JPH10197461A - 蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置Info
- Publication number
- JPH10197461A JPH10197461A JP9000865A JP86597A JPH10197461A JP H10197461 A JPH10197461 A JP H10197461A JP 9000865 A JP9000865 A JP 9000865A JP 86597 A JP86597 A JP 86597A JP H10197461 A JPH10197461 A JP H10197461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- calibration
- flow cell
- sample
- ray
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置におい
て、装置の安定性維持と、検量線を作成するための作業
がフローセルを試料セルに取換えることなく自動的に行
え、測定に誤差を生じないようにすると共に、標準液に
触れる危険性を解消する。 【解決手段】既知元素を含有する校正試料による自動校
正、及びフローセル１２に試料を供給するライン２４に
洗浄液を供給するライン２５と、空気を供給するライン
２６と、濃度の異なった標準液を供給するライン２７
ａ、２７ｂ・・２７ｆを接続し、各ラインに制御装置１
６によって制御される電磁弁３１を設ける。測定時には
フローセル１２を洗浄液により洗浄し、空気を供給して
乾燥したのち既知濃度の標準液を供給し、蛍光Ｘ線強度
を測定する。この測定を濃度の異なる標準液でそれぞれ
行い、検量線を作成する。
て、装置の安定性維持と、検量線を作成するための作業
がフローセルを試料セルに取換えることなく自動的に行
え、測定に誤差を生じないようにすると共に、標準液に
触れる危険性を解消する。 【解決手段】既知元素を含有する校正試料による自動校
正、及びフローセル１２に試料を供給するライン２４に
洗浄液を供給するライン２５と、空気を供給するライン
２６と、濃度の異なった標準液を供給するライン２７
ａ、２７ｂ・・２７ｆを接続し、各ラインに制御装置１
６によって制御される電磁弁３１を設ける。測定時には
フローセル１２を洗浄液により洗浄し、空気を供給して
乾燥したのち既知濃度の標準液を供給し、蛍光Ｘ線強度
を測定する。この測定を濃度の異なる標準液でそれぞれ
行い、検量線を作成する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、エネルギー分散型
の蛍光Ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置に関する。
の蛍光Ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来技術】エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置は一
般に、図１に示すようにＸ線発生源のＸ線管１と、Ｘ線
管１から試料２にＸ線を照射することによって発生する
蛍光Ｘ線を検出し、電気信号に変換する検出器３と、変
換された電気信号を増幅するプリアンプ４と、プリアン
プ４の信号をＸ線の信号に対応したパルスに成形するシ
グナルプロセッサー５と、シグナルプロセッサー５から
出力されたＸ線パルスから横軸にＸ線エネルギー、縦軸
にＸ線光子数としたヒストグラムを作成するマルチチャ
ンネルアナライザー６と、マルチチャンネルアナライザ
ー６からの出力に基づいて各エネルギーの蛍光Ｘ線のチ
ャンネル数とＸ線強度とを求め、含有成分と含有率を算
出するＣＰＵ装置７とからなっている。こうした装置で
は一般に、Ｘ線管から出力されるＸ線の強度が経年変化
によって減少し、エネルギー位置の変動、蛍光Ｘ線強度
の減少等をもたらして実測値に誤差を生ずる。
般に、図１に示すようにＸ線発生源のＸ線管１と、Ｘ線
管１から試料２にＸ線を照射することによって発生する
蛍光Ｘ線を検出し、電気信号に変換する検出器３と、変
換された電気信号を増幅するプリアンプ４と、プリアン
プ４の信号をＸ線の信号に対応したパルスに成形するシ
グナルプロセッサー５と、シグナルプロセッサー５から
出力されたＸ線パルスから横軸にＸ線エネルギー、縦軸
にＸ線光子数としたヒストグラムを作成するマルチチャ
ンネルアナライザー６と、マルチチャンネルアナライザ
ー６からの出力に基づいて各エネルギーの蛍光Ｘ線のチ
ャンネル数とＸ線強度とを求め、含有成分と含有率を算
出するＣＰＵ装置７とからなっている。こうした装置で
は一般に、Ｘ線管から出力されるＸ線の強度が経年変化
によって減少し、エネルギー位置の変動、蛍光Ｘ線強度
の減少等をもたらして実測値に誤差を生ずる。
【０００３】Ｘ線管から出力されるＸ線強度の変化を打
