JPH10166268A - バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置 - Google Patents
バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置Info
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- JPH10166268A JPH10166268A JP8329542A JP32954296A JPH10166268A JP H10166268 A JPH10166268 A JP H10166268A JP 8329542 A JP8329542 A JP 8329542A JP 32954296 A JP32954296 A JP 32954296A JP H10166268 A JPH10166268 A JP H10166268A
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 188
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャックテーブルに突き刺さった研削屑と細
かな異物の何れをも確実に除去することができるバック
グラインダーチャックテーブルの洗浄装置を提供する。 【解決手段】 洗浄ブラシが回転式の場合、硬質洗浄ブ
ラシ３と、軟質洗浄ブラシ４の２種類のブラシにて構成
し、これをブラシの回転軸２を中心にして、放射状に交
互に配置する。そして、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブ
ラシ４の２種類の洗浄ブラシを組み合わせたものを、ブ
ラシの回転軸２を回転駆動して、回転させることによ
り、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４が交互にチャ
ックテーブル１上を移動し、洗浄する。
かな異物の何れをも確実に除去することができるバック
グラインダーチャックテーブルの洗浄装置を提供する。 【解決手段】 洗浄ブラシが回転式の場合、硬質洗浄ブ
ラシ３と、軟質洗浄ブラシ４の２種類のブラシにて構成
し、これをブラシの回転軸２を中心にして、放射状に交
互に配置する。そして、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブ
ラシ４の２種類の洗浄ブラシを組み合わせたものを、ブ
ラシの回転軸２を回転駆動して、回転させることによ
り、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４が交互にチャ
ックテーブル１上を移動し、洗浄する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バックグラインダ
ーチャックテーブルの洗浄装置に関するものである。
ーチャックテーブルの洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、特開平０１−１７１７６２号公報として提案さ
れている。かかる従来の平面自動研削盤の吸着チャック
上面の洗浄は、吸着チャックそのものを有孔物質として
内部から水或いは洗浄液を噴出させて洗浄するか、上方
から水或いは洗浄液を吐出させて刷子状のもので拭き払
う方法等で行われていた。
例えば、特開平０１−１７１７６２号公報として提案さ
れている。かかる従来の平面自動研削盤の吸着チャック
上面の洗浄は、吸着チャックそのものを有孔物質として
内部から水或いは洗浄液を噴出させて洗浄するか、上方
から水或いは洗浄液を吐出させて刷子状のもので拭き払
う方法等で行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の吸着チャックの洗浄方法では、完全に洗浄が行
えないため、上記に加えナイロンブラシ、オイルストー
ン、セラミック等を単独で使用し、洗浄を行っている。
この理由としては、硬質のブラシ（セラミックスやアー
カンサス）で洗浄すると、チャックテーブルに突き刺さ
ったゴミ（異物）は除去できるが、細かな異物は除去し
難く、軟質なブラシ（ナイロンブラシ、オイルストー
ン）では逆に、細かな異物は除去可能であるが、チャッ
クテーブルに突き刺さった異物は除去し難い。
た従来の吸着チャックの洗浄方法では、完全に洗浄が行
えないため、上記に加えナイロンブラシ、オイルストー
ン、セラミック等を単独で使用し、洗浄を行っている。
この理由としては、硬質のブラシ（セラミックスやアー
カンサス）で洗浄すると、チャックテーブルに突き刺さ
ったゴミ（異物）は除去できるが、細かな異物は除去し
難く、軟質なブラシ（ナイロンブラシ、オイルストー
ン）では逆に、細かな異物は除去可能であるが、チャッ
クテーブルに突き刺さった異物は除去し難い。
【０００４】従って、前述のような単独使用では、チャ
ックテーブルに突き刺さった研削屑と細かな異物の何れ
かは十分に除去できず、吸着チャック上面に半導体ウエ
ハの研削屑が残留して、次に、研削加工を施す場合、被
加工物の半導体ウエハ下面とチャック上面との間に研削
屑が狭まり平坦精度がでない上、研削加工中に半導体ウ
エハに傷が入ったりし、高精度の鏡面加工、平坦加工が
できない問題点があった。
ックテーブルに突き刺さった研削屑と細かな異物の何れ
かは十分に除去できず、吸着チャック上面に半導体ウエ
