JPH10140393A - 電気めっき装置 - Google Patents
電気めっき装置Info
- Publication number
- JPH10140393A JPH10140393A JP29647296A JP29647296A JPH10140393A JP H10140393 A JPH10140393 A JP H10140393A JP 29647296 A JP29647296 A JP 29647296A JP 29647296 A JP29647296 A JP 29647296A JP H10140393 A JPH10140393 A JP H10140393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- auxiliary cathode
- plating
- cathode electrode
- metal strip
- electroplating apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】断面に凹凸のある異形金属条であっても、めっ
き厚分布の均一化が図れるようにした電気めっき装置を
提供すること。 【解決手段】長尺のアノード極板と長尺のカソード極板
が平行に配置された、めっき浴槽を有する電気めっき装
置において、前記極板間に補助カソード極を取り付けた
電気めっき装置。
き厚分布の均一化が図れるようにした電気めっき装置を
提供すること。 【解決手段】長尺のアノード極板と長尺のカソード極板
が平行に配置された、めっき浴槽を有する電気めっき装
置において、前記極板間に補助カソード極を取り付けた
電気めっき装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は補助カソード極の導
入によって、凹凸のある異形金属条であっても、均一な
めっきができるようにした電気めっき装置に関するもの
である。
入によって、凹凸のある異形金属条であっても、均一な
めっきができるようにした電気めっき装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の電気めっき装置の構成を示
す。これは、めっき浴槽１内にアノード極板２を設け、
カソード極板とした金属条体３を断面縦方向に走行させ
る。走行させる金属条体３の上部と下部の両側にめっき
電流密度を調節するための電流遮蔽板４，５をそれぞれ
設ける。さらに、下部両側の電流遮蔽板５の近傍に、こ
れらの間から空気等の流体を噴出してめっき液６を流動
する流体ノズル７を設ける。なお、上部電流遮蔽板４の
下端部４ａはくさび形になっている。
す。これは、めっき浴槽１内にアノード極板２を設け、
カソード極板とした金属条体３を断面縦方向に走行させ
る。走行させる金属条体３の上部と下部の両側にめっき
電流密度を調節するための電流遮蔽板４，５をそれぞれ
設ける。さらに、下部両側の電流遮蔽板５の近傍に、こ
れらの間から空気等の流体を噴出してめっき液６を流動
する流体ノズル７を設ける。なお、上部電流遮蔽板４の
下端部４ａはくさび形になっている。
【０００３】ここで、電流遮蔽板４，５でめっき電流を
調節することにより金属条体３の端部３ｂのめっき膜厚
が厚くなるのは防止でき、流動効果により電流分布を均
一化することができる。
調節することにより金属条体３の端部３ｂのめっき膜厚
が厚くなるのは防止でき、流動効果により電流分布を均
一化することができる。
【０００４】しかしながら、電流遮蔽効果と流動効果が
加味されると、金属条上部での流動が不十分となり、ま
た、電流が過度に遮蔽されやすくなる結果、金属条上端
部３ａのめっき厚が薄くなってしまうという問題が生じ
る。（そこで、本発明においては、図１に示すように異
形金属条体の凸側にスパイラル型の補助カソード極８を
設け、めっき厚の均一化を図るようにしてある。
加味されると、金属条上部での流動が不十分となり、ま
た、電流が過度に遮蔽されやすくなる結果、金属条上端
部３ａのめっき厚が薄くなってしまうという問題が生じ
る。（そこで、本発明においては、図１に示すように異
形金属条体の凸側にスパイラル型の補助カソード極８を
設け、めっき厚の均一化を図るようにしてある。
【０００５】なお、めっき条件に柔軟に対応できるよう
にするため、さらに、補助カソード極８を送り治具９に
装着して水平方向に移動自在に設け、フィードモーター
１０の回転により、補助カソード極８の金属条３に対す
る位置を可変できるように構成してある。このように構
成すると、全面めっきをする場合、補助カソード極８の
位置を適切に設定することができる。）
にするため、さらに、補助カソード極８を送り治具９に
装着して水平方向に移動自在に設け、フィードモーター
