JPH10138095A - 粗度センサ付寸法測定装置 - Google Patents
粗度センサ付寸法測定装置Info
- Publication number
- JPH10138095A JPH10138095A JP29858396A JP29858396A JPH10138095A JP H10138095 A JPH10138095 A JP H10138095A JP 29858396 A JP29858396 A JP 29858396A JP 29858396 A JP29858396 A JP 29858396A JP H10138095 A JPH10138095 A JP H10138095A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- surface roughness
- measuring
- arm
- dimension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供する。 【解決手段】円筒研削盤の砥石12により研削するワー
ク10の外周面に装着される外形測定ヘッド20のフィ
ンガ22及びコンタクト22Aの内部にワーク表面の粗
度を測定する表面粗度センサが内蔵される。この表面粗
度センサは、コンタクト22Aの先端の穴からワーク表
面に接触する触針52を有し、ワーク表面に沿って触針
52が変位すると、アーム50と支点50Aを介してコ
ア54が変位し、差動トランス56がこの変位を電圧信
号に変換する。また、この表面粗度センサはリトラクト
機構を有し、アーム60の自重によりピン62がアーム
50を押し上げると触針52がリトラクトされ、エアノ
ズル64からエアが送出されてエア圧によりピン62が
押し下げられると、ピン62がアーム50から離間して
触針52が自重によりワーク表面に当接し、測定可能な
状態となる。
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供する。 【解決手段】円筒研削盤の砥石12により研削するワー
ク10の外周面に装着される外形測定ヘッド20のフィ
ンガ22及びコンタクト22Aの内部にワーク表面の粗
度を測定する表面粗度センサが内蔵される。この表面粗
度センサは、コンタクト22Aの先端の穴からワーク表
面に接触する触針52を有し、ワーク表面に沿って触針
52が変位すると、アーム50と支点50Aを介してコ
ア54が変位し、差動トランス56がこの変位を電圧信
号に変換する。また、この表面粗度センサはリトラクト
機構を有し、アーム60の自重によりピン62がアーム
50を押し上げると触針52がリトラクトされ、エアノ
ズル64からエアが送出されてエア圧によりピン62が
押し下げられると、ピン62がアーム50から離間して
触針52が自重によりワーク表面に当接し、測定可能な
状態となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は粗度センサ付寸法測
定装置に係り、特に寸法測定用の測定子に表面粗度検出
用のセンサを組み込み、加工中に寸法測定と表面粗度を
同時に測定し、加工機等へフィードバックさせる粗度セ
ンサ付寸法測定装置に関する。
定装置に係り、特に寸法測定用の測定子に表面粗度検出
用のセンサを組み込み、加工中に寸法測定と表面粗度を
同時に測定し、加工機等へフィードバックさせる粗度セ
ンサ付寸法測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】砥石等によりワークを研削加工する研削
装置において、従来、加工したワークの表面粗さを測定
し、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の切れ味が悪化した等の判断を行っている
(尚、表面粗さは、一般的に研削方向と直角方向に測定
したものを示すが、本明細書においては測定方向をこの
方向に特定しないものを表面粗度又は粗度と称すること
にする)。実際には、全てのワークの表面粗さを検出す
ると時間を要するため、所定本数のワークを加工する毎
に、ワークを研削装置から取り外して表面粗さ計等によ
りワークの表面粗さを測定するようにしている。そし
て、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の修正(ドレッシング等)や交換を行う。
装置において、従来、加工したワークの表面粗さを測定
し、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の切れ味が悪化した等の判断を行っている
(尚、表面粗さは、一般的に研削方向と直角方向に測定
したものを示すが、本明細書においては測定方向をこの
方向に特定しないものを表面粗度又は粗度と称すること
にする)。実際には、全てのワークの表面粗さを検出す
ると時間を要するため、所定本数のワークを加工する毎
に、ワークを研削装置から取り外して表面粗さ計等によ
りワークの表面粗さを測定するようにしている。そし
て、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の修正(ドレッシング等)や交換を行う。
【0003】または、砥石の特性によりあらかじめ決め
られた本数のワークを加工すると、砥石の修正や交換を
行うようにしている。
られた本数のワークを加工すると、砥石の修正や交換を
行うようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように、所定本数毎に加工したワークを装置外に取り外
して表面粗さを測定することは時間と手間を要し、非効
率的であるという問題があった。また、予め決められた
加工本数により砥石の修正や交換を行う場合、砥石がま
だ使用できる状態でも安全のため余裕をもって修正や交
換を行う必要があり、修正、交換費用がかかるという問
題があった。
ように、所定本数毎に加工したワークを装置外に取り外
して表面粗さを測定することは時間と手間を要し、非効
