CN102233580A - 吸嘴及自动搬运装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种吸嘴,其包括吸取部。吸取部具有弹性及适于与待搬运物相接触的接触表面。吸取部适于连接至机器人且连通至真空泵以真空抓取待搬运物。接触表面的中心线平均粗糙度大于13.99微米或者接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。本发明提供的吸嘴可减少在待搬运物上静电电荷的产生。本发明还公开了一种自动搬运装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种吸嘴及自动搬运装置,且特别是涉及一种可通过真空抓取待搬运物的吸嘴及采用此吸嘴的自动搬运装置。
背景技术
在日常生活环境中,静电放电的现象随处可见。基本上,由于电子对于各种物体的亲和力不同,故任何两个物体接触之后再分开,便很容易产生物体间电荷转移的现象,造成静电的累积。一旦物体中的静电累积到一定程度,当此带静电的物体触碰或接近另一个与其电位不同的物体时,便会发生瞬间电荷转移的现象,即是所谓的静电放电。
目前半导体封装工艺大多通过自动化的输送设备来进行晶片以及封装后的成品与半成品在各工艺站台之间的传输。然而,输送设备的自动搬运装置在取放半导体构件的传输过程中,由于自动搬运装置的吸嘴与半导体构件表面因接触摩擦而易产生大量的静电电荷,而这些过量的静电电荷将在半导体集成电路芯片被吸嘴释放后接触承载装置时因静电放电而使得芯片内的线路或元件受损。
发明内容
本发明提供一种吸嘴,可减少在待搬运物上静电电荷的产生。
本发明提供一种自动搬运装置,其可减少在待搬运物上静电电荷的产生。
本发明提出一种吸嘴,其包括吸取部。吸取部具有弹性及适于与待搬运物相接触的接触表面。吸取部适于连接至机器人且连通至真空泵以真空抓取待搬运物。接触表面的中心线平均粗糙度大于13.99微米,或者是,接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。
本发明还提出一种自动搬运装置,其包括机器人、真空泵以及吸嘴。吸嘴包括吸取部。吸取部具有弹性及适于与待搬运物接触的接触表面。吸取部连接机器人且连通至真空泵以真空抓取待搬运物。接触表面的中心线平均粗糙度大于13.99微米,或者是,接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。
基于上述,由于本发明的吸嘴的吸取部,其与待搬运物的接触表面具有特定粗糙度,所以当吸取部通过真空泵所提供的真空以抓取待搬运物时,可减少吸取部与待搬运物之间因接触摩擦而产生的静电电荷。因此,本发明的吸嘴可有效减少静电放电对待搬运物的不良影响。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合附图作详细说明如下。
附图说明
图1为本发明的实施例的一种自动搬运装置的示意图。
图2A至图2C绘示图1的自动搬运装置将待搬运物从承载装置搬运至另一承载装置。
附图标记说明
10:待搬运物
20、30:承载装置
100:自动搬运装置
110:机器人
110a:支臂
120:真空泵
130:吸嘴
132:吸取部
132a:接触表面
134:接头部
具体实施方式
图1为本发明的实施例的一种自动搬运装置的示意图。请参考图1,在本实施例中,自动搬运装置100包括机器人110、真空泵120以及吸嘴130。
吸嘴130包括吸取部132,吸取部132具有弹性及接触表面132a,且吸取部132连通至真空泵120。接触表面132a适于接触如图2A所示的待搬运物10。
为了减少静电电荷的产生,吸取部132的接触表面132a的中心线平均粗糙度大于13.99微米,或者是,接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。
在上述特定粗糙度之下,对于抓取图2A所示的待搬运物10,吸取部132可维持足够的真空吸力,但却又可以减少吸取部132与待搬运物10之间因接触摩擦而产生的静电电荷,以降低静电放电对于待搬运物10的不良影响。
在本实施例中,吸嘴130还可包括接头部134,其中接头部134与吸取部132可以是一体成形,且接头部134适于组装至机器人110的支臂110a或类似构件。简言之,吸取部132是通过接头部134而连接至机器人110。
在本实施例中,吸取部132可直接连通至真空泵120。在另一未绘示的实施例中,真空泵120的管路可穿过机器人110的支臂110a及接头部134来连通至吸取部132。
在本实施例中,吸取部132的材料包括消散性材料(Static DissipativeMaterials),且此消散性材料的阻抗范围介于1x106欧姆至1x109欧姆之间。通过采用消散性材料,也可减少吸取部132与待搬运物10之间因接触摩擦而产生的静电电荷。
以下对于自动搬运装置100搬运待搬运物10的过程作说明。
图2A至图2C绘示图1的自动搬运装置将待搬运物从承载装置搬运至另一承载装置。请先参考图2A,机器人110带动吸嘴130靠近待搬运物10,并通过真空泵120使吸取部132产生真空吸力,以吸取待搬运物10。待搬运物10例如是芯片封装体,且待搬运物10已预先放置于承载装置20中。
接着,请参考图2B,机器人110通过支臂110a带动吸嘴130远离承载装置20,以连带地使吸嘴130所吸取的待搬运物10远离承载装置20。
最后,请参考图2C,机器人110带动吸嘴130移动至另一承载装置30的上方。此时,真空泵120停止供应真空,以使吸取部132释放待搬运物10,而将待搬运物10放置于承载装置30中。
由于吸取部132与待搬运物10接触的接触表面132a具有特定粗糙度,所以吸取部132于吸取与释放待搬运物10的过程中,可减少吸取部132与待搬运物10之间因接触摩擦而产生的静电电荷,以减少静电放电对待搬运物10的不良影响。
综上所述,由于吸嘴的吸取部其与待搬运物的接触表面具有特定粗糙度,所以当吸取部通过真空泵所提供的真空以抓取待搬运物时,可减少吸取部与待搬运物之间因接触摩擦而产生的静电电荷。因此,本发明的吸嘴可有效减少静电放电对待搬运物的不良影响。
虽然本发明已以实施例披露如上,然其并非用以限定本发明,任何所属技术领域中普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,故本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定为准。
Claims (8)
1.一种吸嘴,包括:
吸取部,具有弹性及适于与待搬运物相接触的接触表面,其中该吸取部适于连接至机器人且连通至真空泵以真空抓取该待搬运物,且该接触表面的中心线平均粗糙度范围为大于13.99微米,或者是,该接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。
2.如权利要求1所述的吸嘴,其中该吸取部的材料包括消散性材料。
3.如权利要求2所述的吸嘴,其中该消散性材料的阻抗范围介于1x106欧姆至1x109欧姆之间。
4.如权利要求1所述的吸嘴,还包括接头部,与该吸取部一体成形,并适于组装至该机器人。
5.一种自动搬运装置,包括:
机器人;
真空泵;以及
吸嘴,包括:
吸取部,具有弹性及适于与待搬运物接触的接触表面,其中该吸取部连接该机器人且连通至该真空泵以真空抓取该待搬运物,且该接触表面的中心线平均粗糙度范围为大于13.99微米,或者是,该接触表面的最大高度粗糙度大于18微米。
6.如权利要求5所述的自动搬运装置,其中该吸取部的材料包括消散性材料。
7.如权利要求6所述的自动搬运装置,其中该消散性材料的阻抗范围为介于1x106欧姆至1x109欧姆之间。
8.如权利要求5所述的自动搬运装置,其中该吸嘴还包括接头部,该接头部与该吸取部一体成形,且该接头部组装至该机器人。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010174033XA CN102233580A (zh) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 吸嘴及自动搬运装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201010174033XA CN102233580A (zh) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 吸嘴及自动搬运装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102233580A true CN102233580A (zh) | 2011-11-09 |
Family
ID=44884945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010174033XA Pending CN102233580A (zh) | 2010-05-06 | 2010-05-06 | 吸嘴及自动搬运装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102233580A (zh) |
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- 2010-05-06 CN CN201010174033XA patent/CN102233580A/zh active Pending
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Application publication date: 20111109 |