JPH10167459A - 物品の移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】一方のラック１ａからガラス基板Ｗをハンド部
材２０上に正確に位置決めして受け取り、他方のラック
１ｂに正確に受け渡す。 【解決手段】ハンド部材２０が一方のラック１ａ内に挿
入されてガラス基板Ｗを載置した後に、このハンド部材
２０が水平面内でラックの奥方向および幅方向に移動
し、ガラス基板Ｗをラック１ａの内面に当接させた状態
でハンド部材２０上を摺動させ、このハンド部材２０に
対してガラス基板２０を位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品を一方のコン
ベアや容器等の物品保持装置からから他方の物品保持装
置に移送する装置において、一方の物品保持装置から物
品を受け取る際に、この物品を受け取るハンド部材に対
してこの物品を正確な位置に位置決めして保持させるこ
とができる物品の移送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、各種の物品の製造や流通にお
いて、これらの物品を一方のコンベアや容器等から、他
方のコンベアや容器等に移送する移送装置が用いられて
いる。これらの移送装置には、当然ながら、移送すべき
物品を損傷することなく、正確かつ確実に所定の場所に
高速で移送することが要求される。また、このような移
送装置を設置するに必要な床面積も可能な限り小さいこ
とが望ましい。

【０００３】ところで、上記のような移送すべき物品と
して、たとえば液晶表示パネルの製造工程におけるガラ
ス基板がある。このガラス基板は、その面積が比較的大
きく、かつ厚さが薄く、脆弱で破損しやすいという特徴
がある。また、このような液晶表示パネルの製造工程に
おいては、これらのガラス基板は複数枚がラックに収容
された状態で搬送され、次の工程に送られる際に移送装
置によって別のラックに移送される。

【０００４】上記のラックは、一般的には図１に示すよ
うな構造をなし、このラック１の本体部は前面が開放さ
れた箱状をなしている。そして、このラック１の両内側
面には、複数の突条を有するホルダ部材２が取り付けら
れており、上記のガラス基板Ｗは、それらの両縁部が上
記のホルダ部材２に保持された状態でこのラック１内に
水平に収容され、また互いに上下に比較的狭い間隔で複
数段に重ねて配置される。

【０００５】上述のように、上記のガラス基板Ｗは、薄
くかつ大面積で脆弱であるとともに、上記のラック１に
上下に狭い間隔で重ねられて収容されているので、これ
らガラス基板Ｗを上記のラック１の前面から一枚ずつ取
り出して別のラックに収容するための移送装置は、高い
精度が要求される。

【０００６】このような移送装置として、たとえば図２
および図３に示すようなアーム形のロボット３が使用さ
れていた。このロボット３は、昇降機構４と関節形のア
ーム機構５を備えており、このアーム機構５の先端部に
はハンド６と称される薄い板状の部材が突設されてい
る。そして、上記の昇降装置４により、上記のハンド６
が移送すべきガラス基板Ｗの高さに対応した高さに位置
決めされ、上記のアーム機構５が水平面内で回動し、上
記のハンド６が移送すべき一方のラック１ａのガラス基
板Ｗの下面に沿って挿入される。そして、次に上記の昇
降機構４によりこのハンド６が上昇し、その上にガラス
基板Ｗを載置する。次いで、アーム機構５により、この
ハンド６がガラス基板Ｗを載置したままこのラック１ａ
内から引き抜かれる。そして、このアーム機構５が反転
回動し、他方のラック１ｂの前面にこのガラス基板Ｗを
移動させ、さらにこのアーム機構５によりこのガラス基
板Ｗがこのラック内に挿入されて移送が完了する。

【０００７】ところで、上記のようなラック１ａ，１ｂ
には、上記のガラス基板Ｗの抜き出しおよび挿入を円滑
にするために、このガラス基板Ｗの縁部とこのラックの
内面との間に所定の隙間が形成されるように構成されて
いる。したがって、上記の一方のラック１ａ内に収納さ
れているガラス基板Ｗは、このラック１ａの内面に対し
て正確には位置決めされておらず、このラック１ａの側
方向および奥方向に対してずれて収容されていことが多
い。

【０００８】このため、上記のハンド６をこの一方のラ
ック１ａ内に挿入してその上にガラス基板Ｗを載置する
場合に、このガラス基板Ｗはこのハンド６に対して正確
には位置決めされない。このため、このガラス基板Ｗを
他方のラック１ｂ内に挿入する場合に、このガラス基板
Ｗの縁部がこの他方のラック１ｂの内面と干渉し、この
ガラス基板Ｗが損傷するという不具合があった。また、
上記のガラス基板Ｗ自体の寸法にも多少の誤差があるた
め、上記のような不具合を一層助長するという不具合が
あった。

【０００９】このような問題は、上記のようなラック間
でガラス基板を移送する場合に限らず、たとえば一方の
コンベアのホルダに保持された物品を他方のコンベアの
ホルダに移送する場合にも同様の問題を生じる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の事情に
基づいたなされたもので、ハンド部材によって一方の物
品保持装置から物品を受け取り、他方の物品保持装置に
移送する装置において、上記の一方の物品保持装置から
物品を受け取る際に、このハンド部材に対して物品を所
定の位置に正確に位置決めして受け取り、この物品を正
確に位置決めして他方に物品保持装置に受け渡すことが
できる物品の移送装置を提供することを目的とするもの
である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、一方の物品保持装置内に保持されている物品をその
上に載置して受け取り、この載置保持した物品を上記の
他方の物品保持装置に受け渡すハンド部材と、このハン
ド部材を上記の一方の物品保持装置から他方の物品保持
装置までの所定の移送経路に沿って移動させるとととも
に、このハンド部材を少なくとも上記の物品保持装置内
において水平面内で移動させるハンド部材移動機構と、
このハンド部材移動機構を制御し、上記の一方の物品保
持機構内で上記の物品を載置したまま上記のハンド部材
を水平面内で移動させ、このハンド部材上に載置された
物品を物品保持装置の内面に当接させてこのハンド部材
上を摺動させ、この物品をこのハンド部材に対して所定
の位置に位置決めする制御装置とを備えたものである。

