KR19980063657A - 고체 레이저 장치 - Google Patents

고체 레이저 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR19980063657A
KR19980063657A KR1019970065017A KR19970065017A KR19980063657A KR 19980063657 A KR19980063657 A KR 19980063657A KR 1019970065017 A KR1019970065017 A KR 1019970065017A KR 19970065017 A KR19970065017 A KR 19970065017A KR 19980063657 A KR19980063657 A KR 19980063657A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
excitation
laser beam
solid state
medium
laser
Prior art date
Application number
KR1019970065017A
Other languages
English (en)
Inventor
나카야마신이찌
우카지다카히로
Original Assignee
죠우찌다까시
미야찌테크노스가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP33750596A external-priority patent/JPH10163548A/ja
Priority claimed from JP33750696A external-priority patent/JPH10163551A/ja
Application filed by 죠우찌다까시, 미야찌테크노스가부시끼가이샤 filed Critical 죠우찌다까시
Publication of KR19980063657A publication Critical patent/KR19980063657A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0087—Simple or compound lenses with index gradient
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/04—Simple or compound lenses with non-spherical faces with continuous faces that are rotationally symmetrical but deviate from a true sphere, e.g. so called "aspheric" lenses
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • H01S3/027—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings comprising a special atmosphere inside the housing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B2003/0093—Simple or compound lenses characterised by the shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/0405—Conductive cooling, e.g. by heat sinks or thermo-electric elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/0606—Crystal lasers or glass lasers with polygonal cross-section, e.g. slab, prism
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/08095—Zig-zag travelling beam through the active medium

Abstract

본 발명의 고체 레이저 장치는, 슬라브형의 고체 레이저 장치에 대해 전열식의 냉각을 안정하고도 양호하게 수행하고, 양호한 모드와 발진 효율을 보증하면서, 냉각 기구 및 장치 전체의 간소화와 소형화를 실현한다. 이 고체 레이저 장치의 냉각 기구에 있어서는, 수직방향으로 이동 가능한 수평 누름판이 유지판의 상면에 일정 간격으로 배치된 복수개의 고무형상의 탄성체를 통하여 포개지고, 수평누름판의 위에서 볼트가 유지판의 상면 나사 구멍에 나합하여 조여지는 것으로 고무형상의 탄성체의 탄성율 및 물리적인 가공 정밀도로 결정되는 소정의 가압력이 수직 방향으로 유지판에 가해져서 나아가서는 유지판의 하면으로부터 수직방향으로 균일한 소정의 가압력을 재치대상의 고체 레이저 매체의 냉각면에 가해진다. 이것에 의해, 유지판의 하면 및 재치대의 상면은 고체 레이저 매체의 냉각면에 대해 결정면에 균일한 압력으로 (따라서 결정내에 불균일한 왜곡을 일으키지 않고) 밀착하여 양호한 열적 결합을 얻을수 있다.

Description

고체 레이저 장치
본 발명은, 슬라브형의 고체 레이저 매체를 사용하는 고체 레이저 장치에 관한 것이다.
슬라브형의 고체 레이저 매체는, 단면 사각형의 판상 고체레이저 소자로서, 일반적으로는 소자내에서 레이저광과 서로 평행한 한쌍의 전반사면간에 반사를 반복하면서 지그재그의 광로를 확보함으로써, 매체내의 열렌즈 효과나 복굴절 효과 등을 부정하여 양호한 모드로 고출력화를 달성할수 있다고 하는 특징이 있다.
종래부터 이러한 종류의 고체 레이저 매체를 사용하여 레이저 발진을 하는 고체 레이저 장치에서는, 고체 레이저 매체를 냉각하기 위하여, 매체의 주위에 순수 등의 냉각수나 질소가스 등의 냉각 가스를 유통시키는 방법이 많이 채용되고 있다. 이처럼 냉매 매체를 고체 레이저 매체의 표면에 직접 공급하는 방식은, 냉각 효율면에서는 뛰어나지만, 매체 주위에서 냉각 매체에 대한 시일링을 필요로 하기 때문에 레이저 매체 냉각 기구가 복잡화, 대형화 한다고 하는 문제가 있다.
특히, 최근은, 고체 레이저 매체에 여기광을 공급하는 여기 광원으로서, 여기 램프보다도 발진 효율이 대단히 높고, 사이즈가 작은 반도체 레이저가 주목되고 있으며, 장치 전체의 소형화를 꾀하고 레이저 매체 냉각 기구도 간소화 및 소형화가 요구되고 있다.
그래서, 고체 레이저 매체에 열전도율이 높은 구리 또는 알루미늄 등의 열전도부재를 열적으로 결합시키고, 이 열전도부재 속에 설치된 통로에 냉각 매체를 공급하는 것으로, 이 열전도부재를 통하여 전달 방식으로 고체 레이저 매체를 냉각하는 방법을 생각할 수있다. 이와같은 전열 냉각 방식은, 특별한 시일링은 필요로 하지 아니하며, 레이저 매체 냉각 기구의 간소화 및 소형화에 유리하다.
이러한 종류의 고체 레이저 장치의 종래의 전열 냉각 방식은, 고체 레이저 매체에 대해 열전도부재를 접착재를 써서 접속하거나, 혹은 간단히 양측에서 열전도부재를 맞대어 협착 고정하는 것이다. 그러나 접착 방식은 제작이 복잡한 데다가 코스트가 높아지게 하는 문제가 있다. 또한 종래의 협착 고정식은, 고체 레이저 매체의 표면(결정면)에 열전도 부재를 균일하게 가압 접촉시키기가 어렵고, 결정내의 불균일에 의해 모드가 무너지거나 발진 효율이 저하한다고 하는 문제가 있다.
