KR19980042546A - 충전탑식 집진 장치 - Google Patents

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Abstract

집진 장치는 탑 본체, 충전재, 회전축, 회전 기구, 및 세척액을 포함한다. 탑 본체는 배출되어야 할 유해 물질 및 먼지 중 적어도 하나를 함유한 배출 가스를 흡입하는 흡입 포트와, 청정 가스를 배출시키는 배출 포트를 구비한다. 충전재가 탑 본체 내에 수용되어 흡입 포트를 통해 흡입되는 배출 가스를 세척하고, 집진을 수행한다. 충전재는 복수의 분할편으로 분할되며 가동성이 있도록 지지된다. 회전축 및 구동 기구가 충전재의 분할편들을 동시에 이동시킨다. 충전재의 분할편들이 이동 중에 순차적으로 침지되어 세척된다.

Description

충전탑식 집진 장치
본 발명은 냉각탑식 집진 장치에 관한 것으로써, 특히 충전재를 사용함으로써 반도체 기기의 유독 물질 또는 먼지를 함유한 배출 가스를 세척하기 위한 집진 장치에 관한 것이다.
도3은 종래의 냉각탑식 집진 장치의 일례를 도시하고 있다. 도3에 도시된 바와 같이, 종래에는 상기 유형의 집진 장치가 탑 본체(20), 충전재(4), 데미스터(demister)(5), 순환 펌프(7), 공급 노즐(8), 및 경사판(3)을 구비하고 있다. 탑 본체(20)는 배출 가스를 각각 흡입 및 배출시키는 흡입 포트(1)와 배출 포트(2)를 구비하고 있다. 충전재(4)는 유해 물질을 분리시키도록 탑 본체(20) 내에 수용되어 있다. 데미스터(5)는 배출 포트(2)로부터 배출되는 배출 가스로부터 수분을 제거한다. 순환 펌프(7)는 탑 본체(20)의 하부 부분에서 저장된 세척액(6)을 순환시킨다. 공급 노즐(8)은 세척액(6)을 충전재(4)로 공급한다. 경사판(3)은 배출 가스를 탑 본체(20) 내의 충전재(4) 쪽으로 흐르도록 안내한다. 세척액(6)의 순환 계통을 따라서 공급 밸브(10), 공급 포트(9), 배출 밸브(12) 및 배출 포트(11)가 형성되어 있다. 세척액(6)은 이 용액의 열화를 방지하기 위해 주기적으로 교환된다.
상기 구성을 갖는 종래의 집진 장치의 작동을 설명하기로 한다. 먼저, 유독 가스 또는 먼지를 함유한 배출 가스가 흡입 포트(1)를 통해 충전탑의 탑 본체(20) 내로 공급된다. 흡입 포트(1)를 통해 공급되는 배출 가스는 본체(20) 내에 와류를 형성하지 않도록 경사판(3)에 의해 충전재(4) 쪽으로 일직선이 된다. 충전재(4)의 상부에 배치된 공급 노즐(8)로부터 분무된 세척액(6)은 충전재(4)의 충전 표면 상에 용액 막을 형성해서 배출 가스와의 직접적인 관성 충돌을 야기시킨다. 세척 및 집진은 배출 가스의 미세 입자들의 분산 또는 부착을 통해 수행된다. 그후, 나중 단계에 배치된 데미스터(5)에 의해 수분이 제거되고 배출 포트(2)를 통해 세척된 배출 가스가 배출된다.
세척액(6)은 순환 펌프(7)에 의해 충전탑 내에서 순환되며, 충전탑 내의 용액량이 일정하게 되도록 조절된다. 세척액(6)의 열화를 방지하기 위해서, 배출 밸브(12)가 주기적으로 개방되며, 세척액(6)이 배출 포트(11)를 통해 배출된다. 공급 밸브(10)가 개방되고 공급 포트(9)를 통해 배출된 양에 상당하는 양만큼 세척액(6)이 보충됨으로써, 탑 본체(20) 내의 세척액(4)의 양이 일정하게 된다.
종래의 집진 장치의 첫 번째 문제점은 다음과 같다. 상술한 종래의 집진 장치에 있어서, 이 장치를 하루 24시간 반도체 기기를 제조하는 반도체 제조 공장에 설치하면 높은 압력 손실의 위험 부담을 안고서 작동을 수행해야 한다. 상기 종래의 충전탑식 집진 장치에 있어서 충전재(4)에 부착한 반응 생성물 및 먼지를 완전히 제거하기 위해서는 충전재(4)를 탑 본체로부터 인출해서 세척하고 본체 내에 다시 충전시켜야 한다. 이것은 많은 노동과 시간을 필요로 한다. 따라서, 하루 24시간 반도체 기기를 제조하는 공장에서 충전재(4)는 주기적으로만 세척될 수 있으며 먼지 또는 반응 생성물이 충전재(4)에 부착된 상태로 작동이 수행된다.
본 발명의 목적은 충전재에 부착한 먼지 또는 반응 생성물이 장치를 정지시키지 않고도 임의로 용이하게 완전히 세척될 수 있는 집진 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 많은 노동 또는 시간을 필요로 하지 않고 항상 일정 압력 손실 상태로 작동됨으로써 신뢰성 및 유지 보수성을 향상시킨 집진 장치를 제공하는 데에 있다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집진 장치를 개략적으로 도시한 종단면도.
도2는 선 I-I를 따라 취해진 도1에 도시된 집진 장치의 개략적 단면도.
도3은 종래의 집진 장치의 종단면도.
도면의 주요 부분에 대한부호의 설명
101 : 흡입 포트
102 : 배출 포트
103 : 경사판
104 : 충전재
105 : 데미스터
106 : 세척액
107 : 순환 펌프
108 : 공급 노즐
109 : 공급 포트
110 : 공급 밸브
111 : 배출 포트
112 : 배출 밸브
113 : 공기 파이프
114 : 노즐
115 : 순환 계통
116 : 회전 기구
117 : 흡입 계통
118 : 배출 계통
120 : 탑 본체
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면 배출되어야 할 유해 물질 및 먼지 중 적어도 하나를 함유한 배출 가스를 흡입하는 흡입 포트와, 청정 가스를 배출시키는 배출 포트를 구비한 탑 본체, 탑 본체 내에 수용되어 흡입 포트를 통해 흡입되는 배출 가스를 세척하고 집진을 수행하며, 복수의 분할편으로 분할되며 가동성이 있도록 지지되어 있는 충전재, 충전재의 분할편들을 동시에 이동시키기 위한 구동 수단, 및 충전재의 분할편들이 이동 중에 순차적으로 침지되어 세척되는 세척액을 포함하는 집진 장치가 제공된다.
첨부된 도면을 참조해서 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도1 및 도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 집진 장치를 개략적으로 도시하고 있다. 도1을 참조하면, 본 실시예의 집진 장치는 탑 본체(120), 충전재(104), 데미스터(105), 공급 노즐(108), 및 경사판(103)을 구비하고 있다. 탑 본체(120)는 배출 가스를 각각 흡입 및 배출시키는 흡입 포트(101)와 배출 포트(102)를 구비하고 있다. 충전재(104)는 흡입 포트(101)로부터 흡입된 배출 가스로부터 유해 물질 및 먼지를 분리시키도록 탑 본체(120) 내에 수용되어 있다. 데미스터(105)는 배출 포트(102)로부터 배출되는 배출 가스로부터 수분을 제거한다. 순환 펌프(107)는 탑 본체(120)의 하부 부분에서 저장된 세척액(106)을 순환 계통(115)을 통해 순환시킨다. 세척액(106)을 충전재(104)로 공급하기 위한 공급 노즐(108)이 탑 본체(120)의 상부 부분에 배치된다. 경사판(103)은 배출 가스를 탑 본체(120) 내의 충전재(104) 쪽으로 흐르도록 안내한다.
충전재(104)는 8개의 편으로 분할되고, 분할편들은 회전 목마처럼 소정 각도 간격에 걸쳐 회전 기구(116)에 의해 회전될 수 있도록 지지된다. 도2에 도시한 바와 같이, 회전 기구(116)는 모터 등에 의해 회전축(115)을 회전됨으로써, 분할된 충전재(104)를 수직 방향으로 회전 이동시킨다. 건조 공기를 저장된 세척액(106) 내로 분무시키는 노즐(114)과 건조 공기를 노즐(114)로 공급하는 공기 파이프(113)가 탑 본체(120)의 하부 부분에 배치된다. 공급 포트(109) 및 공급 밸브(110)를 포함한 흡입 계통(117)과 배출 포트(111) 및 배출 밸브(112)를 포함한 배출 계통(118)이 세척액(106)을 주기적으로 교환하기 위해 순환 펌프(107) 및 공급 노즐(108)로부터 분기됨으로써, 세척액(106)의 열화를 방지한다.
상기 구성을 갖는 세척 기기의 작동을 도1 및 도2를 참조해서 설명하기로 한다.
본 실시예의 세척 기기에서, 유해 물질 또는 먼지를 함유한 배출 가스가 흡입 포트(101)를 통해서 충전탑의 탑 본체(120) 내로 공급된다. 탑 본체(120) 내로 공급된 배출 가스는 본체(120) 내에 와류를 형성하지 않도록 경사판(103)에 의해 직선화되고, 분할된 충전재(104)를 통과한다. 이 때, 공급 노즐(108)로부터 분무된 세척액(106)은 분할된 충전재(104)의 각각의 충전 표면 상에 용액 막을 형성해서 탑 본체(120) 내로 공급된 배출 가스와의 직접적인 관성 충돌을 야기시킨다. 세척 및 집진은 배출 가스의 미세 입자들의 분산 또는 부착을 통해 수행된다. 그후, 나중 단계에 배치된 데미스터(105)에 의해 수분이 제거되고 배출 포트(102)를 통해 세척된 배출 가스가 배출된다.
분할된 충전재(104)는 회전 기구(116)에 의해 간헐적으로, 예컨대 화살표 A 방향으로 45°에 걸쳐 하루에 한번 회전되고, 하부 부분에 위치된 충전재(104)의 부분 부분들 중 수 개가 세척액(106) 내에 잠긴다. 이때, 충전재(104)에 부착된 반응 생성물을 제거하기 위해 건조 공기가 고속으로 노즐(114)로부터 세척액(106) 내로 공급된다. 제거된 반응 생성물은 배출 밸브(112)를 개방함으로써 세척액(106)과 함께 배출 포트(111)로부터 배출 포트(111)를 통해 집진 장치 외부로 주기적으로 제거된다.
세척액(106)은 공급 밸브(110)를 개방함으로써 공급 포트(109)로부터 흡입 계통(117)을 통해 제거된 양에 상당하는 양만큼 보충된다. 세척액(106)은 순환 펌프(107)에 의해 순환 계통(115)을 통해 순환된다. 세척액(106)의 열화를 방지하기 위해서 용액은 주기적으로 배출 및 공급된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 많은 노동과 시간을 들이면서 주기적으로 집진 장치를 정지시킴으로써 충전재에 부착한 반응 생성물을 제거하기 위하여 행해졌던 주기적인 세척이 불필요해지고, 집진 장치가 항상 안정된 압력 손실로 작동될 수 있다. 이는 충전재가 분할되어 있고 임의의 시간에 탑 본체 내의 반응 생성물이 자동적으로 제거될 수 있으며, 집진 장치의 작동 중에도 일정한 압력 손실이 어느 정도까지 유지될 수 있기 때문이다.

