JPH10173395A - チップ状回路部品吸着ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】テンプレートからのチップ状回路部品ａの取り
上げ、回路基板への搭載時の衝撃を小さくする。 【解決手段】 チップ状回路部品吸着ヘッドは、空気吸
引通路３１ａを有し、先端にこの空気吸引通路３１ａが
開口した吸着口３９を有する金属製の吸着ノズル３１
と、この吸着ノズル３１の前記吸着口３９を有する先端
部４０を下方に突出した状態で吸着ノズル３１の胴部３
２を上下動自在に保持した取付穴３５ａ、３６ａを有す
る取付板３５、３６と、吸着ノズル３１の先端部４０の
基部となる胴部３２が取付穴３５ａ、３６ａから下方に
抜け出ないように停止させるストッパ３８と、前記取付
穴３５ａ、３６ａに装着され、取付板３５、３５に対し
て吸着ノズル３１に下方へ向けて弾力を付勢した弾性体
３７と、前記取付板３５に設けられ、空気吸引通路３１
ａを介して前記吸着口３９に通じる空気吸引孔３４とを
有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ状回路部品
をバルク状に収納した複数の容器から、テンプレートに
配置した複数の凹部にチップ状回路部品を同時に送り出
し、その後このチップ状回路部品を真空吸着ヘッドで同
時に取り上げ、回路基板に搭載する、いわゆるマルチマ
ウンタと呼ばれるチップ状回路部品搭載装置において、
複数のチップ状回路部品を複数の吸着ノズルの先端にそ
れぞれ吸引、保持し、搬送するのに使用されるチップ状
回路部品吸着ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】回路基板の所定の位置にチップ状回路部
品を搭載する場合、前述のようなチップ状回路部品搭載
装置が使用されている。このチップ状回路部品搭載装置
では、複数のバラ詰容器の中にバルク状に収納されたチ
ップ状回路部品を、エスケープメント機構を介して、分
配器に配管された複数本の案内チューブにそれぞれ送り
出す。分配器の下には、テンプレートが挿入されてお
り、このテンプレートの上には、各々のチップ状回路部
品を回路基板の上に搭載する位置に合わせて、チップ状
回路部品を収納する凹部を有する容器が配置されてい
る。前記分配器に送り出されたチップ状回路部品は、前
記案内チューブを通って、テンプレート上の容器の中に
１つずつ収受される。

【０００３】このようにして、チップ状回路部品ａがテ
ンプレート６の容器２１の凹部２９に収納された状態
を、図７に二点鎖線で示す。このテンプレート６は、一
般的には図７に示すような構造を有している。すなわ
ち、容器２１の下から突起状の継手２２、２３が突設さ
れており、これがテンプレート６の取付板２５の所定の
位置に設けられた取付穴２４、２４に嵌め込まれること
によって、容器２１、２１…が取付板２５の所定の位置
に装着される。このテンプレート６の下側には、バキュ
ームケース１０が当てられ、このバキュームケース１０
により取付板２１の下面に形成された真空室２６が負圧
とされる。これによって、前記容器２１の一方の継手２
２に設けられた空気通路２２ａを介して容器２１内から
取付板２５の下面へと空気が吸引される。これによっ
て、分配器の案内チューブを通してチップ状回路部品ａ
を強制搬送し、これを容器２１、２１…の凹部２９、２
９…の中に吸引収受する。

【０００４】チップ状回路部品ａを収受したテンプレー
ト６は、分配器の下から、図７に示すように、吸着ヘッ
ド８の真下に移動する。図７に示すように、吸着ヘッド
８には、前記テンプレート６上の容器２１、２１…の配
置パターンに合わせて吸着ノズル１１、１１…が取付ら
れており、同ヘッド８が下降したとき、同吸着ノズル１
１、１１…の先端にチップ状回路部品ａ、ａ…を吸着、
保持し、吸着ヘッド８が上昇する。次いで、テンプレー
ト６が吸着ヘッド８の下から退避した後、吸着ヘッド８
が下降し、その下に搬送されてきた図示してない回路基
板の上に前記チップ状回路部品ａを置き、そこで吸着ノ
ズル１１、１１…におけるチップ状回路部品ａ、ａ…の
吸着を解除する。