또한, 종래의 이러한 종류의 고체 레이저 장치에서는, 여기용 반도체 레이저로부터 방사상으로 출사된 레이저 빔을 실린드리칼렌즈로 평행광으로 하고나서 매체 측면에 조사하거나, 혹은 도광판(유리판)을 통하여 매체 측면까지 이끌도록 되어 있다. 이와같은 실린드리칼렌즈나 도광판 등의 집광광학계 또는 보조 광학계는, 장치의 조립을 까다롭게하고 제조 비용을 높일뿐만아니라, 여기용 레이저 빔 통과 시에 광에너지를 손실시키고, 레이저 발진 효율을 떨어뜨린다.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 슬라브형의 고체 레이저 매체에 대해 전열식의 냉각을 안정적이면서 또한 양호하게 하는 냉각 기구를 구비한 고체 레이저 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 양호한 모드와 발진 효율을 보증하면서, 냉각 기구 및 장치 전체의 간소화와 소형화를 실현한 고체레이저 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 반도체 레이저에 의해 고체 레이저 매체를 매체 측면으로부터 여기하는 방식에 있어서 집광 광학계나 보조 광학계를 필요로 하지 않고, 또한 여기용 레이저 빔의 이용 효율 나아가서는 레이저 발진 효율을 한층 향상시키도록 한 고체 레이저 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 한 실시예에 의한 고체 레이저 장치는, 슬라브형의 고체 레이저 매체를 사용하여 레이저 발진을 하는 고체 레이저 장치로서, 상기 고체 레이저 매체가 서로 대향하는 한쌍의 냉각면중의 한쪽의 냉각면에 접촉한 상태에서 상기 고체 레이저 매체를 지지하는 제1의 열전도부재와, 상기 고체 레이저 매체의 다른쪽의 냉각면에 접촉하는 제 2의 열전도 부재와, 상기 고체 레이저 매체에 대해 상기 제 2 의 열전도 부재를 누르는 누름 부재와, 상기 누름 부재와 상기 제 2 의 열전도 부재와의 사이에 설치되며, 상기 누름 부재로부터의 가압력을 탄성 변형에 의해 탄성적으로 상기 제 2의 열전도 부재에 전달하는 1개 또는 복수개의 고무형상 탄성체와, 상기 냉각면과는 다른 상기 고체 레이저 매체의 측면에 여기용의 광을 조사하는 여기광 조사수단을 구비한다.
이러한, 구성에 따르면, 슬라브형 고체 레이저 매체가 서로 대향하는 한 쌍의 냉각면에 양측에서 제 1 및 제 2의 열전도 부재를 접촉시켜 지지 내지 유지하고, 누름 부재로부터의 가압력을 고무형상 탄성체를 통하여 탄성적으로 제 2의 열전도부재에 전달하고, 나아가서는 고체레이저 매체에 가해지도록 했기 때문에, 고체 레이저 매체에 대해 전열식의 냉각을 안정 또한 양호하게 할 수가 있으며, 양호한 모드와 발진 효율을 보증하면서 냉각 기구 및 장치 전체의 간소화와 소형화를 실현할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 슬라브형의 고체 레이저 매체를 사용하여 레이저 발진을 하는 고체 레이저 장치는, 상기 고체 레이저 매체의 냉각면에 접촉한 상태에서 상기 고체 레이저 매체를 유지하는 열전도성의 유지부와, 상기 고체 레이저 매체의 여기면에 레이저 빔 출사구를 향하여 상기 고체 레이저 매체의 한쪽의 소정 위치에 배치된 여기용 레이저 빔 발생 수단과, 상기 고체 레이저 매체의 여기면을 둘러싸듯이 상기 유지부로부터 상기 고체 레이저 매체의 한쪽에 연재하고, 상기 여기용 레이저 빔 발생수단의 상기 레이저 빔 출사구를 상기 고체 레이저 매체의 여기면에 마주하게 하기 위한 개구와 상기 레이저 빔 출사구로부터 출사된 여기용 레이저 빔을 가두기 위한 내벽을 가진 여기용 레이저 빔 감금부를 구비한다. 이러한 구성에 따르면, 반도체 레이저로부터의 여기용 레이저 빔을 집광 광학계나 보조 광학계를 통과하지 않고 고체 레이저 매체의 측면에 조사하고, 더구나 필요 최소한의 작은 광 감금실내에 여기용 레이저 빔을 가두어 낭비하지 않고 고체 레이저 매체가 여기에 이용하도록 했기 때문에, 간편하고도 소형의 장치구성이면서, 발진 효율이 높고, 고에너지의 레이저광을 발진출력할 수 있다.
제 1 도는, 본 발명의 제 1의 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 전체의 구성을 나타내는 정면도이다.
제 2도는 이 실시예에 있어서의 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 정면 단면도이다.
제 3 도는 이 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 평면도이다.
제 4 도는 이 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 부분 확대 평면도이다.
제 5 도는 이 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 일부 단면 측면도이다.
제 6 도는 이 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 측면 단면도이다.
제 7 도는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 정면도이다.
제 8 도는 제 2 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 부분 확대 정면도이다.
제 9 도는 제 2 실시예의 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 평면도이다.
제 10 도는 제 2 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 평면도이다.
제 11 도는 제 2 실시예에 의한 고체 레이저 장치의 요부의 구성을 나타내는 측면 단면도이다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
제 1 도∼ 제 6 도를 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 의한 고체 레이저 장치를 설명한다.
