JPH10194761A

JPH10194761A - 肉薄板状ガラスの製造方法

Info

Publication number: JPH10194761A
Application number: JP35074396A
Authority: JP
Inventors: Akira Murakami; 明村上; Tetsuya Saito; 哲也斉藤
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1996-12-27
Filing date: 1996-12-27
Publication date: 1998-07-28

Abstract

(57)【要約】【課題】１つの成形型における不均一な温度分布およ
び複数の成形型を用いた場合における成形型間の温度差
をなくし、交換保守点検作業も容易であり、かつ一定の
形状の肉薄板状ガラスを製造することができる肉薄板状
ガラスの製造方法を提供すること。【解決手段】同一円周上に等間隔に配置された１６個
の下型２１の内側と外側を取り囲むように１本の加熱コ
イル２３を設け、共通の１本の加熱コイル２３により誘
導加熱作用で１６個の下型２１を一括して加熱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体、光
情報記録媒体および光記録媒体などの情報記録媒体用の
基板として、あるいはカメラ用フィルター、マスクブラ
ンクスなどの板状ガラスとして使用することが可能な、
例えば肉厚３ｍｍ以下の肉薄板状ガラスをプレス成形に
より製造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体などの情報記録媒体用のガ
ラス基板の製造方法として、板状のガラスから切り出す
方法のほか、溶融ガラスから成形型を用いて直接プレス
成形する方法、すなわち、ダイレクトプレス法が採用さ
れている。ダイレクトプレス法の従来例として、特開平
７−１３３１２１号公報（株式会社オハラ）には、上・
下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定す
るとともに、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温
度よりも高く設定することにより、ガラスの延びを阻害
せずにディスク状ガラス製品をプレス成形する方法が開
示されている。

【０００３】また、特開平５−１０５４５８号公報（コ
ーニング）には、成形表面とガラス原料の温度が軟化点
以下となり平衡となるまで十分な時間をプレスすること
により、近最終形状ガラス製品のプレス成形方法が開示
されている。

【０００４】ここで、ガラスをプレス成形する場合に
は、ガラスにヒケやカケを生じさせないように成形型を
予め加熱しておくことが行われている。成形型を加熱す
る手段としては、従来からニクロムヒータが用いられて
いる。図４は、ニクロムヒータを用いた従来の加熱方法
を示す図で、テーブル１１上に配置された複数の成形型
１２の各々の外周にステンレス１３を設け、このステン
レス１３中に、成形型１個毎に複数本ニクロムヒータ１
４を埋め込んでいる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、ニクロムヒ
ータによる加熱法では、上記のように１つの成形型１２
に対し複数のニクロムヒータ１４を用いる必要があるた
め、ニクロムヒータ１４のどれか１つにでも故障や劣化
が発生した場合には、その成形型１２に不均一な温度分
布が生じるという問題があった。また、近年、ディスク
状のガラス成形体を大量に生産する等の目的で図４に示
したように成形型１２を複数個用いた成形装置が用いら
れているが、成形型１２は個別に設けられたヒータで加
熱されるため、全ての成形型１２の温度を同一の温度に
制御することは困難であった。さらに、前述のとおり、
１つの成形型１２に対して複数のニクロムヒータ１４を
用いるため、使用するニクロヒータの総数が多くなるた
め、ニクロムヒータを交換したり、保守、点検する作業
にかなりの手間がかかるという問題があった。さらに、
ニクロムヒータ１４は、ニクロム線を金属の筒やパイプ
で覆う構造であるため、加熱速度、冷却速度ともに遅
く、交換等の作業に時間が長くかかり作業効率を低下さ
せていた。また、ディスク状ガラスなどの肉薄板状ガラ
スをプレス成形する場合には、ガラスは薄く引き延ばさ
れ、肉厚のガラスを成形するよりも成形型との接触面積
が大きいことから、成形型の温度の影響を受けやすい。
従って、成形型の温度にバラツキがあると、得られる肉
薄板状ガラスの形状、例えば反りの大きさなどがまちま
ちとなり、同一形状のディスク状ガラスが製造できない
という問題もあった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガ
ラスを製造する方法において、誘導加熱した成形型でプ
レス成形を行う肉薄板状ガラスの製造方法とする。

