JPH10163548A

JPH10163548A - 固体レーザ装置

Info

Publication number: JPH10163548A
Application number: JP33750596A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Nakayama; 伸一中山; Takahiro Ukaji; 孝浩宇梶
Original assignee: Miyachi Technos Corp
Current assignee: Miyachi Technos Corp
Priority date: 1996-12-03
Filing date: 1996-12-03
Publication date: 1998-06-19

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】スラブ型の固体レーザ媒体に対して伝熱式の
冷却を安定かつ良好に行い、良好なモードと発振効率を
保証しつつ、冷却機構および装置全体の簡素化と小型化
を実現する。【解決手段】この固定レーザ装置の冷却機構１２にお
いては、垂直方向に移動可能な水平押さえ板４４が保持
板１８の上面に一定間隔で配置した複数個（たとえば３
個）のゴム状弾性体４２を介して重ねられ、ボルト４９
が水平押さえ板４４のボルト通し穴４４ａを遊貫して各
垂直支持棒４８の上面ねじ穴４８ａに螺合して締め付け
られることで、ゴム状弾性体４２の弾性率および物理的
な加工精度で決まる所定の加圧力が垂直方向に保持板１
８に加えられ、ひいては保持板１８の下面１８ａより垂
直方向に均一な所定の加圧力を載置台１６上の固体レー
ザ媒体１０の冷却面１０ｅ，１０ｆに加えられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【００１０】

【発明の属する技術分野】本発明は、スラブ型の固体レ
ーザ媒体を用いる固体レーザ装置に関する。

【００２０】

【従来の技術】スラブ型の固体レーザ媒体は、断面四角
形の板状固体レーザ素子であって、一般的には素子内で
レーザ光に互いに平行な一対の全反射面間で反射を繰り
返しながらジグザグの光路をとらせることにより、媒体
内の熱レンズ効果や複屈折率効果等を打ち消して、良好
なモードで高出力化を達成できるという特長がある。

【００３０】従来より、この種の固体レーザ媒体を用い
てレーザ発振を行う固体レーザ装置では、固体レーザ媒
体を冷却するために、媒体の周囲に純水等の冷却水や窒
素ガス等の冷却ガスを流通させる方法が多く採用されて
いる。このように冷却媒体を固体レーザ媒体の表面に直
接供給する方式は、冷却効率では優れているが、媒体周
囲で冷却媒体に対する封止を必要とするために、レーザ
媒体冷却機構が複雑化・大型化するという問題がある。
特に、最近は、固体レーザ媒体に励起光を供給する励起
光源として、励起ランプよりも発振効率が格段に高いう
えサイズの小さい半導体レーザが注目されてきており、
装置全体の小型化をはかるうえでレーザ媒体冷却機構の
方も簡素化および小型化が求められている。

【００４０】そこで、固体レーザ媒体に熱伝導率の高い
銅またはアルミニウム等の熱伝導部材を熱的に結合さ
せ、該熱伝導部材の中に設けた通路に冷却媒体を供給す
ることで、該熱伝導部材を介して伝熱方式で固体レーザ
媒体を冷却する方法が考えられる。このような伝熱冷却
方式は、特別の封止は不要であり、レーザ媒体冷却機構
の簡素化および小型化に有利である。

【００５０】

【発明が解決しようとする課題】この種の固体レーザ装
置における従来の伝熱冷却方式は、固体レーザ媒体に対
して熱伝導部材を接着材を介して接続したり、あるいは
単に両側から熱伝導部材を当てて挟着固定するものであ
る。しかし、接着方式は、製作が繁雑なうえコストが高
くつくという問題がある。また、従来の挟着固定式は、
固体レーザ媒体の表面（結晶面）に熱伝導部材を均一に
加圧接触させることが難しく、結晶内の不均一な歪みに
よってモードが崩れたり発振効率が低下するという不具
合がある。

【００６０】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたもので、スラブ型の固体レーザ媒体に対して
伝熱式の冷却を安定かつ良好に行う冷却機構を備えた固
体レーザ装置を提供することを目的とする。

