JPH10140392A - 電気めっき装置 - Google Patents

電気めっき装置

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JPH10140392A
JPH10140392A JP29647196A JP29647196A JPH10140392A JP H10140392 A JPH10140392 A JP H10140392A JP 29647196 A JP29647196 A JP 29647196A JP 29647196 A JP29647196 A JP 29647196A JP H10140392 A JPH10140392 A JP H10140392A
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JP
Japan
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plates
plating
current
long
electroplating apparatus
Prior art date
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Pending
Application number
JP29647196A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisanori Akino
久則 秋野
Toshinori Ozaki
敏範 尾崎
Masakatsu Tomobe
政勝 友部
Masakazu Narasaki
雅和 楢崎
Toshinobu Nakamura
敏信 中村
Yuji Yagi
雄二 八木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Publication of JPH10140392A publication Critical patent/JPH10140392A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】断面に凹凸のある異形金属条であっても、めっ
き厚分布の均一化が図れるようにした電気めっき装置を
提供すること。 【解決手段】長尺のアノード極板とカソード極板が平行
に配置された、めっき浴槽を有する電気めっき装置にお
いて、前記極板間に極板と垂直で長手方向に長い電流遮
蔽板を多数挿入した電気めっき装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスリット入り電流遮
蔽板の導入によって、均一な膜厚のめっきができるよう
にした電気めっき装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の電気めっき装置の構成を示
す。これは、めっき浴槽1内にアノード極板2を設け、
カソード極板とした金属条体3を断面縦方向に走行させ
る。走行させる金属条体3の上部と下部の両側にめっき
電流密度を調節するための電流遮蔽板4,5をそれぞれ
設ける。さらに、下部両側の電流遮蔽板5の近傍に、こ
れらの間から流体を噴出してめっき液6を流動する流体
ノズル7を設ける。なお、上部電流遮蔽板4の下端部4
aはくさび形になっている。
【0003】ここで、電流遮蔽板4,5でめっき電流を
調節することにより金属条体3の端部3bのめっき膜厚
が厚くなるのは防止できる。
【0004】しかしながら、電流遮蔽効果と流動効果が
加味されると、金属条上部での流動が不十分となり、ま
た、電流が過度に遮蔽されやすくなるなどの結果、金属
条上端部3aのめっき厚が薄くなってしまうという問題
が生じる。(そこで、本発明では、図2に示すように金
属条体の両側にスリット入りの電流遮蔽板を設け、めっ
き厚の均一化を図るようにしてある。
【0005】なお、めっき条件に柔軟に対応できるよう
にするため、さらに、図4に示す上部電流遮蔽板4を図
3に示す送り治具9に装着して水平方向に移動自在に設
け、図3に示すフィードモーター10の回転により、図
4に示す上部電流遮蔽板4の金属条3に対する位置を可
変できるように構成してある。このように構成すると、
全面めっきをする場合、上部電流遮蔽板4の位置を適切
に設定することができる。)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、金属条が平条の全面めっきには有効であるが、凹凸
のある異形条の全面めっきになると、部分的に電流が集
中または遮断される現象が起きるため、板厚部の異なる
エッジ部、及び金属条端部でのめっき膜厚が不均一とな
るという問題があった。
【0007】本発明の目的は、スリット入り遮蔽板を導
入することによって、上述した従来技術の問題点を解消
して、断面に凹凸のある異形金属条であっても、めっき
厚分布の均一化が図れるようにした電気めっき装置を提
供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の電気めっき装置
は、長尺のアノード極板とカソード極板が平行に配置さ
れた、めっき浴槽を有する電気めっき装置において、前
記極板間に極板と垂直で長手方向に長い電流遮蔽板を多
数挿入した電気めっき装置である。
【0009】また、本発明の電気めっき装置は、断面を
縦方向にしてめっき槽内を走行する異形金属条の両側
に、めっき電流密度を調節するスリット入りの電流遮蔽
板をそれぞれ設け、さらに浴槽下部より流体を噴出して
めっき液を流動する流体ノズルを設けた電気めっき装置
である。
【0010】この場合、スリット入りの電流遮蔽板の間
隔を可変させたり、電流遮蔽板と金属条体の距離を可変
できるようにすることができる。この場合、スリットの
間隔を2〜40mmとしたり、さらに、電流遮蔽板を水平
方向に移動自在に設けて電流遮蔽板の金属条体に対する
位置を可変できるように構成してもよい。特に、スリッ
トの間隔を2〜40mmとしたのは逆に2mm以下だと装置
構成がその強度上問題となり、40mm以上だと電流遮蔽
効果が小さく、好ましくないためである。
【0011】スリット入りの電流遮蔽板を設けると、電
極間における電流の分配が均一化されるので異形金属条
の板厚部の異なるエッジ部あるいは条端部の電流集中ま
たは電流遮断が緩和されるため、めっき厚の変動が抑え
られる。
【0012】電流遮蔽板のスリットの間隔及び電流遮蔽
板と金属条体間距離を可変できるようにすると、めっき
条件が異なっても、その条件にそった最適な距離が容易
に設定できる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1に本発明の実施例を示す。こ
の実施例は、異形金属条3の両側にスリット入りの電流
遮蔽板8を設けている。このように、電流遮蔽板8によ
る電流の分配が最適化される電流遮蔽効果により、電流
分布が均一化される。その結果、異形金属条体3の端部
3a及び凸部3cでの膜厚不足あるいは膜厚過剰になる
といった問題がなくなり、めっき膜厚分布の均一化が図
れる。
【0014】次に、実際にスリットの間隔がどのように
めっき膜厚に及ぼすかを調べた。
【0015】実験では図7に示す異形金属条3の平滑面
側及び凸面側においてスリットの間隔δを変化させた場
合のめっき膜厚分布を調べた。その結果を図5、6に示
す。横軸は金属条体の条幅、縦軸はめっき膜厚を示す。
同図からδが大きくなるとめっき膜厚の大きい部分と小
さい部分の比が大きくなり、逆にδが小さくなっていく
と膜厚のばらつきが小さくなる。そのスリットの間隔δ
が小さいほど、電流の分配がきめ細かくなることがわか
った。
【0016】スリットの間隔δを図2に示すように、金
属条体3の平行な部分をきめ細かく、それ以外のところ
をあらく設定してもよい。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、電流遮蔽板にスリット
を入れたので、金属条体のめっき膜厚を均一化すること
ができる。
【0018】特に、スリットの間隔を可変自在にする
と、めっき条件が異なっても、その条件に合った最適な
間隔を容易に設定できる。また、このスリットの間隔を
2〜40mmとしたので、金属条体のめっき膜厚を均一化
することができる。
【0019】また、電流遮蔽板の金属条体に対する位置
を調整できるようにしたので、めっ条件が異なっても、
その条件に合った最適な配置位置を容易に設定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る電気めっき装置の構成を
示す断面図である。
【図2】本発明の実施例に係る着脱自在とした電流遮蔽
板を示す断面図である。
【図3】従来例に係る電流遮蔽板の移動機構を示す断面
図である。
【図4】従来例に係る電気めっき装置の構成を示す断面
図である。
【図5】スリット間隔δを変化させたときの金属条体の
平滑面側の膜厚分布を示す図である。
【図6】スリット間隔δを変化させたときの金属条体の
凸面側の膜厚分布を示す図である。
【図7】平滑面側と凸面側を説明するための金属条体の
断面図である。
【符号の説明】
1 めっき浴槽 2 アノード極板 3 金属条体 4 上部電流遮蔽板 5 下部電流遮蔽板 6 めっき液 7 流体ノズル 8 スリット入り電流遮蔽板 9 送り治具 10 フィードモーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 楢崎 雅和 茨城県日立市助川町3丁目1番1号 日立 電線株式会社電線工場内 (72)発明者 中村 敏信 茨城県日立市助川町3丁目1番1号 日立 電線株式会社電線工場内 (72)発明者 八木 雄二 茨城県日立市助川町3丁目1番1号 日立 電線株式会社電線工場内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】長尺のアノード極板と長尺のカソード極板
    が平行に配置された、めっき浴槽を有する電気めっき装
    置において、前記極板間に極板と垂直で長手方向に長い
    電流遮蔽板を多数挿入したことを特徴とする電気めっき
    装置。
  2. 【請求項2】電流遮蔽板の板厚あるいは、スリットの間
    隔を部分的に可変自在にした請求項1に記載の電気めっ
    き装置。
  3. 【請求項3】電流遮蔽板のスリットの間隔を2〜40mm
    にすると共に部分的に変動させたことを特徴とする請求
    項1または2に記載の電気めっき装置。
  4. 【請求項4】断面を縦方向にしてめっき浴槽内を走行す
    る金属条体の両側に、めっき電流密度を調節する電流遮
    蔽板をそれぞれ設け、さらに浴槽下方により配置した流
    体を噴出してめっき液を流動する流体ノズルを設けた電
    気めっき装置において、両側の電流遮蔽板に所定のスリ
    ットを入れたことを特徴とする請求項1〜4記載の電気
    めっき装置。
JP29647196A 1996-11-08 1996-11-08 電気めっき装置 Pending JPH10140392A (ja)

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JP29647196A JPH10140392A (ja) 1996-11-08 1996-11-08 電気めっき装置

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JP29647196A JPH10140392A (ja) 1996-11-08 1996-11-08 電気めっき装置

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JPH10140392A true JPH10140392A (ja) 1998-05-26

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ID=17833990

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JP29647196A Pending JPH10140392A (ja) 1996-11-08 1996-11-08 電気めっき装置

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JP (1) JPH10140392A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100350078C (zh) * 2004-03-05 2007-11-21 日本梅克特隆株式会社 连续镀铜方法
JP2010138433A (ja) * 2008-12-10 2010-06-24 Renesas Electronics Corp 半導体装置製造装置及び半導体装置製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100350078C (zh) * 2004-03-05 2007-11-21 日本梅克特隆株式会社 连续镀铜方法
JP2010138433A (ja) * 2008-12-10 2010-06-24 Renesas Electronics Corp 半導体装置製造装置及び半導体装置製造方法

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