【００１２】したがって、このハンド部材上に載置され
た物品は、その縁部とハンド部材との位置関係が、この
ハンド部材と物品保持装置の内面との位置関係に正確に
対応するように位置決めされる。よって、このハンド部
材と物品保持装置の内面との位置関係を正確に設定して
おけば、この物品をこのハンド部材に対して正確に位置
決めして受け取ることができ、他方の物品保持装置内に
この物品を正確に位置決めして受け渡すことができる。

【００１３】また、請求項２に記載の本発明は、前記の
物品は板状の物品であり、また前記の物品保持装置は前
面が開放され前記の板状の物品を水平の状態で保持する
ラックであり、前記の制御装置は前記のハンド部材をこ
のラック内で物品を載置保持したままこのラックの奥方
および側方の互いに直交する方向に移動させ、この物品
をこのハンド部材に対して互いに直交する２方向に対し
て位置決めするものである。したがって、この物品は水
平面内で互いに直交する２方向に対しても正確に位置決
めされてハンド部材に受け取られる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の一実
施形態を説明する。この実施形態のものは、物品保持装
置として図１に示すようなラック１を使用し、一方のラ
ック１ａ内に上下に間隔を存して重ねられて収納された
物品たとえば液晶表示パネルのガラス基板Ｗを他方のラ
ック１ｂに移送するものである。

【００１５】まず、図４および図５を参照して本発明の
移送装置の概略を説明する。図４はこの移送装置の概略
的な平面図、図５は概略的な正面図である。図中の１１
ａ，１１ｂは、コンベア装置であって、これらコンベア
装置１１ａ，１１ｂは互いに所定の間隔をもって互いに
対向して配置されている。そして、これらのコンベア装
置１１ａ，１１ｂの上には、たとえばそれぞれ３個ずつ
のラック１ａ，１ｂの前面が互いに対向して載置されて
いる。

【００１６】図中の１２はこの移送装置の基台で、この
基台１２には上記のコンベア装置１１ａ，１１ｂの間
に、これらコンベア装置の長手方向すなわち上記のラッ
ク１ａ，１ｂの幅方向に沿って配置された一対のレール
部１３が設けられている。

【００１７】また、この基台１２の上には移動台１４が
設けられ、この移動台１４は上記のレール部１３に沿っ
て移動自在に支承されている。そして、この基台１２に
は、この移動台１４をこのレール部１３に沿って往復移
動させ、かつこの移動台１４を任意の位置に停止して位
置決めすることができる幅方向駆動機構１５が設けられ
ている。なお、この幅方向駆動機構１５については、後
に詳説する。

【００１８】また、この移動台１４上には、昇降台１６
が上下に昇降自在に設けられ、またこの移動台１４内に
は、この昇降台１６を上下に移動させ、かつ任意の位置
に停止して位置決めすることができる昇降駆動機構１７
が設けられている。なお、この昇降駆動機構１７につい
ては、後に詳述する。

【００１９】また、上記の昇降台１６の上端部には、キ
ヤリッジ機構１８とハンド機構１９が設けられている。
このキヤリッジ機構１８は、上記の互いに対向するラッ
ク１の間を結ぶ直線的な移送経路、すなわち上記のレー
ル部１３と直交する方向の移送経路に沿って水平に往復
移動するように構成されている。また、上記のハンド機
構１９は、たとえば一対の細長薄板状のハンド部材２０
を備えており、これらのハンド部材２０は上記のキヤリ
ッジ機構１８に対して、上記の移送経路に沿って往復移
動するように構成されている。

【００２０】また、上記の昇降台１６の上端部には、上
記の移送経路の中間部において上記の一対のハンド部材
２０の間に位置して載置テーブル機構２１が設けられて
いる。なお、この載置テーブル機構２１については、後
に詳述する。

【００２１】そして、上記のキヤリッジ機構１８がこの
移送経路の一方の終端部すなわち一方のラック１ａに近
接した位置に移動した場合には、図に２点鎖線で示すよ
うに、この板状のハンド部材２０の一端部がこのキヤリ
ッジ機構１８の一端部から突出してこの一方のラック１
ａ内に挿入され、ガラス基板Ｗをこのハンド部材２０の
一端部で受取る。次に、上記のキヤリッジ機構１８が移
送経路の他方の終端部側、すなわち他方のラック１ｂ側
に移動し、またこれとともに上記のハンド部材２０がガ
ラス基板Ｗを載置保持したままこのキヤリッジ機構１８
上を他方のラック１ｂ側に移動する。

【００２２】そして、このハンド部材２０の一端部に載
置保持されたガラス基板Ｗが上記の載置テーブル機構２
１の真上まで移動すると、上記のラック機構１８および
ハンド機構１９が停止し、この後にこの載置テーブル機
構２１が上昇し、その上に上記のガラス基板Ｗを一旦載
置する。次に、上記のキヤリッジ機構１８およびハンド
部材２０が一方のラック１ａ側に戻るように移動し、こ
のハンド部材２０の他端部がこの載置テーブル機構１８
に保持されているガラス基板Ｗの下に位置するまで移動
して停止する。