１０の回転により、補助カソード極８の金属条３に対す
る位置を可変できるように構成してある。このように構
成すると、全面めっきをする場合、補助カソード極８の
位置を適切に設定することができる。）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、金属条が平条の全面めっきには有効であるが、凹凸
のある異形条の全面めっきになると、部分的に電流が集
中または遮断される現象が起きるため、凸部のエッジ
部、及び金属条端部でのめっき膜厚が不均一となるとい
う問題があった。
は、金属条が平条の全面めっきには有効であるが、凹凸
のある異形条の全面めっきになると、部分的に電流が集
中または遮断される現象が起きるため、凸部のエッジ
部、及び金属条端部でのめっき膜厚が不均一となるとい
う問題があった。
【０００７】本発明の目的は、スパイラル型の補助カソ
ード極を導入することによって、上述した従来技術の問
題点を解消して、断面に凹凸のある異形金属条であって
も、めっき厚分布の均一化が図れるようにした電気めっ
き装置を提供することにある。
ード極を導入することによって、上述した従来技術の問
題点を解消して、断面に凹凸のある異形金属条であって
も、めっき厚分布の均一化が図れるようにした電気めっ
き装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の電気めっき装置
は、長尺のアノード極板とカソード極板が平行に配置さ
れた、めっき浴槽を有する電気めっき装置において、前
記極板間に補助カソード極を取り付けた電気めっき装置
である。
は、長尺のアノード極板とカソード極板が平行に配置さ
れた、めっき浴槽を有する電気めっき装置において、前
記極板間に補助カソード極を取り付けた電気めっき装置
である。
【０００９】また、本発明の電気めっき装置は、同一断
面で異なる板厚部を持つ異形金属条の電気めっき装置で
あって、断面を縦方向にしてめっき槽内を走行する異形
金属条の凸部のエッジ部近傍にスパイラル型の補助カソ
ード極８を設け、さらに浴槽下部より流体を噴出してめ
っき液を流動する流体ノズルを設けた電気めっき装置で
ある。
面で異なる板厚部を持つ異形金属条の電気めっき装置で
あって、断面を縦方向にしてめっき槽内を走行する異形
金属条の凸部のエッジ部近傍にスパイラル型の補助カソ
ード極８を設け、さらに浴槽下部より流体を噴出してめ
っき液を流動する流体ノズルを設けた電気めっき装置で
ある。
【００１０】この場合、補助カソード極を水平方向に移
動自在に設けて、補助カソード極の異形金属条に対する
距離δを可変できるようにしたり、図３に示すように、
補助カソード極とアノード極間の電圧を可変できるよう
にしたり、補助カソード極の回転数を可変できるように
したりすることができる。また、補助カソード極に変え
てバイポーラコンダクタを設けるようにしてもよい。
動自在に設けて、補助カソード極の異形金属条に対する
距離δを可変できるようにしたり、図３に示すように、
補助カソード極とアノード極間の電圧を可変できるよう
にしたり、補助カソード極の回転数を可変できるように
したりすることができる。また、補助カソード極に変え
てバイポーラコンダクタを設けるようにしてもよい。
【００１１】スパイラル型の補助カソード極を設ける
と、異形金属条の板厚部の異なるエッジ部あるいは条端
部の電流集中または電流遮断が緩和されるため、めっき
厚の変動が抑えられる。また、補助カソード極が回転す
ることにより、流動効果が高まり均一なめっき膜厚が得
られる。
と、異形金属条の板厚部の異なるエッジ部あるいは条端
部の電流集中または電流遮断が緩和されるため、めっき
厚の変動が抑えられる。また、補助カソード極が回転す
ることにより、流動効果が高まり均一なめっき膜厚が得
られる。
【００１２】補助カソード極の異形金属条に対する距離
を可変できるようにすると、めっき条件が異なっても、
その条件にあった最適な距離を容易に設定できる。
を可変できるようにすると、めっき条件が異なっても、
その条件にあった最適な距離を容易に設定できる。
【００１３】また、補助カソード極の回転数を可変でき
るようにすると、めっき条件が異なっても、その条件に
合った最適な回転数を容易に設定できる。また、補助カ
ソード極とアノード極間の電圧を可変できるようにする
と、めっき条件が異なっても、その条件に合った最適な
電圧を容易に設定できる。
るようにすると、めっき条件が異なっても、その条件に
合った最適な回転数を容易に設定できる。また、補助カ
ソード極とアノード極間の電圧を可変できるようにする
と、めっき条件が異なっても、その条件に合った最適な
