JPH10144648A - スピン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は処理液による処理効率の向上を図
ることができるようにしたスピン処理装置を提供するこ
とにある。 【解決手段】 被処理物６を回転させて処理液により処
理するスピン処理装置において、カップ体１と、上記被
処理物を保持するとともに上記カップ体の内部に回転自
在に配置された回転体１１と、この回転体を回転駆動す
るモ−タ１６と、上記カップ体の上方に上記被処理物に
対する傾斜角度の調整自在に設けられこの被処理物に対
して上記処理液を噴射するノズル体３１と、このノズル
体を上記被処理物の所定方向に沿って駆動する揺動機構
３２とを具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は被処理物を高速回
転させながら処理液で処理するスピン処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶製造装置や半導体製造装置
においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被
処理物を高い清浄度で洗浄して乾燥させるということが
要求される工程がある。上記被処理物を洗浄して乾燥さ
せるためには、この被処理物を高速回転させながら純水
などの処理液を噴射して洗浄し、ついで処理液を噴射さ
せずに高速回転させることで乾燥させるということが行
われる。

【０００３】このような処理を行うためにスピン処理装
置が用いられている。スピン処理装置はカップ体を有す
る。このカップ体の内部には回転駆動機構によって回転
駆動される回転体が設けられている。この回転体の上面
側には上記被処理物が保持されている。上記カップ体の
上方には上記被処理物に向けて処理液を噴射するノズル
体が揺動駆動手段によって上記被処理物の径方向に沿っ
て揺動自在に設けられている。

【０００４】したがって、上記ノズル体から処理液を噴
射させながらこのノズル体を、回転駆動される被処理物
の径方向に沿って揺動させることで、この被処理物の上
面全体を処理液によって洗浄などの処理をすることがで
きる。

【０００５】たとえば、被処理物を薬液で洗浄処理する
場合、その薬液による洗浄後、同じく処理液としての純
水を噴射してリンス処理し、ついで処理液を供給しない
状態で上記被処理物を高速回転させることで、リンス処
理された被処理物を乾燥処理するということが行われ
る。

【０００６】従来、上記ノズル体は、上記揺動駆動手段
を構成するア−ムの先端に、その軸線をほぼ垂直にして
固定されていた。そのため、上記ノズル体から噴射され
る処理液の噴射方向は垂直方向に限られ、変えることが
できなかった。

【０００７】ところで、被処理物に対する処理の種類や
そのときに用いられる処理液の種類によっては、その処
理液を被処理物に対して所定の角度で傾斜させて噴射さ
せた方が処理効果を向上させることができる場合があ
る。

【０００８】しかしながら、従来は、上述したように上
記ノズル体は噴射方向を垂直にしてア−ムに固定されて
いたので、処理や処理液の種類によってその角度を変え
ることができないということがあった。

【０００９】しかも、上記処理液による処理効果を高め
るために、上記ノズル体に超音波振動子が取付けられた
振動板を組み込み、ノズル体から噴射される処理液に超
音波振動を付与するということが行われている。その場
合、ノズル体の噴射方向が垂直であると、処理液に付与
されてノズル体から出射される超音波振動（進行波）が
被処理物で反射し、反射波となってノズル体へ戻ってく
ることがある。

【００１０】すると、その反射波がノズル体内に入射
し、振動板に作用してこの振動板の振動を減衰したり、
ノズル体から被処理物に向かう進行波と干渉して進行波
を減衰させるなどのことにより、上記処理液による処理
効果を低減させるということがある。

【００１１】一方、上記スピン処理装置は、通常、清浄
な空気が上方から下方に向かって流される（ダウンフロ
−と呼ばれている。）クリ−ンル−ムに設置される。そ
の場合、そのダウンフロ−は揺動駆動手段のノズル体や
ア−ムを通過してカップ体内へ流入する。

【００１２】上記ダウンフロ−が上記ノズル体を通過す
ることでその流れが層流から乱流になる。すると、上記
ダウンフロ−の清浄空気の一部が横方向に流れたり、舞
い上がるなどのことが生じる。

【００１３】ダウンフロ−に乱れのない場合、処理液に
より被処理物を処理する際に生じるミストは、ダウンフ
ロ−の清浄空気とともにカップ体の底部に接続された吸
引管から排出される。

