JPH10182180A

JPH10182180A - 光ファイバ用多孔質母材の製造装置

Info

Publication number: JPH10182180A
Application number: JP33785896A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Wada; 哲郎和田; Sadanori Ishida; 禎則石田; Yukio Komura; 幸夫香村
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 1996-12-18
Filing date: 1996-12-18
Publication date: 1998-07-07

Abstract

(57)【要約】【課題】コア火炎の位置またはコア火炎中のガラス微
粒子流の流線を安定化させることができる光ファイバ用
多孔質母材の製造装置を得る。【解決手段】反応容器１内にその上部の開口部から種
棒６を垂下させ、反応容器１内で種棒６の下端にコアバ
ーナ７とクラッドバーナ８からの火炎を当てて、火炎中
で合成したガラス微粒子を種棒６の下端に堆積させて光
ファイバ用多孔質母材９を製造する。反応容器１は八角
筒状の反応容器本体２３と平坦な底部２４とに分離して
形成する。反応容器本体２３と底部２４とはクランプ手
段２５で気密にクランプする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材の製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＶＡＤ法による光ファイバ用多孔質母材
の製造は、反応容器内のバーナからの酸・水素火炎中で
原料ガス（例えば、ＳｉＣｌ₄，ＧｅＣｌ₄）からガラ
ス微粒子を生成し、このガラス微粒子をターゲットであ
る種棒の下端に順次成長させることにより行っている。

【０００３】図１０（Ａ）（Ｂ）は、従来のこの種の光
ファイバ用多孔質母材の製造装置の構成を示したもの
で、（Ａ）はこの装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＦ−
Ｆ線断面図である。

【０００４】この光ファイバ用多孔質母材の製造装置に
おいては、上部が開口され下部が閉塞された反応容器１
を備え、この反応容器１内は反応室２となっている。こ
の反応容器１は内径Ｄ1 の有底円筒状であり、該反応室
１の上部は小径部１ａとなっていて、内径Ｄ1 の部分の
反応容器１の上部の曲率半径はＲ1 、底部の曲率半径は
Ｒ2 となっている。反応室１の小径部１ａの上端外周に
は上側フランジ部１ｂが設けられている。この小径部１
ａの上側フランジ部１ｂ上には、上部筒３がその下側フ
ランジ部３ａを重ねて設けられている。反応容器１と上
部筒３とは、両者のフランジ部１ｂ，３ａがクランプ手
段４で気密に連結されている。クランプ手段４は、一端
側がヒンジ部（図示せず）で枢支された断面コ字状の１
対のクランプアーム４ａでフランジ部１ｂ，３ａを挟持
し、これらクランプアーム４ａの他端をボルト４ｂとナ
ット（図示せず）で締結した構造になっている。上部筒
３の上端外周には上側フランジ部３ｂが設けられ、この
上側フランジ部３ｂに上蓋５が重ねられて上部筒３の上
側開口部が閉塞されている。上蓋５の中央部の図示しな
い孔よりなる開口部からターゲットとしての種棒６が昇
降自在に垂下され、その下部が反応室２内に臨むように
されている。

【０００５】反応室２内で種棒６の先端には、コアバー
ナ７のコア火炎とクラッドバーナ８のクラッド火炎から
なる酸・水素火炎中で生成したガラス微粒子を堆積さ
せ、成長させてスートと呼ばれる光ファイバ用多孔質母
材９を得るようになっている。バーナ７，８の位置に対
して光ファイバ用多孔質母材９を挟んだ反対側の反応容
器１の部分には排気管１０が接続され、この排気管１０
には反応室２内の圧力を制御する圧力制御部１１が設け
られている。排気管１０の位置から周方向の90°異なる
位置の反応容器１の部分には観察用筒部１２が接続さ
れ、その先端のフランジ部１２ａに透明板１３が当接さ
れて観察用筒部１２の先端が閉塞され、この透明板１３
を経て内部が覗けるようになっている。透明板１３はフ
ランジ部１２ａにクランプ手段１４で気密にクランプさ
れている。クランプ手段１４は、一端側がヒンジ部１４
ａで枢支された断面コ字状の１対のクランプアーム１４
ｂでフランジ部１２ａと透明板１３とを挟持し、これら
クランプアーム１４ａの他端をボルト１４ｃとナット１
４ｄで締結した構造になっている。上部筒３には、吸気
口１５が設けられている。