消すために従来は、既知元素を含有する校正試料を測定
してエネルギー位置の校正をし、ついでプロセスに応じ
た被測定物質の既知濃度調整標準試料を測定して検量線
を作成し、Ｘ線強度の校正を行っていた。
消すために従来は、既知元素を含有する校正試料を測定
してエネルギー位置の校正をし、ついでプロセスに応じ
た被測定物質の既知濃度調整標準試料を測定して検量線
を作成し、Ｘ線強度の校正を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述する校正試料の測
定は、校正試料を測定位置に置いて行い、また検量線の
作成は、濃度の異なった４〜６種類の標準試料をそれぞ
れ専用の試料セルに入れて測定することにより行ってい
るが、これらの測定はいづれも手作業で行われ、測定の
都度、図２に示すハウジング９を開閉して校正試料の着
脱を行ったり、試料セルの取換えを行わねばならないた
め手間がかゝっていた。
定は、校正試料を測定位置に置いて行い、また検量線の
作成は、濃度の異なった４〜６種類の標準試料をそれぞ
れ専用の試料セルに入れて測定することにより行ってい
るが、これらの測定はいづれも手作業で行われ、測定の
都度、図２に示すハウジング９を開閉して校正試料の着
脱を行ったり、試料セルの取換えを行わねばならないた
め手間がかゝっていた。
【０００５】その上、オンライン計で用いられる蛍光Ｘ
線分析装置では、試料セルがフローセルに代えて用いら
れるが、取換えた試料セルはフローセルと全く同一では
ないため、検出器までの距離が変化して検量線が若干異
なるようになり、実測値に誤差を生じるほか、標準試料
には強酸性のものや強アルカリ性のもの、その他人体に
有害なものも多く、取換時に標準試料が漏出したり、人
体に付着する危険性があり、安全衛生上の問題があっ
た。
線分析装置では、試料セルがフローセルに代えて用いら
れるが、取換えた試料セルはフローセルと全く同一では
ないため、検出器までの距離が変化して検量線が若干異
なるようになり、実測値に誤差を生じるほか、標準試料
には強酸性のものや強アルカリ性のもの、その他人体に
有害なものも多く、取換時に標準試料が漏出したり、人
体に付着する危険性があり、安全衛生上の問題があっ
た。
【０００６】本願発明の第１の目的は、校正試料の着脱
を簡単な装置でもって自動的に行うことができる校正装
置を提供しようとするものであり、第２の目的は、フロ
ーセルをそのまゝ用いて蛍光Ｘ線の作成を自動的に行
い、試料セルを取り替えることによって生ずる上記の問
題を解消することのできる校正方法及び装置を提供しよ
うとするものである。
を簡単な装置でもって自動的に行うことができる校正装
置を提供しようとするものであり、第２の目的は、フロ
ーセルをそのまゝ用いて蛍光Ｘ線の作成を自動的に行
い、試料セルを取り替えることによって生ずる上記の問
題を解消することのできる校正方法及び装置を提供しよ
うとするものである。
【０００７】
【課題の解決手段】第１の目的を達成するための発明
は、Ｘ線管と、Ｘ線管から試料にＸ線を照射することに
よって発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器を備えたエネ
ルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置に用いられ、既知元素
を含有する校正試料を測定することによりチャンネル数
の校正を行う装置であって、回転可能に軸支される軸
と、該軸を一定角度の範囲内で旋回させる回転装置と、
回転装置を制御する制御装置と、校正試料を備え、上記
軸に固着されるアームよりなり、制御装置からの制御信
号により回転装置を駆動してアームを一定角度回転さ
せ、校正試料をＸ線が照射される測定位置と、測定位置
より退避した退避位置とに切換え可能としたことを特徴
とする。
は、Ｘ線管と、Ｘ線管から試料にＸ線を照射することに
よって発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器を備えたエネ
ルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置に用いられ、既知元素
を含有する校正試料を測定することによりチャンネル数
の校正を行う装置であって、回転可能に軸支される軸
と、該軸を一定角度の範囲内で旋回させる回転装置と、
回転装置を制御する制御装置と、校正試料を備え、上記
軸に固着されるアームよりなり、制御装置からの制御信
号により回転装置を駆動してアームを一定角度回転さ
せ、校正試料をＸ線が照射される測定位置と、測定位置
より退避した退避位置とに切換え可能としたことを特徴
とする。
【０００８】本発明において用いられる回転装置として
は、例えばパルスモータが例示される。このパルスモー
タは軸を直接駆動するようにしてもよいし、歯車やベル
ト等の伝動機構を介して駆動するようにしてもよい。第
２の目的を達成するための発明は、Ｘ線をフローセルの