【００１４】しかしながら、ダウンフロ−が上記ノズル
体によって乱されると、処理時に生じるミストが上記吸
引管から排出されず、カップ体内に滞留することがあ
る。そのような状態で被処理物の乾燥処理を行うと、そ
の被処理物にカップ体内に滞留するミストが付着し、汚
染原因となることがある。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のス
ピン処理装置においては、被処理物に向けて処理液を噴
射するノズル体が軸線を垂直にした角度で固定されてい
たので、処理や処理液のの種類によっては処理効率を十
分に向上させることができないということがあった。

【００１６】とくに、処理液に超音波振動を付与するた
めに、ノズル体に振動子が設けられた振動板を組み込ん
だ場合、ノズル体が軸線を垂直にして設けられている
と、ノズル体からの進行波が被処理物で反射することで
生じる反射波が上記ノズル体へ戻るから、その反射波が
振動板や進行波と干渉し、処理効率の低下を招くという
ことがある。

【００１７】また、カップ体の上方に配置されたノズル
体は、その上方からカップ体に向かう清浄空気の流れを
乱すことになる。そのため、清浄空気の乱れで、処理液
による処理時に生じたミストがカップ体内に滞留し易く
なるから、そのミストが乾燥処理時に被処理物に付着し
て汚染を招くということもある。

【００１８】この発明の目的は、ノズル体の取付け角度
を調整できるようにして、処理効率の向上を図ることが
できるようにしたスピン処理装置を提供することにあ
る。この発明の目的は、カップ体の上方からこの内部へ
向かう清浄空気の流れに乱れが生じにくいようにするこ
とで、処理液による処理時に生じたミストが被処理物に
付着するのを防止するようにしたスピン処理装置を提供
することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被処
理物を回転させて処理液により処理するスピン処理装置
において、カップ体と、上記被処理物を保持するととも
に上記カップ体の内部に回転自在に配置された回転体
と、この回転体を回転駆動する回転駆動手段と、上記カ
ップ体の上方に上記被処理物に対する傾斜角度の調整自
在に設けられこの被処理物に対して上記処理液を噴射す
るノズル体と、このノズル体を上記被処理物の所定方向
に沿って駆動する揺動駆動手段とを具備したことを特徴
とする。

【００２０】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記揺動駆動手段は、回転駆動される駆動軸と、こ
の駆動軸の上部に基端部が取付けられたア−ムと、この
ア−ムの先端部に取付けられた上記ノズル体と、このノ
ズル体を覆うカバ−体とからなり、上記カバ−体は、上
記カップ体の上方からこのカップ体に向かう気流が乱れ
のを防止する流線形状に形成されていることを特徴とす
る。

【００２１】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２の発明において、上記ノズル体は複数であることを特
徴とする。請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３の
いずれかの発明において、上記ノズル体には、この内部
に供給された処理液に超音波振動を付与するための超音
波振動子が取付けられた振動板が組み込まれていること
を特徴とする。

【００２２】請求項１の発明によれば、被処理物に対す
るノズル体の傾斜角度を変えることができるから、処理
や処理液の種類などによって処理効率が向上するよう、
上記ノズル体の角度を設定できる。

【００２３】請求項２の発明によれば、ノズル体を、カ
ップ体の上方からこのカップ体に向かう気流を乱すこと
のない流線形状のカバ−で覆ったことにより、処理液に
よる処理時に生じたミストがカップ体内に滞留し、被処
理物に付着するのを防止できる。

【００２４】請求項３の発明によれば、請求項１または
請求項２の発明において、ノズル体を複数としたこと
で、処理効率を上げることができる。請求項４の発明に
よれば、請求項１乃至請求項３のいずれかの発明におい
て、ノズル体に振動子が取付けられた振動板を組み込ん
だことで、処理液に超音波振動を付与し、処理効率を向
上させることができる。とくに、請求項１との組み合わ
せにより、ノズル体を所定の角度で傾斜させることで、
ノズル体から出射された超音波振動に対して被処理物で
反射した超音波振動が干渉したり、ノズル体内に入射し
て振動板の振動を減衰させるなどのことを防止できる。

【００２５】

【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図１に示すこの発明の実施形態の
スピン処理装置はカップ体１を備えている。このカップ
体１は、上面が開放した有底状の下カップ１ａと、この
下カップ１ａの上端に着脱自在に保持された上カップ１
ｂと、この上カップ１ｂの内面側にねじ２によって着脱
自在に取付けられた中カップ１ｃとからなる。