ハの研削屑が残留して、次に、研削加工を施す場合、被
加工物の半導体ウエハ下面とチャック上面との間に研削
屑が狭まり平坦精度がでない上、研削加工中に半導体ウ
エハに傷が入ったりし、高精度の鏡面加工、平坦加工が
できない問題点があった。
【０００５】また、最悪の場合、半導体ウエハの破損に
繋がり、製品の損害に加え、再度のチャックテーブル洗
浄が必要となる。本発明は、上記問題点を除去し、チャ
ックテーブルに突き刺さった研削屑と細かな異物の何れ
をも確実に除去することができるバックグラインダーチ
ャックテーブルの洗浄装置を提供することを目的とす
る。
繋がり、製品の損害に加え、再度のチャックテーブル洗
浄が必要となる。本発明は、上記問題点を除去し、チャ
ックテーブルに突き刺さった研削屑と細かな異物の何れ
をも確実に除去することができるバックグラインダーチ
ャックテーブルの洗浄装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置
において、バックグラインダーチャックテーブル上に軟
質洗浄ブラシと硬質洗浄ブラシを組み合わせて配置する
ようにしたものである。
成するために、 〔１〕バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置
において、バックグラインダーチャックテーブル上に軟
質洗浄ブラシと硬質洗浄ブラシを組み合わせて配置する
ようにしたものである。
【０００７】したがって、チャックテーブルに突き刺さ
った研削屑と細かな異物の何れをも確実に除去すること
ができる。 〔２〕上記〔１〕記載のバックグラインダーチャックテ
ーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄ブラシと硬質
洗浄ブラシをブラシの回転軸を中心にして放射状に交互
に配置するようにしたものである。
った研削屑と細かな異物の何れをも確実に除去すること
ができる。 〔２〕上記〔１〕記載のバックグラインダーチャックテ
ーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄ブラシと硬質
洗浄ブラシをブラシの回転軸を中心にして放射状に交互
に配置するようにしたものである。
【０００８】このように、回転型の硬質洗浄ブラシと軟
質洗浄ブラシを組み合わせて、チェックテーブルに乗
せ、洗浄ブラシを回転させることにより、硬質洗浄ブラ
シではチャックテーブル上に刺さっている研削屑等、軟
質洗浄ブラシではチャックテーブル上の汚れや研削屑等
の異物除去が同時に可能となり、チャック洗浄時間を従
来の半分程度に短縮できる。
質洗浄ブラシを組み合わせて、チェックテーブルに乗
せ、洗浄ブラシを回転させることにより、硬質洗浄ブラ
シではチャックテーブル上に刺さっている研削屑等、軟
質洗浄ブラシではチャックテーブル上の汚れや研削屑等
の異物除去が同時に可能となり、チャック洗浄時間を従
来の半分程度に短縮できる。
【０００９】〔３〕上記〔１〕記載のバックグラインダ
ーチャックテーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄
ブラシと硬質洗浄ブラシをブラシの固定軸に固定される
櫛状にチャックテーブルの周辺から中心部に配置するよ
うにしたものである。このように、固定型の硬質洗浄ブ
ラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、チェックテーブ
ルに乗せ、チャックテーブルを回転させることにより、
硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上に刺さっている
研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャックテーブル上の汚
れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、チャック
洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
ーチャックテーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄
ブラシと硬質洗浄ブラシをブラシの固定軸に固定される
櫛状にチャックテーブルの周辺から中心部に配置するよ
うにしたものである。このように、固定型の硬質洗浄ブ
ラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、チェックテーブ
ルに乗せ、チャックテーブルを回転させることにより、
硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上に刺さっている
研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャックテーブル上の汚
れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、チャック
洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
【００１０】〔４〕上記〔２〕記載のバックグラインダ
ーチャックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの
回転方向前面に中央部より常に洗浄水を流し異物を外部