率的であるという問題があった。また、予め決められた
加工本数により砥石の修正や交換を行う場合、砥石がま
だ使用できる状態でも安全のため余裕をもって修正や交
換を行う必要があり、修正、交換費用がかかるという問
題があった。
【0005】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供することを目的とする。
もので、ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ワークに測定子を接触させて、該測定子の
変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手段
と、前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに
接触させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度
測定手段と、からなることを特徴としている。
するために、ワークに測定子を接触させて、該測定子の
変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手段
と、前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに
接触させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度
測定手段と、からなることを特徴としている。
【0007】本発明によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図1は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図1に示す
ようにワーク10はシャフト(図示せず)に固定されて
回転し、回転する砥石12に当接されて研削される。ワ
ーク10の研削部には、冷却装置14によって約−30
度の冷風が冷風吹出口14Aから送出され、研削によっ
て発生する熱が冷風によって除去される。また、ワーク
10の研削部の下部に、バキューム16が設けられ、研
削によって発生する切り屑がバキュームの吸引口16A
から吸引される。
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図1は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図1に示す
ようにワーク10はシャフト(図示せず)に固定されて
回転し、回転する砥石12に当接されて研削される。ワ
ーク10の研削部には、冷却装置14によって約−30
度の冷風が冷風吹出口14Aから送出され、研削によっ
て発生する熱が冷風によって除去される。また、ワーク
10の研削部の下部に、バキューム16が設けられ、研
削によって発生する切り屑がバキュームの吸引口16A
から吸引される。
【0009】尚、上記冷風は、コンプレッサによって圧
縮した空気からミストセパレータで微粒子を除去し、エ
アドライアで零点を十分下げて空気冷却器で冷却したも
のである。また、図1に示すようにワーク10の外周面
にワーク10の外形寸法を測定する外形測定ヘッド20
が装着される。この外形測定ヘッド20は2本のフィン
ガ22、24を有し、これらのフィンガ22、24の先
端部にコンタクト22A、24Aが設けられる。ワーク
10の外周面には、このコンタクト22A、24Aが当
接される。
縮した空気からミストセパレータで微粒子を除去し、エ
アドライアで零点を十分下げて空気冷却器で冷却したも
のである。また、図1に示すようにワーク10の外周面
にワーク10の外形寸法を測定する外形測定ヘッド20
が装着される。この外形測定ヘッド20は2本のフィン
ガ22、24を有し、これらのフィンガ22、24の先
端部にコンタクト22A、24Aが設けられる。ワーク
10の外周面には、このコンタクト22A、24Aが当
接される。
【0010】フィンガ22、24の基端部は、外形測定
ヘッド20の本体内部のアーム26、28の一端と連結
され、フィンガ22、24はそれぞれアーム26、28
と連動して支点26A、28Aを中心に揺動する。ま
た、アーム26、28の他端には、コア30、32が固
着され、コア30、32の変位が差動トランス34、3
6によって電圧信号として出力される。
ヘッド20の本体内部のアーム26、28の一端と連結
され、フィンガ22、24はそれぞれアーム26、28
と連動して支点26A、28Aを中心に揺動する。ま
た、アーム26、28の他端には、コア30、32が固
着され、コア30、32の変位が差動トランス34、3
6によって電圧信号として出力される。
【0011】これにより、ワーク10の外形寸法に応じ
てコンタクト22A、24Aが変位すると、これと連動
して、フィンガ22、24及びアーム26、28がそれ
ぞれ支点26A、28Aを中心に揺動し、コンタクト2
2A、24Aの変位量に応じて、コア30、32が変位
する。そして、差動トランス34、36によってコア3
0、32の変位量に応じた電圧信号が出力される。
てコンタクト22A、24Aが変位すると、これと連動
して、フィンガ22、24及びアーム26、28がそれ
ぞれ支点26A、28Aを中心に揺動し、コンタクト2
2A、24Aの変位量に応じて、コア30、32が変位
する。そして、差動トランス34、36によってコア3
0、32の変位量に応じた電圧信号が出力される。
【0012】差動トランス34、36から出力された電
圧信号は制御部38に入力され、制御部38はこの電圧
信号に基づいてワーク10の外形寸法を測定する。とこ
ろで、外形測定ヘッド20のフィンガ22には、ワーク
10の表面粗度を測定する表面粗度センサが内蔵されて
いる。この表面粗度センサについては後述するが、表面
粗度センサから出力された測定信号は制御部40に出力
され、制御部40はこの測定信号からワーク10の表面
粗度を検出する。
圧信号は制御部38に入力され、制御部38はこの電圧