【００２６】上記下カップ１ａの底部中心部には通孔３
が形成されている。この通孔３には回転軸４が挿通され
ている。この回転軸４の上記カップ体１内に突出した上
端は回転体５の下面に取付けられている。この回転体５
の上面には液晶用ガラス基板などの被処理物６の下面を
支持する複数の支持ピン７と、上記被処理物６の外周面
に係合する複数の係合ピン８とが設けられている。

【００２７】上記通孔３から下カップ１ａの外部に突出
した上記回転軸４の下端部は第１のモ−タ９の回転軸９
ａに連結されている。したがって、上記第１のモ−タ９
が作動すれば、上記回転体５が上記被処理物６とともに
回転駆動されるようになっている。

【００２８】上記第１のモ−タ９は第１の取付板１１に
取付けられている。この第１の取付板１１は第１のシリ
ンダ１２によって上下駆動されるようになっている。上
記第１の取付板１１が上昇方向に駆動されれば、上記回
転体５が図１に鎖線で示すように一体的に上昇する。そ
れによって、上記回転体５に対して被処理物６を着脱で
きる。

【００２９】上記第１の取付板１１の上面には、上記回
転軸４を軸受１２を介して回転自在に支持した支持体１
３が設けられている。この支持体１３には支持脚１４が
立設されている。この支持脚１４は上記通孔３から上記
下カップ１ａ内に突出し、その上端には上記通孔３を覆
うカバ−１５が取付けられている。このカバ−１５は上
記回転体５の上下動に連動する。したがって、上記回転
体５が上昇したときでも、上記カバ−１５は上記通孔３
を覆っている。

【００３０】上記カバ−１５は径方向中心から周辺部に
向かって低く傾斜した傾斜面に形成されている。したが
って、上記カバ−１５の上面に滴下した洗浄液はその傾
斜面に沿って流れて下カップ１ａに滴下する。下カップ
１ａの底部周辺部には複数の排出管１６が接続されてい
て、下カップ１ａに滴下した洗浄液を排出するようにな
っている。

【００３１】上記回転体１１に保持される被処理物６の
上面側には、この被処理物６の上面を処理するための複
数、この実施形態では一対のノズル体３１が配置されて
いる。このノズル体３１は揺動機構３２によって上記被
処理物６の径方向に沿って揺動駆動されるようになって
いる。

【００３２】つまり、揺動機構３２は円筒状の水平ア−
ム３３を有する。この水平ア−ム３３の先端部には図２
に示すようにブッシュ３４が嵌合固定され、このブッシ
ュ３４には取付板３５が取付けられている。この取付板
３５には一対の支軸３６が上記取付板３５の板面に対し
て垂直に突設されていて、これら支軸３６に上記一対の
ノズル体３１が傾斜角度の調整自在に取付けられてい
る。

【００３３】つまり、上記ノズル体３１は図２と図３に
示すようにブラケット３７に取付けられている。このブ
ラケット３７の上部には上記支軸３６に挿着される取付
孔３８が形成されている。上記ブラケット３７には上記
取付孔３８に連通するすり割り３９が形成され、このす
り割り３９を上記ブラケット３７の上端に螺合された締
め付けねじ４１によって変形させることで、上記ブラケ
ット３７を上記支軸３６に対して所定の傾斜角度で固定
できるようになっている。

【００３４】上記ブラケット３７にはノズル本体４２が
ねじ５３によって取付け固定されている。このねじ５３
は図４（ｂ）に示すように上記ブラケット３７に形成さ
れた長孔３７ａを介して上記ノズル本体４２に螺合され
ている。上記ノズル本体４２には図４（ａ）に示すよう
に上下方向に貫通した通孔４４が穿設され、下端部には
ノズル口体４５が上記通孔４４に螺合された下部ブッシ
ュ４６によって保持固定されている。

【００３５】上記通孔４４の軸方向中途部には段部４６
ａが形成され、この段部４６ａには振動板４７が周辺部
を係合させて設けられている。この振動板４７は上記通
孔４４に挿入されたスペ−サ４８ａを介して上記通孔４
４の上部側から螺合された上部ブッシュ４８によって液
密に保持固定されている。

【００３６】上記振動板４７の上面には超音波振動子４
９が取着されている。この超音波振動子４９はケ−ブル
５１を介して図示しない超音波発振器に電気的に接続さ
れている。したがって、この超音波発振器から上記超音
波振動子４９に所定の周波数の駆動信号が供給されるこ
とで、上記超音波振動子４９が振動し、これに上記振動
板４７が連動するようになっている。

【００３７】上記ノズル本体４２には供給孔４２ａが形
成されている。この供給孔４２ａには継手４３が螺合さ
れている。この継手４３には供給チュ−ブ５２の一端が
接続されている。この供給チュ−ブ５２は図２に示すよ
うに上記ケ−ブル５１とともに上記水平ア−ム３３に挿
通され、他端は図示しない処理液の供給源に接続されて
いる。

【００３８】したがって、上記供給チュ−ブ５２から上
記ノズル本体４２内に供給される処理液は、図４（ａ）
に矢印で示すように流れ、超音波振動する上記振動板４
７で超音波振動が付与されてノズル口体４５から上記回
転体１１に保持された被処理物２２に向けて噴出するよ
うになっている。

【００３９】上記水平ア−ム３３の先端部の取付板３５
には上記ノズル体３１を覆うカバ−体５４が取付けられ
ている。このカバ−体５４はスピン処理装置が設置され
たクリ−ンル−ム内の清浄空気のダウンフロ−の流れ
（図１に矢印で示す）を乱すことのない流線形状の曲面
５４ａに形成されている。つまり、この実施形態では上
記カバ−体５４の先端側の上部が円弧状の曲面５４ａに
形成されていることで、上記カップ体１の上方からこの
カップ体１内に流入する清浄空気の流れが乱されるのを
防止している。

【００４０】また、上記水平ア−ム３３に外形状が流線
形である円筒パイプを用いたことで、この水平ア−ム３
３の部分を通過してカップ体１内に流入する清浄空気が
乱れるのも防止される。

【００４１】なお、この実施形態では上記カバ−体５４
を流線形状とするのに、先端側の上部だけを曲面５４ａ
としたが、先端側の上部とともに幅方向両端部の上部も
曲面としたり、球体を４分割したときの球面形状として
もよく、要はダウンフロ−の流れの乱れを低減できる流
線形状であればよい。

【００４２】上記水平ア−ム３３の基端部には軸線を垂
直にした駆動軸としての中空状のスプライン軸５６の上
端が連結部材５５を介して連結されている。上記スプラ
イン軸５６の下端部は第２の支持板５７に形成された通
孔５８を通され、取付板５９の一端部に軸受６０によっ
て回転自在に支持されている。

【００４３】上記取付板５９はクランク状に形成されて
いて、その他端部には上記第２の支持板５７に取付けら
れた第２のシリンダ６１のロッド６１ａが連結されてい
る。したがって、上記第２のシリンダ６１のロッド６１
ａが後退方向に駆動されれば、上記取付板５９を介して
上記スプライン軸５６が上昇駆動されることになる。

【００４４】上記スプライン軸５６の中途部には従動プ
−リ６２が上下動自在かつスプライン軸５６と一体的に
回転するように設けられている。上記第２の支持板５７
には第２のモ−タ６３が設けられ、その回転軸６３ａに
は駆動プ−リ６４が嵌着されている。この駆動プ−リ６
４と上記従動プ−リ６２との間にはタイミングベルト６
５が張設されている。したがって、上記第２のモ−タ６
３が作動すれば、上記スプライン軸５６が回転されるよ
うになっている。

【００４５】スプライン軸５６が回転されれば、その回
転に水平ア−ム３３が連動するから、この水平ア−ム３
３の先端部に設けられたノズル体３１が回転体５に保持
された被処理物６の径方向に沿って移動する、つまり揺
動することになる。

【００４６】なお、上記ケ−ブル５１や供給チュ−ブ５
２は上記スプライン軸５６に通されて外部に導出され
る。したがって、上記スプライン軸５６が回転駆動され
ても、内部に挿通されたケ−ブル５１や供給チュ−ブ５
２が捩じられて早期に損傷するのが防止されるばかり
か、上記ケ−ブル５１や供給チュ−ブ５２を設けるため
に専用のスペ−スを確保せずにすむ。

