JPH10173471A - 厚み縦共振子 - Google Patents
厚み縦共振子Info
- Publication number
- JPH10173471A JPH10173471A JP33330696A JP33330696A JPH10173471A JP H10173471 A JPH10173471 A JP H10173471A JP 33330696 A JP33330696 A JP 33330696A JP 33330696 A JP33330696 A JP 33330696A JP H10173471 A JPH10173471 A JP H10173471A
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- JP
- Japan
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- thickness
- oscillation
- longitudinal
- piezoelectric substrate
- spurious
- Prior art date
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は厚み縦共振子に関するもので、スプ
リアスの発生を抑制するものである。 【解決手段】 圧電基板１の長手方向の少なくとも一辺
に傾斜面４を設けたものである。
リアスの発生を抑制するものである。 【解決手段】 圧電基板１の長手方向の少なくとも一辺
に傾斜面４を設けたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばマイクロ
コンピュータ等のクロック源として用いられる厚み縦共
振子に関するものである。
コンピュータ等のクロック源として用いられる厚み縦共
振子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の厚み縦共振子は図６〜図
８に示すような構成であった。図６は従来の厚み縦共振
子の平面図、図７は図６の１Ａ−１Ｂ線の断面図、図８
は背面図である。図６〜図８において、１は厚み方向に
分極方向を持つ圧電基板、２は電極の相対向部分、３は
前記電極の相対向部分と導電的に接続された引き出し電
極である。
８に示すような構成であった。図６は従来の厚み縦共振
子の平面図、図７は図６の１Ａ−１Ｂ線の断面図、図８
は背面図である。図６〜図８において、１は厚み方向に
分極方向を持つ圧電基板、２は電極の相対向部分、３は
前記電極の相対向部分と導電的に接続された引き出し電
極である。
【０００３】以上のように構成された厚み縦共振子につ
いて、以下その動作について説明する。
いて、以下その動作について説明する。
【０００４】まず引き出し電極３から交流電界が印加さ
れると、電極の相対向部分２間において厚み縦振動が励
起され、前記圧電基板１の厚み方向で機械的共振が起こ
る。
れると、電極の相対向部分２間において厚み縦振動が励
起され、前記圧電基板１の厚み方向で機械的共振が起こ
る。
【０００５】この機械的共振は圧電効果により電気的共
振に変換され、前記引き出し電極３を通じて外部へ導出
される。
振に変換され、前記引き出し電極３を通じて外部へ導出
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、図６中に示す幅方向寸法Ｗ間で共振する
不要振動（以下スプリアスとする）が存在し、本来の厚
み縦振動と結合し特性を悪化させるという問題点を有し
ていた。
来の構成では、図６中に示す幅方向寸法Ｗ間で共振する
不要振動（以下スプリアスとする）が存在し、本来の厚
み縦振動と結合し特性を悪化させるという問題点を有し
ていた。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
であり、スプリアスの少ない厚み縦共振子を提供するこ
とを目的とするものである。
であり、スプリアスの少ない厚み縦共振子を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の厚み縦共振子は、前記圧電基板の長手方向の
少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜する傾斜面を設
けるものである。
に本発明の厚み縦共振子は、前記圧電基板の長手方向の
少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜する傾斜面を設
けるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１の発明によっ
て、前記傾斜面と傾斜を持たない端面の音響インピーダ
ンスの違いにより、幅方向で共振するスプリアスは効果
的に減衰することとなる。
て、前記傾斜面と傾斜を持たない端面の音響インピーダ
ンスの違いにより、幅方向で共振するスプリアスは効果
的に減衰することとなる。
【００１０】また請求項２の発明は、スプリアスがより
効果的に減衰するものである。以下本発明の一実施形態
について、図面を参照しながら説明する。なお本実施形
態に示す厚み縦共振子は、基本的には図６〜図８に示し
た従来の厚み縦共振子と同じ構成であるので、同一部分
には同一番号を付して詳細な説明を簡略化する。
効果的に減衰するものである。以下本発明の一実施形態
について、図面を参照しながら説明する。なお本実施形
態に示す厚み縦共振子は、基本的には図６〜図８に示し
た従来の厚み縦共振子と同じ構成であるので、同一部分
には同一番号を付して詳細な説明を簡略化する。
【００１１】図１は本発明の一実施形態の厚み縦共振子
を示す平面図、図２は図１の１Ａ−１Ｂ線の断面図、図
３は背面図、図４は図２の１Ｃ−１Ｄ線の断面図であ
る。
を示す平面図、図２は図１の１Ａ−１Ｂ線の断面図、図
３は背面図、図４は図２の１Ｃ−１Ｄ線の断面図であ
る。
【００１２】図１〜図４において、４はダイシング加工
によって形成された傾斜面、θは傾斜面と圧電基板１表
面とのなす角度、ｄは傾斜を設けた端面上の傾斜のない
部分の長さ、ｔは圧電基板１の厚さである。なお本実施
形態では圧電基板１としてチタン酸ジルコン酸鉛系圧電
磁器を用い、電極は厚さ約２５００Åの金蒸着膜を用い
た。圧電基板１の寸法はＬ＝６．０mm、Ｗ＝１．３３m
m、ｔ＝３３８μｍである。
によって形成された傾斜面、θは傾斜面と圧電基板１表
面とのなす角度、ｄは傾斜を設けた端面上の傾斜のない
部分の長さ、ｔは圧電基板１の厚さである。なお本実施
形態では圧電基板１としてチタン酸ジルコン酸鉛系圧電
磁器を用い、電極は厚さ約２５００Åの金蒸着膜を用い
た。圧電基板１の寸法はＬ＝６．０mm、Ｗ＝１．３３m
m、ｔ＝３３８μｍである。
