JPH10159775A - 多段式真空ポンプ - Google Patents
多段式真空ポンプInfo
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- JPH10159775A JPH10159775A JP8334924A JP33492496A JPH10159775A JP H10159775 A JPH10159775 A JP H10159775A JP 8334924 A JP8334924 A JP 8334924A JP 33492496 A JP33492496 A JP 33492496A JP H10159775 A JPH10159775 A JP H10159775A
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- Japan
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- pump
- vacuum
- temperature
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
- F04B41/06—Combinations of two or more pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/02—Motor parameters of rotating electric motors
- F04B2203/0201—Current
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/02—Motor parameters of rotating electric motors
- F04B2203/0209—Rotational speed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2205/00—Fluid parameters
- F04B2205/01—Pressure before the pump inlet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価なシステムにより、前記単段ポンプの背
圧真空度を改善し、排気速度の低下を防止し、駆動力の
増加を抑制すること。 【解決手段】 隣り合う単段ポンプ１ないし４の吸入口
と排気口とを排気管２３ないし２５によって接続して直
列に連結される複数の個別の単段ポンプ１ないし４と、
個別の単段ポンプ１ないし４をそれぞれ駆動する個別の
モータ５ないし８と、前記単段ポンプ１ないし４の回転
数を可変にする駆動手段９ないし１２とから成り、前記
大気側に接する前記単段ポンプ４を大容量とした多段式
真空ポンプ。
圧真空度を改善し、排気速度の低下を防止し、駆動力の
増加を抑制すること。 【解決手段】 隣り合う単段ポンプ１ないし４の吸入口
と排気口とを排気管２３ないし２５によって接続して直
列に連結される複数の個別の単段ポンプ１ないし４と、
個別の単段ポンプ１ないし４をそれぞれ駆動する個別の
モータ５ないし８と、前記単段ポンプ１ないし４の回転
数を可変にする駆動手段９ないし１２とから成り、前記
大気側に接する前記単段ポンプ４を大容量とした多段式
真空ポンプ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、隣り合う単段ポン
プの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直列に
連結される複数の個別の単段ポンプと、個別の単段ポン
プをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも大気
側に接する前記単段ポンプの回転数を可変にする駆動手
段と、大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモータ
の駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成り、直
列につながる真空側の単段ポンプ排気口の背圧真空度を
改善し、排気速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制
する多段式真空ポンプに関する。
プの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直列に
連結される複数の個別の単段ポンプと、個別の単段ポン
プをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも大気
側に接する前記単段ポンプの回転数を可変にする駆動手
段と、大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモータ
の駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成り、直
列につながる真空側の単段ポンプ排気口の背圧真空度を
改善し、排気速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制
する多段式真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の第１の多段式真空ポンプ（特開平
５−２４０１８１）は、図９に示されるように複数のポ
ンプ本体Ｐ１、Ｐ２が各々独立し、該ポンプ本体が独立
したモータＭ１、Ｍ２により駆動され、該モータＭ１、
Ｍ２は制御部ＣＲにより制御されるインバータＩ１、Ｉ
２の交流電力により駆動制御するものであった。
５−２４０１８１）は、図９に示されるように複数のポ
ンプ本体Ｐ１、Ｐ２が各々独立し、該ポンプ本体が独立
したモータＭ１、Ｍ２により駆動され、該モータＭ１、
Ｍ２は制御部ＣＲにより制御されるインバータＩ１、Ｉ
２の交流電力により駆動制御するものであった。
【０００３】従来の第２の多段式真空ポンプ（特開平７
−３０５６８９）は、図１０に示されるように複数のル
ーツポンプＲ１ないしＲ４を設け、そのケーシングＣは
それぞれ別体に構成し、各ポンプ室ＰＣを排気用配管Ｅ
１ないしＥ４で直列に連結するとともに、各ルーツポン
プＲ１ないしＲ４のロータＲＴの駆動軸をそれぞれ別体
にし、ベルトまたはプーリー（図示せず）によってそれ
らをそれぞれ異なる回転数で駆動するものであった。