信号に基づいてワーク10の外形寸法を測定する。とこ
ろで、外形測定ヘッド20のフィンガ22には、ワーク
10の表面粗度を測定する表面粗度センサが内蔵されて
いる。この表面粗度センサについては後述するが、表面
粗度センサから出力された測定信号は制御部40に出力
され、制御部40はこの測定信号からワーク10の表面
粗度を検出する。
【0013】図2は上記外形測定ヘッド20のフィンガ
22に内蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示し
た構成図である。同図に示すように、フィンガ22の内
部に、アーム50が支点50Aを中心に揺動自在に設け
られ、アーム50の先端に触針52が固着される。触針
52の先端は、コンタクト22Aの先端に設けられた穴
22Bからワーク10の表面に接触可能となっており、
後述するようにアーム50を上方に押し上げる(リトラ
クト機構の)ために設けられたピン62がアーム50か
ら離間した状態にある場合には、アーム50の自重によ
り触針52が下方に下がり、触針52の先端がワーク1
0の表面に接触する(このときのアーム50の状態を同
図2点破線で示す)。
22に内蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示し
た構成図である。同図に示すように、フィンガ22の内
部に、アーム50が支点50Aを中心に揺動自在に設け
られ、アーム50の先端に触針52が固着される。触針
52の先端は、コンタクト22Aの先端に設けられた穴
22Bからワーク10の表面に接触可能となっており、
後述するようにアーム50を上方に押し上げる(リトラ
クト機構の)ために設けられたピン62がアーム50か
ら離間した状態にある場合には、アーム50の自重によ
り触針52が下方に下がり、触針52の先端がワーク1
0の表面に接触する(このときのアーム50の状態を同
図2点破線で示す)。
【0014】また、アーム50の後端にはコア54が固
着され、コア54の変位が差動トランス56によって電
圧信号として出力されるようになっている。触針52が
ワーク10の表面の形状に沿って変位すると、アーム5
0が支点50Aを中心に揺動し、コア54が変位する。
これにより、この変位が差動トランス56によって電圧
信号として出力され、ケーブル55を介して図1の制御
部40に入力される。制御部40はこの電圧信号からワ
ーク10の表面粗度を測定する。
着され、コア54の変位が差動トランス56によって電
圧信号として出力されるようになっている。触針52が
ワーク10の表面の形状に沿って変位すると、アーム5
0が支点50Aを中心に揺動し、コア54が変位する。
これにより、この変位が差動トランス56によって電圧
信号として出力され、ケーブル55を介して図1の制御
部40に入力される。制御部40はこの電圧信号からワ
ーク10の表面粗度を測定する。
【0015】また、フィンガ22の下部にアーム60が
支点60Aを中心に揺動自在に設けれる。このアーム6
0の先端に上述のピン62がフィンガ22に設けられた
穴から挿通可能に設けられる。一方、アーム60の他端
の下方にエアノズル64のエア吹出口64Aが設けら
れ、このエア吹出口64Aからエアが送出されるように
なっている。
支点60Aを中心に揺動自在に設けれる。このアーム6
0の先端に上述のピン62がフィンガ22に設けられた
穴から挿通可能に設けられる。一方、アーム60の他端
の下方にエアノズル64のエア吹出口64Aが設けら
れ、このエア吹出口64Aからエアが送出されるように
なっている。
【0016】エア吹出口64Aからエアが送出される
と、エア吹出口64A側のアーム60の先端がエア圧に
より上方に付勢され、アーム60の他端のピン62が下
方に押し下げられてピン62が上記アーム50から離間
する。これにより、上述のようにアーム50の先端の触
針52が自重により下方に下がり触針52の先端がワー
ク10の表面に当接する。即ち、表面粗度の測定が可能
な状態になる(このときのアーム60、ピン62、アー
ム50、触針52の状態は同図2点破線で示される)。
と、エア吹出口64A側のアーム60の先端がエア圧に
より上方に付勢され、アーム60の他端のピン62が下
方に押し下げられてピン62が上記アーム50から離間
する。これにより、上述のようにアーム50の先端の触
針52が自重により下方に下がり触針52の先端がワー
ク10の表面に当接する。即ち、表面粗度の測定が可能
な状態になる(このときのアーム60、ピン62、アー
ム50、触針52の状態は同図2点破線で示される)。
【0017】逆に、エア吹出口64Aからのエアの送出
が停止されると、アーム60の自重によりピン62が上
方に押し上げられ、ピン60の先端がアーム50に当接
するとともに、アーム50を押し上げる。これにより、
アーム50の先端の触針52が上方に付勢され、ワーク
10の表面から離間する。即ち、触針52がリトラクト
状態となる(このときのアーム60、ピン62、アーム
50、触針52の状態が同図実線で示される)。
が停止されると、アーム60の自重によりピン62が上
方に押し上げられ、ピン60の先端がアーム50に当接
するとともに、アーム50を押し上げる。これにより、
アーム50の先端の触針52が上方に付勢され、ワーク
10の表面から離間する。即ち、触針52がリトラクト
状態となる(このときのアーム60、ピン62、アーム
50、触針52の状態が同図実線で示される)。
【0018】以上のように構成された表面粗度センサ付
寸法測定装置は、上記外形測定ゲージ20によりインプ
ロセスでワーク10の外形寸法を測定し、この測定値に
基づいて予め設定された寸法に達すると、粗研から精
研、精研からスパークアウト等の切り換え、あるいは砥
石の自動後退などの制御を行う。またこの外形寸法測定
と同時に、又はスパークアウトの際、又は必要に応じ
て、エアノズルからエアを送出してワーク10の表面粗
度を測定し、砥石の状態を検出する。もし、表面粗度が
予め設定された許容値を越えた場合には、砥石12のド