Claims (8)

  1. 배출되어야 할 유해 물질 및 먼지 중 적어도 하나를 함유한 배출 가스를 흡입하는 흡입 포트(101)와, 청정 가스를 배출시키는 배출 포트(102)를 구비한 탑 본체(102),
    상기 탑 본체 내에 수용되어 상기 흡입 포트를 통해 흡입되는 배출 가스를 세척하고 집진을 수행하며, 복수의 분할편으로 분할되며 가동성이 있도록 지지되어 있는 충전재(104),
    상기 충전재의 분할편들을 동시에 이동시키기 위한 구동 수단(115, 116), 및
    상기 충전재의 분할편들이 이동 중에 순차적으로 침지되어 세척되는 세척액(106)을 포함하는 것을 특징으로 하는 집진 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동 수단은 상기 탑 본체의 중심에 배치되어 상기 충전재의 분할편들을 회전 이동시키는 회전 기구(116)와, 상기 회전 기구를 회전 구동시키기 위한 회전축(115)을 포함하고,
    상기 충전재의 분할편들은 충전재에 부착한 반응 생성물을 제거하기 위해 상기 탑 본체의 하부 부분에 저장된 상기 세척액에 순차적으로 침지되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제3항에 있어서, 상기 회전 기구는 주기적 및 간헐적으로 회전 구동됨으로써, 상기 충전재의 분할편들 중 복수개가 상기 세척액 내에 동시에 침지되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세척액 내로 건조 공기를 분무하기 위한 공기 노즐(114)을 더 포함하고,
    상기 공기 노즐을 통해 건조 공기를 분무함으로써 상기 충전재의 분할편에 부착한 반응 생성물이 제거되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 탑 본체의 상부 부분에 배치되어 상기 세척액을 상기 충전재의 분할편 쪽으로 분무하기 위한 공급 노즐을 더 포함하고,
    상기 세척액은 상기 충전재의 충전 표면 상에 막을 형성하고 상기 흡입 포트를 통해 흡입된 배출 가스에 대해 직접적으로 충돌함으로써 미세 입자들을 분산 및 부착시키며,
    상기 충전재의 상기 복수의 편들은 상기 흡입 노즐로부터 분무되어 상기 탑 본체의 하부 부분에 저장된 상기 세척액 내에 침지되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 탑 본체의 하부 부분에 저장된 상기 세척액을 상기 공급 노즐로 순환시키기 위한 순환 시스템(117, 115)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 세척액을 상기 순환 시스템으로부터 배출하기 위한 배출 시스템(112, 118)과,
    상기 세척액을 상기 순환 시스템 내로 흡입하기 위한 흡입 시스템(110, 118)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 배출 포트로부터 상기 충전재 쪽으로 유동하는 배출 가스를 안내하기 위한 안내판(103)과,
    상기 배출 포트에 배치되어 상기 청정 배출 가스로부터 수분을 제거하기 위한 데미스터(105)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
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