JPH10189531A - ウエハ裏面エッチング装置 - Google Patents
ウエハ裏面エッチング装置Info
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- JPH10189531A JPH10189531A JP34070896A JP34070896A JPH10189531A JP H10189531 A JPH10189531 A JP H10189531A JP 34070896 A JP34070896 A JP 34070896A JP 34070896 A JP34070896 A JP 34070896A JP H10189531 A JPH10189531 A JP H10189531A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ表面に貼着された保護テープが剥がれ
たり、保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が
進入することを防止したウエハ裏面エッチング装置を提
供する。 【解決手段】 ウエハ裏面エッチング装置３８は、保護
テープ２８を介してウエハ表面の周辺部を面接触で支持
する支持面４０を同一高さで有する固定支持部４２と、
ウエハ外縁を挟持する可動挟持体４４とを備えている。
固定支持部４２は、支持面４０の周縁から上方に延びて
ウエハ外縁部に沿った縦壁面４５を備えている。支持面
４０には、ウエハ外縁部を全周にわたり下側から支持す
るリング状の支持体４３が載せられている。可動挟持体
４４は、ウエハ外縁を挟持するようにウエハ外縁に対応
して湾曲した縦壁面４６を有する部材で構成され、下端
はリンク機構に接続されている。支持面４０及び支持体
４３により、保護テープ２８は弛緩せず、また、保護テ
ープ２８の周縁が剥がれない。よって、エッチング液が
ウエハ表面に付着しない。
たり、保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が
進入することを防止したウエハ裏面エッチング装置を提
供する。 【解決手段】 ウエハ裏面エッチング装置３８は、保護
テープ２８を介してウエハ表面の周辺部を面接触で支持
する支持面４０を同一高さで有する固定支持部４２と、
ウエハ外縁を挟持する可動挟持体４４とを備えている。
固定支持部４２は、支持面４０の周縁から上方に延びて
ウエハ外縁部に沿った縦壁面４５を備えている。支持面
４０には、ウエハ外縁部を全周にわたり下側から支持す
るリング状の支持体４３が載せられている。可動挟持体
４４は、ウエハ外縁を挟持するようにウエハ外縁に対応
して湾曲した縦壁面４６を有する部材で構成され、下端
はリンク機構に接続されている。支持面４０及び支持体
４３により、保護テープ２８は弛緩せず、また、保護テ
ープ２８の周縁が剥がれない。よって、エッチング液が
ウエハ表面に付着しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ裏面エッチ
ング装置に関し、更に詳細には、ウエハ表面に貼着され
た保護テープが剥がれたり、保護テープとウエハ表面と
の間にエッチング液が進入することのないようにしたウ
エハ裏面エッチング装置に関するものである。
ング装置に関し、更に詳細には、ウエハ表面に貼着され
た保護テープが剥がれたり、保護テープとウエハ表面と
の間にエッチング液が進入することのないようにしたウ
エハ裏面エッチング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造では、デバイス回路を
形成したウエハをチップ毎にダイシングする前にウエハ
裏面研削装置を用いてウエハ裏面を研削し、更に、ウエ
ハ裏面をエッチング液によりエッチングしている。その
際、デバイス回路が形成されているウエハ表面は、保護
テープで覆われ保護されている。以下に、従来のウエハ
裏面エッチング装置を説明する。図３（ａ）、（ｂ）及
び（ｃ）は、それぞれ、従来のウエハ裏面エッチング装
置の一例の平面図、矢視Ｉ−Ｉでの側面断面図、及び部
分拡大斜視図である。従来のウエハ裏面エッチング装置
のウエハ保持具１０は、保護テープを介してウエハ表面
の周辺部を下方から支持する固定ピン１６と、回動して
ウエハ外縁を挟持する可動ピン１８と、可動ピン１８を
駆動して回動させるリンク機構２０と、それらを支える