【０００５】回路基板には、チップ状回路部品を搭載す
べき位置に予め接着剤を塗布しておき、搭載された前記
チップ状回路部品をこの接着剤で仮固定する。その後、
半田付工程を経て、チップ状回路部品の電極が、回路基
板上の電極ランドに半田付けされる。

【０００６】このようなチップ状回路部品搭載装置にお
いて用いられている従来の真空吸着ヘッド８とその吸着
ノズル１１は、図７に示すような構造を有している。す
なわち、吸着ノズル１１は、プラスチック等からなるホ
ルダー１２と、これに嵌め込まれたゴム等の弾性体から
なる吸着体１５とで構成され、ホルダー１２の上端に筒
形突起状の継手１３、１３を有している。このホルダー
１２の継手１３、１３が吸着ユニットの取付板１６のそ
れぞれ所定の位置に設けられたノズル取付穴１７、１７
に嵌合されることによって、吸着ノズルが取付板１６の
所定の位置に装着されている。この取付板１６の上側に
は、真空室１４が形成されており、符号９は、この真空
室１４を形成する箱体の上壁を示す。この真空室１４
は、吸引ポンプ（図示せずに）に連結され、この吸引ポ
ンプの作動により、ホルダー１２の空気通路１３ａ及び
吸着体１５の空気通路１８を介して空気が吸引される。
これにより、吸着体１５の先端の吸着口１９、１９…が
負圧に維持され、そこにチップ状回路部品ａが吸着され
る。

【０００７】前記吸着ノズル１１の吸着体１５が弾性体
からなるのは、容器２１の凹部２９内のチップ状回路部
品ａを吸着し、取り上げるとき、或いは回路基板上に吸
着したチップ状回路部品ａを搭載するときに発生するチ
ップ状回路部品ａの衝撃を和らげるためである。さら
に、この吸着ノズル１１で吸着し、保持するチップ状回
路部品ａが図７に示すような円柱形部品の場合、吸着体
１５の先端の吸着口１９の部分は、吸着安定性を確保す
るため、前記チップ状回路部品ａの外形に合わせた凹状
円弧面またはＶ溝面に加工されている。

【０００８】

【発明が解決しようとしている課題】前記のような従来
の吸着ヘッド８とその吸着ノズル１１の構造では、チッ
プ状回路部品ａを吸着する部分である吸着体１５が変形
しやすいゴム等の弾性体からなるため、テンプレート６
の容器２１内からチップ状回路部品ａを取り上げたり、
そのチップ状回路部品ａを回路基板上に搭載するとき
に、テンプレート６や回路基板から受ける反力により吸
着体１５が変形しやすい。また、このような弾性体から
なる吸着体１５は、ゴムなどの変形しやすい材質からな
り、精密な切削加工等を行うことができない。このた
め、吸着体１５は専ら成形加工によって作られ、高い寸
法精度が得られない。このような理由から、チップ状回
路部品ａの吸着位置及びその回路基板への搭載位置につ
いて、高い精度が得られない。

【０００９】その一方で、チップ状回路部品ａは、その
サイズも年々小さくなってきているため、より高い位置
精度でチップ状回路部品ａを回路基板上に搭載できる吸
着ヘッドとその吸着ノズルが要望されているところであ
る。本発明は、このような要望を背景としてなされたも
ので、チップ状回路部品をより高い精度で吸着、保持
し、さらにより高い精度で回路基板上に搭載することが
でき、しかもテンプレートからのチップ状回路部品の取
り上げ、或いはその回路基板への搭載時に、チップ状回
路部品に与える衝撃の小さなチップ状回路部品吸着ヘッ
ドを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、吸着ノズル３１全体を一体の変形しに
くい材料で形成とすると共に、高い加工精度で加工でき
る吸着ノズル３１を使用することとした。そして、その
吸着ノズル３１でチップ状回路部品ａを吸着するとき
や、そのチップ状回路部品ａを回路基板上に搭載すると
きに、テンプレートや回路基板から受ける反力を、吸着
ノズル３１に装着したばね等の弾性体３７で受け止め、
緩衝するものである。

【００１１】すなわち、本発明によるチップ状回路部品
吸着ヘッドは、空気吸引通路３１ａを有し、先端にこの
空気吸引通路３１ａが開口した吸着口３９を有する吸着
ノズル３１と、この吸着ノズル３１の前記吸着口３９を
有する先端部４０を下方に突出した状態で吸着ノズル３
１の胴部３２を上下動自在に保持した取付穴３５ａ、３
６ａを有する取付板３５、３６と、吸着ノズル３１の先
端部４０の基部となる胴部３２が取付穴３５ａ、３６ａ
から下方に抜け出ないように停止させるストッパ３８
と、前記取付穴３５ａ、３６ａに装着され、取付板３
５、３６に対して吸着ノズル３１に下方へ向けて弾力を
付勢した弾性体３７と、前記取付板３５に設けられ、空
気吸引通路３１ａを介して前記吸着口３９に通じる空気
吸引孔３４とを有することを特徴とする。

【００１２】このようなチップ状回路部品吸着ヘッドで
は、テンプレートや回路基板から受ける反力を吸収し、
緩和する弾性体３７が設けられているので、吸着ノズル
３１自体が弾性を有する必要がなく、それを金属やプラ
スチック等の変形しにくい材料で製作することができ
る。すなわち、吸着ノズル３１をゴム等の弾性材に比べ
て変形しにくいものとすることができる。また、吸着ノ
ズル３１を機械加工することもできるため、その精密加
工が可能である。さらに、ホルダ等も必要とせず、高精
度の吸着ノズル３１を取付板３５、３６の取付穴３５
ａ、３６ａに直接取り付けることができるため、取付板
３５、３６の取付位置に対する位置も高精度で実現する
ことができる。

【００１３】しかも、吸着ノズル３１自体が弾性を有し
ない部材であっても、ばね等の弾性体３７によりテンプ
レートや回路基板から受ける反力を吸収し、緩和するこ
とができるので、チップ状回路部品ａに衝撃を与えず、
その取り出しや搭載をすることが可能となる。このチッ
プ状回路部品吸着ヘッドでは、吸着ノズル３１の胴部３
２が先端部４０より幅または径が大きくなっており、吸
着ノズル３１の先端部４０がストッパ３８の挿入孔３８
ａを通してその外側に突出されると共に、吸着ノズル３
１の胴部３２の端面がストッパ３８の内側主面に当たる
ことにより、胴部３２が取付穴３５ａ、３６ａから下方
に抜け出ないように停止させられている。これにより、
吸着ノズル３１の先端部４０がストッパ３８から通常突
出される寸法が一定となる。

【００１４】また、吸着ノズル３１の胴部３２と、それ
が嵌め込まれた取付板３５、３６の取付穴３５ａ、３６
ａとは、対応する非円筒形を有する。これにより、吸着
ノズル３１が回転することなく、取付板３５、３６の取
付穴３５ａ、３６ａに組み込まれる。また、吸着ノズル
３１の回転を規制する必要がない場合は、吸着ノズル３
１の胴部３２と、それが嵌め込まれた取付板３５、３６
の取付穴３５ａ、３６ａとを、対応する円筒形とするこ
ともできる。さらに、吸着ノズル３１の回転を規制する
必要がある場合も、別に吸着ノズル３１の回転を規制す
る手段を設ければ、やはり吸着ノズル３１の胴部３２
と、それが嵌め込まれた取付板３５、３６の取付穴３５
ａ、３６ａとを、対応する円筒形とすることもできる。
さらに、このような取付板３５、３６及びストッパ３８
が複数の板材を積層した集合板からなる場合は、その取
付穴３５ａ、３６ａへの前記胴部３２の組み込みが容易
となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図１及び図２に示すように、吸着ノズル３１は、胴部３
２を有し、その下面から下方に突起状の先端部４０が、
その上面から上方に突起状の弾性体装着部３３がそれぞ
れ突設されている。図１及び図２に示した胴部３２は、
平面正方形の角柱形であるが、これは、取付板３５、３
６に対する吸着ノズル３１の回転を規制するためであ
る。従って、このように吸着ノズル３１の回転を規制す
る必要がある場合でも、取付板３５、３６に対する吸着
ノズル３１の回転防止が可能ならば、胴部３２は他の形
状であってもよい。例えば、胴部３２が四角以外の角形
柱状や楕円柱状等であってもよく、別に回転規制手段を
設ければ、円柱形であってもよい。さらに、吸着ノズル
３１の回転を規制する必要がない場合は、吸着ノズル３
１の胴部３２を円柱形とすることもできる。先端部４０
及び弾性体装着部３３は、何れも円柱形であるが、これ
らは角柱形や楕円柱形等であってもよい。胴部３２の幅
に比べて、先端部４０及び弾性体装着部３３の径や幅
は、小さくなっており、その間に段部を有することにな
る。前記弾性体装着部３３から胴部３２及び先端部４０
にわたって、吸着ノズル３１の中心軸上に空気吸引通路
３１ａが形成され、先端部４０の下端面においてこの空
気吸引通と３１ａが吸着口３９として開口している。

【００１６】図１に示す板状の部材である２枚の取付板
３５、３６とストッパ３８とは、互いに重ね合わせて前
記吸着ノズル３１を取り付けるのに使用される。２枚の
取付板３５、３６の対応する位置には、取付穴３５ａ、
３６ａが形成されており、２枚の取付板３５、３６が所
定の位置関係で重ね合わせられたとき、この取付穴３５
ａ、３６ａは、一連に連なった空間部を形成する。この
取付穴３５ａ、３６ａにより形成される空間部の平面形
状は、前記吸着ノズル３１の胴部３２の平面形状に対応
しており、それよりごく僅かに幅が広く設定されてい
る。また、この空間部の高さは、吸着ノズル３１の胴部
３２と弾性体装着部３３の合計高さより十分高い。上側
の取付穴３５ａの上部は、取付穴３５ａより十分幅また
は径の小さな空気吸引孔３４により上面側の外部に通じ
ている。この空気吸引孔３４は、後述する組立状態にお
いて、取付穴３５ａ及び前記吸着ノズル３１の空気吸引
通路３１ａを介して、吸着ノズル３１の先端部４０の吸
着口３９に通じる空気吸引孔となる。

【００１７】２枚の取付板３５、３６は、図示のように
それらの取付穴３５ａ、３６ａが一致して連なる所定の
位置関係で重ね合わせられ、ねじ等の締結手段で互いに
固定される。この２枚の取付板３５、３６は、その２枚
分の厚さに相当する１枚の取付板からなっていてもよ
く、この場合、前記取付穴３５ａ、３６ａは、一体の取
付板に形成された一連の空間部であればよい。

【００１８】ストッパ３８は、吸着ノズル３１の先端部
４０の長さより十分薄い板状であり、前記取付板３５、
３６の取付穴３５ａ、３６ａに対応して挿入孔３８ａが
穿孔されている。この挿入孔３８ａの径または幅は、吸
着ノズル３１の段部３２の幅または径より十分小さく、
且つ吸着ノズル３１の先端部４０の外径または外幅より
ごく僅かに大きく設定されている。このストッパ３８
は、その挿入孔３８ａの中心が、取付板３６の取付穴３
６ａと中心が一致する所定の位置関係で重ね合わせら
れ、ねじ等の締結手段で取付板３６に固定される。

【００１９】このような構成部材からなる吸着ヘッドを
組み立てる場合は、まず２枚の取付板３５、３６を所定
の位置関係で重ね合わせ、ねじ等の締結手段で互いに固
定する。この状態では、それら取付板３５、３６の取付
穴３５ａ、３６ａが一連に連なり、吸着ノズル３１の胴
部３２と弾性体装着部３３とが収納される空間部が形成
される。

【００２０】次に、図２に示すように、吸着ノズル３１
の弾性体装着部３３の外側に、弾性体としての圧縮性コ
イルばね等のばねからなる弾性体３７を嵌め込む。次
に、取付板３５、３６を上下を逆、すなわち取付板３６
を上側にした状態で、弾性体３７及び弾性体装着部３３
を先にして、その胴部３２までを取付板３５、３６の取
付穴３５ａ、３６ａの中に嵌め込む。この状態では、弾
性体装着部３３がコイルばねからなる弾性体３７の内側
に挿入され、弾性体３７が胴部３２の端面に当接する。
ここで、弾性体３７に弾力を付勢しない自然な状態で
は、吸着ノズル３１の胴部３２は、取付板３６の取付穴
３６ａから突出している。

【００２１】このようにして取付板３５、３６の所定の
取付穴３５ａ、３６ａにそれぞれ弾性体３７と吸着ノズ
ル３１の胴部３２及び弾性体装着部３３を挿入した後、
取付板３６の上にストッパ３８を重ねる。このとき、取
付板３５、３６の取付穴３５ａ、３６ａから突出した吸
着ノズル３１の先端部４０をストッパ３８の挿入孔３８
ａを差し込みながら、ストッパ３８を取付板３６に重ね
る。この課程で、吸着ノズル３１の胴部３２の端面がス
トッパ３８の主面に当たるので、弾性体３７の弾力に抗
して吸着ノズル３１の胴部３２が取付穴３５ａ、３６ａ
の奥に押し込まれ、これによって弾性体３７に弾力が付
勢される。その後、ストッパ３８をねじなどの締結手段
で取付板３６に固定することにより、吸着ヘッドが完成
する。

【００２２】このようにして組み立てられた吸着ヘッド
は、図１に示すように、吸着ノズル３１の先端部４０を
下方向けた姿勢で使用される。また、取付板３５、３６
は、真空容器を形成する吸着ヘッドの下面部分に取り付
けられ、取付板３５の図１において上面が真空室として
使用される。この真空室を負圧としたり、或いは大気圧
に戻したりすることで、吸着ノズル３１の先端部４０の
吸着口３９が、取付穴３５ａ及び空気吸引通路３１ａを
介して、負圧とされたり大気圧に戻されたりする。これ
により、吸着口３９にチップ状回路部品ａを吸着した
り、その吸着を解除したりすることができる。

【００２３】また前述したように、取付板３５、３６の
取付穴３５ａ、３６ａにより形成される空間部の高さ
は、吸着ノズル３１の胴部３２と弾性体装着部３３の合
計高さより十分高いため、吸着ノズル３１は弾性体３７
の弾力に抗して取付穴３５ａ、３６ａの奥側へと押し込
むことが可能である。従って、チップ状回路部品ａをテ
ンプレートから取り上げたり、そのチップ状回路部品ａ
を回路基板へ搭載するとき、前記弾性体３７の弾力によ
り、テンプレートや回路基板からの反力が和らげられ、
チップ状回路部品ａに与える衝撃を小さく抑えることが
できる。この吸着ヘッドのその他の使用法は、図７に示
した前記従来の吸着ヘッドと同じである。

【００２４】次に、図３及び図４に示す本発明による吸
着ヘッドの例を説明すると、この例では、吸着ノズル３
１の胴部３２が一方向に長い長円柱状となっており、取
付板３５、３６の取付穴３５ａ、３６ａもその形状に対
応して長円筒内面或いは長方形内面を有している。ま
た、この長円柱形の胴部３２の上面から突出した突起状
の弾性体装着部３３、３３は、胴部３２の上面の長軸方
向に並んで吸着ノズル３１の中心に対して対照に２つ設
けられており、そこに装着される圧縮性コイルばね等の
ばねからなる弾性体３７もそれぞれの弾性体装着部３
３、３３に装着される。吸着ノズル３１の空気吸引通路
３１ａは、２つの弾性体装着部３３、３３の間に設けら
れ、図１に示す例のように、弾性体装着部３３、３３に
は空気吸引通路３１ａが形成されていない。

【００２５】このような吸着ノズル３１は、２つの弾性
体３７、３７の弾力が吸着ノズル３１の中心に対して対
称に働くため、吸着ノズル３１の突出や引き込みの動作
が円滑となる。そして、各弾性体３７、３７の弾性係数
やばね常数を１つの弾性体３７を使用した場合のその弾
性体３７の弾性係数やばね常数の半分程度かそれよりや
や小さくすることにより、緩衝効果も良好となる。図３
において、左側と右側に示された吸着ノズル３１、３１
は、取付板３５、３６に９０゜異なる向きで取り付けら
れたものである。

【００２６】次に、図５及び図６に示す本発明による吸
着ヘッドの例を説明すると、この例では、吸着ノズル３
１の胴部３２が円柱状となっており、取付板３５の取付
穴３５ａもその形状に対応して円筒内面或いは直方体形
内面を有している。さらに、前記の例では、取付板３
５、３６が２枚の板を重ねた複合体となっているが、こ
の例では、取付板３５が一体となっている。すなわち、
吸着ノズル３１の胴部３２と弾性体３７とを収納する取
付穴３５ａが一体となった取付板３５が使用されてい
る。その他の構成は、前記図１及び図２に示された例と
同じである。