電圧を容易に設定できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に本発明の実施例を示す。こ
の実施例は、異形金属条３の板厚部の異なるエッジ部の
近傍にスパイラル型の補助カソード極を設け、この補助
カソード極８を回転軸として回転するようにしてある。
の実施例は、異形金属条３の板厚部の異なるエッジ部の
近傍にスパイラル型の補助カソード極を設け、この補助
カソード極８を回転軸として回転するようにしてある。
【００１５】補助カソード極８は主カソード極である異
形金属条体３に電気的に接続され、したがって、補助カ
ソード極８の電位は主カソード極の電位に等しく、高電
流密度部分となる上記エッジ部近傍に配置されると、異
形金属条体３の凸部側であっては、電流の一部をにがし
て電流密度を低下させ、また、凹部側においては電流を
集めて電流密度を高める。
形金属条体３に電気的に接続され、したがって、補助カ
ソード極８の電位は主カソード極の電位に等しく、高電
流密度部分となる上記エッジ部近傍に配置されると、異
形金属条体３の凸部側であっては、電流の一部をにがし
て電流密度を低下させ、また、凹部側においては電流を
集めて電流密度を高める。
【００１６】さらに、補助カソード極８を回転させると
エッジ部近傍のめっき液６が十分撹拌されるため、補助
カソード極８を設けたことにより、凸部側では低下する
電流密度、及び凹部側で高められる電流密度を平均化し
て、エッジ部での電流密度をより均一化する。また、単
に補助カソード極８を設けただけでは低下させることの
できなかった異形金属条３の端部の電流密度を低下させ
る。また、補助カソード極８の形状がスパイラル型にな
っているので、流動は十分に行われ、電流が過度に遮蔽
されるということもなくなり、電流分布が均一化され
る。その結果、異形金属条体の端部及び凸部での膜厚不
足あるいは膜厚過剰になるといった問題がなくなり、め
っき膜厚分布の均一化が図れる。
エッジ部近傍のめっき液６が十分撹拌されるため、補助
カソード極８を設けたことにより、凸部側では低下する
電流密度、及び凹部側で高められる電流密度を平均化し
て、エッジ部での電流密度をより均一化する。また、単
に補助カソード極８を設けただけでは低下させることの
できなかった異形金属条３の端部の電流密度を低下させ
る。また、補助カソード極８の形状がスパイラル型にな
っているので、流動は十分に行われ、電流が過度に遮蔽
されるということもなくなり、電流分布が均一化され
る。その結果、異形金属条体の端部及び凸部での膜厚不
足あるいは膜厚過剰になるといった問題がなくなり、め
っき膜厚分布の均一化が図れる。
【００１７】ここで、補助カソード極８の異形金属条３
に対する距離δ、及び補助カソード極８の回転数の最適
範囲を求めるために、図１に示すような補助カソード極
の取り付け構造は、めっき槽内に送り治具９を水平に設
け、この送り治具９にそれぞれ回転モーター１０を移動
自在に装着し、補助カソード極８の異形金属条３に対す
る距離を約０〜１００mmに可変できるようにし、かつ、
補助カソード極８の回転数を０〜５００rpm に可変でき
るようにした。
に対する距離δ、及び補助カソード極８の回転数の最適
範囲を求めるために、図１に示すような補助カソード極
の取り付け構造は、めっき槽内に送り治具９を水平に設
け、この送り治具９にそれぞれ回転モーター１０を移動
自在に装着し、補助カソード極８の異形金属条３に対す
る距離を約０〜１００mmに可変できるようにし、かつ、
補助カソード極８の回転数を０〜５００rpm に可変でき
るようにした。
【００１８】まず、回転数を１００rpm 一定とし、異形
金属条のエッジ部から補助カソード極８までの距離δを
０〜１００mmと変化させた。そのときのめっき膜厚分布
を図３に示す。その結果、δが小さいほど均一な膜厚分
布となっていることがわかる。
金属条のエッジ部から補助カソード極８までの距離δを
０〜１００mmと変化させた。そのときのめっき膜厚分布
を図３に示す。その結果、δが小さいほど均一な膜厚分
布となっていることがわかる。
【００１９】次に、補助カソード極の回転数がどのよう
にめっき膜厚に及ぼすかを調べた。
にめっき膜厚に及ぼすかを調べた。
【００２０】実験では図２に示す異形金属条３の凸面側
において回転数を０〜５００rpm 変化させた場合のめっ
き膜厚分布を調べた。その結果を図４に示す。横軸は金
属条体の条幅、縦軸はめっき膜厚を示す。ここでは、補
助カソード極の配置を２０mm一定とした。なお、配置位
置を２０mmとしたのは、金属条への過度の近接配置が極
めて困難であるからである。同図から回転数が大きくな
るとエッジ部分でのめっき厚が緩和され、膜厚は均一に
なり有効であることがわかる。
において回転数を０〜５００rpm 変化させた場合のめっ
