JP4105605B2 - 真空ステーション及びその運転方法 - Google Patents

Description

本発明は、真空汚水管からの汚水を一旦集水した後に汚水処理場等へ送水する真空ステーション及びその運転方法に関するものである。

真空ステーションとは、汚水を収集する原動力となる真空を発生させ、また収集した汚水を一次貯留し、その後下水処理場、汚水中継ポンプ場、自然流下幹線まで輸送する施設をいい、真空を発生させる真空発生装置、集水した汚水を一次貯留する集水タンク、汚水を輸送する圧送ポンプ、これらの機器を制御する制御盤等により構成されている。

真空ステーションの形態として、独立ＲＣ構造の建物（地上一階、地下一階）の地下一階部分に集水タンク、圧送ポンプ、真空ポンプ等の機器を設置し、地上一階部分に制御盤、給水タンク、脱臭塔等を設置して構成されたものがある。しかしこの形態の真空ステーションは圧送ポンプの異物による閉塞の問題や、設備コストが高価である等の問題がある。

一方小規模な真空式下水収集システム（例えば３００人程度）においては、真空ステーションの形態として、設備構成が簡単で用地の取得が必要ないことから真空ポンプの代りにエジェクタと汚水循環ポンプをマンホール内に組み込んだユニット構造のものがある。エジェクタ式の長所としては、真空ポンプが不要、且つ集水タンクが密閉構造でないため、収集した汚水を自然流下により排水することで圧送ポンプを省略可能であり、設備構成を簡単にすることが出来ることがあげられる。しかしその反面、エジェクタノズルの異物通過粒径が小さくて閉塞の危険性があり、また到達真空度が低く（−６０〜−５０ｋＰａ）て運転効率が悪い等の問題点も指摘されている。

そのため小規模の真空ステーションでは、汚水の吸排水において異物による閉塞が生じ難く、設備コストが安価で、運転効率の良いタイプのものが求められていた。

例えば特許文献１に開示されている真空式汚水集排水装置は、ルーツ型多段真空ポンプ一台を用いて正転と逆転の自動運転をさせ、これによって集水タンク内への汚水の吸入と排出とを交互に行わせるように構成している。この真空式汚水集排水装置は、圧送ポンプを用いることなく汚水の集排水を行えるので異物によって閉塞し難く、また真空ポンプを用いているので到達真空度が高くて運転効率が良いという特徴を有する。

しかしながら特許文献１に記載の真空式汚水集排水装置では集水タンク及びルーツ型多段真空ポンプが一台であることから、万一真空ポンプが故障した場合汚水の集排水ができないという問題がある。真空式下水収集システムはその公共性から、システム全体が真空ポンプの故障などにより運転不能に陥らないようにその安全性を確保することが必須となっている。
特許第２６８４５２６号公報

本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、汚水の吸排水において異物による閉塞が生じ難く、設備コストが安価で、運転効率の向上及びシステム運転上の安定性向上を図ることができる真空ステーション及びその運転方法を提供することにある。

本願の請求項１に記載の発明は、集水タンクと、前記集水タンク内を減圧及び加圧する真空ポンプと、前記集水タンクに接続される汚水流入管及び汚水圧送管と、前記真空ポンプを運転制御する運転制御手段とを具備し、前記真空ポンプによって前記集水タンク内を減圧することで汚水流入管から集水タンク内に汚水を集水し、前記真空ポンプによって集水タンク内を加圧することで前記集水タンク内の汚水を前記汚水圧送管から排水する構成の真空ステーションにおいて、前記真空ポンプとして正転逆転運転可能なルーツ型真空ポンプを複数台設置し、前記運転制御手段は、少なくとも何れか一台の真空ポンプを正転運転させることで前記集水タンク内を減圧して集水タンク内に汚水を集水させ、集水タンク内の汚水が一定の水位に達したら少なくとも何れか一台の真空ポンプを逆転運転させることで前記集水タンク内を加圧して集水タンクから汚水を排水させ、さらに前記運転制御手段を内蔵する動力制御盤と前記複数台の真空ポンプとを一体にして構成されるユニット構造と、前記集水タンクをマンホール内に組み込むことで構成されるユニット構造とを、別々に設けたことを特徴とする真空ステーションである。