【０００６】このような装置で製造される光ファイバ用
多孔質母材９の重量，体積，濃度分布及び形状は、バー
ナ７，８の位置，各火炎７ａ，８ａの位置，母材表面温
度などの要因で変化する。従来は、光ファイバ用多孔質
母材９の製造中の成長速度，母材形状，母材表面温度を
見て、ガス条件，バーナ７，８の位置，排気圧力，吸気
量を調整し、品質の安定化を図っていた。

【０００７】この際に光ファイバ用多孔質母材９は、図
示しない母材先端位置検出器からのオン−オフ信号を利
用して引き上げる。反応室２内の圧力は、排気管１０に
設置した圧力制御部１１で一定に制御する。光ファイバ
用多孔質母材９の製造中の調整では、例えば、母材先端
の形状を目視で確認しながらガス条件，バーナ７，８の
位置を調整し、成長速度，母材表面温度を所定量に合わ
せている。

【０００８】しかしながら、光ファイバ用多孔質母材９
の堆積が進行するにつれ母材形状が変化することがある
が、これを調整で元の形状に戻すことは困難であり、ま
た制御することも難しいので、都合が悪い。この結果、
光ファイバ用多孔質母材９の長手方向の品質が変化して
しまい、ガラス化後の母材断面の比屈折率差が長手方向
に変化するので、光ファイバの品質の安定性が十分に得
られないという問題点があった。

【０００９】ガラス化後の母材断面の比屈折率差が長手
方向に変化するのは、コア火炎の位置またはコア火炎内
のガラス微粒子流の流線が光ファイバ用多孔質母材９の
製造中に変化するのが要因であるという報告（特願平５
−３１２１１８号，特願平５−３３８１２３号，特願平
６−２０２８３号）がある。これらコア火炎の位置また
はガラス微粒子流の流線の変動は、光ファイバ用多孔質
母材９の成長（体積増加）に伴って生じる反応容器１内
のガス流れが変化するために起こる。

【００１０】図１１（Ａ）（Ｂ）は、反応容器１内を可
視化して、コア火炎７ａの位置と、光ファイバ用多孔質
母材９に堆積しなかった高濃度の余剰ガラス微粒子流の
流線２７とを観察したときの状態を示す。この高濃度の
余剰ガラス微粒子流の流線２７は、反応容器１の内壁に
沿った流れとなっている。この図において、（Ａ）は該
装置の反応容器１の箇所での横断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＧ−Ｇ線断面図である。

【００１１】このときの高濃度の余剰ガラス微粒子流の
流線２７がコア火炎７ａの位置にどの程度の影響を与え
るかを図１１の火炎位置測定装置１６で調べた。この火
炎位置測定装置１６は、コア火炎７ａをＣＣＤカメラ１
７で撮影して電気信号として画像処理部１８に入力し２
値化処理し、モニタ１９に表示すると共に、コア火炎画
像７ａ´に測定用ウインドウ２０をかけ、このコア火炎
画像７ａ´の中心点０の座標を火炎位置としてコンピュ
ータ２１で処理して表示部２２に経時変化として表示さ
せるようになっている。

【００１２】この火炎位置測定装置１６によるコア火炎
７ａの位置の変化状況の測定結果を図１２に示す。この
図１２で、横軸は光ファイバ用多孔質母材９の引き上げ
距離（mm）、縦軸はコア火炎７ａの位置（mm）である。

【００１３】この測定結果から、長さが600mm の光ファ
イバ用多孔質母材９を製造する間（約12時間）に、コア
火炎７ａの位置が0.6mm 上昇していることが判明した。

【００１４】図１３は、得られた光ファイバ用多孔質母
材９をガラス化した後、屈折率を測定したときの長手方
向の比屈折率差の変化を示したものである。この図１３
で、横軸は測定位置を光ファイバ用多孔質母材９の引き
上げ距離に換算した値、縦軸は比屈折率差である。