이 고체 레이저 장치는 슬라브형의 고체 레이저 매체(10)와, 이 고체 레이저 매체(10)를 지지또는 유지하면서 냉각하는 전열식의 냉각 기구(12)와, 고체 레이저 매체(10)에 여기광을 공급하는 여기광 공급부 또는 여기 기구(14)로 구성되어 있다.
고체 레이저 매체(10)는 예를들면 Nd:GGG 또는 Nd:YAG 등의 매체 재료로 이루어지며, 제1 도 및 제 2 도에 도시하는 바와같이 단면 형상이 직사각형의 평행 육면체로, 사이즈는 예를들면 2mm ×2mm×40mm이며, 제 4 도에 도시하는 바와같이 양단면(10a) (10b)가 광축 방향(길이 방향)에 대해 비스듬히 소정 각도로 잘려져 있다.
고체 레이저 매체(10)의 4가지 측면중, 양단면(10a),(10b)에 대해 비스듬한 각도를 이루는 서로 평행한 한 쌍의 측면(10c),(10d)는 내측이 매체내에서 레이저광(LB)을 전반사시키는 전반사면이고, 외측이 여기광의 조사(공급)를 받는 여기면이며, 전반사면 또는 여기면(10c)(10d)에 대해 직각 또는 수직으로 서로 평행한 한쌍의 측면(10e),(10f)는 전열 방식으로 냉각을 받는 냉각면이다.
냉각 기구(12)는 고체 레이저 매체(10) 하부 냉각면(10f)에 직접 접촉한 상태에서 고체 레이저 매체(10)를 재치하는 열전도율이 높은 재질 예를 들면 구리 또는 알루미늄으로 이루어지는 재치대(16)와, 고체 레이저 매체(10)의 상부 냉각면(10e)에 위에서 피복하도록하여 직접 접촉하는 열전도율이 높은 재질 예를들면 구리 또는 알루미늄으로 이루어지는 유지판(18)을 갖는다.
제 1 도 및 제 2 도에 도시하는 바와같이, 재치대(16)는 단면돌출형의 열전도성 블록이며, 그 돌출부(16a)의 평탄한 상면(냉각작용면)(16b)의 중심부에 돌출부(16a)의 길이 방향과 평행으로 고체 레이저 매체(10)가 재치된다. 재치대(16)의 내부에는 돌출부(16)의 속을 길이 방향으로 종단하고, 하면의 냉각 매체 입구(20) 및 출구(22)와 연통하는 냉각 매체 통로(24)가 설치되어 있다. 제 5 도에 도시하는 바와같이, 냉각 매체 입구(20) 및 출구(22)에는 배관(도시하지 않음)접속용의 코넥터(26, 28)가 설치되어 있다. 한편, 재치대(16)의 하면에는 한쌍의 다리부 또는 지지부재(29)가 결합되어 있다.
냉각매체공급원(도시않음)으로부터 배관 및 코넥터(26,28)를 통하여 순환공급되는 냉각 매체(예를 들면 냉각수)가 냉각 매체 통로(24)를 흐르고, 이것에 의해 재치대(16)(특히 돌출부16a)가 냉각되며, 나아가서는 이 재치대(16)(돌출부16a)를 통하여 전열식으로 고체 레이저 매체(10)(특히 하부냉각면(10f))가 냉각 매체에 의해 냉각되도록 되어 있다. 제 1, 제 2, 제 3, 제5 도 및 제 6 도에 도시하는 바와같이, 유지판(18)은 단면 직사각형의 열전도성 블록이며, 개체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e)을 커버하는 평탄한 하면(냉각 작용면)(18a)을 가지고 있다. 유지판(18)의 내부에는, 하면(18a)의 내측을 길이 방향으로 종단하고, 상면 양단 부근의 냉각 매체 입구(30) 및 출구(32)와 연통하는 냉각 매체 통로(34)가 설치되어 있다. 제 3 도 및 제 5 도에 도시하는 바와같이, 냉각 매체 입구(30) 및 출구(32)에는 배관(도시않음)접속용의 코넥터(36, 38)가 설치되어 있다.
냉각 매체 공급원(도시않음)으로부터 배관 및 코넥터(36, 38)를 통하여 순환 공급되는 냉각 매체(예를 들면 냉각수)가 냉각 매체 통로(34)를 흐르고, 이것에 의해 유지판(18)(특히 하면(18a)부근)이 냉각되며, 나아가서는 이 유지판(18)을 통하여 전열식으로 고체 레이저 매체(10)(특히 상부냉각면(10e))이 냉각 매체에 의해 냉각되도록 되어 있다.
제 3 도, 제 5 도 및 제 6 도에 도시하는 바와 같이, 유지판(18)의 상면에는, 냉각 매체 입구(30) 및 출구(32)와의 사이에 복수개 예를들면 3개의 나사구멍(18b)이 일정 간격으로 형성되어 있다. 그리고, 유지판(18)의 상면에 복수개 예를들면 3개의 고무형상의 탄성체(42)를 통하여 수평 누름판(44)이 겹쳐지고, 수평 누름판(44)에 형성된 개구 또는 통과구멍(44a) 및 고무형상 탄성체(42)의 개구를 통하여 윗쪽으로부터 볼트(46)가 유지판(18)의 각 나사 구멍(18b)에 나사 조임되어 있다. 고무형상 탄성체(42)에는, 예를들면 실리콘 고무제로, 내경 7mm, 두께2mm의 0링이 사용되고 있다.