本願の請求項２に記載の発明は、前記運転制御手段は、真空ポンプの運転速度を必要に応じて増速制御する運転速度制御手段を具備していることを特徴とする請求項１に記載の真空ステーションである。

本願の請求項３に記載の発明は、集水タンクと、正転及び逆転することで前記集水タンク内を減圧及び加圧する複数台の真空ポンプと、前記集水タンクに接続される汚水流入管及び汚水圧送管とを具備する真空ステーションの運転方法であって、少なくとも何れか一台の真空ポンプを正転運転させることで集水タンク内を減圧して汚水流入管から集水タンク内へ汚水を集水する汚水収集運転モードと、少なくとも何れか一台の真空ポンプを逆転運転させることで集水タンク内を加圧して集水タンク内の汚水を汚水圧送管から排水する汚水排水運転モードとを、交互に行わせ、さらに一方の真空ポンプの運転が所定時間経過しても集水タンク内の真空度が所定の値に達しない場合は、他方の真空ポンプも同時に運転することを特徴とする真空ステーションの運転方法である。

本願の請求項４に記載の発明は、前記汚水収集運転モードの際は、運転する真空ポンプを交互に切り換えることを特徴とする請求項３に記載の真空ステーションの運転方法である。

本願の請求項５に記載の発明は、汚水収集運転モードと汚水排水運転モードとを切り代える際に何れかの真空ポンプを運転していた場合は、その運転していた真空ポンプをそのまま反転運転して次のモードの運転に用いることを特徴とする請求項３又は４に記載の真空ステーションの運転方法である。
本願の請求項６に記載の発明は、前記汚水収集運転モードにおいては、真空ポンプを集水タンク内の真空度が所定の運転開始真空度に達した場合に運転を開始し、且つ時間帯によって前記運転開始真空度の設定を変動させることを特徴とする請求項３に記載の真空ステーションの運転方法である。

請求項１に記載の発明によれば、真空ポンプを逆回転運転することで集水タンク内を加圧して汚水を搬送することができるため、圧送ポンプを省略可能にすることができ、異物による閉塞の危険性を回避できる。また複数台の真空ポンプを用いることで装置運転上の安全性を高めることができる。また真空ポンプ式なので、到達真空度が高くて運転効率が良い。

また請求項１に記載の発明によれば、動力制御盤と複数台の真空ポンプとを一体にしたユニット構造と、集水タンクをマンホール内部に組み込んだユニット構造とを、別々に設けたので、従来の真空ポンプ式の真空ステーションに比べ、設備構成を簡単にでき、建築用地取得を不要にできる。

請求項２に記載の発明によれば、運転制御手段に真空ポンプの運転速度を必要に応じて増速制御する運転速度制御手段（インバータ等）を設置したので、この運転速度制御手段を用いた制御により真空ポンプの増速運転が可能となり、さらにＰＬＣを使うことで制御盤の小型化、また真空ポンプの運転範囲設定を変動でき、幅広い設計条件に対応できると共に、効率の良い運転を行うことができる。

請求項３に記載の発明によれば、圧送ポンプを省略可能にすることができ、異物による閉塞の危険性を回避できる。また複数台の真空ポンプを用いることで装置運転上の安全性を高める制御方法が可能である。また真空ポンプ式なので、到達真空度が高くて運転効率が良い。また一方の真空ポンプの使用時間が過度にならず、装置運転上の安全性が向上する。

請求項４に記載の発明によれば、汚水収集運転モードの際に運転する真空ポンプを交互に切り換えるので、装置運転上の安全性が向上する。

請求項５に記載の発明によれば、モード切換時の圧力変動に要する時間を短縮できる。
請求項６に記載の発明によれば、時間帯によって発生汚水量の変動が激しい場合でも、経済的な運転が可能となる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施の形態にかかる真空ステーションの一例を示す全体概略構成図である。同図に示すようにこの真空ステーションは、マンホール１０内に設置される集水タンク２０と、地上に設置される二台の真空ポンプ４０−１，４０−２と、真空ポンプ４０−１，４０−２とともにユニット構造とされる動力制御盤５０と、前記真空ポンプ４０−１，４０−２からの排気を脱臭する脱臭装置６０とを具備して構成されている。以下各構成部分について説明する。

