JP5913876B2 - ダイボンダ - Google Patents
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Description
この特許文献1は、ワイヤボンディングツールに導電性付与剤を含有させ表面抵抗値を106〜109Ω・cmにし、ワイヤボンディングツールが適度な速度で移動している間に、静電気を逃がすことが記載されている。
つまり、コレットの材質は主にゴム(ゴムは通常、電気抵抗率が大きく、1010Ω・cm以上となっている)であり、ゴムは静電気がたまりやすい。特にダイをコレットで吸着させ、ウエハテープから剥がす時静電気が発生し、この静電気がコレットに溜まってしまう。
ダイボンダは、グランドに接地されてダイを保持および開放するコレットを有するボンディングヘッドと、前記コレットの電位を計測する電位計と、前記電位計の結果に基づいて、前記コレットが前記グランドに接地されているか否かを判断する接地判断手段と、
を有する。
図1において、ダイボンダは大別するとウエハ供給部1と、基板供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とを有する。基板供給・搬送部2はスタックローダ21と、基板フィーダ22と、アンローダ23とを有する。スタックローダ21によりフレームフィーダ22に供給された基板は、基板フィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送される。
図2において、ウエハテーブル13上にはウエハ24が搭載されている。このウエハ24のピックアップ部28部分からダイ(詳細は後述する)がピックアップされ、ピックアップされたダイを基板(図示せず)上にボンディングするものである。ダイをウエハ24から剥離する場合にコレット25が用いられる。
図3において、ボンディングヘッド33に取り付けられたコレット25には複数の吸着穴25aが設けられており、この吸着穴25aの一端は真空ポンプ(図示せず)と連通しているため真空ポンプの働きによりダイ34は吸着穴25aに吸着する。ダイ34がコレット25の吸着穴25aに吸着されると、ウエハテープ24aからダイ34が剥がされる。この剥がし作業をより確実に行うため、ウエハテープ24aの下方には突き上げユニット26が設けられている。
図4において、本図ではトレイ30が搬送シュート30a上に搭載された状態を示している。このトレイ30は矢印方向に進行し、コレット25によって吸着されたダイ34をトレイ30に入れるものである。ボンディングヘッド33とコレット25は点線で示すようにウエハテーブル13上にあるウエハ24のピックアップ部28に移動してダイ34を吸着したのちトレイ30上に移動するようになっている。
図5では、搬送シュート30a上のトレイ30の真上にコレット25が移動し、コレット25の吸着穴25aと連通する真空ポンプ遮断してダイ34がトレイ30内にプレースして収納された状態を示している。
図6は本発明の一実施例に係るコレットの斜視図である。
図7は本発明の一実施例に係るコレットの断面図である。
なお、本図では電位計36として図示したが、設置場所等の問題があり、設置されない可能性がある。その場合は、ボンドヘッドに取り付けたコレット25が電位測定位置に移動し、その場で手動にてコレット25及びダイ(ワーク)の電位を測定しコレットの電位から電気抵抗率値を判断することも可能である。
図8において、
(1)ウエハテープ上に貼り付けられたダイをコレットの吸引力で吸い付けることでダイを剥離させる(101)
(2)剥離することによってダイが帯電(102)
(3)帯電したダイを吸着したことによってコレット自身も帯電(103)
(4)コレットの電気抵抗率測定回数が到達していることを確認(104)
(5)コレットの電位から電気抵抗率値を測定(105)
(6)コレット電気抵抗率値が106〜109Ω・cmであるかを判断(106)
(6)YESであればコレットのGNDは正常(107)
(7)NOであればコレットのGNDは異常(108)
(8)異常はコレットの交換を行う(109)
このように、本実施例ではコレット25やダイ(ワーク)などの電位状況からコレット自体の電気抵抗率値を判断して、異常値を得た場合、GNDの接地を調査することで、安全かつ迅速にコレットやダイ(ワーク)などから除電を行うことができるものである。したがって、コレットやダイ(ワーク)などの帯電によって静電破壊を防止することができる。また、静電気によってダイ(ワーク)などを対象物(基板やトレイなど)へのプレースミスを防止できる。
(1)ウエハテープ上に貼り付けられたダイをコレットの吸引力で吸い付けることでダイを剥離させる(201)
(2)剥離することによってダイが帯電(202)
(3)帯電したダイを吸着したことによってコレット自身も帯電(203)
(4)ダイの電位から電気抵抗率値を測定(204)
(5)ダイ電気抵抗率値が106〜109Ω・cmであるかを判断(205)
(6)YESであればコレットのGNDは正常(206)
(7)NOであればコレットのGNDは異常(207)
(8)異常はコレットの交換を行う(208)
このように、本実施例ではコレットやダイ(ワーク)などの電位状況からコレット自体の電気抵抗率値を判断して、異常値を得た場合、GNDの接地を調査することに安全かつ迅速にコレットやダイ(ワーク)などから除電を行うことができるものである。したがって、コレットやダイ(ワーク)などの帯電によって静電破壊を防止することができる。
また、静電気によってダイ(ワーク)などを対象物(基板やトレイなど)へのプレースミスを防止できる。
a…アース線。
Claims (3)
- トレイと、
グランドに接地されてダイを保持および開放するコレットを有するボンディングヘッドと、
前記コレットの電位を計測する電位計と、
前記電位計の結果に基づいて、前記コレットが前記グランドに接地されているか否かを判断する接地判断手段と、
を有し、
前記ボンディングヘッドは、ウエハテープ上のダイ(ワーク)を前記コレットに吸着させ、前記トレイまで搬送して前記トレイ内に前記ダイを格納し、前記トレイから前記ダイを取り出して基板の実装することを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1記載のダイボンダにおいて、
前記電位計で測定された電位を電気抵抗率に変換する電気抵抗率変更手段を有することを特徴とするダイボンダ。 - 請求項2に記載のダイボンダにおいて、
前記接地判断手段は、前記電気抵抗率が106Ω・cm以上かつ109Ω・cm以下であるかないかを判断することを特徴とするダイボンダ。
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