【００１５】この測定結果から、ガラス化された長さが
600mm の光ファイバ用母材はその長手方向に比屈折率差
が0.03％変化していることが判明した。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】このように従来の光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置では、光ファイバ用多孔
質母材９の製造中の高濃度の余剰ガラス微粒子流の流線
２７の制御に限界があり、コア火炎７ａの位置または高
濃度の余剰ガラス微粒子流の流線２７の制御が困難であ
り、そのため得られた光ファイバ用多孔質母材９をガラ
ス化した後の長手方向の比屈折率差に変化が生ずる問題
点があった。

【００１７】本発明の目的は、コア火炎の位置またはコ
ア火炎中のガラス微粒子流の流線を安定化させることが
できる光ファイバ用多孔質母材の製造装置を提供するこ
とにある。

【００１８】本発明の他の目的は、高濃度の余剰ガラス
微粒子流の流線を安定化することができる光ファイバ用
多孔質母材の製造装置を提供することにある。

【００１９】本発明の他の目的は、得られた光ファイバ
用多孔質母材をガラス化した後の長手方向の比屈折率差
を安定化させることができる光ファイバ用多孔質母材の
製造装置を提供することにある。

【００２０】本発明の他の目的は、反応容器の底面から
の気流の反射による悪影響を回避でき、しかも反応容器
内の清掃が容易な光ファイバ用多孔質母材の製造装置を
提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明は、反応容器内に
その上部の開口部からターゲットを垂下させ、該反応容
器内でターゲットの下端にバーナからの火炎を当てて、
火炎中で合成したガラス微粒子を該ターゲットの先端に
堆積させて光ファイバ用多孔質母材を製造する光ファイ
バ用多孔質母材の製造装置を改良するものである。

【００２２】本発明で用いる反応容器は、その反応容器
本体が多角筒状に形成されていることを特徴とする。

【００２３】このように反応容器本体を多角筒状に形成
すると、反応容器本体に内壁の各コーナ部で該反応容器
本体内に低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の渦が発生
し、これら流線の渦で高濃度の余剰ガラス微粒子流の流
線を整流するので、コア火炎の位置またはコア火炎中の
ガラス微粒子流の流線を安定化することができ、このた
め、得られた光ファイバ用多孔質母材のガラス化後の母
材断面の比屈折率差を長手方向に安定化することがで
き、光ファイバの品質の安定化を図ることができる。

【００２４】また、本発明で用いる反応容器は、多角筒
状の反応容器本体と、その下部を着脱可能に閉塞してい
る底部とを備えていて、特に底部が有底多角筒状になっ
ていることが好ましい。この場合、多角筒状の反応容器
本体と有底多角筒状の底部の横断面形状は実質的に同じ
になっている。

【００２５】このように多角筒状の反応容器本体の下部
を閉塞する底部を有底多角筒状にすると、反応容器の下
部を延長することができ、このため該反応容器内の気流
が該反応容器の底面で反射してコア火炎の位置またはコ
ア火炎中のガラス微粒子流の流線を乱すのを回避するこ
とができ、コア火炎の位置またはコア火炎中のガラス微
粒子流の流線をより一層安定化することができ、このた
め得られた光ファイバ用多孔質母材のガラス化後の母材
断面の比屈折率差をより一層長手方向に安定化すること
ができ、光ファイバの品質のより一層の安定化を図るこ
とができる。また、このように底部を有底多角筒状にし
て反応容器の下方への延長を図ると、反応容器の接続箇
所数を最少限にすることができる。

【００２６】さらに、本発明で用いる反応容器は、多角
筒状の反応容器本体と、該反応容器本体の下部に着脱可
能に連結された多角筒状の延長反応容器本体と、該延長
反応容器本体の下端を着脱可能に閉塞している底部とで
構成された構造にすることもできる。この場合、反応容
器本体と延長反応容器本体との横断面形状は同じになっ
ている。

