JPH10138095A - 粗度センサ付寸法測定装置 - Google Patents
粗度センサ付寸法測定装置Info
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- JPH10138095A JPH10138095A JP29858396A JP29858396A JPH10138095A JP H10138095 A JPH10138095 A JP H10138095A JP 29858396 A JP29858396 A JP 29858396A JP 29858396 A JP29858396 A JP 29858396A JP H10138095 A JPH10138095 A JP H10138095A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供する。 【解決手段】円筒研削盤の砥石１２により研削するワー
ク１０の外周面に装着される外形測定ヘッド２０のフィ
ンガ２２及びコンタクト２２Ａの内部にワーク表面の粗
度を測定する表面粗度センサが内蔵される。この表面粗
度センサは、コンタクト２２Ａの先端の穴からワーク表
面に接触する触針５２を有し、ワーク表面に沿って触針
５２が変位すると、アーム５０と支点５０Ａを介してコ
ア５４が変位し、差動トランス５６がこの変位を電圧信
号に変換する。また、この表面粗度センサはリトラクト
機構を有し、アーム６０の自重によりピン６２がアーム
５０を押し上げると触針５２がリトラクトされ、エアノ
ズル６４からエアが送出されてエア圧によりピン６２が
押し下げられると、ピン６２がアーム５０から離間して
触針５２が自重によりワーク表面に当接し、測定可能な
状態となる。
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供する。 【解決手段】円筒研削盤の砥石１２により研削するワー
ク１０の外周面に装着される外形測定ヘッド２０のフィ
ンガ２２及びコンタクト２２Ａの内部にワーク表面の粗
度を測定する表面粗度センサが内蔵される。この表面粗
度センサは、コンタクト２２Ａの先端の穴からワーク表
面に接触する触針５２を有し、ワーク表面に沿って触針
５２が変位すると、アーム５０と支点５０Ａを介してコ
ア５４が変位し、差動トランス５６がこの変位を電圧信
号に変換する。また、この表面粗度センサはリトラクト
機構を有し、アーム６０の自重によりピン６２がアーム
５０を押し上げると触針５２がリトラクトされ、エアノ
ズル６４からエアが送出されてエア圧によりピン６２が
押し下げられると、ピン６２がアーム５０から離間して
触針５２が自重によりワーク表面に当接し、測定可能な
状態となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は粗度センサ付寸法測
定装置に係り、特に寸法測定用の測定子に表面粗度検出
用のセンサを組み込み、加工中に寸法測定と表面粗度を
同時に測定し、加工機等へフィードバックさせる粗度セ
ンサ付寸法測定装置に関する。
定装置に係り、特に寸法測定用の測定子に表面粗度検出
用のセンサを組み込み、加工中に寸法測定と表面粗度を
同時に測定し、加工機等へフィードバックさせる粗度セ
ンサ付寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】砥石等によりワークを研削加工する研削
装置において、従来、加工したワークの表面粗さを測定
し、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の切れ味が悪化した等の判断を行っている
（尚、表面粗さは、一般的に研削方向と直角方向に測定
したものを示すが、本明細書においては測定方向をこの
方向に特定しないものを表面粗度又は粗度と称すること
にする）。実際には、全てのワークの表面粗さを検出す
ると時間を要するため、所定本数のワークを加工する毎
に、ワークを研削装置から取り外して表面粗さ計等によ
りワークの表面粗さを測定するようにしている。そし
て、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の修正（ドレッシング等）や交換を行う。
装置において、従来、加工したワークの表面粗さを測定
し、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の切れ味が悪化した等の判断を行っている
（尚、表面粗さは、一般的に研削方向と直角方向に測定
したものを示すが、本明細書においては測定方向をこの
方向に特定しないものを表面粗度又は粗度と称すること
にする）。実際には、全てのワークの表面粗さを検出す
ると時間を要するため、所定本数のワークを加工する毎
に、ワークを研削装置から取り外して表面粗さ計等によ
りワークの表面粗さを測定するようにしている。そし
て、測定したワークの表面粗さが許容値より粗くなる
と、砥石の修正（ドレッシング等）や交換を行う。
【０００３】または、砥石の特性によりあらかじめ決め
られた本数のワークを加工すると、砥石の修正や交換を
行うようにしている。
られた本数のワークを加工すると、砥石の修正や交換を
行うようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように、所定本数毎に加工したワークを装置外に取り外
して表面粗さを測定することは時間と手間を要し、非効
率的であるという問題があった。また、予め決められた
加工本数により砥石の修正や交換を行う場合、砥石がま