プレート２２とを備えている。
形成したウエハをチップ毎にダイシングする前にウエハ
裏面研削装置を用いてウエハ裏面を研削し、更に、ウエ
ハ裏面をエッチング液によりエッチングしている。その
際、デバイス回路が形成されているウエハ表面は、保護
テープで覆われ保護されている。以下に、従来のウエハ
裏面エッチング装置を説明する。図３（ａ）、（ｂ）及
び（ｃ）は、それぞれ、従来のウエハ裏面エッチング装
置の一例の平面図、矢視Ｉ−Ｉでの側面断面図、及び部
分拡大斜視図である。従来のウエハ裏面エッチング装置
のウエハ保持具１０は、保護テープを介してウエハ表面
の周辺部を下方から支持する固定ピン１６と、回動して
ウエハ外縁を挟持する可動ピン１８と、可動ピン１８を
駆動して回動させるリンク機構２０と、それらを支える
プレート２２とを備えている。
【０００３】固定ピン１６及び可動ピン１８は、それぞ
れ３個ずつ交互に正６角形状にプレート２２上に配置さ
れている。固定ピン１６は、支持面２４と、支持面２４
外側の周縁から上方に延び、ウエハの外縁部に接触する
縦壁面とを有している。可動ピン１８は、図３（ｃ）に
示すように、固定ピン１６と同様の構造で、水平に延び
可動ピン１８を回動させる脚部２５を有しており、脚部
２５にリンク機構２０のアーム先端が接続されている。
リンク機構２０は、プレート２２に対して回動自在な円
盤２３と、円盤２３に偏心連結された回動自在なアーム
２６とを備え、それらは図３（ｃ）の仮想線で示した回
動ピンの周りに回動する。
れ３個ずつ交互に正６角形状にプレート２２上に配置さ
れている。固定ピン１６は、支持面２４と、支持面２４
外側の周縁から上方に延び、ウエハの外縁部に接触する
縦壁面とを有している。可動ピン１８は、図３（ｃ）に
示すように、固定ピン１６と同様の構造で、水平に延び
可動ピン１８を回動させる脚部２５を有しており、脚部
２５にリンク機構２０のアーム先端が接続されている。
リンク機構２０は、プレート２２に対して回動自在な円
盤２３と、円盤２３に偏心連結された回動自在なアーム
２６とを備え、それらは図３（ｃ）の仮想線で示した回
動ピンの周りに回動する。
【０００４】ウエハ裏面エッチング装置１０を用いるに
は、固定ピン１６及び可動ピン１８の支持面２４上に保
護テープを介してウエハ３０の周辺部を保持し、次い
で、リンク機構２０により可動ピン１８を回動させ、図
３（ｃ）に示すように、可動ピン１８の縦壁面２７によ
りウエハ外縁部を挟持する。
は、固定ピン１６及び可動ピン１８の支持面２４上に保
護テープを介してウエハ３０の周辺部を保持し、次い
で、リンク機構２０により可動ピン１８を回動させ、図
３（ｃ）に示すように、可動ピン１８の縦壁面２７によ
りウエハ外縁部を挟持する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のウエ
ハ裏面エッチング装置では、図４に示すように、可動ピ
ン１８の支持面内縁部２９により保護テープ２８が剥が
されたり、図５に示すように、ウエハ３０が反って保護
テープ２８が弛緩するため、ウエハ３０と保護テープ２
８との間に隙間３２が形成されたりしていた。その結
果、ウエハ周縁に回り込んだエッチング液が、保護テー
プ２８の剥がれたウエハ表面部分に付着したり、ウエハ
３０と保護テープ２８との間に侵入し更には隙間３２に
入り込んでウエハ表面３４に付着したりするという問題
があった。以上のような事情に照らして、本発明の目的
は、ウエハ表面に貼着された保護テープが剥がれたり、
保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が進入す
ることを防止したウエハ裏面エッチング装置を提供する
ことである。
ハ裏面エッチング装置では、図４に示すように、可動ピ
ン１８の支持面内縁部２９により保護テープ２８が剥が
されたり、図５に示すように、ウエハ３０が反って保護
テープ２８が弛緩するため、ウエハ３０と保護テープ２
８との間に隙間３２が形成されたりしていた。その結
果、ウエハ周縁に回り込んだエッチング液が、保護テー
プ２８の剥がれたウエハ表面部分に付着したり、ウエハ
３０と保護テープ２８との間に侵入し更には隙間３２に
入り込んでウエハ表面３４に付着したりするという問題
があった。以上のような事情に照らして、本発明の目的
は、ウエハ表面に貼着された保護テープが剥がれたり、
保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が進入す
ることを防止したウエハ裏面エッチング装置を提供する
ことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討の
結果、ウエハ周縁を点接触でなく面接触により挟持する
ことを考えつき、本発明を完成するに至った。上記目的
を達成するために、本発明に係るウエハ裏面エッチング
装置（以下、第１発明と言う）は、ウエハ表面に保護テ
ープを貼着したウエハをウエハ保持具内にウエハ裏面を
上面にして保持し、ウエハ裏面をエッチング液によりエ
ッチングする装置であって、ウエハ保持具が、保護テー
プを介してウエハ表面の周辺部を面接触で支持する支持
面を備えた固定支持部と、固定支持部の支持面と平行な
方向に自在に移動する、少なくとも２個の可動部と、可
動部を駆動して移動させ、可動部同士間の差し渡し寸法
を自在に拡大、縮小して、固定支持部により支持された
ウエハの外縁部を可動部で挟持するリンク機構とを備え
ていることを特徴としている。第１発明のウエハ裏面エ
ッチング装置を用いると、エッチング液が保護テープと
ウエハ表面との間に進入することが防止される。
結果、ウエハ周縁を点接触でなく面接触により挟持する
ことを考えつき、本発明を完成するに至った。上記目的
を達成するために、本発明に係るウエハ裏面エッチング
装置（以下、第１発明と言う）は、ウエハ表面に保護テ
ープを貼着したウエハをウエハ保持具内にウエハ裏面を
上面にして保持し、ウエハ裏面をエッチング液によりエ
ッチングする装置であって、ウエハ保持具が、保護テー
プを介してウエハ表面の周辺部を面接触で支持する支持
面を備えた固定支持部と、固定支持部の支持面と平行な
方向に自在に移動する、少なくとも２個の可動部と、可
動部を駆動して移動させ、可動部同士間の差し渡し寸法
を自在に拡大、縮小して、固定支持部により支持された
ウエハの外縁部を可動部で挟持するリンク機構とを備え
ていることを特徴としている。第１発明のウエハ裏面エ
ッチング装置を用いると、エッチング液が保護テープと
ウエハ表面との間に進入することが防止される。
【０００７】好適には、固定支持部が、ウエハ表面の周
辺部のデバイス回路未形成領域の大半を面接触で支持す
るようにされている。また好適には、固定支持部の支持
面を連ねるようにしたリング状の支持体を備えている。
これにより、支持体を介してウエハ周辺部を全周にわた
り支持することができるので、エッチング時に保護テー
プが弛緩しない。
辺部のデバイス回路未形成領域の大半を面接触で支持す
るようにされている。また好適には、固定支持部の支持
面を連ねるようにしたリング状の支持体を備えている。
これにより、支持体を介してウエハ周辺部を全周にわた
り支持することができるので、エッチング時に保護テー
プが弛緩しない。
【０００８】また、本発明に係る別のウエハ裏面エッチ
ング装置（以下、第２発明と言う）は、ウエハ表面に保
護テープを貼着したウエハをウエハ保持具内にウエハ裏
面を上面にして保持し、ウエハ裏面をエッチング液によ
りエッチングする装置であって、ウエハ保持具が、保護
テープを介してウエハ表面の周辺部を下方から面接触で
支持する支持面と、支持面の周縁から上方に延びた縦壁
面とを備え、縦壁面を相互に対向して配置され、かつ支
持面と平行な方向に自在に移動する複数個の可動部と、
可動部を駆動して移動させ、可動部同士の縦壁面間の差
し渡し寸法を自在に拡大、縮小して、可動部の支持面に
より支持されたウエハの外縁部を縦壁面で挟持するリン
ク機構とを備えていることを特徴としている。
ング装置（以下、第２発明と言う）は、ウエハ表面に保
護テープを貼着したウエハをウエハ保持具内にウエハ裏
面を上面にして保持し、ウエハ裏面をエッチング液によ
りエッチングする装置であって、ウエハ保持具が、保護
テープを介してウエハ表面の周辺部を下方から面接触で
支持する支持面と、支持面の周縁から上方に延びた縦壁
面とを備え、縦壁面を相互に対向して配置され、かつ支
持面と平行な方向に自在に移動する複数個の可動部と、
可動部を駆動して移動させ、可動部同士の縦壁面間の差
し渡し寸法を自在に拡大、縮小して、可動部の支持面に
より支持されたウエハの外縁部を縦壁面で挟持するリン
ク機構とを備えていることを特徴としている。
【０００９】第２発明のウエハ裏面エッチング装置を用
いると、エッチング時では、ウエハ周辺部は保護テープ
の周辺部を介して支持面により支持され、ウエハは縦壁