レッシング(修正)、交換等の処置を指示する。
寸法測定装置は、上記外形測定ゲージ20によりインプ
ロセスでワーク10の外形寸法を測定し、この測定値に
基づいて予め設定された寸法に達すると、粗研から精
研、精研からスパークアウト等の切り換え、あるいは砥
石の自動後退などの制御を行う。またこの外形寸法測定
と同時に、又はスパークアウトの際、又は必要に応じ
て、エアノズルからエアを送出してワーク10の表面粗
度を測定し、砥石の状態を検出する。もし、表面粗度が
予め設定された許容値を越えた場合には、砥石12のド
レッシング(修正)、交換等の処置を指示する。
【0019】以上図1及び図2に示した粗度センサ付寸
法測定装置は、円筒研削盤において使用される寸法測定
装置(外形測定ヘッド)に表面粗度センサを内蔵した場
合について説明したものであるが、これに限らず本発明
に係る粗度センサ付寸法測定装置は、他の寸法測定装置
に上述表面粗度センサを内蔵して構成することができ
る。
法測定装置は、円筒研削盤において使用される寸法測定
装置(外形測定ヘッド)に表面粗度センサを内蔵した場
合について説明したものであるが、これに限らず本発明
に係る粗度センサ付寸法測定装置は、他の寸法測定装置
に上述表面粗度センサを内蔵して構成することができ
る。
【0020】例えば図3、図4は、本発明に係る粗度セ
ンサ付寸法測定装置を平面研削盤において使用される測
定ヘッドに適用した例を示した上面図及び側面図であ
る。これらの図3、4に示すように、複数のワーク10
0、100、…が回転テーブル102の上に載置されて
回転テーブル102とともに回転移動し、回転するカッ
プ型砥石104により順次表面の研削が行われる。この
回転テーブル102上には測定ヘッド106が装着さ
れ、この測定ヘッド106のフィンガ108に固着され
たコンタクト108Aが回転移動するワーク100の表
面に当接するようになっている。
ンサ付寸法測定装置を平面研削盤において使用される測
定ヘッドに適用した例を示した上面図及び側面図であ
る。これらの図3、4に示すように、複数のワーク10
0、100、…が回転テーブル102の上に載置されて
回転テーブル102とともに回転移動し、回転するカッ
プ型砥石104により順次表面の研削が行われる。この
回転テーブル102上には測定ヘッド106が装着さ
れ、この測定ヘッド106のフィンガ108に固着され
たコンタクト108Aが回転移動するワーク100の表
面に当接するようになっている。
【0021】前記測定ヘッド106のフィンガ108に
は図2に示したフィンガ22と同様の構成で表面粗度セ
ンサが内蔵され、コンタクト108Aの変位によってワ
ーク100の研削面の寸法が測定されるとともに、コン
タクト108A内の触針の変位によって研削面の表面粗
度が測定されるようになっている。図1乃至図4の実施
の形態では冷風研削について説明したが、冷風研削の場
合は研削液を用いないので、研削液が触針52に付着し
ないので正確な測定に有利である。
は図2に示したフィンガ22と同様の構成で表面粗度セ
ンサが内蔵され、コンタクト108Aの変位によってワ
ーク100の研削面の寸法が測定されるとともに、コン
タクト108A内の触針の変位によって研削面の表面粗
度が測定されるようになっている。図1乃至図4の実施
の形態では冷風研削について説明したが、冷風研削の場
合は研削液を用いないので、研削液が触針52に付着し
ないので正確な測定に有利である。
【0022】以上、上記実施の形態では、表面粗度セン
サの触針52のリトラクトをエア圧によって行うように
していたが、これに限らず電気的に行う等、他の機構に
よって行ってもよい。また、上記実施の形態では、表面
粗度センサの触針52の磨耗防止のために触針52のリ
トラクト機構を設けたが、必ずしも触針52のリトラク
ト機構を設ける必要はなく、必要時にだけ表面粗度セン
サから測定信号を検出するようにしてもよい。
サの触針52のリトラクトをエア圧によって行うように
していたが、これに限らず電気的に行う等、他の機構に
よって行ってもよい。また、上記実施の形態では、表面
粗度センサの触針52の磨耗防止のために触針52のリ
トラクト機構を設けたが、必ずしも触針52のリトラク
ト機構を設ける必要はなく、必要時にだけ表面粗度セン
サから測定信号を検出するようにしてもよい。
【0023】また、上記実施の形態では、寸法測定装置
に内蔵された表面粗度センサは触針の変位により表面粗
度を測定していたが、これに限らず例えば光学的に検出
するようにしてもよい。
に内蔵された表面粗度センサは触針の変位により表面粗
度を測定していたが、これに限らず例えば光学的に検出
するようにしてもよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る粗度セ
ンサ付寸法測定装置によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
ンサ付寸法測定装置によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
【図1】図1は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を円筒研削盤においてワークの外形寸法測定に使用さ
れる外形測定ヘッドに適用した例を示した全体構成図で
ある。
置を円筒研削盤においてワークの外形寸法測定に使用さ
れる外形測定ヘッドに適用した例を示した全体構成図で
ある。
【図2】図2は、図1の外形測定ヘッドのフィンガに内
蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示した構成図
である。
蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示した構成図
である。
【図3】図3は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した上面図であ
る。