【００４７】つぎに、上記構成のスピン処理装置によっ
て被処理物６を処理液で洗浄処理する場合について説明
する。まず、図３に示すように一対のノズル体３１を垂
直線に対して所定の傾斜角度θで傾斜させる。ついで、
各ノズル体３１に処理液としての洗浄液を供給するとと
もに、超音波発振器によって超音波振動子４９を駆動し
てノズル体３１の通孔４４内に供給された処理液に超音
波振動を付与する。

【００４８】超音波振動が付与された処理液はノズル口
体４５からカップ体１内に保持された被処理物６に向か
って噴出する。それによって、上記被処理物６の上面が
洗浄されることになる。

【００４９】処理液を供給すると同時に、第２のモ−タ
６３を作動させて上記水平ア−ム３３を被処理物６の径
方向に沿って揺動させる。それによって、被処理物６の
上面は全体にわたって洗浄処理されることになる。

【００５０】図３に示すように、一対のノズル体３１の
傾斜角度θを所定の角度に設定できることで、被処理物
６に対して軸線が垂直な場合に比べ、上記ノズル体３１
から超音波振動が付与されて噴出する処理液が上記被処
理物６に作用する方向を変えることができる。処理液が
被処理物６に作用する方向を変えることができれば、被
処理物６に対してどのような種類の処理液を用いてどの
ような洗浄処理を行うかによってその角度を変えれば、
その洗浄処理を効率よく行うことができる。

【００５１】被処理物６に対するノズル体３１の傾斜角
度θは、処理液の種類や洗浄の種類に応じて種々の条件
で実験を行い、その実験結果に基づいて設定することが
できる。

【００５２】一方、ノズル体３１を角度θで傾斜させる
ことで、図３に示すようにノズル体３１のノズル口体４
５から処理液とともに出射される超音波振動（進行波Ｗ
₁ とする）と、その進行波Ｗ₁ が被処理物６で反射する
超音波振動（反射波Ｗ₂ とする）との方向が異なる。

【００５３】そのため、反射波Ｗ₂ が進行波Ｗ₁ に干渉
したり、ノズル口体４５に入射して振動板４２に干渉す
るなどのことが防止されるから、超音波振動が付与され
た処理液による洗浄処理を効率よく行うことができる。

【００５４】このような洗浄処理に際し、カップ体１の
上方から内部へは清浄空気が流入し、上記カップ体１を
通過してその底部に接続された排出管１６から排気され
る。洗浄処理時に処理液が上記被処理物６に噴射される
ことで発生するミストも上記清浄空気の気流に乗って排
出される。

【００５５】上記清浄空気の流れである、ダウンフロ−
に乱れが生じると、清浄空気の一部がカップ体１内で滞
留したり、横方向に流れるなどするため、カップ体１内
で発生したミストが確実に排出されずに残留し、洗浄処
理後の乾燥処理時に被処理物６に付着する虞がある。

【００５６】しかしながら、上記カップ体１内に流入す
るダウンフロ−は水平ア−ム３３やその先端に設けられ
たカバ−体５４を通過するものの、これらの形状は上記
ダウンフロ−を乱すことのない流線形状に形成されてい
る。そのため、カップ体１内に流入するダウンフロ−に
乱れが生じるということがほとんどないから、処理液に
よる洗浄処理時にカップ体１内でミストが発生しても、
そのミストはダウンフロ−の清浄空気とともに排出管２
へ吸引排出されることになる。

【００５７】したがって、被処理物６を洗浄処理した後
で乾燥処理する際、その被処理物６にミストが付着して
汚染の原因となるようなことがない。上記水平ア−ム３
３の先端には複数、この実施形態では一対のノズル体３
１を設けるようにした。そのため、１つのノズル体３１
から処理液を噴射させる場合に比べ、単位時間当たりに
洗浄処理できる被洗浄物２２の面積が拡大されるから、
その処理に要する時間を短縮でき、処理効率の向上を図
ることができる。

【００５８】さらに、揺動機構３２は、水平ア−ム３３
を上下駆動できるようにしているから、ノズル体３１と
被処理物６との間隔を任意に設定することができる。つ
まり、洗浄条件に応じてノズル体３１と被処理物６との
間隔を設定することができる。