へ排出するようにしたものである。このように、洗浄ブ
ラシが回転する場合は、ブラシの回転軸より外側へ向け
洗浄水が流れるようにすることにより、洗浄ブラシによ
り削られたチャックテーブル上の異物が、常に洗浄水に
よりチャックテーブルの外側へ洗い流される。また、削
られた異物は、ブラシが回転しているため、ブラシの回
転方向前面に滞留しがちであるが、洗浄水をブラシ前面
（チャックテーブル回転方向に対して）へ流すことによ
り、この異物も外側へ押し流され、洗浄ブラシにて一度
削られた異物が再付着することがなくなる。
ーチャックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの
回転方向前面に中央部より常に洗浄水を流し異物を外部
へ排出するようにしたものである。このように、洗浄ブ
ラシが回転する場合は、ブラシの回転軸より外側へ向け
洗浄水が流れるようにすることにより、洗浄ブラシによ
り削られたチャックテーブル上の異物が、常に洗浄水に
よりチャックテーブルの外側へ洗い流される。また、削
られた異物は、ブラシが回転しているため、ブラシの回
転方向前面に滞留しがちであるが、洗浄水をブラシ前面
（チャックテーブル回転方向に対して）へ流すことによ
り、この異物も外側へ押し流され、洗浄ブラシにて一度
削られた異物が再付着することがなくなる。
【００１１】〔５〕上記〔３〕記載のバックグラインダ
ーチャックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの
前面に中央部より常に洗浄水を流し異物を外部へ排出す
るようにしたものである。このように、洗浄ブラシが固
定の場合は、チャックテーブル中央部より外側へ向け、
かつ洗浄ブラシの前面（チャックテーブル回転方向に対
して）より洗浄水が流れ、異物を外側へ押し流すことが
できる。
ーチャックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの
前面に中央部より常に洗浄水を流し異物を外部へ排出す
るようにしたものである。このように、洗浄ブラシが固
定の場合は、チャックテーブル中央部より外側へ向け、
かつ洗浄ブラシの前面（チャックテーブル回転方向に対
して）より洗浄水が流れ、異物を外側へ押し流すことが
できる。
【００１２】〔６〕上記〔２〕又は〔４〕記載のバック
グラインダーチャックテーブルの洗浄装置において、洗
浄ブラシの形状をブラシ回転方向に外側へ向けテーパー
を設けるようにしたものである。このように、洗浄ブラ
シが回転式の場合、洗浄ブラシの回転方向の面に外側へ
向けテーパーを設けることにより、ブラシの回転によっ
て削られた異物が、チャックテーブルに再付着すること
を防止することができる。
グラインダーチャックテーブルの洗浄装置において、洗
浄ブラシの形状をブラシ回転方向に外側へ向けテーパー
を設けるようにしたものである。このように、洗浄ブラ
シが回転式の場合、洗浄ブラシの回転方向の面に外側へ
向けテーパーを設けることにより、ブラシの回転によっ
て削られた異物が、チャックテーブルに再付着すること
を防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示すバックグラインダーチャックテーブル
の洗浄装置の平面図、図２はその洗浄装置の断面図であ
る。この実施例は、洗浄ブラシ自体が回転式の場合を示
している。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示すバックグラインダーチャックテーブル
の洗浄装置の平面図、図２はその洗浄装置の断面図であ
る。この実施例は、洗浄ブラシ自体が回転式の場合を示
している。
【００１４】これらの図においで、１はチャックテーブ
ル、２はブラシの回転軸、３は硬質洗浄ブラシ、４は軟
質洗浄ブラシである。このように、洗浄ブラシが回転式
の場合、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４の２種類
にて構成し、これをブラシの回転軸２を中心にして、放
射状に交互に配置する。
ル、２はブラシの回転軸、３は硬質洗浄ブラシ、４は軟
質洗浄ブラシである。このように、洗浄ブラシが回転式
の場合、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４の２種類
にて構成し、これをブラシの回転軸２を中心にして、放
射状に交互に配置する。
【００１５】そして、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラ
シ４との２種類の洗浄ブラシを組み合わせたものを、ブ
ラシの回転軸２を回転駆動させ、回転させることによ
り、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４が交互にチャ
ックテーブル１上を移動し、洗浄する。このように、第
１実施例によれば、単独のブラシを使用した場合に比
べ、それぞれのブラシを使用した効果、すなわち、硬質
洗浄ブラシ３ではチャックテーブル１上に刺さっている
研削屑等、軟質洗浄ブラシ４ではチャックテーブル１上
の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、チャ
ック洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
シ４との２種類の洗浄ブラシを組み合わせたものを、ブ
ラシの回転軸２を回転駆動させ、回転させることによ
り、硬質洗浄ブラシ３と軟質洗浄ブラシ４が交互にチャ
ックテーブル１上を移動し、洗浄する。このように、第
１実施例によれば、単独のブラシを使用した場合に比
べ、それぞれのブラシを使用した効果、すなわち、硬質
洗浄ブラシ３ではチャックテーブル１上に刺さっている
研削屑等、軟質洗浄ブラシ４ではチャックテーブル１上
の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、チャ
ック洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
【００１６】また、硬質洗浄ブラシ３により削り取られ
たチャックテーブル１上の異物がチャックテーブル１に
再付着することなく、軟質洗浄ブラシ４により他の異物
と共に除去される。次に、本発明の第２実施例について
説明する。図３は本発明の第２実施例を示すバックグラ
インダーチャックテーブルの洗浄装置の平面図、図４は
そのバックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の
断面図である。この実施例は、洗浄ブラシが固定でチャ
ックテーブルが回転式の場合を示している。
たチャックテーブル１上の異物がチャックテーブル１に
再付着することなく、軟質洗浄ブラシ４により他の異物
と共に除去される。次に、本発明の第２実施例について
説明する。図３は本発明の第２実施例を示すバックグラ
インダーチャックテーブルの洗浄装置の平面図、図４は
そのバックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の
断面図である。この実施例は、洗浄ブラシが固定でチャ
ックテーブルが回転式の場合を示している。
【００１７】これらの図において、１１はチャックテー
ブル、１２はブラシの固定軸、１３は硬質洗浄ブラシ、
１４は軟質洗浄ブラシである。このように、洗浄ブラシ
が回転型の場合、硬質洗浄ブラシ１３と、軟質洗浄ブラ
シ１４との２種類をブラシの固定軸に固定して、チャッ
クテーブル１１面に当接するように配置する。
ブル、１２はブラシの固定軸、１３は硬質洗浄ブラシ、
１４は軟質洗浄ブラシである。このように、洗浄ブラシ
が回転型の場合、硬質洗浄ブラシ１３と、軟質洗浄ブラ
シ１４との２種類をブラシの固定軸に固定して、チャッ
クテーブル１１面に当接するように配置する。
【００１８】このように、硬質洗浄ブラシ１３と軟質洗
浄ブラシ１４の２種類のブラシを組み合わせ、固定軸に
固定したものをチャックテーブル１１に乗せ、チャック
テーブル１１を回転させることにより、硬質洗浄ブラシ
１３と軟質洗浄ブラシ１４が交互にチャックテーブル上
を相対的に移動し、洗浄することになる。このように、
第２実施例によれば、従来のように、単独のブラシを使
用した場合に比べ、それぞれのブラシを使用した効果、
すなわち、硬質洗浄ブラシ１３ではチャックテーブル上
に刺さっている研削屑等を辞去し、軟質洗浄ブラシ１４
ではチャックテーブル上の汚れや切削粉等の異物除去が
同時に可能となり、チャック洗浄時間を従来の半分程度
に短縮できる。
浄ブラシ１４の２種類のブラシを組み合わせ、固定軸に
固定したものをチャックテーブル１１に乗せ、チャック
テーブル１１を回転させることにより、硬質洗浄ブラシ
１３と軟質洗浄ブラシ１４が交互にチャックテーブル上
を相対的に移動し、洗浄することになる。このように、
第２実施例によれば、従来のように、単独のブラシを使
用した場合に比べ、それぞれのブラシを使用した効果、
すなわち、硬質洗浄ブラシ１３ではチャックテーブル上
に刺さっている研削屑等を辞去し、軟質洗浄ブラシ１４
ではチャックテーブル上の汚れや切削粉等の異物除去が
同時に可能となり、チャック洗浄時間を従来の半分程度
に短縮できる。
【００１９】また、硬質洗浄ブラシ１３により削り取ら
れたチャックテーブル１１上の異物がチャックテーブル
１１に再付着することなく、軟質洗浄ブラシ１４により
他の異物と共に除去される。次に、本発明の第３実施例
について説明する。図５は本発明の第３実施例を示すバ
ックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の平面
図、図６はそのバックグラインダーチャックテーブルの
洗浄装置の断面図である。この実施例では洗浄ブラシの
回転に合わせ洗浄水を流し、異物を除去するようにして
いる。
れたチャックテーブル１１上の異物がチャックテーブル
１１に再付着することなく、軟質洗浄ブラシ１４により
他の異物と共に除去される。次に、本発明の第３実施例
について説明する。図５は本発明の第３実施例を示すバ
ックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の平面
図、図６はそのバックグラインダーチャックテーブルの
洗浄装置の断面図である。この実施例では洗浄ブラシの
回転に合わせ洗浄水を流し、異物を除去するようにして
いる。
【００２０】これらの図に示すように、チャックテーブ
ル２１洗浄時に、チャックテーブル２１の中央部より４
方向の外側へ向け洗浄水２５が流れるように、かつ硬質
洗浄ブラシ２３、軟質洗浄ブラシ２４の前面（チャック
テーブル回転方向に対して）に洗浄水２５が流れるよう
に流路を設ける。このように、上記洗浄ブラシ２３，２
４が回転する場合は、ブラシの回転軸（チャックテーブ
ル中央部）２２より外側へ向け、かつ洗浄ブラシの前面
（チャックテーブル回転方向に対して）より洗浄水２５
が流れる。
ル２１洗浄時に、チャックテーブル２１の中央部より４
方向の外側へ向け洗浄水２５が流れるように、かつ硬質
洗浄ブラシ２３、軟質洗浄ブラシ２４の前面（チャック
テーブル回転方向に対して）に洗浄水２５が流れるよう
に流路を設ける。このように、上記洗浄ブラシ２３，２
４が回転する場合は、ブラシの回転軸（チャックテーブ
ル中央部）２２より外側へ向け、かつ洗浄ブラシの前面
（チャックテーブル回転方向に対して）より洗浄水２５
が流れる。
【００２１】このように、第３実施例によれば、洗浄ブ
ラシ２３，２４が回転すると、ブラシの回転軸２２（チ
ャックテーブル中央部）より外側へ向け、かつ洗浄ブラ
シ２３，２４の前面（チャックテーブル回転方向に対し
て）より洗浄水２５が流れる。上記したように、洗浄ブ
ラシが回転する場合は、ブラシの回転軸（チャックテー
ブル中央部）より外側へ向け洗浄水が流れるようにな
り、洗浄ブラシにより削られたチャックテーブル上の異
物が、常に洗浄水によってチャックテーブルの外側へ洗
い流される。また、削られた異物は、洗浄ブラシが回転
しているため、ブラシの回転方向前面に滞留しがちであ
るが、洗浄水を洗浄ブラシ前面（チャックテーブル回転
方向に対して）へ流すことにより、この異物も外側へ押
し流され、洗浄ブラシにて一度削られた異物が再付着す
ることがなくなる。
ラシ２３，２４が回転すると、ブラシの回転軸２２（チ
ャックテーブル中央部）より外側へ向け、かつ洗浄ブラ
シ２３，２４の前面（チャックテーブル回転方向に対し
て）より洗浄水２５が流れる。上記したように、洗浄ブ
ラシが回転する場合は、ブラシの回転軸（チャックテー
ブル中央部）より外側へ向け洗浄水が流れるようにな
り、洗浄ブラシにより削られたチャックテーブル上の異
物が、常に洗浄水によってチャックテーブルの外側へ洗
い流される。また、削られた異物は、洗浄ブラシが回転
しているため、ブラシの回転方向前面に滞留しがちであ
るが、洗浄水を洗浄ブラシ前面（チャックテーブル回転
方向に対して）へ流すことにより、この異物も外側へ押
し流され、洗浄ブラシにて一度削られた異物が再付着す
ることがなくなる。
【００２２】したがって、上記第１実施例の作用効果に
加えて、チャックテーブル上が常に洗浄に保たれるた
め、洗浄時間の短縮が可能である。次に、本発明の第４
実施例について説明する。図７は本発明の第４実施例を
示すバックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の
平面図、図８はそのバックグラインダーチャックテーブ
ルの洗浄装置の断面図である。この実施例ではチャック
テーブルの回転に合わせ洗浄水を流し、異物を除去する
ようにする。
加えて、チャックテーブル上が常に洗浄に保たれるた
め、洗浄時間の短縮が可能である。次に、本発明の第４
実施例について説明する。図７は本発明の第４実施例を
示すバックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置の
平面図、図８はそのバックグラインダーチャックテーブ
ルの洗浄装置の断面図である。この実施例ではチャック
テーブルの回転に合わせ洗浄水を流し、異物を除去する
ようにする。
【００２３】チャックテーブル３１洗浄時に、チャック
テーブル３１の中央部より周辺に向け洗浄水３６が流れ
るように、かつ硬質洗浄ブラシ３３，軟質洗浄ブラシ３
４の前面（チャックテーブル回転方向に対して）に洗浄
水３６が流れるように流路を設ける。このように、上記
洗浄ブラシ３３，３４が洗浄ブラシの固定軸３２に固定
されている場合は、チャックテーブル３１中央部より外
側へ向け、かつ洗浄ブラシ３３，３４の前面（チャック
テーブル回転方向に対して）より洗浄水３６が流れ、異
物は外側へ押し流すことができる。なお、図７及び図８
において、３５は洗浄水配管である。
テーブル３１の中央部より周辺に向け洗浄水３６が流れ
るように、かつ硬質洗浄ブラシ３３，軟質洗浄ブラシ３
４の前面（チャックテーブル回転方向に対して）に洗浄
水３６が流れるように流路を設ける。このように、上記
洗浄ブラシ３３，３４が洗浄ブラシの固定軸３２に固定
されている場合は、チャックテーブル３１中央部より外
側へ向け、かつ洗浄ブラシ３３，３４の前面（チャック
テーブル回転方向に対して）より洗浄水３６が流れ、異
物は外側へ押し流すことができる。なお、図７及び図８
において、３５は洗浄水配管である。
【００２４】このように、洗浄ブラシが固定されている
場合も、上記第２実施例の作用効果に加えて、チャック
テーブル上が常に洗浄に保たれるため、洗浄時間の短縮
が可能である。次に、本発明の第５実施例について説明
する。図９は本発明の第５実施例を示すバックグライン
ダーチャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
場合も、上記第２実施例の作用効果に加えて、チャック
テーブル上が常に洗浄に保たれるため、洗浄時間の短縮
が可能である。次に、本発明の第５実施例について説明
する。図９は本発明の第５実施例を示すバックグライン
ダーチャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
【００２５】この実施例では、チャックテーブル４１上