−３０５６８９）は、図１０に示されるように複数のル
ーツポンプＲ１ないしＲ４を設け、そのケーシングＣは
それぞれ別体に構成し、各ポンプ室ＰＣを排気用配管Ｅ
１ないしＥ４で直列に連結するとともに、各ルーツポン
プＲ１ないしＲ４のロータＲＴの駆動軸をそれぞれ別体
にし、ベルトまたはプーリー（図示せず）によってそれ
らをそれぞれ異なる回転数で駆動するものであった。
【０００４】
【０００５】上記従来の第１の多段式真空ポンプは、実
際の使用状態では、ガス流量によって各ポンプ本体Ｐ
１、Ｐ２の負荷割合がアンバランスになるため、回転比
はガス流量によって最適に配分した方がよいが、回転比
を最適配分するためのフィードバック系を構成するため
に必要な温度・圧力・電流信号の検出手段および制御回
路がないため、ガス流量に応じた最適回転比配分はでき
ないので、真空度によって排気速度が変わってしまうと
いう問題があった。
際の使用状態では、ガス流量によって各ポンプ本体Ｐ
１、Ｐ２の負荷割合がアンバランスになるため、回転比
はガス流量によって最適に配分した方がよいが、回転比
を最適配分するためのフィードバック系を構成するため
に必要な温度・圧力・電流信号の検出手段および制御回
路がないため、ガス流量に応じた最適回転比配分はでき
ないので、真空度によって排気速度が変わってしまうと
いう問題があった。
【０００６】上記従来の第２の多段式真空ポンプは、真
空側の回転数をより高く設定すること、同一容量ポンプ
を使用すること、ロータのクリアランスが０．１ｍｍ以
下であること等より、それぞれのポンプの排気管Ｅ１な
いしＥ４にそれぞれ高価な真空計を配設して、真空度を
検出するものであるため、コストが高くなるという問題
があった。
空側の回転数をより高く設定すること、同一容量ポンプ
を使用すること、ロータのクリアランスが０．１ｍｍ以
下であること等より、それぞれのポンプの排気管Ｅ１な
いしＥ４にそれぞれ高価な真空計を配設して、真空度を
検出するものであるため、コストが高くなるという問題
があった。
【０００７】本発明者らは、隣り合う単段ポンプの吸入
口と排気口とを排気管によって接続して直列に連結され
る複数の個別の単段ポンプを個別のモータによってそれ
ぞれ駆動するとともに、大気側に接する該単段ポンプを
駆動するモータの駆動電流を検出して、大気側に接する
前記単段ポンプの回転数を制御するという本発明の技術
的思想に着眼し、さらに研究開発を重ねた結果、安価な
システムにより、前記単段ポンプの背圧真空度を改善
し、排気速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制する
という目的を達成する本発明に到達した。
口と排気口とを排気管によって接続して直列に連結され
る複数の個別の単段ポンプを個別のモータによってそれ
ぞれ駆動するとともに、大気側に接する該単段ポンプを
駆動するモータの駆動電流を検出して、大気側に接する
前記単段ポンプの回転数を制御するという本発明の技術
的思想に着眼し、さらに研究開発を重ねた結果、安価な
システムにより、前記単段ポンプの背圧真空度を改善
し、排気速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制する
という目的を達成する本発明に到達した。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
された第１発明）の多段式真空ポンプは、隣り合う単段
ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直
列に連結される複数の個別の単段ポンプと、個別の単段
ポンプをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも
大気側に接する前記単段ポンプの回転数を可変にする駆
動手段と、大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモ
ータの駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成る
ものである。
された第１発明）の多段式真空ポンプは、隣り合う単段
ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直
列に連結される複数の個別の単段ポンプと、個別の単段
ポンプをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも
大気側に接する前記単段ポンプの回転数を可変にする駆
動手段と、大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモ
ータの駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成る
ものである。
【０００９】本発明（請求項２に記載された第２発明）
の多段式真空ポンプは、前記第１発明において、真空側
の入口の圧力を検出する圧力検出手段を備えているもの
である。
の多段式真空ポンプは、前記第１発明において、真空側
の入口の圧力を検出する圧力検出手段を備えているもの
である。
【００１０】本発明（請求項３に記載された第３発明）
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、前記圧
力検出手段によって検出された圧力に基づき、前記単段
ポンプのモータ回転数を設定する制御手段を備えている
ものである。
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、前記圧
力検出手段によって検出された圧力に基づき、前記単段
ポンプのモータ回転数を設定する制御手段を備えている
ものである。
【００１１】本発明（請求項４に記載された第４発明）
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、隣り合
う前記単段ポンプの吸入口と排気口とを接続する少なく
とも１つ以上の排気管に配設され、各単段ポンプの出口
温度を検出する温度検出手段を備え、前記単段ポンプの
モータ回転数が制御されるように構成されているもので
ある。
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、隣り合
う前記単段ポンプの吸入口と排気口とを接続する少なく
とも１つ以上の排気管に配設され、各単段ポンプの出口
温度を検出する温度検出手段を備え、前記単段ポンプの