수평누름판(44)은, 장방형의 판체이며, 재치대(16)에 수직으로 세워 설치되며,상면에 수직방향의 나사 구멍이 설치된 복수개 예를들면 4개의 수직 가이드 봉(48)의 상면에 올려져 있으며, 수직 가이드봉(48)의 각 나사구멍에 대향하는 판체의 네구석에 볼트 통과 구멍(관통공)이 천공되어 있다. 그리고, 볼트(49)가 수평 누름판(44)의 볼트 통과구멍을 통하여 수직 가이드봉(48)의 각 나사구멍에 나합하고, 고무형상의 탄성체(42)의 탄성력에 대항하여 조여져있다. 이것에 의해 고무형상의 탄성체(42)의 탄성율 및 물리적인 가공 정밀도로 정해지는 소정의 가압력이 수직방향으로 유지판(18)에 가해지고, 나아가서는 유지판(18)의 하면(18a)으로부터 수직 방향으로 균일한 소정의 가압력이 재치대(16)상의 고체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e,10f)에 가해진다.
이것에 의해 유지판(18)의 하면(18a) 및 재치대(16)의 상면(16b)은, 고체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e,10f)에 대해 결정체면에 균일한 압력으로(따라서 결정체내에 불균일한 왜곡을 일으키지않고)밀착하여, 양호한 열적 결합을 얻을수가 있다.
또한, 이 냉각 기구(12)는, 재치대(16) 및 유지판(18)을 통하여 전열식으로 고체 레이저 매체(10)를 냉각 하는 방식이므로, 냉각 매체를 고체 레이저 매체(10)의 주위에서 시일링하는 수단이 불필요하며, 단단하며 간단하면서도 소형으로 구성되어 있다. 이것에 의해 장치 전체도 소형화되고 있다. 더구나, 볼트(49)를 조여 수평 누름판(44)을 들어올려 고체 레이저 매체(10)를 용이하게 교환할 수가 있으며, 취급도 간단하다.
이 고체 레이저 장치의 여기광 공급부(14)는, 제 1 도 ,제 2 도 및 제 3 도에 도시하는 바와 같이 재치대(16)의 돌출부(16a)의 좌우 양측에 절연판(50)을 통하여 배설된 복수개(예를들면4개)의 여기 레이저 발진 유니트(52)와, 재치대(16)의 돌출부 상면(16b)상에서 고체 레이저 매체(10)의 양측에 평행으로 배치된 실린드리컬렌즈(54)를 가지고 있다.
각 여기 레이저 발진 유니트(52)는, 열전도율 및 도전율이 높은 금속 예를들면 구리로 이루어지는 상부 및 하부 볼트(52a),(52b)를 절연층(53)을 통하여 하나로 포개고 이 홀더 조립체의 일단부(전단부)의 틈새에 여기광원용의 반도체 레이저 예를들면 레이저 다이오드(LD)를 일렬로 설치하고, 이 레이저 다이오드어레이를 고체 레이저매체(10)의 여기면(10c,10d)을 향하고 있다.
제 2 및 제 4도에 도시하는 바와 같이, 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 다이오드어레이로부터 여기용 레이저빔(EB)이 수평방향에서는 평행광이나 수직방향에서는 방사상으로 출사된다. 이 여기용 레이저빔은 실린드리컬렌즈(54)에 입사하고, 그리고 수직 방향에 있어서도 평행광으로 변환되고나서 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)과 거의 균일하게 수직 입사한다.
각 여기 레이저 발진 유니트(52)에 있어서, 상부 및 하부홀더(52a,52b)는, 레이저 다이오드어레이(LDA)에 레이저 발진용의 구동 전류를 공급하기위한 도전체로서 기능할 뿐만아니라, 레이저 다이오드어레이에서 발생하는 열을 제거하기위한 히이트싱크로서도 기능하다. 하부홀더(52b)의 전방부 부근에는 레이저 다이오드어레이(LDA)의 기판으로서 열팽창율이 낮은 도전재(도시않음)가 메립되어있다. 상부홀더(52a)의 배면에는 전극봉(캐소드단자)(56)이 설치되어 있다. 하부홀더(52b)의 배면에는, 냉각매체공급원(도시않음)으로부터의 냉각매체(예를들면 냉각수)를 하부홀더(52b)내의 냉각수통로에 공급하기위한 냉각수 입구(코넥터)(58) 및 출구(코넥터)(60)가 설치되어 있다.
한편, 레이저다이어드 어레이(LDA)에 레이저 발진용의 구동전류를 공급하기 위한 전기 케이블 등의 전기 배선 계통은, 본실시예의 고체 레이저 장치에 있어서의 특징 부분이 아니므로 도시하지 않는다.
레이저 다이오드 어레이(LDA)로부터 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)에 조사(공급)되는 여기용 레이저빔(EB)은, 여기 램프광과 비교하여 에너지 밀도가 특별히 높은데다가 소비전력이 낮고, 고체레이저 매체(10)에 있어서의 주 레이저광(LB)의 발진 효율을 크게 향상시키는 것이다. 더구나, 이 고체 레이저장치에서는, 상기와 같은 냉각 기구(12)에 의해 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)과 직각인 냉각면(10e,10f)에 재치대(16) 및 유지판(18)의 평탄한 작용면(16a,18a)이 균일한 압력으로 양호하게 밀착하고, 고체 레이저 매체(10)가 효율좋게 또한 안정적으로 냉각된다.
이것에 의해, 간단하고도 소형의 장치 구성이지만, 발진 효율이 높고, 양호한 모드로 고에너지의 레이저광(LB)을 발진 출력할수 가 있다.