だ使用できる状態でも安全のため余裕をもって修正や交
換を行う必要があり、修正、交換費用がかかるという問
題があった。
ように、所定本数毎に加工したワークを装置外に取り外
して表面粗さを測定することは時間と手間を要し、非効
率的であるという問題があった。また、予め決められた
加工本数により砥石の修正や交換を行う場合、砥石がま
だ使用できる状態でも安全のため余裕をもって修正や交
換を行う必要があり、修正、交換費用がかかるという問
題があった。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供することを目的とする。
もので、ワーク加工時にインプロセスでワークの寸法を
測定するとともに、ワークの表面粗度を測定し、時間及
び砥石費用の節減を図る粗度センサ付寸法測定装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ワークに測定子を接触させて、該測定子の
変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手段
と、前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに
接触させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度
測定手段と、からなることを特徴としている。
するために、ワークに測定子を接触させて、該測定子の
変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手段
と、前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに
接触させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度
測定手段と、からなることを特徴としている。
【０００７】本発明によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図１に示す
ようにワーク１０はシャフト（図示せず）に固定されて
回転し、回転する砥石１２に当接されて研削される。ワ
ーク１０の研削部には、冷却装置１４によって約−３０
度の冷風が冷風吹出口１４Ａから送出され、研削によっ
て発生する熱が冷風によって除去される。また、ワーク
１０の研削部の下部に、バキューム１６が設けられ、研
削によって発生する切り屑がバキュームの吸引口１６Ａ
から吸引される。
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図１に示す
ようにワーク１０はシャフト（図示せず）に固定されて
回転し、回転する砥石１２に当接されて研削される。ワ
ーク１０の研削部には、冷却装置１４によって約−３０
度の冷風が冷風吹出口１４Ａから送出され、研削によっ
て発生する熱が冷風によって除去される。また、ワーク
１０の研削部の下部に、バキューム１６が設けられ、研
削によって発生する切り屑がバキュームの吸引口１６Ａ
から吸引される。
【０００９】尚、上記冷風は、コンプレッサによって圧
縮した空気からミストセパレータで微粒子を除去し、エ
アドライアで零点を十分下げて空気冷却器で冷却したも
のである。また、図１に示すようにワーク１０の外周面
にワーク１０の外形寸法を測定する外形測定ヘッド２０
が装着される。この外形測定ヘッド２０は２本のフィン
ガ２２、２４を有し、これらのフィンガ２２、２４の先
端部にコンタクト２２Ａ、２４Ａが設けられる。ワーク
１０の外周面には、このコンタクト２２Ａ、２４Ａが当
接される。
縮した空気からミストセパレータで微粒子を除去し、エ
アドライアで零点を十分下げて空気冷却器で冷却したも
のである。また、図１に示すようにワーク１０の外周面
にワーク１０の外形寸法を測定する外形測定ヘッド２０
が装着される。この外形測定ヘッド２０は２本のフィン
ガ２２、２４を有し、これらのフィンガ２２、２４の先
端部にコンタクト２２Ａ、２４Ａが設けられる。ワーク
１０の外周面には、このコンタクト２２Ａ、２４Ａが当
接される。
【００１０】フィンガ２２、２４の基端部は、外形測定
ヘッド２０の本体内部のアーム２６、２８の一端と連結
され、フィンガ２２、２４はそれぞれアーム２６、２８
と連動して支点２６Ａ、２８Ａを中心に揺動する。ま
た、アーム２６、２８の他端には、コア３０、３２が固
着され、コア３０、３２の変位が差動トランス３４、３
６によって電圧信号として出力される。
ヘッド２０の本体内部のアーム２６、２８の一端と連結
され、フィンガ２２、２４はそれぞれアーム２６、２８
と連動して支点２６Ａ、２８Ａを中心に揺動する。ま
た、アーム２６、２８の他端には、コア３０、３２が固
着され、コア３０、３２の変位が差動トランス３４、３
６によって電圧信号として出力される。
【００１１】これにより、ワーク１０の外形寸法に応じ
てコンタクト２２Ａ、２４Ａが変位すると、これと連動
して、フィンガ２２、２４及びアーム２６、２８がそれ
ぞれ支点２６Ａ、２８Ａを中心に揺動し、コンタクト２
２Ａ、２４Ａの変位量に応じて、コア３０、３２が変位
する。そして、差動トランス３４、３６によってコア３
０、３２の変位量に応じた電圧信号が出力される。
てコンタクト２２Ａ、２４Ａが変位すると、これと連動
して、フィンガ２２、２４及びアーム２６、２８がそれ
ぞれ支点２６Ａ、２８Ａを中心に揺動し、コンタクト２
２Ａ、２４Ａの変位量に応じて、コア３０、３２が変位
する。そして、差動トランス３４、３６によってコア３
０、３２の変位量に応じた電圧信号が出力される。
【００１２】差動トランス３４、３６から出力された電
圧信号は制御部３８に入力され、制御部３８はこの電圧
信号に基づいてワーク１０の外形寸法を測定する。とこ
ろで、外形測定ヘッド２０のフィンガ２２には、ワーク
１０の表面粗度を測定する表面粗度センサが内蔵されて
いる。この表面粗度センサについては後述するが、表面
粗度センサから出力された測定信号は制御部４０に出力
され、制御部４０はこの測定信号からワーク１０の表面
粗度を検出する。
圧信号は制御部３８に入力され、制御部３８はこの電圧
信号に基づいてワーク１０の外形寸法を測定する。とこ
ろで、外形測定ヘッド２０のフィンガ２２には、ワーク
１０の表面粗度を測定する表面粗度センサが内蔵されて
いる。この表面粗度センサについては後述するが、表面
粗度センサから出力された測定信号は制御部４０に出力
され、制御部４０はこの測定信号からワーク１０の表面
粗度を検出する。
【００１３】図２は上記外形測定ヘッド２０のフィンガ
２２に内蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示し
た構成図である。同図に示すように、フィンガ２２の内
部に、アーム５０が支点５０Ａを中心に揺動自在に設け
られ、アーム５０の先端に触針５２が固着される。触針
５２の先端は、コンタクト２２Ａの先端に設けられた穴
２２Ｂからワーク１０の表面に接触可能となっており、
後述するようにアーム５０を上方に押し上げる（リトラ
クト機構の）ために設けられたピン６２がアーム５０か
ら離間した状態にある場合には、アーム５０の自重によ
り触針５２が下方に下がり、触針５２の先端がワーク１
０の表面に接触する（このときのアーム５０の状態を同
図２点破線で示す）。
２２に内蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示し
た構成図である。同図に示すように、フィンガ２２の内
部に、アーム５０が支点５０Ａを中心に揺動自在に設け
られ、アーム５０の先端に触針５２が固着される。触針
５２の先端は、コンタクト２２Ａの先端に設けられた穴
２２Ｂからワーク１０の表面に接触可能となっており、
後述するようにアーム５０を上方に押し上げる（リトラ
クト機構の）ために設けられたピン６２がアーム５０か
ら離間した状態にある場合には、アーム５０の自重によ
り触針５２が下方に下がり、触針５２の先端がワーク１
０の表面に接触する（このときのアーム５０の状態を同
図２点破線で示す）。
【００１４】また、アーム５０の後端にはコア５４が固
着され、コア５４の変位が差動トランス５６によって電
圧信号として出力されるようになっている。触針５２が
ワーク１０の表面の形状に沿って変位すると、アーム５
０が支点５０Ａを中心に揺動し、コア５４が変位する。
これにより、この変位が差動トランス５６によって電圧
信号として出力され、ケーブル５５を介して図１の制御
部４０に入力される。制御部４０はこの電圧信号からワ
ーク１０の表面粗度を測定する。
着され、コア５４の変位が差動トランス５６によって電
圧信号として出力されるようになっている。触針５２が
ワーク１０の表面の形状に沿って変位すると、アーム５
０が支点５０Ａを中心に揺動し、コア５４が変位する。
これにより、この変位が差動トランス５６によって電圧
信号として出力され、ケーブル５５を介して図１の制御
部４０に入力される。制御部４０はこの電圧信号からワ
ーク１０の表面粗度を測定する。
【００１５】また、フィンガ２２の下部にアーム６０が
支点６０Ａを中心に揺動自在に設けれる。このアーム６
０の先端に上述のピン６２がフィンガ２２に設けられた
穴から挿通可能に設けられる。一方、アーム６０の他端
の下方にエアノズル６４のエア吹出口６４Ａが設けら
れ、このエア吹出口６４Ａからエアが送出されるように
なっている。
支点６０Ａを中心に揺動自在に設けれる。このアーム６
０の先端に上述のピン６２がフィンガ２２に設けられた
穴から挿通可能に設けられる。一方、アーム６０の他端
の下方にエアノズル６４のエア吹出口６４Ａが設けら
れ、このエア吹出口６４Ａからエアが送出されるように
なっている。
【００１６】エア吹出口６４Ａからエアが送出される
と、エア吹出口６４Ａ側のアーム６０の先端がエア圧に
より上方に付勢され、アーム６０の他端のピン６２が下
方に押し下げられてピン６２が上記アーム５０から離間
する。これにより、上述のようにアーム５０の先端の触
針５２が自重により下方に下がり触針５２の先端がワー
ク１０の表面に当接する。即ち、表面粗度の測定が可能
な状態になる（このときのアーム６０、ピン６２、アー
ム５０、触針５２の状態は同図２点破線で示される）。
と、エア吹出口６４Ａ側のアーム６０の先端がエア圧に
より上方に付勢され、アーム６０の他端のピン６２が下
方に押し下げられてピン６２が上記アーム５０から離間
する。これにより、上述のようにアーム５０の先端の触
針５２が自重により下方に下がり触針５２の先端がワー
ク１０の表面に当接する。即ち、表面粗度の測定が可能
な状態になる（このときのアーム６０、ピン６２、アー
ム５０、触針５２の状態は同図２点破線で示される）。
【００１７】逆に、エア吹出口６４Ａからのエアの送出
が停止されると、アーム６０の自重によりピン６２が上
方に押し上げられ、ピン６０の先端がアーム５０に当接
するとともに、アーム５０を押し上げる。これにより、
アーム５０の先端の触針５２が上方に付勢され、ワーク
１０の表面から離間する。即ち、触針５２がリトラクト
状態となる（このときのアーム６０、ピン６２、アーム
５０、触針５２の状態が同図実線で示される）。
が停止されると、アーム６０の自重によりピン６２が上
方に押し上げられ、ピン６０の先端がアーム５０に当接
するとともに、アーム５０を押し上げる。これにより、
アーム５０の先端の触針５２が上方に付勢され、ワーク
１０の表面から離間する。即ち、触針５２がリトラクト
状態となる（このときのアーム６０、ピン６２、アーム
５０、触針５２の状態が同図実線で示される）。
【００１８】以上のように構成された表面粗度センサ付
寸法測定装置は、上記外形測定ゲージ２０によりインプ
ロセスでワーク１０の外形寸法を測定し、この測定値に
基づいて予め設定された寸法に達すると、粗研から精
研、精研からスパークアウト等の切り換え、あるいは砥
石の自動後退などの制御を行う。またこの外形寸法測定
と同時に、又はスパークアウトの際、又は必要に応じ
て、エアノズルからエアを送出してワーク１０の表面粗
度を測定し、砥石の状態を検出する。もし、表面粗度が
予め設定された許容値を越えた場合には、砥石１２のド
レッシング（修正）、交換等の処置を指示する。
寸法測定装置は、上記外形測定ゲージ２０によりインプ
ロセスでワーク１０の外形寸法を測定し、この測定値に
基づいて予め設定された寸法に達すると、粗研から精
研、精研からスパークアウト等の切り換え、あるいは砥
石の自動後退などの制御を行う。またこの外形寸法測定
と同時に、又はスパークアウトの際、又は必要に応じ
て、エアノズルからエアを送出してワーク１０の表面粗
度を測定し、砥石の状態を検出する。もし、表面粗度が
予め設定された許容値を越えた場合には、砥石１２のド
レッシング（修正）、交換等の処置を指示する。
【００１９】以上図１及び図２に示した粗度センサ付寸
法測定装置は、円筒研削盤において使用される寸法測定
装置（外形測定ヘッド）に表面粗度センサを内蔵した場
合について説明したものであるが、これに限らず本発明
に係る粗度センサ付寸法測定装置は、他の寸法測定装置
に上述表面粗度センサを内蔵して構成することができ
る。
法測定装置は、円筒研削盤において使用される寸法測定
装置（外形測定ヘッド）に表面粗度センサを内蔵した場
合について説明したものであるが、これに限らず本発明
に係る粗度センサ付寸法測定装置は、他の寸法測定装置
に上述表面粗度センサを内蔵して構成することができ
る。
【００２０】例えば図３、図４は、本発明に係る粗度セ
ンサ付寸法測定装置を平面研削盤において使用される測
定ヘッドに適用した例を示した上面図及び側面図であ
る。これらの図３、４に示すように、複数のワーク１０
０、１００、…が回転テーブル１０２の上に載置されて
回転テーブル１０２とともに回転移動し、回転するカッ
プ型砥石１０４により順次表面の研削が行われる。この
回転テーブル１０２上には測定ヘッド１０６が装着さ
れ、この測定ヘッド１０６のフィンガ１０８に固着され
たコンタクト１０８Ａが回転移動するワーク１００の表
面に当接するようになっている。
ンサ付寸法測定装置を平面研削盤において使用される測
定ヘッドに適用した例を示した上面図及び側面図であ
る。これらの図３、４に示すように、複数のワーク１０
０、１００、…が回転テーブル１０２の上に載置されて
回転テーブル１０２とともに回転移動し、回転するカッ
プ型砥石１０４により順次表面の研削が行われる。この
回転テーブル１０２上には測定ヘッド１０６が装着さ
れ、この測定ヘッド１０６のフィンガ１０８に固着され
たコンタクト１０８Ａが回転移動するワーク１００の表
面に当接するようになっている。
【００２１】前記測定ヘッド１０６のフィンガ１０８に
は図２に示したフィンガ２２と同様の構成で表面粗度セ
ンサが内蔵され、コンタクト１０８Ａの変位によってワ
ーク１００の研削面の寸法が測定されるとともに、コン
タクト１０８Ａ内の触針の変位によって研削面の表面粗
度が測定されるようになっている。図１乃至図４の実施
の形態では冷風研削について説明したが、冷風研削の場
合は研削液を用いないので、研削液が触針５２に付着し
ないので正確な測定に有利である。
は図２に示したフィンガ２２と同様の構成で表面粗度セ
ンサが内蔵され、コンタクト１０８Ａの変位によってワ
ーク１００の研削面の寸法が測定されるとともに、コン
タクト１０８Ａ内の触針の変位によって研削面の表面粗
度が測定されるようになっている。図１乃至図４の実施
の形態では冷風研削について説明したが、冷風研削の場
合は研削液を用いないので、研削液が触針５２に付着し
ないので正確な測定に有利である。
【００２２】以上、上記実施の形態では、表面粗度セン
サの触針５２のリトラクトをエア圧によって行うように
していたが、これに限らず電気的に行う等、他の機構に
よって行ってもよい。また、上記実施の形態では、表面
粗度センサの触針５２の磨耗防止のために触針５２のリ
トラクト機構を設けたが、必ずしも触針５２のリトラク
ト機構を設ける必要はなく、必要時にだけ表面粗度セン
サから測定信号を検出するようにしてもよい。
サの触針５２のリトラクトをエア圧によって行うように
していたが、これに限らず電気的に行う等、他の機構に
よって行ってもよい。また、上記実施の形態では、表面
粗度センサの触針５２の磨耗防止のために触針５２のリ
トラクト機構を設けたが、必ずしも触針５２のリトラク
ト機構を設ける必要はなく、必要時にだけ表面粗度セン
サから測定信号を検出するようにしてもよい。
【００２３】また、上記実施の形態では、寸法測定装置
に内蔵された表面粗度センサは触針の変位により表面粗
度を測定していたが、これに限らず例えば光学的に検出
するようにしてもよい。