薄膜を通して試料に照射することにより生ずる蛍光Ｘ線
を検出して測定成分や濃度を測定するエネルギー分散型
の蛍光Ｘ線分析装置の蛍光Ｘ線強度の検量線の校正方法
において、洗浄液を通してフローセルを洗浄する過程
と、洗浄後のフローセル内を乾燥する乾燥過程と、乾燥
後のフローセル内に既知濃度の標準試料を供給する過程
と、フローセルの薄膜を通して標準試料にＸ線を照射す
ることにより発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する過程よ
りなる測定を濃度の異なる複数種の標準試料ごとにそれ
ぞれ繰り返して検量用のデータを作成することを特徴と
し、上記の方法を実施する装置は、フローセルに洗浄液
を供給する供給装置と、フローセルを乾燥する乾燥装置
と、フローセルに標準試料を供給する供給装置と、上記
各装置を制御する制御装置とからなることを特徴とす
る。
は、例えばパルスモータが例示される。このパルスモー
タは軸を直接駆動するようにしてもよいし、歯車やベル
ト等の伝動機構を介して駆動するようにしてもよい。第
２の目的を達成するための発明は、Ｘ線をフローセルの
薄膜を通して試料に照射することにより生ずる蛍光Ｘ線
を検出して測定成分や濃度を測定するエネルギー分散型
の蛍光Ｘ線分析装置の蛍光Ｘ線強度の検量線の校正方法
において、洗浄液を通してフローセルを洗浄する過程
と、洗浄後のフローセル内を乾燥する乾燥過程と、乾燥
後のフローセル内に既知濃度の標準試料を供給する過程
と、フローセルの薄膜を通して標準試料にＸ線を照射す
ることにより発生する蛍光Ｘ線の強度を測定する過程よ
りなる測定を濃度の異なる複数種の標準試料ごとにそれ
ぞれ繰り返して検量用のデータを作成することを特徴と
し、上記の方法を実施する装置は、フローセルに洗浄液
を供給する供給装置と、フローセルを乾燥する乾燥装置
と、フローセルに標準試料を供給する供給装置と、上記
各装置を制御する制御装置とからなることを特徴とす
る。
【０００９】本方法及び装置で用いられる洗浄液として
は通常水が用いられが、プロセスによっては、酸或いは
アルカリの水溶液、有機溶媒等が用いられる。洗浄後の
フローセルの乾燥は好ましくはエア、或いはＮ2 ガス、
Ａｒガス等の不活性ガスを通すことによって行われ、標
準試料としては通常、標準液が用いられるが、流動性を
有するものであれば、ガスや粉状の標準試料を用いるこ
ともできる。好ましい別の発明においては、上記第１及
び第２の目的を達成する発明の組合せより構成される。
は通常水が用いられが、プロセスによっては、酸或いは
アルカリの水溶液、有機溶媒等が用いられる。洗浄後の
フローセルの乾燥は好ましくはエア、或いはＮ2 ガス、
Ａｒガス等の不活性ガスを通すことによって行われ、標
準試料としては通常、標準液が用いられるが、流動性を
有するものであれば、ガスや粉状の標準試料を用いるこ
ともできる。好ましい別の発明においては、上記第１及
び第２の目的を達成する発明の組合せより構成される。
【００１０】すなわち第２の目的を達成するための装置
において、回転可能に軸支される軸と、制御装置によっ
て制御され、上記軸を一定角度の範囲内で回動させる回
転装置と、校正試料を備え、上記軸に固着されるアーム
よりなる装置を設けたことを特徴とする。
において、回転可能に軸支される軸と、制御装置によっ
て制御され、上記軸を一定角度の範囲内で回動させる回
転装置と、校正試料を備え、上記軸に固着されるアーム
よりなる装置を設けたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図２及び図３は、オンライン計で
用いられるエネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置、すな
わちＸ線管１１からＸ線をフローセル１２の窓に装着さ
れた薄膜１３を通してフローセル１２内を流れる液状試
料に照射し、それより放射される蛍光Ｘ線を検出器１４
で検出する蛍光Ｘ線分析装置に校正試料による校正装置
を組込んだ例を示すもので、図４の制御装置１６によっ
て起動停止が制御される回転装置としてのパルスモータ
１７と、パルスモータ１７よりベルト伝動機構１８を介
して回転駆動される軸１９と、軸端に固着され、既知元
素を含有する構成試料２１を備えたアーム２２とよりな
り、パルスモータ１７によりアーム２２が一定角度の範
囲内で回動することにより、構成試料２１を一点鎖線で
示す測定位置と、実線で示す退避位置とに切換えられる
ようにしてある。
用いられるエネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置、すな
わちＸ線管１１からＸ線をフローセル１２の窓に装着さ
れた薄膜１３を通してフローセル１２内を流れる液状試
料に照射し、それより放射される蛍光Ｘ線を検出器１４
で検出する蛍光Ｘ線分析装置に校正試料による校正装置
を組込んだ例を示すもので、図４の制御装置１６によっ