【００７０】また、本発明は、良好なモードと発振効率
を保証しつつ、冷却機構および装置全体の簡素化と小型
化を実現した固体レーザ装置を提供することを目的とす
る。

【００８０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のうち請求項１に記載の発明は、スラブ型
の固体レーザ媒体を用いてレーザ発振を行う固体レーザ
装置において、前記固体レーザ媒体の互いに対向する一
対の冷却面のうちの一方の冷却面に接触した状態で前記
固体レーザ媒体を支持する熱伝導率の高い第１の熱伝導
部材と、前記固体レーザ媒体の他方の冷却面に接触する
熱伝導率の高い第２の熱伝導部材と、前記固体レーザ媒
体に対して前記第２の熱伝導部材を押圧する押圧部材
と、前記押圧部材と前記第２の熱伝導部材との間に設け
られ、前記押圧部材からの加圧力を弾性変形により弾性
的に前記第２の熱伝導部材に伝える１個または複数個の
ゴム状弾性体と、前記固体レーザ媒体の前記冷却面に対
して側面の媒体表面に励起用の光を照射する励起光照射
手段とを具備することを特徴とする。

【００９０】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の発明の構成において、前記ゴム状弾性体の形状
がＯリング状であることを特徴とする。

【０１００】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
に記載の発明の構成において、前記ゴム状弾性体の形状
がボール状であることを特徴とする。

【０１１０】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
〜３のいずれかに記載の発明の構成において、前記励起
光照射手段が、励起用のレーザビームを発光する半導体
レーザと、前記半導体レーザからのレーザビームを平行
光にして前記固体レーザ媒体の表面に照射するシリンド
リカルレンズとから構成されることを特徴とする。

【０１２０】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
〜４のいずれかに記載の発明の構成において、前記押圧
部材が、前記第２の熱伝導部材に前記ゴム状弾性体を介
して重ねられた押圧板と、前記押圧板を前記第１の熱伝
導部材の支持面に対して垂直な方向に案内する案内部材
と、前記押圧板を介して前記第２の熱伝導部材に螺合す
るねじ部材とから構成されることを特徴とする。

【０１３０】また、請求項６に記載の発明は、請求項１
〜５のいずれかに記載の発明の構成において、前記第１
の熱伝導部材に冷却媒体を流すための通路が設けられて
いることを特徴とする。

【０１４０】また、請求項７に記載の発明は、請求項１
〜６のいずれかに記載の発明の構成において、前記第２
の熱伝導部材に冷却媒体を流すための通路が設けられて
いることを特徴とする。

【０１５０】

【発明の実施の形態】以下、添付図を参照して本発明の
実施例を説明する。

【０１６０】図１〜図６に、本発明の一実施例による固
体レーザ装置の構成を示す。図１は装置要部の正面図、
図２は要部の部分拡大正面断面図である。図３は装置要
部の平面図、図４は要部の部分拡大平面図、図５は装置
要部の一部断面側面図、図６は装置要部の側面断面図で
ある。

【０１７０】この固体レーザ装置は、スラブ形の固体レ
ーザ媒体１０と、この固体レーザ媒体１０を支持または
保持しながら冷却する伝熱式の冷却機構１２と、固体レ
ーザ媒体１０に励起光を供給する励起光供給部１４とか
ら構成されている。

【０１８０】固体レーザ媒体１０はたとえばＮｄ：ＧＧ
ＧまたはＮｄ：ＹＡＧ等の媒体材料からなり、図１およ
び図２に示すように断面形状が矩形の平行六面体で、サ
イズはたとえば２ｍｍ×２ｍｍ×４０ｍｍであり、図４
に示すように両端面１０ａ，１０ｂが光軸方向（長手方
向）に対して斜めに所定角度で切られている。

【０１９０】固体レーザ媒体１０の４つの側面のうち、
両端面１０ａ，１０ｂに対して斜めの角度をなす互いに
平行な一対の側面１０ｃ，１０ｄは内側が媒体内でレー
ザ光ＬＢを全反射させる全反射面で外側が励起光の照射
（供給）を受ける励起面であり、全反射面または励起面
１０ｃ，１０ｄに対して互いに対向する一対の側面１０
ｅ，１０ｆは伝熱方式で冷却を受ける冷却面である。