モータ回転数が制御されるように構成されているもので
ある。
【００１２】本発明（請求項５に記載された第５発明）
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、前記圧
力検出手段が、真空側の入口の真空度を検出し、検出さ
れた真空度に基づき個別多段ポンプの回転数を設定する
制御回路を備えているものである。
の多段式真空ポンプは、前記第２発明において、前記圧
力検出手段が、真空側の入口の真空度を検出し、検出さ
れた真空度に基づき個別多段ポンプの回転数を設定する
制御回路を備えているものである。
【００１３】本発明（請求項６に記載された第６発明）
の多段式真空ポンプは、前記第４発明において、各単段
ポンプの出口温度を測定する温度センサを備え、ガス通
路内の温度を排気ガスが凝縮・固化しない温度に保つよ
うに回転数を制御することができる制御回路を備えてい
るものである。
の多段式真空ポンプは、前記第４発明において、各単段
ポンプの出口温度を測定する温度センサを備え、ガス通
路内の温度を排気ガスが凝縮・固化しない温度に保つよ
うに回転数を制御することができる制御回路を備えてい
るものである。
【００１４】本発明（請求項７に記載された第７発明）
の多段式真空ポンプは、前記第４発明において、隣り合
う単段ポンプの吸入口と排気口とを連結する少なくとも
１つ以上の前記排気管に配設され、該排気管を冷却する
インタークーラを備えているものである。
の多段式真空ポンプは、前記第４発明において、隣り合
う単段ポンプの吸入口と排気口とを連結する少なくとも
１つ以上の前記排気管に配設され、該排気管を冷却する
インタークーラを備えているものである。
【００１５】本発明（請求項８に記載された第９発明）
の多段式真空ポンプは、前記第７発明において、前記イ
ンタクーラに対して、ガス通路内の温度を排気ガスが凝
縮・固化しない温度に保つように流量が調整された冷却
水を循環させる冷却水循環手段を備えているものであ
る。
の多段式真空ポンプは、前記第７発明において、前記イ
ンタクーラに対して、ガス通路内の温度を排気ガスが凝
縮・固化しない温度に保つように流量が調整された冷却
水を循環させる冷却水循環手段を備えているものであ
る。
【００１６】
【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
多段式真空ポンプは、前記個別のモータが、隣り合う単
段ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して
直列に連結される複数の前記個別の単段ポンプをそれぞ
れ駆動するとともに、前記駆動電流検出手段が大気側に
接する前記単段ポンプを駆動する前記モータの駆動電流
を検出して、前記駆動手段が該検出された駆動電流に基
づき大気側に接する前記単段ポンプの回転数を制御する
ため、安価なシステムにより、前記単段ポンプの背圧真
空度を改善するとともに、駆動力の増加を抑制するとい
う効果を奏する。
多段式真空ポンプは、前記個別のモータが、隣り合う単
段ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して
直列に連結される複数の前記個別の単段ポンプをそれぞ
れ駆動するとともに、前記駆動電流検出手段が大気側に
接する前記単段ポンプを駆動する前記モータの駆動電流
を検出して、前記駆動手段が該検出された駆動電流に基
づき大気側に接する前記単段ポンプの回転数を制御する
ため、安価なシステムにより、前記単段ポンプの背圧真
空度を改善するとともに、駆動力の増加を抑制するとい
う効果を奏する。
【００１７】上記構成より成る第２発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第１発明において、前記圧力検出手段が、
真空側の入口の圧力を検出するので、検出された入口の
圧力に基づく制御が可能になるという効果を奏する。
ンプは、前記第１発明において、前記圧力検出手段が、
真空側の入口の圧力を検出するので、検出された入口の
圧力に基づく制御が可能になるという効果を奏する。
【００１８】上記構成より成る第３発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第２発明において、前記制御手段が、前記
圧力検出手段によって検出された圧力に基づき、前記単
段ポンプのモータ回転数を設定するので、検出された圧
力に応じて前記単段ポンプの回転数が制御されるため、
直列につながる真空側の単段ポンプ排出口を改善すると
ともに、駆動力の増加を抑制するという効果を奏する。
ンプは、前記第２発明において、前記制御手段が、前記
圧力検出手段によって検出された圧力に基づき、前記単
段ポンプのモータ回転数を設定するので、検出された圧
力に応じて前記単段ポンプの回転数が制御されるため、
直列につながる真空側の単段ポンプ排出口を改善すると
ともに、駆動力の増加を抑制するという効果を奏する。
【００１９】上記構成より成る第４発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第２発明において、隣り合う前記単段ポン
プの吸入口と排気口とを接続する少なくとも１つ以上の
排気管に配設された前記温度検出手段が、各単段ポンプ
の出口温度を検出し、前記単段ポンプのモータ回転数が
制御され、前記排気管内を断熱圧縮によって発熱させ、
排気ガスが凝固・固化しない温度に維持することが出来
るという効果を奏する。
ンプは、前記第２発明において、隣り合う前記単段ポン
プの吸入口と排気口とを接続する少なくとも１つ以上の
排気管に配設された前記温度検出手段が、各単段ポンプ
の出口温度を検出し、前記単段ポンプのモータ回転数が
制御され、前記排気管内を断熱圧縮によって発熱させ、
排気ガスが凝固・固化しない温度に維持することが出来
るという効果を奏する。
【００２０】上記構成より成る第５発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第２発明において、前記圧力検出手段を構
成する前記真空検出手段が、真空側の入口の真空度を検
出し、前記制御回路が、検出された真空度に基づき個別
単段ポンプの回転数比を設定するので、前記単段ポンプ
の背圧真空度を改善し、排気速度の低下を防止し、駆動
力の増加を抑制するという効果を奏する。
ンプは、前記第２発明において、前記圧力検出手段を構
成する前記真空検出手段が、真空側の入口の真空度を検