【００２７】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるチップ
状回路部品吸着ヘッドでは、チップ状回路部品ａをより
高い精度で吸着、保持し、さらにより高い精度で回路基
板上に搭載することができ、しかもテンプレートからの
チップ状回路部品ａの取り上げ、或いはその回路基板へ
の搭載時に、チップ状回路部品ａに与える衝撃を小さく
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるチップ状回路部品吸着ヘッドの例
を示す要部縦断側面図である。

【図２】同チップ状回路部品吸着ヘッドに使用される吸
着ノズルと弾性体の例を示す下から見た斜視図である。

【図３】本発明によるチップ状回路部品吸着ヘッドの他
の例を示す要部縦断側面図である。

【図４】同チップ状回路部品吸着ヘッドに使用される吸
着ノズルと弾性体の例を示す下から見た斜視図である。

【図５】本発明によるチップ状回路部品吸着ヘッドの他
の例を示す要部縦断側面図である。

【図６】同チップ状回路部品吸着ヘッドに使用される吸
着ノズルと弾性体の例を示す下から見た斜視図である。

【図７】チップ状回路部品吸着ヘッドとテンプレートの
従来例を示す要部縦断側面図である。

【符号の説明】 ３１ 吸着ノズル ３１ａ 吸着ノズルの空気吸引通路 ３２ 吸着ノズルの胴部 ３４ 取付板の空気吸引孔 ３５ 取付板 ３５ａ 取付板の取付穴 ３６ 取付板 ３６ａ 取付板の取付穴 ３７ 弾性体 ３８ ストッパ ３９ 吸着ノズルの吸着口 ４０ 吸着ノズルの先端部 ａ チップ状回路部品

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端にチップ状回路部品（ａ）を吸着
   し、保持する複数の吸着ノズル（３１）を有する吸着ヘ
   ッドにおいて、空気吸引通路（３１ａ）を有し、先端に
   この空気吸引通路（３１ａ）が開口した吸着口（３９）
   を有する吸着ノズル（３１）と、この吸着ノズル（３
   １）の前記吸着口（３９）を有する先端部（４０）を下
   方に突出した状態で吸着ノズル（３１）の胴部（３２）
   を上下動自在に保持した取付穴（３５ａ）、（３６ａ）
   を有する取付板（３５）、（３６）と、吸着ノズル（３
   １）の先端部（４０）の基部となる胴部（３２）が取付
   穴（３５ａ）、（３６ａ）から下方に抜け出ないように
   停止させるストッパ（３８）と、前記取付穴（３５
   ａ）、（３６ａ）に装着され、取付板（３５）、（３
   ６）に対して吸着ノズル（３１）に下方へ向けて弾力を
   付勢した弾性体（３７）と、前記取付板（３５）に設け
   られ、空気吸引通路（３１ａ）を介して前記吸着口（３
   ９）に通じる空気吸引孔（３４）とを有することを特徴
   とするチップ状回路部品吸着ヘッド。
2. 【請求項２】 吸着ノズル（３１）の胴部（３２）が先
   端部（４０）より幅または径が大きくなっており、吸着
   ノズル（３１）の先端部（４０）がストッパ（３８）の
   挿入孔（３８ａ）を通してその外側に突出されると共
   に、吸着ノズル（３１）の胴部（３２）の端面がストッ
   パ（３８）の内側主面に当たることにより、胴部（３
   ２）が取付穴（３５ａ）、（３６ａ）から下方に抜け出
   ないように停止させられていることを特徴とする請求項
   １に記載のチップ状回路部品吸着ヘッド。
3. 【請求項３】 吸着ノズル（３１）の胴部（３２）と、
   それが嵌め込まれた取付板（３５）、（３６）の取付穴
   （３５ａ）、（３６ａ）とは、対応する非円筒形を有す
   ることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ状
   回路部品吸着ヘッド。
4. 【請求項４】 吸着ノズル（３１）の胴部（３２）と、
   それが嵌め込まれた取付板（３５）、（３６）の取付穴
   （３５ａ）、（３６ａ）とは、対応する円筒形を有する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のチップ状回
   路部品吸着ヘッド。
5. 【請求項５】 取付板（３５）、（３６）及びストッパ
   （３８）は、複数の板材を所定の位置関係で積層し、固
   定した集合板からなることを特徴とする請求項１〜４の
   何れかに記載のチップ状回路部品吸着ヘッド。