【００２３】次に、この載置テーブル機構２１が下降
し、その上に載置されていたガラス基板Ｗを上記のハン
ド部材２０の他端部上に載置させる。そして、このハン
ド部材２０および上記のキヤリッジ機構１８は、他方の
ラック１ｂ側に移動し、移送経路の他方の終端部におい
てこのハンド部材２０の他端部がこのキヤリッジ機構１
８の他端部から突出して他方のラック１ｂ内に挿入さ
れ、その上に載置されていたガラス基板Ｗをこの他方の
ラック１ｂ内に受け渡す。そして、このような作動を繰
り返し、上記の一方のラック１ａ内のガラス基板Ｗを他
方のラック１ｂ内に移送する。

【００２４】なお、上記の各機構の作動および作動のタ
イミング等は、制御装置２２によって制御される。この
制御装置２２は、従来公知の制御回路その他の機構から
構成され、その作動については後に各機構の作動の説明
とともに詳述する。

【００２５】次に、上記の各機構について説明する。図
６および図７には、前記の幅方向駆動機構１５および昇
降駆動機構１７を示す。前記の移動台１４は矩形断面の
角筒形をなし、その両側面部からは支持片３１が突設さ
れている。また、上記の基台１２のレール部１３の上面
にはレール３２が敷設され、上記の支持片３１の下面に
設けられた摺動部材３３がこれらのレール３２に摺動自
在に嵌合し、この移動台１４をラック１ａ，１ｂの幅方
向に移動自在に案内している。

【００２６】また、上記の基台１２に設けられた幅方向
駆動機構１５は、上記のレール３２と平行に配置された
回転自在のスクリューロッド３５と、このスクリューロ
ッド５３を両方向に回転駆動する回転駆動機構３４を備
え、この回転駆動機構３４はステッピングモータ、減速
機等から構成されている。また、上記の移動台１４には
スクリューナット３６が取り付けられ、このスクリュー
ナット３６は上記のスクリューロッド３５に螺合してい
る。

【００２７】したがって、上記の回転駆動機構３４によ
り上記のスクリューロッド３５が回転されると、これに
螺合しているスクリューナット３６が螺進し、上記の移
動台１４がこのスクリユーロッド３５およびレール３２
の方向、すなわちラック１の幅方向に移動する。なお、
この回転駆動機構３４の回転は、前記の制御機構２２に
よって制御され、上記の移動台１４の上のハンド機構１
９がラック１ａ，１ｂの前面に対して所定の幅方向位置
に位置決めされるように制御する。

【００２８】また、前記の昇降台１６は、断面矩形の角
筒形をなし、上記の移動台１４内に上下に移動自在に収
容されている。また、この移動台１４の内面には、上下
方向に沿ってレール４１が取り付けられ、また上記の昇
降台１６の外側面には摺動部材４２が取り付けられ、こ
れらの摺動部材４２は上記のレール４１に摺動自在に嵌
合し、この昇降台１６をこの移動台１４に対して正確に
上下方向に移動自在に案内している。

【００２９】また、前記の昇降駆動機構１７は、この移
動部材１４内に上下方向に沿って回転自在に支承された
スクリューロッド４３と、これを両方向に回転する回転
駆動機構４５とを備えている。この回転駆動機構４５
は、ステッピングモータ、プーリ、ベルト等の減速伝達
機構等から構成されている。そして、上記の昇降台１６
の外側面にはスクリューナット４４が取り付けられ、こ
のスクリューナット４４は上記のスクリューロッド４３
に螺合している。

【００３０】そして、上記の回転駆動機構４５によりス
クリューロッド４３が回転されると、上記のスクリュー
ナット４４が螺進し、上記の昇降台１６を上下方向に移
動させる。なお、上記の回転駆動機構４５は前記の制御
装置２２により制御され、上記の昇降台１６の上に設け
られているハンド機構１９をラック１ａ，１ｂ内の任意
のガラス基板Ｗの高さ位置に対応して位置決めがなされ
る。

【００３１】次に、図８ないし図１２を参照して、前記
のキヤリッジ機構１８およびハンド機構１９の構成を説
明する。上記のキヤリッジ機構１８は、キヤリッジガイ
ド５０を備えている。このキヤリッジガイド５０は、図
９に示すように、たとえば断面Ｌ字形の型材を、前記の
移送経路に沿った細長矩形の枠状に組み立てたもので、
上記の昇降台１６の上端部に水平に取り付けられてい
る。そして、このキヤリッジガイド５０の両側には２個
のキヤリッジ５１が設けられている。これらのキヤリッ
ジ５１は、上記のキヤリッジガイド５０の側面に設けら
れたレール５２に摺動自在に嵌合する摺動部材５３が設
けられ、これらのキヤリッジ５１はこのレール５２に沿
って摺動自在に案内されている。

【００３２】また、このキヤリッジ５１の上端部には、
それぞれ案内部材５４が設けられ、この案内部材５４に
はそれぞれ前記のハンド機構１９のハンド部材２０が前
記の移送経路に沿って移動自在に案内されている。これ
らのハンド部材２０は、図１０に示すように細長板状を
なしており、その下面にはレール６１が取り付けられ、
また上記の案内部材５４の上面には摺動部材６２が取り
付けられ、この摺動部材６２は上記のレール６１を摺動
自在に案内している。したがって、これらのハンド部材
２０は、上記のキヤリッジ５１に対して移送経路に沿っ
て移動自在に案内され、これらのハンド部材２０の一端
部は、このキヤリッジ５１の一端部から突出してキヤリ
ッジ機構１８の一端部から突出し、またこれらのハンド
部材２０の他端部はこのキヤリッジ５１の他端部から突
出してキヤリッジ機構１８の他端部から突出するように
構成されている。

【００３３】そして、この実施形態では、上記のキヤリ
ッジ機構１８のキヤリッジ５１を移動させる機構と、ハ
ンド機構１９のハンド部材２０を移動させる機構とが一
体化されている。

【００３４】以下、このキヤリッジ５１とハンド部材２
０の移動機構を図９および図１２を参照して説明する。
この図１２は、この移動機構を片側のキヤリッジおよび
ハンド部材についてのみ概略的に示したもので、各部を
構成する機械要素は、従来公知のものが使用される。ま
た、この図１２には、上記のハンド部材２０に設けられ
た吸着パッドに負圧を供給する負圧系統が破線で示され
ているが、この負圧系統については後に説明する。

【００３５】まず、上記のキヤリッジ５１を移動させる
機構を説明する。すなわち、前記のキヤリッジガイド５
０の両端部の下面には、それぞれプーリ７０が設けられ
ている。そして、これらのプーリ７０の間には無端状の
ベルト７１の中間部が掛け渡されており、このベルト７
１の中間部は連結部材７７によって上記のキヤリッジ５
１に連結されている。また、このキヤリッジガイド５０
の他端側のプーリ７０は、その左右のプーリ７０が軸７
２により一体的に連結されており、この軸７２の中間部
には駆動プーリ７３が取り付けられている。そして、こ
の駆動プーリ７３は、無端ベルト７４、プーリ７５を介
してステッピングモータ７６に連結されている。

【００３６】したがって、上記のステッピングモータ７
６により、上記のプーリ７０がそれぞれ両方向に回転駆
動され、これにより上記のベルト７１が走行し、上記の
キヤリッジ５１がキヤリッジガイド５０に沿って往復移
動する。なお、このステッピングモータ７６は、前述の
制御装置２２よって制御され、上記のキヤリッジ５１や
ハンド部材２０の作動はこの制御装置により制御され
る。

【００３７】また、上記のキヤリッジ５１には、第１の
プーリ８１と第２のプーリ８２とが設けられ、これらの
プーリ８１，８２は共通の軸により一体的に回転するよ
うに支承されている。そして、上記のキヤリッジガイド
５０の下面に沿って、第１のベルト８４が張設され、こ
の第１のベルト８４の両端部はそれぞれこのキヤリッジ
ガイド５０の両端部に固定されている。そして、この第
１のベルト８４の中間部は、上記の第１のプーリ８１の
周囲に巻回されている。なお、８３はこの第１のベルト
８４を案内するガイドローラである。

【００３８】また、上記のハンド部材２０の下面に沿っ
て第２のベルト８５が張設されており、この第２のベル
ト８５の両端部はこのハンド部材２０の両端部に固定さ
れている。そして、この第２のベルト８５の中間部は、
上記のキヤリッジ５１の第２のプーリ８２の周囲に巻回
されている。なお、８６はこの第２のベルト８５を案内
するガイドローラである。

【００３９】上記のような機構は、上記のキヤリッジ５
１がキヤリッジガイド５０に対して移動すると、上記の
第１のベルト８４により第１のプーリ８１が回転され
る。そして、この第１のプーリ８１の回転とともに、上
記の第２のプーリ８２が回転し、第２のベルト８５がこ
のキヤリッジ５１に対して走行される。したがって、上
記のハンド部材２０は、このキヤリッジ５１に対して移
動される。

【００４０】この場合、上記の第１のプーリ８１と第２
のプーリ８２の回転方向は同じ方向であるから、図１２
から明らかなように、このキヤリッジ５１の移動方向
と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２０の移動
方向は同じ方向である。したがって、このキヤリッジ５
１がこのキヤリッジガイド５０の一端部まで移動した場
合には、上記のハンド部材２０の一端部がこのキヤリッ
ジ５１の一端部から突出してキヤリッジ機構１８の一端
部から突出し、またこのキヤリッジ５１がこのキヤリッ
ジガイド５０の他端部に移動した場合には、上記のハン
ド部材２０の他端部がこのキヤリッジ５１の他端部から
突出してキヤリッジ機構１８の他端部から突出する。ま
た、このキヤリッジガイド５０に対するキヤリッジ５１
の移動量と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２
０の移動量とは、上記の第１のプーリ８１と第２のプー
リ８２との径の比に対応して設定される。

【００４１】次に、上記のハンド部材２０の構成を図１
０および図１１を参照して説明する。このハンド部材２
０は、上述のように細長板状をなし、その両端部上にガ
ラス基板Ｗを載置保持できるものである。そして、この
ハンド部材２０の上面には、複数の吸着パッド６３が設
けられ、載置されるガラス基板Ｗがずれないように吸着
保持する。この吸着パッド６３は、たとえば合成ゴム材
料で形成された吸盤状をなし、このハンド部材２０に埋
設されたホルダ６５に保持されている。そして、このホ
ルダ６５および吸着パッド６３は、ポート６６を介して
このハンド部材２０の下面に沿って配置された可撓性の
負圧チューブ９１に接続され、この負圧チューブ９１は
真空ポンプ等の負圧機構に接続されている。

【００４２】上記の負圧機構は、この移送装置の本体側
に取り付けられており、上記の負圧チューブ９１は上記
のキヤリッジ５１やハンド部材２０の移動によって弛み
を生じることがないように、図１２に示すような機構に
よって張設されている。

【００４３】すなわち、この移送装置の本体側、たとえ
ば前記の昇降台１６にはこのキヤリッジ５１やハンド部
材２０の移動方向に互いに離間した一対のローラ９４が
設けられている。そして、この負圧チユーブ９１の中間
部は、この一対のローラ９４の間に掛け渡され、略１８
０°折り返されている。そして、この負圧チューブ９１
は、上記のキヤリッジ５１内に挿通され、このキヤリッ
ジ５１側に設けられたローラ９２，９３に案内されてい
る。この負圧チューブ９１の両端部は、上記のローラ９
２，９３によって案内されて互いに反転するように１８
０°折り返され、上記のハンド部材２０の下面に沿って
配置され、その両端はこのハンド部材２０の両端部に固
定され、かつこの両端がこのハンド部材２０の吸着パッ
ド６３に連通している。

【００４４】また、上記の一対のローラ９４間の負圧チ
ューブ９１の中間部には、接続部材９５が設けられ、こ
の接続部材９５を介して可撓性の負圧供給チューブ９６
が分岐接続されている。そして、この負圧供給チューブ
９６は、前述の負圧機構に接続されている。また、上記
の負圧チューブ９１は、図１２に示すようにな経路に所
定の張力で張設されており、また上記の負圧供給チュー
ブ９６は弛みを与えられており、上記の接続部材９５が
移動可能となっている。

【００４５】次に、上記のような負圧チューブ９１の張
設機構の作動を説明する。まず、仮に上記のハンド部材
２０が移動せずに、上記のキヤリッジ５１のみがたとえ
ば一方側すなわち図１２中の左方に移動した場合には、
これによってこの負圧チューブ９１の中間部の接続部材
９５がその反対方向すなわち右方に移動する。また、仮
にこのキヤリッジ５１が移動せずに、上記のハンド部材
２０のみがこのキヤリッジ５１に対してたとえば左方に
移動した場合には、この負圧チューブ９１はこのキヤリ
ッジ５１内で１８０°折り返されているので、この接続
部材９５は上記とは逆に右方に移動する。そして、上述
のように、このキヤリッジ５１とハンド部材２０とは、
同時に同じ方向に移動するので、上記のような負圧チュ
ーブ９１の中間部の走行すなわち接続部材９５の移動
は、互いに相殺される。

【００４６】この場合に、上記の第１のプーリ８１と第
２のプーリ８２の径を互いに等しく設定しておけば、キ
ヤリッジ５１の移動量と、このキヤリッジ５１に対する
ハンド部材２０の移動量とは互いに等しくなり、これら
の移動による負圧チューブ９１の走行は互いに完全に相
殺され、この負圧チューブ９１の中間部すなわち接続部
材９５は移動しない。しかし、このキヤリッジ５１の移
動量と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２０の
移動量とは、前記のガラス基板やラックの寸法、このハ
ンド部材２０のラック内への挿入量等の各種の条件に対
応して設定され、この実施形態の場合には、上記の第１
のプーリ８１の直径は第２のプーリ８２の直径の１．８
倍に設定されている。

【００４７】したがって、この実施形態の場合には、上
記のこのキヤリッジ５１の移動量と、このキヤリッジ５
１に対するハンド部材２０の移動量の差に対応した量だ
け、この負圧チューブ９１の中間部の接続部材９５が移
動することになる。この場合に、上記の負圧供給チュー
ブ９６は上記のように弛みが与えられており、この接続
部材９５の移動を許容する。

【００４８】このような負圧チューブ９１の張設機構に
よれば、上記のキヤリッジ５１やハンド部材２０の移動
に伴って移動するのは負圧供給チューブ９６のみであ
り、負圧チューブ９１は所定の経路に張設された状態を
維持する。よって、この負圧チューブ９１が他の物に干
渉することがなく、またこの負圧チューブ９１の配置の
ために要するスペースを節減でき、この装置を小形化す
ることができる。

【００４９】次に、前述した載置テーブル機構２１を図
１３を参照して説明する。この載置テーブル機構２１
は、前述したように、上記のハンド部材２０の一端部に
載置保持したガラス基板Ｗを一旦受取り、このガラス基
板Ｗをこのハンド部材２０の他端部に受け渡すものであ
る。

【００５０】図中の１０１は、この載置テーブル機構２
１のベース板であり、このベース板１０１は前記の昇降
台１６の上端に取り付けられている。そして、このベー
ス板１０１の下面中央から下方に向けて支承部材１０２
が突設され、この支承部材１０２にはテーブル軸１０３
が支承されている。このテーブル軸１０３は、鉛直方向
に沿って配置され、この支承部材１０２に回転自在およ
び上下に摺動自在に支承されている。

【００５１】このテーブル軸１０３の上端部は、上記の
ベース板１０１を貫通してその上方に突出しており、そ
の上端には円板状の載置テーブル１０４が取り付けられ
ている。この載置テーブル１０４は、その上にガラス基
板Ｗを載置可能なものであり、前記のキヤリッジガイド
５０の中央位置で、かつ両側の一対のハンド部材２０の
間に配置されている。また、この載置テーブル１０４の
上面は、上記のハンド部材２０の上面すなわちガラス基
板Ｗの移送される搬送面Ａよりやや下方に位置してい
る。

【００５２】また、上記の支承部材１０２の下端部に
は、このテーブル軸１０３を回転駆動する回転駆動機構
１０５と、このテーブル軸１０３を上下に昇降する昇降
駆動機構１０６が設けられている。上記の回転駆動機構
１０５は、ステッピングモータ１０７、ピニオン１０
８、歯車１０９等から構成され、上記のテーブル軸１０
３および載置テーブル１０４を所定の角度回動させる。
また、上記の昇降駆動機構１０６は、モータ１１０、カ
ム機構１１１、スイベル継手１１２等から構成されてお
り、上記のテーブル軸１０３を上昇させ、上記の載置テ
ーブル１０４を上記の載置搬送面Ａより上方まで上昇さ
せる。なお、上記の回転駆動機構１０５のピニオン１０
８と歯車１０９とは、軸方向に摺動自在に噛合してお
り、上記のテーブル軸１０３の上下の移動を許容する。

【００５３】また、上記の載置テーブル１０４の周縁部
には、複数の吸着パッド１１３が設けられ、これらの吸
着パッド１１３は、負圧チューブ１１４、上記のテーブ
ル軸１０３内に形成された通路、その他を介して負圧機
構に接続されている。そして、これらの吸着パッド１１
３は、この載置テーブル１０４上に載置されたガラス基
板Ｗを吸着保持し、このガラス基板Ｗがずれたり、落下
したりすることを防止する。

【００５４】なお、上記の回転駆動機構１０５、昇降駆
動機構１０６等の作動は、前述した制御装置２２によっ
て制御されることはもちろんである。

【００５５】次に、上記のような実施形態の移送装置の
作動を図１４ないし図２５を参照して説明する。図１４
ないし図１９には、一方のラック１ａから他方のラック
１ｂにガラス基板Ｗを移送する基本的な作動を示す。

【００５６】まず、前記の移動台１４が幅方向駆動機構
１５によって移送すべきガラス基板Ｗを収容したラック
１ａの幅方向に対して所定の位置に移動し、また昇降台
１６が昇降駆動機構１７によって上下方向に移動し、ハ
ンド部材２０の上面が移送すべきガラス基板Ｗの下面よ
りやや下方の位置に位置決めされる。

【００５７】次に、図１４に示すように、前記のキヤリ
ッジ５１がキヤリッジガイド５０に沿って、すなわち直
線的な移送経路に沿って一方側に移動し、これと同時に
ハンド部材２０がこのキヤリッジ５１に対して一方側に
移動し、このハンド部材２０の一端部がこのキヤリッジ
５１の一端部から突出してキヤリッジ機構１８の一端部
から突出し、一方のラック１ａ内に挿入され、移送すべ
きガラス基板Ｗの下面に対応する。この後に、上記の昇
降台１６が少し上昇し、このハンド部材２０の一端部上
にこのガラス基板Ｗを載置する。この後に、このハンド
部材２０の吸着パッド６３に負圧が供給され、このガラ
ス基板Ｗを吸着保持する。

【００５８】次に、図１５に示すように、上記のキヤリ
ッジ５１およびハンド部材２０がガラス基板Ｗを保持し
たまま、他方側に移動する。そして、このハンド部材２
０の一端部に載置されているガラス基板Ｗの中心が前記
の載置テーブル機構２１の載置テーブル１０４の中心に
位置した状態で、このキヤリッジ５１およびハンド部材
２０が停止し、また吸着パッド６３による吸着が解除さ
れる。そして、この後に上記の載置テーブル１０４が上
昇し、このガラス基板Ｗをこの載置テーブル１０４上に
載置し、吸着パッド１１３により吸着保持する。

【００５９】次に、この実施形態の場合には、図１６に
示すように、この載置テーブル１０４が１８０°回動
し、このガラス基板Ｗを１８０°回動させる。また、こ
れと同時に、上記のキヤリッジ５１とハンド部材２０が
一方側に戻るように移動する。そして、図１７に示すよ
うに、このハンド部材２０の他端部がこのガラス基板Ｗ
の下方に位置した状態で、このキヤリッジ５１およびハ
ンド部材２０が停止する。この後に、上記の載置テーブ
ル１０４が下降するとともに、その吸着パッド１１３に
よる吸着保持が解除され、このガラス基板Ｗはこのハン
ド部材２０の他端部の上に載置され、このハンド部材２
０の吸着パッド６３がこのガラス基板Ｗを吸着保持す
る。

【００６０】そして、この後に図１８に示すように、こ
のキヤリッジ５１およびハンド部材２０が他方側に移動
し、このキヤリッジ５１がキヤリッジガイド５０の他端
部に位置するとともに、上記のハンド部材２０がこのキ
ヤリッジ５１の他端部から突出してキヤリッジ機構１８
の他端部から突出し、他方のラック１ｂ内に挿入され、
この他端部の上に載置されているガラス基板Ｗをこの他
方のラック１ｂ内に挿入し、このラック１ｂ内のホルダ
部材に保持させる。

【００６１】この後に、このハンド部材２０の吸着パッ
ド６３の吸着保持が解除されるとともに、上記の移動台
１６が少し下降し、このハンド部材２０の上面がガラス
基板Ｗの下面から離れる。そして、図１９に示すよう
に、このキヤリッジ５１およびハンド部材２０が一方側
に移動し、他方のラック１ｂ内から抜き去られる。そし
て、このような作動を繰り返し、一方のラック１ａ内の
ガラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に移送する。

【００６２】次に、この実施形態の装置におけるガラス
基板Ｗの受け取りの際の位置決めの作動を説明する。

【００６３】前述のように、上記のようなラック１ａ，
内のホルダ２にはガラス基板Ｗの両縁部が係合して保持
されているものであるが、このホルダ２に保持されてい
るガラス基板Ｗの縁部と、このラック１ａの側壁の内面
および奥壁の内面との間にはある程度の隙間が存在して
いる。したがって、上記のガラス基板Ｗは、ラック１ａ
内には必ずしも正確には収容されておらず、このラック
１ａの幅方向および前後方向にずれて収容されている場
合がある。このような場合には、前述のようにハンド部
材２０がこのラック１ａ内に挿入されてその一端部にガ
ラス基板Ｗを受け取る際に、このハンド部材２０に対し
てガラス基板Ｗがずれて載置されることがある。このよ
うな場合には、その後に前述のようにこのガラス基板Ｗ
を他方のラック１ｂ内に挿入する際に、このガラス基板
Ｗの縁部がこの他方のラック１ｂの側壁内面や奥壁内面
に衝突し、破損する可能性がある。このような不具合を
防止するために、前記の制御装置２２によって上記の移
送作動の際に図２０ないし図２３に示すような位置決め
作動がなされる。

【００６４】まず図２０に示すように、ハンド部材２０
の一端部が一方のラック１ａ内に挿入され、昇降台１６
が上昇してこのハンド部材２０の一端部にガラス基板Ｗ
が載置された後で、かつこのハンド部材２０の吸着パッ
ド６３によってこのガラス基板Ｗがまだ吸着保持されて
いない状態において、図２１に示すように、このハンド
部材２０がさらに所定距離だけ前進する。

【００６５】このようなハンド部材２０の前進によっ
て、ガラス基板Ｗはこのラック１ａの奥方に移動し、そ
の奥壁の内面に当接する。この場合に、このガラス基板
Ｗは吸着保持されていないので、このガラス基板Ｗが奥
壁に当接して停止した後もこのハンド部材２０はガラス
基板Ｗと摺動しつつ前進し、所定の位置で停止する。こ
のハンド部材２０の停止位置、たとえばその先端からラ
ック１ａの奥壁内面との距離ｘは、あらかじめ一定の距
離となるように設定されている。したがって、このガラ
ス基板Ｗは、その奥方の縁からこのハンド部材２０の先
端までの位置が常に上記のｘの距離となり、前後方向に
関してこのハンド部材２０に対して常に一定の位置に正
確に載置される。

【００６６】次に、図２２に示すように、前述の幅方向
駆動機構１５によって移動台１４が側方に移動し、この
ハンド部材２０はこのラック１ａの幅方向の一方側に移
動する。この場合も上記と同様に、このガラス基板Ｗの
側縁がこのラック１ａの側壁の内面に当接して停止し、
ハンド部材２０はこのガラス基板Ｗと摺動しつつこの側
壁内面に対して所定の位置、たとえばこれらのハンド部
材２０の中心から側壁の内面までの距離が所定のｙの位
置で停止する。したがって、このガラス基板Ｗは、この
ラック１ａの幅方向に関してこのハンド部材２０上に常
に一定の位置に正確に載置されることになる。

【００６７】次に、このハンド部材２０の吸着パッド６
３によってこのガラス基板Ｗが吸着保持され、このハン
ド部材２０はこのガラス基板Ｗを所定の位置に載置吸着
したまま図２３に示すようにこのラック１ａの略中央ま
で戻り、この後に前述のように他方側に移動し、このラ
ック１ａ内からこのガラス基板Ｗを抜き出す。

【００６８】なお、上記のような作動により、このガラ
ス基板Ｗはこのハンド部材２０の一端部の中心からずれ
て載置保持されることになるが、このガラス基板Ｗはこ
のハンド部材２０の一端部の基準位置に対して常に一定
の位置に正確に載置されている。したがって、この後の
前述した移送作動、たとえば載置テーブル１０４上での
回動や、このハンド部材２０の他端部で載置保持された
ガラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に挿入する際に、上
記のようなずれ分は正確に補正することができ、このガ
ラス基板Ｗを他方のラック１ｂに対して正確に位置決め
して挿入することができる。よって、このガラス基板Ｗ
の縁部がこの他方のラック１ｂの内面に衝突して破損す
るようなことが確実に防止される。また、このようにガ
ラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に正確に挿入できるの
で、このラックとガラス基板との間の遊びを少なくする
ことも可能である。

【００６９】上記のような作動は、この実施形態の装置
の標準的な作動であるが、この移送装置は上記の制御装
置２２のプログラムを適宜設定することにより、各種の
作動が可能である。

【００７０】たとえば、図２４の（ａ）ないし（ｃ）に
は、このガラス基板Ｗの移送の際の姿勢変更の例を示
す。この図２４の（ａ）は、前述のように載置テーブル
１０４上でこのガラス基板Ｗを１８０°回動させた場合
である。この場合には、このガラス基板ＷのＡ端とＢ端
とが反転するので、対向した他方のラック１ｂに同じ向
き、すなわちＡ端が常にラックの前面側に位置するよう
に移送できる。

【００７１】また、図２４の（ｂ）は、上記の載置テー
ブル１０４上でこのガラス基板Ｗを回動させない場合で
ある。この場合には、対向する他方のラック１ｂ内にこ
のガラス基板Ｗが逆向きに、すなわちＡ端が奥方、Ｂ端
が前面側に向いた状態で移送することができる。また、
図２４の（ｃ）のように、９０°回動させた状態でガラ
ス基板Ｗを他方のラック１ｂに移送することもできる。

【００７２】また、この実施形態の移送装置では、図２
５に示すように、複数の一方のラック１ａから、複数の
他方のラック１ｂに移送する場合に、移送先の他方のラ
ック１ｂを任意に選択することができる。すなわち、こ
の図２５の（ａ）は、互いに対向するラック間で移送す
る場合である。また、一方のラック１ａから受け取った
ガラス基板Ｗを他方のラックＷに受け渡すまでの間に、
前述の幅方向駆動機構１５により移動台１４を移動させ
ることにより、この図２５の（ｂ）、（ｃ）に示すよう
に、任意の他方のラック１ｂに選択または振り分けてガ
ラス基板Ｗを移送することも可能である。

【００７３】上記のようなガラス基板Ｗの回転や振り分
け等を行う際においても、一方のラック１ａ内からガラ
ス基板Ｗを受け取る際のハンド部材２０とこのガラス基
板Ｗとの位置関係は正確に把握されているので、上記の
制御装置２２内では上記のガラス基板Ｗの回転、振り分
けの際にこれらの位置関係を補正し、他方のラック１ｂ
内にこれらガラス基板Ｗを正確に位置決めして挿入する
ことができる。

【００７４】なお、本発明は上述の実施形態には限定さ
れない。たとえば、この移送装置は、上記のようなガラ
ス基板を一方のラックから他方のラックに移送するもの
には限定されず、各種の物品を一方の収納容器またはコ
ンベア等から、他方の収納容器またはコンベア等に移送
する装置一般に適用でき、この場合には移送する物品の
種類等に対応して、上記のハンド部材の形状、構造も任
意のものを採用できることはもちろんである。

【００７５】また、上述の実施形態では、上記のハンド
部材を移動させるハンド部材移動機構はハンド機構、キ
ヤリッジ機構、幅方向駆動機構、昇降駆動機構等から構
成されているものであるが、このハンド部材移動機構は
上記のような構成のものには限定されず、その他の各種
の機構が採用可能であることはもちろんである。

【００７６】また、このようなハンド部材移動機構とし
ては、上記のようにハンド部材を直線的に移動させるも
のには限定されず、アーム形、その他の機構でもよいも
のである。

【００７７】

【発明の効果】上述の如く本発明は、一方の物品保持装
置から物品を受け取る際に、ハンド部材が物品を載置し
たままこの物品保持装置内で水平面内で移動し、載置し
ている物品を物品保持装置の内面に当接させてハンド上
で摺動させ、このハンド部材に対してこの物品を正確に
位置決めし、この物品を正確に他方の物品保持装置内に
受け渡すものである。したがって、その構造が簡単であ
るとともに、位置決め作動も単純であり、各種の物品保
持装置に対応することができ、しかも物品を正確かつ確
実に他方の物品保持装置に受け渡し、その破損等を確実
に防止することができる等、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】物品保持装置の例としてのラックの斜視図。

【図２】従来の物品移送装置の側面図。

【図３】従来の物品移送装置の平面図。

【図４】本発明の物品の移送装置の実施形態の平面図。

【図５】実施形態の正面図。

【図６】実施形態の縦断面図。

【図７】図６の７−７線に沿う断面図。

【図８】実施形態のキヤリッジ機構およびハンド機構の
平面図。

【図９】図８の９−９線に沿う断面図。

【図１０】実施形態のハンド部材の平面図。

【図１１】図１０の１１−１１線に沿う断面図。

【図１２】実施形態のキヤリッジ機構およびハンド機構
の移動機構の概略図。

【図１３】実施形態の載置テーブル機構の縦断面図。

【図１４】実施形態の移送作動を説明する図。

【図１５】実施形態の移送作動を説明する図。

【図１６】実施形態の移送作動を説明する図。

【図１７】実施形態の移送作動を説明する図。

【図１８】実施形態の移送作動を説明する図。

【図１９】実施形態の移送作動を説明する図。

【図２０】実施形態の位置合わせ作動を説明する図。

【図２１】実施形態の位置合わせ作動を説明する図。

【図２２】実施形態の位置合わせ作動を説明する図。

【図２３】実施形態の位置合わせ作動を説明する図。

【図２４】実施形態のガラス基板の回転移送作動を説明
する図。

【図２５】実施形態のガラス基板の分配移送作動を説明
する図。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ ラック Ｗ ガラス基板 １４ 移動台 １５ 幅方向駆動機構 １６ 昇降台 １７ 昇降駆動機構 １８ キヤリッジ機構 １９ ハンド機構 ２０ ハンド部材 ２２ 制御装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品を収納または搬送する一方の物品保
   持装置から他方の物品保持装置に物品を移送する装置で
   あって、 上記の一方の物品保持装置内に保持されている物品をそ
   の上に載置して受け取り、この載置保持した物品を上記
   の他方の物品保持装置に受け渡すハンド部材と、このハ
   ンド部材を上記の一方の物品保持装置から他方の物品保
   持装置までの所定の移送経路に沿って移動させるととと
   もに、このハンド部材を少なくとも上記の物品保持装置
   内において水平面内で移動させるハンド部材移動機構
   と、このハンド部材移動機構を制御し、上記の一方の物
   品保持機構内で上記の物品を載置したまま上記のハンド
   部材を水平面内で移動させ、このハンド部材上に載置さ
   れた物品を物品保持装置の内面に当接させてこのハンド
   部材上を摺動させ、この物品をこのハンド部材に対して
   所定の位置に位置決めする制御装置とを具備したことを
   特徴とする物品の移送装置。
2. 【請求項２】 前記の物品は板状の物品であり、また前
   記の物品保持装置は前面が開放され前記の板状の物品を
   水平の状態で保持するラックであり、前記の制御装置は
   前記のハンド部材をこのラック内で物品を載置保持した
   ままこのラックの奥方向および側方向の互いに直交する
   方向に移動させ、この物品をこのハンド部材に対して互
   いに直交する２方向に対して位置決めするものであるこ
   とを特徴とする請求項１の物品の移送装置。