제 4도에 있어서, 레이저광(LB)은, 고체레이저 매체(10)내에서는 서로 평행한 한 쌍의 표면(10c,10d)의 이면측(내측)의 전 반사면간에 반사를 반복하면서 지그재그의 광로를 열고, 양단면(10a,10b)과 각각 대향하는 출력밀러(62), 전반사밀러(64)간에서 반사를 반복하는 것으로 공진 증폭되며, 출력밀러(62)로부터출사된다. 한편, 광공진기를 구성하는 출력밀러(62) 및 전반사밀러(64)는 다른도면(제 1∼제3,제5, 제6도)에서는 조립체의 외부에 배치되어 있으며, 도시하지 않는다.
이 실시예에서는, 여기광 공급부(14)에 있어서 여기레이저 발진유니트(52)로부터의 여기용레이저빔(EB)를 실린드리컬렌즈(54)를 통하여 평행광으로 하고나서 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)에 조사했지만, 실린드리컬렌즈를 생략하고 여기 레이저 발진유니트(52)로부터의 여기용 레이저 빔(EB)을 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)에 직접조사하도록 구성해도 좋다.
또한, 장치가 다소 대형화해버리지만, 여기광원으로서 여기램프를 사용하는 것도 가능하다.
또한, 이 실시예에서는 유지판(18) 및 재치대(16)를 고체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e,10f)에 직접 접촉시켰지만, 열전도율이 높은 임의의 부재를 통하여 간접적으로 접촉시키는 구성으로하는 것도 가능하다.
이어서 제 7도∼제11도를 참조하여 본발명의 제2의 실시예에 의한 고체 레이저 장치를 설명한다. 도면중, 상기한 제 1 실시예의 장치와 공통하는부분에는 동일한 부호를 붙인다.
이 고체 레이저 장치에 있어서의 냉각 기구(12)는, 고체 레이저 매체(10)의 상부 및 하부 냉각면(10e, 10f)에 직접 접촉한 상태로 고체레이저 매체(10)를 수직방향으로 유지하는 열전도율이 높은 재질 예를들면 구리 또는 알루미늄으로 이루어지는 상부 및 하부 유지부(15,17)를 갖는다. 이들의 상부 및 하부유지부(15,17)는 상기 제 1 실시예의 장치의 유지판(18) 및 재치대(16)에 각각 대응한다.
제 7도 및 제 11도에 도시하는 바와같이, 상부 유지부(15)의 상면에는, 네구석에 다리부(44a)를 가지는 누름판(44)이 복수개 예를들면 2개의 고무형상 탄성부재(42)를 통하여 겹쳐져 있다.
누름판(44)의 각 다리부(44a)의 하면은, 하부 유지부(17)의 서로 대향하는 한쌍의 가장자리부(제7도에서는 전부의 가장자리부, 제11도에서는 좌우의 가장자리부)의 위에 절연 지지판(70)을 통하여 재치된 한쌍의 지지부재(72,74)의 어딘가의 위에 포개져있다. 이들의 지지부재(72,74)의 외측하단부(72a,74a)는 아래쪽으로 연장하여 하부유지부(17)의 측면에 걸치고, 각각의 하단부(72a,74a)를 통하여 볼트(75,76)이 하부유지부(17)에 나사 고착하여, 지지부재(72,74)는 고정되어 있다.
누름판(44)의 각 다리부 (44a)에는 수직방향으로 볼트통과구멍(관통공)을 천공하여 이 볼트 통과구멍과 대향하여 지지부재(72, 74)에는 나사구멍이 형성되어 있다. 그리고 볼트(78)가 누름판(44)의 각 다리부(44a)의 볼트 구멍을 통하여 지지부재(72, 74)의 각 나사구멍에 나합하고, 고무형상의 탄성부재(42)의 탄성율 및 물리적인 가공 정밀도로 결정되는 소정의 가압력이 수직 방향으로 상부 유지판(15)에 가해지고, 나아가서는 상부 유지부(15)의 하면(15a)으로부터 수직 방향으로 균일한 소정의 가압력이 하부 유지부(17)상의 고체 레이저 매체(10)의 내각면(10e,10f)에 가해진다.
이것에 의해, 상부 유지판(15)의 하면(15a)및 하부 유지판(17)의 상면(17b)은, 고체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e,10f)에 대해 결정면에 균일한 압력으로 (따라서 결정체내에 불균일한 왜곡을 일으키지 않고) 밀착하여, 양호한 열적결합을 얻을수가 있다. 한편, 볼트(78)를 풀어서 누름판(44) 및 상부 유지부(15)를 들어올려 고체 레이저 매체(10)를 용이하게 넣었다 뺐다 할 수있다.
고체 레이저 매체(10)의 냉각면(10e, 10f)과 대향하는 상부 및 하부유지부(15,17)의 돌출부(15a, 17a)의 표면에는, 광반사율이 높은 피복층 예를들면 금, 은등이 도금, 밀착, 스펏터 등의 방법으로 형성되어 있다.
이 고체 레이저 장치에 있어서의 여기 기구(14)는, 제 7 도, 제8 도 및 제 9 도에 도시하는 바와같이, 하부 유지부(17)의 돌출부(17a)의 좌우양측의 재치대상에 절연판(70)을 통하여 배설된 복수개(예를들면4개)의 여기 레이저 발진 유니트(52)와, 상부 및 하부유지부(15,17)의 돌출부(15a,17a)의 양측면에 일체로 결합된 상부 및 하부 여기용 레이저 빔 감금부(80,82)로 구성되어 있다.