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した上面図であ
る。
【図4】図4は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した側面図であ
る。
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した側面図であ
る。
10…ワーク 12…砥石 14…冷却装置 16…バキューム 20…外形測定ヘッド 22、24…フィンガ 22A、24A…コンタクト 26、28…アーム 30、32…コア 34、36…差動トランス 38、40…制御部 50…アーム 50A…支点 52…触針 54…コア 56…差動トランス 60…アーム 60A…支点 62…ピン 64…エアノズル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年11月20日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図1は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図1に示す
ようにワーク10は回転し、回転する砥石12に当接さ
れて研削される。ワーク10の研削部には、冷却装置1
4によって約−30度の冷風が冷風吹出口14Aから送
出され、研削によって発生する熱が冷風によって除去さ
れる。また、ワーク10の研削部の下部に、バキューム
16が設けられ、研削によって発生する切り屑がバキュ
ームの吸引口16Aから吸引される。
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図1は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図1に示す
ようにワーク10は回転し、回転する砥石12に当接さ
れて研削される。ワーク10の研削部には、冷却装置1
4によって約−30度の冷風が冷風吹出口14Aから送
出され、研削によって発生する熱が冷風によって除去さ
れる。また、ワーク10の研削部の下部に、バキューム
16が設けられ、研削によって発生する切り屑がバキュ
ームの吸引口16Aから吸引される。
Claims (5)
- 【請求項1】 ワークに測定子を接触させて、該測定子
の変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手
段と、 前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに接触
させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度測定
手段と、 からなることを特徴とする粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項2】 前記粗度測定手段は、前記ワークの表面
と接触するとともに、該表面の形状に従動して変位する
触針を前記測定子に設け、該触針の変位により前記ワー
クの表面粗度を測定することを特徴とする請求項1の粗
度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項3】 ワークの加工時に前記測定子を前記ワー
クに接触させ、インプロセスで前記ワークの寸法を測定
するとともに、前記ワークの表面粗度を測定することを
特徴とする請求項1の粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項4】 前記粗度測定手段は、前記触針のリトラ
クト機構を有し、前記ワークの表面粗度を測定する場合
にのみ前記触針を前記ワークの表面に接触させることを
特徴とする請求項1の粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項5】 前記ワークを冷風により冷却しながら加
工する加工機において、前記ワークに前記測定子を接触
させて、前記ワークの寸法及び表面粗度をインプロセス
で測定することを特徴とする請求項1の粗度センサ付寸
法測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08298583A JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08298583A JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10138095A true JPH10138095A (ja) | 1998-05-26 |
JP3123595B2 JP3123595B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=17861627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08298583A Expired - Fee Related JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3123595B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004025358A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ガラス基板の研削装置 |
US7463994B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-12-09 | Okayama University | Method and device for detecting surface state of work piece |
JP2015098074A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2016053524A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | 株式会社ジェイテクト | 転がり軸受における軌道の表面粗さ測定装置及び方法 |
