JPH10156778A - 吸着用パッド - Google Patents

吸着用パッド

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JPH10156778A
JPH10156778A JP32438296A JP32438296A JPH10156778A JP H10156778 A JPH10156778 A JP H10156778A JP 32438296 A JP32438296 A JP 32438296A JP 32438296 A JP32438296 A JP 32438296A JP H10156778 A JPH10156778 A JP H10156778A
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JP
Japan
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main body
attachment
work
suction pad
conductive
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Pending
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JP32438296A
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English (en)
Inventor
Shigekazu Nagai
茂和 永井
Masayoshi Yamamoto
正義 山本
Yukie Aoyanagi
幸枝 青柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
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Publication of JPH10156778A publication Critical patent/JPH10156778A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高温雰囲気中で使用してもワークに吸着跡が付
着することがなく、導電性を有することにより静電気の
発生を阻止する吸着用パッドを提供する。 【解決手段】取付部材12の縮径部28には導電性シリ
コンゴムの如き材料で形成された本体部32の縮径部4
0が嵌合する。該本体部32には蛇腹部52が形成さ
れ、当該本体部32の下部には導電性ポリテトラフルオ
ロエチレンの如き材料で形成されたアタッチメント60
が着脱自在に設けられる。この吸着用パッド10が高温
雰囲気中でワーク70を吸着する際、前記アタッチメン
ト60は油脂成分を含まないので前記ワーク70に吸着
跡が付着する懸念がなく、また、前記吸着用パッド10
は導電性を有する材料で形成されているため、前記ワー
ク70に静電気が発生することもない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク等を吸着
し、あるいは、吸着したワークを保持して搬送するため
の吸着用パッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、ワーク等を搬送するため
に、真空吸引源に連結される吸着用パッドが用いられて
いる。ところが、この吸着用パッドに含まれる油脂成分
が溶解して、ワークに吸着跡が付着してしまうという問
題があった。このため、吸着用パッドを形成するゴムの
材料を変更したり、吸着用パッドに表面処理を施して該
吸着跡がワークに付着することを防止している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術に係る吸着用パッドでは、高温雰囲気中で使用すると
ゴムとしての物性が劣化するため、前記環境下で使用す
ることができなかった。また、このような吸引用パッド
では、ワークに静電気が発生することを阻止するために
導電性を持たせることができなかった。
【0004】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、高温雰囲気中で使用してもワークに吸着
跡が付着することがなく、導電性を有することにより静
電気の発生を阻止する吸着用パッドを提供することを目
的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、真空吸引源に接続され、該真空吸引源
に連通する孔部が画成されると共に、導電性を有する材
料で形成された筒状の取付部材と、前記取付部材に接続
され、導電性を有する合成ゴムにより形成された筒状の
本体部と、前記本体部の端部に設けられると共に前記筒
状部材の孔部に連通する孔部が画成され、導電性を有す
る合成樹脂で形成されたアタッチメントと、を備えるこ
とを特徴とする。
【0006】本発明によれば、ワーク等の被搬送物に当
接するアタッチメントが導電性を有する合成樹脂で形成
されているため、高温雰囲気中で油脂成分が流出して被
搬送物に吸着跡が付着することがなく、また、被搬送物
を吸着する際に静電気が発生する懸念もない。一方、被
搬送物に静電気が発生していた場合であっても、該被搬
送物に吸着用パッドが当接することにより静電気を放電
することができ、好適である。
【0007】この場合、前記本体部は導電性シリコンゴ
ムで形成され、一方、前記アタッチメントは導電性ポリ
テトラフルオロエチレンで形成されると、高温雰囲気中
で吸着跡が付着する懸念がなくなると共に、被搬送物に
静電気が発生することのない吸着用パッドを得ることが
できる。
【0008】また、この場合、前記本体部には蛇腹部が
形成され、該本体部が伸縮自在に構成されると、この吸
着用パッドの柔軟性が高くなり、被搬送物を損傷させる
ことがなく、好ましい。
【0009】さらに、この場合、前記アタッチメントの
外周には突部が形成され、一方、前記本体部には前記突
部に嵌合可能な凹部が形成され、前記本体部の弾性によ
って前記凹部を形成する壁部が前記突部に嵌合すること
により、前記アタッチメントは前記本体部に対して着脱
自在に構成されている。従って、該アタッチメントを本
体部から取り外すことにより、前記アタッチメントの洗
浄、交換が容易になり、一層好適である。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明に係る吸着用パッドについ
て、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【0011】図1において、参照符号10は、本実施の
形態に係る吸着用パッドを示す。この吸着用パッド10
は、金属の如き材料で略円筒状に形成された取付部材1
2を備え、該取付部材12の上部には段部18が形成さ
れ、該段部18にはワッシャ20が嵌合する。前記段部
18の上部には図示しないロボットアーム等に接続する
ための雄ねじ24が螺刻され、前記取付部材12の孔部
22は図示しない真空吸引源に連通する。前記取付部材
12の下部には縮径部28が形成され、該縮径部28の
下端部は周回して外方へと突出する突部30として形成
される。前記突部30の下方側は徐々に縮径されてテー
パ面30aとして形成されている。
【0012】前記縮径部28は、導電性シリコンゴムの
如き材料で略筒状に形成された本体部32の上部にその
軸線方向に沿うように形成された孔部34が嵌合する。
該孔部34の下方側には前記取付部材12の突部30の
形状に対応した雌形状の凹部36が形成され、従って、
該凹部36は前記取付部材12の前記突部30と密着す
るように嵌合する。前記本体部32の上部外周には段部
38を介して縮径部40が形成され、該縮径部40には
周回する突部42が形成される。前記縮径部40にはリ
ング部材44が嵌合し、前記突部42は前記リング部材
44の内周に画成された周回する溝部46に位置する。
【0013】前記本体部32には、下方に向かって徐々
に拡径する円錐部48と、該円錐部48の下端部と一体
的に形成された周回するリブ部49と、このリブ部49
を経て前記円錐部48の下方に延在して徐々に縮径する
円錐部50と、前記円錐部50の下部に一体的に設けら
れ、その外周が徐々に拡径したスカート部54とが形成
される。該スカート部54の内周には周回する溝状の凹
部56が画成されると共に、該凹部56を形成する壁部
には下方に向かって拡径する傾斜部58が設けられてい
る。
【0014】図1から容易に諒解されるように、前記円
錐部48と円錐部50によって蛇腹部52が形成され、
従って、本体部32は図1において上下方向に伸縮自在
に構成されている。この結果、蛇腹部52の内部は吸引
室53として形成されている。
【0015】前記スカート部54の下部には導電性ポリ
テトラフルオロエチレンの如き、耐熱性と導電性とを兼
ね備えた樹脂で形成されたアタッチメント60が着脱自
在に嵌合する。すなわち、該アタッチメント60の上部
には半径方向外方に突出した突部62が形成され、前記
アタッチメント60が前記本体部32と係合するときに
該突部62が前記本体部32の凹部56に嵌合する。こ
のとき、前記本体部32を形成する導電性シリコンゴム
は弾性を有しているため、前記アタッチメント60は前
記本体部32に弾性的に保持される。前記アタッチメン
ト60の下部は前記スカート部54の下部を覆うよう
に、図1において水平方向外方へと延在するフランジ部
64として形成される。従って、該フランジ部64の下
面66は後述するワーク70に当接自在である。なお、
図1中、参照符号67は、取付部材12の孔部22、本
体部32の吸引室53と軸線を同じとし、且つこれらに
連通する孔部を示す。
【0016】本実施の形態に係る吸着用パッド10は、
基本的には以上のように構成されるものであり、次にそ
の動作並びに作用効果について説明する。
【0017】先ず、図示しないロボットアームの先端に
雄ねじ24を利用して吸着用パッド10が装着される。
そして、前記ロボットアームを移動させると、該吸着用
パッド10は、例えば、高品質ガラス等のワーク70の
上方から該ワーク70に向かって下降する。このため、
前記アタッチメント60の下面66はワーク70の上面
に当接する。このとき、本体部32の蛇腹部52が縮む
ことによりワーク70を必要以上に押圧することが阻止
され、ワーク70が損傷する懸念がない。
【0018】次に、図示しない真空吸引源を付勢する
と、吸引室53、孔部22を経て空気が吸引されて前記
吸引室53は負圧状態になる。従って、該吸引室53の
減圧作用下にワーク70は吸着用パッド10に吸着され
る。その後、ロボットアーム等の変位動作下に吸引用パ
ッド10はワーク70を搬送し、該ワーク70を所定の
位置に載置した後、真空吸引源を停止して孔部22を通
して大気圧からなる空気を吸引室53に導入し、ワーク
70を離脱せしめる。
【0019】その際、ワーク70に当接するアタッチメ
ント60は耐熱性のある合成樹脂、この実施の形態で
は、ポリテトラフルオロエチレンで形成されているた
め、油脂成分が含まれておらず、高温雰囲気中で使用さ
れてもワーク70に吸着跡が付着することはない。ま
た、アタッチメント60、本体部32、取付部材12は
導電性を有する材料で形成されているため、ワーク70
に静電気が発生する懸念がない。ワーク70にすでに静
電気が発生していた場合には、この静電気がアタッチメ
ント60、本体部32、取付部材12を通って放電さ
れ、ワーク70に静電気が帯電することもない。
【0020】アタッチメント60が汚染等により洗浄や
交換が必要となった場合には、突部62と本体部32の
凹部56との係合を解除して該アタッチメント60を本
体部32のスカート部54から取り外し、当該アタッチ
メント60を洗浄、または交換して再びスカート部54
に取り付ければよく、吸着用パッド10を清潔に保つこ
とができる。
【0021】
【発明の効果】本発明に係る吸着用パッドによれば、以
下のような効果ならびに利点が得られる。
【0022】本体部は導電性を有する合成ゴムにより形
成され、アタッチメントは導電性合成樹脂により形成さ
れているため、高温雰囲気中で使用してもワークに吸着
跡が付着することがなく、ワークに静電気が発生する懸
念もない。
【0023】また、本体部に蛇腹部が形成されているた
め、ワークを損傷させることが防止され、この吸着用パ
ッドを使用した製造ライン等において、ワークの不良の
発生を低減させることができる。さらに、アタッチメン
トが本体部に対して着脱自在に構成されているため、該
アタッチメントの洗浄、交換が容易で保守点検が簡易と
なる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る吸着用パッドを示す
縦断面図である。
【符号の説明】
10…吸着用パッド 12…取付部材 32…本体部 52…蛇腹部 56…凹部 60…アタッチメン
ト 62…突部 70…ワーク

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】真空吸引源に接続され、該真空吸引源に連
    通する孔部が画成されると共に、導電性を有する材料で
    形成された筒状の取付部材と、 前記取付部材に接続され、導電性を有する合成ゴムによ
    り形成された筒状の本体部と、 前記本体部の端部に設けられると共に前記筒状部材の孔
    部に連通する孔部が画成され、導電性を有する合成樹脂
    で形成されたアタッチメントと、 を備えることを特徴とする吸着用パッド。
  2. 【請求項2】請求項1記載の吸着用パッドにおいて、 前記本体部は導電性シリコンゴムで形成され、一方、前
    記アタッチメントは導電性ポリテトラフルオロエチレン
    で形成されることを特徴とする吸着用パッド。
  3. 【請求項3】請求項1または2記載の吸着用パッドにお
    いて、 前記本体部には蛇腹部が形成され、該本体部が伸縮自在
    に構成されることを特徴とする吸着用パッド。
  4. 【請求項4】請求項1乃至3のいずれか1項に記載の吸
    着用パッドにおいて、 前記アタッチメントの外周には突部が形成され、一方、
    前記本体部には前記突部に嵌合可能な凹部が形成され、
    前記本体部の弾性によって前記凹部を形成する壁部が前
    記突部に嵌合することにより、前記アタッチメントは前
    記本体部に対して着脱自在に構成されることを特徴とす
    る吸着用パッド。
JP32438296A 1996-12-04 1996-12-04 吸着用パッド Pending JPH10156778A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102233580A (zh) * 2010-05-06 2011-11-09 日月光半导体制造股份有限公司 吸嘴及自动搬运装置
JP6103618B1 (ja) * 2016-09-15 2017-03-29 容淳 文岩 真空吸着パッド
WO2020003979A1 (ja) * 2018-06-28 2020-01-02 平田機工株式会社 パッド部材を備えたロボットハンド
CN110696032A (zh) * 2019-10-11 2020-01-17 河海大学常州校区 柔性抓取器拆装组件及柔性抓取器
KR20220057870A (ko) * 2020-10-30 2022-05-09 (주)티에스이 반도체 패키지의 테스트 장치

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102233580A (zh) * 2010-05-06 2011-11-09 日月光半导体制造股份有限公司 吸嘴及自动搬运装置
JP6103618B1 (ja) * 2016-09-15 2017-03-29 容淳 文岩 真空吸着パッド
JP2018043318A (ja) * 2016-09-15 2018-03-22 容淳 文岩 真空吸着パッド
WO2020003979A1 (ja) * 2018-06-28 2020-01-02 平田機工株式会社 パッド部材を備えたロボットハンド
CN110696032A (zh) * 2019-10-11 2020-01-17 河海大学常州校区 柔性抓取器拆装组件及柔性抓取器
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