出し、前記制御回路が、検出された真空度に基づき個別
単段ポンプの回転数比を設定するので、前記単段ポンプ
の背圧真空度を改善し、排気速度の低下を防止し、駆動
力の増加を抑制するという効果を奏する。
【００２１】上記構成より成る第６発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第４発明において、前記温度センサが各単
段ポンプの出口温度を測定し、前記制御回路が回転数を
制御するので、ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・固
化しない温度に保つことが出来るという効果を奏する。
ンプは、前記第４発明において、前記温度センサが各単
段ポンプの出口温度を測定し、前記制御回路が回転数を
制御するので、ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・固
化しない温度に保つことが出来るという効果を奏する。
【００２２】上記構成より成る第７発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第４発明において、隣り合う単段ポンプの
吸入口と排気口とを連結する少なくとも１つ以上の前記
排気管に配設された前記インタークーラが、前記排気管
を冷却するので、排気加熱に伴う熱膨張による前記単段
ポンプの可動部の干渉を防止するという効果を奏する。
ンプは、前記第４発明において、隣り合う単段ポンプの
吸入口と排気口とを連結する少なくとも１つ以上の前記
排気管に配設された前記インタークーラが、前記排気管
を冷却するので、排気加熱に伴う熱膨張による前記単段
ポンプの可動部の干渉を防止するという効果を奏する。
【００２３】上記構成より成る第８発明の多段式真空ポ
ンプは、前記第７発明において、前記冷却水循環手段
が、前記インタクーラに対して循環する冷却水の流量を
調整するので、前記ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮
・固化しない温度に維持するという効果を奏する。
ンプは、前記第７発明において、前記冷却水循環手段
が、前記インタクーラに対して循環する冷却水の流量を
調整するので、前記ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮
・固化しない温度に維持するという効果を奏する。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、以
下図面に基づいて説明する。
下図面に基づいて説明する。
【００２５】（第１実施形態）第１実施形態の多段式真
空ポンプは、図１に示されるように隣り合う単段ポンプ
１ないし４の吸入口と排気口とを排気管２３ないし２５
によって接続して直列に連結される複数の個別の単段ポ
ンプ１ないし４と、個別の単段ポンプ１ないし４をそれ
ぞれ駆動する個別のモータ５ないし８と、前記単段ポン
プ１ないし４の回転数を可変にする駆動手段９ないし１
２と、大気側に接する単段ポンプを駆動するモータの駆
動電流を検出する駆動電流検出手段とから成るものであ
る。
空ポンプは、図１に示されるように隣り合う単段ポンプ
１ないし４の吸入口と排気口とを排気管２３ないし２５
によって接続して直列に連結される複数の個別の単段ポ
ンプ１ないし４と、個別の単段ポンプ１ないし４をそれ
ぞれ駆動する個別のモータ５ないし８と、前記単段ポン
プ１ないし４の回転数を可変にする駆動手段９ないし１
２と、大気側に接する単段ポンプを駆動するモータの駆
動電流を検出する駆動電流検出手段とから成るものであ
る。
【００２６】図１に示されるように、大気側に接する前
記単段ポンプ４を駆動する前記モータ８の前記駆動電源
１２からの駆動電流を検出する駆動電流検出手段３６を
備え、検出した電流値を制御手段３５に伝達するように
構成されている。
記単段ポンプ４を駆動する前記モータ８の前記駆動電源
１２からの駆動電流を検出する駆動電流検出手段３６を
備え、検出した電流値を制御手段３５に伝達するように
構成されている。
【００２７】真空側の入口１８の圧力を検出する圧力検
出手段１３が、真空側の入口の真空度を検出するピラニ
ータイプの真空検出手段によって構成され、検出された
真空度に基づき個別単段ポンプ１ないし４の回転数比を
設定する制御手段３５を備えている。
出手段１３が、真空側の入口の真空度を検出するピラニ
ータイプの真空検出手段によって構成され、検出された
真空度に基づき個別単段ポンプ１ないし４の回転数比を
設定する制御手段３５を備えている。
【００２８】各前記単段ポンプ１ないし４の前記排気口
とを接続する前記排気管２３ないし２６に配設され、各
単段ポンプ１ないし４の出口温度を検出する温度検出手
段１４ないし１７を備え、前記制御手段３５に接続され
ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・固化しない温度に
保つように回転数を制御することができるように構成さ
れている。
とを接続する前記排気管２３ないし２６に配設され、各
単段ポンプ１ないし４の出口温度を検出する温度検出手
段１４ないし１７を備え、前記制御手段３５に接続され
ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・固化しない温度に
保つように回転数を制御することができるように構成さ
れている。
【００２９】インタークーラ２７ないし３０は、図１に
示されるように隣り合う単段ポンプ１ないし４のケース
および吸入口と排気口とを連結する前記排気管２３ない
し２６に配設され、該ポンプのケースおよび排気管を冷
却するように構成されている。
示されるように隣り合う単段ポンプ１ないし４のケース
および吸入口と排気口とを連結する前記排気管２３ない
し２６に配設され、該ポンプのケースおよび排気管を冷
却するように構成されている。
【００３０】冷却水循環手段３７は、図１に示されるよ
うに冷却水源（図示せず）に接続され、流量を調整する
可変流量バルブとしての流量調整弁３１ないし３４が配
設され、前記インタクーラ２７ないし３０に対して、冷
却水を循環させ、ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・
固化しない温度に保つように構成されている。
うに冷却水源（図示せず）に接続され、流量を調整する
可変流量バルブとしての流量調整弁３１ないし３４が配
設され、前記インタクーラ２７ないし３０に対して、冷
却水を循環させ、ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・
固化しない温度に保つように構成されている。
【００３１】前記制御手段３５は、制御フローおよびデ
ータを予め格納したＲＯＭを備えたＣＰＵによって構成
され、信号ケーブル２０によって前記圧力センサ１３お
よび温度センサ１４ないし１７に接続され、信号ケーブ
ル２０によって前記流量調節弁３１ないし３４に接続さ
れているとともに、信号ケーブル２１によって駆動電源
９〜１１に接続され該制御手段３５の出力信号が出力さ
れるように構成されている。
ータを予め格納したＲＯＭを備えたＣＰＵによって構成
され、信号ケーブル２０によって前記圧力センサ１３お
よび温度センサ１４ないし１７に接続され、信号ケーブ
ル２０によって前記流量調節弁３１ないし３４に接続さ
れているとともに、信号ケーブル２１によって駆動電源
９〜１１に接続され該制御手段３５の出力信号が出力さ
れるように構成されている。
【００３２】上記構成より成る第１実施形態の多段式真
空ポンプにおいて、前記真空側の単段ポンプ１の前記入
口１８は、図示しない真空チャンバに連結されており、
大気圧から１Ｐａ台まで真空引きする。
空ポンプにおいて、前記真空側の単段ポンプ１の前記入
口１８は、図示しない真空チャンバに連結されており、
大気圧から１Ｐａ台まで真空引きする。
【００３３】高真空時は、前記単段ポンプ１の入口圧力
と出口圧力の差圧は数＋Ｐａ程度であり、駆動力は少な
くてもよいため、小容量モータで回転数を高く設定する
ことができる。逆に、前記単段ポンプ４の入口出口の差
圧は数＋ｋＰａあるため、多くの駆動力を必要とし、大
容量モータで回転数を低くして使用される。
と出口圧力の差圧は数＋Ｐａ程度であり、駆動力は少な
くてもよいため、小容量モータで回転数を高く設定する
ことができる。逆に、前記単段ポンプ４の入口出口の差
圧は数＋ｋＰａあるため、多くの駆動力を必要とし、大
容量モータで回転数を低くして使用される。
【００３４】低真空時、特に大気圧に近い真空度におけ
るルーツポンプは、高真空時に比べて単段ポンプ１の体
積効率は低下するため、排気速度は低下してしまう。こ
のとき、図２に示されるように入口出口の差圧は大きく
なり、より大きな駆動力が必要になる。逆に、前記単段
ポンプ４の入口出口の差圧は小さくなり、必要な駆動力
は減る。
るルーツポンプは、高真空時に比べて単段ポンプ１の体
積効率は低下するため、排気速度は低下してしまう。こ
のとき、図２に示されるように入口出口の差圧は大きく
なり、より大きな駆動力が必要になる。逆に、前記単段
ポンプ４の入口出口の差圧は小さくなり、必要な駆動力
は減る。
【００３５】従って、前記単段ポンプ４の回転数を上げ
ることにより、単段ポンプ１の背圧側真空度を改善し、
図３中一点鎖線で示されるように排気速度の落ち込みを
防ぐとともに、図２中一点鎖線で示されるように単段ポ
ンプ１の駆動力増加を抑制することができる。
ることにより、単段ポンプ１の背圧側真空度を改善し、
図３中一点鎖線で示されるように排気速度の落ち込みを
防ぐとともに、図２中一点鎖線で示されるように単段ポ
ンプ１の駆動力増加を抑制することができる。
【００３６】特に、真空チャンバ内を大気圧から真空引
きする場合や、パージガスを定量流す場合などは、この
条件に適合するため、速やかな到達真空度の達成を得る
には、低真空時に単段ポンプ４を高回転側に回転数を変
えることが望ましい。
きする場合や、パージガスを定量流す場合などは、この
条件に適合するため、速やかな到達真空度の達成を得る
には、低真空時に単段ポンプ４を高回転側に回転数を変
えることが望ましい。
【００３７】この制御を実行させるために、多段ポンプ
の前記入口１８の圧力を圧力計１３によって計測し、そ
の圧力に応じて、前記制御手段３５によってＤＣブラシ
レスモータによって構成される前記モータ５ないし８の
回転数が設定される。
の前記入口１８の圧力を圧力計１３によって計測し、そ
の圧力に応じて、前記制御手段３５によってＤＣブラシ
レスモータによって構成される前記モータ５ないし８の
回転数が設定される。
【００３８】またはより簡便な方法として、前記モータ
５ないし７の回転数は常に一定とし、前記駆動電源１２
に出力している回転数情報と前記電流検出手段３６より
得られる電流値から、真空度を推定することもできる。
５ないし７の回転数は常に一定とし、前記駆動電源１２
に出力している回転数情報と前記電流検出手段３６より
得られる電流値から、真空度を推定することもできる。
【００３９】一方、多段ポンプのガス通路内温度は排気
ガスが凝縮・固化しない温度に保つことが求められてい
る。この要件を満足するためには、多段ポンプを構成す
る前記単段ポンプ１ないし４の回転数の配分を変え、単
段ポンプの間に介在する配管２３〜２６内を断熱圧縮に
よって発熱させ、所定の温度を維持する。
ガスが凝縮・固化しない温度に保つことが求められてい
る。この要件を満足するためには、多段ポンプを構成す
る前記単段ポンプ１ないし４の回転数の配分を変え、単
段ポンプの間に介在する配管２３〜２６内を断熱圧縮に
よって発熱させ、所定の温度を維持する。
【００４０】そのために、前記単段ポンプ１ないし４の
出口温度を、温度検出手段１４ないし１７によって前記
制御手段３５に取り込み、各排気管２３ないし２６の温
度を所定の温度を維持するように回転数が制御される。
出口温度を、温度検出手段１４ないし１７によって前記
制御手段３５に取り込み、各排気管２３ないし２６の温
度を所定の温度を維持するように回転数が制御される。
【００４１】同様の目的で、前記単段ポンプ１ないし４
の前記排気管２３ないし２６とともにポンプケースを冷
却する方法も考えられる。その場合、冷却水流量によっ
て冷却能力を調節するため、冷却水入口側に前記制御手
段３５によって制御される前記可変流量バルブ３１ない
し３４を連結し、過熱してロータ接触の危険がある単段
ポンプには流量バルブを全開に開いてガス通路内温度を
下げ、低温度で排気ガスが凝縮・固化する危険性がある
前記単段ポンプ１ないし４には、該当する前記流量バル
ブ３１ないし３４を絞ることによって、ガス通路内温度
を上げて所定の温度範囲に保つようにするものである。
の前記排気管２３ないし２６とともにポンプケースを冷
却する方法も考えられる。その場合、冷却水流量によっ
て冷却能力を調節するため、冷却水入口側に前記制御手