각 여기 레이저 발진 유니트(52)는, 레이저 다이오드어레이(LDA)의 레이저 출사구를 고체레이저 매체(10)의 여기면(10c, 10d)을 향하여, 고체 레이저 매체(10)에 접근하여(예를들면 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c, 10d)으로부터 1.5∼3.0mm정도의 거리를 두고)배치된다.
상부 및 하부 여기용 레이저 빔 감금부(80,82)는, 가공성이 높은 금속 예를들면 구리 또는 알루미늄판으로 이루어지며, 상부 및 하부 유지부(15,17)의 돌출부(15a,17a)의 측면에 예를 들면 볼트(도시않음)에 의해 고착되며, 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)를 둘러싸도록 다른쪽에 연재하고, 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 빔출사구를 고체 레이저매체(10)의 여기면(10c,10d)을 마주향하도록 하기 위한 예를들면 0.5mm정도의 간격 또는 개구(86)를 형성함과 동시에, 이 레이저 빔 출사구로부터 출사된 여기용 레이저 빔(EB)을 감금하기 위한 내벽(80a,82a)을 가지고 있다.
즉, 고체 레이저 매체(10)의 길이 방향과 직교하는 면내에 있어서, 상부 및 하부 유지부(15,17)의 내벽(하면, 상면)과, 상부 및 하부여기용 레이저 빔 감금부(80,82)의 내벽(80a,82a)과, 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 빔 출사구에 의해 고체 레이저 매체(10) 및 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)의 내벽(80a,82a)에는 광반사율이 높은 피복층 예를들면, 금, 은등이 도금, 증착, 스팟터 등의 방법으로 형성되어 있다.
제 8 도에 도시하는 바와같이, 각 여기 레이저 발진 유니트(52)는, 그 레이저 다이오드 어레이(LDA)의 레이저 빔 출사구를 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)의 개구(86)에 철썩 붙게하고, 따라서 그 상부 및 하부 홀더(52a,52b)의 전면을 상부 및 하부 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)의 외벽에 접촉시키도록 하여 배치된다. 여기용 레이저 빔 감금부(80,82)의 외벽에는, 예를들면 0.2mm정도의 절봉 시이트(88)가 피복 또는 부착되어 있으며, 여기 레이저 발진 유니트(52)에 있어서 상부 및 하부 유지부(15,17)가 전기적으로 단락할 염려가 없다.
여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)의 내벽(80a, 82a)은, 고체 레이저 매체(10)의 길이 방향과 직교하는 방향에 있어서 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 다이오드 어레이(LDA)로부터 소정의 확대각(예를들면60°)으로 출사되는 여기용 레이저 빔(EB)를 차단하지 않고 방사시키도록 테이퍼형상의 벽면으로 형성되 어 있다.
제 8 도 및 제 10 도에 도시하는 바와같이, 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 다이오드 어레이(LDA)로부터 여기용 레이저빔(EB)이, 수평방향으로는 평행광으로서, 수직방향으로는 방사상으로 출사되며, 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c,10d)에 직접입사하고, 고체 레이저 매체(10)를 여기한다.
고체 레이저매체(10)의 한쪽의 여기면 예를들면(10c)에 입사한 여기용 레이저빔(EB)의 일부는, 매체(10)를 횡단하여 반대측의 여기면(10d)으로부터 빠진다. 이 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10d)에서 빠져나온 여기용 레이저빔(EB)은, 광 감금실(84)의 광반사성의 내벽 즉, 여기용 레이저 빔 감금부(80,82)의 내벽(80a, 82a)나 상부 및 하부 유지부(15, 17)의 내벽(하면, 상면)에서 반사하여 고체 레이저 매체(10)의 여기면(10d)으로 입사한다.
고체레이저 매체(10)의 여기면(10c)에서 빠져나온 여기용 레이저빔(EB)도 마찬가지이며, 광 감금실(84)의 광반사성의 내벽(여기용 레이저 빔 감금부(80,82)의 내벽(80a,82a)이나 상부 및 하부 유지부(15, 17)의 내벽)에서 반사하여 고체 레이저매체(10)의 여기면(10c)에 입사한다.
이처럼, 이 실시예의 고체레이저 장치에서는, 여기 레이저 발진 유니트(52)의 레이저 다이오드어레이(LDA) 로부터 출사된 여기용 레이저빔(EB)이 실린드리컬렌즈나 도광판 등의 집광 광학계또는 보조 광학계를 통하지 않고(즉, 감쇠나 손실을 주지않고)고체 레이저 매체(10)의 여기면(10c, 10d)에 직접 입사한다. 더구나, 고체 레이저 매체(10)를 빠져나온 여기용 레이저 빔(EB)은, 주로 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)에 의해 형성되는 광 감금실(84)의 내벽에서 반사하여 다시 고체 레이저 매체(10)에 입사한다. 따라서, 여기 레이저 발진 유니트(52)로부터 발생되는 여기용 레이저빔(EB)의 광에너지가 유효하게 고체레이저 매체(10)의 여기에 이용되며, 레이저 발진 효율이 크게 향상한다.
또한 광감금실(84)은 고체 레이저 매체(10)를 수용할 만큼의 필요 최소한의 공간이며, 여기 기구(14)의 대폭적인 소형화도 실현된다. 그리고 집광 광학계나 보조 광학계가 불필요하므로, 조립도 용이하고, 제조 비용도 낮아진다.