マンホール１０は地中に埋設された通常の組立マンホールである。集水タンク２０は一槽であり、逆止弁２１を介して汚水流入管（真空汚水管）２３が接続され、逆止弁２５を介して汚水圧送管２７が接続され、さらに内部の水位を検出する水位センサ２９が取り付けられている。この一槽の集水タンク２０はマンホール１０の内部に組み込まれることでユニット構造とされている。一方集水タンク２０と二台の真空ポンプ４０−１，４０−２との間は給排気管３１によって接続され、二台の真空ポンプ４０−１，４０−２と脱臭装置６０との間は給排気管３３によって接続され、その際二台の真空ポンプ４０−１，４０−２はこれら給排気管３１，３３に並列に接続されている。給排気管３１の各真空ポンプ４０−１，４０−２に接続される部分近傍には、仕切弁（電動仕切弁）３４と圧力センサ３５とが取り付けられており、また各真空ポンプ４０−１，４０−２の給排気管３３を接続する側にはサイレンサー４１が取り付けられている。真空ポンプ４０−１，４０−２は何れも正転逆転運転が可能なように、ルーツ型真空ポンプ（ルーツ型多段真空ポンプ）で構成されている。

動力制御盤５０はこの真空ステーションを運転制御する運転制御手段５５を具備する制御盤であり、キャビネット５１の上部に設置されている。キャビネット５１内の下部には前記二台の真空ポンプ４０−１，４０−２が収納されることでユニット構造とされ、省スペース化が図られている。なお動力制御盤５０と二台の真空ポンプ４０−１，４０−２とをユニット構造にするにはキャビネット５１を用いる構造に限定されず、種々の変更が可能であり、例えば動力制御盤５０（自立式動力制御盤）の下部に生じる空間に二台の真空ポンプ４０−１，４０−２を設置することでユニット構造としても良い。

運転制御手段５５には、前記水位センサ２９や圧力センサ３５からの検出信号が入力され、これらの信号に基いて前記二台の真空ポンプ４０−１，４０−２及び各種バルブの駆動制御を行う。またこの運転制御手段５５は、真空ポンプ４０−１，４０−２の運転速度を必要に応じて増速制御する運転速度制御手段（インバータ等）及びＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等を具備している。即ち二台の真空ポンプ４０−１，４０−２は何れも運転速度制御手段によって、真空ポンプ４０−１，４０−２の運転状況に応じて最適な回転数が得られるように制御され、例えば真空ポンプ４０−１，４０−２に印加される負荷が小さい場合は回転数を増大し（増速運転）、負荷が大きい場合は回転数を減少するように制御される。

脱臭装置６０は前記給排気管３３の一端に接続され、真空ポンプ４０−１，４０−２による排気時に集水タンク２０内から吸引される排気の臭気を脱臭するものであり、例えば活性炭等を用いて構成される。この脱臭装置６０には排気時にも給気時にもその内部を気体が通過する。

次に前記真空ステーションにおける運転制御方法を説明する。図２はこの真空ステーションにおける運転方法の一例を時間の経過と共に概略的に示した運転方法説明図である。この運転方法は、真空ポンプ４０−１，４０−２を正転運転させることで集水タンク２０内を減圧して集水タンク２０へ汚水を集水する汚水収集運転モードと、真空ポンプ４０−１，４０−２を逆転運転させることで集水タンク２０内を加圧して集水タンク２０から汚水を排水していく汚水排水運転モードとを、交互に行わせるものである。以下図２，図１を用いてこの運転方法を説明する。なおこの運転制御は、図１に示す運転制御手段５５が各種センサから入力した検出値に基いて、真空ポンプ４０−１，４０−２や仕切弁３４等を駆動することで行われる。

即ちまず汚水収集運転モードにおいては、集水タンク２０内の真空度が真空ポンプ４０−１，４０−２の運転を開始する値（例えば−６０ｋＰａ）に低下する毎に、何れかの真空ポンプ４０−１，４０−２の運転を開始し、所定の値（例えば−７０ｋＰａ）まで上昇すると前記運転を停止する。真空ポンプ４０−１，４０−２の運転・停止は交互に行う。即ち図２においては、最初は真空ポンプ４０−２を運転し（ａ部分）、次に真空ポンプ４０−１を運転し（ｂ部分）、次に真空ポンプ４０−２を運転する（ｃ部分）。これによって集水タンク２０内の真空度は常に−６０ｋＰａ〜−７０ｋＰａの間に維持され、集水タンク２０内には汚水流入管２３から汚水が流入し、貯水される。仕切弁３４はその仕切弁３４が取り付けられている真空ポンプ４０−１又は４０−２が運転（正転も逆転も含む）されている間は開、運転を停止している間は閉に切り換える。

