JPH10175730A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送アームによってカセット内の基板を円滑
に取り出せるようにする。 【解決手段】 複数の基板がそれぞれ隙間を設けて多段
に配置されたカセットと、該基板のうち選択された基板
をその下段の基板の間の隙間から侵入して吸着支持しか
つ所定の個所に搬送する搬送アームとを備え、前記カセ
ットに対する各基板の配置は、該基板の前記搬送アーム
による搬送方向と平行な各辺部を支持する支持部材によ
ってなされている基板搬送装置において、必要時にのみ
可動して前記支持部材と同様の機能を有する別個の支持
アームが備えられ、かつ、この支持アームは前記支持部
材よりは基板の中央側に近い部分で該基板を支持でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板搬送装置に係
り、たとえば液晶表示装置の外囲器を構成する透明基板
の搬送に用いられる基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は液晶を介して互いに対向
配置された一対の透明基板を外囲器として構成されてい
る。

【０００３】そして、これら各透明基板のそれぞれの液
晶側の面には、表示部を構成する各画素を制御するため
の電子回路がいわゆるフォトリソグラフィ技術による選
択エッチングによって形成された各種材料の層構造で形
成されている。

【０００４】このため、該液晶表示装置を製造するため
には、それぞれの透明基板の液晶側の面に数種の加工を
順次行なうことによって電子回路を形成し、その後、各
透明基板をシール剤を介して互いに対向させることによ
って外囲器を形成し、この外囲器内に液晶を封入するよ
うになっている。

【０００５】この場合、前記透明基板における各種加工
は自動的になされ、このため、それぞれの加工工程にお
いて、いまだ加工がなされていない複数の透明基板を収
納させておくカセットが配置され、自動操作される搬送
アームがそれぞれの透明基板を順次取りだし、加工装置
へ搬送するようになっている。

【０００６】そして、このカセットは、複数の透明基板
がそれぞれ隙間を設けて多段に配置されるように構成さ
れ、該透明基板のカセットに対する配置は、該透明基板
の前記搬送アームによる取りだし方向と平行な各辺部を
支持する支持部材によってなされている。

【０００７】このように構成されたカセットに対して、
搬送アームは、各透明基板をその下段の別な透明基板と
の間の隙間から侵入して吸着支持し、該透明基板をカセ
ットから取り出すとともにそのまま加工装置に搬送でき
るようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにカセットおよび搬送アームから構成される基板搬送
装置において、それを稼働していくうちに、該搬送アー
ムが所定の透明基板を円滑に取り出すことができなくな
ってしまうということが指摘されるに到った。

【０００９】本発明者等は、この原因を追及した結果次
のようなことが判明した。すなわち、透明基板の表面に
数種の層構造を形成していくうちに、その層を構成する
材料自体のストレス（膜応力）が起因して透明基板に反
りが生じてしまうようになる。このため、下段の透明基
板との間の隙間から搬送アームを侵入させて上段の透明
基板を吸着させて取り出そうとする際に、該搬送アーム
が上段あるいは下段の透明基板と干渉してしまうからで
あることが確認された。

【００１０】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、搬送アームによってカセ
ット内の基板を円滑に取り出せるようにした基板搬送装
置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、基本的には、複数の基板がそれぞ
れ隙間を設けて多段に配置されたカセットと、該基板の
うち選択された基板をその下段の基板の間の隙間から侵
入して吸着支持しかつ所定の個所に搬送する搬送アーム
とを備え、前記カセットに対する各基板の配置は、該基
板の前記搬送アームによる搬送方向と平行な各辺部を支
持する支持部材によってなされている基板搬送装置にお
いて、必要時にのみ可動して前記支持部材と同様の機能
を有する別個の支持アームが備えられ、かつ、この支持
アームは前記支持部材よりは基板の中央側に近い部分で
該基板を支持できることを特徴とするものである。

【００１２】このように構成された基板搬送装置は、た
とえ反りが生じた基板が収納されていても、前記支持部
材に代えて支持アームによって該基板を支持させること
によって、本発明の目的を達成させることができるよう
になる。

【００１３】支持アームは前記支持部材よりは基板の中
央側に近い部分で該基板を支持できるようになってお
り、この支持アームによって支持された基板は支持部材
によって支持されていた場合よりは若干上昇した位置に
配置されることになる。