【０２００】冷却機構１２は、固体レーザ媒体１０の下
部冷却面１０ｆに直接接触した状態で固体レーザ媒体１
０を載置する熱伝導率の高い材質たとえば銅またはアル
ミニウムからなる載置台１６と、固体レーザ媒体１０の
上部冷却面１０ｅに上から被さるようにして直接接触す
る熱伝導率の高い材質たとえば銅またはアルミニウムか
らなる保持板１８とを有する。

【０２１０】図１および図２に示すように、載置台１６
は断面凸形の熱伝導性ブロックであり、その凸部１６ａ
の平坦な上面（冷却作用面）１６ｂの中心部に凸部１６
ａの長手方向と平行に固体レーザ媒体１０が載置され
る。載置台１６の内部には、凸部１６の中を長手方向に
縦断し、下面の冷却媒体入口２０および出口２２と連通
する冷却媒体通路２４が設けられている。図５に示すよ
うに、冷却媒体入口２０および出口２２には配管（図示
せず）接続用のコネクタ２６，２８が取付されている。
なお、載置台１６の下面には一対の脚部または支持部材
２９が結合されている。

【０２２０】冷却媒体供給源（図示せず）より配管およ
びコネクタ２６，２８を介して循環供給される冷却媒体
（たとえば冷却水）が冷却媒体通路２４を流れ、これに
よって載置台１６（特に凸部１６ａ）が冷却され、ひい
てはこの載置台１６（凸部１６ａ）を介して伝熱式で固
体レーザ媒体１０（特に下部冷却面１０ｆ）が冷却媒体
によって冷却されるようになっている。

【０２３０】図１、図２、図３、図５および図６に示す
ように、保持板１８は断面矩形の熱伝導性ブロックであ
り、固体レーザ媒体１０の冷却面１０ｅをカバーする平
坦な下面（冷却作用面）１８ａを有している。保持板１
８の内部には、下面１８ａの内側を長手方向に縦断し、
上面両端付近の冷却媒体入口３０および出口３２と連通
する冷却媒体通路３４が設けられている。図３および図
５に示すように、冷却媒体入口３０および出口３２には
配管（図示せず）接続用のコネクタ３６，３８が取付さ
れている。

【０２４０】冷却媒体供給源（図示せず）より配管およ
びコネクタ３６，３８を介して循環供給される冷却媒体
（たとえば冷却水）が冷却媒体通路３４を流れ、これに
よって保持板１８（特に下面１８ａ付近）が冷却され、
ひいてはこの保持板１８を介して伝熱式で固体レーザ媒
体１０（特に上部冷却面１０ｅ）が冷却媒体によって冷
却されるようになっている。

【０２５０】図３、図５および図６に示すように、保持
板１８の上面には、冷却媒体入口３０および出口３２と
の間に複数個たとえば３個のねじ穴１８ｂが一定間隔で
形成されている。そして、保持板１８の上面に複数個た
とえば３個のゴム状弾性体４２を介して水平押さえ板４
４が重ねられ、水平押さえ板４４に形成された開口また
は通し穴４４ａおよびゴム状弾性体４２の開口を通して
上方よりボルト４６が保持板１８の各ねじ穴１８ｂに螺
合している。ゴム状弾性体４２には、たとえばシリコー
ンゴム製で、内径７ｍｍ、太さ２ｍｍのＯリングが用い
られている。

【０２６０】水平押さえ板４４は、長方形の板体であ
り、載置台１６に垂直に立設された複数本たとえば４本
の垂直ガイド棒４８を板体の四隅に形成された通し穴
（図示せず）にそれぞれ遊貫させており、これによって
水平姿勢を維持したまま垂直方向にのみ移動可能となっ
ている。

【０２７０】このように、本実施例の冷却機構１２にお
いては、垂直方向に移動可能な水平押さえ板４４が保持
板１８の上面に一定間隔で配置した複数個（３個）のゴ
ム状弾性体４２を介して重ねられ、水平押さえ板４４の
上からボルト４６が保持板１８の上面ねじ穴１８ｂに螺
合して締め付けられることで、ゴム状弾性体４２の弾性
率および物理的な加工精度で決まる所定の加圧力が垂直
方向に保持板１８に加えられ、ひいては保持板１８の下
面１８ａより垂直方向に均一な所定の加圧力を載置台１
６上の固体レーザ媒体１０の冷却面１０ｅ，１０ｆに加
えられる。

【０２８０】これにより、保持板１８の下面１８ａおよ
び載置台１６の上面１６ｂは、固体レーザ媒体１０の冷
却面１０ｅ，１０ｆに対して結晶面に均一な圧力で（し
たがって結晶内に不均一な歪みを起こすことなく）密着
して、良好な熱的結合を得ることができる。

【０２９０】また、この冷却機構１２は、載置台１６お
よび保持板１８を介して伝熱式で固体レーザ媒体１０を
冷却する方式であるため、冷却媒体を固体レーザ媒体１
０の周囲でシーリングする手段が不要であり、堅牢にし
て簡易かつ小型の構成となっている。これにより、装置
全体も小型化されている。しかも、ボルト４６を緩めて
保持板１８を持ち上げることで、固体レーザ媒体１０を
容易に交換することが可能であり、取り扱いも簡単であ
る。

【０３００】この固体レーザ装置における励起光供給部
１４は、図１，図２および図３に示すように、載置台１
６の凸部１６ａの左右両側に絶縁板５０を介して配設さ
れた複数個（たとえば４個）の励起レーザ発振ユニット
５２と、載置台１６の凸部上面１６ｂ上で固体レーザ媒
体１０の両側に平行に配置された一対のシリンドリカル
レンズ５４とを有している。

【０３１０】各励起レーザ発振ユニット５２は、熱伝導
率および導電率の高い金属たとえば銅からなる上部およ
び下部ホルダ５２ａ，５２ｂを一体に重ね合わせ、この
ホルダ組立体の一端部（前面部）の隙間に励起光源用の
半導体レーザたとえばレーザダイオードＬＤを一列に設
けており、このレーザダイオード・アレイＬＤＡを固体
レーザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０ｄに向けている。

【０３２０】図２および図４に示すように、励起レーザ
発振ユニット５２のレーザダイオード・アレイＬＤＡよ
り励起用レーザビームＥＢが、水平方向では平行光であ
るものの垂直方向では放射状に出射される。この励起用
レーザビームＥＢは、シリンドリカルレンズ５４に入射
し、そこで垂直方向においても平行光に変換されてから
固体レーザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０ｄにほぼ均一
に垂直入射する。

【０３３０】各励起レーザ発振ユニット５２において、
上部および下部ホルダ５２ａ，５２ｂは、レーザダイオ
ード・アレイＬＤＡにレーザ発振用の駆動電流を供給す
るための導電体として機能するだけでなく、レーザダイ
オード・アレイＬＤＡより発生する熱を取り除くための
ヒートシンクとしても機能する。下部ホルダ５２ｂの前
部付近には、レーザダイオード・アレイＬＤＡの基板と
して熱膨張率の低い導電材（図示せず）が埋め込まれて
いる。上部ホルダ５２ａの背面には電極棒（カソード端
子）５６が設けられている。下部ホルダ５２ｂの背面に
は、冷却媒体供給源（図示せず）からの冷却媒体（たと
えば冷却水）を下部ホルダ５２ｂ内の冷却水通路に供給
するための冷却水入口（コネクタ）５８および出口（コ
ネクタ）６０が設けられている。

【０３４０】なお、レーザダイオード・アレイＬＤＡに
レーザ発振用の駆動電流を供給するための電気ケーブル
等の電気配線系統は、本実施例の固体レーザ装置におけ
る特徴部分ではないので、図示していない。

【０３５０】レーザダイオード・アレイＬＤＡより固体
レーザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０ｄに照射（供給）
される励起用レーザビームＥＢは、励起ランプ光と比較
してエネルギー密度が格段に高いうえ消費電力が低く、
固体レーザ媒体１０における主レーザ光ＬＢの発振効率
を大きく向上させるものである。しかも、この固体レー
ザ装置では、上記のような冷却機構１２により固体レー
ザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０ｄと直角な冷却面１０
ｅ，１０ｆに載置台１６および保持板１８の平坦な作用
面１６ａ，１８ａが均一な圧力で良好に密着し、固体レ
ーザ媒体１０が効率良くかつ安定に冷却される。

【０３６０】これにより、簡易かつ小型の装置構成であ
りながらも、発振効率が高く、良好なモードで高エネル
ギーのレーザ光ＬＢを発振出力することができる。

【０３７０】図４において、レーザ光ＬＢは、固体レー
ザ媒体１０内では互いに平行な一対の表面１０ｃ，１０
ｄの裏側（内側）の全反射面間で反射を繰り返しながら
ジグザグの光路をとり、両端面１０ａ，１０ｂとそれぞ
れ対向する出力ミラー６２，全反射ミラー６４間で反射
を繰り返すことで共振増幅され、出力ミラー６２より出
射される。なお、光共振器を構成する出力ミラー６２お
よび全反射ミラー６４は、他の図（図１〜図３、図５、
図６）では組立体の外部に配置されており、図示してい
ない。

【０３８０】上記した実施例において、Ｏリング状のゴ
ム状弾性体４２を他の形状たとえばボール状のゴム状弾
性体で置き換えることは可能である。組立の容易性の点
ではＯリング状のものが便利であるが、水平押さえ板４
４からの垂直加圧力を正確に（垂直方向に）保持板１８
に伝達する機能に関してはむしろボール状の方が有利で
ある。

【０３９０】また、上記実施例では、励起光供給部１４
において励起レーザ発振ユニット５２からの励起用レー
ザビームＥＢをシリンドリカルレンズ５４に通して平行
光にしてから固体レーザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０
ｄに照射したが、シリンドリカルレンズを省いて励起レ
ーザ発振ユニット５２からの励起用レーザビームＥＢを
固体レーザ媒体１０の励起面１０ｃ，１０ｄに直接照射
するように構成してもよい。また、装置が幾らか大型化
してしまうが、励起光源として励起ランプを使用するこ
とも可能である。

【０４００】また、上記実施例では保持板１８および載
置台１６を固体レーザ媒体１０の冷却面１０ｅ，１０ｆ
に直接接触させたが、熱伝導率の高い任意の部材を介し
て間接的に接触させる構成とすることも可能である。

【０４１０】また、上記実施例では、スラブ型の固体レ
ーザ媒体１０内でレーザ光ＬＢに互いに平行な一対の励
起面の内側に相当する全反射面で反射を繰り返しながら
ジグザクの光路をとらせ、媒体の外でレーザ光ＬＢを媒
体の長手方向と平行に直進させるようにした。しかし、
このようなレーザ光路は一例であり、固体レーザ媒体１
０の内外でレーザ光ＬＢの光路を任意に設定することが
可能である。

【０４２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体レー
ザ装置によれば、スラブ型固体レーザ媒体の互いに対向
する一対の冷却面に両側から熱伝導率の高い第１および
第２の熱伝導部材を接触させて支持ないし保持し、押圧
部材からの加圧力をゴム状弾性体を介して弾性的に第２
の熱伝導部材に伝え、ひいては固体レーザ媒体に加える
ようにしたので、固体レーザ媒体に対して伝熱式の冷却
を安定かつ良好に行うことが可能であり、良好なモード
と発振効率を保証しつつ冷却機構および装置全体の簡素
化と小型化を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による固体レーザ装置の全体
の構成を示す正面図である。

【図２】実施例による固体レーザ装置の要部の構成を示
す正面断面図である。

【図３】実施例による固体レーザ装置の要部の構成を示
す平面図である。

【図４】実施例による固体レーザ装置の要部の構成を示
す部分拡大平面図である。

【図５】実施例による固体レーザ装置の要部の構成を示
す一部断面側面図である。

【図６】実施例による固体レーザ装置の要部の構成を示
す側面断面図である。

【符号の説明】

１０スラブ型固体レーザ媒体１２冷却機構１４励起光供給部１６載置台１８保持板２４，３４冷却媒体通路４２ゴム状弾性体４４水平押さえ板４６ボルト４８垂直ガイド棒５２励起レーザ発振ユニット５４シリンドリカルレンズ

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【手続補正書】

【提出日】平成９年１１月２１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項５

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１２０】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
〜４のいずれかに記載の発明の構成において、前記押圧
部材が、前記第２の熱伝導部材に前記ゴム状弾性体を介
して重ねられた押圧板と、前記押圧板を前記第１の熱伝
導部材の支持面に対して垂直な方向に支持する支持部材
と、前記押圧板を介して前記第２の熱伝導部材に螺合す
るねじ部材とから構成されることを特徴とする。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２６０

【補正方法】変更

【補正内容】

【０２６０】水平押さえ板４４は、長方形の板体であ
り、載置台１６に垂直に立設された複数本たとえば４本
の垂直支持棒４８の上面に乗るように配置される。これ
ら垂直支持棒４８の上面には、垂直方向にねじ穴４８ａ
が形成されている。一方、水平押さえ板４４の四隅に
は、これら垂直支持棒４８のねじ穴４８ａと対向する箇
所にボルト通し孔（貫通孔）４４ａが穿孔されている。
そして、ボルト４９が、水平押さえ板４４の各ボルト通
し孔４４ａを遊貫して各垂直支持棒４８のねじ穴４８ａ
に螺合し、ゴム状弾性体４２の弾性力に抗して締め付け
られる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０２７０

【補正方法】変更

【補正内容】

【０２７０】この場合、水平押さえ板４４の下面がゴム
状弾性体４２の弾性力に抗して各垂直支持棒４８の上面
に密着した位置で、ボルト４９の締め付けを止めてよ
い。これによって、ゴム状弾性体４２の弾性率および物
理的な加工精度で決まる所定の加圧力が垂直方向に保持
板１８に加えられ、ひいては保持板１８の下面１８ａよ
り垂直方向に均一な所定の加圧力を載置台１６上の固体
レーザ媒体１０の冷却面１０ｅ，１０ｆに加えられる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スラブ型の固体レーザ媒体を用いてレー
ザ発振を行う固体レーザ装置において、前記固体レーザ媒体の互いに対向する一対の冷却面のう
ちの一方の冷却面に接触した状態で前記固体レーザ媒体
を支持する熱伝導率の高い第１の熱伝導部材と前記固体
レーザ媒体の他方の冷却面に接触する熱伝導率の高い第
２の熱伝導部材と、前記固体レーザ媒体に対して前記第２の熱伝導部材を押
圧する押圧部材と、前記押圧部材と前記第２の熱伝導部材との間に設けら
れ、前記押圧部材からの加圧力を弾性変形により弾性的
に前記第２の熱伝導部材に伝える１個または複数個のゴ
ム状弾性体と、前記固体レーザ媒体の前記冷却面に対して側面の媒体表
面に励起用の光を照射する励起光照射手段とを具備する
ことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】前記ゴム状弾性体の形状がＯリング状で
あることを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ装
置。
【請求項３】前記ゴム状弾性体の形状がボール状であ
ることを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ装置。
【請求項４】前記励起光照射手段が、励起用のレーザ
ビームを発光する半導体レーザと、前記半導体レーザか
らのレーザビームを平行光にして前記固体レーザ媒体の
表面に照射するシリンドリカルレンズとから構成される
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の固体
レーザ装置。
【請求項５】前記押圧部材が、前記第２の熱伝導部材
に前記ゴム状弾性体を介して重ねられた押圧板と、前記
押圧板を前記第１の熱伝導部材の支持面に対して垂直な
方向に案内する案内部材と、前記押圧板を介して前記第
２の熱伝導部材に螺合するねじ部材とから構成されるこ
とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の固体レ
ーザ装置。
【請求項６】前記第１の熱伝導部材に冷却媒体を流す
ための通路が設けられていることを特徴とする請求項１
〜５のいずれかに記載の固体レーザ装置。
【請求項７】前記第２の熱伝導部材に冷却媒体を流す
ための通路が設けられていることを特徴とする請求項１
〜６のいずれかに記載の固体レーザ装置。