JPH10144438A - Lsiの試験用治具 - Google Patents

Lsiの試験用治具

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JPH10144438A
JPH10144438A JP8303225A JP30322596A JPH10144438A JP H10144438 A JPH10144438 A JP H10144438A JP 8303225 A JP8303225 A JP 8303225A JP 30322596 A JP30322596 A JP 30322596A JP H10144438 A JPH10144438 A JP H10144438A
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JP
Japan
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package
contact
pin
test
test jig
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Application number
JP8303225A
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English (en)
Inventor
Mikio Kadoma
幹夫 角間
Keiichi Sawada
圭一 沢田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 供試BGAパッケージ及び供試LGAパッケ
ージと、ソケットピンの接触部との電気的接続が確実で
安定なLSIの試験用治具を得ること。 【解決手段】 この発明のLSIの試験用治具は、BG
Aパッケージ及びLGAパッケージに対応する試験用治
具のソケットピンとして、ポゴピン方式のコンタクトピ
ンを備え、上記コンタクトピンの接触部として、ボール
・グリッド・アレイ・パッケージのボールハンダの下部
の外周面に適合する凹面をもつカップ型を有することを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はパッケージに実装
されたLSIの試験用治具に関するもので、特にボール
グリッドアレイ(以下、BGAと呼ぶ)パッケージ及び
ランドグリッドアレイ(以下、LGAと呼ぶ)パッケー
ジの両者に対応する試験用治具のソケットピンの接触部
構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、パッケージに実装されたLSIの
試験用治具のソケットピンとして、板バネ構造のものが
あり、また、BGAパッケージ検査用のソケットピンと
して、例えば特開平8−37071号公報に示されたも
のがあった。
【0003】図13は従来のパッケージに実装されたL
SIの試験用治具のソケットピン21と、BGAパッケ
ージ18のボールハンダ5、LGAパッケージ19のラ
ンド6との接続状態を示す図である。一枚の金属板の上
部が折り曲げられてできた、水平面、またはその水平面
にあけた接触孔とBGAパッケージのボールハンダが接
触する構造、または一枚の金属板の上部が鋭角に折り曲
げられ、その先端とLGAパッケージ19のランド6が
接触する構造がとられている。また、従来の、特開平8
−37071号公報に示されたBGAパッケージ検査用
のソケットピンは、図示していないがBGAパッケージ
のボールハンダの外周面と適合する球状接触凹面とこの
凹面と一体の縦盲孔を有し、且つ上記凹面の開口部から
上記縦盲孔の下端までにわたって割溝が形成され弾性復
元力が付与されたバネ性受座部を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の、パッケージに
実装されたLSIの試験用治具のソケットピンの接触部
は以上のように構成されていて、BGAパッケージのボ
ールハンダと板バネの水平面、または水平面にあけた接
触孔と接触する構造は、ソケットピンのバネ性の範囲が
狭く、また供試パッケージとソケツトピンの電気的接続
の確実さとその安定性に難点があった。また、従来の、
特開平8−37071号公報に示されたソケットピン
は、バネ性の範囲が狭く、BGAパッケージとLGAパ
ッケージに対しLSIの試験用治具を共用化する上で難
点があった。
【0005】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、供試パッケージがBGAパッケー
ジとLGAパッケージの両者に対して、供試パッケージ
とLSIの試験用治具のソケットピンとの電気的接続が
確実で安定なLSIの試験用治具を得ることを目的とす
る。また、供試パッケージの厚さが異なる規格の場合も
上記と同様なLSIの試験用治具を得ることを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この請求項1に係る発明は、パッケージに実装さ
れたLSIの試験用治具において、ボール・グリッド・
アレイ・パッケージ及びランド・グリッド・アレイ・パ
ッケージに対応する試験用治具のソケットピンとして、
ポゴピン方式のコンタクトピンを備え、上記コンタクト
ピンの接触部としてボール・グリッド・アレイ・パッケ
ージのボールハンダの下部の外周面に適合する凹面をも
つカップ型を有することを特徴とする。
【0007】また、この請求項2に係る発明は、パッケ
ージに実装されたLSIの試験用治具において、ボール
・グリッド・アレイ・パッケージ及びランド・グリッド
・アレイ・パッケージに対応する試験用治具のソケット
ピンとして、ポゴピン方式のコンタクトピンを備え、上
記コンタクトピンの接触部としてボール・グリッド・ア
レイ・パッケージのボールハンダの下部を水平面で切っ
て生ずる小円の円周を3以上の複数で分割した点を基準
に接触するピンをもつ多ピン型有することを特徴とす
る。
【0008】また、この請求項3に係る発明は、請求項
1もしくは請求項2記載のLSIの試験用治具に以下の
要素を備え、当該試験用治具にセットされた供試パッケ
ージを所定のパッケージ底面固定面に押し下げて固定す
ることを特徴とする。 (1)上蓋内側に上蓋を閉じると、当該試験用治具にセ
ットされた供試パッケージの上面に水平に接する中蓋、
(2)上記上蓋にスライドレバー用開口部と、上記開口
部に沿ってスライドさせるスライドレバー、(3)上記
スライドレバーをスライドさせると上記中蓋を押し下げ
る上記中蓋上部に設けた傾斜をもたせたスライドレバー
受け部。
【0009】また、この請求項4に係る発明は、請求項
3記載のLSIの試験用治具に以下の要素を備え、当該
試験用治具本体に上蓋を密着させてロックすることを特
徴とする。 (1)LSIの試験用治具の上蓋開閉用蝶番のない3側
面の中央部の試験用治具本体と上蓋が接する部分の上蓋
側に結合用レール、(2)上記上蓋側の結合用レールに
相対して、試験用治具本体側の結合用レールと上記本体
側の結合用レールをスライドして上記両結合用レールを
結合する結合レバー。
【0010】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を説明する
のに先立ち、この発明のLSIの試験用治具の概要を図
1,7,8を参照して説明する。図1はこの発明のLS
Iの試験用治具の外観図で、図1(a)は試験用治具の
上蓋を開けた斜視外観図、図1(b)は試験用治具の上
蓋を閉じた側面図である。図7はこの発明のLSIの試
験用治具の斜視部分断面図、図8は図7の正面断面図で
ある。図1,7,8において、LSIの試験用治具本体
9の上面の、格子状に並べられたソケットピンの接触部
が見えるソケット開口部に、パッケージに実装されたL
SIを試験・検査するために、図7,8に示される供試
パッケージ18がセットされると、ソケット開口部周囲
側面板により供試パッケージは平面的に位置決めされ、
供試BGAパッケージの下面のボールハンダ、もしくは
供試LGAパッケージの下面のランドと、上記試験用治
具本体9のソケットピンの接触部とが相対するようにな
る。
【0011】発明の実施の形態1では、BGAパッケー
ジとLGAパッケージに対応する試験用治具のソケット
ピンとして、ポゴピン方式(バネでコンタクトピンの接
触部を供試パッケージのボールハンダ、もしくはランド
に押し当て電気的接続を行う)のコンタクトピンを備
え、上記コンタクトピンの接触部として、カップ型接触
部を備えるようにしたものである。
【0012】また、発明の実施の形態2では、BGAパ
ッケージとLGAパッケージに対応する試験用治具のソ
ケットピンとして、ポゴピン方式(バネでコンタクトピ
ンの接触部を供試パッケージのボールハンダ、もしくは
ランドに押し当て電気的接続を行う)のコンタクトピン
を備え、上記コンタクトピンの接触部として、多ピン型
接触部を備えるようにしたものである。
【0013】また、実施の形態3では、実施の形態1も
しくは実施の形態2で説明した試験用治具にセットされ
た供試パッケージを所定の供試パッケージ底面固定面に
押し下げて固定する中蓋押し下げ機構を備えるようにし
たものである。
【0014】また、実施の形態4では、実施の形態3で
説明した試験用治具本体に上蓋を密着させてロックする
ロック機構を備えるようにしたものである。
【0015】実施の形態1.図2はこの発明のLSIの
試験用治具の実施の形態1を示すソケットピンの構成図
である。図2(a)はソケットピンとしてポゴピン方式
のコンタクトピンの全体構成図であり、図2(b)は図
2(a)のソケットピンの上部の斜視図である。図にお
いて、コンタクトピンはカップ型接触部2、支持部3、
バネ部4からなり、ポゴピン方式のコンタクトピンと
は、バネでコンタクトピンの接触部を供試パッケージの
ボールハンダもしくはランドに押しあてて電気的接続を
行うものである。バネ部4は円筒状になっていて、内部
にバネが組込まれている。支持部3は一端はコンタクト
ピンの先端の接触部(ここではカップ型接触部1)で他
端は上記バネ部4をシリンダとするとピストンの関係に
あり、先端の接触部に所定のストローク範囲に渡りバネ
性を与える。コンタクトピンの先端の接触部は供試パッ
ケージのボールハンダもしくはランドに押しあて電気的
接続が行われ、電気信号は接触部、支持部3、バネ部4
のバネを介して、当該試験用治具と供試パッケージに実
装されたLSIの相互間に伝送される。
【0016】図3は図2のソケットピンのカップ型接触
部と、供試BGAパッケージのボールハンダ5及び供試
LGAパッケージのランド6との接触状態を説明する図
である。図3(a)は図2のソケットピンのカップ型接
触部1と供試BGAパッケージのボールハンダ5との接
触状態を説明する図である。カップ型接触部は、BGA
パッケージのボールハンダ下部の外周面に適合する凹面
をもつもので、図3(a)では凹面はボールハンダの中
心を通る水平面で切った大円ではなく小円の円周を開口
とする凹面で構成した例であり、ボールハンダの球状の
歪の影響を避けるよう考慮している。ミクロ的にはボー
ルハンダ下部の外周面とカップ型接触部は多点で接触
し、低い接触抵抗と接触の安定性を得ることができる。
【0017】図3(b)は図2のソケットピンのカップ
型接触部1と供試LGAパッケージのランド6との接触
状態を説明する図である。LGAパッケージのランド6
の直径は上記カップ型接触部1の開口部の直径より大き
く、ランド6にカップ型接触部1の開口部がバネで押し
当てられる。ここでも、ミクロ的にはランド6とカップ
型接触部1の開口部では多点で接触し、低い接触抵抗と
接触の安定性を得ることができる。
【0018】実施の形態2.図4はこの発明のLSIの
試験用治具の実施の形態2を示すソケットピンの構成図
である。図4(a)はソケットピンとしてポゴピン方式
のコンタクトピンの全体構成図であり、図4(b)は図
4(a)のコンタクトピンの上部の斜視図である。この
実施の形態2は実施の形態1におけるソケットピンであ
るポゴピン方式のコンタクトピンの先端の接触部がカッ
プ型接触部1てはなく,多ピン型接触部2としたもの
で、接触部以外の構成は同様であり説明を省く。
【0019】図5は、図4のソケットピンの多ピン型接
触部と、供試BGAパッケージのボールハンダ及び供試
LGAパッケージのランドとの接触状態を説明する図で
ある。図5(a)は図4のソケットピンの多ピン型接触
部2と供試BGAパッケージのボールハンダ5との接触
状態を説明する図であり、図5(b)は図4のソケット
ピンの多ピン型接触部2と供試LGAパッケージのラン
ド6との接触状態を説明する図である。ここでは、多ピ
ン型接触部として3ピン型接触部を例に説明する。3ピ
ンに限らず多ピン型接触部の台の中心を中心とする円周
を3以上の複数で等分割した点にピンを立てることによ
り、供試BGAパッケージのボールハンダの球状の外周
面と多点接触するとともに、供試LGAパッケージのラ
ンドの平面とも多点接触し、両方に対して低い接触抵抗
と接触の安定性を得ることができる。
【0020】実施の形態3.図6はこの発明の実施の形
態3を示す上蓋の構成図である。図6(a)は上蓋の上
面図である。図6(b)は図6(a)の側面断面図であ
る。試験用治具の上蓋10が閉じられていて、供試パッ
ケージが試験用治具にセットされていないときは、図6
(b)に示すように中蓋11は中蓋ストッパで水平に置
かれている。図6(a)(b)において、スライドレバ
ー13をスライドレバー用開口部14に沿ってスライド
させると、中蓋11の上部に設けた傾斜をもたせたスラ
イドレバー受け部15を押し下げることにより、中蓋1
1を押し下げる機能を有する。
【0021】図7はこの発明のLSIの試験用治具の斜
視部分断面図である。図8(a)は図7の正面断面図で
ある。(供試パッケージの厚さが厚い場合) 図8(b)は図7の正面断面図である。(供試パッケー
ジの厚さが薄い場合) 図9は図8のA部分の部分拡大図である。図7,8,9
を参照して、中蓋の動作について説明する。試験用治具
本体の上面のソケット開口部に供試パッケージがセット
されたとき、開口部周囲側面板により平面的に位置決め
され、供試パッケージ下面のボールハンダ、もしくはラ
ンドと、上記試験用治具本体9のソケットピンの接触部
とが相対するようになる。供試パッケージがソケットピ
ンの接触部と確実に安定な電気的接続を得るためには、
平面的に位置決められた供試パッケージ18を所定の供
試パッケージ底面固定面17に押し下げて固定する必要
がある。
【0022】上記の中蓋11を押し下げ、上記供試パッ
ケージを供試パッケージ底面固定面17に押し下げて固
定することにより、ソケットピンのポゴピン方式(バネ
でコンタクトピンの接触部を供試パッケージのボールハ
ンダ、もしくはランドに押し当て電気的接続を行う)の
コンタクトピンの接触部のバネ性が保証される所定のス
トローク内の位置に供試パッケージが固定されたことに
なる。これにより確実に安定な電気的接続が保証される
ことになる。なお、供試パッケージの種類差(BGAパ
ッケージとLGAパッケージ)や供試パッケージの厚さ
の規格差に対しても、上記供試パッケージ底面固定面1
7に試験用治具の上蓋内側に設けた中蓋11を押し下げ
て固定することにより、ソケットピンの接触部と確実に
安定な電気的接続を得るができる。
【0023】実施の形態4.図10はこの発明のLSI
の試験用治具の実施の形態4を示す上蓋のロック機構の
構成図である。図10(a)は上蓋のロック機構の全体
構成図である。図10(b)は図10(a)の結合用レ
ールと結合用スライドレバーの断面図である。図10
(b)に示すように試験用治具本体9とその上蓋10の
それぞれの結合用レールを合わせた幅aは結合用スライ
ドレバー7の対応する噛む部分の幅bより若干大きくし
ている。図1,図10を参照して、上蓋10を試験用治
具本体9に密着させてロックする機構の動作について説
明する。試験用治具の3側面(上蓋の開閉用蝶番のない
側面)の中央部の上蓋と試験用治具本体とが相対する部
分の両側に設けた結合用レール8を、上記試験用治具本
体側の結合用レールに有する結合用スライドレバー7を
スライドさせて結合させ、ロックすることができる。
【0024】以上のように、実施の形態4は、実施の形
態3で説明したLSIの試験用治具に上蓋のロック機構
を設けたことにより、LSIの試験用治具にセットした
供試パッケージを供試パッケージ底面固定面17に押し
下げて固定する機構とあいまって、パッケージに実装さ
れたLSIの試験検査中に、供試パッケージと試験用治
具のソケットピンの電気的接続が確実に安定に維持さ
れ、人為的な外部からの機械的振動等に対しても保護さ
れる。
【0025】
【発明の効果】以上のように、請求項1に係わる発明に
よれば、パッケージに実装されたLSIの試験用治具に
おいて、BGAパッケージとLGAパッケージの両者に
対応する試験用治具のソケットピンとして、ポゴピン方
式のコンタクトピンを備え、コンタクトピンの接触部と
してBGAパッケージのボールハンダの下部の外周面に
適合する凹面をもつカップ型とすることにより、供試B
GAパッケージのボールハンダ、及び供試LGAパッケ
ージのランドの両方に対して、電気的接続が確実で安定
なLSIの試験用治具を得ることができ、且つボールハ
ンダに傷を与えない、ソケットピンを備えたLSIの試
験用治具を得ることができる。
【0026】また、請求項2に係わる発明によれば、パ
ッケージに実装されたLSIの試験用治具において、B
GAパッケージとLGAパッケージの両者に対応する試
験用治具のソケットピンとして、ポゴピン方式のコンタ
クトピンを備え、コンタクトピンの接触部としてBGA
パッケージのボールハンダの下部を水平面で切って生ず
る小円の円周を3以上の複数で分割した点を基準に接触
するピンをもつ多ピン型することにより、供試BGAパ
ッケージのボールハンダ、及び供試LGAパッケージの
ランドの両方に対して、電気的接続が確実で安定なLS
Iの試験用治具を得ることができ、且つボールハンダに
傷を与えない、ソケットピンを備えたLSIの試験用治
具を得ることができる。
【0027】また、請求項3に係わる発明によれば、請
求項1、もしくは請求項2記載のLSIの試験用治具の
上蓋内側に、上蓋を閉じると供試パッケージの上面に水
平に接する中蓋を押し下げて、供試パッケージを所定の
パッケージ底面固定面に押し下げ固定する機構を設けた
ことにより、供試パッケージがBGAパッケージ、LG
Aパッケージのいずれでも、また供試パッケージの厚さ
が異なる規格のものでも、供試パッケージとソケットピ
ンの電気的接続が確実で安定なLSIの試験用治具を得
ることができる。
【0028】また、請求項4に係わる発明によれば、請
求項3記載のLSIの試験用治具本体と上蓋野3側面を
密着させて固定する機構を備えたことにより、供試パッ
ケージがBGAパッケージ、LGAパッケージのいずれ
でも、また供試パッケージの厚さが異なる規格のもので
も、供試パッケージとソケットピンの接触部との電気的
接続が確実で安定なLSIの試験用治具を得ることがで
きる。また、人為的な外部からの振動等に対して保護さ
れるLSIの試験用治具を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明のLSIの試験用治具の外観図であ
る。
【図2】 この発明のLSIの試験用治具の実施の形態
1を示すソケットピンの構成図である。
【図3】 図2のカップ型接触部と供試BGAパッケー
ジ及び供試LGAパッケージとの接続状態を説明する図
である。
【図4】 この発明のLSIの試験用治具の実施の形態
2を示すソケットピンの構成図である。
【図5】 図4の多ピン型接触部と供試BGAパッケー
ジ及び供試LGAパッケージとの接続状態を説明する図
である。
【図6】 この発明のLSIの試験用治具の実施の形態
3を示す上蓋の構成図である。
【図7】 この発明のLSIの試験用治具の斜視部分断
面図である。
【図8】 図7の正面断面図である。
【図9】 図8の部分拡大図である。
【図10】 この発明のLSIの試験用治具の実施の形
態4を示す上蓋のロック機構の構成図である。
【図11】 BGAパッケージの概略図である。
【図12】 LGAパッケージの概略図である。
【図13】 従来のLSIの試験用治具のソケットピン
を示す図である。
【符号の説明】
1 カップ型接触部、2 多ピン型接触部、3 支持
部、4 バネ部、5 BGAパッケージのボールハン
ダ、6 LGAパッケージのランド、7 結合用レール
の結合スライドレバー、8 結合用レール、9 LSI
の試験用治具本体、10 LSIの試験用治具の上蓋、
11 中蓋、12 中蓋ストッパー、13中蓋押下げス
ライドレバー、14 スライドレバー用開口部、15
スライドレバー受け部、16 ソケット開口部周囲側面
板、17 供試パッケージ底面固定面、18 BGAパ
ッケージ、19 LGAパッケージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01R 13/11 H01R 13/11 K 13/24 13/24

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パッケージに実装されたLSIの試験用
    治具において、 ボール・グリッド・アレイ・パッケージ及びランド・グ
    リッド・アレイ・パッケージに対応する試験用治具のソ
    ケットピンとして、ポゴピン方式のコンタクトピンを備
    え、上記コンタクトピンの接触部としてボール・グリッ
    ド・アレイ・パッケージのボールハンダの下部の外周面
    に適合する凹面をもつカップ型を有することを特徴とす
    るLSIの試験用治具。
  2. 【請求項2】 パッケージに実装されたLSIの試験用
    治具において、 ボール・グリッド・アレイ・パッケージ及びランド・グ
    リッド・アレイ・パッケージに対応する試験用治具のソ
    ケットピンとして、ポゴピン方式のコンタクトピンを備
    え、上記コンタクトピンの接触部としてボール・グリッ
    ド・アレイ・パッケージのボールハンダの下部を水平面
    で切って生ずる小円の円周を3以上の複数で分割した点
    を基準に接触するピンをもつ多ピン型を有することを特
    徴とするLSIの試験用治具。
  3. 【請求項3】 以下の要素を備え、当該試験用治具にセ
    ットされた供試パッケージを所定のパッケージ底面固定
    面に押し下げて固定することを特徴とする請求項1もし
    くは請求項2記載のLSIの試験用治具、(1)上蓋内
    側に上蓋を閉じると、当該試験用治具にセットされた供
    試パッケージの上面に水平に接する中蓋、(2)上記上
    蓋にスライドレバー用開口部と、上記開口部に沿ってス
    ライドさせるスライドレバー、(3)上記スライドレバ
    ーをスライドさせると上記中蓋を押し下げる上記中蓋上
    部に設けた傾斜をもたせたスライドレバー受け部。
  4. 【請求項4】 以下の要素を備え、当該試験用治具本体
    に上蓋を密着させてロックすることを特徴とする請求項
    3記載のLSIの試験用治具、(1)LSIの試験用治
    具の上蓋開閉用蝶番のない3側面の中央部の試験用治具
    本体と上蓋が接する部分の上蓋側に結合用レール、
    (2)上記上蓋側の結合用レールに相対して、試験用治
    具本体側の結合用レールと上記本体側の結合用レールを
    スライドして上記両結合用レールを結合する結合レバ
    ー。
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