にブラシの回転軸４２を中心として回転する硬質洗浄ブ
ラシ４３，軟質洗浄ブラシ４４の回転方向に外側へ向
け、硬質洗浄ブラシ４３にテーパー４５、軟質洗浄ブラ
シ４４にテーパー４６を形成する。このように、洗浄ブ
ラシが回転式の場合、洗浄ブラシ４３，４４の回転方向
の面に外側へ向けテーパー４５，４６を設け、ブラシの
回転によって削られた異物がチャックテーブル４１に再
付着することを防止するようにしている。
にブラシの回転軸４２を中心として回転する硬質洗浄ブ
ラシ４３，軟質洗浄ブラシ４４の回転方向に外側へ向
け、硬質洗浄ブラシ４３にテーパー４５、軟質洗浄ブラ
シ４４にテーパー４６を形成する。このように、洗浄ブ
ラシが回転式の場合、洗浄ブラシ４３，４４の回転方向
の面に外側へ向けテーパー４５，４６を設け、ブラシの
回転によって削られた異物がチャックテーブル４１に再
付着することを防止するようにしている。
【００２６】現状では、洗浄ブラシの回転によって削ら
れた異物が洗浄ブラシ前面（回転方向）に溜まり、再度
チャックテーブルに付着することがあるが、第５実施例
によれば、テーパーを設けることにより、異物が自然に
チャックテーブルの外へ排出され、再付着を防止するこ
とができる。また、この実施例では、ブラシ形状の変更
のみのため、実施が容易であり、かつ安価に実施可能で
ある。
れた異物が洗浄ブラシ前面（回転方向）に溜まり、再度
チャックテーブルに付着することがあるが、第５実施例
によれば、テーパーを設けることにより、異物が自然に
チャックテーブルの外へ排出され、再付着を防止するこ
とができる。また、この実施例では、ブラシ形状の変更
のみのため、実施が容易であり、かつ安価に実施可能で
ある。
【００２７】したがって、この実施例では、第１実施例
の作用効果に加えて、異物が自然にチャックテーブルの
外へ排出され、異物の再付着を防止することができる。
また、第３実施例とも組み合わせることにより、より一
層の洗浄効果が期待できる。なお、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種
々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除
するものではない。
の作用効果に加えて、異物が自然にチャックテーブルの
外へ排出され、異物の再付着を防止することができる。
また、第３実施例とも組み合わせることにより、より一
層の洗浄効果が期待できる。なお、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種
々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除
するものではない。
【００２８】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、チャックテーブル
に突き刺さった研削屑と細かな異物の何れをも確実に除
去することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、チャックテーブル
に突き刺さった研削屑と細かな異物の何れをも確実に除
去することができる。
【００２９】（２）請求項２記載の発明によれば、回転
型の硬質洗浄ブラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、
チェックテーブルに乗せ、洗浄ブラシを回転させること
により、硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上に刺さ
っている研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャックテーブ
ル上の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、
チャック洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
型の硬質洗浄ブラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、
チェックテーブルに乗せ、洗浄ブラシを回転させること
により、硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上に刺さ
っている研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャックテーブ
ル上の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能となり、
チャック洗浄時間を従来の半分程度に短縮できる。
【００３０】（３）請求項３記載の発明によれば、固定
型の硬質洗浄ブラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、
チェックテーブルに乗せ、チェックテーブルを回転させ
ることにより、硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上
に刺さっている研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャック
テーブル上の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能と
なり、チャック洗浄時間を従来の半分程度に短縮でき
る。
型の硬質洗浄ブラシと軟質洗浄ブラシを組み合わせて、
チェックテーブルに乗せ、チェックテーブルを回転させ
ることにより、硬質洗浄ブラシではチャックテーブル上
に刺さっている研削屑等、軟質洗浄ブラシではチャック
テーブル上の汚れや研削屑等の異物除去が同時に可能と
なり、チャック洗浄時間を従来の半分程度に短縮でき
る。
【００３１】（４）請求項４記載の発明によれば、洗浄
ブラシが回転する場合は、ブラシの回転軸より外側へ向
けて洗浄水を流すようにすることにより、洗浄ブラシに
より削られたチャックテーブル上の異物が、常に洗浄水
によりチャックテーブルの外側へ洗い流される。また、
削られた異物は、ブラシが回転しているため、ブラシの
回転方向前面に滞留しがちであるが、洗浄水をブラシ前
面（チャックテーブル回転方向に対して）へ流すことに
より、この異物も外側へ押し流され、洗浄ブラシにて一
度削られた異物が再付着することがなくなる。
ブラシが回転する場合は、ブラシの回転軸より外側へ向
けて洗浄水を流すようにすることにより、洗浄ブラシに
より削られたチャックテーブル上の異物が、常に洗浄水
によりチャックテーブルの外側へ洗い流される。また、
削られた異物は、ブラシが回転しているため、ブラシの
回転方向前面に滞留しがちであるが、洗浄水をブラシ前
面（チャックテーブル回転方向に対して）へ流すことに
より、この異物も外側へ押し流され、洗浄ブラシにて一
度削られた異物が再付着することがなくなる。
【００３２】（５）請求項５記載の発明によれば、洗浄
ブラシが固定の場合は、チャックテーブル中央部より外
側へ向け、かつ洗浄ブラシの前面（チャックテーブル回
転方向に対して）より洗浄水が流れ、異物を外側へ押し
流すことができる。 （６）請求項６記載の発明によれば、洗浄ブラシが回転
式の場合、洗浄ブラシの回転方向の面に外側へ向けテー
パーを設け、ブラシの回転によって削られた異物がチャ
ックテーブルに再付着することを防止することができ
る。
ブラシが固定の場合は、チャックテーブル中央部より外
側へ向け、かつ洗浄ブラシの前面（チャックテーブル回
転方向に対して）より洗浄水が流れ、異物を外側へ押し
流すことができる。 （６）請求項６記載の発明によれば、洗浄ブラシが回転
式の場合、洗浄ブラシの回転方向の面に外側へ向けテー
パーを設け、ブラシの回転によって削られた異物がチャ
ックテーブルに再付着することを防止することができ
る。
【図１】本発明の第１実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
【図２】本発明の第１実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
【図３】本発明の第２実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
【図４】本発明の第２実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
【図５】本発明の第３実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
【図６】本発明の第３実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
【図７】本発明の第４実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
【図８】本発明の第４実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の断面図である。
【図９】本発明の第５実施例を示すバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
チャックテーブルの洗浄装置の平面図である。
１，１１，２１，３１，４１ チャックテーブル ２，２２，４２ ブラシの回転軸 ３，１３，２３，３３，４３ 硬質ブラシ ４，１４，２４，３４，４４ 軟質ブラシ １２，３２ 洗浄ブラシの固定軸 ２５，３６ 洗浄水 ３５ 洗浄水配管 ４５，４６ テーパー
Claims (6)
- 【請求項１】 バックグラインダーチャックテーブル上
に軟質洗浄ブラシと硬質洗浄ブラシを組み合わせて配置
することを特徴とするバックグラインダーチャックテー
ブルの洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のバックグラインダーチャ
ックテーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄ブラシ
と硬質洗浄ブラシをブラシの回転軸を中心にして放射状
に交互に配置することを特徴とするバックグラインダー
チャックテーブルの洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１記載のバックグラインダーチャ
ックテーブルの洗浄装置において、前記軟質洗浄ブラシ
と硬質洗浄ブラシをブラシの固定軸に固定される櫛状に
チャックテーブルの周辺から中心部に配置することを特
徴とするバックグラインダーチャックテーブルの洗浄装
置。 - 【請求項４】 請求項２記載のバックグラインダーチャ
ックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの回転方
向前面に中央部より常に洗浄水を流し異物を外部へ排出
することを特徴とするバックグラインダーチャックテー
ブルの洗浄装置。 - 【請求項５】 請求項３記載のバックグラインダーチャ
ックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの前面に
中央部より常に洗浄水を流し異物を外部へ排出すること
を特徴とするバックグラインダーチャックテーブルの洗
浄装置。 - 【請求項６】 請求項２又は４記載のバックグラインダ
ーチャックテーブルの洗浄装置において、洗浄ブラシの
形状をブラシ回転方向に外側へ向けテーパーを設けるよ
うにしたことを特徴とするバックグラインダーチャック
テーブルの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8329542A JPH10166268A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8329542A JPH10166268A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166268A true JPH10166268A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18222531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8329542A Pending JPH10166268A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | バックグラインダーチャックテーブルの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10166268A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003045841A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 吸着パッド洗浄装置及び該装置を用いた吸着パッド洗浄方法 |
| JP2003053662A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工歪除去装置 |
| JP6304349B1 (ja) * | 2016-11-15 | 2018-04-04 | 株式会社Sumco | ウェーハのエッジ研磨装置及び方法 |
| CN109227978A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-01-18 | 禹州市华盛钧窑有限公司 | 一种陶瓷加工用工作台的清理机构 |
| JP2019040945A (ja) * | 2017-08-23 | 2019-03-14 | 株式会社Sumco | チャックテーブルの洗浄装置および該洗浄装置を備える研削装置 |
| CN109968179A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-05 | 滨州鲁德曲轴有限责任公司 | 一种自带清理功能的曲轴抛光支撑装置 |
| US20220305612A1 (en) * | 2021-03-29 | 2022-09-29 | Disco Corporation | Polishing apparatus |
-
1996
- 1996-12-10 JP JP8329542A patent/JPH10166268A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003045841A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 吸着パッド洗浄装置及び該装置を用いた吸着パッド洗浄方法 |
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| JP2018079523A (ja) * | 2016-11-15 | 2018-05-24 | 株式会社Sumco | ウェーハのエッジ研磨装置及び方法 |
| US11559869B2 (en) | 2016-11-15 | 2023-01-24 | Sumco Corporation | Wafer edge polishing apparatus and method |
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| CN109968179B (zh) * | 2019-05-10 | 2020-07-28 | 滨州鲁德曲轴有限责任公司 | 一种自带清理功能的曲轴抛光支撑装置 |
| US20220305612A1 (en) * | 2021-03-29 | 2022-09-29 | Disco Corporation | Polishing apparatus |
| US11858088B2 (en) * | 2021-03-29 | 2024-01-02 | Disco Corporation | Polishing apparatus |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050517 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060207 |