【００２７】このように多角筒状の反応容器本体の下部
に多角筒状の延長反応容器本体を接続し、該延長反応容
器本体の下端を底部で閉塞しても、反応容器の下部を延
長することができ、このため該反応容器内の気流が該反
応容器の底面で反射してコア火炎の位置またはコア火炎
中のガラス微粒子流の流線を乱すのを回避することがで
き、コア火炎の位置またはコア火炎中のガラス微粒子流
の流線をより一層安定化することができ、このため得ら
れた光ファイバ用多孔質母材のガラス化後の母材断面の
比屈折率差をより一層長手方向に安定化することがで
き、光ファイバの品質のより一層の安定化を図ることが
できる。

【００２８】

【発明の実施の形態】

（実施の形態の第１例）図１（Ａ）（Ｂ）は本発明に係
る光ファイバ用多孔質母材の製造装置における実施の形
態の第１例を示したものであり、（Ａ）は該装置の正面
図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。なお、前
述した図１０（Ａ）（Ｂ）と対応する部分には、同一符
号を付けて示している。

【００２９】本例の装置においては、反応容器１は反応
容器本体２３と底部２４と分離して形成されている。反
応容器本体２３は多角筒状に形成され、底部２４は平坦
化されて平板状に形成されている。この例では、反応容
器本体２３は八角筒状に形成され、８つのコーナ部２３
ｅの角度はそれぞれ135 °となっている。底部２４は丸
形に形成されている。また、反応容器本体２３と底部２
４とは、90°をなすように組み合わされている。この角
度については、±60°の範囲で変えてもよい。

【００３０】八角筒状の反応容器本体２３の上部は、八
角筒形のテーパ筒部２３ａを経て八角筒形の小径筒部２
３ｂとなっていて、この小径部２３ｂの上端外周には上
側フランジ部２３ｃが設けられている。この小径筒部２
３ｂの上側フランジ部２３ｃ上には、上部筒３がその下
側フランジ部３ａを重ねて設けられ、相互のフランジ部
２３ｃ，３ａがクランプ手段４で気密に連結されてい
る。反応容器本体２３の下端には下側フランジ部２３ｄ
が設けられ、この下側フランジ部２３ｄには反応容器本
体２３の下部を塞ぐように平坦な底部２４が当接され、
下側フランジ部２３ｄと底部２４とはクランプ手段２５
で気密にクランプすることにより着脱可能に連結されて
いる。クランプ手段２５は、一端側がヒンジ部２５ａで
枢支された断面コ字状の１対のクランプアーム２５ｂで
フランジ部２３ｄと底部２４とを挟持し、これらクラン
プアーム２５ａの他端をボルト２５ｃとナット２５ｄで
締結した構造になっている。

【００３１】図２（Ａ）（Ｂ）は、この第１例の光ファ
イバ用多孔質母材の製造装置における反応容器１内を可
視化して、余剰ガラス微粒子の流線及び気流の流線を観
察したときの状態を示す。この図において、（Ａ）は該
装置の反応容器１の箇所での横断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＢ−Ｂ線断面図である。なお、前述した図１（Ａ）
（Ｂ）と対応する部分には、同一符号を付けて示してい
る。

【００３２】この装置では、図２（Ａ）に示すように、
八角筒状の反応容器本体２３内の８箇所のコーナ部２３
ｅに低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の渦２６ａが発生
し、これら流線の渦２６ａで高濃度の余剰ガラス微粒子
流の流線２７を整流していた。また、反応容器本体２３
内の下部にも、光ファイバ用多孔質母材９の下側に低濃
度の余剰ガラス微粒子の流線の渦２６ｂが発生し、反応
容器本体２３と底部２４とのコーナ部２８内にも低濃度
の余剰ガラス微粒子の流線の渦２６ｃが発生し、これら
流線の渦２６ｂ，２６ｃで高濃度の余剰ガラス微粒子流
の流線２７を整流していた。

【００３３】これら低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の
渦２６ａ，２６ｂ，２６ｃによる高濃度の余剰ガラス微
粒子流の流線２７の整流作用により、該高濃度の余剰ガ
ラス微粒子流の流線２７の流れが安定し、排気管１０に
導かれていた。

