JPH10146513A - 充填塔式集塵装置 - Google Patents
充填塔式集塵装置Info
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- JPH10146513A JPH10146513A JP8308483A JP30848396A JPH10146513A JP H10146513 A JPH10146513 A JP H10146513A JP 8308483 A JP8308483 A JP 8308483A JP 30848396 A JP30848396 A JP 30848396A JP H10146513 A JPH10146513 A JP H10146513A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】充填塔式集塵装置において充填材の洗浄を装置
を停止させることなく行うことができ長時間連続運転可
能な充填塔式集塵装置を提供する。 【解決手段】充填塔式集塵装置内の充填材４を分割して
回転させ、任意の時期に洗浄液６の中に浸し乾燥空気に
より充填材４に付着した反応生成生物を除去し、充填材
４の目づまりを防止する。
を停止させることなく行うことができ長時間連続運転可
能な充填塔式集塵装置を提供する。 【解決手段】充填塔式集塵装置内の充填材４を分割して
回転させ、任意の時期に洗浄液６の中に浸し乾燥空気に
より充填材４に付着した反応生成生物を除去し、充填材
４の目づまりを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は充填塔式集塵装置に
関し、特に半導体装置の有害物質またはダストを含む排
気ガスを洗浄する充填塔式集塵装置に関する。
関し、特に半導体装置の有害物質またはダストを含む排
気ガスを洗浄する充填塔式集塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の充填塔式集塵装置の一例を
示す模式図である。従来、この種の充填塔式集塵装置
は、例えば、図３に示すように、吸気口１と排気口２と
をもつ塔本体と、洗浄液６を供給する給水ノズル８と、
有害物質を分離する充填材４と、水分を除去するデミス
タ５と、分離された洗浄液６を循環させる循環ポンプ７
と、排気ガスが塔本体内で充填材４に流れる様にする為
の斜向板３とを有していた。また、洗浄液６の循環ライ
ンには、給水バルブ９と給水口１０と排水バルブ１１と
排水口１２が設けられ、定期的に洗浄液６の入れ替えを
行い洗浄液６の劣化を防いでいた。
示す模式図である。従来、この種の充填塔式集塵装置
は、例えば、図３に示すように、吸気口１と排気口２と
をもつ塔本体と、洗浄液６を供給する給水ノズル８と、
有害物質を分離する充填材４と、水分を除去するデミス
タ５と、分離された洗浄液６を循環させる循環ポンプ７
と、排気ガスが塔本体内で充填材４に流れる様にする為
の斜向板３とを有していた。また、洗浄液６の循環ライ
ンには、給水バルブ９と給水口１０と排水バルブ１１と
排水口１２が設けられ、定期的に洗浄液６の入れ替えを
行い洗浄液６の劣化を防いでいた。
【０００３】次にこの充填塔式集塵装置の動作について
説明する。まず、有害ガスまたはダストを含む排ガスが
吸気口１より充填塔の塔本体に送り込まれる。次に斜向
板３により排ガスが塔本体内で乱流にならない様に整流
にされ、充填材４の上部に設けられた給水ノズル８より
洗浄液６が吹き出され下方の充填材４の充填物の表面で
水膜を形成したり、送り込まれてきた排ガスと直接慣性
衝突を起こしたりして微細粒子の拡散付着により、洗浄
集塵処理が行われていた。後段のデミスタ５により水分
が除去され、清浄化した排ガスが排気口２より放出され
ていた。また、洗浄液６は、循環ポンプ７により充填塔
を循環しており充填塔内の洗浄液６の保有量が一定にな
る様に調整されていた。また、洗浄液６は、液の劣化を
防ぐ為に、定期的に排水バルブ１２を開にし排水口１１
より排水され、塔本体内の液の保有量が一定になるよう
に給水バルブ９を開にし給水口１０より排水された分の
洗浄液６の補充が行われていた。
説明する。まず、有害ガスまたはダストを含む排ガスが
吸気口１より充填塔の塔本体に送り込まれる。次に斜向
板３により排ガスが塔本体内で乱流にならない様に整流
にされ、充填材４の上部に設けられた給水ノズル８より
洗浄液６が吹き出され下方の充填材４の充填物の表面で
水膜を形成したり、送り込まれてきた排ガスと直接慣性
衝突を起こしたりして微細粒子の拡散付着により、洗浄
集塵処理が行われていた。後段のデミスタ５により水分
が除去され、清浄化した排ガスが排気口２より放出され
ていた。また、洗浄液６は、循環ポンプ７により充填塔
を循環しており充填塔内の洗浄液６の保有量が一定にな
