JPH1019795A - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置Info
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- JPH1019795A JPH1019795A JP17523596A JP17523596A JPH1019795A JP H1019795 A JPH1019795 A JP H1019795A JP 17523596 A JP17523596 A JP 17523596A JP 17523596 A JP17523596 A JP 17523596A JP H1019795 A JPH1019795 A JP H1019795A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品等を鮮明に撮像することのできる撮
像装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による撮像装置は、撮像位置Pに
対象物Eを配置させたときにこの対象物Eからの反射光
を反射させる反射面18を有する反射手段15と、この
反射光を受光させることにより対象物Eを撮像する撮像
手段8,11とを備えた撮像装置10において、反射手
段15の反射面18の一部に設けられると共に入射する
光を特定の比率で透過/反射させる光量分割部18a
と、撮像位置Pと光量分割部18aとを結ぶ軸線A1
と、光量分割部18aを通る出射光軸線A5とを一直線
状に配置させ、光量分割部18aを透過する出射光を対
象物Eに照射する同軸落射照明用光源19とを備えたこ
とを特徴としている。
像装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明による撮像装置は、撮像位置Pに
対象物Eを配置させたときにこの対象物Eからの反射光
を反射させる反射面18を有する反射手段15と、この
反射光を受光させることにより対象物Eを撮像する撮像
手段8,11とを備えた撮像装置10において、反射手
段15の反射面18の一部に設けられると共に入射する
光を特定の比率で透過/反射させる光量分割部18a
と、撮像位置Pと光量分割部18aとを結ぶ軸線A1
と、光量分割部18aを通る出射光軸線A5とを一直線
状に配置させ、光量分割部18aを透過する出射光を対
象物Eに照射する同軸落射照明用光源19とを備えたこ
とを特徴としている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品実
装装置において電子部品の位置検出や欠損確認のため等
に用いられる撮像装置に関する。
装装置において電子部品の位置検出や欠損確認のため等
に用いられる撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からある撮像装置として、特開平4
−37099号公報に開示されるものがある。この撮像
装置は、吸着ノズルで上面に吸着させた電子部品を、電
子部品の斜め下方から照明させて撮像させるもので、電
子部品の下方に配置されたカメラで構成されている。一
方、電子部品の中には、部品原価を低減させるために、
電子部品のバリ等を取り除くためのブラスト工程が省略
されるものがある。このようにブラスト工程を省略させ
た電子部品は、その光沢面(例えばリード表面)に凹凸
が形成されず、表面が鏡面状になる。
−37099号公報に開示されるものがある。この撮像
装置は、吸着ノズルで上面に吸着させた電子部品を、電
子部品の斜め下方から照明させて撮像させるもので、電
子部品の下方に配置されたカメラで構成されている。一
方、電子部品の中には、部品原価を低減させるために、
電子部品のバリ等を取り除くためのブラスト工程が省略
されるものがある。このようにブラスト工程を省略させ
た電子部品は、その光沢面(例えばリード表面)に凹凸
が形成されず、表面が鏡面状になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た撮像装置によりブラスト工程を省略させた電子部品を
撮像する場合、この電子部品の斜め下方から照明された
光は、鏡面状となった光沢面で鏡面反射されてしまう。
このため、照明光の照明方向に対する光沢面の角度によ
っては、電子部品の下方に反射される光の光量が少なく
なり、カメラで十分な光量が受光されなくなり、光沢面
の像が見え難くなる場合がある。
た撮像装置によりブラスト工程を省略させた電子部品を
撮像する場合、この電子部品の斜め下方から照明された
光は、鏡面状となった光沢面で鏡面反射されてしまう。
このため、照明光の照明方向に対する光沢面の角度によ
っては、電子部品の下方に反射される光の光量が少なく
なり、カメラで十分な光量が受光されなくなり、光沢面
の像が見え難くなる場合がある。
【0004】本発明は、前述した問題に鑑みてなされた
もので、電子部品等を鮮明に撮像することのできる撮像
装置を提供することを目的とする。
もので、電子部品等を鮮明に撮像することのできる撮像
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明による撮像装置
は、撮像位置に対象物を配置させたときに、この対象物
からの反射光を反射させる反射面を有する反射手段と、
この反射光を受光させることにより対象物を撮像する撮
像手段とを備えた撮像装置において、反射手段の反射面
の一部に設けられると共に入射する光を特定の比率で透
過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量分割部と
を結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線とを一直線
状に配置させ、光量分割部を透過する出射光を対象物に
照射する同軸落射照明用光源とを備えたことを特徴とし
ている。
は、撮像位置に対象物を配置させたときに、この対象物
からの反射光を反射させる反射面を有する反射手段と、
この反射光を受光させることにより対象物を撮像する撮
像手段とを備えた撮像装置において、反射手段の反射面
の一部に設けられると共に入射する光を特定の比率で透
過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量分割部と
を結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線とを一直線
状に配置させ、光量分割部を透過する出射光を対象物に
照射する同軸落射照明用光源とを備えたことを特徴とし
ている。
【0006】この撮像装置によれば、対象物を撮像位置
に配置させた場合、同軸落射照明用光源からの出射光
は、反射手段の反射面上の光量分割部に入射し、この光
量分割部で特定の光量比率で透過/反射され、光量分割
部を透過する光が撮像位置に配置させた対象物に照射さ
れる。このとき、対象物で反射された反射光は、反射手
段の反射面に入射し、光量分割部で透過/反射され、光
量分割部で反射された反射光が撮像手段で受光される。
なお、この撮像装置は、光沢面をもった対象物を、ブラ
スト工程によって凹凸状に形成したものに適用される
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物に有効である。
に配置させた場合、同軸落射照明用光源からの出射光
は、反射手段の反射面上の光量分割部に入射し、この光
量分割部で特定の光量比率で透過/反射され、光量分割
部を透過する光が撮像位置に配置させた対象物に照射さ