き膜厚分布を調べた。その結果を図４に示す。横軸は金
属条体の条幅、縦軸はめっき膜厚を示す。ここでは、補
助カソード極の配置を２０mm一定とした。なお、配置位
置を２０mmとしたのは、金属条への過度の近接配置が極
めて困難であるからである。同図から回転数が大きくな
るとエッジ部分でのめっき厚が緩和され、膜厚は均一に
なり有効であることがわかる。
【００２１】このように、補助カソード極の配置位置及
び回転数は、めっき厚の均一化にとって非常に重要であ
るが、どの値が最適であるかは、金属条の種類やめっき
条件によって異なるため、これらの条件に速やかに対応
できるようにするため、図２に示したように、補助カソ
ード極の位置及び回転数を可変できるようにした。ま
た、補助カソード極の電位も重要なパラメータとなり得
る。そこで、図２に示すように補助カソード極とアノー
ド極間に可変抵抗１１を接続して両極間の電圧を可変で
きるようにすることが好ましい。このように、補助カソ
ード極の位置、回転数、及び極間電位を可変できるよう
にすると、めっき条件の変動にも速やかに対応できる。
び回転数は、めっき厚の均一化にとって非常に重要であ
るが、どの値が最適であるかは、金属条の種類やめっき
条件によって異なるため、これらの条件に速やかに対応
できるようにするため、図２に示したように、補助カソ
ード極の位置及び回転数を可変できるようにした。ま
た、補助カソード極の電位も重要なパラメータとなり得
る。そこで、図２に示すように補助カソード極とアノー
ド極間に可変抵抗１１を接続して両極間の電圧を可変で
きるようにすることが好ましい。このように、補助カソ
ード極の位置、回転数、及び極間電位を可変できるよう
にすると、めっき条件の変動にも速やかに対応できる。
【００２２】なお、上述した実施例では、補助カソード
極を設けた場合について説明したが、補助カソード極の
変わりにバイポーラコンダクタを設置しても、同様な結
果を得ることができる。バイポーラコンダクタはカソー
ドに対向する表面は正に荷電する（バイポーラ効果）。
したがって、可溶性金属ではカソードに対向するが溶解
し、また、アノードに対向する面で金属析出が起こる。
すなわち、金属導体からなるバイポーラコンダクタを設
置しても、その配置によって主カソードの一部に大きな
影響を及ぼし、電流密度を変化させることができるから
である。
極を設けた場合について説明したが、補助カソード極の
変わりにバイポーラコンダクタを設置しても、同様な結
果を得ることができる。バイポーラコンダクタはカソー
ドに対向する表面は正に荷電する（バイポーラ効果）。
したがって、可溶性金属ではカソードに対向するが溶解
し、また、アノードに対向する面で金属析出が起こる。
すなわち、金属導体からなるバイポーラコンダクタを設
置しても、その配置によって主カソードの一部に大きな
影響を及ぼし、電流密度を変化させることができるから
である。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、金属条体のエッジ部近
傍に回転式のスパイラル型補助カソード極にしたので、
金属条体のめっき膜厚を均一化することができる。
傍に回転式のスパイラル型補助カソード極にしたので、
金属条体のめっき膜厚を均一化することができる。
【００２４】特に、補助カソード極の配置位置及び回転
数を可変自在にすると、めっき条件が異なっても、その
条件にあった最適な間隔を容易に設定できる。
数を可変自在にすると、めっき条件が異なっても、その
条件にあった最適な間隔を容易に設定できる。
【図１】本発明の実施例による電気めっき装置を示す断
面図である。
面図である。
【図２】本実施例による補助カソード極の配置と極間電
圧調整手段を示す説明図である。
圧調整手段を示す説明図である。
【図３】補助カソード極の回転数を一定としたときの異
形金属条との距離に対する膜厚分布を示す図である。
形金属条との距離に対する膜厚分布を示す図である。
【図４】異形金属条に対する補助カソード極の距離を一
定としたときの回転数に対する膜厚分布を示す図であ
る。
定としたときの回転数に対する膜厚分布を示す図であ
る。
【図５】従来例による電気めっき装置の構成を示す断面
図である。
図である。
１ めっき浴槽 ２ アノード極板 ３ 金属条体 ４ 上部電流遮蔽板 ５ 下部電流遮蔽板 ６ めっき液 ７ 流体ノズル ８ スパイラル型補助カソード極 ９ 送り治具 １０ フィードモーター １１ 可変抵抗
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 楢崎 雅和 茨城県日立市助川町３丁目１番１号 日立 電線株式会社電線工場内 (72)発明者 中村 敏信 茨城県日立市助川町３丁目１番１号 日立 電線株式会社電線工場内 (72)発明者 八木 雄二 茨城県日立市助川町３丁目１番１号 日立 電線株式会社電線工場内
Claims (6)
- 【請求項１】長尺のアノード極板と長尺のカソード極板
が平行に配置された、めっき浴槽を有する電気めっき装
置において、前記極板間に補助カソード極を取り付けた
ことを特徴とする電気めっき装置。 - 【請求項２】同一断面で異なる板厚部を持つ異形金属条
の電気めっき装置であって、断面を縦方向にしてめっき
浴槽内を走行する金属条体の上部と下部との両側に、め
っき電流密度を調節する電流遮蔽板をそれぞれ設け、さ
らに浴槽下方により配置した流体を噴出してめっき液を
流動する流体ノズルを設けた電気めっき装置において、
異形金属条の板厚部の異なるエッジ部近傍に補助カソー
ド極を設け、かつカソード極を回転軸として回転するよ
うにしたことを特徴とする電気めっき装置。 - 【請求項３】補助カソード極を水平方向及び上下に移動
自在に設けて、補助カソード極の異形金属条に対する距
離を可変できるようにした請求項１または２記載の電気
めっき装置。 - 【請求項４】補助カソード極を回転可能構造とし、その
回転数を可変できるようにしたことを特徴とする請求項
１〜３に記載の電気めっき装置。 - 【請求項５】補助カソード極とアノード極間の電圧を可
変できるようにした請求項１〜４のいずれかに記載の電
気めっき装置。 - 【請求項６】補助カソード極に変えてバイポーラコンダ
クタを設けた請求項１〜５のいずれかに記載の電気めっ
き装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29647296A JPH10140393A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 電気めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29647296A JPH10140393A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 電気めっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10140393A true JPH10140393A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=17834003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29647296A Pending JPH10140393A (ja) | 1996-11-08 | 1996-11-08 | 電気めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10140393A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102828211A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-19 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN103603024A (zh) * | 2013-12-02 | 2014-02-26 | 昆山亿诚化工容器有限公司 | 一种使电镀层厚度均匀的电镀设备 |
| CN104878424A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-09-02 | 深圳崇达多层线路板有限公司 | 一种提高pcb垂直电镀线电镀层均匀性的方法 |
| EP4006210A1 (en) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | Semsysco GmbH | Distribution system for a process fluid and an electric current for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate |
-
1996
- 1996-11-08 JP JP29647296A patent/JPH10140393A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102828211A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-19 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN102828211B (zh) * | 2012-08-30 | 2016-05-04 | 东莞市五株电子科技有限公司 | 电镀方法 |