る様に調整されていた。また、洗浄液６は、液の劣化を
防ぐ為に、定期的に排水バルブ１２を開にし排水口１１
より排水され、塔本体内の液の保有量が一定になるよう
に給水バルブ９を開にし給水口１０より排水された分の
洗浄液６の補充が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】第１の問題点は、この
従来の充填塔式集塵装置では、２４時間フル稼働の半導
体装置を製造する半導体工場の場合、圧力損失が高いと
言うリスクをかかえた状態で運転しなくてはいけないと
いう問題点があった。その理由は、この従来の充填塔式
集塵装置では、充填材４に付着したダストおよび反応性
生成物を洗浄する為に、充填材４を塔本体から取り出
し、洗浄し、再び塔本体に充填する必要があり、かつ、
この洗浄は、多くの人手と時間を必要としていた。その
為、半導体装置を製造する工場では、定期的にしか充填
材４を洗浄出来ず、充填材４にダストおよび反応性生成
物が付着した状態で運転していた為である。
従来の充填塔式集塵装置では、２４時間フル稼働の半導
体装置を製造する半導体工場の場合、圧力損失が高いと
言うリスクをかかえた状態で運転しなくてはいけないと
いう問題点があった。その理由は、この従来の充填塔式
集塵装置では、充填材４に付着したダストおよび反応性
生成物を洗浄する為に、充填材４を塔本体から取り出
し、洗浄し、再び塔本体に充填する必要があり、かつ、
この洗浄は、多くの人手と時間を必要としていた。その
為、半導体装置を製造する工場では、定期的にしか充填
材４を洗浄出来ず、充填材４にダストおよび反応性生成
物が付着した状態で運転していた為である。
【０００５】本発明の目的は、充填塔式集塵装置を停止
することなく、任意の時間にかつ容易に充填材４に付着
したダスト又は反応性生成物を塔本体内部で洗い落とす
ことが可能であり、人手や時間を必要とすることなく常
に安定した圧力損失のもとで充填塔式集塵装置の運転を
可能とすることによって、充填塔式集塵装置の信頼性向
上・保守性向上を提供することにある。
することなく、任意の時間にかつ容易に充填材４に付着
したダスト又は反応性生成物を塔本体内部で洗い落とす
ことが可能であり、人手や時間を必要とすることなく常
に安定した圧力損失のもとで充填塔式集塵装置の運転を
可能とすることによって、充填塔式集塵装置の信頼性向
上・保守性向上を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の充填塔式集塵装
置は、充填材４を複数個に分割し塔本体に収納し、この
分割された充填材４を定期的に回転させる充填材回転軸
１５とその充填材回転軸を回転させる機構を設け、ま
た、充填材４を洗浄する洗浄液６の中に乾燥空気を吹き
出すための乾燥空気吹出ノズル１４を備えている。
置は、充填材４を複数個に分割し塔本体に収納し、この
分割された充填材４を定期的に回転させる充填材回転軸
１５とその充填材回転軸を回転させる機構を設け、ま
た、充填材４を洗浄する洗浄液６の中に乾燥空気を吹き
出すための乾燥空気吹出ノズル１４を備えている。
【０００７】本発明によれば、充填塔式集塵装置の塔内
で、分割された充填材４が洗浄液６に浸った時に乾燥空
気吹出ノズル１４より乾燥空気を吹き出し充填材４に付
着したダスト又は反応生成物を洗い落とすことが可能に
なる。
で、分割された充填材４が洗浄液６に浸った時に乾燥空
気吹出ノズル１４より乾燥空気を吹き出し充填材４に付
着したダスト又は反応生成物を洗い落とすことが可能に
なる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【０００９】図１は、本発明の一実施の形態の充填塔式
集塵装置の側面断面図であり、図２は、図１の正面断面
図である。本発明の一実施の形態の充填塔式集塵装置
は、図１および図２に示すように、充填材４を８分割に
し、メリーゴーランド状に配置し充填材回転軸１５をモ
ーター等で回転させることにより、分割された充填材４
を回転移動させる事ができる様に構成されている。ま
た、洗浄液６の中に乾燥空気を吹き出す為の乾燥空気吹
出ノズル１４および乾燥空気配管１３が設けられてい
る。
集塵装置の側面断面図であり、図２は、図１の正面断面
図である。本発明の一実施の形態の充填塔式集塵装置
は、図１および図２に示すように、充填材４を８分割に
し、メリーゴーランド状に配置し充填材回転軸１５をモ
ーター等で回転させることにより、分割された充填材４
を回転移動させる事ができる様に構成されている。ま
た、洗浄液６の中に乾燥空気を吹き出す為の乾燥空気吹
出ノズル１４および乾燥空気配管１３が設けられてい
る。
【００１０】次に、本発明の一実施の形態の動作につい
て、図１および図２を参照して詳細に説明する。