て起動停止が制御される回転装置としてのパルスモータ
１７と、パルスモータ１７よりベルト伝動機構１８を介
して回転駆動される軸１９と、軸端に固着され、既知元
素を含有する構成試料２１を備えたアーム２２とよりな
り、パルスモータ１７によりアーム２２が一定角度の範
囲内で回動することにより、構成試料２１を一点鎖線で
示す測定位置と、実線で示す退避位置とに切換えられる
ようにしてある。
【００１２】図４は、フローセル１２に供給される標準
液の供給システムについて示すもので、試料の供給ライ
ン２４に洗浄液の供給装置としてのライン２５（図４に
は一本のライン２５のみが示されているが、洗浄液とし
てはプロセスに応じて水、酸或いはアルカリの水溶液、
有機溶媒等が使用できるように、ラインは実際には洗浄
液の種類に応じて複数設けられる。図４には、これらの
ラインを代表して一本のライン２５のみを示した）と、
フローセル１２を乾燥する乾燥装置として、フローセル
１２に空気を供給するライン２６と、濃度の異なった標
準液を供給する供給装置としてのライン２７ａ、２７
ｂ、・・２７ｆを接続し、上記各ラインと回収ライン２
８及びドレン２９に制御装置１６によって制御される電
磁弁３１を有している。
液の供給システムについて示すもので、試料の供給ライ
ン２４に洗浄液の供給装置としてのライン２５（図４に
は一本のライン２５のみが示されているが、洗浄液とし
てはプロセスに応じて水、酸或いはアルカリの水溶液、
有機溶媒等が使用できるように、ラインは実際には洗浄
液の種類に応じて複数設けられる。図４には、これらの
ラインを代表して一本のライン２５のみを示した）と、
フローセル１２を乾燥する乾燥装置として、フローセル
１２に空気を供給するライン２６と、濃度の異なった標
準液を供給する供給装置としてのライン２７ａ、２７
ｂ、・・２７ｆを接続し、上記各ラインと回収ライン２
８及びドレン２９に制御装置１６によって制御される電
磁弁３１を有している。
【００１３】制御装置１６は、制御のプログラムを内蔵
した記憶装置のほかに上述のＣＰＵ装置７を有してお
り、該ＣＰＵ装置７は、試料中の含有成分と含有量を算
出する機能と、記憶装置に記憶されたプログラムに従っ
て上記パルスモータ１７と、上述する各電磁弁３１をシ
ーケンス制御する機能を有している。本装置は以上のよ
うに構成され、校正時においては先ず、制御装置１６か
らの制御信号によりパルスモータ１７が起動し、これに
よりアーム２２が図３の実線位置より一定角度旋回して
一点鎖線の測定位置に切換えられる。切換後、Ｘ線管１
１からＸ線が校正試料２１に照射され、これによって蛍
光Ｘ線を検出器１４が検出して、その検出信号が図１に
示すプリアンプ４、シグナルプロセッサー５、マルチチ
ャンネルアナライザー６を経て制御装置１６のＣＰＵ装
置７に送られ、ＣＰＵ装置７は校正試料中の既知成分の
チャンネル数を求める。そして求めたチャンネル数が当
初のチャンネル数とずれており、ずれの量が設定範囲を
越えているときには、設定範囲内に収まるようにチャン
ネル数を増減して補正する。
した記憶装置のほかに上述のＣＰＵ装置７を有してお
り、該ＣＰＵ装置７は、試料中の含有成分と含有量を算
出する機能と、記憶装置に記憶されたプログラムに従っ
て上記パルスモータ１７と、上述する各電磁弁３１をシ
ーケンス制御する機能を有している。本装置は以上のよ
うに構成され、校正時においては先ず、制御装置１６か
らの制御信号によりパルスモータ１７が起動し、これに
よりアーム２２が図３の実線位置より一定角度旋回して
一点鎖線の測定位置に切換えられる。切換後、Ｘ線管１
１からＸ線が校正試料２１に照射され、これによって蛍
光Ｘ線を検出器１４が検出して、その検出信号が図１に
示すプリアンプ４、シグナルプロセッサー５、マルチチ
ャンネルアナライザー６を経て制御装置１６のＣＰＵ装
置７に送られ、ＣＰＵ装置７は校正試料中の既知成分の
チャンネル数を求める。そして求めたチャンネル数が当
初のチャンネル数とずれており、ずれの量が設定範囲を
越えているときには、設定範囲内に収まるようにチャン
ネル数を増減して補正する。
【００１４】次に検量線の校正が次のようにして行われ
る。先ず試料の供給ライン２４と回収ライン２８の電磁
弁３１を閉める。ついで、ドレイン２９の電磁弁３１を
開ける。その後、ドレイン２９の電磁弁３１を開いたの
ち、ライン２５の電磁弁３１の開閉により洗浄液をフロ
ーセル１２に一定時間供給して洗浄を行う過程と、ライ
ン２６の電磁弁３１の開閉により空気をフローセル１２
に一定時間供給してフローセルを乾燥する過程とをｎ回
繰返す。洗浄過程と乾燥過程をｎ回繰返したのち、ドレ
ン２９の電磁弁３１を閉じ、ついでライン２７ａの電磁
弁３１の開閉によりフローセル１２に既知濃度の標準液
を一定時間供給する。この間、Ｘ線管１１からＸ線がフ
ローセル１２の薄膜１３を通して標準液に照射され、こ
れによって生ずる蛍光Ｘ線が検出器１４で検出される。
そしてその検出信号が上記と同様、図１のプリアンプ