段３５によって制御される前記可変流量バルブ３１ない
し３４を連結し、過熱してロータ接触の危険がある単段
ポンプには流量バルブを全開に開いてガス通路内温度を
下げ、低温度で排気ガスが凝縮・固化する危険性がある
前記単段ポンプ１ないし４には、該当する前記流量バル
ブ３１ないし３４を絞ることによって、ガス通路内温度
を上げて所定の温度範囲に保つようにするものである。
【００４２】上記第１実施形態の多段式真空ポンプは、
前記個別の単段モータ１ないし４が、隣り合う単段ポン
プの吸入口と排気口とを前記排気管２３ないし２５によ
って接続して直列に連結される複数の前記個別の単段ポ
ンプをそれぞれ駆動するとともに、前記駆動手段１２
が、少なくとも大気側に接する大容量の前記単段ポンプ
４の回転数を制御するので、安価なシステムにより、直
列につながる真空側の単段ポンプ排出口の背圧真空度を
改善するという効果を奏する。
前記個別の単段モータ１ないし４が、隣り合う単段ポン
プの吸入口と排気口とを前記排気管２３ないし２５によ
って接続して直列に連結される複数の前記個別の単段ポ
ンプをそれぞれ駆動するとともに、前記駆動手段１２
が、少なくとも大気側に接する大容量の前記単段ポンプ
４の回転数を制御するので、安価なシステムにより、直
列につながる真空側の単段ポンプ排出口の背圧真空度を
改善するという効果を奏する。
【００４３】また第１実施形態の多段式真空ポンプは、
前記駆動電流検出手段３６が、大気側に接する前記単段
ポンプ４を駆動する前記モータ８の駆動電流を検出する
ので、該検出した駆動電流に基づき大気側に接する前記
単段ポンプ４の回転数を制御するため、駆動力の増加を
抑制するという効果を奏する。
前記駆動電流検出手段３６が、大気側に接する前記単段
ポンプ４を駆動する前記モータ８の駆動電流を検出する
ので、該検出した駆動電流に基づき大気側に接する前記
単段ポンプ４の回転数を制御するため、駆動力の増加を
抑制するという効果を奏する。
【００４４】さらに第１実施形態の多段式真空ポンプ
は、前記制御手段３５が、前記圧力検出手段１３によっ
て検出された圧力に基づき、前記単段ポンプ１ないし４
の前記モータ５ないし８の回転数を設定するので、検出
された圧力に応じて前記単段ポンプ１ないし４の回転数
が制御されるため、前記単段ポンプの背圧真空度を改善
するとともに、駆動力の増加を抑制するという効果を奏
する。
は、前記制御手段３５が、前記圧力検出手段１３によっ
て検出された圧力に基づき、前記単段ポンプ１ないし４
の前記モータ５ないし８の回転数を設定するので、検出
された圧力に応じて前記単段ポンプ１ないし４の回転数
が制御されるため、前記単段ポンプの背圧真空度を改善
するとともに、駆動力の増加を抑制するという効果を奏
する。
【００４５】また第１実施形態の多段式真空ポンプは、
隣り合う前記単段ポンプ１ないし４の吸入口と排気口と
を接続する前記排気管２３ないし２６に配設された前記
温度検出手段１４ないし１７が、各単段ポンプ１ないし
４の出口温度を検出し、前記単段ポンプ１ないし４の前
記モータ５ないし８の回転数が制御され、前記排気管２
３ないし２６内を断熱圧縮によって発熱させ、排気ガス
が凝固・固化しない温度に維持することが出来るという
効果を奏する。
隣り合う前記単段ポンプ１ないし４の吸入口と排気口と
を接続する前記排気管２３ないし２６に配設された前記
温度検出手段１４ないし１７が、各単段ポンプ１ないし
４の出口温度を検出し、前記単段ポンプ１ないし４の前
記モータ５ないし８の回転数が制御され、前記排気管２
３ないし２６内を断熱圧縮によって発熱させ、排気ガス
が凝固・固化しない温度に維持することが出来るという
効果を奏する。
【００４６】さらに第１実施形態の多段式真空ポンプ
は、前記圧力検出手段１３が、真空側の入口の真空度を
検出し、前記制御手段３５が、検出された真空度に基づ
き個別単段ポンプ１ないし４の回転数を設定するので、
前記単段ポンプ１ないし４の背圧真空度を改善し、排気
速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制するという効
果を奏する。
は、前記圧力検出手段１３が、真空側の入口の真空度を
検出し、前記制御手段３５が、検出された真空度に基づ
き個別単段ポンプ１ないし４の回転数を設定するので、
前記単段ポンプ１ないし４の背圧真空度を改善し、排気
速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制するという効
果を奏する。
【００４７】さらに第１実施形態の多段式真空ポンプ
は、隣り合う単段ポンプ１ないし４の吸入口と排気口と
を連結する少なくとも１つ以上の前記排気管２３ないし
２６に配設された前記インタークーラ２７ないし３０
が、前記排気管２３ないし２６およびポンプケースを冷
却するので、排気加熱に伴う熱膨張による前記単段ポン
プ１ないし４の可動部の干渉を防止するという効果を奏
する。
は、隣り合う単段ポンプ１ないし４の吸入口と排気口と
を連結する少なくとも１つ以上の前記排気管２３ないし
２６に配設された前記インタークーラ２７ないし３０
が、前記排気管２３ないし２６およびポンプケースを冷
却するので、排気加熱に伴う熱膨張による前記単段ポン
プ１ないし４の可動部の干渉を防止するという効果を奏
する。
【００４８】また第１実施形態の多段式真空ポンプは、
前記冷却水循環手段３７が、前記インタクーラ２７ない
し３０に対して循環する冷却水の流量を、前記制御手段
３５からの指令に従い前記流量制御弁３１ないし３４に
より調整するので、前記ガス通路内の温度を排気ガスが
凝縮・固化しない温度に維持するという効果を奏する。
前記冷却水循環手段３７が、前記インタクーラ２７ない
し３０に対して循環する冷却水の流量を、前記制御手段
３５からの指令に従い前記流量制御弁３１ないし３４に
より調整するので、前記ガス通路内の温度を排気ガスが
凝縮・固化しない温度に維持するという効果を奏する。
【００４９】（第２実施形態）第２実施形態の多段式真
空ポンプは、図４および図５に示されるように真空側の
入口の真空度を検出することなく、駆動電流検出手段３
６が検出した大気側に接する前記単段ポンプ４を駆動す
る前記モータ８の駆動電流のみに基づき大気側に接する
前記単段ポンプ４の回転数を制御する点が、前記第１実
施形態との相違点であり、以下相違点を中心に説明す
る。
空ポンプは、図４および図５に示されるように真空側の
入口の真空度を検出することなく、駆動電流検出手段３
６が検出した大気側に接する前記単段ポンプ４を駆動す
る前記モータ８の駆動電流のみに基づき大気側に接する
前記単段ポンプ４の回転数を制御する点が、前記第１実
施形態との相違点であり、以下相違点を中心に説明す
る。
【００５０】本第２実施形態においては、図４における
負荷としての単段ポンプ４は、図５に示されるモータ８
によって回転駆動されるルーツポンプによって構成され
る。
負荷としての単段ポンプ４は、図５に示されるモータ８
によって回転駆動されるルーツポンプによって構成され
る。
【００５１】制御手段としてのマイコン３５は、図６に
示されるようにステップ１０１において、前記ルーツポ
ンプ４を回転駆動する前記モータ８の回転数を回転数検
出手段３８により読み取り、ステップ１０２において、
駆動電流検出手段３６によって前記モータ８の駆動電流
の電流値が読み取られる。
示されるようにステップ１０１において、前記ルーツポ
ンプ４を回転駆動する前記モータ８の回転数を回転数検
出手段３８により読み取り、ステップ１０２において、
駆動電流検出手段３６によって前記モータ８の駆動電流
の電流値が読み取られる。
【００５２】ステップ１０３において、読み取られた前
記電流値が設定値と等しいがどうかが判定され、等しい
場合はステップ１０１に戻り、等しくない場合は、ステ
ップ１０４において、読み取られた前記電流値が設定値
より少ないかどうか判定される。
記電流値が設定値と等しいがどうかが判定され、等しい
場合はステップ１０１に戻り、等しくない場合は、ステ
ップ１０４において、読み取られた前記電流値が設定値
より少ないかどうか判定される。
【００５３】少ない場合はステップ１０５において、速
度指令値が増加され、多い場合はステップ１０６におい
て、速度指令値が減少される。
度指令値が増加され、多い場合はステップ１０６におい
て、速度指令値が減少される。
【００５４】上記第２実施形態の多段式真空ポンプは、
前記駆動電流検出手段３６が、大気側に接する前記単段
ポンプ４を駆動する前記モータ８の駆動電流を検出する
ので、該検出した駆動電流に基づき大気側に接する大容
量の前記単段ポンプ４の回転数を制御するため、駆動力
の増加を抑制するという効果を奏する。
前記駆動電流検出手段３６が、大気側に接する前記単段
ポンプ４を駆動する前記モータ８の駆動電流を検出する
ので、該検出した駆動電流に基づき大気側に接する大容
量の前記単段ポンプ４の回転数を制御するため、駆動力
の増加を抑制するという効果を奏する。
【００５５】また第２実施形態の多段式真空ポンプは、
上述したように前記モータの駆動電流に基づき、前記モ
ータの回転数（回転速度）を制御するものであるため、
高価な真空度検出装置を不要にするので、システム全体
を安価かつ制御をシンプルにするという効果を奏する。
上述したように前記モータの駆動電流に基づき、前記モ
ータの回転数（回転速度）を制御するものであるため、
高価な真空度検出装置を不要にするので、システム全体
を安価かつ制御をシンプルにするという効果を奏する。
【００５６】（第３実施形態）第３実施形態の多段式真
空ポンプは、図７および図８に示されるように真空側の
入口の真空度を直接検出することにより、前記単段ポン
プ４の回転数を制御する点が、前記第２実施形態との相
違点であり、以下相違点を中心に説明する。
空ポンプは、図７および図８に示されるように真空側の
入口の真空度を直接検出することにより、前記単段ポン
プ４の回転数を制御する点が、前記第２実施形態との相
違点であり、以下相違点を中心に説明する。
【００５７】本第３実施形態においては、制御手段とし
てのマイコン３５は、図８に示されるようにステップ２
０１において、前記ルーツポンプ４を回転駆動する前記
モータ８の回転数を読み取り、ステップ２０２におい
て、ピラニータイプの真空計３９によって真空側の入口
の真空度が読み取られる。
てのマイコン３５は、図８に示されるようにステップ２
０１において、前記ルーツポンプ４を回転駆動する前記
モータ８の回転数を読み取り、ステップ２０２におい
て、ピラニータイプの真空計３９によって真空側の入口
の真空度が読み取られる。
【００５８】ステップ２０３において、読み取られた前
記真空度に対して回転数が適正かどうかが判定され、適
正な場合はステップ２０１に戻り、適正でない場合は、
ステップ２０４において、読み取られた前記回転数が前
記真空度に対して低いかどうか判定される。
記真空度に対して回転数が適正かどうかが判定され、適
正な場合はステップ２０１に戻り、適正でない場合は、
ステップ２０４において、読み取られた前記回転数が前
記真空度に対して低いかどうか判定される。
【００５９】低い場合はステップ２０５において、速度
指令値が増加され、高い場合はステップ２０６におい
て、速度指令値が減少される。
指令値が増加され、高い場合はステップ２０６におい
て、速度指令値が減少される。
【００６０】上記第３実施形態の多段式真空ポンプは、
前記真空計３９が、真空側の入口の真空度を検出し、前
記制御手段３５が、検出された真空度に基づき個別単段
ポンプ１ないし４の回転数比を設定するので、前記単段
ポンプ１ないし４の背圧真空度を改善し、排気速度の低
下を防止し、駆動力の増加を抑制するという効果を奏す
る。
前記真空計３９が、真空側の入口の真空度を検出し、前
記制御手段３５が、検出された真空度に基づき個別単段
ポンプ１ないし４の回転数比を設定するので、前記単段
ポンプ１ないし４の背圧真空度を改善し、排気速度の低
下を防止し、駆動力の増加を抑制するという効果を奏す
る。
【００６１】また第３実施形態の多段式真空ポンプは、
上述したように前記真空計３９によって、真空側の入口
の真空度を直接検出し、検出した真空度と回転数との関
係に基づき、前記モータの回転数（回転速度）を制御す
るものであるため、前記モータの回転数を適正かつ精度
良く制御することが出来るという効果を奏する。
上述したように前記真空計３９によって、真空側の入口
の真空度を直接検出し、検出した真空度と回転数との関
係に基づき、前記モータの回転数（回転速度）を制御す
るものであるため、前記モータの回転数を適正かつ精度
良く制御することが出来るという効果を奏する。
【００６２】上述の実施形態は、説明のために例示した
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【図１】本発明の第１実施形態の多段式真空ポンプのシ
ステム全体を示すブロック図である。
ステム全体を示すブロック図である。