이 실시예에서는, 상부 및 하부 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)를 개별적인 판체로 형성하여, 상부 및 하부 유지부(15, 17)의 양측면에 고정설치했다. 그러나, 상부 및 하부 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)와 상부 및 하부 유지부(15, 17)를 각각 열전도율이 높은 금속 블록으로, 일체로 형성할 수도 있다. 또한, 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)를 광반사율이 높고 전기적으로 절연성의 알루미나계 세라믹(예를들면, 미쓰이 광산 주식회사제품의 상품명[아세라이트S])으로 형성해도 좋고, 그 경우에는 외벽의 절연 시이트(88)를 생략할 수 있다.
또한, 여기용 레이저 빔 감금부(80, 82)의 구조, 형상 또는 재질은 이 실시예의 것으로 한정하지 않고 여러 가지의 변형이 가능하며, 개구(86)의 형상 또는 치수도 반도체 레이저의 구조(특히 레이저빔 출사구 부근의 구조)에 따라 여러 가지의 변형, 선택이 가능하다. 또한 반도체레이저의 레이저 빔 출사구가 개구(86)의 내측 즉 광감금실(84)내에 들어있어도 좋다.
상기한 실시예에 있어서 0링형상의 고무형상 탄성체(42)를 다른 형상 예를들면 볼 형상의 고무형상 탄성체로 교환하는 것도 가능하다. 조립의 용이성 면에서는 0링형상의 것이 편리하지만, 수평누름판(44)으로부터의 수직 가압력을 정확하게(수직방향으로)유지판(18)에 전달하는 기능에 관해서는 오히려 볼형상의 쪽이 유리하다. 한편, 본 발명의 고무형상의 탄성체는, 천연 고무 또는 합성고무로 이루어지는 탄성체이며, 임의의 고무재를 사용할 수 있다.
상기한 실시예의 전열냉각 방식은, 유지판(18)(상부유지부15) 및 재치대(16)(하부 유지부17)등의 열전도부재의 속에 냉각 매체 통로(34, 24)를 형성하고, 이들의 통로에 냉각 매체를 흘리는 기구이다. 그러나, 냉각 매체 통로를 파이프로 구성하여 열전도부재의 외측에 설치하는 것도 가능하다. 혹은 냉각 매체를 사용하는 대신에 예를들면 페르체 효과소자가 있는 냉각용 열 모쥴을 열전도부재에 결합시키는 방식도 가능하다.
또한, 상기한 실시예에서는 슬라브형의 고체 레이저 매체(10)내에서 레이저광(LB)에 서로 평행한 한 쌍의 여기면의 내측에 상당하는 전반사면에서 반사를 반복하면서 지그재그의 광로를 열고, 매체의 밖에서 레이저 광(LB)을 매체의 길이 방향과 평행으로 직진시키도록 하였다. 그러나, 이와같은 레이저 광로는 일예이며, 고체 레이저 매체(10)의 내외로 레이저 광(LB)의 광로를 임의로 설정할 수 있다.
이러한 구성에 따르면 반도체 레이저로부터의 여기용 레이저 빔을 집광 광학계나 보조 광학계를 통과하지 않고 고체 레이저 매체의 측면에 조사하고, 더구나 필요 최소한의 작은 광 감금실내에 여기용 레이저 빔을 가두어 낭비하지 않고 고체 레이저 매체가 여기에 이용하도록 했기 때문에, 간편하고도 소형의 장치구성이면서 발진 효율이 높고, 고에너지의 레이저광을 발진 출력할 수 있다.

Claims (16)

  1. 슬라브형의 고체 레이저 매체를 이용하여 레이저 발진을 하는 고체 레이저 장치에 있어서,
    상기 고체 레이저 매체가 서로 대향하는 한 쌍의 냉각면중의 한쪽의 냉각면에 접촉한 상태에서 상기 고체 레이저 매체를 지지하는 제1의 열전도부재와,
    상기 고체 레이저 매체의 다른쪽의 냉각면에 접촉하는 제 2 의 열전도부재와,
    상기 고체 레이저 매체에 대해 상기 제 2 의 열전도부재를 누름하는 누름 부재와,
    상기 누름 부재와 상기 제 2의 열전도 부재와의 사이에 설치되며, 상기 누름부재로부터의 가압력을 탄성변형에 의해 탄성적으로 상기 제 2 의 열전도부재에 전달하는 1 개 또는 복수개의 고무형상의 탄성체와,
    상기 냉각면과는 다른 상기 고체 레이저 매체의 측면에 여기용의 빛을 조사하는 여기광 조사 수단을 구비하는 고체 레이저 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고무형상의 탄성체의 형상이 0링 형상인것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 고무형상의 탄성체의 형상이 볼형상인것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 여기광 조사 수단이, 여기용의 레이저 비임을 발광하는 반도체 레이저와, 상기 반도체 레이저로부터의 레이저 비임을 평행광으로하여 상기 고체 레이저 매체의 표면에 조사하는 실린드리컬 렌즈로 구성되는 것 을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 누름 부재가, 상기 제 2의 열전도부재에 상기 고무형상의 탄성체를 통하여 포개진 누름판과, 상기 누름판을 지지하는 상기 제 1 의 열전도부재의 지지면에 대해 수직방향으로 세워 설치된 안내부재와, 상기 누름판을 통하여 상기 안내부재에 나합하는 나사 부재로 구성되는 것을 특징
    으로 하는고체 레이저 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 의 열전도부재에 냉각 매체를 흐르게 하기위한 통로가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 의 열전도 부재에 냉각 매체를 흐르게 하기 위한 통로가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  8. 슬라브형의 고체 레이저 매체를 이용하여 레이저 발진을 하는 고체 레이저 장치에 있어서,
    상기 고체 레이저 매체의 냉각면에 접촉한 상태에서 상기 고체 레이저 매체를 유지하는 열전도성의 유지부와,
    상기 고체 레이저 매체의 여기면에 레이저 비임 출사구를 향하여 상기 고체 레이저 매체의 한 쪽의 소정 위치에 배치된 여기용 레이저 비임 발생수단과,
    상기 고체 레이저 매체의 여기면을 싸도록 사기 유지부로부터 상기 고체 레이저 매체의 측방에 연재하고, 상기 여기용 레이저 비임 발생수단의 상기 레이저 비임 출사구를 상기 고체 레이저 매체의 여기면에 마주향하도록 하기 위한 개구와 상기 레이저 비임 출사구로부터 출사된 여기용 레이저 비임을 가두기 위한 내벽을 가지는 여기용 레이저 비임 감금부를 구비하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부의 내벽이, 상기 고체 레이저 매체의 길이 방향과 직교하는 방향에 있어서 상기 레이저 비임 출사구로부터 소정의 확대각으로 출사되는 상기 여기용 레이저 비임을 차단하지 않고 방사시키기위한 테이퍼상의 벽면을 가지는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부의 내벽이,높은 광반사율을 가지는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 발생 수단과 대향하는 상기 여기용 레이저 비임 감금부의 외벽이, 전기적으로 절연성인 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부가 상기 여기용 레이저 비임에 대해 높은 광반사율을 가지는 물질로 형성됨과 동시에 상기 여기용 레이저 비임 감금부의 외벽이 절연 시이트로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부가 상기 여기용 레이저 비임에 대해 높은 광반사율을 가지는 물질로 형성됨과 동시에 상기 여기용 레이저 비임 감금부의 외벽이 절연 시이트로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부가 알루미나계 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 여기용 레이저 비임 감금부가 알루미나계 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