【００３４】本装置を用いて光ファイバ用多孔質母材９
を製造し、このときのコア火炎７ａの位置の変化を図１
１に示す火炎位置測定装置１６で調べた。

【００３５】図３は、このときのコア火炎７ａの位置の
変化状況の結果を示す。この図３で、横軸は光ファイバ
用多孔質母材９の引き上げ距離（mm）、縦軸はコア火炎
７ａの位置（mm）である。600mm の光ファイバ用多孔質
母材９を製造する間に、コア火炎７ａの位置は0.4mm 上
昇したが、これは従来の装置に比べ２／３の変化量であ
り、コア火炎７ａの位置の変動は小さくなった。

【００３６】さらに図４は、このようにして製造した光
ファイバ用多孔質母材９をガラス化した後、屈折率を測
定したときの長手方向の比屈折率差の変化を示したもの
である。この図４で、横軸は測定位置を光ファイバ用多
孔質母材９の引き上げ距離に換算した値、縦軸は比屈折
率差である。この結果、長手方向の比屈折率差の変化は
0.02％であり、従来の装置の場合に比べ２／３の変化量
に抑えられている。なお、この光ファイバ用多孔質母材
９の製造での成長速度は±0.5mm ／ｈ，堆積面温度は±
３℃で安定していた。

【００３７】本装置の反応容器１は石英ガラスで形成し
たが、テトラフロロエチレン，ＳｉＣ，ＴｉＣ等でコー
ティングしたステンレススチール，アルミニウム等の金
属で形成してもよい。

【００３８】（実施の形態の第２例）図５（Ａ）（Ｂ）
は本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置にお
ける実施の形態の第２例を示したものであり、（Ａ）は
該装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線断面図であ
る。なお、前述した図１（Ａ）（Ｂ）と対応する部分に
は、同一符号を付けて示している。

【００３９】本例の装置においても、反応容器１は多角
筒状の反応容器本体２３と底部２４´と分離して形成さ
れている。この例では、反応容器本体２３は六角筒状に
形成され、６つのコーナ部２３ｅの角度はそれぞれ120
°となっている。底部２４´は有底の六角筒状に形成さ
れている。即ち、底部２４´は、有底の六角筒部２４ａ
´と、その上端外周に設けられた上側フランジ部２４ｂ
´とを有して形成されている。有底の六角筒部２４ａ´
の底面も平坦となっている。この六角筒部２４ａ´とそ
の底面とのなす角度も90°となっている。この角度につ
いても、±60°の範囲で変えてもよい。このような底部
２４´は、その上側フランジ部２４ｂ´を反応容器本体
２３の下側フランジ部２３ｄに重ねてクランプ手段４で
クランプすることにより着脱可能に気密に連結されてい
る。六角筒状の反応容器本体２３の下側の大径部と、六
角筒部２４ａ´との横断面形状は、両者の間に段差がで
きないように実質的に同じに形成されている。その他の
構成は、第１例と同様になっている。

【００４０】図６（Ａ）（Ｂ）は、この第２例の光ファ
イバ用多孔質母材の製造装置における反応容器１内を可
視化して、余剰ガラス微粒子の流線及び気流の流線を観
察したときの状態を示す。この図において、（Ａ）は該
装置の反応容器１の箇所での横断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＤ−Ｄ線断面図である。なお、前述した図５（Ａ）
（Ｂ）と対応する部分には、同一符号を付けて示してい
る。

【００４１】この装置では、図６（Ａ）に示すように、
六角筒状の反応容器本体２３内の８箇所のコーナ部２３
ｅに低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の渦２６ａが発生
し、これら流線の渦２６ａで高濃度の余剰ガラス微粒子
流２７を整流していた。また、底部２４´を構成する有
底の六角筒部２４ａ´内の下部にも、光ファイバ用多孔
質母材９の下側に低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の渦
２６ｂが発生し、また六角筒部２４ａ´とその底面との
コーナ部２４ｃ´内にも低濃度の余剰ガラス微粒子の流
線の渦２６ｃが発生し、これら流線の渦２６ｂ，２６ｃ
で高濃度の余剰ガラス微粒子流の流線２７を整流してい
た。

【００４２】これら低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の
渦２６ａ，２６ｂ，２６ｃによる高濃度の余剰ガラス微
粒子流の流線２７の整流作用により、該高濃度の余剰ガ
ラス微粒子流の流線２７の流れが安定し、排気管１０に
導かれていた。

【００４３】本装置を用いて光ファイバ用多孔質母材９
を製造し、このときのコア火炎７ａの位置の変化を図１
１に示す火炎位置測定装置１６で調べた。

【００４４】図７は、このときのコア火炎７ａの位置の
変化状況の結果を示す。この図７で、横軸は光ファイバ
用多孔質母材９の引き上げ距離（mm）、縦軸はコア火炎
７ａの位置（mm）である。600mm の光ファイバ用多孔質
母材９を製造する間に、コア火炎７ａの位置は0.2mm 上
昇したが、これは従来の装置に比べ１／３の変化量であ
り、コア火炎７ａの位置の変動はさらに小さくなった。

【００４５】さらに図８は、このようにして製造した光
ファイバ用多孔質母材９をガラス化した後、屈折率を測
定したときの長手方向の比屈折率差の変化を示したもの
である。この図８で、横軸は測定位置を光ファイバ用多
孔質母材９の引き上げ距離に換算した値、縦軸は比屈折
率差である。この結果、長手方向の比屈折率差の変化は
0.01％であり、従来の装置の場合に比べ１／３の変化量
に抑えられている。なお、この光ファイバ用多孔質母材
９の製造での成長速度は±0.3mm ／ｈ，堆積面温度は±
２℃で安定していた。また、コア火炎７ａ内のガラス微
粒子流の流線についても、コア火炎７ａの位置と同レベ
ルで安定していた。

【００４６】特に、この第２例のように底部２４´を有
底筒状にして反応容器１の下方への延長を図ると、反応
容器１の接続箇所数を最少限にすることができる。

【００４７】（実施の形態の第３例）図９（Ａ）（Ｂ）
は本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装置にお
ける実施の形態の第３例を示したものであり、（Ａ）は
該装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ線断面図であ
る。なお、前述した図１（Ａ）（Ｂ）と対応する部分に
は、同一符号を付けて示している。

【００４８】本例の装置において反応容器１は、多角筒
状の反応容器本体２３と、該反応容器本体２３の下部に
着脱可能に連結された多角筒状の延長反応容器本体２９
と、該延長反応容器本体２９の下端を着脱可能に閉塞し
ている多角形状の底部２４とで構成されている。本例で
は、反応容器本体２３は第２例と同様に六角筒状に形成
され、その上部側の構造も第２例と同様になっている。
延長反応容器本体２９は、反応容器本体２３の大径の下
部側と同じ断面形状の六角筒状に形成され、その長さは
反応容器本体２３より短く設定されている。該延長反応
容器本体２９の上側と下側の外周には、上側フランジ部
２９ａと下側フランジ部２９ｂとが設けられている。該
延長反応容器本体２９はその上側フランジ部２９ａを反
応容器本体２３の下側フランジ部２３ｄに重ねてクラン
プ手段３０でクランプすることにより着脱可能に気密に
連結されている。クランプ手段３０は、一端側がヒンジ
部３０ａで枢支された断面コ字状の１対のクランプアー
ム３０ｂでフランジ部２３ｄ，２９ａを挟持し、これら
クランプアーム３０ｂの他端をボルト３０ｃとナット３
０ｄで締結した構造になっている。延長反応容器本体２
９の下側フランジ部２９ｂには、該延長反応容器本体２
９の下部を塞ぐように平坦な底部２４が当接され、下側
フランジ部２９ｂと底部２４とはクランプ手段３１で気
密にクランプすることにより着脱可能に連結されてい
る。クランプ手段３１は、一端側がヒンジ部（図示せ
ず）で枢支された断面コ字状の１対のクランプアーム３
１ａでフランジ部２９ｂと底部２４とを挟持し、これら
クランプアーム３１ａの他端をボルト３１ｂとナット
（図示せず）で締結した構造になっている。その他の構
成は、第１例と同様になっている。