【００５９】この発明は上記実施形態に限定されず、発
明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たと
えば、水平ア−ムには円筒パイプを用いたが、その円筒
パイプを、ダウンフロ−の抵抗をさらに少なくする流線
形状のカバ−体で覆うようにしてもよい。また、揺動機
構の水平ア−ムの先端に設けられるノズル体の数も限定
されず、３つ以上であってもよい。

【００６０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、揺動駆動手段
によって被処理物の径方向に沿って揺動駆動されるノズ
ル体の傾斜角度を変えることができるようにした。その
ため、処理の種類や処理液の種類などによって上記ノズ
ル体の被処理物に対する角度を設定することで、上記処
理液による処理効率を向上させることができる。

【００６１】請求項２の発明によれば、揺動駆動機構の
揺動駆動されるア−ムの先端部に設けられるノズル体
を、カップ体の上方からこのカップ体に向かう気流を乱
すことのない流線形状のカバ−体で覆うようにした。

【００６２】そのため、カップ体内において気流の乱れ
が生じて処理液による処理時に生じたミストがカップ体
内に滞留するということを防止できるから、被処理物を
処理液による処理後に乾燥処理する際、その被処理物に
ミストが付着して汚染の原因となるのを防止することが
できる。

【００６３】請求項３の発明によれば、ア−ム体の先端
に複数のノズル体を設けるようにした。そのため、ノズ
ル体の数に応じて単位時間当たりに処理できる処理面積
を増大することができるから、処理効率の向上を図るこ
とができる。

【００６４】請求項４の発明によれば、ア−ム体の先端
部に設けられるノズル体に超音波振動子が取付けられた
振動板を組み込むようにした。そのため、上記ノズル体
から噴射される処理液に超音波振動を付与できるから、
その処理液による処理の効率向上を図ることができる。

【００６５】とくに、ノズル体を所定の角度で傾斜させ
ることで、ノズル体から出射された超音波振動の方向に
対して被処理物で反射した超音波振動の方向を異ならす
ことができる。それによって、ノズル体からの超音波振
動に対して被処理物からの超音波振動が干渉したり、被
処理物で反射した超音波振動がノズル体内に入射して振
動板の振動を減衰させるなどのことを防止できるから、
超音波振動が付与された処理液による処理を効率よく行
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示す全体の構成図。

【図２】同じく水平ア−ムの先端部分を断面した側面
図。

【図３】同じく水平ア−ムの先端部分を断面した正面
図。

【図４】（ａ）は同じくノズル体の拡大断面図、（ｂ）
は同じくノズル体の一部分の斜視図。

【符号の説明】

１…カップ体 ６…被処理物 １１回転体 ３１…ノズル体 ３２…揺動機構 ３３…水平ア−ム ４７…振動板 ４９…超音波振動子 ５４…カバ−体 ５６…揺動軸（駆動軸）

フロントページの続き (72)発明者 桜井 直明 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 西垣 寿 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理物を回転させて処理液により処理
   するスピン処理装置において、 カップ体と、 上記被処理物を保持するとともに上記カップ体の内部に
   回転自在に配置された回転体と、 この回転体を回転駆動する回転駆動手段と、 上記カップ体の上方に上記被処理物に対する傾斜角度の
   調整自在に設けられこの被処理物に対して上記処理液を
   噴射するノズル体と、 このノズル体を上記被処理物の所定方向に沿って駆動す
   る揺動駆動手段とを具備したことを特徴とするスピン処
   理装置。
2. 【請求項２】 上記揺動駆動手段は、回転駆動される駆
   動軸と、この駆動軸の上部に基端部が取付けられたア−
   ムと、このア−ムの先端部に取付けられた上記ノズル体
   と、このノズル体を覆うカバ−体とからなり、 上記カバ−体は、上記カップ体の上方からこのカップ体
   に向かう気流が乱れのを防止する流線形状に形成されて
   いることを特徴とする請求項１記載のスピン処理装置。
3. 【請求項３】 上記ノズル体は複数であることを特徴と
   する請求項１または請求項２記載のスピン処理装置。
4. 【請求項４】 上記ノズル体には、この内部に供給され
   た処理液に超音波振動を付与するための振動子が取付け
   られた振動板が組み込まれていることを特徴とする請求
   項１乃至請求項３のいずれかに記載のスピン処理装置。