  16. 제 8 항에 있어서,
    상기 유지부재에 냉각 매체를 흐르게 하기 위한 통로가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 고체 레이저 장치.
KR1019970065017A 1996-12-03 1997-12-01 고체 레이저 장치 KR19980063657A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP96-337505 1996-12-03
JP96-337506 1996-12-03
JP33750596A JPH10163548A (ja) 1996-12-03 1996-12-03 固体レーザ装置
JP33750696A JPH10163551A (ja) 1996-12-03 1996-12-03 固体レーザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR19980063657A true KR19980063657A (ko) 1998-10-07

Family

ID=26575824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970065017A KR19980063657A (ko) 1996-12-03 1997-12-01 고체 레이저 장치

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0847114A1 (ko)
KR (1) KR19980063657A (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6240113B1 (en) * 1998-02-27 2001-05-29 Litton Systems, Inc. Microlaser-based electro-optic system and associated fabrication method
US6385220B1 (en) * 1999-04-21 2002-05-07 Gsi Lumonics Inc. Laser clamping assembly and method
WO2007028201A1 (en) * 2005-09-07 2007-03-15 Ellex Medical Pty Ltd Optical mount for laser rod

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5624989A (en) * 1979-08-09 1981-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Solid state laser device
US5140607A (en) * 1991-05-23 1992-08-18 Laser Diode, Inc. Side-pumped laser with angled diode pumps
DE4307129C2 (de) * 1993-03-06 1999-11-04 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Festkörperlaser
JPH07142791A (ja) * 1993-11-17 1995-06-02 Mitsubishi Electric Corp スラブ型レーザ発振器
JP3265815B2 (ja) * 1994-04-12 2002-03-18 富士電機株式会社 固体レーザ装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0847114A1 (en) 1998-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5140607A (en) Side-pumped laser with angled diode pumps
US7305016B2 (en) Laser diode package with an internal fluid cooling channel
US5084886A (en) Side-pumped laser system with independent heat controls
JPH05508265A (ja) 端面発光レーザダイオードのアレーの冷却用薄板パッケージ
RU2117371C1 (ru) Матрица лазерных диодов
JPH03135082A (ja) 集積レーザダイオードポンプレーザ装置
EP0820126B1 (en) Diode laser pumped solid state laser gain module
EP1766742A1 (en) Staggered array coupler
US20040258123A1 (en) Diode-pumped solid-state laser gain module
US6301277B1 (en) Solid state laser master oscillator gain module
CA2285390A1 (en) Semiconductor laser apparatus
US20010004368A1 (en) Laser oscillating apparatus
US5900967A (en) Laser diode mounting technique to evenly deposit energy
KR19980063657A (ko) 고체 레이저 장치
US7796670B1 (en) Diode laser pumped solid state laser amplifier and diode laser pumped solid state laser
CA2332864C (en) Scalable vertically diode-pumped solid-state lasers
JPH10163551A (ja) 固体レーザ装置
EP1193813A1 (en) Cooling block, ld device with the cooling block, and solid laser device using the ld device as excitation light source
JPH11220191A (ja) 固体レーザ装置
JPWO2004084364A1 (ja) レーザ発振器
JPH10163548A (ja) 固体レーザ装置
KR100348998B1 (ko) 방사형으로 배치된 여러 개의 직선형 다이오드 레이저를이용한 고체레이저 발생장치.
JP3154689B2 (ja) 半導体レーザ励起スラブ固体レーザ装置
JPH07202332A (ja) 半導体レーザ素子および固体レーザ装置
KR100733200B1 (ko) 레이저 발진기

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid