブロックＢが残される。この熱水槽１６内に残
されたスライスベース付きワークブロックＢは、取出装
置１００によって熱水槽１６内から取り出され、該取出
装置１００によってローラコンベア１３０上に移送され
る。そして、そのローラコンベア１３０上に載置された
スライスベース付きワークブロックＢは、ローラコンベ
ア１３０によってスライスベース剥離装置１０外に搬出
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスライスベース剥離
装置に係り、特にワイヤソーで切断されたウェーハをス
ライスベースから剥離するスライスベース剥離装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーでは、インゴットの切断に際
して、その切り終わり部分の欠損を防止するため、イン
ゴットにスライスベースを接着して切断している。この
ため、切り出されるウェーハは、全て１本のスライスベ
ースに接着された状態、いわゆるバッチ状態で切り出さ
れる。

【０００３】一方、ワイヤソーによる切断後の工程であ
る面取り工程や、ラッピング工程等は、すべてウェーハ
を１枚ごと処理している。このため、前記ワイヤソーで
切断されたバッチ状態のウェーハは、スライスベースか
ら剥離して枚葉化する必要がある。一般に、ウェーハを
スライスベースから剥離する方法としては、ウェーハと
スライスベースとの接着部を熱水（約９０℃）中に浸浸
させることにより、その接着部を熱軟化させ、ウェーハ
を剥離するようにしている。

【０００４】しかし、この剥離方法では、全てのウェー
ハがスライスベースから剥離されると、熱水槽内にスラ
イスベースと、そのスライスベースが接着されたワーク
ブロックが残されることとなる。この熱水槽内に残され
たスライスベースとワークブロックは、次に行う剥離作
業のためにも、槽内から取り出さなければならないが、
従来、この取り出し作業は、作業者が手作業で行ってい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、スライスベースは熱水中に浸漬されているた
め、極めて高温となり、その取り出し作業は危険を伴う
ものであった。また、スライスベースは、ワークブロッ
クに接着された状態にあり比較的重量物となっているた
め、その取り出し作業は、極めて重労働であった。

【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ウェーハ剥離後に、熱水槽内に残されたスラ
イスベース付ワークブロックを自動で搬出することがで
きるスライスベース剥離装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、切断の終了したウェーハを熱水中に浸漬
させ、該ウェーハをスライスベースから剥離するスライ
スベース剥離装置において、ウェーハ剥離後に、スライ
スベースが接着されたワークブロックを熱水槽から取り
出す取出手段と、前記取出手段によって前記熱水槽から
取り出したワークブロックを受け取るとともに、その受
け取ったワークブロックを前記スライスベース剥離装置
外に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、熱水槽内に浸漬され、高
温となったワークブロックは、取出手段によって熱水槽
内から取り出される。そして、その取出手段によって取
り出されたワークブロックは、搬送手段に受け渡され、
該搬送手段によってスライスベース剥離装置外に搬出さ
れる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライスベース剥離装置の好ましい実施の形態につい
て詳説する。図１は、本発明に係るスライスベース剥離
装置の実施の形態の全体構成を示す平面図である。同図
に示すように、前記スライスベース剥離装置１０は、ウ
ェーハＷ、Ｗ、…をスライスベースＳから剥離する剥離
装置本体１２と、その剥離装置本体１２でウェーハＷ、
Ｗ、…が剥離されスライスベースＳを装置本体１２外に
搬出する搬出装置１４とから構成されている。

【００１０】まず、剥離装置本体１２の構成について説
明する。図２は、剥離装置本体１２の斜視図である。図
２に示すように、前記剥離装置本体１２は、熱水槽１６
を備えており、該熱水槽１６内には熱水が貯留されてい
る。前記バッチ状態のウェーハＷ、Ｗ、…は、この熱水
槽１６内の所定の位置にセットされ、そのスライスベー
スＳ部分が熱水中に浸漬される。

【００１１】なお、このセッティングは、スライスベー
スＳが接着されたワークブロックＢを熱水槽１６内の所
定の位置に載置し、図示しないロック手段で前記ワーク
ブロックＢを固定することにより行う。また、前記スラ
イスベースＳが接着されたワークブロックＢは、ワイヤ
ソーのワークフィードテーブルに装着するための部材で
あり、スライスベースＳは、このワークブロックＢに前
記ウェーハＷ、Ｗ、…と同様の接着剤を用いて接着され
る。