【００１３】以上の様に構成された厚み縦共振子につい
て、以下その動作を説明する。電気的共振の発生する原
理は従来技術で述べた内容と全く同一であり、電極の相
対向部分２内において発生する目的とする厚み縦振動の
他に、幅寸法Ｗ間で共振する他の振動が存在する。これ
らの振動として考えられるものは、ひろがり振動、エッ
ジモード振動、幅縦振動等であり、それぞれ独立した振
動として利用する試みがいくつが報告されているが、本
発明の目的とする厚み縦振動に対しては、前記各振動の
奇数次高調波成分がスプリアスとなって現われる。
て、以下その動作を説明する。電気的共振の発生する原
理は従来技術で述べた内容と全く同一であり、電極の相
対向部分２内において発生する目的とする厚み縦振動の
他に、幅寸法Ｗ間で共振する他の振動が存在する。これ
らの振動として考えられるものは、ひろがり振動、エッ
ジモード振動、幅縦振動等であり、それぞれ独立した振
動として利用する試みがいくつが報告されているが、本
発明の目的とする厚み縦振動に対しては、前記各振動の
奇数次高調波成分がスプリアスとなって現われる。
【００１４】ところで図４に示した様に幅方向の進行波
から見た音響インピーダンスは傾斜のある端面とない端
面で異なり非対称な反射をくり返す。従って幅方向に定
在波は形成されずスプリアスは効果的に減衰する。
から見た音響インピーダンスは傾斜のある端面とない端
面で異なり非対称な反射をくり返す。従って幅方向に定
在波は形成されずスプリアスは効果的に減衰する。
【００１５】図５は本実施形態における、θ，ｄの変化
による共振特性の変化を示す、周波数特性図である。
による共振特性の変化を示す、周波数特性図である。
【００１６】図５から明らかなように、ｄ寸法によらず
θの変化によってスプリアスの少ない実用可能な領域は
決定され、その範囲はθ＝５°〜８０°の範囲である。
θの変化によってスプリアスの少ない実用可能な領域は
決定され、その範囲はθ＝５°〜８０°の範囲である。
【００１７】以上の様に本実施形態によれば、圧電基板
１の長手方向の少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜
する傾斜面４を設けることにより、幅方向のスプリアス
を減衰させるという効果が得られる。
１の長手方向の少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜
する傾斜面４を設けることにより、幅方向のスプリアス
を減衰させるという効果が得られる。
【００１８】なお、本実施形態において圧電基板１は圧
電磁器を用いたがこれに限定するものでなく、たとえば
水晶、タンタル酸リチウム等の圧電性単結晶でもよく、
傾斜面４の個数は１ヶ所としたが個数はこれに限定する
ものでなく、複数個設けてもよい。又傾斜面４の形成方
法はダイシング加工としたが、形成方法はこれに限定す
るものでなく、たとえば研磨法等によって形成してもよ
い。
電磁器を用いたがこれに限定するものでなく、たとえば
水晶、タンタル酸リチウム等の圧電性単結晶でもよく、
傾斜面４の個数は１ヶ所としたが個数はこれに限定する
ものでなく、複数個設けてもよい。又傾斜面４の形成方
法はダイシング加工としたが、形成方法はこれに限定す
るものでなく、たとえば研磨法等によって形成してもよ
い。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、圧電基板の長手
方向の少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜する傾斜
面を設けることにより、スプリアスを減衰させることが
できる優れた厚み縦共振子を実現できるものである。
方向の少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜する傾斜
面を設けることにより、スプリアスを減衰させることが
できる優れた厚み縦共振子を実現できるものである。
【図１】本発明の一実施形態を示す平面図
【図２】図１の１Ａ−１Ｂ線の断面図
【図３】同背面図
【図４】同図２の１Ｃ−１Ｄ線の断面図
【図５】傾斜面の形成寸法及び角度による共振特性の変
化を示す特性図
化を示す特性図
【図６】従来例の平面図
【図７】図６の１Ａ−１Ｂ線の断面図
【図８】同背面図
１ 圧電基板 ２ 電極の相対向部分 ３ 引き出し電極 ４ 傾斜面
Claims (2)
- 【請求項１】 長方形状で厚み方向に分極方向を有する
圧電基板と、前記圧電基板の表面の長手方向の一端から
長手方向の所定位置まで設けられ、前記圧電基板の幅方
向に対し全面に形成された第１の電極と、前記圧電基板
の裏面の長手方向の他端から長手方向の所定の位置まで
設けられ、前記第１の電極と前記圧電基板を挟んで相対
向するとともに前記圧電基板の幅方向に対して全面に形
成された第２の電極とを具備し、前記圧電基板の長手方
向の少なくとも一辺に、厚み減少方向に傾斜する傾斜面
を設けた厚み縦共振子。 - 【請求項２】 傾斜面の角度は、電極形成面から、５〜
８０度である請求項１に記載の厚み縦共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33330696A JPH10173471A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 厚み縦共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33330696A JPH10173471A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 厚み縦共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10173471A true JPH10173471A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18264638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33330696A Pending JPH10173471A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 厚み縦共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10173471A (ja) |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33330696A patent/JPH10173471A/ja active Pending
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