なお上記真空ポンプ４０−１又は４０−２の運転を開始して、所定時間（例えば３０分）経過しても、集水タンク２０が所定の真空度（例えば−７０ｋＰａ）に達しないような場合は、もう一方の真空ポンプ４０−２又は４０−１も同時に運転し、これによって前記所定の真空度に達するように制御する。

以上のようにして汚水収集運転モードを継続していくことで、集水タンク２０内の汚水の水位が所定の水位（H.W.L）に達すると、汚水排水運転モードに切り替わって、何れか一方の真空ポンプ４０−２の逆転運転を開始する。図２において真空ポンプ４０−２の方を逆転運転させたのは、集水タンク２０内の汚水の水位が所定の水位（H.W.L）に達したときにこの真空ポンプ４０−２を正転運転させていたからである。つまり真空ポンプ４０−２を運転しているときは、仕切弁３４が開いている。そこで運転している真空ポンプ４０−２をそのまま逆転すれば、仕切弁３４を開閉動作させることなく、そのまま真空ポンプ４０−２の運転を逆転するだけで良くなり、その分仕切弁３４の開閉に必要な時間の無駄をカットすることができ、迅速な運転モードの転換が図れるからである。従って両真空ポンプ４０−１，４０−２が何れも運転されていない状態で集水タンク２０内の汚水の水位が所定の水位（H.W.L）に達した場合は、その直前に正転運転していなかった側の真空ポンプ４０−１又は４０−２を逆転運転すれば良い。

以上のように真空ポンプ４０−２を逆転運転すると、集水タンク２０内は即座に大気圧に戻り、さらに正圧に加圧されて行く。そして集水タンク２０内の正圧が所定値に達すると、集水タンク２０内の汚水は前記正圧に押されて汚水圧送管２７から排水されていく。前記排水は圧送ポンプを使用しないで行われ、汚水中に混在する異物は汚水圧送管２７と逆止弁２５を通過するだけなので、異物による閉塞は生じにくい。

前記汚水の排水によって集水タンク２０内の水位が所定の水位（L.W.L）まで低下したときは、再び汚水収集運転モードに切り替わって、何れか一方の真空ポンプ４０−２の正転運転を開始する。その場合、それまで逆転運転を行っていた真空ポンプ４０−２をそのまま正転運転に切り換えれば（ｄ部分）、前記と同様に仕切弁３４を開閉しなくて済むので、正圧から負圧への切り換えが迅速に行え、好適である。以下同様に汚水収集運転モードと汚水排水運転モードとを切り換えていくことで、集水タンク２０への汚水の収集と排水とが交互に行われていく。

一方真空ポンプ４０−１，４０−２によって生じる排気は図１に示す給排気管３３を通して脱臭装置６０に導かれ、脱臭された後に大気に放出される。ところで真空ポンプ４０−１，４０−２としてルーツ式真空ポンプを用いる場合、真空運転時の排気は温度が高く、給排気管３３及び脱臭装置６０が高温になる場合があるが、脱臭装置６０が活性炭の場合、一般に約４０℃以上の高温になると脱臭性能を発揮できない。このため従来は真空ポンプ４０−１，４０−２の排気側に冷却装置を設けて排気の温度を下げて脱臭装置に流入させていた。しかしながらこの真空ステーションにおいては、真空ポンプ４０−１，４０−２として正逆回転運転が可能な真空ポンプを用い、脱臭装置６０に排気時にも給気時にも気体が通過するように構成したので、逆回転運転時（汚水圧送時）は外気が脱臭装置６０、給排気管３３を流れて冷却効果（外気温となる）を生じる。このため前記冷却装置を不要にすることができ、コストの低下、及びシステムの小型化が図れる。