| CN103603024A (zh) * | 2013-12-02 | 2014-02-26 | 昆山亿诚化工容器有限公司 | 一种使电镀层厚度均匀的电镀设备 |
| CN104878424A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-09-02 | 深圳崇达多层线路板有限公司 | 一种提高pcb垂直电镀线电镀层均匀性的方法 |
| EP4006210A1 (en) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | Semsysco GmbH | Distribution system for a process fluid and an electric current for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate |
| WO2022112015A1 (en) * | 2020-11-27 | 2022-06-02 | Semsysco Gmbh | Distribution system for a process fluid and an electric current for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3107170B2 (ja) | 金属箔に表面処理を施すための方法および装置 | |
| US6238529B1 (en) | Device for electrolytic treatment of printed circuit boards and conductive films | |
| US4183799A (en) | Apparatus for plating a layer onto a metal strip | |
| US3963588A (en) | Coalescent-jet apparatus and method for high current density preferential electroplating | |
| US4310403A (en) | Apparatus for electrolytically treating a metal strip | |
| CA2062089A1 (en) | Electrolytic cell anode | |
| US4747923A (en) | Device for performing continuous electrolytic treatment on a metal web | |
| KR930008929B1 (ko) | 불용성 전극장치 | |
| JPH10140393A (ja) | 電気めっき装置 | |
| EP1063322B1 (en) | Anode structure for manufacture of metallic foil | |
| JPH08296087A (ja) | 電気メッキ装置 | |
| JP2000195823A (ja) | めっき方法およびめっき装置 | |
| JPH10140392A (ja) | 電気めっき装置 | |
| US6911137B2 (en) | Method and device for the electrolytic coating of a metal strip | |
| JP2901488B2 (ja) | 連続電解処理方法 | |
| JP3402423B2 (ja) | 電気めっき槽における金属ストリップの振動防止方法および振動防止装置 | |
| KR970009433B1 (ko) | 전기도금공정의 아-크 스포트 형성방지방법 | |
| AU2001256857A1 (en) | Method and device for the electrolytic coating of a metal strip | |
| JPS58113396A (ja) | ラジアルセル型めつき槽におけるエツジオ−バ−コ−ト防止装置 | |
| JPH11106989A (ja) | 電気めっき装置 | |
| JPH0711488A (ja) | 金属ストリップの通電処理槽用電極装置 | |
| EP0101446A1 (en) | ELECTROPLATING PROCESS. | |
| JPH0711490A (ja) | 金属ストリップの通電処理槽用電極装置 | |
| JPH06306695A (ja) | 金属ストリップの連続電気めっき設備ならびに幅方向めっき付着量制御方法 | |
| JP3288272B2 (ja) | 電気めっき装置 |