面により挟持されるので、保護テープが弛緩せず、よっ
て、保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が進
入することが防止される。
いると、エッチング時では、ウエハ周辺部は保護テープ
の周辺部を介して支持面により支持され、ウエハは縦壁
面により挟持されるので、保護テープが弛緩せず、よっ
て、保護テープとウエハ表面との間にエッチング液が進
入することが防止される。
【００１０】好適には、可動部は、ウエハを挟持したと
き、可動部同士の側壁が互いに接触し、ウエハを底面と
する桶状の容器を構成する。これにより、エッチング液
をウエハ裏面上に漏れないようにして保持することがで
きる。
き、可動部同士の側壁が互いに接触し、ウエハを底面と
する桶状の容器を構成する。これにより、エッチング液
をウエハ裏面上に漏れないようにして保持することがで
きる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に、実施例を挙げ、添付図面
を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより詳細
に説明する。実施例１ 本実施例は、第１発明の例である。図１（ａ）及び
（ｂ）は、それぞれ、本実施例のウエハ裏面エッチング
装置のウエハ保持具の平面図及び矢視ＩＩ−ＩＩでの部
分拡大断面図である。ウエハ裏面エッチング装置のウエ
ハ保持具３８は、保護テープ２８を介してウエハ表面の
周辺部を面接触で支持する支持面４０を同一高さで有す
る３個の固定支持部４２と、可動部として、ウエハ外縁
部を挟持する摺動自在又は回動自在の３個の可動挟持体
４４とを備えている。固定支持部４２と可動挟持体４４
とは、それぞれ、ウエハを囲むように交互に配置されて
いる。更に、可動挟持体４４を摺動又は回動させ、相互
に離隔させるリンク機構（図示せず）と、これらを支え
るプレート（図示せず）とを備えている。リンク機構
は、既知のもので、従来と同じリンク機構２０であって
もよい。
を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつより詳細
に説明する。実施例１ 本実施例は、第１発明の例である。図１（ａ）及び
（ｂ）は、それぞれ、本実施例のウエハ裏面エッチング
装置のウエハ保持具の平面図及び矢視ＩＩ−ＩＩでの部
分拡大断面図である。ウエハ裏面エッチング装置のウエ
ハ保持具３８は、保護テープ２８を介してウエハ表面の
周辺部を面接触で支持する支持面４０を同一高さで有す
る３個の固定支持部４２と、可動部として、ウエハ外縁
部を挟持する摺動自在又は回動自在の３個の可動挟持体
４４とを備えている。固定支持部４２と可動挟持体４４
とは、それぞれ、ウエハを囲むように交互に配置されて
いる。更に、可動挟持体４４を摺動又は回動させ、相互
に離隔させるリンク機構（図示せず）と、これらを支え
るプレート（図示せず）とを備えている。リンク機構
は、既知のもので、従来と同じリンク機構２０であって
もよい。
【００１２】固定支持部４２は、ウエハに対応して湾曲
した部材で構成され、支持面４０の周縁から上方に延び
てウエハの外縁部に沿った縦壁面４５を備えている。支
持面４０には、ウエハ周辺部を全周にわたり下側から支
持するリング状の支持体４３が載せられている。可動挟
持体４４は、ウエハ外縁を挟持するようにウエハ外縁に
対応して湾曲した縦壁面４６を有する部材で構成され、
下端はリンク機構に接続されている。尚、縦壁面４５、
４６は、挟持する際にウエハが外れることを防止するた
め、図１（ｂ）に示すように、何れも上端がウエハに対
してやや内向きであるように傾斜している。
した部材で構成され、支持面４０の周縁から上方に延び
てウエハの外縁部に沿った縦壁面４５を備えている。支
持面４０には、ウエハ周辺部を全周にわたり下側から支
持するリング状の支持体４３が載せられている。可動挟
持体４４は、ウエハ外縁を挟持するようにウエハ外縁に
対応して湾曲した縦壁面４６を有する部材で構成され、
下端はリンク機構に接続されている。尚、縦壁面４５、
４６は、挟持する際にウエハが外れることを防止するた
め、図１（ｂ）に示すように、何れも上端がウエハに対
してやや内向きであるように傾斜している。
【００１３】ウエハ裏面エッチング装置３８を用いるに
は、可動挟持体４４を拡げ、支持体４３を介して固定支
持部４２の支持面４０上でウエハ３０の周辺部を支持