【図２】本第１実施形態における真空度と動力との関係
を示す線図である。
を示す線図である。
【図３】本第１実施形態における真空度と排気速度との
関係を示す線図である。
関係を示す線図である。
【図４】本発明の第２実施形態の多段式真空ポンプを示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図５】本第２実施形態におけるポンプとしてのルーツ
ポンプを示す側面図である。
ポンプを示す側面図である。
【図６】本第２実施形態における制御フローを示すチャ
ート図である。
ート図である。
【図７】本発明の第３実施形態の多段式真空ポンプを示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図８】本第３実施形態における制御フローを示すチャ
ート図である。
ート図である。
【図９】従来の第１の多段式真空ポンプを示すブロック
図である。
図である。
【図１０】従来の第２の多段式真空ポンプを示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１ないし４ ポンプ ５ないし８ モータ ９ないし１２ 駆動電源 ２３ないし２５ 排気管
Claims (8)
- 【請求項１】 隣り合う単段ポンプの吸入口と排気口と
を排気管によって接続して直列に連結される複数の個別
の単段ポンプと、個別の単段ポンプをそれぞれ駆動する
個別のモータと、 少なくとも大気側に接する前記単段ポンプの回転数を可
変にする駆動手段と、 大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモータの駆動
電流を検出する駆動電流検出手段とから成ることを特徴
とする多段式真空ポンプ。 - 【請求項２】 請求項１において、 真空側の入口の圧力を検出する圧力検出手段を備えてい
ることを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 【請求項３】 請求項２において、 前記圧力検出手段によって検出された圧力に基づき、前
記単段ポンプのモータ回転数を設定する制御手段を備え
ていることを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 【請求項４】 請求項２において、 隣り合う前記単段ポンプの吸入口と排気口とを接続する
少なくとも１つ以上の排気管に配設され、各単段ポンプ
の出口温度を検出する温度検出手段を備え、 前記単段ポンプのモータ回転数が制御されるように構成
されていることを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 【請求項５】 請求項２において、 前記圧力検出手段が、真空側の入口の真空度を検出し、 検出された真空度に基づき個別多段ポンプの回転数を設
定する制御回路を備えていることを特徴とする多段式真
空ポンプ。 - 【請求項６】 請求項４において、 各単段ポンプの出口温度を測定する温度センサを備え、 ガス通路内の温度を排気ガスが凝縮・固化しない温度に
保つように回転数を制御することができる制御回路を備
えていることを特徴とする多段式真空ポンプ。 - 【請求項７】 請求項４において、 隣り合う単段ポンプの吸入口と排気口とを連結する少な
くとも１つ以上の前記排気管に配設され、該排気管を冷
却するインタークーラを備えていることを特徴とする多
段式真空ポンプ。 - 【請求項８】 請求項７において、 前記インタクーラに対して、ガス通路内の温度を排気ガ
スが凝縮・固化しない温度に保つように流量が調整され
た冷却水を循環させる冷却水循環手段を備えていること
を特徴とする多段式真空ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33492496A JP3767052B2 (ja) | 1996-11-30 | 1996-11-30 | 多段式真空ポンプ |
| US08/980,848 US6056510A (en) | 1996-11-30 | 1997-12-01 | Multistage vacuum pump unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33492496A JP3767052B2 (ja) | 1996-11-30 | 1996-11-30 | 多段式真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10159775A true JPH10159775A (ja) | 1998-06-16 |
| JP3767052B2 JP3767052B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=18282771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33492496A Expired - Fee Related JP3767052B2 (ja) | 1996-11-30 | 1996-11-30 | 多段式真空ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6056510A (ja) |
| JP (1) | JP3767052B2 (ja) |
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| JP2003513200A (ja) * | 1999-10-26 | 2003-04-08 | アトラス コプコ エアーパワー，ナームローゼ フェンノートシャップ | 多段コンプレッサ装置及びそのような多段コンプレッサ装置を調整する方法 |
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| JP2021513023A (ja) * | 2018-02-02 | 2021-05-20 | 中山市天元真空設備技術有限公司Ｚｈｏｎｇｓｈａｎ Ｔｉａｎｙｕａｎ Ｖａｃｕｕｍ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ |
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|---|---|---|---|---|
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