【００４９】このような構造にしても、反応容器１の下
部を延長することができ、第２例とほぼ同様の効果を得
ることができる。

【００５０】なお、本発明で用いる反応容器１は、他の
多角筒状（例えば、３〜20角筒状）についても、同様の
効果が見られたが、実施の形態１，２，３の方が優れて
いた。

【００５１】また、多角筒状の反応容器１の製造は、成
形に限らず、石英ガラス板や、テトラフロロエチレン，
ＳｉＣ，ＴｉＣ等でコーティングした金属板等の板を、
所要の角度で連結して形成することもできる。このよう
な形成の仕方をとると、大型の反応容器１の製造を容易
に行うことができる。

【００５２】以下、本明細書に記載した複数の発明の幾
つかについてその構成要件を記載する。

【００５３】（Ｉ）反応容器内にその上部の開口部か
らターゲットを垂下させ、前記反応容器内で前記ターゲ
ットの下端にバーナからの火炎を当てて、火炎中で合成
したガラス微粒子を該ターゲットの先端に堆積させて光
ファイバ用多孔質母材を製造する光ファイバ用多孔質母
材の製造装置において、前記反応容器はその反応容器本
体が多角筒状に形成されていることを特徴とする光ファ
イバ用多孔質母材の製造装置。

【００５４】（II）前記反応容器本体の底部が平坦化
されていることを特徴とする前記（Ｉ）に記載の光ファ
イバ用多孔質母材の製造装置。

【００５５】（III ）前記反応容器は多角筒状の前記
反応容器本体とその下部を着脱可能に閉塞している有底
多角筒状の底部とを有する構成になっていることを特徴
とする前記（Ｉ）に記載の光ファイバ用多孔質母材の製
造装置。

【００５６】（IV）前記有底多角筒状の底部の底面は
平坦化されていることを特徴とする前記（III ）に記載
の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。

【００５７】（Ｖ）前記反応容器は、多角筒状の前記
反応容器本体と、該反応容器本体の下部に着脱可能に連
結された多角筒状の延長反応容器本体と、該延長反応容
器本体の下端を着脱可能に閉塞している前記底部とで構
成されていることを特徴とする請求項１に記載の光ファ
イバ用多孔質母材の製造装置とを特徴とする（VI）前記底部が平坦化されていることを特徴とする
前記（Ｖ）に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置。

【００５８】

【発明の効果】本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の
製造装置では、反応容器本体を多角筒状に形成している
ので、該反応容器本体の内壁の各コーナ部で該反応容器
本体内に低濃度の余剰ガラス微粒子の流線の渦が発生
し、これら流線の渦で高濃度の余剰ガラス微粒子流の流
線が整流され、このためコア火炎の位置またはコア火炎
中のガラス微粒子流の流線を安定化することができる。
それ故、得られた光ファイバ用多孔質母材のガラス化後
の母材断面の比屈折率差を長手方向に安定化することが
でき、光ファイバの品質の安定化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装
置における実施の形態の第１例を示したもので、（Ａ）
は該装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図で
ある。

【図２】この第１例の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置における反応容器内を可視化して、余剰ガラス微粒子
の流線及び気流の流線を観察したときの状態を示したも
ので、（Ａ）は該装置の反応容器の箇所での横断面図、
（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

【図３】図１の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で光
ファイバ用多孔質母材を製造中のコア火炎の位置を図１
１の火炎位置測定装置で測定した結果を示す線図であ
る。

【図４】第１例の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で
製造した光ファイバ用多孔質母材をガラス化した後、屈
折率を測定したときの長手方向の比屈折率差の変化を示
した線図である。

【図５】本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装
置における実施の形態の第２例を示したもので、（Ａ）
は該装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線断面図で
ある。

【図６】この第２例の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置における反応容器内を可視化して、余剰ガラス微粒子
の流線及び気流の流線を観察したときの状態を示したも
ので、（Ａ）は該装置の反応容器の箇所での横断面図、
（Ｂ）は（Ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。