れる。このとき、対象物で反射された反射光は、反射手
段の反射面に入射し、光量分割部で透過/反射され、光
量分割部で反射された反射光が撮像手段で受光される。
なお、この撮像装置は、光沢面をもった対象物を、ブラ
スト工程によって凹凸状に形成したものに適用される
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物に有効である。
【0007】また、同軸落射照明用光源は、前記同軸落
射照明用光源像が光路内に臨まない位置に配置されてい
ることが好ましい。この撮像装置によれば、同軸落射照
明用光源像が光路内に臨まないので、撮像手段により同
軸落射照明用光源が撮像されることがなくなる。
射照明用光源像が光路内に臨まない位置に配置されてい
ることが好ましい。この撮像装置によれば、同軸落射照
明用光源像が光路内に臨まないので、撮像手段により同
軸落射照明用光源が撮像されることがなくなる。
【0008】また、反射手段の同軸落射照明用光源側
に、同軸落射照明用光源から入射する光を拡散させる拡
散部を形成させることが好ましい。この撮像装置によれ
ば、同軸落射照明用光源から出射した光は、反射手段の
拡散部に入射し、この拡散部でランダムな方向に拡散さ
れる。そして、この拡散光は、拡散部からほぼ均一な光
強度で出射され、光量分割部を通って対象物にほぼ均一
に照射される。このとき、同軸落射照明用光源から出射
される光が空間的に不均一な光強度分布をもっている場
合でも、この光は、拡散部で拡散されて対象物にほぼ均
一に照射されるので、対象物を鮮明に撮像することがで
きる。
に、同軸落射照明用光源から入射する光を拡散させる拡
散部を形成させることが好ましい。この撮像装置によれ
ば、同軸落射照明用光源から出射した光は、反射手段の
拡散部に入射し、この拡散部でランダムな方向に拡散さ
れる。そして、この拡散光は、拡散部からほぼ均一な光
強度で出射され、光量分割部を通って対象物にほぼ均一
に照射される。このとき、同軸落射照明用光源から出射
される光が空間的に不均一な光強度分布をもっている場
合でも、この光は、拡散部で拡散されて対象物にほぼ均
一に照射されるので、対象物を鮮明に撮像することがで
きる。
【0009】また、反射手段の同軸落射照明用光源側に
凹部を形成させて、この凹部により同軸落射照明用光源
から入射した光を拡散させることが好ましい。この撮像
装置によれば、同軸落射照明用光源から出射された光が
反射手段の凹部に入射すると、この光は凹部で屈折され
て反射手段に入射し、撮像位置と同軸落射照明用光源と
を結ぶ軸線に対して外方に拡散させられる。そして、こ
の光は、光量分割部を通って広範囲にわたって対象物に
照射される。この結果、対象物を広範囲にわたって撮像
することができる。
凹部を形成させて、この凹部により同軸落射照明用光源
から入射した光を拡散させることが好ましい。この撮像
装置によれば、同軸落射照明用光源から出射された光が
反射手段の凹部に入射すると、この光は凹部で屈折され
て反射手段に入射し、撮像位置と同軸落射照明用光源と
を結ぶ軸線に対して外方に拡散させられる。そして、こ
の光は、光量分割部を通って広範囲にわたって対象物に
照射される。この結果、対象物を広範囲にわたって撮像
することができる。
【0010】また、反射手段の同軸落射照明用光源側に
凸部を形成させて、この凸部により同軸落射照明用光源
から入射した光を集光させることが好ましい。この撮像
装置によれば、同軸落射照明用光源から出射された光が
反射手段の凸部に入射すると、この光は凸部で屈折され
て反射手段に入射し、撮像位置と同軸落射照明用光源と
を結ぶ軸線に対して内方に集束させられる。そして、こ
の光は、光量分割部を通って、対象物の一部に大きい光
強度で照射される。この結果、対象物の一部を鮮明に撮
像することができる。
凸部を形成させて、この凸部により同軸落射照明用光源
から入射した光を集光させることが好ましい。この撮像
装置によれば、同軸落射照明用光源から出射された光が
反射手段の凸部に入射すると、この光は凸部で屈折され
て反射手段に入射し、撮像位置と同軸落射照明用光源と
を結ぶ軸線に対して内方に集束させられる。そして、こ
の光は、光量分割部を通って、対象物の一部に大きい光
強度で照射される。この結果、対象物の一部を鮮明に撮
像することができる。
【0011】更に、前述した撮像装置において、撮像倍
率の異なる複数の結像レンズと、この結像レンズの数に
対応して設けられた複数の撮像手段と、反射手段の反射
面で反射された反射光を各結像レンズに導く複数の結像
レンズ用反射手段とを更に備えることが好ましい。この
撮像装置によれば、反射手段の反射面で反射された光
は、結像レンズ用反射手段によって透過光と反射光とに
分割され、反射光は、特定の撮像倍率をもった結像レン
ズで撮像手段に結像され、透過光は、別の光量分割手段
に向かう。この透過光は、更に別の結像レンズ用反射手
段で光量分割され、分割された反射光は、別の撮像倍率
をもった結像レンズを介して撮像手段に結像され、分割
された透過光は、更にまた別の結像レンズ用反射手段に
向かう。以後、各結像レンズ用反射手段に入射して反射
された光は、撮像倍率の異なる結像レンズにより撮像手
段に結像される。この結果、任意の倍率で対象物を撮像
することができる。
率の異なる複数の結像レンズと、この結像レンズの数に
対応して設けられた複数の撮像手段と、反射手段の反射
面で反射された反射光を各結像レンズに導く複数の結像
レンズ用反射手段とを更に備えることが好ましい。この
撮像装置によれば、反射手段の反射面で反射された光
は、結像レンズ用反射手段によって透過光と反射光とに
分割され、反射光は、特定の撮像倍率をもった結像レン
ズで撮像手段に結像され、透過光は、別の光量分割手段
に向かう。この透過光は、更に別の結像レンズ用反射手
段で光量分割され、分割された反射光は、別の撮像倍率
をもった結像レンズを介して撮像手段に結像され、分割
された透過光は、更にまた別の結像レンズ用反射手段に
向かう。以後、各結像レンズ用反射手段に入射して反射
された光は、撮像倍率の異なる結像レンズにより撮像手
段に結像される。この結果、任意の倍率で対象物を撮像
することができる。
【0012】また、撮像位置と光量分割部とを結ぶ軸線
と、撮像位置を通る出射光軸線とを所定の角度で配置さ
せて、対象物に向けて光を照射する反射照明用光源を更
に備えることが好ましい。この撮像装置によれば、反射
照明用光源から出射した光が、軸線に対して所定の角度
で対象物に照射され、この対象物で反射された光が、反
射手段の反射面で反射される一方、光量分割部で光量分
割されてその一部が反射され、この反射光が撮像手段で
受光される。なお、この撮像装置は、軸線に対して特定
の角度をもった光沢面を有する対象物に特に有効であ
る。この場合、同軸落射照明用光源によって対象物を照
明させれば、対象物の光沢面の軸線に対する角度によら
ず、対象物を鮮明に撮像することができる。
と、撮像位置を通る出射光軸線とを所定の角度で配置さ
せて、対象物に向けて光を照射する反射照明用光源を更
に備えることが好ましい。この撮像装置によれば、反射
照明用光源から出射した光が、軸線に対して所定の角度
で対象物に照射され、この対象物で反射された光が、反
射手段の反射面で反射される一方、光量分割部で光量分
割されてその一部が反射され、この反射光が撮像手段で
受光される。なお、この撮像装置は、軸線に対して特定
の角度をもった光沢面を有する対象物に特に有効であ
る。この場合、同軸落射照明用光源によって対象物を照
明させれば、対象物の光沢面の軸線に対する角度によら
ず、対象物を鮮明に撮像することができる。
【0013】また、本発明による撮像装置は、撮像位置
に対象物を配置させたときに、この対象物からの反射光
を光透過手段で透過させて、この透過光を撮像手段で受
光させることにより対象物を撮像する撮像装置におい
て、光透過手段の一部に設けられると共に、入射する光
を特定の比率で透過/反射させる光量分割部と、撮像位
置と光量分割部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射
光軸線とを特定の角度をもって配置させ、光量分割部で
反射する出射光を対象物に照射する落射照明用光源とを
備えたことを特徴としている。
に対象物を配置させたときに、この対象物からの反射光
を光透過手段で透過させて、この透過光を撮像手段で受
光させることにより対象物を撮像する撮像装置におい
て、光透過手段の一部に設けられると共に、入射する光
を特定の比率で透過/反射させる光量分割部と、撮像位
置と光量分割部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射
光軸線とを特定の角度をもって配置させ、光量分割部で
反射する出射光を対象物に照射する落射照明用光源とを
備えたことを特徴としている。
【0014】この撮像装置によれば、対象物を撮像位置
に配置させた場合、落射照明用光源からの出射光は、出
射光軸線に沿って光透過手段の光量分割部に入射し、光
量分割部で特定の光量比率で透過/反射され、光量分割
部で反射された光が撮像位置に配置させた対象物に照射
され、対象物で反射された反射光は光透過手段に入射す
る。このとき、対象物からの反射光は、光透過手段に入
射する場合には光透過手段を透過し、光量分割部に入射
する場合には、光量分割部で透過/反射され、光量分割
部又は光透過手段を透過する光が撮像手段で受光され
る。なお、この撮像装置は、光沢面をもった対象物を、
ブラスト工程によって凹凸状に形成したものに適用され
るが、特に、光沢面を滑らかにした対象物に有効であ
る。
に配置させた場合、落射照明用光源からの出射光は、出
射光軸線に沿って光透過手段の光量分割部に入射し、光
量分割部で特定の光量比率で透過/反射され、光量分割
部で反射された光が撮像位置に配置させた対象物に照射
され、対象物で反射された反射光は光透過手段に入射す
る。このとき、対象物からの反射光は、光透過手段に入
射する場合には光透過手段を透過し、光量分割部に入射
する場合には、光量分割部で透過/反射され、光量分割
部又は光透過手段を透過する光が撮像手段で受光され
る。なお、この撮像装置は、光沢面をもった対象物を、
ブラスト工程によって凹凸状に形成したものに適用され
るが、特に、光沢面を滑らかにした対象物に有効であ
る。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による撮
像装置の第1実施形態について詳細に説明する。
像装置の第1実施形態について詳細に説明する。
【0016】図1および図2に示すように、撮像装置1
0は、細長い箱型の基台2を有し、この基台2の一端に
は、その上面からほぼ垂直方向に延びる2本の円筒部
3,4が並設されている。円筒部3の内部には高倍率の
結像レンズ5が収納され、円筒部3の上端に設けたボッ
クス部7の内部には、撮像手段としてのCCD固体撮像
素子8(以下、撮像素子という)が設けられている。ま
た、円筒部4の内部には、低倍率の結像レンズ6が収納
され、円筒部4の上端に設けたボックス部9の内部に
は、撮像素子11が設けられている。
0は、細長い箱型の基台2を有し、この基台2の一端に
は、その上面からほぼ垂直方向に延びる2本の円筒部
3,4が並設されている。円筒部3の内部には高倍率の
結像レンズ5が収納され、円筒部3の上端に設けたボッ
クス部7の内部には、撮像手段としてのCCD固体撮像
素子8(以下、撮像素子という)が設けられている。ま
た、円筒部4の内部には、低倍率の結像レンズ6が収納
され、円筒部4の上端に設けたボックス部9の内部に
は、撮像素子11が設けられている。
【0017】また、基台2の他端には、その上面に枠1
2が設けられ、この枠12の内側に形成された開口部1
3の上方には、撮像対象となる電子部品Eが送り込まれ
る。すなわち、電子部品Eは、吸着ノズル1によって開
口部13の上方の特定位置(以下、撮像位置Pという)
で静止させられる。なお、この吸着ノズル1の上部には
透過照明用光源33が設けられ、この透過照明用光源3
3は、吸着ノズル1により吸着された電子部品Eを上方
から照明し、電子部品Eのシルエットを形成させる。透
過照明用光源33は、主として大きい電子部品Eを撮像
する場合に使用される。
2が設けられ、この枠12の内側に形成された開口部1
3の上方には、撮像対象となる電子部品Eが送り込まれ
る。すなわち、電子部品Eは、吸着ノズル1によって開
口部13の上方の特定位置(以下、撮像位置Pという)
で静止させられる。なお、この吸着ノズル1の上部には
透過照明用光源33が設けられ、この透過照明用光源3
3は、吸着ノズル1により吸着された電子部品Eを上方
から照明し、電子部品Eのシルエットを形成させる。透
過照明用光源33は、主として大きい電子部品Eを撮像
する場合に使用される。
【0018】図2および図3に示すように、枠12の内
周縁部には斜板12aが突設され、この斜板12aには
複数個の反射照明用光源14が配置され、各反射照明用
光源14は、撮像位置Pから下方に延びる軸線A1と、
撮像位置Pを通る出射光軸線A8とを所定の角度θ1で
配置させている。この反射照明用光源14は、撮像位置
Pに配置させた電子部品Eを下方から照明するためのも
のである。また、この反射照明用光源14の下方には、
反射手段としての平板状の反射鏡15が配置され、この
反射鏡15は、開口部22をもった支持片23で支持さ
れている。この反射鏡15は電子部品Eからの反射光を
その反射面18で反射させるためのものである。
周縁部には斜板12aが突設され、この斜板12aには
複数個の反射照明用光源14が配置され、各反射照明用
光源14は、撮像位置Pから下方に延びる軸線A1と、
撮像位置Pを通る出射光軸線A8とを所定の角度θ1で
配置させている。この反射照明用光源14は、撮像位置
Pに配置させた電子部品Eを下方から照明するためのも
のである。また、この反射照明用光源14の下方には、
反射手段としての平板状の反射鏡15が配置され、この
反射鏡15は、開口部22をもった支持片23で支持さ
れている。この反射鏡15は電子部品Eからの反射光を
その反射面18で反射させるためのものである。
【0019】図2に示すように、基台2の内部には、円
筒部3の下方位置にキューブ状のビームスプリッタ16
(結像レンズ用反射手段)が配置され、このビームスプ
リッタ16は、ビームスプリッタ16の反射面16a
で、反射鏡15の反射面18からの入射光の一部を透過
させると共に入射光の残りを反射させて、反射光を円筒
部3内の結像レンズ5に導く。また、基台2の内部に
は、円筒部4の下方位置に平板状の反射鏡17(結像レ
ンズ用反射手段)が配置され、この反射鏡17は、ビー
ムスプリッタ16を透過する光を反射させて、この反射
光を円筒部4内の結像レンズ6に導く。
筒部3の下方位置にキューブ状のビームスプリッタ16
(結像レンズ用反射手段)が配置され、このビームスプ
リッタ16は、ビームスプリッタ16の反射面16a
で、反射鏡15の反射面18からの入射光の一部を透過
させると共に入射光の残りを反射させて、反射光を円筒
部3内の結像レンズ5に導く。また、基台2の内部に
は、円筒部4の下方位置に平板状の反射鏡17(結像レ
ンズ用反射手段)が配置され、この反射鏡17は、ビー
ムスプリッタ16を透過する光を反射させて、この反射
光を円筒部4内の結像レンズ6に導く。
【0020】前述した構成の撮像装置10において、電
子部品Eからの反射光が、図2の斜線領域で示される光
路34、すなわち、反射鏡15、ビームスプリッタ1
6、結像レンズ5および撮像素子8を結ぶ光路を通る場
合、高倍率の結像レンズ5によって、拡大された電子部
品像が撮像される。一方、電子部品Eからの反射光が、
斜線領域で示される光路35、すなわち、反射鏡15、
ビームスプリッタ16、反射鏡17、結像レンズ6およ
び撮像素子11を結ぶ光路を通る場合、低倍率の結像レ
ンズ6によって、低倍率の電子部品像が撮像される。
子部品Eからの反射光が、図2の斜線領域で示される光
路34、すなわち、反射鏡15、ビームスプリッタ1
6、結像レンズ5および撮像素子8を結ぶ光路を通る場
合、高倍率の結像レンズ5によって、拡大された電子部
品像が撮像される。一方、電子部品Eからの反射光が、
斜線領域で示される光路35、すなわち、反射鏡15、
ビームスプリッタ16、反射鏡17、結像レンズ6およ
び撮像素子11を結ぶ光路を通る場合、低倍率の結像レ
ンズ6によって、低倍率の電子部品像が撮像される。
【0021】なお、反射鏡15とビームスプリッタ16
と反射鏡17は軸線A2上に配列され、ビームスプリッ
タ16と結像レンズ5と撮像素子8は軸線A3上に配列
され、反射鏡17と結像レンズ6と撮像素子11は軸線
A4上に配列されている。そして、軸線A1と軸線A3
と軸線A4は、互いに平行となっている。
と反射鏡17は軸線A2上に配列され、ビームスプリッ
タ16と結像レンズ5と撮像素子8は軸線A3上に配列
され、反射鏡17と結像レンズ6と撮像素子11は軸線
A4上に配列されている。そして、軸線A1と軸線A3
と軸線A4は、互いに平行となっている。
【0022】図3に示すように、反射鏡15は、透明の
反射鏡本体15aと、この反射鏡本体15aの表面に形
成させた反射面18とで構成され、反射面18には、軸
線A1と交わる位置にほぼ円形の光量分割部18aが設
けられている。この光量分割部18aは、例えば、アル
ミニウムの蒸着膜で形成され、この蒸着膜は、特定の厚
さで反射鏡本体15aの表面上に形成され、入射する光
を特定の光量比率(例えば、反射光量65%、透過光量
35%)で透過/反射させる。また、反射面18はアル
ミニウム等の蒸着膜で形成させた全反射部18bを有
し、この全反射部18bは、光量分割部18aの周囲
に、光量分割部18aより厚く形成されている。全反射
部18bは、電子部品Eからの反射光の大部分(例え
ば、85%〜90%の光量)を反射させる(以下、「全
反射」という)。
反射鏡本体15aと、この反射鏡本体15aの表面に形
成させた反射面18とで構成され、反射面18には、軸
線A1と交わる位置にほぼ円形の光量分割部18aが設
けられている。この光量分割部18aは、例えば、アル
ミニウムの蒸着膜で形成され、この蒸着膜は、特定の厚
さで反射鏡本体15aの表面上に形成され、入射する光
を特定の光量比率(例えば、反射光量65%、透過光量
35%)で透過/反射させる。また、反射面18はアル
ミニウム等の蒸着膜で形成させた全反射部18bを有
し、この全反射部18bは、光量分割部18aの周囲
に、光量分割部18aより厚く形成されている。全反射
部18bは、電子部品Eからの反射光の大部分(例え
ば、85%〜90%の光量)を反射させる(以下、「全
反射」という)。
【0023】なお、反射面18に入射する光に対して、
光量分割部18aで反射される反射光量と全反射部18
bとで反射される反射光量の光量差はできるだけ小さい
ことが好ましい。このようにすれば、全反射部18bで
反射される光のみが撮像素子8,11で際立って受光さ
れることはほとんどなくなり、電子部品Eからの反射光
による電子部品Eの像情報をほぼ忠実に撮像素子8,1
1に伝達させることができる。
光量分割部18aで反射される反射光量と全反射部18
bとで反射される反射光量の光量差はできるだけ小さい
ことが好ましい。このようにすれば、全反射部18bで
反射される光のみが撮像素子8,11で際立って受光さ
れることはほとんどなくなり、電子部品Eからの反射光
による電子部品Eの像情報をほぼ忠実に撮像素子8,1
1に伝達させることができる。
【0024】また、基台2のコーナー部27と反射鏡1
5とで形成される空間21には、同軸落射照明用光源1
9(例えば、発光ダイオード)が設けられ、同軸落射照
明用光源19は、この光源19から出射されて反射鏡本
体15aおよび光量分割部18aを透過する出射光を電
子部品Eに照射する。同軸落射照明用光源19は、図4
に示すように、撮像位置Pと光量分割部18aとを結ぶ
軸線A1と、光量分割部18aを通る出射光軸線A5と
を一直線状に配置させている。なお、同軸落射照明用光
源19は、2本の斜線を付した2点鎖線36a,36b
間に配置されないことが好ましい。
5とで形成される空間21には、同軸落射照明用光源1
9(例えば、発光ダイオード)が設けられ、同軸落射照
明用光源19は、この光源19から出射されて反射鏡本
体15aおよび光量分割部18aを透過する出射光を電
子部品Eに照射する。同軸落射照明用光源19は、図4
に示すように、撮像位置Pと光量分割部18aとを結ぶ
軸線A1と、光量分割部18aを通る出射光軸線A5と
を一直線状に配置させている。なお、同軸落射照明用光
源19は、2本の斜線を付した2点鎖線36a,36b
間に配置されないことが好ましい。
【0025】このように同軸落射照明用光源19の出射
光軸線A5上で、2点鎖線36a,36b間に含まれな
い位置に同軸落射照明用光源19を配置させた場合、同
軸落射照明用光源19を点灯させたときに、この光源1
9からの光が光量分割部18aを透過して軸線A2に沿
って進むことがなく、同軸落射照明用光源19の像が光
路34内に臨まなくなる。この結果、同軸落射照明用光
源像が撮像素子8,11で撮像されることがなくなる。
また、同軸落射照明用光源19は、電子部品Eに照射す
る光の強度を増加させるために、反射鏡15の反射鏡本
体15aの裏面にできるだけ近づけられることが好まし
い。
光軸線A5上で、2点鎖線36a,36b間に含まれな
い位置に同軸落射照明用光源19を配置させた場合、同
軸落射照明用光源19を点灯させたときに、この光源1
9からの光が光量分割部18aを透過して軸線A2に沿
って進むことがなく、同軸落射照明用光源19の像が光
路34内に臨まなくなる。この結果、同軸落射照明用光
源像が撮像素子8,11で撮像されることがなくなる。
また、同軸落射照明用光源19は、電子部品Eに照射す
る光の強度を増加させるために、反射鏡15の反射鏡本
体15aの裏面にできるだけ近づけられることが好まし
い。
【0026】また、図3に示すように、同軸落射照明用
光源19と反射鏡本体15aとの間には、反射鏡本体1
5aの裏面に拡散部としての拡散シート24が取り付け
られている。この拡散シート24は、同軸落射照明用光
源19から出射された光をランダムな方向に拡散させる
もので、この拡散シート24により電子部品Eを均一な
光強度で照明することができる。なお、拡散シート24
は、例えば、乳白色ガラス、内部もしくは外部に光拡散
効果をもたせる処理の施されたプラスチック、摺りガラ
ス等で構成させることができる。また、拡散部を構成す
る他の手段として、反射鏡本体15aの裏面に艶消し処
理を施し、反射鏡本体15aを摺りガラスにしてもよ
い。この場合でも、拡散シート24を取り付けた場合と
同様に、電子部品Eを均一な光強度で照明することがで
きる。
光源19と反射鏡本体15aとの間には、反射鏡本体1
5aの裏面に拡散部としての拡散シート24が取り付け
られている。この拡散シート24は、同軸落射照明用光
源19から出射された光をランダムな方向に拡散させる
もので、この拡散シート24により電子部品Eを均一な
光強度で照明することができる。なお、拡散シート24
は、例えば、乳白色ガラス、内部もしくは外部に光拡散
効果をもたせる処理の施されたプラスチック、摺りガラ
ス等で構成させることができる。また、拡散部を構成す
る他の手段として、反射鏡本体15aの裏面に艶消し処
理を施し、反射鏡本体15aを摺りガラスにしてもよ
い。この場合でも、拡散シート24を取り付けた場合と
同様に、電子部品Eを均一な光強度で照明することがで
きる。
【0027】次に、凹凸のない光沢面をもった電子部品
Eを撮像装置10で撮像する作用について説明する。
Eを撮像装置10で撮像する作用について説明する。
【0028】まず、電子部品Eを吸着ノズル1に吸着さ
せて移動させ、撮像位置Pで静止させる。そして、反射
照明用光源14を点灯させると、反射照明用光源14か
らの出射光は、出射光軸線A8に沿って電子部品Eの下
面に入射される。
せて移動させ、撮像位置Pで静止させる。そして、反射
照明用光源14を点灯させると、反射照明用光源14か
らの出射光は、出射光軸線A8に沿って電子部品Eの下
面に入射される。
【0029】ここで、例えば図5(a)に示すように、
反射照明用光源14からの出射光が、実線矢印a1方向
から、軸線A1にほぼ直交する光沢面S1に入射した場
合、この出射光は、光沢面S1で、破線矢印a2方向に
鏡面反射され、軸線A1方向にはほとんど反射されな
い。一方、出射光が、実線矢印b1方向から、軸線A1
に対して斜めに配置させた光沢面S2に入射した場合、
この出射光は、光沢面S2で破線矢印b2の方向に鏡面
反射される。そして、軸線A1方向に反射される電子部
品Eからの反射光が、反射鏡15の反射面18に入射さ
れる。
反射照明用光源14からの出射光が、実線矢印a1方向
から、軸線A1にほぼ直交する光沢面S1に入射した場
合、この出射光は、光沢面S1で、破線矢印a2方向に
鏡面反射され、軸線A1方向にはほとんど反射されな
い。一方、出射光が、実線矢印b1方向から、軸線A1
に対して斜めに配置させた光沢面S2に入射した場合、
この出射光は、光沢面S2で破線矢印b2の方向に鏡面
反射される。そして、軸線A1方向に反射される電子部
品Eからの反射光が、反射鏡15の反射面18に入射さ
れる。
【0030】一方、同軸落射照明用光源19を点灯させ
ると、同軸落射照明用光源19からの出射光は、出射光
軸線A5に沿って拡散シート24に入射し、この拡散シ
ート24でランダムな方向に拡散されて、反射鏡本体1
5aを通って光量分割部18aに入射する。このとき、
拡散された出射光は、光量分割部18aで特定の光量比
率で透過/反射され、光量分割部18aからの透過光が
電子部品Eの下面にほぼ均一に照射される。
ると、同軸落射照明用光源19からの出射光は、出射光
軸線A5に沿って拡散シート24に入射し、この拡散シ
ート24でランダムな方向に拡散されて、反射鏡本体1
5aを通って光量分割部18aに入射する。このとき、
拡散された出射光は、光量分割部18aで特定の光量比
率で透過/反射され、光量分割部18aからの透過光が
電子部品Eの下面にほぼ均一に照射される。
【0031】ここで、図5(b)に示すように、同軸落
射照明用光源19からの出射光が、実線矢印c1方向か
ら、軸線A1に対して斜めに配置させた光沢面S2に入
射した場合、この出射光は、この光沢面S2で、破線矢
印c2方向に鏡面反射されて、軸線A1方向にはほとん
ど反射されない。一方、出射光が、矢印c1方向から、
電子部品Eの軸線A1にほぼ直交する光沢面S1に入射
した場合、この出射光は、光沢面S1で、破線矢印d1
方向に鏡面反射される。そして、軸線A1方向に反射さ
れた電子部品Eからの反射光が、反射鏡15の反射面1
8に入射される。
射照明用光源19からの出射光が、実線矢印c1方向か
ら、軸線A1に対して斜めに配置させた光沢面S2に入
射した場合、この出射光は、この光沢面S2で、破線矢
印c2方向に鏡面反射されて、軸線A1方向にはほとん
ど反射されない。一方、出射光が、矢印c1方向から、
電子部品Eの軸線A1にほぼ直交する光沢面S1に入射
した場合、この出射光は、光沢面S1で、破線矢印d1
方向に鏡面反射される。そして、軸線A1方向に反射さ
れた電子部品Eからの反射光が、反射鏡15の反射面1
8に入射される。
【0032】このように、反射照明用光源14による電
子部品Eからの反射光と、同軸落射照明用光源19によ
る電子部品Eからの反射光とが、反射鏡15の反射面1
8に入射した場合、反射面18の全反射部18bに入射
した反射光は、全反射部18bで全反射される。一方、
反射面18の光量分割部18aに入射した反射光は、光
量分割部18aで特定の光量比率で透過/反射される。
子部品Eからの反射光と、同軸落射照明用光源19によ
る電子部品Eからの反射光とが、反射鏡15の反射面1
8に入射した場合、反射面18の全反射部18bに入射
した反射光は、全反射部18bで全反射される。一方、
反射面18の光量分割部18aに入射した反射光は、光
量分割部18aで特定の光量比率で透過/反射される。
【0033】このようにして、軸線A2の方向に反射さ
れる反射面18からの光は、ビームスプリッタ16の光
量分割面16aに入射し、この光量分割面16aで入射
光の一部が反射され、この反射光が、円筒部3内の結像
レンズ5を通って撮像素子8の撮像面8aに結像され
る。このとき撮像素子8では、光路34を通る反射光に
よる電子部品像が得られる。また、ビームスプリッタ1
6の光量分割面16aを透過する光は、光量分割面16
aから軸線A2の方向に沿って反射鏡17に入射し、反
射鏡17の反射面17aで反射され、軸線A4の方向に
沿って円筒部4内の結像レンズ6を通って撮像素子11
の撮像面11aに結像される。このとき撮像素子11で
は、光路35を通る反射光による拡大された電子部品像
が得られる。
れる反射面18からの光は、ビームスプリッタ16の光
量分割面16aに入射し、この光量分割面16aで入射
光の一部が反射され、この反射光が、円筒部3内の結像
レンズ5を通って撮像素子8の撮像面8aに結像され
る。このとき撮像素子8では、光路34を通る反射光に
よる電子部品像が得られる。また、ビームスプリッタ1
6の光量分割面16aを透過する光は、光量分割面16
aから軸線A2の方向に沿って反射鏡17に入射し、反
射鏡17の反射面17aで反射され、軸線A4の方向に
沿って円筒部4内の結像レンズ6を通って撮像素子11
の撮像面11aに結像される。このとき撮像素子11で
は、光路35を通る反射光による拡大された電子部品像
が得られる。
【0034】なお、同軸落射照明用光源19を点灯させ
る際に反射照明用光源14を併用させたが、電子部品の
大きさ・形状に対応して、いずれか一方の光源のみが用
いられてもよい。また、電子部品Eのシルエット像が必
要な場合などは、透過照明用光源33を用いて電子部品
Eを撮像することもできる。
る際に反射照明用光源14を併用させたが、電子部品の
大きさ・形状に対応して、いずれか一方の光源のみが用
いられてもよい。また、電子部品Eのシルエット像が必
要な場合などは、透過照明用光源33を用いて電子部品
Eを撮像することもできる。
【0035】次に、本発明による撮像装置の第2実施形
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一符号を付し、その説明は省
略する。
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一符号を付し、その説明は省
略する。
【0036】図6に示すように、撮像装置20には、反
射面18の光量分割部18aと撮像位置Pとを結ぶ軸線
A1の延長線上に同軸落射照明用光源19が設けられて
いる。同軸落射照明用光源19は、その出射光軸線A5
と、軸線A1とを一直線状に配置させている。また、反
射鏡15の反射鏡本体15aには、この同軸落射照明用
光源19側に球状の凹部25が形成され、この凹部25
によって、反射鏡本体15aの裏面には、同軸落射照明
用光源19に対峙する球面25aが形成されている。
射面18の光量分割部18aと撮像位置Pとを結ぶ軸線
A1の延長線上に同軸落射照明用光源19が設けられて
いる。同軸落射照明用光源19は、その出射光軸線A5
と、軸線A1とを一直線状に配置させている。また、反
射鏡15の反射鏡本体15aには、この同軸落射照明用
光源19側に球状の凹部25が形成され、この凹部25
によって、反射鏡本体15aの裏面には、同軸落射照明
用光源19に対峙する球面25aが形成されている。
【0037】この撮像装置20によれば、同軸落射照明
用光源19から光を出射させると、この出射光は、凹部
25を通って反射鏡本体15aの球面25aに入射し、
この球面25aで屈折されて、同軸落射照明用光源19
の出射光軸線A5に対して外方に拡散させられる。そし
て、この拡散光は、反射鏡本体15aおよび光量分割部
18aを通って電子部品Eに入射する。このとき、この
入射光は広範囲にわたって電子部品Eの裏面に照射され
る。この結果、電子部品E像が撮像素子8,11により
広範囲にわたって撮像される。
用光源19から光を出射させると、この出射光は、凹部
25を通って反射鏡本体15aの球面25aに入射し、
この球面25aで屈折されて、同軸落射照明用光源19
の出射光軸線A5に対して外方に拡散させられる。そし
て、この拡散光は、反射鏡本体15aおよび光量分割部
18aを通って電子部品Eに入射する。このとき、この
入射光は広範囲にわたって電子部品Eの裏面に照射され
る。この結果、電子部品E像が撮像素子8,11により
広範囲にわたって撮像される。
【0038】次に、本発明による撮像装置の第3実施形
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一の符号を付し、その説明は
省略する。
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一の符号を付し、その説明は
省略する。
【0039】図7に示すように、撮像装置30には、反
射面18の光量分割部18aと撮像位置Pとを結ぶ軸線
A1の延長線上に同軸落射照明用光源19が設けられて
いる。同軸落射照明用光源19は、その出射光軸線A5
と、軸線A1とを一直線状に配置させている。また、反
射鏡15の反射鏡本体15aには、同軸落射照明用光源
19側に球状に隆起させた凸部26が形成され、この凸
部26によって、反射鏡本体15aの裏面には、同軸落
射照明用光源19に対峙する球面26aが形成されてい
る。
射面18の光量分割部18aと撮像位置Pとを結ぶ軸線
A1の延長線上に同軸落射照明用光源19が設けられて
いる。同軸落射照明用光源19は、その出射光軸線A5
と、軸線A1とを一直線状に配置させている。また、反
射鏡15の反射鏡本体15aには、同軸落射照明用光源
19側に球状に隆起させた凸部26が形成され、この凸
部26によって、反射鏡本体15aの裏面には、同軸落
射照明用光源19に対峙する球面26aが形成されてい
る。
【0040】この撮像装置30によれば、同軸落射照明
用光源19から光を出射させると、この出射光は、凸部
26の球面26aに入射し、球面26aで屈折されて反
射鏡本体15aに入射する。このとき、この入射光は、
軸線A5に対して内方に集束させられる。そして、この
集束光は、光量分割部18aを通って、電子部品Eの一
部に局部的に大きい光強度で照射される。この結果、電
子部品Eの下面を局部的に且つ鮮明に撮像することがで
きる。
用光源19から光を出射させると、この出射光は、凸部
26の球面26aに入射し、球面26aで屈折されて反
射鏡本体15aに入射する。このとき、この入射光は、
軸線A5に対して内方に集束させられる。そして、この
集束光は、光量分割部18aを通って、電子部品Eの一
部に局部的に大きい光強度で照射される。この結果、電
子部品Eの下面を局部的に且つ鮮明に撮像することがで
きる。
【0041】次に、本発明による撮像装置の第4実施形
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一の符号を付し、その説明は
省略する。
態について説明する。なお、第1実施形態と同一又は同
等の構成部分については同一の符号を付し、その説明は
省略する。
【0042】図8に示すように、撮像装置40には、特
定の位置に、電子部品Eを配置させるための撮像位置P
が設けられ、この撮像位置Pを通る軸線A6上には、撮
像位置Pに対向する側に光透過手段としての平板状の光
透過部28(例えば、透明ガラス)が設けられ、光透過
部28は、軸線A6に対して特定の角度(例えば、45
°)で配置されている。また、光透過部28の撮像位置
P側の表面には、軸線A6上に配置させたほぼ円形の光
量分割部28aが設けられている。この光量分割部28
aは、入射する光を特定の光量比率で透過/反射させる
ためのものである。
定の位置に、電子部品Eを配置させるための撮像位置P
が設けられ、この撮像位置Pを通る軸線A6上には、撮
像位置Pに対向する側に光透過手段としての平板状の光
透過部28(例えば、透明ガラス)が設けられ、光透過
部28は、軸線A6に対して特定の角度(例えば、45
°)で配置されている。また、光透過部28の撮像位置
P側の表面には、軸線A6上に配置させたほぼ円形の光
量分割部28aが設けられている。この光量分割部28
aは、入射する光を特定の光量比率で透過/反射させる
ためのものである。
【0043】また、撮像装置40には落射照明用光源2
9が設けられている。落射照明用光源29は、その出射
光軸線A7を光量分割部28aで軸線A6と交差させた
位置に配置され、撮像位置Pと光量分割部28aとを結
ぶ軸線A6と、光量分割部28aを通る出射光軸線A7
とを特定の角度θ2(例えば、90°)をもって配置さ
せている。落射照明用光源29は、光量分割部28aで
反射する出射光を電子部品Eの下面に照射する。
9が設けられている。落射照明用光源29は、その出射
光軸線A7を光量分割部28aで軸線A6と交差させた
位置に配置され、撮像位置Pと光量分割部28aとを結
ぶ軸線A6と、光量分割部28aを通る出射光軸線A7
とを特定の角度θ2(例えば、90°)をもって配置さ
せている。落射照明用光源29は、光量分割部28aで
反射する出射光を電子部品Eの下面に照射する。
【0044】また、軸線A6上には、光透過部28から
透過した光を結像させるための結像レンズ31が配置さ
れ、結像レンズ31は、低倍率と高倍率との間で切替可
能となっている。結像レンズ31により形成される結像
点Qには撮像素子32が配置され、この撮像素子32
は、電子部品Eからの反射光による電子部品像を撮像す