て、図１および図２を参照して詳細に説明する。
【００１１】本発明の一実施の形態において、有害物質
またはダストを含む排ガスが吸気口１より充填塔の塔本
体に送り込まれる。次に斜向板３により排ガスが塔本体
内で乱入にならない様に整流にされ、分割された充填材
４を通過する時に、上部に設けられた給水ノズル８より
洗浄液６が吹き出され、分割された充填材４のそれぞれ
の充填物の表面で水膜を形成したり、送り込まれてきた
排ガスと直接慣性衝突を起こしたりして微細粒子の拡散
付着により、洗浄集塵処理が行われる。その後、後段の
デミスタ５により水物が除去され、正常化した排ガスが
排気口２より放出される。分割された充填材４は、例え
ば、１日に１回４５度時計回りに回転させ、分割された
充填材の数個が洗浄液６に完全に浸る様にし、この洗浄
液６の中に設けられた乾燥空気吹出ノズル１４より乾燥
空気を高圧で送り、充填材４に付着した反応性生成物を
除去することが可能となる。また、この時除去された反
応生成物は、定期的に洗浄液６と共に排水バルブ１２を
開け排水口１１より充填塔式集塵装置内から除去され
る。この時排水された分の洗浄液６は、給水バルブ９を
開にし給水口１０より洗浄液６の補充が行われる。洗浄
液６は、循環ポンプ７により充填塔を循環しており、液
の劣化を防ぐために定期的に排水・給水が行われる。
またはダストを含む排ガスが吸気口１より充填塔の塔本
体に送り込まれる。次に斜向板３により排ガスが塔本体
内で乱入にならない様に整流にされ、分割された充填材
４を通過する時に、上部に設けられた給水ノズル８より
洗浄液６が吹き出され、分割された充填材４のそれぞれ
の充填物の表面で水膜を形成したり、送り込まれてきた
排ガスと直接慣性衝突を起こしたりして微細粒子の拡散
付着により、洗浄集塵処理が行われる。その後、後段の
デミスタ５により水物が除去され、正常化した排ガスが
排気口２より放出される。分割された充填材４は、例え
ば、１日に１回４５度時計回りに回転させ、分割された
充填材の数個が洗浄液６に完全に浸る様にし、この洗浄
液６の中に設けられた乾燥空気吹出ノズル１４より乾燥
空気を高圧で送り、充填材４に付着した反応性生成物を
除去することが可能となる。また、この時除去された反
応生成物は、定期的に洗浄液６と共に排水バルブ１２を
開け排水口１１より充填塔式集塵装置内から除去され
る。この時排水された分の洗浄液６は、給水バルブ９を
開にし給水口１０より洗浄液６の補充が行われる。洗浄
液６は、循環ポンプ７により充填塔を循環しており、液
の劣化を防ぐために定期的に排水・給水が行われる。
【００１２】
【発明の効果】第１の効果は、充填塔式集塵装置の充填
材４に付着した反応性生成物を除去するために、充填塔
式集塵装置を定期的に停止し、多くの人手と時間を掛け
ていた定期的な清掃が不要となり、常に安定した圧力損
失のもとで充填塔式集塵装置の運転が可能になったこと
である。その理由は、充填塔式集塵装置の充填材４を分
割し、任意の時期に塔本体で反応性生成物を除去するこ
とが可能になった為、充填塔式集塵装置の圧力損失を運
転している間でもある程度一定に維持出来ることが可能
になったためである。
材４に付着した反応性生成物を除去するために、充填塔
式集塵装置を定期的に停止し、多くの人手と時間を掛け
ていた定期的な清掃が不要となり、常に安定した圧力損
失のもとで充填塔式集塵装置の運転が可能になったこと
である。その理由は、充填塔式集塵装置の充填材４を分
割し、任意の時期に塔本体で反応性生成物を除去するこ
とが可能になった為、充填塔式集塵装置の圧力損失を運
転している間でもある程度一定に維持出来ることが可能
になったためである。
【図１】本発明の一実施の形態を示す充填塔式集塵装置
の模式図の側面断面図である。
の模式図の側面断面図である。
【図２】図１の充填塔式集塵装置の模式図の正面断面図
である。
である。
【図３】従来の充填塔式集塵装置の一例の模式図の側面
断面図である。
断面図である。
１ 吸気口 ２ 排気口 ３ 斜向板 ４ 充填材 ５ デミスタ ６ 洗浄液 ７ 循環ポンプ ８ 吹出ノズル ９ 給水口 １０ 給水バルブ １１ 排水口 １２ 排水バルブ １３ 乾燥空気配管 １４ 乾燥空気吹出ノズル １５ 充填材回転軸
Claims (3)
- 【請求項１】 排気される有害物質あるいはダストを含
むガスを取り入れる吸気口及び清浄化されたガスを水分
を除去するデミスタを通して排出する排気口とを有する
塔体と、前記有害物質あるいはダストを含むガスを洗浄
し集塵するための充填材とを有する充填塔式集塵装置に
おいて、前記充填材を複数個に分割して前記塔体内に収
納し分割されたそれぞれの充填材を駆動手段により順次
洗浄液中に浸してそれぞれの前記充填材に付着したガス
を洗浄する手段を有することを特徴とする充填塔式集塵