【０００７】誘導加熱とは、コイルに交流電流を流した
ときに生じる交番磁束がコイル内の導電体である被加熱
物を貫通することにより誘導される渦電流により被加熱
物を加熱することをいう。誘導加熱によると、電流の出
力量を一定にすることで加熱状態を一定とすることがで
きるため加熱精度がよく、成形型を安定に加熱すること
が可能である。被加熱物である成形型は導電体であるこ
とが必要であり、その素材としては、鋳鉄、ステンレス
合金などが用いられるが、特に鋳鉄が強度、耐久性とも
に優れるため好適である。また、誘導加熱用のコイル
（以下「加熱コイル」という）に流す交流電流は、高周
波電流であることが好ましい。低周波電流では、トラン
スが大きくなるなど装置が大がかりとなるほか、周波数
が１５ｋＨｚ以下ではヒトの可聴音域となるため騒音が
問題となる。高周波電流の周波数は、成形型の材質や所
望の加熱温度などを考慮して適宜選択することが好まし
い。

【０００８】成形型を誘導加熱するためには、加熱コイ
ル内に成形型を設置する必要がある。加熱コイル内に設
置する成形型は、単数個に限らず、複数個であってもよ
い。従って、一つの加熱コイルで複数の成形型が一括し
て加熱されるため、成形型間の温度のバラツキが生じず
均等な加熱が可能となる。また、単数個の成形型を用い
る場合においても部分的な温度差をなくすことができ
る。ここで、単数個の成形型を効率よく加熱するために
は、加熱コイルを成形型の形状に合わせた形状、例えば
円形や四辺形とすることが好ましい。また、複数の成形
型を設置する場合、均等に加熱するためには各成形型と
加熱コイルの距離を一定にすることが好ましい。複数の
成形型の配置は、加熱コイルとの距離が一定に保てる配
置であれば特に限定はされないが、例えば、一列または
円周上への配置が挙げられる。この場合、複数の成形型
の周囲を加熱コイルで囲むことで成形型と加熱コイルと
の距離を一定にすることができるほか、円周上に配置し
た場合は、その周囲すなわち円周の外側のみならず、円
周の内側にも加熱コイルを配することで成形型の加熱効
率を向上させることができる。

【０００９】ここで、成形型の好ましい加熱温度は、硝
種、ガラス板の肉厚等のサイズなどにより適宜決定され
るが、肉薄の板状ガラスを成形する場合はガラスを薄く
充分に引き延ばすことが必要となるので、溶融ガラスの
急激な温度低下を防ぐ目的で、一般に肉厚のガラスを成
形する場合よりも比較的高温に加熱温度が設定される
が、誘導加熱によれば、ニクロムヒータによる加熱のよ
うに熱源からの熱伝導を利用して加熱する方法とは異な
り、成形型を直接加熱するため高温加熱が容易である。
また、ニクロムヒータではコイル自身が発熱するため劣
化の問題があるが、誘導加熱はコイルは発熱しないため
劣化しにくく、保守、点検の手間がかからない。

【００１０】本発明の製造方法では誘導加熱を上型、下
型の両方に対して行っても、いずれか一方に行ってもよ
く、胴型を用いる場合には、胴型に適用することも可能
である。例えば、上、下型のプレス面の表面温度をガラ
ス転移点近傍に設定し、胴型の内表面温度を前記プレス
面の表面温度よりも高く設定する成形方法においても、
本発明を適用することが可能である。

【００１１】

【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よる肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を詳細に説
明する。図１は本発明の第１の実施の形態を説明するた
めの図で、ディスク状ガラス成形体の成形装置、特に下
型装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−
ｂ線断面図である。この図１に示すように、鋳鉄やステ
ンレスなど導電体からなる下型２１はターンテーブル２
２上の同一円周上に合計１６個等間隔に配置されてお
り、ターンテーブル２２が１ピッチずつ回転するごとに
図に示すＡからＰの位置を順に通過して以下の工程を経
るようになっている。すなわち、位置Ｏで成形面に耐熱
性固体潤滑剤粉末が付着され、位置Ａでパイプから流下
する溶融ガラスを受け、位置Ｃでプレス成形が行われ、
位置Ｄおよび位置Ｅで反り修正プレスが行われ、位置Ｌ
〜Ｎで肉薄板状ガラスの取り出しが行われる。