に内蔵された表面粗度センサは触針の変位により表面粗
度を測定していたが、これに限らず例えば光学的に検出
するようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る粗度セ
ンサ付寸法測定装置によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
ンサ付寸法測定装置によれば、ワークに測定子を接触さ
せてワークの寸法を測定するとともに、ワークの寸法を
測定する状態と同じ状態で、測定子に搭載された粗度測
定手段によってワークの表面粗度を測定することができ
るようになる。これにより、インプロセスで適宜砥石の
切れ味等の検出を行うことができ、砥石の修正や交換の
ための時間や砥石の費用を節減することができる。
【図１】図１は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を円筒研削盤においてワークの外形寸法測定に使用さ
れる外形測定ヘッドに適用した例を示した全体構成図で
ある。
置を円筒研削盤においてワークの外形寸法測定に使用さ
れる外形測定ヘッドに適用した例を示した全体構成図で
ある。
【図２】図２は、図１の外形測定ヘッドのフィンガに内
蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示した構成図
である。
蔵された表面粗度センサの一実施の形態を示した構成図
である。
【図３】図３は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した上面図であ
る。
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した上面図であ
る。
【図４】図４は、本発明に係る粗度センサ付寸法測定装
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した側面図であ
る。
置を平面研削盤においてワークの研削面の寸法測定に使
用される測定ヘッドに適用した例を示した側面図であ
る。
１０…ワーク １２…砥石 １４…冷却装置 １６…バキューム ２０…外形測定ヘッド ２２、２４…フィンガ ２２Ａ、２４Ａ…コンタクト ２６、２８…アーム ３０、３２…コア ３４、３６…差動トランス ３８、４０…制御部 ５０…アーム ５０Ａ…支点 ５２…触針 ５４…コア ５６…差動トランス ６０…アーム ６０Ａ…支点 ６２…ピン ６４…エアノズル
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１１月２０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図１に示す
ようにワーク１０は回転し、回転する砥石１２に当接さ
れて研削される。ワーク１０の研削部には、冷却装置１
４によって約−３０度の冷風が冷風吹出口１４Ａから送
出され、研削によって発生する熱が冷風によって除去さ
れる。また、ワーク１０の研削部の下部に、バキューム
１６が設けられ、研削によって発生する切り屑がバキュ
ームの吸引口１６Ａから吸引される。
る粗度センサ付寸法測定装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係る粗度センサ付寸法
測定装置を円筒研削盤において使用される外形測定ヘッ
ドに適用した例を示した全体構成図である。図１に示す
ようにワーク１０は回転し、回転する砥石１２に当接さ
れて研削される。ワーク１０の研削部には、冷却装置１
４によって約−３０度の冷風が冷風吹出口１４Ａから送
出され、研削によって発生する熱が冷風によって除去さ
れる。また、ワーク１０の研削部の下部に、バキューム
１６が設けられ、研削によって発生する切り屑がバキュ
ームの吸引口１６Ａから吸引される。
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークに測定子を接触させて、該測定子
の変位により、前記ワークの寸法を測定する寸法測定手
段と、 前記測定子に組込まれ、前記測定子を前記ワークに接触
させた状態で前記ワークの表面粗度を測定する粗度測定
手段と、 からなることを特徴とする粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項２】 前記粗度測定手段は、前記ワークの表面
と接触するとともに、該表面の形状に従動して変位する
触針を前記測定子に設け、該触針の変位により前記ワー
クの表面粗度を測定することを特徴とする請求項１の粗
度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項３】 ワークの加工時に前記測定子を前記ワー
クに接触させ、インプロセスで前記ワークの寸法を測定
するとともに、前記ワークの表面粗度を測定することを
特徴とする請求項１の粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項４】 前記粗度測定手段は、前記触針のリトラ
クト機構を有し、前記ワークの表面粗度を測定する場合
にのみ前記触針を前記ワークの表面に接触させることを
特徴とする請求項１の粗度センサ付寸法測定装置。 - 【請求項５】 前記ワークを冷風により冷却しながら加
工する加工機において、前記ワークに前記測定子を接触
させて、前記ワークの寸法及び表面粗度をインプロセス
で測定することを特徴とする請求項１の粗度センサ付寸
法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08298583A JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08298583A JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10138095A true JPH10138095A (ja) | 1998-05-26 |
| JP3123595B2 JP3123595B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=17861627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08298583A Expired - Fee Related JP3123595B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | 粗度センサ付寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123595B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004025358A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ガラス基板の研削装置 |
| US7463994B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-12-09 | Okayama University | Method and device for detecting surface state of work piece |
| JP2015098074A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| JP2016053524A (ja) * | 2014-09-03 | 2016-04-14 | 株式会社ジェイテクト | 転がり軸受における軌道の表面粗さ測定装置及び方法 |
| CN109458926A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-12 | 北京时代之峰科技有限公司 | 一种应变式粗糙度传感器 |
| JP2020097102A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-06-25 | モンティ−ヴェルクツォイゲ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 加工材料の表面を加工するための方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0660489U (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-23 | 東洋金属株式会社 | アルカリイオン水生成器 |
| JPH06296965A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-10-25 | Taiki Japan:Kk | イオン水生成器 |
| US11022956B2 (en) | 2016-02-09 | 2021-06-01 | Glebar Acquisition, Llc | System and method for feedback-based dressing of a grinding wheel |
-
1996
- 1996-11-11 JP JP08298583A patent/JP3123595B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004025358A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ガラス基板の研削装置 |
| US7463994B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-12-09 | Okayama University | Method and device for detecting surface state of work piece |
| JP2015098074A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
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| JP2020097102A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-06-25 | モンティ−ヴェルクツォイゲ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 加工材料の表面を加工するための方法 |
| CN109458926A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-12 | 北京时代之峰科技有限公司 | 一种应变式粗糙度传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3123595B2 (ja) | 2001-01-15 |
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