なおこの真空ステーションにおいては、一槽の集水タンク２０に接続した二台の真空ポンプ４０−１，４０−２の回転方向を切り替えることにより、「汚水収集」と「汚水排水」とを交互に繰り返すため、システムの安全面から、「汚水排水」の時間を極力短くし、できるだけ「汚水収集」に備えることが必要になる。特に「汚水排水」時には集水タンク２０内が一旦大気圧、正圧になるため、所定の真空圧にできるだけ早く到達させることが「汚水排水」時間の短縮となる。そこでこの真空ステーションにおいては、前述のように運転制御手段５５に真空ポンプ４０−１，４０−２の運転速度を増速する運転速度制御手段（インバータ等）を具備することにより、汚水排水時間（特に図２に示すｔ２，ｔ３，ｔ５の時間）を短縮するようにしている。

ところで従来、真空ポンプの運転真空度は、通常−６０〜−７０ｋＰａの範囲で運転するものとされている。しかしこの真空ステーションではこの運転真空度の設定を条件に応じて変更して制御することとした。以下にいくつかの設定例を示す。
設定例１（地形条件による設定例）
本発明が対象とする小規模な真空式下水収集システムの計画（３００人程度）においては、対象家屋の立地条件はさまざま（まばらで広い、密集して狭い）である。その立地条件に柔軟に対応するために真空ポンプの運転真空度の設定を変更して制御を行う。真空ポンプの運転真空度の設定によりシステムの運転状況には次のような傾向がある。
１．真空ポンプの運転真空度が高くなるほど風量が少なくなる。
２．真空ポンプの運転真空度を高くすると真空式下水収集システムの管路設計に用いる許容圧力損失が大きくなる。
よってまず、本発明の制御においては計画地域の収集可能人口と真空下水管のロス計算結果をもとに立地条件に応じてベースとなる運転範囲の設定を行う。真空ポンプ運転範囲により収集可能人口と許容圧力損失がどのように変化するか一例を図３に示した。この例に示すようにまばらで広い地区においては運転範囲の真空度を高く設定し、密集して狭い地区においては真空度を低く設定すると様々な地形条件に幅広く対応が可能となる。

設定例２（汚水量による設定例）
また小規模な計画では時間帯によって発生汚水量の変動が激しいため、時間帯によって運転範囲の設定を変動させることでより経済的な運転が可能となる。具体的には汚水量の多い朝夕と、汚水量の少ない夜間で真空ポンプの運転範囲を変えて運転する制御を行う。例えば汚水量の多い時間帯（例えば6:00〜10:00、18:00〜22:00）は運転開始真空度を高く（例えば−６０ｋＰａ）設定し、汚水量の少ない時間帯（例えば1:00〜6:00、13:00〜18:00）は運転開始真空度を低く（例えば−５０ｋＰａ）設定し、それ以外の時間帯（例えば10:00〜13:00、22:00〜1:00）は運転開始真空度を中間（例えば−５５ｋＰａ）に設定する。

ところで真空ポンプ４０−１，４０−２のＯＮ−ＯＦＦ運転制御は、上述のように通常集水タンク２０の真空度によって行う。しかし、小規模な真空式下水収集システムにおいては、末端の真空弁ユニットまでの総延長が短いことが多い。そのため図４（ａ），（ｂ）に示すように、本発明にかかる小型真空ステーションＳＴと末端の真空弁ユニット１００を架空又は地中に設置した信号線１１０で結び、真空ポンプ４０−１，４０−２の運転制御を末端の真空弁ユニット１００の圧力（圧力発信器１０３によって発信される真空汚水管２３内の圧力）により行うことも可能である。本発明においては末端の真空弁ユニット１００の圧力（真空度）が常に真空弁１０１の作動に必要な真空度となるように運転制御手段５５の運転速度制御手段を用いて回転数制御を行う。制御方法としては例えば以下の二つがある。なお真空汚水管２３の系統が複数系統ある場合は、それぞれの系統の末端の真空弁ユニット１００の圧力を検出して制御に用いれば良い。

方法１．通常の集水タンク２０の圧力による制御パターンに、末端の真空弁ユニット１００の圧力による起動条件（例えば、−２５ｋＰａ以下の真空度になったら真空ポンプ４０−１又は４０−２による排気を起動する）を追加する。

方法２．末端の真空弁ユニット１００の圧力の設定を例えば−２５ｋＰａ〜−３５ｋＰａとしてこの範囲に入るように真空ポンプ４０−１又は４０−２の運転・停止を行う。運転中は末端の真空弁ユニット１００の圧力と集水タンク２０の圧力の差圧をパラメータとして、差圧が増えると増速、減少すると減速する回転制御により真空ポンプ４０−１，４０−２を運転する。

なお上記実施の形態において、真空ポンプ４０−１，４０−２は場合によっては三台以上の複数台設置しても良い.