【図７】図５の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で光
ファイバ用多孔質母材を製造中のコア火炎の位置を図１
１の火炎位置測定装置で測定した結果を示す線図であ
る。

【図８】第２例の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で
製造した光ファイバ用多孔質母材をガラス化した後、屈
折率を測定したときの長手方向の比屈折率差の変化を示
した線図である。

【図９】本発明に係る光ファイバ用多孔質母材の製造装
置における実施の形態の第３例を示したもので、（Ａ）
は該装置の正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ線断面図で
ある。

【図１０】従来の光ファイバ用多孔質母材の製造装置の
構成を示したもので、（Ａ）は該装置の正面図、（Ｂ）
は（Ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。

【図１１】この従来例の光ファイバ用多孔質母材の製造
装置における反応容器内を可視化して、余剰ガラス微粒
子の流線及び気流の流線を観察したときの状態を示した
もので、（Ａ）は該装置の反応容器の箇所での横断面
図、（Ｂ）は（Ａ）のＧ−Ｇ線断面図である。

【図１２】図１０の光ファイバ用多孔質母材の製造装置
で光ファイバ用多孔質母材を製造中のコア火炎の位置を
図１１の火炎位置測定装置で測定した結果を示す線図で
ある。

【図１３】従来の光ファイバ用多孔質母材の製造装置で
製造した光ファイバ用多孔質母材をガラス化した後、屈
折率を測定したときの長手方向の比屈折率差の変化を示
した線図である。

【符号の説明】

１反応容器１ａ小径部１ｂ上側フランジ部２反応室３上部筒３ａ下側フランジ部３ｂ上側フランジ部４クランプ手段４ａクランプアーム４ｂボルト５上蓋６種棒７コアバーナ７ａコア火炎７ａ´ コア火炎画像８クラッドバーナ８ａクラッド火炎９光ファイバ用多孔質母材１０排気管１１圧力制御部１２観察用筒部１２ａフランジ部１３透明板１４クランプ手段１４ａヒンジ部１４ｂクランプアーム１４ｃボルト１４ｄナット１５吸気口１６火炎位置測定装置１７ＣＣＤカメラ１８画像処理部１９モニタ２０測定用ウインドウ２１コンピュータ２２表示部２３反応容器本体２３ａテーパ筒部２３ｂ小径筒部２３ｃ上側フランジ部２３ｄ下側フランジ部２３ｅコーナ部２４，２４´ 底部２４ａ´ 六角筒部２４ｂ´ 上側フランジ部２４ｃ´ コーナ部２５クランプ手段２５ａヒンジ部２５ｂクランプアーム２５ｃボルト２５ｄナット２６ａ，２６ｂ，２６ｃ低濃度の余剰ガラス微粒子の
流線の渦２７高濃度の余剰ガラス微粒子流の流線２８コーナ部２９延長反応容器本体２９ａ上側フランジ部２９ｂ下側フランジ部３０，クランプ手段３０ａヒンジ部３０ｂクランプアーム３０ｃボルト３０ｄナット３１クランプ手段３１ａクランプアーム３１ｂボルト

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反応容器内にその上部の開口部からター
ゲットを垂下させ、前記反応容器内で前記ターゲットの
下端にバーナからの火炎を当てて、火炎中で合成したガ
ラス微粒子を該ターゲットの先端に堆積させて光ファイ
バ用多孔質母材を製造する光ファイバ用多孔質母材の製
造装置において、前記反応容器はその反応容器本体が多角筒状に形成され
ていることを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造
装置。
【請求項２】前記反応容器は、多角筒状の前記反応容
器本体と、その下部を着脱可能に閉塞している底部とを
備え、該底部は有底多角筒状になっていることを特徴と
する請求項１に記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置。
【請求項３】前記反応容器は、多角筒状の前記反応容
器本体と、該反応容器本体の下部に着脱可能に連結され
た多角筒状の延長反応容器本体と、該延長反応容器本体
の下端を着脱可能に閉塞している底部とで構成されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔
質母材の製造装置。