【００１２】前記熱水槽１６の側部近傍には、長尺状に
形成されたベース１８が配設されている。ベース１８上
には一対のガイドレール２０、２０が敷設されており、
該ガイドレール２０、２０上を一対のスライドベース２
２Ａ、２２Ｂがスライド移動自在に支持されている。図
中左側に位置するスライドベース２２Ｂは、モータ２４
Ｂに駆動されてスライド移動し、その上部には、アーム
２３を介して押板２５が設けられている。運転時、この
押板２５は、前記熱水槽１６内にセットされたウェーハ
Ｗの端面に当接され、その後倒れを防止する。

【００１３】一方、図中左側に位置するスライドベース
２２Ａは、モータ２４Ａに駆動されてスライド移動し、
その上面には、円弧状に形成されたＬＭガイド２８が敷
設されている。このＬＭガイド２８上には、旋回用スラ
イドベース３０がスライド移動自在に支持されている。
前記ＬＭガイド２８の内側部近傍には、ＬＭガイド２８
と同じ曲率を有する円弧状のラック３２が敷設されてい
る。このラック３２にはピニオンギア３４が噛合されて
おり、該ピニオンギア３４は前記旋回用スライドベース
３０に設けられた旋回用モータ３６に連結されている。
したがって、この旋回用モータ３６を駆動することによ
り、前記旋回用スライドベース３０は、前記ＬＭガイド
２８上をスライド移動する。

【００１４】前記旋回用スライドベース３０上には、軸
受３８が設けられている。軸受３８にはシャフト４０が
回動自在に支持されており、該シャフト４０の基端部に
は、従動ギア４２が固着されている。この従動ギア４２
には、タイミングベルト４４を介して駆動ギア４６が連
結されており、該駆動ギア４６は、前記旋回用スライド
ベース３０に設けられた揺動用モータ４８に連結されて
いる。前記シャフト４０は、この揺動用モータ４８を駆
動することにより回動する。

【００１５】前記シャフト４０の先端部には、コラム５
０が固着されている。コラム５０の側面部には、ガイド
レール５２を介して昇降用スライダ５４がスライド移動
自在に支持されている。前記昇降用スライダ５４は、モ
ータ５６に駆動されて昇降移動し、その側面部には、ア
ーム６０が水平に固着されている。このアーム６０の先
端には、吸着パッド６２が配置されており、前記熱水槽
１６内にセットされたウェーハＷは、この吸着パッド６
２に、その端面中央部を吸着保持される。

【００１６】一方、前記コラム５０の正面部には、倒止
板６４が固着されている。この倒止板６４は、運転時、
前記熱水槽１６内にセットされたウェーハＷの正面に位
置して、ウェーハＷの前倒れを防止する。また、この倒
止板６４には、ウェーハＷと対向する面に３つのギャッ
プセンサ６６Ａ、６６Ｂ、６６Ｃが設置されている。こ
のギャップセンサ６６Ａ〜６６Ｃは、前記ウェーハＷの
端面までの距離を測定することにより、前記吸着パッド
６２から前記ウェーハＷまでの距離と、ウェーハＷの姿
勢（傾き状態）を測定する。

【００１７】前記吸着パッド６２の上方には、吸着パッ
ド６２で剥離したウェーハＷを受け取る受取パッド６８
が配置されている。この受取パッド６８は、Ｌ字状に形
成されたアーム７０の先端にスライド移動自在に支持さ
れたスライダ７２に設けられている。スライダ７２は、
受取用モータ７４に駆動されることにより、前記アーム
７０に沿って移動する。

【００１８】前記アーム７０は、前記旋回用スライドベ
ース３０に軸受７８を介して揺動自在に支持されてい
る。そして、軸受７８に連結されたアーム揺動用モータ
８０を駆動するこにより、揺動する。前記のごとく構成
された剥離装置本体１２の作用は次の通りである。ま
ず、作業者又はロボットが、ワイヤソーで切断されたバ
ッチ状態にあるウェーハＷ、Ｗ、…を熱水槽１６内にセ
ットする。

【００１９】次に、図中右側に位置するスライドベース
２２Ｂが移動し、ウェーハＷの端面が、押板２５によっ
て押さえられる。これと同時に、図中左側に位置するス
ライドベース２２Ａが、所定の測定位置まで移動し、ギ
ャップセンサ６６Ａ〜６６ＣによってウェーハＷの姿勢
（傾き状態）と、吸着パッド６２からウェーハＷまでの
距離が測定される。

【００２０】ウェーハＷの姿勢が測定されると、その測
定結果に基づき吸着パッド６２の傾きが設定される。す
なわち、ウェーハＷの端面と吸着パッド６２とが平行に
なるように、吸着パッド６２の傾きが設定される。吸着
パッド６２の傾きが設定されると、次に、スライドベー
ス２４Ａが、ガイドレール２０に沿って所定量送られ
る。このスライドベース２４Ａの送り量は、前記ギャッ
プセンサ６４Ａ〜６４Ｃで測定された、吸着パッド６２
からウェーハＷの端面までの距離分だけ送られ、この結
果、吸着パッド６２がウェーハＷの端面に接触する。