【００１２】また、このような１６個の下型２１の内側
と外側を取り囲むように１本の加熱コイル２３が配置さ
れており、この加熱コイル２３の両端部は交流電源２４
に接続されている。そして、加熱コイル２３には、プレ
ス成形中、常時、交流電源２４から交流電流（高周波電
流）が流されており、したがって、この下型装置では、
共通の１本の加熱コイル２３により誘導加熱作用で、導
電体である１６個の下型２１が一括して加熱される。

【００１３】ここで、加熱コイル２３はどの位置におい
ても同一断面積となるように形成されており、例えば、
下型部を横切る部分を除いて、図１（ｂ）に示すように
厚みｔ＝４ｍｍ、幅ｗ＝４５ｍｍである。また、この加
熱コイル２３は、コイルの内周部と外周部の間隔ｄ₁が
１０７．５ｍｍ、下型２１の直径φ＝８７．５ｍｍ、従
ってコイルと下型との距離ｄ₂は１０ｍｍである。そし
て、この加熱コイル２３に周波数２３ｋＨｚ、出力７．
８ｋＷ（電圧１３０Ｖ、電流６０Ａ）で交流電流を流す
ことにより、加熱コイル２３内の下型２１を誘導加熱
し、下型表面温度を４５０℃に保っている。なお、加熱
コイル２３は下型２１からの熱を受けるため、加熱コイ
ル自身の温度が上昇しすぎるのを防止するために、コイ
ルの周囲には、冷却媒体としての水が循環する図示しな
い銅製パイプが配置され、コイルを常に冷却している。
また、加熱コイル２３は、下型部を横切る部分において
は、下型２１の回転の妨げとならないように、下型２１
の高さよりも高い位置に配置されている。

【００１４】上記のような下型装置の位置Ｃにおいて
は、図１（ｂ）に示すように下型２１上に上型２５が設
けられる。この上型２５は、下型２１と同様な導電体で
あり、同一円周上に８個設けられて、１ピッチずつ回転
することにより順次１個が下型２１上に位置するように
なっている。このような上型装置に対しても、同一円周
上の８個の上型２５の外側と内側を囲むように加熱コイ
ルを設けて、下型装置と同様の誘導加熱による加熱手段
が設けられている。ここで、上型用の加熱コイルとして
は、下型用と同様の形状のコイルが、コイルの内周部と
外周部の間隔（図１（ｂ）のｄ₁に相当する）が１１５
ｍｍ、上型の直径（図１（ｂ）のφに相当する）が９５
ｍｍ、コイルと上型との距離（図１（ｂ）のｄ₂に相当
する）が１０ｍｍで設けられている。また、この加熱コ
イルに周波数２５ｋＨｚ、出力９．９ｋＷ（電圧１８０
Ｖ、電流５５Ａ）で交流電流を流すことにより、上型表
面温度を４１０℃に加熱している。

【００１５】実際、図１のような成形装置によって、ガ
ラス転移点Ｔｇ＝５００℃、軟化点Ｓｐ＝６９０°のガ
ラス素材（ＨＯＹＡ（株）製、Ｎ５）からディスク状ガ
１ス成形体を製造したところ、表１に示すとおり形状に
バラツキのないディスク状ガラス製品が得られた。

【表１】

【００１６】図２は本発明の他の実施の形態を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線断面図であ
る。この他の実施の形態では、成形型３１が５個一列に
配置されており、この５個の成形型３１の外側を囲むよ
うに加熱コイル３２が設けられ、加熱コイル３２の両端
は交流電源３３に接続されている。すなわち、この他の
実施の形態は、一列に配置された複数の成形型３１に対
して、本発明の一括誘導加熱方法を適用した場合であ
り、この場合は５００℃の設定に対して、各成形型３１
の温度のバラツキは数℃以内であった。

【００１７】図３は本発明の更に他の実施の形態を示
し、成形型４１が１個の場合である。この場合は、１つ
の成形型４１の外周を、成形型４１とコイル４２との距
離が一定となるようにして加熱コイル４２が取り囲むこ
とにより、成形型４１を均一に加熱することができる。
加熱コイル４２は交流電源４３に接続されている。

【００１８】以上の方法において、プレス成形に供せら
れた成形型の温度は溶融ガラスからの熱を受け取って、
プレス成形前に比べて上昇している。従って、どの肉薄
板状ガラスについても同等の温度条件でプレス成形する
ためには、次のプレス成形に供されるまでに、成形型が
成形前の温度に戻っていることが必要である。このと
き、プレス成形に供されたのち次のプレス成形に供され
るまでの時間に自然冷却してプレス成形前の温度に戻る
場合以外は、何らかの冷却手段を講じて温度を戻してや
ることが好ましい。冷却手段としては、成形型の中空部
に水や空気を循環させる方法、水等の液体を成形型の中
空部内面に吹き付けて気化させる方法などを採用するこ
とができる。液体を吹き付けて気化させる方法による
と、液体の気化熱で成形型を冷却することができるた
め、液体を循環させる方法よりも少ない液量で冷却効果
が得られる。従って、水等の気化熱を利用する方法は、
冷却効果の観点ばかりでなく、冷却装置をより小さくす
ることができる観点からも好ましい。さらに、例えば上
型の冷却に時間がかかり、成形後、次の成形までに所定
の温度までに冷却出来ない場合等には、先に述べたよう
に上型を複数個容易し、どれか１つの上型がプレス成形
を行っているときに、他の上型を冷却しておき、複数個
の上型を循環させてもよい。

【００１９】また、本発明の肉薄板状ガラスの製造方法
においては、ガラス原料の温度が軟化点以下で、上下型
と熱的に平衡となるまで充分な時間プレスしてもよい
し、あるいは、ガラスが軟化状態にあるときにプレスを
終了してもよい。後者の場合は、肉薄板状ガラスの温度
が、成形型の温度より高く、この時点で肉薄板状ガラス
と成形型は熱的に平衡状態に至っていない。しかし、成
形型があらかじめ所定の温度に保たれているので、成形
後冷却して得られた肉薄板状ガラスは、反り等の形状が
一定した一定の形状をしており、研削・研磨しやすい形
状となっている。また、肉薄板状ガラスと成形型は熱的
に平衡状態に達するまで冷却する必要がないため、成形
時間を短縮することもできる。さらに、プレス時間を短
くする目的で、肉薄板状ガラスの中心部が当該ガラス材
料の軟化点以上の温度でプレス成形を終了してもよい。
また、プレス成形後の肉薄板状ガラスが軟化状態にある
ときは、プレス成形に次いで、肉薄板状ガラスの反りを
修正する工程を行ってもよい。肉薄板状ガラスの反りを
修正する工程とは、例えば、肉薄板状ガラスの片面にの
み空気等を吹きかける等、不均一に熱を奪ったり、上型
と同様な成形面を有した成形型によって、再度プレスし
たりすることによって、反りの大きさを修正する工程の
ことである。

【００２０】さらに、溶融ガラスを薄い板状に成形する
ためには、溶融ガラスを外周方向によく引き延ばすこと
が必要であるため、成形型の成形面に固体潤滑剤を付着
させて溶融ガラスの潤滑性を上げることが好ましい。こ
のとき、肉薄板状ガラスを成形する際の成形型は、肉厚
のものをプレス成形する場合よりもより多くの熱を溶融
ガラスから受け取るため高温になる。従って、固体潤滑
剤は高温域においても潤滑性を失わない耐熱性のもので
あることが好ましい。このような耐熱性固体潤滑剤とし
ては、耐熱性に優れるものであれば特に限定されない
が、窒化ホウ素（ＢＮ）が好適である。また、極薄い肉
薄板状ガラスであっても機械的強度に優れる板状ガラス
を得るために、ガラス素材としてガラス転移点が高いも
のを用いることがある。このような場合には、成形型も
かなり高温となるため、固体潤滑剤に要求される耐熱性
は非常に高度なものとなる。このような場合にもＢＮ粉
末は好適に用いられる。耐熱性固体潤滑剤は粉末化した
ものを用いることで、ガラスの成形面への均一な付着お
よび余剰分の除去を容易に行うことができる。

【００２１】上記の製造方法により得られた肉薄板状ガ
ラスは、研削、研磨等の機械加工を経て、例えば情報記
録媒体用ガラス基板となる。以下、機械加工について詳
しく説明する。機械加工については、具体的には、上記
のガラスの表面を水洗浄し、以下の（１）荒ずり（粗研
磨）、（２）砂掛け（精研削、ラッピング）、（３）第
一研磨（ポリッシュ）、（４）第二研磨（ファイナル研
磨、ポリッシュ）の各工程を経る。

【００２２】（１）荒ずり工程まず、粒度の細かいダイヤモンド砥石で上記ガラス基板
の両面を片面ずつ研削加工した。このときの荷重は１０
０ｋｇ程度とした。これにより、ガラス基板両面の表面
粗さをＲmax(JIS B 0601で測定）で１０μｍ程度に仕上
げた。次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部
分に孔を開けるとともに、外周端面も研削して直径を６
５ｍｍφとした後、外周端面及び内周面に所定の面取り
加工を施した。

【００２３】（２）砂掛け（ラッピング）工程次に、ガラス基板に砂掛け加工を施した。この砂掛け工
程は、寸法精度及び形状精度の向上を目的としている。
砂掛け加工は、ラッピング装置を用いて行い、砥粒の粒
度を＃４００、＃１０００と替えて２回行った。詳しく
は、はじめに、粒度＃４００のアルミナ砥粒を用い、荷
重を１００ｋｇ程度に設定して、内転ギアと外転ギアを
回転させることによって、キャリア内に収納したガラス
基板の両面を両精度０〜１μｍ、表面粗さ（Ｒmax)６μ
ｍ程度にラッピングした。次いで、アルミナ砥粒の粒度
を＃１０００に替えてラッピングを行い、表面粗さ（Ｒ
max)２μｍ程度とした。上記砂掛け加工を終えたガラス
基板を、中性洗剤、水の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄
した。

【００２４】（３）第一研磨（ポリッシュ）工程次に、第一研磨工程を施した。この第一研磨工程は、上
述した砂掛け工程で残留したキズや歪みの除去を目的と
するもので、研磨装置を用いて行った。詳しくは、ポリ
シャ（研磨粉）として硬質ポリシャ（セリウムパッドＭ
ＨＣｌ：スピードファム社製）を用い、以下の研磨条件
で第一研磨工程を実施した。研磨液：酸化セリウム＋水荷重：３００ｇ／ｃｍ²（Ｌ＝２３８ｋｇ）研磨時間：１５分除去量：３０μｍ下定盤回転数：４０ｒｐｍ上定盤回転数：３５ｒｐｍ内ギア回転数：１４ｒｐｍ外ギア回転数：２９ｒｐｍ上記第一研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純
水、純水、ＩＰＡ（イソプロピレンアルコール）、ＩＰ
Ａ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。

【００２５】（４）第二研磨工程次に、第一研磨工程で使用した研磨装置を行い、ポリシ
ャを硬質ポリシャから軟質ポリシャ（ポリラックス：ス
ピードファム社製）に替えて、第二研磨工程を実施し
た。研磨条件は、荷重を１００ｇ／ｃｍ²、研磨時間を
５分、除去量を５μｍとしたこと以外は、第一研磨工程
と同様とした。上記第二研磨工程を終えたガラス基板
を、中性洗剤、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプ
ロピルアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に
順次浸漬して、洗浄した。なお、各洗浄槽に超音波を印
加した。このようにして、外径６５ｍｍφ、中心部の孔
径２０ｍｍφ、厚さ０．５ｍｍ、Ｒmax ４０オングスト
ローム、Ｒａ８オングストローム程度の円板状の情報記
録媒体用ガラス基板を得た。なお、本発明により得られ
る肉薄板状ガラスを情報記録媒体用ガラス基板として用
いるにあたり、上記（１）〜（４）のすべての工程を経
る必要はなく、例えば、得られた肉薄板状ガラスが所望
の平坦性、平滑性等を有する場合には、荒ずり工程にお
ける研削加工や、研磨工程を省略することも可能であ
る。

【００２６】以上のような方法で製造された情報記録媒
体用ガラス基板は、そのガラス基板上に下地層、磁性
層、保護層、潤滑層を順次積層することにより、磁気記
録媒体を構成する。

【００２７】ここで、磁気記録媒体のガラス基板の材質
としては、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソー
ダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミ
ノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英
ガラス、チェーンシリケートガラス、または、結晶化ガ
ラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。さらに、
好ましくは、次のような組成のガラスが使用される。（１）結晶化ガラス１重量％表示で、ＳｉＯ₂が６０〜８７％、Ｌｉ₂Ｏが５
〜２０％、Ｎａ₂Ｏが０〜５％、Ｋ₂Ｏが０〜１０％、
Ｎａ₂ＯとＫ₂Ｏが合計で０．５〜１０％、ＭｇＯが
０．５〜７．５％、ＣａＯが０〜９．５％、ＳｒＯが０
〜１５％、ＢａＯが０〜１３％、ＺｎＯが０〜１３％、
Ｂ₂Ｏ₃が０〜１０％、Ａｌ₂Ｏ₃が０〜１０％、Ｐ₂
Ｏ₅が０．５〜８％、ＴｉＯ₂が０〜５％、ＺｒＯ₂が
０〜３％、ＳｎＯ₂が０〜３％、Ａｓ₂Ｏ₃とＳｂ₂Ｏ
₃が合計で０〜２％、、上記金属酸化物の１種以上の金
属元素のフッ化物をＦの合計量として０〜５％含有し、
場合により着色成分として、Ｖ₂Ｏ₅、ＣｕＯ、ＭｎＯ
₂、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、ＭｏＯ₃、ＮｉＯ、Ｆｅ₂Ｏ
₃、ＴｅＯ₂、ＣｅＯ₂、Ｐｒ₂Ｏ₃、Ｎｄ₂Ｏ₃、Ｅ
ｒ₂Ｏ₃の群より選ばれた少なくとも１種を０〜５％含
有し、主結晶としてリチウムジシリケート、場合により
α−クリストバライト、α−クオーツ、リチウムモノシ
リケート、β−スポジューメン等を含有し、結晶粒の大
きさが３．０μｍ以下である結晶化ガラス。（２）結晶化ガラス２重量％表示で、ＳｉＯ₂が４５〜７５％、ＣａＯが４〜
３０％、Ｎａ₂Ｏが２〜１５％、Ｋ₂Ｏが０〜２０％、
Ａｌ₂Ｏ₃が０〜７％、ＭｇＯが０〜２％、ＺｎＯが０
〜２％、ＳｎＯ₂が０〜２％、Ｓｂ₂Ｏ₃が０〜１％、
Ｂ₂Ｏ₃が０〜６％、ＺｒＯ₂が０〜１２％、Ｌｉ₂Ｏ
が０〜３％、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフ
ッ化物をＦの合計量として３〜１２％含有し、場合によ
り着色成分としてＣｒ₂Ｏ₃、Ｃｏ₃Ｏ₄等を含有し、
主結晶としてカナサイト又はカリウム・フルオロ・リヒ
テライトを含有し、結晶粒の大きさが１．０μｍ以下で
ある結晶化ガラス。（３）ガラス３重量％表示で、ＳｉＯ₂が６２〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃が
４〜１８％、ＺｒＯ₂が０〜１５％、Ｌｉ₂Ｏが３〜１
２％、Ｎａ₂Ｏが３〜１３％含有するガラス。

【００２８】このようなガラス基板は、耐衝撃性や耐振
動性等の向上を目的として、表面に低温イオン交換法に
よる化学強化処理を施すことができる。ここで、化学強
化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特
に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転
移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強
化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩と
しては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、そ
れらを混合した硝酸塩などが挙げられる。

【００２９】下地層としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌなどの非磁性金属から選ば
れる少なくとも一種以上の材料からなる下地層等が挙げ
られる。Ｃｏを主成分とする磁性層の場合には、磁気特
性向上等の観点からＣｒ単体やＣｒ合金であることが好
ましい。また、下地層は単層とは限らず、同一又は異種
の層を積層した複数層構造とすることもできる。例え
ば、Ｃｒ／Ｃｒ、Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ｃｒ／ＣｒＶ、Ｃｒ
Ｖ／ＣｒＶ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ａｌ／Ｃｒ／Ｃ
ｒ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＶ、Ａｌ／ＣｒＶ／ＣｒＶ等の多
層下地層等が挙げられる。

【００３０】磁性層としては、例えば、Ｃｏを主成分と
するＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、Ｃ
ｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔや、ＣｏＮｉ
ＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、Ｃｏ
ＣｒＰｔＳｉＯなどの磁性薄膜が挙げられる。磁性層
は、磁性膜を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、Ｃｒ
Ｖなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成（例
えば、ＣｏＰｔＣｒ／ＣｒＭｏ／ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣ
ｒＴａＰｔ／ＣｒＭｏ／ＣｏＣｒＴａＰｔなど）として
もよい。磁気抵抗型ヘッド（ＭＲヘッド）又は大型磁気
抵抗型ヘッド（ＧＭＲヘッド）対応の磁性層としては、
Ｃｏ系合金に、Ｙ、Ｓｉ、希土類元素、Ｈｆ、Ｇｅ、Ｓ
ｎ、Ｚｎから選択される不純物元素、又はこれらの不純
物元素の酸化物を含有させたものなども含まれる。ま
た、磁性層としては、上記の他、フェライト系、鉄−希
土類系や、ＳｉＯ₂、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦ
ｅ、Ｃｏ、ＦｅＣｏ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散
された構造のグラニュラーなどであってもよい。また、
磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記録形式であって
もよい。

【００３１】保護層としては、例えば、Ｃｒ膜、Ｃｒ合
金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げら
れる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにイ
ンライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、
これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは、同一
又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。さらに、
上記保護層上に、あるいは上記保護層に替えて、他の保
護層を形成してもよい。例えば、上記保護層に替えて、
Ｃｒ膜の上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶
媒で希釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して
塗布し、さらに焼成して酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）膜を形
成してもよい。

【００３２】潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるパー
フロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）をフレオン系などの溶
媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピンコート
法、スプレイ法によって塗布し、必要に応じ加熱処理を
行って形成する。

【００３３】以上本発明について詳述し、図１は複数の
成形型が同一円周上に配置された場合、図２は複数の成
形型が一直線状に配置された場合、図３は成形型が１つ
の場合であるが、本発明はその他の配列の成形型に対し
ても適用できる。また、成形型の個数も上記実施の形態
に限定されるものではない。さらに、実施の形態では、
ディスク状（円板状）の肉薄板状ガラスを製造したが、
四角形などその他形状の肉薄板状ガラスを製造すること
もできる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように本発明の肉薄板状ガラスの
製造方法によれば、誘導加熱により成形型を加熱するよ
うにしたので、１つの成形型における不均一な温度分布
をなくすことができるとともに、複数の成形型を用いた
場合に各成形型間における型の温度差をなくすことがで
き、交換保守点検作業も容易となり、しかも一定の形状
の肉薄板状ガラスを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施
の形態を説明するための平面図および断面図。

【図２】本発明の他の実施の形態を説明するための平面
図および断面図。

【図３】本発明の更に他の実施の形態を説明するための
平面図。

【図４】従来の成形型の加熱方法を説明するための平面
図。

【符号の説明】

２１下型２３，３２，４２加熱コイル２４，３３交流電源２５上型３１，４１成形型

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】溶融ガラスをプレス成形して肉薄板状ガ
ラスを製造する方法であって、誘導加熱した成形型でプ
レス成形を行うことを特徴とする肉薄板状ガラスの製造
方法。
【請求項２】誘導加熱用のコイル内に複数の成形型が
配置されていることを特徴とする請求項１記載の肉薄板
状ガラスの製造方法。
【請求項３】複数の成形型が円周上に所定間隔に配置
されて順次位置が移動するように構成され、この複数の
成形型の外側と内側を囲むように誘導加熱用コイルが配
置されていることを特徴とする請求項１または２に記載
の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項４】複数の成形型が一列に配置され、この複
数の成形型の外側を囲むように誘導加熱用コイルが配置
されていることを特徴とする請求項１または２に記載の
肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項５】前記成形型のうち下型を誘導加熱するこ
とを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の肉
薄板状ガラスの製造方法。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれか１項記載の
製造方法において、肉薄板状ガラスが情報記録媒体用ガ
ラス基板である情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項７】請求項１ないし５のいずれか１項記載の
製造方法により肉薄板状ガラスを製造したのち、少なく
とも研磨工程を行うことを特徴とする情報記録媒体用ガ
ラス基板の製造方法。
【請求項８】請求項６または７記載の製造方法により
情報記録媒体用ガラス基板を製造したのち、少なくとも
磁性層を形成する工程を行うことを特徴とする情報記録
媒体の製造方法。