装置。 - 【請求項２】 前記駆動手段が塔体中央に設けられた回
転軸を中心にそれぞれの充填材を回転駆動する回転機構
とからなることを特徴とする請求項１記載の充填塔式集
塵装置。 - 【請求項３】 前記洗浄液の中に乾燥空気を吹き出す乾
燥空気吹出ノズルを備えたことを特徴とする請求項１記
載の充填塔式集塵装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08308483A JP3088311B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 充填塔式集塵装置 |
| KR1019970060873A KR100224049B1 (ko) | 1996-11-19 | 1997-11-18 | 충전탑식 집진 장치 |
| US08/974,343 US5902383A (en) | 1996-11-19 | 1997-11-19 | Dust collection apparatus having packed tower |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08308483A JP3088311B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 充填塔式集塵装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10146513A true JPH10146513A (ja) | 1998-06-02 |
| JP3088311B2 JP3088311B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=17981566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08308483A Expired - Fee Related JP3088311B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 充填塔式集塵装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5902383A (ja) |
| JP (1) | JP3088311B2 (ja) |
| KR (1) | KR100224049B1 (ja) |
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| KR100333930B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2002-04-22 | 김태일 | 유해가스 제거와 필터의 재생이 동시에 가능토록 한배기가스 처리용 가스 스크러버 및 그 배기처리방법 |
| KR100896294B1 (ko) | 2007-04-27 | 2009-05-07 | 한국오에스지 주식회사 | 집진기 셀 청소장치 |
| CN106975314A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-07-25 | 许思晗 | 一种模块化动态气体提纯塔 |
| CN116617793A (zh) * | 2023-05-29 | 2023-08-22 | 扬州钰祥电工材料有限公司 | 一种铜丝镀锡用废气处理装置 |
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| JP3268229B2 (ja) * | 1996-06-01 | 2002-03-25 | 株式会社トーテクジャパン | 排気浄化装置 |
| US7101420B1 (en) * | 2004-02-23 | 2006-09-05 | Adria Valley Anne Nelson Ellis | Self cleaning air filtration machine and a method for using the same |
| KR100655186B1 (ko) * | 2005-11-09 | 2006-12-11 | (주)세종이엔지 | 회전식 드럼장치를 이용한 악취 탈취장치 |
| US20130061757A1 (en) * | 2011-09-14 | 2013-03-14 | Abdulreidha A.T.A. Alsaffar | System for decontaminating industrial output gases |
| KR101390686B1 (ko) | 2014-01-21 | 2014-05-27 | 용진환경주식회사 | 하수처리공정의 분리막 카트리지 세정장치 |