る。なお、撮像装置40では、必要に応じて、光透過部
28の表面上で、光量分割部28aの周囲に減反射コー
ティングを施してもよい。
透過した光を結像させるための結像レンズ31が配置さ
れ、結像レンズ31は、低倍率と高倍率との間で切替可
能となっている。結像レンズ31により形成される結像
点Qには撮像素子32が配置され、この撮像素子32
は、電子部品Eからの反射光による電子部品像を撮像す
る。なお、撮像装置40では、必要に応じて、光透過部
28の表面上で、光量分割部28aの周囲に減反射コー
ティングを施してもよい。
【0045】次に、前述した撮像装置40の作用につい
て説明する。
て説明する。
【0046】まず、落射照明用光源29から光を出射さ
せる。このとき、落射照明用光源29からの出射光は、
出射光軸線A7に沿って光透過部28に設けた光量分割
部28aに入射される。この出射光は、光量分割部28
aで特定の光量比率で透過/反射され、光量分割部28
aで反射された光は、電子部品Eの下面を照射する。そ
して、軸線A6方向に反射される電子部品Eからの反射
光は、光透過部28および光量分割部28aに入射す
る。
せる。このとき、落射照明用光源29からの出射光は、
出射光軸線A7に沿って光透過部28に設けた光量分割
部28aに入射される。この出射光は、光量分割部28
aで特定の光量比率で透過/反射され、光量分割部28
aで反射された光は、電子部品Eの下面を照射する。そ
して、軸線A6方向に反射される電子部品Eからの反射
光は、光透過部28および光量分割部28aに入射す
る。
【0047】このとき、光透過部28に入射した光は、
光透過部28を大部分透過する。一方、光量分割部28
aに入射した光は透過/反射されて、透過された透過光
が更に光透過部28を透過する。このようにして光透過
部28を透過した光は、結像レンズ31に入射して集束
された後、撮像素子32の結像点Qの位置に結像され
る。ここで、結像レンズ32を低倍率に切り替えた場
合、電子部品Eからの反射光は斜線領域で示される光路
38を通るので、撮像素子32では低倍率の電子部品像
が得られる。一方、結像レンズ31を高倍率に切り替え
た場合、電子部品Eからの反射光は斜線領域で示される
光路37を通るので、撮像素子32では拡大された電子
部品像が得られる。
光透過部28を大部分透過する。一方、光量分割部28
aに入射した光は透過/反射されて、透過された透過光
が更に光透過部28を透過する。このようにして光透過
部28を透過した光は、結像レンズ31に入射して集束
された後、撮像素子32の結像点Qの位置に結像され
る。ここで、結像レンズ32を低倍率に切り替えた場
合、電子部品Eからの反射光は斜線領域で示される光路
38を通るので、撮像素子32では低倍率の電子部品像
が得られる。一方、結像レンズ31を高倍率に切り替え
た場合、電子部品Eからの反射光は斜線領域で示される
光路37を通るので、撮像素子32では拡大された電子
部品像が得られる。
【0048】本発明は、前述した実施形態に限られな
い。例えば、第1ないし第3実施形態では、反射手段と
して、反射鏡15の代わりに、キューブ状のビームスプ
リッタを用いてもよい。このビームスプリッタは、直角
プリズムを2つ接合させたビームスプリッタの接合面を
反射面18とし、この反射面18に光量分割部18aを
形成させる。この場合でも、反射鏡15を用いた場合と
同様の効果を得ることができる。
い。例えば、第1ないし第3実施形態では、反射手段と
して、反射鏡15の代わりに、キューブ状のビームスプ
リッタを用いてもよい。このビームスプリッタは、直角
プリズムを2つ接合させたビームスプリッタの接合面を
反射面18とし、この反射面18に光量分割部18aを
形成させる。この場合でも、反射鏡15を用いた場合と
同様の効果を得ることができる。
【0049】
【発明の効果】以上説明したように本発明による撮像装
置は、前述したように構成されているので、以下に示す
効果を有する。
置は、前述したように構成されているので、以下に示す
効果を有する。
【0050】即ち、本発明による撮像装置は、反射手段
の反射面の一部に設けられると共に入射する光を特定の
比率で透過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量
分割部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線と
を一直線状に配置させ、光量分割部を透過する出射光を
対象物に照射する同軸落射照明用光源とを備えた構成と
したので、光沢面をもった対象物を、ブラスト工程によ
って凹凸状に形成したものでも撮像することができる
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物を有効に撮像す
ることができる。
の反射面の一部に設けられると共に入射する光を特定の
比率で透過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量
分割部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線と
を一直線状に配置させ、光量分割部を透過する出射光を
対象物に照射する同軸落射照明用光源とを備えた構成と
したので、光沢面をもった対象物を、ブラスト工程によ
って凹凸状に形成したものでも撮像することができる
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物を有効に撮像す
ることができる。
【0051】また、本発明による撮像装置は、光透過手
段の一部に設けられると共に、入射する光を特定の比率
で透過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量分割
部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線とを特
定の角度をもって配置させ、光量分割部で反射する出射
光を対象物に照射する落射照明用光源とを備えた構成と
したので、光沢面をもった対象物を、ブラスト工程によ
って凹凸状に形成したものでも撮像することができる
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物を有効に撮像す
ることができる。
段の一部に設けられると共に、入射する光を特定の比率
で透過/反射させる光量分割部と、撮像位置と光量分割
部とを結ぶ軸線と、光量分割部を通る出射光軸線とを特
定の角度をもって配置させ、光量分割部で反射する出射
光を対象物に照射する落射照明用光源とを備えた構成と
したので、光沢面をもった対象物を、ブラスト工程によ
って凹凸状に形成したものでも撮像することができる
が、特に、光沢面を滑らかにした対象物を有効に撮像す
ることができる。
【図1】本発明による撮像装置の第1実施形態を示す斜
視図である。
視図である。
【図2】図1の撮像装置の断面図である。
【図3】図1の撮像装置の要部を示す断面図である。
【図4】同軸落射照明用光源の好適な配置を示す断面図
である。
である。
【図5】電子部品の一例を示す部分拡大図であり、
(a)は、反射照明用光源からの入射光に対して電子部
品の下面で反射される反射光の方向を示し、(b)は、
同軸落射照明用光源からの入射光に対して電子部品の下
面で反射される反射光の方向を示している。
(a)は、反射照明用光源からの入射光に対して電子部
品の下面で反射される反射光の方向を示し、(b)は、
同軸落射照明用光源からの入射光に対して電子部品の下
面で反射される反射光の方向を示している。
【図6】本発明による撮像装置の第2実施形態を示す断
面図である。
面図である。
【図7】本発明による撮像装置の第3実施形態を示す断
面図である。
面図である。
【図8】本発明による撮像装置の第4実施形態を示す断
面図である。
面図である。
P…撮像位置、E…電子部品(対象物)、18…反射
面、15…反射鏡(反射手段)、8,11,32…CC
D固体撮像素子(撮像手段)、18a,28a…光量分
割部、A1…軸線、A5…出射光軸線、19…同軸落射
照明用光源、24…拡散シート(拡散部)、25…凹
部、26…凸部、5,6,31…結像レンズ、16…ビ
ームスプリッタ(結像レンズ用反射手段)、17…反射
鏡(結像レンズ用反射手段)、A8…出射光軸線、θ1
…所定の角度、14…反射照明用光源、28…光透過部
(光透過手段)、A7…出射光軸線、θ2…特定の角
度、29…落射照明用光源。
面、15…反射鏡(反射手段)、8,11,32…CC
D固体撮像素子(撮像手段)、18a,28a…光量分
割部、A1…軸線、A5…出射光軸線、19…同軸落射
照明用光源、24…拡散シート(拡散部)、25…凹
部、26…凸部、5,6,31…結像レンズ、16…ビ
ームスプリッタ(結像レンズ用反射手段)、17…反射
鏡(結像レンズ用反射手段)、A8…出射光軸線、θ1
…所定の角度、14…反射照明用光源、28…光透過部
(光透過手段)、A7…出射光軸線、θ2…特定の角
度、29…落射照明用光源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 13/04 H05K 13/04 M
Claims (8)
- 【請求項1】 撮像位置に対象物を配置させたときに該
対象物からの反射光を反射させる反射面を有する反射手
段と、この反射光を受光させることにより前記対象物を
撮像する撮像手段とを備えた撮像装置において、 前記反射手段の前記反射面の一部に設けられると共に入
射する光を特定の比率で透過/反射させる光量分割部
と、 前記撮像位置と前記光量分割部とを結ぶ軸線と、前記光
量分割部を通る出射光軸線とを一直線状に配置させ、前
記光量分割部を透過する出射光を前記対象物に照射する
同軸落射照明用光源と、を備えたことを特徴とする撮像
装置。 - 【請求項2】 前記同軸落射照明用光源は、前記同軸落
射照明用光源の像が光路内に臨まない位置に配置されて
いることを特徴とする請求項1記載の撮像装置。 - 【請求項3】 前記反射手段の前記同軸落射照明用光源
側に、前記同軸落射照明用光源から入射する光を拡散さ
せる拡散部を形成させたことを特徴とする請求項1又は
2のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 【請求項4】 前記反射手段の前記同軸落射照明用光源
側に凹部を形成させて、この凹部により前記同軸落射照
明用光源から入射した光を拡散させることを特徴とする
請求項1又は2のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 【請求項5】 前記反射手段の前記同軸落射照明用光源
側に凸部を形成させて、この凸部により前記同軸落射照
明用光源から入射した光を集光させることを特徴とする
請求項1又は2のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 【請求項6】 撮像倍率の異なる複数の結像レンズと、
この結像レンズの数に対応して設けられた複数の撮像手
段と、前記反射手段の前記反射面で反射された反射光を
前記各結像レンズに導く複数の結像レンズ用反射手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか
一項に記載の撮像装置。 - 【請求項7】 前記撮像位置と前記光量分割部とを結ぶ
前記軸線と、前記撮像位置を通る出射光軸線とを所定の
角度で配置させて、前記対象物に向けて光を照射する反
射照明用光源を更に備えたことを特徴とする請求項6に
記載の撮像装置。 - 【請求項8】 撮像位置に対象物を配置させたときに、
この対象物からの反射光を光透過手段で透過させて、こ
の透過光を撮像手段で受光させることにより前記対象物
を撮像する撮像装置において、 前記光透過手段の一部に設けられると共に、入射する光
を特定の比率で透過/反射させる光量分割部と、 前記撮像位置と前記光量分割部とを結ぶ軸線と、前記光
量分割部を通る出射光軸線とを特定の角度をもって配置
させ、前記光量分割部で反射する出射光を前記対象物に
照射する落射照明用光源と、を備えたことを特徴とする
撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17523596A JP3593419B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17523596A JP3593419B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1019795A true JPH1019795A (ja) | 1998-01-23 |
JP3593419B2 JP3593419B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=15992631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17523596A Expired - Fee Related JP3593419B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3593419B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008294072A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識装置、表面実装機、及び部品試験装置 |
US7740385B2 (en) | 2006-05-02 | 2010-06-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Projector device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102350544B1 (ko) * | 2020-10-14 | 2022-01-17 | 주식회사 지엠지 | 반도체 패키징 검사공정용 광학모듈 |
-
1996
- 1996-07-04 JP JP17523596A patent/JP3593419B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7740385B2 (en) | 2006-05-02 | 2010-06-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Projector device |
JP2008294072A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識装置、表面実装機、及び部品試験装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3593419B2 (ja) | 2004-11-24 |
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