本発明の一実施の形態にかかる真空ステーションの一例を示す全体概略構成図である。 真空ステーションにおける運転方法説明図である。 真空ポンプ運転範囲と許容圧力損失及び収集可能人口の例を示す図である。 末端の真空弁ユニット１００を用いて真空ポンプ４０−１，４０−２の運転を制御する方法を示す図である。

符号の説明

１０ マンホール
２０ 集水タンク
２１ 逆止弁
２３ 汚水流入管（真空汚水管）
２５ 逆止弁
２７ 汚水圧送管
２９ 水位センサ
３１ 給排気管
３３ 給排気管
３４ 仕切弁
３５ 圧力センサ
４０−１，４０−２ 真空ポンプ
４１ サイレンサー
５０ 動力制御盤
５１ キャビネット
５５ 運転制御手段
６０ 脱臭装置
１００ 真空弁ユニット
１０１ 真空弁
１０３ 圧力発信器
１１０ 信号線

Claims (6)

1. 集水タンクと、前記集水タンク内を減圧及び加圧する真空ポンプと、前記集水タンクに接続される汚水流入管及び汚水圧送管と、前記真空ポンプを運転制御する運転制御手段とを具備し、前記真空ポンプによって前記集水タンク内を減圧することで汚水流入管から集水タンク内に汚水を集水し、前記真空ポンプによって集水タンク内を加圧することで前記集水タンク内の汚水を前記汚水圧送管から排水する構成の真空ステーションにおいて、
   前記真空ポンプとして正転逆転運転可能なルーツ型真空ポンプを複数台設置し、
   前記運転制御手段は、少なくとも何れか一台の真空ポンプを正転運転させることで前記集水タンク内を減圧して集水タンク内に汚水を集水させ、集水タンク内の汚水が一定の水位に達したら少なくとも何れか一台の真空ポンプを逆転運転させることで前記集水タンク内を加圧して集水タンクから汚水を排水させ、
   さらに前記運転制御手段を内蔵する動力制御盤と前記複数台の真空ポンプとを一体にして構成されるユニット構造と、前記集水タンクをマンホール内に組み込むことで構成されるユニット構造とを、別々に設けたことを特徴とする真空ステーション。
2. 前記運転制御手段は、真空ポンプの運転速度を必要に応じて増速制御する運転速度制御手段を具備していることを特徴とする請求項１に記載の真空ステーション。
3. 集水タンクと、正転及び逆転することで前記集水タンク内を減圧及び加圧する複数台の真空ポンプと、前記集水タンクに接続される汚水流入管及び汚水圧送管とを具備する真空ステーションの運転方法であって、
   少なくとも何れか一台の真空ポンプを正転運転させることで集水タンク内を減圧して汚水流入管から集水タンク内へ汚水を集水する汚水収集運転モードと、少なくとも何れか一台の真空ポンプを逆転運転させることで集水タンク内を加圧して集水タンク内の汚水を汚水圧送管から排水する汚水排水運転モードとを、交互に行わせ、
   さらに一方の真空ポンプの運転が所定時間経過しても集水タンク内の真空度が所定の値に達しない場合は、他方の真空ポンプも同時に運転することを特徴とする真空ステーションの運転方法。
4. 前記汚水収集運転モードの際は、運転する真空ポンプを交互に切り換えることを特徴とする請求項３に記載の真空ステーションの運転方法。
5. 汚水収集運転モードと汚水排水運転モードとを切り代える際に何れかの真空ポンプを運転していた場合は、その運転していた真空ポンプをそのまま反転運転して次のモードの運転に用いることを特徴とする請求項３又は４に記載の真空ステーションの運転方法。
6. 前記汚水収集運転モードにおいては、真空ポンプを集水タンク内の真空度が所定の運転開始真空度に達した場合に運転を開始し、
   且つ時間帯によって前記運転開始真空度の設定を変動させることを特徴とする請求項３に記載の真空ステーションの運転方法。

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