| EP3797851A4 (en) * | 2018-06-19 | 2022-03-09 | Horkos Corp | FILTER REPLACEMENT METHOD, FILTERING DEVICE, AUTOMATIC HUMIDIFICATION SYSTEM |
| CN109331582B (zh) * | 2018-11-28 | 2021-09-17 | 扬州昌通照明器材有限公司 | 一种用于空气净化的便于维护的高效型除尘设备 |
| KR102611443B1 (ko) * | 2021-08-27 | 2023-12-07 | 현대제철 주식회사 | 충진재를 연속적으로 세척할 수 있는 불순물 제거 장치 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE664692A (ja) * | 1964-06-01 | 1965-11-30 | ||
| US3754378A (en) * | 1971-09-08 | 1973-08-28 | Pillsbury Co | Apparatus for removing dust from an air stream |
| GB8300096D0 (en) * | 1982-01-19 | 1983-02-09 | Ici Plc | Removal of hydrogen sulphide from gas streams |
| DE3869912D1 (de) * | 1987-05-20 | 1992-05-14 | Epal Ag Thun | Anlage fuer die mehrstufige, nasse reinigung von abgasen. |
| JPH01299627A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-04 | Takeshi Kimura | 多筒回転式排煙脱硫装置 |
| WO1995003875A1 (en) * | 1993-08-03 | 1995-02-09 | Carr William J | Dynamic packed chamber scrubber |
-
1996
- 1996-11-19 JP JP08308483A patent/JP3088311B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-18 KR KR1019970060873A patent/KR100224049B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-11-19 US US08/974,343 patent/US5902383A/en not_active Expired - Fee Related
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| KR100333930B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2002-04-22 | 김태일 | 유해가스 제거와 필터의 재생이 동시에 가능토록 한배기가스 처리용 가스 스크러버 및 그 배기처리방법 |
| KR100896294B1 (ko) | 2007-04-27 | 2009-05-07 | 한국오에스지 주식회사 | 집진기 셀 청소장치 |
| CN106975314A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-07-25 | 许思晗 | 一种模块化动态气体提纯塔 |
| CN116617793A (zh) * | 2023-05-29 | 2023-08-22 | 扬州钰祥电工材料有限公司 | 一种铜丝镀锡用废气处理装置 |
| CN116617793B (zh) * | 2023-05-29 | 2023-10-31 | 扬州钰祥电工材料有限公司 | 一种铜丝镀锡用废气处理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980042546A (ko) | 1998-08-17 |
| US5902383A (en) | 1999-05-11 |
| JP3088311B2 (ja) | 2000-09-18 |
| KR100224049B1 (ko) | 1999-10-15 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000627 |
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