【００１４】このため、下段の基板との間の隙間から搬
送アームが侵入してくる場合において、基板との干渉が
ない状態で侵入することになる。

【００１５】したがって、搬送アームの基板に対する吸
着および取りだしが円滑にできるようになる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明による基板搬送装置
の一実施例を図面を用いて説明をする。

【００１７】まず、図２は、液晶表示装置の外囲器を構
成する透明基板の加工過程において用いられる基板搬送
装置のうちカセット１の斜視図を示したものである。こ
のカセット１は、これから加工を施す該透明基板を多段
に配置させるための収納箱である。

【００１８】同図において、図示しない加工装置の近傍
のベース２上の所定の位置に必要に応じて配置されるカ
セット１は、底板１ａと、この底板１ａと対向して配置
される上板１ｂと、底板１ａに対して上板１ｂを支持す
る複数の柱１ｃと、で外枠を構成している。

【００１９】前記柱１ｃは、カセット１の一側面を除く
他の三つの側面に形成され、これにより、該一側面から
は図中矢印Ａ方向に沿って透明基板の出し入れができる
ようになっている（以下、必要に応じて前記一側面を基
板出入口１０という場合がある）。

【００２０】そして、カセット１の外枠の一部を構成す
る前記柱１ｃのそれぞれには、その内壁側において、該
柱の長手方向を等分するようにして複数の支持部材１ｄ
が取り付けられている。すなわち、前記支持部材１ｄ
は、底板１ａに対して平行かつ等間隔な各仮想の面にそ
れぞれ一致づけられるようにして、柱に取りつけらてい
る。

【００２１】これにより、カセット１の基板出入口１０
から収納される各透明基板は、その収納方向側の辺部を
除く他の残りの各辺部が前記支持部材１ｄに支持され
て、底板１ｄと平行に多段に配置されるようになる。

【００２２】一方、このようなカセット１が配置される
ベース２には、図１に示すように、該カセット１に近接
してポール３が植設されている。

【００２３】なお、図１は、その（ａ）が図２のIａ−I
ａ線における断面図を示し、（ｂ）が図２のIｂ−Iｂ線
における断面図を示している。

【００２４】同図に示すように、ポール３は、カセット
１の基板出入口１０側から観て両側面に相当する各側面
において、それぞれカセット１の柱１ｃに近接されて配
置されている。さらに、これら各ポール３は、その中心
軸の周りに回転できるようにベース２に取り付けられて
いる。なお、これら各ポール３の回転は操作者が任意で
行い得るようになっている。

【００２５】そして、これら各ポール３には、支持アー
ム４が固定配置されている。すなわち、カセット１の柱
１ｃに近接されて配置されているポール３に取り付けら
れた支持アーム４は、該柱１ｃに設けられた各支持部材
１ｄに対応させて設けられ、かつ、それぞれの支持部材
１ｄとほぼ高さを同じにして設けられている。

【００２６】これら各支持アーム４は、ポール３を回転
させることにより、その先端がカセット１の内部側に指
向させることができ、支持部材１ｄに代えて該支持部材
１ｄと同様に透明基板を支持できるようになっている。

【００２７】ここで、各支持アーム４は、支持部材１ｄ
よりもアーム長が大きくなっており、このため、透明基
板をその中央に近接する位置で支持できるように構成さ
れている。

【００２８】図１（ａ）、（ｂ）には、同一の高さで配
置される各支持アーム４によって支持された透明基板５
が多段に配置され、これから取り出そうとする透明基板
５とその下段の透明基板５との間の隙間には基板出入口
１０側から搬送アーム７が侵入している状態を示してい
る。

【００２９】搬送アーム７は、この後、上段の透明基板
５に接触するまで上昇し、該搬送アーム７に取り付けら
れた真空チャックによって該透明基板５を吸着し、さら
に、カセット１内に侵入したと同じ経路をたどり、図示
しない加工装置へ該透明基板５を搬送するようになって
いる。

【００３０】このように構成された基板搬送装置のカセ
ット１は、通常の状態では、図３に示すように、その支
持部材１ｄによって透明基板５を支持し、該透明基板５
を多段に配置できるようになっている。