【００２１】吸着パッド６２が、ウェーハＷの端面に接
触すると、吸着パッド６２が駆動され、ウェーハＷの端
面が吸着パッド６２によって吸着保持される。そして、
この状態で吸着パッド６２が揺動駆動される。すなわ
ち、揺動用モータ４８が駆動されてコラム５０が揺動
し、この結果、吸着パッド６２が揺動される。ここで、
前記ウェーハＷとスライスベースＳの接着部は、熱水中
に浸漬されているので、その接着部分は熱軟化してい
る。このため、前記スライスベースＳとの接着部に揺動
が加えられると、ウェーハＷは、スライスベースＳから
剥離する。

【００２２】前記ウェーハＷがスライスベースＳから剥
離されると、前記吸着パッド６２は、剥離したウェーハ
Ｗを保持した状態で上昇する。上昇した吸着パッド６２
は、上方に位置する受取パッド６８と互いの軸心が一致
する位置まで上昇すると停止し、その吸着保持したウェ
ーハＷを受取パッド６８に受け渡す。

【００２３】ウェーハＷの受け渡しが終了すると、吸着
パッド６２は、昇降用モータ５６に駆動されて下降す
る。前記吸着パッド６２が下降すると、アーム揺動用モ
ータ８０が駆動され、アーム７０が前方に向けて９０°
回転する。この結果、受取パッド６８に保持されたウェ
ーハＷも前方に９０°回転するが、このウェーハＷが９
０°回転した先には、ウェーハＷを次工程に搬送する搬
送台車（図示せず）が位置しており、この搬送台車にウ
ェーハＷは受け渡される。

【００２４】ウェーハＷの受け渡しが終了したアーム７
０は、再びアーム揺動用モータ８０が駆動されて、元の
直立状態に復帰する。以上の工程で１枚目のウェーハＷ
の剥離作業が終了し、以下同様の手順で２枚目以降の剥
離作業を行う。そして、すべてのウェーハＷ、Ｗ、…が
スライスベースＳから剥離されたとことで作業は終了す
る。

【００２５】前記剥離装置本体１２による剥離作業が終
了すると、熱水槽１６内には、スライスベースＳと、そ
のスライスベースＳが接着されたワークブロックＢが残
されることとなる。一方、この剥離装置本体１２では、
ワイヤソーで切断されたウェーハを順次処理していかな
ければならないので、前記熱水槽１６内に残されたスラ
イスベース付きワークブロックＢは、ウェーハＷ剥離
後、熱水槽１６から取り出さなければならない。

【００２６】この熱水槽１６内に残されたスライスベー
ス付きワークブロックＢを取り出して、スライスベース
剥離装置１０外に搬出する装置が搬出装置１４であり、
次のように構成される。図１に示すように、前記搬出装
置１４は、前記熱水槽１６内からスライスベース付きワ
ークブロックＢを取り出す取出装置１００と、その取出
装置１００によって取り出されたスライスベース付きワ
ークブロックＢを受け取り、スライスベース剥離装置１
０外に搬送するローラーコンベヤ１３０とから構成され
ている。

【００２７】まず、取出装置１００の構成について説明
する。図３、図４は、それぞれ取出装置１００の正面図
と側面図である。同図に示すように、前記取出装置１０
０は、垂直な支柱１０２を有しており、該支柱１０２
は、前記熱水槽１６とローラコンベヤ１３０との略中間
位置に立設されている。この支柱１０２の上端部には、
断面コ字状に形成された本体フレーム１０４が固着され
ており、該本体フレーム１０４の先端部には、一対の回
転駒１０６Ａ、１０６Ｂが、軸受１０８Ａ、１０８Ｂを
介して回動自在に支持されている。

【００２８】前記回転駒１０６Ａ、１０６Ｂには、それ
ぞれ水平なアーム１１０Ａ、１１０Ｂが固着されてお
り、該アーム１１０Ａ、１１０Ｂの先端部には、同様に
回転駒１１２Ａ、１１２Ｂが固着されている。このアー
ム１１０Ａ、１１０Ｂの先端部に固着された回転駒１１
２Ａ、１１２Ｂは、断面コ字状に形成された揺動フレー
ム１１４に軸受１１６Ａ、１１６Ｂを介して回動自在に
支持されており、該軸受１１６Ａ、１１６Ｂは、前記本
体フレーム１０４に設けられた軸受１０８Ａ、１０８Ｂ
と同じ間隔で設置されている。

【００２９】以上のように配設されたアーム１１０Ａ、
１１０Ｂは、平行リンク機構を構成し、この結果、前記
揺動フレーム１１４は、前記アーム１１０Ａ、１１０Ｂ
を揺動させることにより、その姿勢を一定に維持した状
態で揺動する。なお、前記アーム１１０Ａ、１１０Ｂの
揺動は、前記本体フレーム１０４に設けれた正逆回転可
能なモータ１１８を駆動することにより、次のように行
う。

【００３０】図５に示すように、前記本体フレーム１０
４に設けられたモータ１１８のスピンドル１１８Ａに
は、駆動ギア１２０が固着されている。この駆動ギア１
２０は、前記回転駒１０６Ａに固着された従動ギア１２
２に歯合されている。したがって、前記モータ１８を駆
動することにより、前記回転駒１０６Ａは回転する。こ
こで、前記アーム１１０Ａは、前記回転駒１０６Ａに固
着されているので、前記回転駒１０６Ａが回転すると、
それに伴って回転する。したがって、前記回転駒１０６
Ａを回動させれば、前記アーム１１０Ａは揺動する。

【００３１】一方、前記アーム１１０Ａとアーム１１０
Ｂは、平行リンクを構成しているので、一方のアーム１
１０Ａが揺動することにより、他方のアーム１０６Ｂも
同時に揺動する。この結果、前記揺動フレーム１１４
は、その姿勢を一定に維持した状態で揺動する。以上の
ように駆動されて揺動する揺動フレーム１１４は、図１
に示すように、前記アーム１１０Ａ、１１０Ｂを図中下
側に振ることにより、熱水槽１６の上方（受取位置）に
位置し、図中上側に振ることにより、ローラコンベアＡ
ＡＡの上方（受渡位置）に位置する。

【００３２】前記揺動フレーム１１４の下部には、図３
及び図４に示すように、鉛直下向きにシリンダー１２４
が固定されている。このシリンダー１２４のロッド先端
部には、エアチャック１２６が設けられており、該エア
チャック１２６により前記スライスベース付きワークブ
ロックが把持される。なお、前記エアチャック１２６
は、図示しない駆動手段に駆動されて開閉する一対の爪
１２８、１２８を有しており、該爪１２８、１２８を開
閉することにより、前記スライスベース付きワークブロ
ックＢを把持又は解放する。

【００３３】取出装置１００は、前記のごとく構成さ
れ、次に、ローラコンベア１３０の構成について説明す
る。図１に示すように、前記ローラコンベア１３０は、
前記熱水槽１６と平行して配設されている。このローラ
コンベア１３０は、チェーン駆動方式のフリーローラコ
ンベアであり、無端状に連結された複数のローラ１３
２、１３２、…を図示しないチェーンで搬送方向に走行
させることにより、該ローラ１３２、１３２、…上に載
置されたスライスベース付きワークブロックＢを搬送す
る。

【００３４】ところで、前記各ローラ１３２、１３２、
…は、回動自在に支持されており、このため、スライス
ベース付きワークブロックＢは、前記ローラコンベア１
３０によって、次のように搬送される。前記ローラコン
ベア１３０の搬送方向の終端部には、ストッパー１３４
が設けられている。したがって、前記ローラコンベア１
３０上を搬送されてきたスライスベース付きワークブロ
ックＢは、ローラコンベア１３０の終端部において、前
記ストッパー１３４に当接することとなる。

【００３５】ここで、前記ローラ１３２、１３２、…
は、回動自在に支持されているので、そのローラ１３
２、１３２、…の駆動を停止しなくても、ローラ１３
２、１３２、…がスライスベース付きワークブロックＢ
の下面を滑り、ローラ１３２、１３２、…のみが走行し
することになる。この結果、スライスベース付きワーク
ブロックＢは、ローラコンベア１３０の終端位置に停止
することとなる。

【００３６】このため、前記ローラコンベア１３０で
は、搬送されてきたスライスベース付きワークブロック
Ｂを、該ローラーコンベア１３０上から除去しなくて
も、次に熱水槽１６から取り出されたスライスベース付
きワークブロックＢを搬送することができる。すなわ
ち、前記スライスベース付きワークブロックＢが、ロー
ラコンベア１３０上に載置された状態でも、ローラ１３
２、１３２、…は、走行することができるので、次に取
り出されたスライスベース付きワークブロックＢの搬送
を行うことができる。そして、その次に取り出されたス
ライスベース付きワークブロックＢは、前記ローラコン
ベア１３０に載置されることにより搬送され、ローラコ
ンベア１３０の終端部に位置している最初に取り出され
たスライスベース付きワークブロックＢに当接し、その
位置で停止する。

【００３７】このように、本実施の形態のローラコンベ
ア１３０では、取り出したスライスベース付きワークブ
ロックＢの搬送と同時に、ストックもすることができ
る。前記ローラコンベア１３０は、前記のごとく構成さ
れる。そして、前述した取出装置１００と合わせた搬出
装置１４の作用は、次の通りである。前述したように、
剥離装置装置１２によってウェーハＷ、Ｗ、…が剥離さ
れると、熱水層１６内には、スライスベース付きワーク
ブロックＢのみが残されることとなる。

【００３８】そこで、前記ウェーハＷ、Ｗ、…の剥離作
業が終了すると、図１及び図３に二点破線で示すよう
に、取出装置１００のアーム１１０Ａ、１１０Ｂが熱水
槽１６に向かって揺動し（図１では下方向、図３では右
方向に揺動）、揺動フレーム１１４が受取位置、すなわ
ち熱水槽１６の上方に位置する。前記揺動フレーム１１
４が受取位置に位置すると、シリンダー１２４が駆動さ
れ、そのロッドの先端に設けられたチャック１２６が下
降する。これと同時に、前記チャック１２６の爪１２
８、１２８も駆動されて、爪１２８と爪１２８の間隔が
開く。

【００３９】前記シリンダー１２４は、前記チャック１
２６が所定の位置、すなわち、熱水槽１６内のスライス
ベースＳの位置まで下降すると、その駆動が停止され
る。この結果、前記チャック１３６の爪１２８と爪１２
８との間に、前記熱水槽１６内に浸漬されたワークブロ
ックＢが位置する。前記チャック１２６の爪１２８、１
２８は、この状態で駆動され、これにより、熱水槽１６
内のワークブロックＳが爪１２８、１２８に把持され
る。

【００４０】前記ワークブロックＢがチャック１２６の
爪１２８、１２８に把持されると、前記シリンダー１２
４が再び駆動され、そのロッドが収縮する。この結果、
前記チャック１２６が上昇し、熱水槽１６内からスライ
スベース付きワークブロックＢが取り出される。前記シ
リンダー１２４は、前記チャック１２６が所定量上昇す
ると、その駆動が停止される。そして、このシリンダー
１２４の駆動が停止されると、前記アーム１１０Ａ、１
１０Ｂがローラコンベア１３０に向かって揺動する（図
１では上方向、図３では左方向に揺動する）。この結
果、前記揺動フレーム１１４が受取位置から受渡位置、
すなわちローラコンベア１３０上方に移動する。

【００４１】前記揺動フレーム１１４が受渡位置に位置
すると、シリンダー１２４が駆動され、そのロッドの先
端に設けられたチャック１２６が下降する。シリンダー
１２４は、前記チャック１２６が所定の位置、すなわ
ち、前記チャック１２６で把持したスライスベース付き
ワークブロックＢがローラコンベア１３０上に位置する
と、その駆動が停止される。この結果、前記チャック１
３６に把持されたスライスベース付きワークブロックＢ
がローラコンベア１３０上に載置される。

【００４２】前記スライスベース付きワークブロックＢ
がローラコンベア１３０上に載置されると、前記ワーク
ブロックＢを把持していたチャック１２６の爪１２８、
１２８が駆動され、爪１２８と爪１２８の間隔が拡が
る。この結果、前記爪１２８、１２８に把持されていた
ワークブロックＢは、チャック１２６から解放される。
前記チャック１２６がワークブロックＢを解放すると、
これと同時に、前記シリンダー１２４が駆動され、チャ
ック１２６が上昇する。そして、そのチャック１２６
が、所定の位置まで上昇すると、前記シリンダー１２４
は、その駆動が停止される。これと同時に、前記アーム
１１０Ａ、１１０Ｂが揺動し（図１では下方向、図３で
は右方向に揺動）、図１及び図３に実線で示す待機位
置、すなわち、熱水槽１６とローラコンベア１３０の中
間位置に位置する。

【００４３】一方、前記スライスベース付きワークブロ
ックＢが載置されたローラコンベア１３０は、前記チャ
ック１２６の上昇とともに駆動され、これにより、前記
スライスベース付きワークブロックＢＳは、前記ローラ
コンベア１３０上を搬送される。そして、このローラコ
ンベア１３０に搬送されるスライスベース付きワークブ
ロックＢは、前記ローラコンベア１３０の終端部まで搬
送されると、前記ローラコンベア１３０の終端部に位置
したストッパー１３４に当接し、これにより、その移動
が停止する。

【００４４】前記スライスベース付きワークブロックＢ
の移動の停止とともに、前記ローラコンベア１３０の駆
動も停止され、これにより、一連の搬出作業が終了す
る。以上のようにして、熱水槽１６内に残されたスライ
スベース付きワークブロックＢの搬出作業は終了する
が、この搬出作業が終了次第、次にワイヤソーで切断さ
れたウェーハＷ、Ｗ、…の剥離作業が開始される。そし
て、その剥離作業が終了次第、前記同様の手順で、熱水
槽１６内に残されたスライスベース付きワークブロック
Ｂの搬出が行われる。

【００４５】このように、順次、ウェーハＷの剥離とス
ライスベース付きワークブロックＢの搬出を繰り返すこ
とにより、前記ローラコンベア１３０上には、取り出さ
れたスライスベース付きワークブロックＢが溜まってく
る。このため、所定数量のスライスベース付きワークブ
ロックＢが、ローラコンベア１３０上に溜まった段階
で、作業者が、そのローラコンベア１３０上に載置され
たスライスベース付きワークブロックＢを取り除く必要
がある。

【００４６】しかしながら、この作業者がローラコンベ
ア１３０からスライスベースＳ付きワークブロックＢを
取り除く際には、スライスベース付きワークブロックＢ
を熱水槽１６から取り出してから十分に時間が経過して
いるため、スライスベース付きワークブロックＢは十分
に冷却されている。このため、作業者は、火傷等の危険
を伴うことなく除去作業を行うことができる。

【００４７】なお、この作業者による、スライスベース
付きワークブロックＢの除去作業は、前記搬出装置１４
でスライスベース付きワークブロックを１本取り出すご
とに行ってもよいが、この場合においても、熱水槽１６
から取り出して、ローラコンベア１３０上に載置してお
くことにより、十分冷却され、取り出しに危険を伴うこ
とはない。

【００４８】このように、本実施の形態のスライスベー
ス剥離装置によれば、ウェーハＷ、Ｗ、…剥離後に熱水
槽１６内に残されたスライスベース付きワークブロック
Ｂを自動的に取り出し、装置外に搬出することができ
る。これにより、効率的な剥離作業を行うことができ
る。また、熱水槽１６から取り出したスライスベース付
きワークブロックＢをローラコンベア１３０で搬送し、
そのローラコンベア１３０上に取り出したスライスベー
スを複数本まとめて溜めておくことができるようにした
ことにより、作業者によるローラコンベア１３０上から
のスライスベース付きワークブロックＢの除去作業をま
とめて行うことができる。これにより、より効率的な剥
離作業を行うことができる。

【００４９】また、このように複数本まとめて処理する
ことにより、そのスライスベース付きワークブロックＢ
を溜めておく過程で熱水槽１６内から取り出されたスラ
イスベース付きワークブロックＢが、十分に冷却される
ため、除去作業時に作業者が火傷する等の危険もない。
なお、本実施の形態では、熱水槽１６内から取り出した
スライスベース付きワークブロックＢをローラコンベア
１３０に移動させる手段としてアーム１１０Ａ、１１０
Ｂで構成される平行リンク機構により行っていたが、図
５に示すようにしてもよい。

【００５０】すなわち、熱水槽１６及びローラコンベア
１３０の上方に水平なフレーム１４０を配設し、そのフ
レーム１４０に沿ってガイドレール１４２を敷設する。
そして、そのガイドレール１４２上に自走可能なスライ
ダー１４４を設け、該スライダー１４４にシリンダー１
２４を設ける。これにより、チャック１２６は、前記熱
水槽１６とローラコンベア１３０との間を往復走行で
き、熱水槽１６からローラコンベア１３０へのスライス
ベース付きワークブロックＢの移送が可能になる。

【００５１】次に、本発明に係るスライスベース剥離装
置の第２の実施の形態について説明する。前述したよう
にスライスベースＳは、ワークブロックＢに接着剤を介
して取り付けられているが、このワークブロックＢは、
前記熱水槽１６から取り除いたのち、再利用するために
スライスベースＳを分離する必要がある。

【００５２】この分離作業は、前記スライスベースＳか
らウェーハＷ、Ｗ、…を剥離した時と同様に、スライス
ベースＳとワークブロックＢを熱水中に浸漬させ、その
接着部を熱軟化させることにより行っている。ここで、
前記スライスベース付きワークブロックＢは、前記熱水
槽１６から取り出した直後は十分に熱せられているの
で、この段階で分離作業を行えば、容易にスライスベー
スＳとワークブロックＢとを分離することができる。

【００５３】そこで、第２の実施の形態のスライスベー
ス剥離装置では、熱水槽１６とローラコンベア１３０と
の間に、図７に示すような分離装置１５０を設け、ここ
でスライスベースＳとワークブロックＢとを分離したの
ち、ワークブロックＢだけをローラコンベア１３０で搬
出するようにしている。図７に示すように、前記分離装
置１５０は、スライスベースＳの分離を行う分離装置本
体１５２と、その分離装置１５２でワークブロックＢか
ら分離されたスライスベースＳを回収するスライスベー
ス回収ケース１５４とから構成されている。

【００５４】前記分離装置本体１５２は、前記スライス
ベース付きワークブロックＢが載置されるステージ１５
６を有している。前記ステージ１５６上面には、ステー
ジ１５６の長手方向に沿って凸状の段部１５６Ａが形成
されている。そして、この段部１５６Ａと対抗する位置
には、段部１５６Ａに向かって進退移動自在なロック部
材１５８が設けられている。

【００５５】前記ロック部材１５８には、前記ステージ
１５６の下面に設けられたロックシリンダー１６０が連
結されている。したがって、前記ロック部材１５８は、
このロックシリンダー１６０を駆動することにより、前
記段部１５６Ａに向かって進退移動する。前記取出装置
１００で搬送されてきたスライスベース付きワークブロ
ックＢは、前記ロック部材１５８と段部１５６Ａとの間
に載置される。そして、載置されたスライスベース付き
ワークブロックＢは、前記ロック部材１５８と段部１５
６Ａに挟持され、ステージ１５６上に固定される。

【００５６】前記ステージ１５６の右側部には、ステー
ジ１５６に対して垂直な側壁１５６Ｂが形成されてい
る。この側壁１５６には、押圧シリンダー１６２が設け
られており、該押圧シリンダー１６２のロッドの先端部
には、押圧部材１６４が設けられている。前記押圧部材
１６４は、前記押圧シリンダー１６２を駆動することに
より、前記ステージ１５６の上面に対して平行に移動す
る。そして、前記押圧シリンダー１６２を駆動し、その
ロッドを伸張させることにより、前記押圧部材１６４
は、前記ステージ１５６上に固定されたスライスベース
Ｓの側面を押圧する。

【００５７】一方、前記押圧部材１６４に押圧されたス
ライスベースＳは、前記熱水槽１６から取り出された直
後なので、前記ワークブロックＢとの接着部が熱軟化し
ており、容易にワークブロックＢから分離される。前記
ワークブロックＢから分離されたスライスベースＳは、
前記押圧部材１６４が押圧する方向に向かって移動する
が、その移動した先にスライスベース回収ケース１５４
が設けられている。したがって、前記押圧部材１６４に
押圧されて、前記ワークブロックＢから剥離されたスラ
イスベースＳは、そのまま前記押圧部材１６４に押圧さ
れて移動し、スライスベース回収ケース１５４に回収さ
れる。

【００５８】また、この剥離されたスライスベースＳが
前記スライスベース回収ケース１５４にスムーズに回収
されるように、前記ステージ１５６の左側部には、傾斜
面１５６Ｃが形成されている。前記のごとく構成された
本発明に係るスライスベース剥離装置の第２の実施の形
態の作用は次の通りである。

【００５９】前記第１の実施の形態と同様に、ウェーハ
Ｗ、Ｗ、…の剥離が終了すると、取出装置１００によっ
てスライスベース付きワークブロックＢが熱水槽１６か
ら取り出される。この取出装置１００によって取り出さ
れたスライスベース付きワークブロックＢは、まず、分
離装置１５０に運ばれ、ステージ１５６上のロック部材
１５８と段部１５６Ａとの間に載置される。

【００６０】次に、前記ステージ１５６上にスライスベ
ース付きワークブロックＢが載置されると、ロックシリ
ンダー１６０が駆動され、そのロッドの先端部に設けら
れたロック部材１５８が、段部１５６Ａに向かって移動
する。この結果、ステージ１５６上に載置されたスライ
スベース付きワークブロックＢは、ロック部材１５８と
段部１５６Ａとに挟持され、ステージ１５６上に固定さ
れる。

【００６１】前記スライスベース付きワークブロックＢ
が固定されると、次に、押圧シリンダー１６２が駆動さ
れ、そのロッドの先端部に設けられた押圧部材１６４
が、前記ステージ１５６上に固定されたスライドベース
Ｓに向かって移動する。この結果、前記スライスベース
Ｓは、前記押圧部材１６４に押圧される。ここで、前記
スライスベース付きワークブロックＢは、前記熱水槽１
６から取り出した直後であるので、加熱された状態にあ
り、その接着部は熱軟化している。このため、前記スラ
イスベースＳは、前記押圧部材１６４に押圧されること
により、ワークブロックＢから分離される。そして、前
記ワークブロックＢから分離されたスライスベースＳ
は、前記押圧部材１６４に押圧された方向に移動し、ワ
ークブロックＢから落下する。

【００６２】前記ワークブロックＢから落下したスライ
スベースＳは、ステージ１５６の左側部に形成された傾
斜面を滑り落ち、スライスベース回収ケース１５４内に
回収される。前記スライスベースＳが分離されると、前
記押圧部材１６４は、側壁１５６Ｂに向かって退避し、
これと同時に、ロック部材１５８によるワークブロック
Ｂのロックも解除される。

【００６３】以上の工程でスライスベースＳの分離作業
は終了し、このスライスベースＳが分離されたワークブ
ロックＢを、取出装置１００が、分離装置１５０から取
り出し、ローラコンベア１３０に搬送する。ローラコン
ベア１３０は、このスライスベースＳが分離されたワー
クブロックＢをスライスベース剥離装置１０外に搬出す
る。

【００６４】このように、本実施の形態のスライスベー
ス剥離装置では、ワークブロックの搬出工程で、スライ
スベースＳの分離を行っているため、熱水槽１６から取
り出した後、別途、分離装置を用いて分離作業を行う必
要がないので、極めて効率的である。また、熱水槽１６
から取り出した直後の加熱状態で、分離作業を行うた
め、効率的に分離作業を行うことができる。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェーハ剥離後に、熱水槽内に残されたスライスベース
付ワークブロックを自動で搬出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスライスベース剥離装置の実施の
形態の全体構成を示す平面図

【図２】剥離装置本体の斜視図

【図３】取出装置の正面図

【図４】取出装置の側面図

【図５】図４のＡ−Ａ断面図

【図６】取出装置の他の実施の形態

【図７】分離装置の側面部分断面図

【符号の説明】

１０…スライスベース剥離装置 １２…剥離装置本体 １４…搬出装置 １６…熱水槽 １００…取出装置 １０４…本体フレーム １１０Ａ、１１０Ｂ…アーム １１４…揺動フレーム １２４…シリンダ １２５…チャック １３０…ローラコンベア １５０…分離装置 Ｂ…ワークブロック Ｓ…スライスベース Ｗ…ウェーハ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切断の終了したウェーハを熱水中に浸漬
   させ、該ウェーハをスライスベースから剥離するスライ
   スベース剥離装置において、 ウェーハ剥離後に、スライスベースが接着されたワーク
   ブロックを熱水槽から取り出す取出手段と、 前記取出手段によって前記熱水槽から取り出したワーク
   ブロックを受け取るとともに、その受け取ったワークブ
   ロックを前記スライスベース剥離装置外に搬送する搬送
   手段と、を備えたことを特徴とするスライスベース剥離
   装置。
2. 【請求項２】 切断の終了したウェーハを熱水中に浸漬
   させ、該ウェーハをスライスベースから剥離するスライ
   スベース剥離装置において、 ウェーハ剥離後に、スライスベースが接着されたワーク
   ブロックを熱水槽から取り出す取出手段と、 前記取出手段によって前記熱水槽から取り出したワーク
   ブロックからスライスベースを分離する分離手段と、 前記スライスベースが分離されたワークブロックを前記
   スライスベース剥離装置外に搬送する搬送手段と、を備
   えたことを特徴とするスライスベース剥離装置。
3. 【請求項３】 前記取出手段は、 前記ワークブロックを把持する把持手段と、 前記把持手段を昇降させる昇降手段と、 前記昇降手段を、前記ワークブロックの取出位置と受渡
   位置に移動させる移動手段と、 からなることを特徴とする請求項１又は２記載のスライ
   スベース剥離装置。
4. 【請求項４】 前記搬送手段は、ローラーコンベヤであ
   ることを特徴とする請求項１又は２記載のスライスベー
   ス剥離装置。
5. 【請求項５】 前期分離手段は、 前記ワークブロックが載置されるステージと、 前記ステージに載置されたワークブロックを固定するロ
   ック手段と、 前記ワークブロックに接着されたスライスベースを押圧
   して分離する押圧手段と、 前記ワークブロックから分離されたスライスベースを回
   収するケースと、からなることを特徴とする請求項２記
   載のスライスベース剥離装置。