CN109458926A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-12 | 北京时代之峰科技有限公司 | 一种应变式粗糙度传感器 |
JP2020097102A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-06-25 | モンティ−ヴェルクツォイゲ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 加工材料の表面を加工するための方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0660489U (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-23 | 東洋金属株式会社 | アルカリイオン水生成器 |
JPH06296965A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-10-25 | Taiki Japan:Kk | イオン水生成器 |
US11022956B2 (en) | 2016-02-09 | 2021-06-01 | Glebar Acquisition, Llc | System and method for feedback-based dressing of a grinding wheel |
-
1996
- 1996-11-11 JP JP08298583A patent/JP3123595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004025358A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ガラス基板の研削装置 |
US7463994B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-12-09 | Okayama University | Method and device for detecting surface state of work piece |
JP2015098074A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2016053524A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | 株式会社ジェイテクト | 転がり軸受における軌道の表面粗さ測定装置及び方法 |
JP2020097102A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-06-25 | モンティ−ヴェルクツォイゲ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 加工材料の表面を加工するための方法 |
CN109458926A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-12 | 北京时代之峰科技有限公司 | 一种应变式粗糙度传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3123595B2 (ja) | 2001-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4551950A (en) | Truing apparatus for a grinding wheel with rounded corners | |
JP3123595B2 (ja) | 粗度センサ付寸法測定装置 | |
JP2015199152A (ja) | 加工変質検出センサを備える工作機械 | |
JP2009072851A (ja) | 板状物の研削方法 | |
JPS60114457A (ja) | 球面創成研削装置 | |
JP2986951B2 (ja) | 円形加工物の形状精度測定装置 | |
JP4001290B2 (ja) | 精密機械加工方法 | |
JPS62282865A (ja) | 被加工物加工後の精密測定方法 | |
JP2892313B2 (ja) | レンズ芯取機におけるレンズの芯出し方法とその装置 | |
WO2022201650A1 (ja) | 加工システム | |
JP3348561B2 (ja) | 研削加工におけるギャップ測定方法および装置 | |
JPH07256542A (ja) | 断面円形工作物の研摩装置 | |
JP2000094322A (ja) | 精密研削盤および砥石半径測定方法 | |
JP2004247439A (ja) | ウェーハ研削装置の制御方法及びウェーハ研削装置 | |
JP2000296464A (ja) | 研削研磨方法及び研削研磨装置 | |
JP2859753B2 (ja) | 導電性砥石のツルーイング方法 | |
JP2000079543A (ja) | Cnc円筒研削盤によるテーパ研削方法 | |
JP2000024894A (ja) | 半導体ウェーハの面取り方法およびその装置 | |
JPH03228571A (ja) | Nc研削盤 | |
JP2627229B2 (ja) | 非円筒形状工作物用定寸装置 | |
JP3679717B2 (ja) | 球面創成研削加工用のブランクおよび球面創成研削加工方法 | |
JP2022048835A (ja) | 加工システム | |
JPS6218368Y2 (ja) | ||
JPS61240107A (ja) | センサユニット | |
JPH03104509A (ja) | 歯面研削盤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |