JPH10185549A - 角度測定装置 - Google Patents

角度測定装置

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JPH10185549A
JPH10185549A JP8348631A JP34863196A JPH10185549A JP H10185549 A JPH10185549 A JP H10185549A JP 8348631 A JP8348631 A JP 8348631A JP 34863196 A JP34863196 A JP 34863196A JP H10185549 A JPH10185549 A JP H10185549A
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JP
Japan
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conductor
angle
pulse signal
measuring device
reflected
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JP8348631A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Kishimoto
弘 岸本
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
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    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/48Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な構造で角度を検出する装置を提供する。 【解決手段】回転軸(12)の回転角度を測定する角度
測定装置において、回転軸を中心に円形状に配置され、
一端側から短いパルス信号が入力される第一の導体(1
0)と、第一の導体の近傍に沿って前記第一の導体に対
して回転するよう配置された第二の導体(14)と、第
一の導体に前記パルス信号(P1)を入力し、第二の導
体が位置する領域で反射する第一の反射パルス信号(P
2)を検出し、第一の反射パルス信号の到達時間から第
二の導体の位置する角度を検出する角度検出部(16)
とを有することを特徴とする。更に、角度検出部(1
6)は、第二の導体(14)が位置する領域で反射する
第一の反射パルス信号(P2)と第一の導体(10)の
他端で反射する第二の反射パルス信号(P3)とを検出
し、第一及び第二の反射パルス信号の到達時間(t1,
t2)から第二の導体の位置する角度を検出することを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、短いパルス信号を
利用して回転軸の回転角度を検出する角度測定装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】ロータリーエンコーダ等に代表される角
度測定装置は、精密な目盛りを刻んだディスクを光学的
にあるいは電磁的に検出することを基本原理とする。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
ロータリーエンコーダは、非常に精度良く目盛りを形成
する必要があり、更にその目盛りを検出する検出センサ
自体高価なものである。そして、構成も複雑であるの
で、環境や衝撃等に弱く、廉価で信頼性の高いものを実
現することは困難であった。
【0004】そこで、本発明の目的は、上記従来の問題
点を解決した角度測定装置を提供することにある。
【0005】更に、本発明の目的は、構成が簡単である
が高精度に角度を測定することができ、しかも安価な角
度測定装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、本発明に
よれば、回転軸の回転角度を測定する角度測定装置にお
いて、前記回転軸を中心に円形状に配置され、一端側か
ら短いパルス信号が入力される第一の導体と、該第一の
導体の近傍に沿って前記第一の導体に対して回転するよ
う配置された第二の導体と、該第一の導体に前記パルス
信号を入力し、前記第二の導体が位置する領域で反射す
る第一の反射パルス信号を検出し、該第一の反射パルス
信号の到達時間から該第二の導体の位置する角度を検出
する角度検出部とを有することを特徴とする角度測定装
置を提供することにより達成される。
【0007】更に、別の発明によれば、上記角度検出部
は、該第一の導体に前記パルス信号を入力し、前記第二
の導体が位置する領域で反射する第一の反射パルス信号
と前記第一の導体の他端で反射する第二の反射パルス信
号とを検出し、該第一及び第二の反射パルス信号の到達
時間から該第二の導体の位置する角度を検出することを
特徴とする。
【0008】上記の様に、極めて短いパルス信号を円形
の導体に伝播させ、回転移動する第二の導体の位置での
反射パルス信号の伝播遅延時間からその角度を正確に検
出することができる。しかも、その構成は非常に簡単な
ものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術
的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
【0010】図1は、本発明の実施の形態例の概略図で
ある。図中、10は短パルス信号が伝播される円形状の
導体であり、その導体10に沿って回転軸12と共に回
転する導体14が回転移動する。円形導体10の一端1
0aには、短いパルス信号を発生して円形導体10に入
力し、反射して戻ってきたパルス信号を検出して、導体
14の位置の角度を検出する角度検出部16が接続され
ている。この一端10aでは再度パルス信号が反射しな
い様に終端抵抗18が設けられる。また、円形導体10
の他端10bには、特に終端抵抗は設けられずに開放状
態であり、円形導体10を伝播してきたパルス信号が反
射する様に構成されている。
【0011】回転軸12と共に回転する導体14は、所
定の電位に固定されていて、円形導体14とは、誘電体
層(図示せず)を介して接触または近接して、該円形導
体14に沿って回転する。
【0012】図1の例では、導体14が回転軸12と共
に円形導体10に対して回転する例である。しかし、原
理的には円形導体10が回転軸12と共に回転して、導
体14が固定していても良い。或いは図1の例で回転軸
12が固定的に取り付けられ、円形導体10が回転して
も良い。いずれにしても、円形導体10と導体14とが
相対的に回転して、導体14の位置の円形導体10に対
する角度が反射パルス信号の遅延時間によって検出され
る。
【0013】図2は、図1の概略平面図であり、図3は
円形導体10に短パルス信号を伝播させた時の各々パル
ス信号波形を示す図であり、図4は、図2の円形導体1
0の等価回路図である。円形導体10は、例えば短パル
ス信号が伝播しやすいような例えば分布定数回路になる
様に構成され、導体14の位置する所に所定の容量C0
が付加されて図4の如き等価回路となる。従って、短パ
ルス信号は、角度検出部16から射出パルス信号P1と
して円形導体10の一端10aから伝播し、まず導体1
4の位置での容量C0によるインピーダンスの不連続に
より一部反射をして、反射パルスP2として角度検出部
16に戻ってくる。また、導体14の位置を通過したパ
ルス信号は、円形導体10の他端10bで反射して、反
射パルスP3として角度検出部16に戻ってくる。
【0014】従って、角度検出部16では、図3に示し
た3つのパルス信号P1,P2,P3を検出することが
でき、パルス信号P1とP2との間の時間t1と導体1
0内のパルス信号の伝播速度から、図2中の角度θを検
出することができる。
【0015】或いは、パルス信号P1とP2との間の時
間t1と、パルス信号P1とP3との間の時間t2との
比から、角度θを検出することができる。即ち、時間t
2は図2の例では360度に対応するので、360度に
比率t1/t2を乗ずることによりより正確な角度を検
出することができる。
【0016】図5は、角度検出装置の具体的構成例を示
す断面図である。また、図6は、図5のX−Xで切断し
た時の上面図である。回転軸12は、ケース20にベア
リング22、24を介して相対的に回転自在に取り付け
られている。回転軸12には、円板状のプリント基板2
6が固定され、そのプリント基板26の表面に導体14
に該当する帯状の導体パターン28が形成される。好ま
しくは、この導体パターン28は接地電位に接続され
る。
【0017】一方、ケース20に固定されている、ドー
ナツ状のプリント基板30の表面に、円形導体10とし
て導体パターン32が形成される。そして、導体パター
ン32が望ましいパルス信号の伝播路となる様に、例え
ばプリント基板30の内部に接地層が形成されて、図4
に示した様な伝播回路が構成される。また、プリント基
板30の背面側には、パルス信号を発生し、反射パルス
信号を検出して角度を求める角度検出部16が集積回路
としてマウントされている。
【0018】円板状のプリント基板26が回転軸12に
固定されているので、回転軸12の回転と共に、導体パ
ターン28(14)も回転する。導体パターン28と3
2とは、例えば狭い空気層を介して対向することで、両
導体間に容量C0を形成する。また、両導体パターンの
表面が所定の誘電体層で被覆される時は、所定の潤滑材
等を介して接触されてもよい。
【0019】図5に示した角度測定装置は、測定したい
部位に回転軸12或いはケース20が固定される。そし
て、その部位の回転と共に回転軸12とケース20との
相対的な角度が変位する。
【0020】図7は、他の実施の形態例の角度測定装置
の概略図である。この例では、円形の導体を4つに分割
し、それぞれの導体101、102、103、104に
対して一端に角度検出部161〜164を設けている。
回転軸12に固定された導体14は、4つのの導体10
1〜104に沿って回転する。従って、それぞれの角度
検出部161〜164がそれぞれの90度の範囲での角
度を検出する。従って、1つの角度検出部が検出する角
度の範囲を狭くすることで、検出角度の精度を向上させ
ることができる。
【0021】図8は、更に他の実施の形態例の角度測定
装置の概略図である。この例では、同様に角度検出精度
を上げる為に、円形の導体10を一回転ではなく、3回
転分設けている。より長い伝播路上において導体14が
位置する3カ所でパルス信号が反射するので、それぞれ
の反射パルス信号から求められる角度を平均化等をする
ことにより、角度の検出精度を上げることができる。
【0022】図9は、更に他の実施の形態例の角度測定
装置の概略図である。この例では、円形状の導体10が
回転軸12を中心とする円に沿って該円を横切る様に鋸
波状に設けられている。こうすることで、パルス信号が
伝播する経路を長くすることができ、反射パルス信号の
遅延時間t1,t2の時間分解能が高くなり、より精度
の高い角度検出が可能になる。
【0023】図10は、更に他の実施の形態例の角度測
定装置の概略図である。また、図11は、その場合の反
射パルス信号の遅延時間(横軸)と検出角度(縦軸)と
の関係を示すグラフである。図10の例では、円形状の
導体10が回転軸12を中心とする円に沿って該円を横
切る様に矩形波状に設けられている。この様な形状の設
けることで、図11の如き検出特性を得ることができ
る。即ち、導体10の半径方向の部分では、パルス信号
は遅延伝播するが検出角度は変化しない。一方、導体1
0の円周方向の部分では、検出角度は変化する。従っ
て、反射パルス信号の遅延時間がその分長くなり時間分
解能が高くなる。さらに、0〜15度、15〜30度、
30〜45度の範囲の間に、角度が変化しないが反射パ
ルス信号P2の伝播は生じる領域を生成することができ
る。従って、上記の角度範囲毎に飛び飛びの反射パルス
信号の遅延時間領域を持ち、略デジタル的な角度検出を
可能にする。
【0024】図12は、更に他の実施の形態例の角度測
定装置の概略図である。この例は、図8の例と類似する
が、円形状の導体14が折り返して2回転する様に設け
られる。この場合も、導体14付近での反射パルス信号
が2つになり、検出角度の精度を向上させることができ
る。
【0025】図13は、更に他の実施の形態例の角度測
定装置の概略図である。この例では、回転軸12の位置
が円形の導体10の中心からずれていても、正確に角度
を検出することができる様にしている。即ち、ロータリ
ーエンコーダにおける軸ずれ対策として知られている様
に、回転軸12と共に回転する導体14を180度ずれ
た位置に2本設けている。その場合、円形の導体10は
1本でも良いが、検出を容易にする為に180度ずらし
て2本105、106設けている。そして、それぞれの
導体105、106に短パルス信号を射出して反射パル
ス信号の伝播遅延時間t1,t2を検出する角度検出部
165、166を接続する。
【0026】図14は、図13の回転軸12が中心から
ずれている場合でも、2本の導体14a,14bにより
正確に角度を検出することを示す図である。また、図1
5は、その場合の反射パルス信号の遅延時間(横軸)と
検出角度(縦軸)との関係を示すグラフである。即ち、
正しい中心がO1であるのに対して、回転軸12がそこ
からずれた点O2に位置するとする。その場合、2つの
導体14a,14bは、図中でA−O2,B−O2の辺
に位置する。従って、正しい回転角度はθである。とこ
ろが、導体14a,14bが点A,Bの位置にあるの
で、反射パルス信号によって、点Aのほうはθ+αと検
出され、点Bのほうはθ−αとして検出される。即ち、
導体14aによっては図15中の実線のごとき正弦波と
なるのに対して、導体14bによっては図15中の破線
のごとき正弦波となる。従って、導体14aによって反
射するパルス信号から検出される角度θ+αと、導体1
4bによって反射するパルス信号から検出される角度θ
−αとを加算して1/2倍することで、誤差αをキャン
セルすることができる。
【0027】図13において、円形の導体10が1本で
ある場合は、例えば導体14bで反射する反射パルス信
号から検出される角度から180度分除いた角度を用い
ることで、上記と同様に誤差角αをキャンセルすること
ができる。
【0028】図13の例に、更に90度回転させた更に
2本の導体を追加して、90度づつ隔てた4本の導体1
4を設けても、同様に回転軸のずれによる誤差をキャン
セルすることができる。
【0029】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、従
来に比較して単純な構成で角度を測定する装置を提供す
ることができ、廉価な角度測定装置の提供が可能にな
る。
【0030】また、角度検出部で生成される短パルス信
号は、極めて微弱なパワーのパルス信号で良く、角度検
出部の消費電力を少なくすることができる。そして、本
発明の角度検出装置では、角度の測定を行う時のみ電力
を消費するので、通常状態では電源を切断しても角度の
状態は保たれ、常に通電しておく必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態例の概略図である。
【図2】図1の概略平面図である。
【図3】円形導体10に短パルス信号を伝播させた時の
各々パルス信号波形を示す図である。
【図4】円形導体10の等価回路図である。
【図5】角度検出装置の具体的構成例を示す断面図であ
る。
【図6】図5のX−Xで切断した時の上面図である。
【図7】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図であ
る。
【図8】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図であ
る。
【図9】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図であ
る。
【図10】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図で
ある。
【図11】図10の角度測定装置における反射パルス信
号の遅延時間(横軸)と検出角度(縦軸)との関係を示
すグラフである。
【図12】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図で
ある。
【図13】他の実施の形態例の角度測定装置の概略図で
ある。
【図14】図13における軸ずれが生じた場合の検出角
度の関係を示す図である。
【図15】図13の角度測定装置における反射パルス信
号の遅延時間(横軸)と検出角度(縦軸)との関係を示
すグラフである。
【符号の説明】
10 第一の導体 12 回転軸 14 第二の導体 16 角度検出部

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転軸の回転角度を測定する角度測定装置
    において、 前記回転軸を中心に円形状に配置され、一端側から短い
    パルス信号が入力される第一の導体と、 該第一の導体の近傍に沿って前記第一の導体に対して回
    転するよう配置された第二の導体と、 該第一の導体に前記パルス信号を入力し、前記第二の導
    体が位置する領域で反射する第一の反射パルス信号を検
    出し、該第一の反射パルス信号の到達時間から該第二の
    導体の位置する角度を検出する角度検出部とを有するこ
    とを特徴とする角度測定装置。
  2. 【請求項2】回転軸の回転角度を測定する角度測定装置
    において、 前記回転軸を中心に円形状に配置され、一端側から短い
    パルス信号が入力される第一の導体と、 該第一の導体の近傍に沿って前記第一の導体に対して回
    転するよう配置された第二の導体と、 該第一の導体に前記パルス信号を入力し、前記第二の導
    体が位置する領域で反射する第一の反射パルス信号と前
    記第一の導体の他端で反射する第二の反射パルス信号と
    を検出し、該第一及び第二の反射パルス信号の到達時間
    から該第二の導体の位置する角度を検出する角度検出部
    とを有することを特徴とする角度測定装置。
  3. 【請求項3】請求項2記載の角度測定装置において、 前記角度検出部は、前記第一の反射パルス信号の遅延時
    間と該第二の反射パルス信号の遅延時間の比率から前記
    第二の導体の位置する角度を検出することを特徴とする
    角度測定装置。
  4. 【請求項4】請求項1、2または3において、 前記第一の導体と第二の導体との間に誘電体が介在され
    て所定の容量が形成されていることを特徴とする角度測
    定装置。
  5. 【請求項5】請求項1、2または3において、 前記回転軸に支持されて回転可能な基板と、該基板表面
    に前記第二の導体が形成されていることを特徴とする角
    度測定装置。
  6. 【請求項6】請求項1、2または3において、 前記第一の導体が、複数の角度領域に分割して設けら
    れ、それぞれの分割した第一の導体に対して前記角度検
    出部が設けられていることを特徴とする角度検出装置。
  7. 【請求項7】請求項1、2または3において、 前記第一の導体が、複数巻きの円形状であることを特徴
    とする角度検出装置。
  8. 【請求項8】請求項1、2または3において、 前記第一の導体が、前記回転軸を中心とする円に沿って
    該円を横切る様に波状、鋸波状、または矩形波状に設け
    られていることを特徴とする角度検出装置。
  9. 【請求項9】請求項乃至9において、 前記第二の導体が、前記回転軸に対して180度の位置
    に複数個設けられていることを特徴とする角度測定装
    置。
JP8348631A 1996-12-26 1996-12-26 角度測定装置 Pending JPH10185549A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8348631A JPH10185549A (ja) 1996-12-26 1996-12-26 角度測定装置
US08/998,278 US6084416A (en) 1996-12-26 1997-12-24 Apparatus for detecting a rotational angle based on pulse propagation
EP97310604A EP0851215A1 (en) 1996-12-26 1997-12-24 Angle detection apparatus

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JP8348631A JPH10185549A (ja) 1996-12-26 1996-12-26 角度測定装置

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JP8348631A Pending JPH10185549A (ja) 1996-12-26 1996-12-26 角度測定装置

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US (1) US6084416A (ja)
EP (1) EP0851215A1 (ja)
JP (1) JPH10185549A (ja)

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