し、次いで、リンク機構により可動挟持体４４を移動さ
せ、縦壁面４６によりウエハ外縁部を挟持する。次い
で、フッ硝酸等のエッチング液でウエハ裏面をエッチン
グする。
は、可動挟持体４４を拡げ、支持体４３を介して固定支
持部４２の支持面４０上でウエハ３０の周辺部を支持
し、次いで、リンク機構により可動挟持体４４を移動さ
せ、縦壁面４６によりウエハ外縁部を挟持する。次い
で、フッ硝酸等のエッチング液でウエハ裏面をエッチン
グする。
【００１４】本実施例では、支持面４０及び支持体４３
によりウエハ周辺部が全周にわたり下側から支持される
ので、保護テープ２８は弛緩せず、また、保護テープ２
８の周縁が剥がれない。よって、エッチング液がウエハ
表面に付着しない。
によりウエハ周辺部が全周にわたり下側から支持される
ので、保護テープ２８は弛緩せず、また、保護テープ２
８の周縁が剥がれない。よって、エッチング液がウエハ
表面に付着しない。
【００１５】尚、可動挟持体４４に代えて固定支持部４
２を配置し、固定支持部４２の間に従来と同じ可動ピン
１８を備えても、同様の効果が得られる。
２を配置し、固定支持部４２の間に従来と同じ可動ピン
１８を備えても、同様の効果が得られる。
【００１６】実施例２ 本実施例は、第２発明の実施例である。図２（ａ）、
（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、本実施例のウエハ裏面
エッチング装置のウエハ保持具でウエハを挟持した状態
を示す平面図、側面断面図及び背面図である。本実施例
のウエハ裏面エッチング装置５０は、実施例１のウエハ
裏面エッチング装置のウエハ保持具３８で、固定支持部
４２及び可動挟持体４４に代えて、保護テープを介して
ウエハ表面の周辺部を下方から面接触で支持する支持面
５２と、支持面５２の周縁から上方に延びてウエハの外
縁部に接触する縦壁面５４とを有する５個の可動挟持体
５６を備えている。可動挟持体５６は、縦壁面５４を相
互に対向させて配置され、挟持時では隣り合う可動挟持
体の側壁は互いに密着して桶状の容器を構成する。
（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、本実施例のウエハ裏面
エッチング装置のウエハ保持具でウエハを挟持した状態
を示す平面図、側面断面図及び背面図である。本実施例
のウエハ裏面エッチング装置５０は、実施例１のウエハ
裏面エッチング装置のウエハ保持具３８で、固定支持部
４２及び可動挟持体４４に代えて、保護テープを介して
ウエハ表面の周辺部を下方から面接触で支持する支持面
５２と、支持面５２の周縁から上方に延びてウエハの外
縁部に接触する縦壁面５４とを有する５個の可動挟持体
５６を備えている。可動挟持体５６は、縦壁面５４を相
互に対向させて配置され、挟持時では隣り合う可動挟持
体の側壁は互いに密着して桶状の容器を構成する。
【００１７】ウエハ裏面エッチング装置５０を用いるに
は、保護テープ２８が表面に貼られたウエハを下方に向
け、実施例１と同様にして挟持する。これにより、エッ
チング時では、実施例１と同様、保護テープ２８は弛緩
せず、また、保護テープ２８の周縁が剥がれないので、
ウエハ表面にエッチング液が付着しない。また、エッチ
ング時では可動挟持体５６はウエハを底面にした桶状の
容器を形成するので、エッチング液５８をウエハ裏面及
び可動挟持体５６により漏れないように収容し、エッチ
ングの作業性を向上させている。
は、保護テープ２８が表面に貼られたウエハを下方に向
け、実施例１と同様にして挟持する。これにより、エッ
チング時では、実施例１と同様、保護テープ２８は弛緩
せず、また、保護テープ２８の周縁が剥がれないので、
ウエハ表面にエッチング液が付着しない。また、エッチ
ング時では可動挟持体５６はウエハを底面にした桶状の
容器を形成するので、エッチング液５８をウエハ裏面及
び可動挟持体５６により漏れないように収容し、エッチ
ングの作業性を向上させている。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハ裏面エッチング
装置のウエハ保持具は、保護テープを介してウエハ表面
の周辺部を面接触で支持する支持面を備えた固定支持部
と、固定支持部の支持面と平行な方向に自在に移動す
る、少なくとも２個の可動部とを備えている。可動部
は、可動部同士間の差し渡し寸法を自在に拡大、縮小し