４、シグナルプロセッサー５、マルチチャンネルアナラ
イザー６を経てＣＰＵ装置７に送られ、ＣＰＵ装置７に
より既知濃度成分の蛍光Ｘ線強度を求める過程が実施さ
れる。
る。先ず試料の供給ライン２４と回収ライン２８の電磁
弁３１を閉める。ついで、ドレイン２９の電磁弁３１を
開ける。その後、ドレイン２９の電磁弁３１を開いたの
ち、ライン２５の電磁弁３１の開閉により洗浄液をフロ
ーセル１２に一定時間供給して洗浄を行う過程と、ライ
ン２６の電磁弁３１の開閉により空気をフローセル１２
に一定時間供給してフローセルを乾燥する過程とをｎ回
繰返す。洗浄過程と乾燥過程をｎ回繰返したのち、ドレ
ン２９の電磁弁３１を閉じ、ついでライン２７ａの電磁
弁３１の開閉によりフローセル１２に既知濃度の標準液
を一定時間供給する。この間、Ｘ線管１１からＸ線がフ
ローセル１２の薄膜１３を通して標準液に照射され、こ
れによって生ずる蛍光Ｘ線が検出器１４で検出される。
そしてその検出信号が上記と同様、図１のプリアンプ
４、シグナルプロセッサー５、マルチチャンネルアナラ
イザー６を経てＣＰＵ装置７に送られ、ＣＰＵ装置７に
より既知濃度成分の蛍光Ｘ線強度を求める過程が実施さ
れる。
【００１５】以上の洗浄乾燥過程及び蛍光Ｘ線の強度を
求める過程よりなるプロセスが濃度の異なった４〜６種
類の標準液ごとに実施され、各濃度で求められたＸ線強
度から検量線が求められる。図５は以上のフローチャー
トを示す。
求める過程よりなるプロセスが濃度の異なった４〜６種
類の標準液ごとに実施され、各濃度で求められたＸ線強
度から検量線が求められる。図５は以上のフローチャー
トを示す。
【００１６】
【発明の効果】請求項１記載の発明によると、校正試料
の測定作業が自動的に行え、しかも校正試料を測定位置
と該位置より退避した退避位置とに切換えるのが、回転
装置の駆動によりアームを単に旋回させるだけで行える
から装置の構造が簡単で、制御も容易となる。
の測定作業が自動的に行え、しかも校正試料を測定位置
と該位置より退避した退避位置とに切換えるのが、回転
装置の駆動によりアームを単に旋回させるだけで行える
から装置の構造が簡単で、制御も容易となる。
【００１７】請求項２及び３記載の発明によると、検量
線を作成するための作業が自動的に行えるほか、フロー
セルを試料セルに取換える必要がなく、フローセルのま
ゝで測定できるため、検出器までの距離が変わることは
なく、したがって測定に誤差を生じることがないし、ま
た標準液に触れる危険性がなく安全である。請求項４記
載の発明によると、上述する請求項１及び３記載の発明
の効果を併せて奏することができる。
線を作成するための作業が自動的に行えるほか、フロー
セルを試料セルに取換える必要がなく、フローセルのま
ゝで測定できるため、検出器までの距離が変わることは
なく、したがって測定に誤差を生じることがないし、ま
た標準液に触れる危険性がなく安全である。請求項４記
載の発明によると、上述する請求項１及び３記載の発明
の効果を併せて奏することができる。
【図１】蛍光Ｘ線分析装置のブロック図。
【図２】校正装置を備えた蛍光Ｘ線分析装置の要部の断
面図。
面図。
【図３】同平面図。
【図４】検量線作成のための装置の模式図。
【図５】フローチャト
１、１１・・Ｘ線管 ２・・試料 ３、１４・・検出器 ４・・プリアンプ ５・・シグナルプロセッサー ６・・マルチチャンネルアナライザー ７・・ＣＰＵ装置 ９・・ハウジング １２・・フローセル １３・・薄膜 １６・・制御装置 １７・・パルスモータ １８・・ベルト伝動機構 １９・・軸 ２１・・校正試料 ２２・・アーム ２４、２５、２６、２７ａ、２７ｂ・・２７ｆ、２８・
・ライン ２９・・ドレン ３１・・電磁弁
・ライン ２９・・ドレン ３１・・電磁弁
Claims (4)
- 【請求項１】Ｘ線管と、Ｘ線管から試料にＸ線を照射す
ることによって発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器を備
えたエネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置に用いられ、
既知元素を含有する校正試料を測定することによりチャ
ンネル数の校正を行う装置であって、回転可能に軸支さ
れる軸と、該軸を一定角度の範囲内で旋回させる回転装
置と、回転装置を制御する制御装置と、校正試料を備
え、上記軸に固着されるアームよりなり、制御装置から
の制御信号により回転装置を駆動してアームを一定角度
回転させ、校正試料をＸ線が照射される測定位置と、測
定位置より退避した退避位置とに切換え可能としたこと
を特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の校正用の装置。 - 【請求項２】Ｘ線をフローセルの薄膜を通して試料に照
射することにより生ずる蛍光Ｘ線を検出して測定成分や
濃度を測定するエネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置の
蛍光Ｘ線強度の検量線の校正方法において、洗浄液を通
してフローセルを洗浄する過程と、洗浄後のフローセル
内を乾燥する乾燥過程と、乾燥後のフローセル内に既知
濃度の標準試料を供給する過程と、フローセルの薄膜を
通して標準試料にＸ線を照射することにより発生する蛍
光Ｘ線の強度を測定する過程よりなる測定を濃度の異な
る複数種の標準試料ごとにそれぞれ繰り返して検量用の
データを作成することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の
校正用の方法。 - 【請求項３】フローセルに洗浄液を供給する供給装置
と、フローセルを乾燥する乾燥装置と、フローセルに標
準試料を供給する供給装置と、上記各装置を制御する制
御装置とからなることを特徴とする請求項２記載の方法
を実施する校正用の装置。 - 【請求項４】回転可能に軸支される軸と、制御装置によ
って制御され、上記軸を一定角度の範囲内で回動させる
回転装置と、校正試料を備え、上記軸に固着されるアー
ムよりなる装置を設けたことを特徴とする請求項３記載
の校正用の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9000865A JPH10197461A (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9000865A JPH10197461A (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197461A true JPH10197461A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11485576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9000865A Pending JPH10197461A (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197461A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001318064A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Agere Systems Guardian Corp | 元素の定量分析のための校正方法 |
| JP2003004673A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 蛍光ｘ線液分析計 |
| WO2014038406A1 (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-13 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| JP2014145617A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Dkk Toa Corp | エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置 |
| CN109459553A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-12 | 陈立峰 | 一种水质监测传感器校准液循环使用方法及系统 |
| JP2020134476A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 液膜厚さ測定方法 |
| CN115876971A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-03-31 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种真空低温环境下在线校正水冰样品分析仪的方法 |
| CN116678908A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-09-01 | 自然资源实物地质资料中心 | 一种pXRF对岩心元素测试的质量控制方法及装置 |
-
1997
- 1997-01-07 JP JP9000865A patent/JPH10197461A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001318064A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Agere Systems Guardian Corp | 元素の定量分析のための校正方法 |
| JP2003004673A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 蛍光ｘ線液分析計 |
| WO2014038406A1 (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-13 | シャープ株式会社 | 膜厚測定装置 |
| JP2014048274A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Sharp Corp | 膜厚測定装置 |
| JP2014145617A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Dkk Toa Corp | エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置 |
| CN109459553A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-12 | 陈立峰 | 一种水质监测传感器校准液循环使用方法及系统 |
| CN109459553B (zh) * | 2019-01-07 | 2021-07-23 | 浙江锦成科技有限公司 | 一种水质监测传感器校准液循环使用方法及系统 |
| JP2020134476A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 液膜厚さ測定方法 |
| CN115876971A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-03-31 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种真空低温环境下在线校正水冰样品分析仪的方法 |
| CN116678908A (zh) * | 2023-08-03 | 2023-09-01 | 自然资源实物地质资料中心 | 一种pXRF对岩心元素测试的质量控制方法及装置 |
| CN116678908B (zh) * | 2023-08-03 | 2023-10-27 | 自然资源实物地质资料中心 | 一种pXRF对岩心元素测试的质量控制方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4482251A (en) | Clinical analyzer | |
| JPH0746111B2 (ja) | 試料分析方法及びこれを用いた自動分析装置 | |
| CN112763443B (zh) | 一种二氧化碳传感器、校准方法及在线检测仪 | |
| JPH10197461A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置の校正用の方法及び装置 | |
| JPS61204546A (ja) | 流動物質分析用光度計 | |
| JPH04130248A (ja) | 自動分析装置 | |
| WO2011090173A1 (ja) | 自動分析装置 | |
| US4939095A (en) | Automatic chemical analyzer | |
| WO2010109772A1 (ja) | サンプル分析装置 | |
| JP3749321B2 (ja) | 自動分析装置 | |
| CN114207421B (zh) | 荧光x射线分析装置及荧光x射线分析装置的控制方法 | |
| NL9100984A (nl) | Werkwijze voor het bepalen van de concentratie van een te bepalen stof met behulp van een ion-selectieve electrode, alsmede inrichting te gebruiken bij deze werkwijze. | |
| JP2013054019A (ja) | Ｔｏｃ測定装置 | |
| CN112305034B (zh) | 校准分析测量设备的方法和校准分析测量设备的测量点 | |
| JP2003075426A (ja) | 湿式酸化方式元素分析装置 | |
| JP2002098659A (ja) | 分析装置 | |
| JPH0228819B2 (ja) | Metsukiekibunsekisochi | |
| JPH0547782B2 (ja) | ||
| WO2004011928A1 (ja) | 水中微量成分の測定方法及び装置 | |
| CN112305251A (zh) | 用于校准分析测量设备的方法以及测量点 | |
| JPH03181862A (ja) | 自動分析装置 | |
| JPH08178875A (ja) | ゴム防着剤の濃度測定方法 | |
| JPS6243502B2 (ja) | ||
| CN117554303B (zh) | 液体检测方法、装置、设备及存储介质 | |
| JP2010243307A (ja) | 自動分析装置 |