JPH10142177A - 光熱変換分光分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度検出が可能な光熱変換分光分析装置を
提供する。 【解決手段】 励起光源１０から出力された励起光Ａ
は、チョッパ１１、集光レンズ１２およびダイクロイッ
クミラー１３を経て、試料３０に照射され、これによ
り、試料３０には熱レンズが生じる。検出光源２０から
出力された検出光Ｂは、ビームスプリッタ２１、集光レ
ンズ２３およびダイクロイックミラー２２を経て、励起
光Ａの照射方向とは反対の方向から試料３０に照射さ
れ、これにより、試料３０の熱レンズから信号光Ｃが発
生する。この信号光Ｃは、ダイクロイックミラー１３、
集光レンズ４０およびフィルタ４１を経て、検出器４２
により検出されて電流信号とされ、アンプ４３により電
圧信号に変換され、そして、この電圧信号は、ロックイ
ンアンプ５０により、チョッパ１１における励起光Ａの
変調周期に同期して検波される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、励起光を試料に照
射することにより生じる光熱効果を利用し、検出光を試
料に照射して生じた信号光を検出して、これにより試料
を分析する光熱変換分光分析技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】試料に光を集光照射すると、その試料
は、光吸収により局所的に温度上昇し、この温度上昇に
応じて屈折率が変化し、熱レンズが形成される。これを
光熱効果という。多くの物質では、温度上昇に伴い屈折
率は小さくなるので、熱レンズとして凹レンズが形成さ
れる。したがって、この凹レンズの中央およびその周辺
に光を入射させると、その光は発散する。また、この凹
レンズの中央以外の部分に光を入射させると、その光は
偏向する。

【０００３】従来より、この光熱効果を利用して試料を
分光分析することが行われており、この分析方法を光熱
変換分光法という。従来の入射光と透過光との比に基づ
いて試料分析する吸光法とは異なり、この光熱変換分光
法は、熱の拡散すなわち屈折率変化を観察するものであ
るので、吸光法に比べて極微量な試料濃度を検出するこ
とができる。それ故、光熱変換分光分析技術は、キャピ
ラリー電気泳動装置用の高感度分析装置としての利用
や、従来の吸光法の適用が困難な細胞等の生体試料への
応用が提案されている。

【０００４】図４は、従来の光熱変換分光分析装置の構
成図である。この光熱変換分光分析装置では、励起光源
１１０から出力された励起光は、チョッパ１１１により
変調され、ダイクロイックミラー１１２を透過し、レン
ズ１１３により集光される。集光された励起光は、試料
１３０に照射され吸収されて、その照射位置を中心とし
て熱レンズが形成される。試料１３０に照射された励起
光のうち試料１３０により吸収されなかった光は、試料
１３０を透過するが、フィルタ１４１により吸収され、
検出器１４２には入射しない。

【０００５】一方、検出光源１２０から出力された検出
光は、反射鏡１２１およびダイクロイックミラー１１２
それぞれにより順次反射され、レンズ１１３により集光
される。集光された励起光は、励起光により試料１３０
に形成された熱レンズに集光照射され、試料１３０を透
過して発散する。この試料１３０から発散して出射され
た信号光のうち、ピンホール１４０の開口部を通過した
光はフィルタ１４１を通過して、検出器１４２により検
出される。この検出器１４２により検出された信号光の
強度は、試料１３０において形成された熱レンズに応じ
たものであり、また、チョッパ１１１による励起光変調
周期に同期して変化するものである。そこで、この検出
器１４２からの出力信号は、ロックインアンプ１５０に
より、チョッパ１１１による励起光変調周期に同期して
検波され、そのロックインアンプ１５０からの出力信号
に基づいて試料１３０の分析がなされる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のように光熱変換
分光法は、従来の吸光法に比べれば検出感度が優れてい
る。しかしながら、上記従来例では、励起光が試料１３
０に到るまでの光学系において信号光と同種のバックグ
ラウンドノイズ光が発生する。例えば、図４に示した従
来の光熱変換分光分析装置の光学系では、集光レンズ１
１３においても、励起光の照射による温度上昇に伴い屈
折率変化や膨張が起こるので、検出光がこれらを経る際
にバックグラウンドノイズ光が生じる。そして、このよ
うなバックグラウンドノイズ光は、検出器１４２により
検出されるため、信号光の検出感度が低下するという問
題点がある。

【０００７】また、励起光および検出光それぞれが試料
１３０に照射される位置および照射径は固定されてお
り、その為に、試料１３０に依って、或いは、試料１３
０を容れる試料セルの形状や材質に依っては、検出光が
この熱レンズにより発散されて出射された信号光の信号
強度は弱く、したがって、検出感度が充分ではない場合
があるという問題点がある。

【０００８】特に、試料１３０が生体試料である場合等
においては、従来の光熱変換分光分析装置では検出感度
が充分ではなく、検出感度の更なる向上が望まれている
ところである。

【０００９】本発明は、上記問題点を解消する為になさ
れたものであり、更なる高感度検出が可能な光熱変換分
光分析装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光熱変換分
光分析装置は、励起光が試料に照射されて形成される熱
レンズに検出光を入射させ、検出光が熱レンズにより発
散または偏向されて出力された信号光に基づいて、試料
の分光分析を行う光熱変換分光分析装置であって、(1)
励起光を出力する励起光源と、(2) 検出光を出力する検
出光源と、(3)励起光源から出力された励起光を試料に
入射させる励起光照射光学系と、(4) 励起光の試料への
入射光路とは異なる入射光路で、検出光源から出力され
た検出光を試料に入射させる検出光照射光学系と、(5)
検出光の試料への入射に伴って発生する信号光を検出す
る検出器と、を備えることを特徴とする。

【００１１】この光熱変換分光分析装置によれば、励起
光源から出力された励起光は、励起光照射光学系により
試料に入射されて、試料に熱レンズを生じせしめ、一
方、検出光源から出力された検出光は、検出光照射光学
系により、励起光の試料への入射光路とは異なる入射光
路で試料に入射される。そして、検出光の試料への入射
に伴って発生する信号光は、検出器により検出される。
したがって、励起光照射光学系において信号光と同種の
バックグラウンドノイズ光が発生したとしても、そのバ
ックグラウンドノイズ光は検出器により検出されること
はないので、信号光は高感度に検出される。

【００１２】特に、励起光および検出光それぞれの試料
への入射方向は互いに略対向するのが好適である。この
ようにすることにより、光学系の調整が容易となる。

【００１３】また、励起光が試料に照射される位置およ
び径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整
手段を更に備えてもよいし、検出光が試料に照射される
位置および径の双方または何れか一方を調整する検出光
照射調整手段を更に備えてもよい。これらの場合には、
信号光の検出感度が最大となるように、励起光および照
射光それぞれの試料への照射位置または照射径を調整す
ることができる。

【００１４】また、励起光および検出光それぞれが試料
に照射される位置および集光状態を観察する観察手段を
更に備えるのが好適である。この場合には、励起光およ
び検出光それぞれの試料への照射位置および集光状態を
確認しながら、光熱変換分光分析を行うことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明におい
て同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。図１は、本発明に係る光熱変換分光分析装置の
構成図である。

【００１６】励起光源１０は、試料３０に熱レンズを形
成するための励起光Ａを出力するものである。励起光源
１０として、指向性に優れるレーザ光源が好適に用いら
れる。そして、チョッパ１１、集光レンズ１２およびダ
イクロイックミラー１３からなる励起光照射光学系は、
この励起光源１０から出力された励起光Ａを試料３０に
照射する。すなわち、チョッパ１１は、励起光源１０か
ら出力された励起光Ａを周期的に透過／遮断の変調を
し、集光レンズ１２は、チョッパ１１により変調された
励起光Ａを集光し、そして、ダイクロイックミラー１３
は、その集光された励起光Ａを透過させる。

【００１７】その集光された励起光Ａが試料３０に照射
されると、その一部は試料３０により吸収され、残部は
透過する。試料３０では、励起光吸収に伴い、励起光Ａ
が照射された位置を中心に温度上昇し熱レンズが形成さ
れる。励起光Ａがチョッパ１１により変調されているの
で、この熱レンズも励起光Ａの変調周期と同一周期で変
調されたものとなる。また、試料３０により吸収される
ことなく試料３０を透過した励起光Ａは、ダイクロイッ
クミラー２２を透過し、ライトトラップ２４に入射す
る。ライトトラップ２４は、その入射した励起光Ａを吸
収するものである。

【００１８】一方、検出光源２０は、試料３０に形成さ
れた熱レンズに照射すべき検出光Ｂを出力するものであ
る。検出光源２０として、同様にレーザ光源が好適に用
いられる。そして、ビームスプリッタ２１、集光レンズ
２３およびダイクロイックミラー２２からなる検出光照
射光学系は、この検出光源２０から出力された検出光Ｂ
を試料３０に照射する。すなわち、ビームスプリッタ２
１は、検出光源２０から出力された検出光Ｂの殆どを透
過させ、集光レンズ２３は、その検出光Ｂを、ダイクロ
イックミラー２２で反射させ試料３０に集光照射する。
そして、その集光された検出光Ｂは、試料３０に形成さ
れた熱レンズに入射する。このように、検出光Ｂの試料
３０への入射光路を、励起光Ａの試料３０への入射光路
と異なるものとする。また、この図に示すように、励起
光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０への入射方向を
互いに対向させてもよい。

【００１９】検出光Ｂが試料３０に入射すると、試料３
０に形成された熱レンズにより検出光Ｂは発散または偏
向し信号光Ｃとして出射する。この信号光Ｃの強度は、
その発散または偏向の度合い、即ち、熱レンズの形成度
合いを示すものであり、更には試料３０の濃度等を示す
ものである。ダイクロイックミラー１３はその信号光Ｃ
を反射させ、集光レンズ４０は信号光Ｃを集光し、フィ
ルタ４１は信号光Ｃを透過させ、そして、検出器４２
は、信号光Ｃを検出して信号光強度に応じた電流信号を
出力する。なお、検出器４２の受光面の前面にピンホー
ルを設けてもよい。

【００２０】ここで、ダイクロイックミラー１３および
２２それぞれは、励起光Ａを透過させるが、検出光Ｂお
よび信号光Ｃを反射させるものである。また、フィルタ
４１は、信号光Ｃの波長成分を透過させるが、励起光Ａ
の波長成分を遮断するものである。

【００２１】検出器４２から出力された電流信号を入力
するアンプ４３は、その電流信号を電圧信号に変換し増
幅して出力する。そして、ロックインアンプ５０は、ア
ンプ４３から出力された電圧信号を入力するとともに、
チョッパ１１による励起光変調の同期信号を入力して、
アンプ４３からの電圧信号を同期検波する。ロックイン
アンプ５０からの出力信号を入力するコンピュータ６０
は、その出力信号に基づいて試料３０の分析を行う。

【００２２】また、集光レンズステージ（励起光照射調
整手段）７１は、その上に集光レンズ１２を固定配置す
るものであり、試料ステージ（検出光照射調整手段）７
２は、その上に試料３０を固定配置するものである。こ
れら集光レンズステージ７１および試料ステージ７２そ
れぞれは、ステージ７０の上に置かれており、ステージ
７０に対して互いに直交する３軸方向の何れの方向にも
相対的に移動可能である。また、ステージ７０は、その
他の光学系（励起光源１０、チョッパ１１、ダイクロイ
ックミラー１３、検出光源２０からダイクロイックミラ
ー２２に到るまでの光学系、ならびに、ダイクロイック
ミラー１３から検出器４２に到るまでの光学系）に対し
て、互いに直交する３軸方向の何れの方向にも移動可能
である。

【００２３】これらのうち、ステージ７０は、集光レン
ズ１２および試料３０の概略位置を決めるものである。
集光レンズステージ７１は、集光レンズ１２を微動させ
ることにより励起光Ａの試料３０への照射位置を変更す
るものである。また、試料ステージ７２は、試料３０を
微動させることにより、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞ
れの照射位置を変更するものである。

【００２４】なお、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの
試料３０上の照射径の変更は、集光レンズ１２および集
光レンズ２３それぞれを焦点距離の異なるものに交換す
るか、あるいは、これらに替えて励起光源１０と集光レ
ンズ１２との間または検出光源２０と集光レンズ２３と
の間にビームエクスパンダを設けることにより、行って
もよい。

【００２５】また、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの
試料３０上の照射位置および集光状態は、カメラ（観察
手段）２６により確認することができる。すなわち、カ
メラ２６は、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが照射さ
れた試料３０を、ダイクロイックミラー２２、集光レン
ズ２３、ビームスプリッタ２１および結像レンズ２５を
介して撮像し、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが試料
３０に照射された位置および集光状態を観察する。ここ
で、励起光Ａは、ダイクロイックミラー２２を透過する
ため、カメラ２６に殆ど到達しないので、観察時（調整
時）にはダイクロイックミラー２２を反射鏡に交換する
こととしてもよい。励起光Ａの試料３０への照射位置や
集光状態の観察・調整は、実際の分光分析を行う前に行
われればよいからである。

【００２６】以上のように、本発明に係る光熱変換分光
分析装置では、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料
３０への入射光路を互いに異なるものとしたので、励起
光Ａが試料３０に到るまでの光学系において信号光Ｃと
同種のバックグラウンドノイズ光が発生したとしても、
そのバックグラウンドノイズ光は、検出器４２により検
出されることはなく、したがって、信号光Ｃを高感度に
検出することができる。特に、励起光Ａおよび検出光Ｂ
それぞれの試料３０への入射方向を互いに対向させたの
で、光学系の調整が容易である。また、励起光Ａおよび
検出光Ｂそれぞれが試料３０に照射される位置および照
射径を調整できる構成としたので、信号光Ｃの検出感度
が最大となるように励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれを
試料３０に照射することができ、この点でも信号光Ｃの
検出感度を向上させることができる。さらに、励起光Ａ
および検出光Ｂそれぞれが試料３０に照射される位置お
よび照射径を観察するためのカメラ２６を設けたので、
照射位置および照射径を確認しながら光熱変換分光分析
を行うことができる。

【００２７】次に、本発明に係る光熱変換分光分析装置
の使用方法の１例について説明する。初めに、分析しよ
うとする試料３０を試料ステージ７２の上に載置し、ス
テージ７０を移動させて分光分析に好適な位置に試料３
０を概略配置する。そして、検出光源２０から出射され
た検出光Ｂを、ビームスプリッタ２１、集光レンズ２３
およびダイクロイックミラー２２を経て試料３０に照射
させるとともに、カメラ２６により試料３０上の検出光
の照射位置および照射径を観察しながら、試料３０上の
分析すべき位置に検出光Ｂが適切な照射径で照射される
ように、試料ステージ７２を移動させて試料３０の配置
を決める。

【００２８】その後、励起光源１０から出射された励起
光Ａを、チョッパ１１、集光レンズ１２およびダイクロ
イックミラー１３を経て試料３０に照射させるととも
に、カメラ２６により試料３０上の励起光の照射位置お
よび照射径を観察する。また、検出光Ｂの試料３０への
照射に伴って生じた信号光Ｃを、ダイクロイックミラー
１３、集光レンズ４０およびフィルタ４１を経て、検出
器４２により検出し、その検出器４２から出力された電
流信号をアンプ４３により電圧信号に変換し、その電圧
信号をロックインアンプ５０によりチョッパ１１の変調
周期に同期して検波し、そのロックインアンプ５０から
の出力信号をモニタする。そして、ロックインアンプ５
０からの出力信号が最大になるように、集光レンズステ
ージ７１を移動させて集光レンズ１２の配置を決め、こ
れにより、励起光Ａが試料３０に照射される位置および
照射径を決定する。

【００２９】以上のようにして試料３０に照射される励
起光Ａおよび検出光Ｂの相対的位置関係および照射径が
決まると、例えば、検出光Ｂの入射方向と垂直な方向に
試料ステージ７２により試料３０を２次元走査しなが
ら、試料３０の位置とともにロックインアンプ５０から
の出力信号をコンピュータ６０に取り込んで、コンピュ
ータ６０における演算により試料３０の２次元分析を行
う。また、例えば、試料３０が電気泳動しているもので
あれば、各時刻におけるロックインアンプ５０からの出
力信号をコンピュータ６０に取り込んで、コンピュータ
６０における演算により試料３０の分析を行う。

【００３０】次に、本発明に係る光熱変換分光分析装置
とともに用いるのに好適な試料セルについて説明する。

【００３１】試料３０を容れる試料セルとしてキャピラ
リー管を用い、このキャピラリー管内で試料３０を電気
泳動させながら光熱変換分光分析することも考えられる
が、キャピラリー管は、細いために折れ易く取り扱いが
困難であり、また、管形状であるために励起光および検
出光が散乱し易く照射位置が少しでも動くと信号光検出
への影響が大きいという問題点がある。したがって、本
発明に係る光熱変換分光分析装置においては、集光レン
ズステージ７１により試料３０への励起光照射位置を移
動させるだけでなく、試料ステージ７２により試料３０
を移動させるので、このような問題点のあるキャピラリ
ー管を用いるのは適当ではない。そこで、以下に示すよ
うなキャピラリー基板（図２）や試料チャンバ（図３）
を用いるのが好適である。

【００３２】図２は、本発明に係る光熱変換分光分析装
置とともに用いるのに好適なキャピラリー基板の斜視図
である。このキャピラリー基板８０は、直方体の石英ガ
ラス等の透明材料からなる２枚の透明平板８１および８
２からなる。一方の透明平板８１の１面には、断面形状
が５０μｍ角程度の細溝８１Ａがリソグラフィ技術によ
り形成されており、その上に他方の透明平板８２が貼り
合わされている。また、透明平板８２には、試料導入口
８２Ａおよび８２Ｂが適当な距離を隔てて設けられてお
り、透明平板８１および８２が貼り合わされたときに
は、これら試料導入口８２Ａおよび８２Ｂは、細溝８１
Ａへ試料３０を導入するための口となる。

【００３３】このキャピラリー基板８０が、本発明に係
る光熱変換分光分析装置とともに用いられるときには、
このキャピラリー基板８０が試料ステージ７２に載置さ
れた後、試料３０は、試料導入口８２Ａまたは８２Ｂか
ら細溝８１Ａに導入され、細溝８１Ａ内で電気泳動さ
れ、そして、励起光Ａはキャピラリー基板８０の或る一
面に垂直に入射し、検出光Ｂはその反対側の面に垂直に
入射する。したがって、集光レンズステージ７１および
試料ステージ７２それぞれの移動により、励起光Ａおよ
び検出光Ｂそれぞれがキャピラリー基板８０に入射する
位置が移動したとしても、励起光Ａおよび検出光Ｂそれ
ぞれは細溝８１Ａに垂直に入射するので、入射位置に依
らず同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。

【００３４】図３は、本発明に係る光熱変換分光分析装
置とともに用いるのに好適な試料チャンバの説明図であ
り、図３（ａ）は、その試料チャンバの斜視図であり、
図３（ｂ）は、その試料チャンバの一部品であるスペー
サの斜視図である。この試料チャンバ９０は、スライド
ガラス９１と、中央部に孔９３Ａが設けられ且つ適当な
距離を隔てて試料口９３Ｂおよび９３Ｃが設けられた上
板９３とが、スペーサ９２を挟んで貼り合わされてい
て、この上板９３の上には孔９３Ａを覆うようにカバー
ガラス９４が貼られている。スペーサ９２は、中央部に
円形状の孔９２Ａが設けられ、さらに、その孔９２Ａに
つながって帯形状の孔９２Ｂおよび９２Ｃが設けられて
いる。そして、スライドガラス９１、スペーサ９２、上
板９３、およびカバーガラス９４が貼り合わされたとき
には、上板９３の試料口９３Ｂ、スペーサ９２の孔９２
Ｂ，９２Ａおよび９２Ｃ、ならびに、上板９３の試料口
９３Ｃは、この順につながって試料環流経路となる。

【００３５】この試料チャンバ９０が、本発明に係る光
熱変換分光分析装置とともに用いられるときには、試料
チャンバ９０が試料ステージ７２に載置された後、試料
３０は、試料口９３Ｂまたは９３Ｃから試料環流経路中
に導入され、そして、例えば、励起光Ａは試料チャンバ
９０のスライドガラス９１の側から垂直に入射し、検出
光Ｂはカバーガラス９４の側から垂直に入射する。した
がって、集光レンズステージ７１および試料ステージ７
２それぞれの移動により、励起光Ａおよび検出光Ｂそれ
ぞれが試料チャンバ９０に入射する位置が移動したとし
ても、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれは試料チャンバ
９０の孔９３Ａの領域にある観察窓に垂直に入射するの
で、同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。
また、この試料チャンバ９０に導入される試料３０が細
胞等の生体試料である場合には、その試料３０はカバー
ガラス９４の内面に付着するので、試料３０をその付近
で培養しながら光熱変換分光分析を行うこともできる。

【００３６】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく種々の変形が可能である。例えば、励起光およ
び検出光それぞれの試料への入射方向を互いに対向させ
るのが光学系調整の観点からは好適ではあるが、本発明
は、これに限られるものではなく、励起光および検出光
を互いに任意の角度で試料に入射してもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり本発明によ
れば、励起光源から出力された励起光は、励起光照射光
学系により試料に入射されて、試料に熱レンズを生じせ
しめ、一方、検出光源から出力された検出光は、検出光
照射光学系により、励起光の試料への入射光路とは異な
る入射光路で試料に入射される。そして、検出光の試料
への入射に伴って発生する信号光は、検出器により検出
される。したがって、励起光照射光学系において信号光
と同種のバックグラウンドノイズ光が発生したとして
も、そのバックグラウンドノイズ光は検出器により検出
されることはないので、信号光は高感度に検出される。

【００３８】特に、励起光および検出光それぞれの試料
への入射方向を互いに略対向させた場合には、光学系の
調整が容易となる。

【００３９】また、励起光が試料に照射される位置およ
び径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整
手段を更に備え、また、検出光が試料に照射される位置
および径の双方または何れか一方を調整する検出光照射
調整手段を更に備える場合には、励起光および照射光そ
れぞれの試料への照射位置または照射径を調整すること
ができるので、信号光の検出感度が最大となるように光
学系を容易に調整することができる。

【００４０】また、励起光および検出光それぞれが試料
に照射される位置および径を観察する観察手段を更に備
える場合には、実際の分光分析に先立って励起光の試料
への照射位置および照射径を調整することができ、ま
た、検出光の試料への照射位置および照射径を確認しな
がら光熱変換分光分析を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光熱変換分光分析装置の構成図で
ある。

【図２】本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用
いるのに好適なキャピラリー基板の斜視図である。

【図３】本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用
いるのに好適な試料チャンバの説明図である。

【図４】従来の光熱変換分光分析装置の構成図である。

【符号の説明】

１０…励起光源、１１…チョッパ、１２…集光レンズ、
１３…ダイクロイックミラー、２０…検出光源、２１…
ビームスプリッタ、２２…ダイクロイックミラー、２３
…集光レンズ、２４…ライトトラップ、２５…結像レン
ズ、２６…カメラ、３０…試料、４０…集光レンズ、４
１…フィルタ、４２…検出器、４３…アンプ、５０…ロ
ックインアンプ、６０…コンピュータ、７０…ステー
ジ、７１…集光レンズステージ、７２…試料ステージ、
８０…キャピラリー基板、９０…試料チャンバ、Ａ…励
起光、Ｂ…検出光、Ｃ…信号光。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 励起光が試料に照射されて形成される熱
   レンズに検出光を入射させ、前記検出光が前記熱レンズ
   により発散または偏向されて出力された信号光に基づい
   て、前記試料の分光分析を行う光熱変換分光分析装置で
   あって、 前記励起光を出力する励起光源と、 前記検出光を出力する検出光源と、 前記励起光源から出力された前記励起光を前記試料に入
   射させる励起光照射光学系と、 前記励起光の前記試料への入射光路とは異なる入射光路
   で、前記検出光源から出力された前記検出光を前記試料
   に入射させる検出光照射光学系と、 前記検出光の前記試料への入射に伴って発生する前記信
   号光を検出する検出器と、 を備えることを特徴とする光熱変換分光分析装置。
2. 【請求項２】 前記励起光および前記検出光それぞれの
   前記試料への入射方向は互いに略対向する、ことを特徴
   とする請求項１記載の光熱変換分光分析装置。
3. 【請求項３】 前記励起光が前記試料に照射される位置
   および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射
   調整手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載
   の光熱変換分光分析装置。
4. 【請求項４】 前記検出光が前記試料に照射される位置
   および径の双方または何れか一方を調整する検出光照射
   調整手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載
   の光熱変換分光分析装置。
5. 【請求項５】 前記励起光および前記検出光それぞれが
   前記試料に照射される位置および集光状態を観察する観
   察手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載の
   光熱変換分光分析装置。