て、固定支持部により支持されたウエハの外縁部を挟持
する。これにより、ウエハ挟持に際し、ウエハ周辺部
が、保護テープの周辺部を介して支持面に支持されてウ
エハが挟持されるので、保護テープは弛緩せず、また、
保護テープの周縁が剥がれない。よって、エッチング液
がウエハ表面に付着せず、保護テープとウエハ表面との
間に進入しない。また、固定支持部を設ける代わりに全
て可動部とし、可動部は、保護テープを介してウエハ表
面の周辺部を下方から面接触で支持する支持面と、支持
面の周縁から上方に延びた縦壁面とを備えて、可動部同
士の縦壁面間の差し渡し寸法を自在に拡大、縮小させる
ことにより、同様の作用、効果を奏することができる。
装置のウエハ保持具は、保護テープを介してウエハ表面
の周辺部を面接触で支持する支持面を備えた固定支持部
と、固定支持部の支持面と平行な方向に自在に移動す
る、少なくとも２個の可動部とを備えている。可動部
は、可動部同士間の差し渡し寸法を自在に拡大、縮小し
て、固定支持部により支持されたウエハの外縁部を挟持
する。これにより、ウエハ挟持に際し、ウエハ周辺部
が、保護テープの周辺部を介して支持面に支持されてウ
エハが挟持されるので、保護テープは弛緩せず、また、
保護テープの周縁が剥がれない。よって、エッチング液
がウエハ表面に付着せず、保護テープとウエハ表面との
間に進入しない。また、固定支持部を設ける代わりに全
て可動部とし、可動部は、保護テープを介してウエハ表
面の周辺部を下方から面接触で支持する支持面と、支持
面の周縁から上方に延びた縦壁面とを備えて、可動部同
士の縦壁面間の差し渡し寸法を自在に拡大、縮小させる
ことにより、同様の作用、効果を奏することができる。
【図１】本実施例の図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞ
れ、実施例１のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持
具の平面図及び矢視ＩＩ−ＩＩでの部分拡大断面図であ
る。
れ、実施例１のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持
具の平面図及び矢視ＩＩ−ＩＩでの部分拡大断面図であ
る。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、
実施例２のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持具を
示す平面図、側面断面図及び背面図である。
実施例２のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持具を
示す平面図、側面断面図及び背面図である。
【図３】図３（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、
従来のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持具の一例
の平面図、矢視Ｉ−Ｉでの側面断面図、及び部分拡大斜
視図である。
従来のウエハ裏面エッチング装置のウエハ保持具の一例
の平面図、矢視Ｉ−Ｉでの側面断面図、及び部分拡大斜
視図である。
【図４】従来のウエハ裏面エッチング装置の問題点を説
明するウエハ周辺部の部分断面拡大図である。
明するウエハ周辺部の部分断面拡大図である。
【図５】従来のウエハ裏面エッチング装置の問題点を説
明するウエハ周辺部の部分断面拡大図である。
明するウエハ周辺部の部分断面拡大図である。
１０……ウエハ保持具、１６……固定ピン、１８……可
動ピン、２０……リンク機構、２２……プレート、２３
……円盤、２４……支持面、２５……脚部、２６……ア
ーム、２７……縦壁面、２８……保護テープ、３０……
ウエハ、３２……隙間、３４……ウエハ表面、３８……
ウエハ保持具、４０……支持面、４２……固定支持部、
４４……可動挟持体、４５……縦壁面、４３……支持
体、４６……縦壁面、５２……支持面、５４……縦壁
面、５６……可動挟持体、５８……エッチング液。
動ピン、２０……リンク機構、２２……プレート、２３
……円盤、２４……支持面、２５……脚部、２６……ア
ーム、２７……縦壁面、２８……保護テープ、３０……
ウエハ、３２……隙間、３４……ウエハ表面、３８……
ウエハ保持具、４０……支持面、４２……固定支持部、
４４……可動挟持体、４５……縦壁面、４３……支持