【００３１】しかし、各透明基板５の面にフォトリソグ
ラフィ技術による選択エッチングによって所定のパター
ンに加工された各種材料が多層構造として形成されてく
るにしたがい、各種材料のストレス（膜応力）にょって
透明基板５に反りが生じてくることは免れない。

【００３２】この場合、透明基板５とその下段の透明基
板５との間の隙間から搬送アーム７を侵入させて、上段
の透明基板５を取り出そうとする際に、該透明基板５に
反りが生じているために、この透明基板５に該搬送アー
ム７が干渉してしまって該搬送アーム７が侵入できない
という問題が生じる。

【００３３】この場合において、図１に示すように、ポ
ール３を回転させ、このポール３に固定された支持アー
ム４をカセット１の内部に配置させることによって、前
記支持部材１ｄに代えて透明基板５を支持するようにす
る。

【００３４】この支持アーム４は、支持部材１ｄと比較
すると透明基板５の中央により近い部分で透明基板５を
支持できることになるので、反りの生じた該透明基板５
は今までの位置より若干上昇した位置で前記支持アーム
４に支持されることになる。

【００３５】このため、搬送アーム７の侵入の際に、該
搬送アーム７が透明基板と干渉することなく移動できる
ようになる。

【００３６】以上説明した実施例から明らかとなるよう
に、たとえ反りが生じた透明基板５が収納されていて
も、支持部材１ｄに代えて支持アーム４によって該透明
基板５を支持させることによって、本発明の目的を達成
させることができるようになる。

【００３７】支持アーム４は支持部材１ｄよりは透明基
板５の中央側に近い部分で該透明基板５を支持できるよ
うになっており、この支持アーム４によって支持された
透明基板５は支持部材１ｄによって支持されていた場合
よりは若干上昇した位置に配置されることになる。

【００３８】このため、下段の透明基板５との間の隙間
から搬送アーム７が侵入してくる場合において、透明基
板５との干渉がない状態で侵入することになる。

【００３９】したがって、搬送アーム７の透明基板５に
対する吸着および取りだしが円滑にできるようになる。

【００４０】本実施例では、支持アーム４をカセット１
とは別体のものとして構成したものであるが、このよう
な構成に限定することはなく、カセット１と一体にして
設けてもよいことはいうまでもない。しかし、本実施例
のような構成とすることによって、通常運搬がなされる
カセット１自体の構成を複雑にすることがなくなるとい
う効果を奏する。

【００４１】また、本実施例では、支持アーム４を必要
時においてカセット１内に配置させる手段として、該支
持アーム４をその基板を中心にして回転させる機構を用
いたものであるが、このような構成に限定することはな
く、たとえば支持アーム４それ自体をスライドさせてカ
セット１内に配置させるような機構としてもよいことは
いうまでもない。

【００４２】さらに、本実施例では、液晶表示装置の外
囲器を構成する透明基板の加工に要する基板搬送装置に
ついて説明したものであるが、これに限定されることは
なく、他の基板における同様の基板搬送装置にも適用で
きることはいうまでもない。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による基板搬送装置によれば、搬送アームによっ
てカセット内の基板を円滑に取り出せるようにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板搬送装置の一実施例を示す構
成図である。

【図２】本発明による基板搬送装置におけるカセットの
詳細を示す斜視図である。

【図３】本発明による基板搬送装置の効果を説明するた
めの説明図である。

【符号の説明】

１……カセット、１ｄ……支持部材、４……支持アー
ム、５……透明基板、７……搬送アーム。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板がそれぞれ隙間を設けて多段
   に配置されたカセットと、該基板のうち選択された基板
   をその下段の基板の間の隙間から侵入して吸着支持しか
   つ所定の個所に搬送する搬送アームとを備え、 前記カセットに対する各基板の配置は、該基板の前記搬
   送アームによる搬送方向と平行な各辺部を支持する支持
   部材によってなされている基板搬送装置において、 必要時にのみ可動して前記支持部材と同様の機能を有す
   る別個の支持アームが備えられ、かつ、この支持アーム
   は前記支持部材よりは基板の中央側に近い部分で該基板
   を支持できることを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記カセットを配置するベースを備え、
   前記支持アームは前記ベースに固定されていることを特
   徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 前記支持アームはカセットと一体に形成
   されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送
   装置。