JPH10168582A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH10168582A5
JPH10168582A5 JP1997274878A JP27487897A JPH10168582A5 JP H10168582 A5 JPH10168582 A5 JP H10168582A5 JP 1997274878 A JP1997274878 A JP 1997274878A JP 27487897 A JP27487897 A JP 27487897A JP H10168582 A5 JPH10168582 A5 JP H10168582A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum chamber
vacuum
torr
cylindrical member
degree
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1997274878A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH10168582A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP27487897A priority Critical patent/JPH10168582A/ja
Priority claimed from JP27487897A external-priority patent/JPH10168582A/ja
Publication of JPH10168582A publication Critical patent/JPH10168582A/ja
Publication of JPH10168582A5 publication Critical patent/JPH10168582A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP27487897A 1996-10-08 1997-10-07 円筒状部材の内周面への被膜形成方法 Pending JPH10168582A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27487897A JPH10168582A (ja) 1996-10-08 1997-10-07 円筒状部材の内周面への被膜形成方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26687896 1996-10-08
JP8-266878 1996-10-08
JP27487897A JPH10168582A (ja) 1996-10-08 1997-10-07 円筒状部材の内周面への被膜形成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10168582A JPH10168582A (ja) 1998-06-23
JPH10168582A5 true JPH10168582A5 (enExample) 2005-06-23

Family

ID=26547630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27487897A Pending JPH10168582A (ja) 1996-10-08 1997-10-07 円筒状部材の内周面への被膜形成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10168582A (enExample)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58221271A (ja) イオンプレ−テイング法による被膜形成方法
US5965217A (en) Method of forming DLC films over inner surface of cylindrical member
JP2004292934A (ja) イオン窒化装置およびこれを用いた成膜装置
JP2997215B2 (ja) 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
JPH10168582A5 (enExample)
CN113265642A (zh) 在大长径比金属筒（或管）内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法
JP4881504B2 (ja) 熱ｃｖｄ法によるグラファイトナノファイバー薄膜の選択形成方法
JP5530962B2 (ja) 炭素膜の成膜装置及び炭素膜の成膜方法
JP3304320B2 (ja) 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
JP3014289B2 (ja) 硬質カーボン膜の形成方法
JP3224488B2 (ja) 硬質カーボン膜の形成方法
JPH04228566A (ja) スパッターイオンめっきによる導電性繊維被覆方法および装置
JPH0931655A (ja) 硬質カーボン膜の形成方法
JPH02115379A (ja) 薄膜形成装置
JP4210141B2 (ja) 硬質窒化炭素膜の形成方法
JPS61288069A (ja) ダイヤモンド様カ−ボン成膜装置
WO2002006559A1 (fr) Procede de fabrication de couches de carbone aptes a emettre des electrons, par depot chimique en phase vapeur
JP4284438B2 (ja) 成膜方法
JPH10195635A (ja) 円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法
JPH10168582A (ja) 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
JP2000119853A (ja) 硬質カ―ボン膜の形成方法
JPH0247252A (ja) 複合材料膜の製造方法
JP2567843B2 (ja) ハイブリツドイオンプレ−テイング方法とその装置
JPS5915983B2 (ja) ホウ素被膜の形成方法
JPH10280155A (ja) 円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法