体、４６……縦壁面、５２……支持面、５４……縦壁
面、５６……可動挟持体、５８……エッチング液。
Claims (5)
- 【請求項１】 ウエハ表面に保護テープを貼着したウエ
ハをウエハ保持具内にウエハ裏面を上面にして保持し、
ウエハ裏面をエッチング液によりエッチングする装置で
あって、 ウエハ保持具が、保護テープを介してウエハ表面の周辺
部を面接触で支持する支持面を備えた固定支持部と、 固定支持部の支持面と平行な方向に自在に移動する、少
なくとも２個の可動部と、 可動部を駆動して移動させ、可動部同士間の差し渡し寸
法を自在に拡大、縮小して、固定支持部により支持され
たウエハの外縁部を可動部で挟持するリンク機構とを備
えていることを特徴とするウエハ裏面エッチング装置。 - 【請求項２】 固定支持部が、ウエハ表面の周辺部のデ
バイス回路未形成領域の大半を面接触で支持するように
されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ裏
面エッチング装置。 - 【請求項３】 固定支持部の支持面を連ねるようにした
リング状の支持体を備え、支持体を介してウエハ周辺部
を全周にわたり支持するようにしたことを特徴とする請
求項１又は２に記載のウエハ裏面エッチング装置。 - 【請求項４】 ウエハ表面に保護テープを貼着したウエ
ハをウエハ保持具内にウエハ裏面を上面にして保持し、
ウエハ裏面をエッチング液によりエッチングする装置で
あって、 ウエハ保持具が、保護テープを介してウエハ表面の周辺
部を下方から面接触で支持する支持面と、支持面の周縁
から上方に延びた縦壁面とを備え、縦壁面を相互に対向
して配置され、かつ支持面と平行な方向に自在に移動す
る複数個の可動部と、 可動部を駆動して移動させ、可動部同士の縦壁面間の差
し渡し寸法を自在に拡大、縮小して、可動部の支持面に
より支持されたウエハの外縁部を縦壁面で挟持するリン
ク機構とを備えていることを特徴とするウエハ裏面エッ
チング装置。 - 【請求項５】 可動部は、ウエハを挟持したとき、可動
部同士の側壁が互いに接触し、ウエハを底面とする桶状
の容器を構成することを特徴とする請求項４に記載のウ
エハ裏面エッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34070896A JPH10189531A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ウエハ裏面エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34070896A JPH10189531A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ウエハ裏面エッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189531A true JPH10189531A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18339561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34070896A Pending JPH10189531A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | ウエハ裏面エッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10189531A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7936447B2 (en) * | 2006-05-08 | 2011-05-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34070896A patent/JPH10189531A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7936447B2 (en) * | 2006-05-08 | 2011-05-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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