JPH10133239A - 光偏向器及び光ビーム走査装置 - Google Patents
光偏向器及び光ビーム走査装置Info
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- JPH10133239A JPH10133239A JP32732196A JP32732196A JPH10133239A JP H10133239 A JPH10133239 A JP H10133239A JP 32732196 A JP32732196 A JP 32732196A JP 32732196 A JP32732196 A JP 32732196A JP H10133239 A JPH10133239 A JP H10133239A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 広い周波数帯域に亘って高い回折効率で入射
光を２次元に偏向することができる低コストの光偏向器
を得る。 【解決手段】 第１のAOD は入射光の進行方向をｚ軸、
偏光方向をｘ軸とするxyz 座標系に対し、超音波進行方
向とｘ軸が一致し結晶の光学軸がｚ軸に一致した初期状
態から、ｚ軸と超音波進行方向とを含む面に垂直な軸回
り（θB1）、超音波進行方向と平行な軸回り（θA1）、
ｚ軸回り（θZ1）に回転されている。第２のAOD は入射
光の進行方向をz'軸、偏光方向をx'軸とするx'y'z'座標
系に対し、超音波進行方向とx'軸が一致し結晶の光学軸
がz'軸に一致した初期状態から、偏向方向を第１のAOD
の偏向方向と直交させることを含め、z'軸と超音波進行
方向とを含む面に垂直な軸回り（θB '2）、超音波進行
方向と平行な軸回り（θA '2）、z'軸回り（θZ '2）に
回転されている。
光を２次元に偏向することができる低コストの光偏向器
を得る。 【解決手段】 第１のAOD は入射光の進行方向をｚ軸、
偏光方向をｘ軸とするxyz 座標系に対し、超音波進行方
向とｘ軸が一致し結晶の光学軸がｚ軸に一致した初期状
態から、ｚ軸と超音波進行方向とを含む面に垂直な軸回
り（θB1）、超音波進行方向と平行な軸回り（θA1）、
ｚ軸回り（θZ1）に回転されている。第２のAOD は入射
光の進行方向をz'軸、偏光方向をx'軸とするx'y'z'座標
系に対し、超音波進行方向とx'軸が一致し結晶の光学軸
がz'軸に一致した初期状態から、偏向方向を第１のAOD
の偏向方向と直交させることを含め、z'軸と超音波進行
方向とを含む面に垂直な軸回り（θB '2）、超音波進行
方向と平行な軸回り（θA '2）、z'軸回り（θZ '2）に
回転されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光偏向器及び光ビー
ム走査装置に係り、特に、偏向方向が互いに交差するよ
うに配置された第１及び第２の音響光学偏向素子を備え
た光偏向器、及び該光偏向器を備えた光ビーム走査装置
に関する。
ム走査装置に係り、特に、偏向方向が互いに交差するよ
うに配置された第１及び第２の音響光学偏向素子を備え
た光偏向器、及び該光偏向器を備えた光ビーム走査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、音響光学効果により光偏向を行う音響光学偏向素子
（AcoustoOpticDeflector：以下、ＡＯＤという）が知
られている。このＡＯＤは、例えば光ビーム走査装置等
の光ビームの光路上に配置され、例えば走査手段により
走査される光ビームをＡＯＤによって予め偏向すること
で被照射体への光ビーム照射位置を補正する等の用途に
利用されている。また光ビーム走査装置において、被照
射体への光ビーム照射位置を２次元的に補正（移動）さ
せたい等の場合には、２個のＡＯＤを組み合わせ、光ビ
ームの光路に沿って直列に、かつ２個のＡＯＤによる光
ビームの偏向方向が互いに直交するように配置（タンデ
ム配置）していた。
り、音響光学効果により光偏向を行う音響光学偏向素子
（AcoustoOpticDeflector：以下、ＡＯＤという）が知
られている。このＡＯＤは、例えば光ビーム走査装置等
の光ビームの光路上に配置され、例えば走査手段により
走査される光ビームをＡＯＤによって予め偏向すること
で被照射体への光ビーム照射位置を補正する等の用途に
利用されている。また光ビーム走査装置において、被照
射体への光ビーム照射位置を２次元的に補正（移動）さ
せたい等の場合には、２個のＡＯＤを組み合わせ、光ビ
ームの光路に沿って直列に、かつ２個のＡＯＤによる光
ビームの偏向方向が互いに直交するように配置（タンデ
ム配置）していた。
【０００３】ところで、上記ＡＯＤのうち、異方性結晶
内を進行する超音波と異方性結晶内を進行する光波との
間に生じる異方ブラッグ回折を利用して光偏向を行うＡ
ＯＤとして、音響光学媒体として低電力駆動が可能な二
酸化テルル（ＴｅＯ2 ）の単結晶を用い、ＴｅＯ2 結晶
の［１１０］軸方向に進行しかつ［１’１０］軸方向
（ここで、１’とは−１方向を意味する）に変位する横
波超音波によってＴｅＯ 2 結晶内に入射した光波を回折
させる構成が知られている（所謂オン-[１１０］型光偏
向素子）。このＴｅＯ2 結晶を用いたＡＯＤは、音響光
学媒体としてニオブ酸リチウム、または水晶を用いたＡ
ＯＤと比較して大きな音響光学性能指数が得られ、高い
回折効率が得られる。
内を進行する超音波と異方性結晶内を進行する光波との
間に生じる異方ブラッグ回折を利用して光偏向を行うＡ
ＯＤとして、音響光学媒体として低電力駆動が可能な二
酸化テルル（ＴｅＯ2 ）の単結晶を用い、ＴｅＯ2 結晶
の［１１０］軸方向に進行しかつ［１’１０］軸方向
（ここで、１’とは−１方向を意味する）に変位する横
波超音波によってＴｅＯ 2 結晶内に入射した光波を回折
させる構成が知られている（所謂オン-[１１０］型光偏
向素子）。このＴｅＯ2 結晶を用いたＡＯＤは、音響光
学媒体としてニオブ酸リチウム、または水晶を用いたＡ
ＯＤと比較して大きな音響光学性能指数が得られ、高い
回折効率が得られる。
【０００４】しかしながら、オン-[１１０］型光偏向素
子は、超音波の周波数の変化に対する回折効率の変化特
性がフラットではなく、中心周波数付近において回折効
率が大きく低下することによって回折光の光量が大幅に
低下するので、使用可能な周波数帯域が狭いという問題
があった。また、オン-[１１０］型光偏向素子で高い回
折効率を得るためには光偏向素子に入射する光を円偏光
とする必要があり、レーザ光源から射出された直線偏光
のレーザ光を円偏光に変換するためにλ／４板が必要と
なるので、コストが嵩むという問題もあった。
子は、超音波の周波数の変化に対する回折効率の変化特
性がフラットではなく、中心周波数付近において回折効
率が大きく低下することによって回折光の光量が大幅に
低下するので、使用可能な周波数帯域が狭いという問題
があった。また、オン-[１１０］型光偏向素子で高い回
折効率を得るためには光偏向素子に入射する光を円偏光
とする必要があり、レーザ光源から射出された直線偏光
のレーザ光を円偏光に変換するためにλ／４板が必要と
なるので、コストが嵩むという問題もあった。
【０００５】上記の問題点を解消したＡＯＤとして、超
音波の進行方向をＴｅＯ2 結晶の［１１０］軸方向から
大きく傾けたオフ-[１１０］型光偏向素子が知られてい
る（特開昭５１−９９０３９号公報参照）。このオフ-
[１１０］型光偏向素子によれば、前述のオン-[１１
０］型光偏向素子の問題点であった中心周波数付近にお
ける光量の低下が解消されると共に、入射させるレーザ
光も直線偏光でよいのでλ／４板も不要である。
音波の進行方向をＴｅＯ2 結晶の［１１０］軸方向から
大きく傾けたオフ-[１１０］型光偏向素子が知られてい
る（特開昭５１−９９０３９号公報参照）。このオフ-
[１１０］型光偏向素子によれば、前述のオン-[１１
０］型光偏向素子の問題点であった中心周波数付近にお
ける光量の低下が解消されると共に、入射させるレーザ
光も直線偏光でよいのでλ／４板も不要である。
【０００６】しかし、オフ-[１１０］型光偏向素子で
は、超音波の進行方向を［１１０］軸方向から大きく傾
けているため、音響光学媒体として用いるＴｅＯ2 結晶
のサイズを従来よりも大きくする必要があり、コストが
嵩むという問題があった。そして、このコストが嵩むと
いう問題は、特に光ビームを２次元に偏向させる等の目
的で２個のＡＯＤをタンデムに配置した場合に顕著な問
題となっていた。
は、超音波の進行方向を［１１０］軸方向から大きく傾
けているため、音響光学媒体として用いるＴｅＯ2 結晶
のサイズを従来よりも大きくする必要があり、コストが
嵩むという問題があった。そして、このコストが嵩むと
いう問題は、特に光ビームを２次元に偏向させる等の目
的で２個のＡＯＤをタンデムに配置した場合に顕著な問
題となっていた。
【０００７】なお、ＡＯＤを光ビーム走査装置の筐体等
に実際に取付ける場合、従来は所期の回折効率を得るた
めに、入射光の光軸と超音波の進行方向とを含む面に垂
直な軸回りにＡＯＤを所定角度回転させる調整（ブラッ
グ角の調整）、及び入射光の進行方向に直交する方向に
ＡＯＤを平行移動する調整は行われていたが、ＡＯＤを
前記軸と異なる軸回りに回転させる調整は成されていな
かった。
に実際に取付ける場合、従来は所期の回折効率を得るた
めに、入射光の光軸と超音波の進行方向とを含む面に垂
直な軸回りにＡＯＤを所定角度回転させる調整（ブラッ
グ角の調整）、及び入射光の進行方向に直交する方向に
ＡＯＤを平行移動する調整は行われていたが、ＡＯＤを
前記軸と異なる軸回りに回転させる調整は成されていな
かった。
【０００８】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、広い周波数帯域に亘って高い回折効率で入射光を２
次元に偏向することができ、かつ低コストの光偏向器、
及びこの光偏向器を利用した光ビーム走査装置を得るこ
とが目的である。
で、広い周波数帯域に亘って高い回折効率で入射光を２
次元に偏向することができ、かつ低コストの光偏向器、
及びこの光偏向器を利用した光ビーム走査装置を得るこ
とが目的である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明に係る光偏向器は、異方性結晶内
を進行する超音波と異方性結晶内を進行する光波との間
に生じる異方ブラッグ回折を利用した第１及び第２の音
響光学偏向素子を備え、前記第１の音響光学偏向素子で
偏向された光が前記第２の音響光学偏向素子に入射され
る光偏向器であって、第１の音響光学偏向素子の異方性
結晶の光学軸が第１の音響光学偏向素子に入射される入
射光の進行方向と前記異方性結晶内の超音波の進行方向
とを含む面に対して平行にならないように第１の音響光
学偏向素子が配置されており、第２の音響光学偏向素子
による偏向方向が第１の音響光学偏向素子による偏向方
向と交差し、かつ第２の音響光学偏向素子の異方性結晶
の光学軸が第２の音響光学偏向素子に入射される入射光
の進行方向と前記異方性結晶内の超音波の進行方向とを
含む面に対して平行にならないように第２の音響光学偏
向素子が配置されていることを特徴としている。
に請求項１記載の発明に係る光偏向器は、異方性結晶内
を進行する超音波と異方性結晶内を進行する光波との間
に生じる異方ブラッグ回折を利用した第１及び第２の音
響光学偏向素子を備え、前記第１の音響光学偏向素子で
偏向された光が前記第２の音響光学偏向素子に入射され
る光偏向器であって、第１の音響光学偏向素子の異方性
結晶の光学軸が第１の音響光学偏向素子に入射される入
射光の進行方向と前記異方性結晶内の超音波の進行方向
とを含む面に対して平行にならないように第１の音響光
学偏向素子が配置されており、第２の音響光学偏向素子
による偏向方向が第１の音響光学偏向素子による偏向方
向と交差し、かつ第２の音響光学偏向素子の異方性結晶
の光学軸が第２の音響光学偏向素子に入射される入射光
の進行方向と前記異方性結晶内の超音波の進行方向とを
含む面に対して平行にならないように第２の音響光学偏
向素子が配置されていることを特徴としている。
【００１０】請求項１記載の発明では、第２の音響光学
偏向素子による偏向方向を第１の音響光学偏向素子によ
る偏向方向と交差させると共に、異方ブラッグ回折が利
用でき、かつ各偏向素子の異方性結晶の光学軸が各偏向
素子に入射される入射光の進行方向と各偏向素子の異方
性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならないように、各偏向素子を配置している。なお、本
発明における入射光の偏光面は、入射光が直線偏光であ
る場合には入射光の偏光方向を含む面を意味し、入射光
が楕円偏光である場合には、入射光の偏光成分の長軸の
偏光方向を含む面を意味する。
偏向素子による偏向方向を第１の音響光学偏向素子によ
る偏向方向と交差させると共に、異方ブラッグ回折が利
用でき、かつ各偏向素子の異方性結晶の光学軸が各偏向
素子に入射される入射光の進行方向と各偏向素子の異方
性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならないように、各偏向素子を配置している。なお、本
発明における入射光の偏光面は、入射光が直線偏光であ
る場合には入射光の偏光方向を含む面を意味し、入射光
が楕円偏光である場合には、入射光の偏光成分の長軸の
偏光方向を含む面を意味する。
【００１１】上記のように配置することにより、各偏向
素子は、請求項２にも記載したように、各偏向素子の異
方性結晶の光学軸が、各偏向素子への入射光の進行方向
と各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含
む面に対して平行にならず、かつ各偏向素子への入射光
の偏光面が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向
素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対
して平行となる条件、及び各偏向素子の異方性結晶の光
学軸が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子
の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して
平行にならず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、
各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性
結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にな
らない条件のいずれか１つの条件を満足するように各々
配置されることになる。
素子は、請求項２にも記載したように、各偏向素子の異
方性結晶の光学軸が、各偏向素子への入射光の進行方向
と各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含
む面に対して平行にならず、かつ各偏向素子への入射光
の偏光面が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向
素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対
して平行となる条件、及び各偏向素子の異方性結晶の光
学軸が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子
の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して
平行にならず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、
各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性
結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にな
らない条件のいずれか１つの条件を満足するように各々
配置されることになる。
【００１２】各偏向素子の異方性結晶の光学軸が、各偏
向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶
内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行になら
ず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、各偏向素子
への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶内の超
音波の進行方向とを含む面に対して平行となるように各
々配置することにより、各偏向素子は、各偏向素子の異
方性結晶の光学軸が各偏向素子への入射光の進行方向と
各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む
面に対して各々所定角度傾斜した状態になる。
向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶
内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行になら
ず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、各偏向素子
への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶内の超
音波の進行方向とを含む面に対して平行となるように各
々配置することにより、各偏向素子は、各偏向素子の異
方性結晶の光学軸が各偏向素子への入射光の進行方向と
各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む
面に対して各々所定角度傾斜した状態になる。
【００１３】また、各偏向素子の異方性結晶の光学軸
が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異
方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行
にならず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、各偏
向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶
内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にならな
いように各々配置することにより、各偏向素子の異方性
結晶の光学軸が各偏向素子への入射光の進行方向と各偏
向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に
対して所定角度傾斜し、かつ各偏向素子への入射光の偏
光面が各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の
異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して所
定角度傾斜した状態になる。
が、各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異
方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行
にならず、かつ各偏向素子への入射光の偏光面が、各偏
向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶
内の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にならな
いように各々配置することにより、各偏向素子の異方性
結晶の光学軸が各偏向素子への入射光の進行方向と各偏
向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に
対して所定角度傾斜し、かつ各偏向素子への入射光の偏
光面が各偏向素子への入射光の進行方向と各偏向素子の
異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して所
定角度傾斜した状態になる。
【００１４】上記のように音響光学偏向素子を配置する
には、入射光を固定しておいて音響光学偏向素子の姿勢
を調整してもよいし、音響光学偏向素子を固定しておい
て入射光の進行方向を調整してもよいし、音響光学偏向
素子の姿勢及び入射光の進行方向の両方を調整してもよ
い。
には、入射光を固定しておいて音響光学偏向素子の姿勢
を調整してもよいし、音響光学偏向素子を固定しておい
て入射光の進行方向を調整してもよいし、音響光学偏向
素子の姿勢及び入射光の進行方向の両方を調整してもよ
い。
【００１５】本発明者等は、従来調整されていなかった
ブラッグ角以外の方向に音響光学偏向素子の姿勢を調整
し、音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が入射光の
進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならないように音響光学偏向素子を配置すると、超音波
の進行方向を異方性結晶の［１１０］軸方向から大きく
傾けることなく広い周波数帯域に亘って高い回折効率が
得られること、及び第１の音響光学偏向素子で偏向され
た光が第２の音響光学偏向素子に入射され、かつ入射光
に対する偏向方向が互いに交差するように第１及び第２
の音響光学偏向素子を配置して入射光を２次元に偏向で
きるように構成した光偏向器についても、光偏向器の各
偏向素子の異方性結晶の光学軸が、各偏向素子への入射
光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進
行方向とを含む面に対して平行にならないように各偏向
素子を配置すると、広い周波数帯域に亘って高い回折効
率が得られることを実験により見い出し、本発明に想到
したものである。
ブラッグ角以外の方向に音響光学偏向素子の姿勢を調整
し、音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が入射光の
進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならないように音響光学偏向素子を配置すると、超音波
の進行方向を異方性結晶の［１１０］軸方向から大きく
傾けることなく広い周波数帯域に亘って高い回折効率が
得られること、及び第１の音響光学偏向素子で偏向され
た光が第２の音響光学偏向素子に入射され、かつ入射光
に対する偏向方向が互いに交差するように第１及び第２
の音響光学偏向素子を配置して入射光を２次元に偏向で
きるように構成した光偏向器についても、光偏向器の各
偏向素子の異方性結晶の光学軸が、各偏向素子への入射
光の進行方向と各偏向素子の異方性結晶内の超音波の進
行方向とを含む面に対して平行にならないように各偏向
素子を配置すると、広い周波数帯域に亘って高い回折効
率が得られることを実験により見い出し、本発明に想到
したものである。
【００１６】光偏向器の各偏向素子を上記のように配置
することによって、各偏向素子の異方性結晶のサイズを
大きくすることなく、入射光として直線偏光の光を用い
て従来より回折効率を向上させることができ、広い周波
数帯域に亘って高い回折効率で入射光を２次元に偏向で
きる光偏向器を低コストで得ることができる。
することによって、各偏向素子の異方性結晶のサイズを
大きくすることなく、入射光として直線偏光の光を用い
て従来より回折効率を向上させることができ、広い周波
数帯域に亘って高い回折効率で入射光を２次元に偏向で
きる光偏向器を低コストで得ることができる。
【００１７】なお、光偏向器の各偏向素子を上記のよう
に配置するにあたり、入射光を固定しておいて各偏向素
子の姿勢を調整する場合には、具体的には請求項３に記
載したように、第１の音響光学偏向素子を、第１の音響
光学偏向素子への入射光の進行方向をｚ軸、前記入射光
の偏光方向をｘ軸とするｘｙｚ座標系を定めたときに、
第１の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行
方向とｘ軸とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸が
ｚ軸に一致した状態を第１の音響光学偏向素子の初期状
態とし、該初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ
方向の軸回りに回転させると共にｚ軸と前記超音波の進
行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて
配置し、第２の音響光学偏向素子を、第２の音響光学偏
向素子による偏向方向が第１の音響光学偏向素子による
偏向方向と交差し、かつ第２の音響光学偏向素子への入
射光の進行方向をｚ’軸、前記入射光の偏光方向をｘ’
軸とするｘ’ｙ’ｚ’座標系を定めたときに、第２の音
響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向と
ｘ’軸とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸がｚ’
軸に一致した状態を第２の音響光学偏向素子の初期状態
とし、該初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ方
向の軸回りに回転させると共にｚ’軸と前記超音波の進
行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて
配置することができる。
に配置するにあたり、入射光を固定しておいて各偏向素
子の姿勢を調整する場合には、具体的には請求項３に記
載したように、第１の音響光学偏向素子を、第１の音響
光学偏向素子への入射光の進行方向をｚ軸、前記入射光
の偏光方向をｘ軸とするｘｙｚ座標系を定めたときに、
第１の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行
方向とｘ軸とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸が
ｚ軸に一致した状態を第１の音響光学偏向素子の初期状
態とし、該初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ
方向の軸回りに回転させると共にｚ軸と前記超音波の進
行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて
配置し、第２の音響光学偏向素子を、第２の音響光学偏
向素子による偏向方向が第１の音響光学偏向素子による
偏向方向と交差し、かつ第２の音響光学偏向素子への入
射光の進行方向をｚ’軸、前記入射光の偏光方向をｘ’
軸とするｘ’ｙ’ｚ’座標系を定めたときに、第２の音
響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向と
ｘ’軸とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸がｚ’
軸に一致した状態を第２の音響光学偏向素子の初期状態
とし、該初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ方
向の軸回りに回転させると共にｚ’軸と前記超音波の進
行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて
配置することができる。
【００１８】すなわち、請求項３の発明は、第１の音響
光学偏向素子の異方性結晶の［１１０］方向が入射光の
偏光面に対して平行で、かつ［００１］方向をｚ軸に一
致させた状態を第１の音響光学偏向素子の初期状態とし
たとき、第１の音響光学偏向素子を、前記初期状態か
ら、［１１０］方向の軸回りに回転させると共にｚ軸と
第１の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行
方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて配
置し、更に、第２の音響光学偏向素子の異方性結晶の
［１１０］方向が入射光の偏光面に対して平行で、かつ
［００１］方向をｚ’軸に一致させた状態を第２の音響
光学偏向素子の初期状態としたとき、第２の音響光学偏
向素子を、第２の音響光学偏向素子による偏向方向が第
１の音響光学偏向素子による偏向方向と交差し、かつ前
記初期状態から、［１１０］方向の軸回りに回転させる
と共にｚ’軸と第２の音響光学偏向素子の異方性結晶内
の超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角
度回転させて配置したものである。
光学偏向素子の異方性結晶の［１１０］方向が入射光の
偏光面に対して平行で、かつ［００１］方向をｚ軸に一
致させた状態を第１の音響光学偏向素子の初期状態とし
たとき、第１の音響光学偏向素子を、前記初期状態か
ら、［１１０］方向の軸回りに回転させると共にｚ軸と
第１の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行
方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転させて配
置し、更に、第２の音響光学偏向素子の異方性結晶の
［１１０］方向が入射光の偏光面に対して平行で、かつ
［００１］方向をｚ’軸に一致させた状態を第２の音響
光学偏向素子の初期状態としたとき、第２の音響光学偏
向素子を、第２の音響光学偏向素子による偏向方向が第
１の音響光学偏向素子による偏向方向と交差し、かつ前
記初期状態から、［１１０］方向の軸回りに回転させる
と共にｚ’軸と第２の音響光学偏向素子の異方性結晶内
の超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角
度回転させて配置したものである。
【００１９】第１の音響光学偏向素子の初期状態から、
ｚ軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回りの角
度を第１の音響光学偏向素子の第１の所定角度、［１１
０］方向の軸回りの角度を第１の音響光学偏向素子の第
２の所定角度とし、第２の音響光学偏向素子の初期状態
から、ｚ’軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸
回りの角度を第２の音響光学偏向素子の第１の所定角
度、［１１０］方向の軸回りの角度を第２の音響光学偏
向素子の第２の所定角度としたときに、各偏向素子の第
１の所定角度及び第２の所定角度を各々調整する場合に
は、第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４°）、第
２の所定角度は、請求項４に記載したように略３°以
上、より好ましくは略９°とすることができ、これらの
角度をこの範囲に調整すると回折効率を好ましい値にす
ることができる。
ｚ軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回りの角
度を第１の音響光学偏向素子の第１の所定角度、［１１
０］方向の軸回りの角度を第１の音響光学偏向素子の第
２の所定角度とし、第２の音響光学偏向素子の初期状態
から、ｚ’軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸
回りの角度を第２の音響光学偏向素子の第１の所定角
度、［１１０］方向の軸回りの角度を第２の音響光学偏
向素子の第２の所定角度としたときに、各偏向素子の第
１の所定角度及び第２の所定角度を各々調整する場合に
は、第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４°）、第
２の所定角度は、請求項４に記載したように略３°以
上、より好ましくは略９°とすることができ、これらの
角度をこの範囲に調整すると回折効率を好ましい値にす
ることができる。
【００２０】また、請求項３又は請求項４の発明におい
て、好ましくは請求項５に記載したように、第１の音響
光学偏向素子を、更にｚ軸回りに回転させて配置し、第
２の音響光学偏向素子を、更にｚ’軸回りに回転させて
配置すると効果的である。
て、好ましくは請求項５に記載したように、第１の音響
光学偏向素子を、更にｚ軸回りに回転させて配置し、第
２の音響光学偏向素子を、更にｚ’軸回りに回転させて
配置すると効果的である。
【００２１】すなわち請求項５の発明は、第１の音響光
学偏向素子の初期状態から、第１の音響光学偏向素子
を、ｚ軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回り
に第１の所定角度、［１１０］方向の軸回りに第２の所
定角度、ｚ軸回りに第３の所定角度回転して配置すると
共に、第２の音響光学偏向素子の初期状態から、第２の
音響光学偏向素子を、ｚ’軸と超音波の進行方向とを含
む面に垂直な軸回りに第１の所定角度、［１１０］方向
の軸回りに第２の所定角度、ｚ’軸回りに第３の所定角
度回転して配置したものである。
学偏向素子の初期状態から、第１の音響光学偏向素子
を、ｚ軸と超音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回り
に第１の所定角度、［１１０］方向の軸回りに第２の所
定角度、ｚ軸回りに第３の所定角度回転して配置すると
共に、第２の音響光学偏向素子の初期状態から、第２の
音響光学偏向素子を、ｚ’軸と超音波の進行方向とを含
む面に垂直な軸回りに第１の所定角度、［１１０］方向
の軸回りに第２の所定角度、ｚ’軸回りに第３の所定角
度回転して配置したものである。
【００２２】上記の各所定角度は、請求項６に記載した
ように、第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４
°）、第２の所定角度は略３°以上、第３の所定角度は
略３０°〜略９０°とすることができ、これらの角度を
この範囲に設定すると回折効率を好ましい値にすること
ができる。
ように、第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４
°）、第２の所定角度は略３°以上、第３の所定角度は
略３０°〜略９０°とすることができ、これらの角度を
この範囲に設定すると回折効率を好ましい値にすること
ができる。
【００２３】また、第１及び第２の音響光学偏向素子の
各々の第１〜第３の所定角度を共に調整する場合には、
第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４°）、第２の
所定角度を略３°以上、第３の所定角度を略３０°〜略
９０°、好ましくは、第１の所定角度をブラッグ角（例
えば略４°）、第２の所定角度を略７°〜略１０°、第
３の所定角度を略４５°〜略９０°、より好ましくは、
第１の所定角度をブラッグ角（略４°）、第２の所定角
度を略９°〜略１０°、第３の所定角度を略７０°〜略
９０°とすることができ、更に好ましくは請求項７に記
載したように、第３の所定角度を略７０°〜略７５°と
することができる。第１〜第３の所定角度を上記のより
好ましい値に調整した場合には、広い周波数帯域に亘っ
て最も高くかつフラットな回折効率が得られる。
各々の第１〜第３の所定角度を共に調整する場合には、
第１の所定角度はブラッグ角（例えば略４°）、第２の
所定角度を略３°以上、第３の所定角度を略３０°〜略
９０°、好ましくは、第１の所定角度をブラッグ角（例
えば略４°）、第２の所定角度を略７°〜略１０°、第
３の所定角度を略４５°〜略９０°、より好ましくは、
第１の所定角度をブラッグ角（略４°）、第２の所定角
度を略９°〜略１０°、第３の所定角度を略７０°〜略
９０°とすることができ、更に好ましくは請求項７に記
載したように、第３の所定角度を略７０°〜略７５°と
することができる。第１〜第３の所定角度を上記のより
好ましい値に調整した場合には、広い周波数帯域に亘っ
て最も高くかつフラットな回折効率が得られる。
【００２４】また、第１の音響光学偏向素子による偏向
方向と第２の音響光学偏向素子による偏向方向は、請求
項８に記載したように直交させることが好ましい。
方向と第２の音響光学偏向素子による偏向方向は、請求
項８に記載したように直交させることが好ましい。
【００２５】また、各偏向素子の異方性結晶としては一
軸結晶や二軸結晶を使用することができるが、請求項９
に記載したように一軸結晶であることが好ましく、特に
請求項１０に記載したようにＴｅＯ2 であることが好ま
しい。
軸結晶や二軸結晶を使用することができるが、請求項９
に記載したように一軸結晶であることが好ましく、特に
請求項１０に記載したようにＴｅＯ2 であることが好ま
しい。
【００２６】また、請求項１１に記載したように、第１
及び第２の音響光学偏向素子を単一のパッケージに各々
取付けて本発明に係る光偏向器を構成すれば、該光偏向
器を光ビーム走査装置等に搭載する際に、前記単一のパ
ッケージの姿勢を調整すれば、各偏向素子の姿勢の調整
が完了することになるので好ましい。
及び第２の音響光学偏向素子を単一のパッケージに各々
取付けて本発明に係る光偏向器を構成すれば、該光偏向
器を光ビーム走査装置等に搭載する際に、前記単一のパ
ッケージの姿勢を調整すれば、各偏向素子の姿勢の調整
が完了することになるので好ましい。
【００２７】また、上述した光偏向器は、請求項１２に
記載したように、光ビームを走査して画像記録を行う画
像記録装置、または光ビームを走査して画像の読取を行
う画像読取装置等の光ビーム走査装置に適用することが
できる。
記載したように、光ビームを走査して画像記録を行う画
像記録装置、または光ビームを走査して画像の読取を行
う画像読取装置等の光ビーム走査装置に適用することが
できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態の一例を詳細に説明する。まず本発明に係る第１
の音響光学偏向素子単体について、第１の音響光学偏向
素子としてＴｅＯ2 単結晶を用いたオン-[１１０］型光
偏向素子（ＡＯＤ）を適用した場合を例に説明する。
施形態の一例を詳細に説明する。まず本発明に係る第１
の音響光学偏向素子単体について、第１の音響光学偏向
素子としてＴｅＯ2 単結晶を用いたオン-[１１０］型光
偏向素子（ＡＯＤ）を適用した場合を例に説明する。
【００２９】図１に示すように、ＡＯＤは、頭部が斜め
にカットされたＴｅＯ2 単結晶１０と、ＴｅＯ2 単結晶
１０の底面に貼着されかつ結晶の［１１０］方向に進行
しかつ［１’１０］方向に変位する横波超音波を発生す
るトランスデューサ１２から構成されている。なお、Ｔ
ｅＯ2 単結晶１０の頭部には吸音材（図示せず）を貼着
してもよい。
にカットされたＴｅＯ2 単結晶１０と、ＴｅＯ2 単結晶
１０の底面に貼着されかつ結晶の［１１０］方向に進行
しかつ［１’１０］方向に変位する横波超音波を発生す
るトランスデューサ１２から構成されている。なお、Ｔ
ｅＯ2 単結晶１０の頭部には吸音材（図示せず）を貼着
してもよい。
【００３０】このＡＯＤに対し、図１及び図２に示すよ
うに、ｚ軸が入射光の進行方向に一致し、ｘ軸が入射光
の偏光方向（入射光は直線偏光とする）に一致し、かつ
ｙ軸がｚ軸及びｘ軸から右手系で定まるｘｙｚ座標系を
定める。また、図１に示すように、超音波の進行方向、
すなわち結晶の［１１０］軸方向をｘ軸方向に一致さ
せ、かつ光学軸である［００１］軸方向をｚ軸方向に一
致させた状態をＡＯＤの初期状態とする。そして、この
初期状態からＡＯＤの姿勢を調整するための３つの軸回
りの角度、ブラッグ角θB 、あおり角θA 、入射光進行
方向の軸回りの回転角θZ を各々次のように定める。
うに、ｚ軸が入射光の進行方向に一致し、ｘ軸が入射光
の偏光方向（入射光は直線偏光とする）に一致し、かつ
ｙ軸がｚ軸及びｘ軸から右手系で定まるｘｙｚ座標系を
定める。また、図１に示すように、超音波の進行方向、
すなわち結晶の［１１０］軸方向をｘ軸方向に一致さ
せ、かつ光学軸である［００１］軸方向をｚ軸方向に一
致させた状態をＡＯＤの初期状態とする。そして、この
初期状態からＡＯＤの姿勢を調整するための３つの軸回
りの角度、ブラッグ角θB 、あおり角θA 、入射光進行
方向の軸回りの回転角θZ を各々次のように定める。
【００３１】ブラッグ角θB は、入射光の進行方向（ｚ
軸）と超音波進行方向とで形成される面内でのＡＯＤの
回転（ｚ軸と超音波進行方向とで形成される面に垂直な
軸Ｂ回りの回転）である。このブラッグ角θB は、超音
波進行方向がｚ軸に垂直の場合をθB ＝０とし、ｚ軸方
向の正方向側から超音波進行方向の正方向側にＡＯＤが
回転されたとき（すなわち軸Ｂの正方向に向かって右ね
じ方向に回転された状態）を正（θB ＞０）とする。
軸）と超音波進行方向とで形成される面内でのＡＯＤの
回転（ｚ軸と超音波進行方向とで形成される面に垂直な
軸Ｂ回りの回転）である。このブラッグ角θB は、超音
波進行方向がｚ軸に垂直の場合をθB ＝０とし、ｚ軸方
向の正方向側から超音波進行方向の正方向側にＡＯＤが
回転されたとき（すなわち軸Ｂの正方向に向かって右ね
じ方向に回転された状態）を正（θB ＞０）とする。
【００３２】あおり角θA は、超音波進行方向の軸回
り、すなわち［１１０］軸方向の軸Ａ回りの回転であ
る。このあおり角θA は、結晶の光学軸［００１］が、
入射光の偏光面を含む平面に対して平行のときをθA ＝
０とし、超音波進行方向に対して右ねじの方向にＡＯＤ
が回転されたときを正（θA ＞０）とする。
り、すなわち［１１０］軸方向の軸Ａ回りの回転であ
る。このあおり角θA は、結晶の光学軸［００１］が、
入射光の偏光面を含む平面に対して平行のときをθA ＝
０とし、超音波進行方向に対して右ねじの方向にＡＯＤ
が回転されたときを正（θA ＞０）とする。
【００３３】入射光進行方向の軸回りの回転角θZ はｚ
軸回りの回転であり、超音波進行方向がｘ軸と平行の場
合（入射光の偏光面が入射光の進行方向と超音波の進行
方向とを含む面に対して平行の場合）をθZ ＝０とし、
ｚ軸方向に対して右ねじの方向にＡＯＤが回転されたと
きを正（θZ ＞０）とする。
軸回りの回転であり、超音波進行方向がｘ軸と平行の場
合（入射光の偏光面が入射光の進行方向と超音波の進行
方向とを含む面に対して平行の場合）をθZ ＝０とし、
ｚ軸方向に対して右ねじの方向にＡＯＤが回転されたと
きを正（θZ ＞０）とする。
【００３４】トランスデューサ１２にパワー０．２５Ｗ
の高周波信号を印加して超音波を進行させると共に偏光
方向がｘ軸方向のレーザビームをｚ軸方向に沿って入射
させ、あおり角θA を変化させ、ブラッグ角θB をブラ
ッグ条件を満足するように調整したときの回折効率特性
を図３に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ を変化
させると共に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ が
各値のときに回折効率が最大になるようにあおり角θA
を各々調整し、ブラッグ条件を満足する角度（≒４°）
にブラッグ角θB を調整したときの駆動周波数７６ＭＨ
ｚ、８０ＭＨｚ、８４ＭＨｚにおける回折効率特性を図
４に示す。なお、このときの入射光進行方向の軸回りの
回転角θZ とあおり角θA との関係を図５に示す。
の高周波信号を印加して超音波を進行させると共に偏光
方向がｘ軸方向のレーザビームをｚ軸方向に沿って入射
させ、あおり角θA を変化させ、ブラッグ角θB をブラ
ッグ条件を満足するように調整したときの回折効率特性
を図３に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ を変化
させると共に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ が
各値のときに回折効率が最大になるようにあおり角θA
を各々調整し、ブラッグ条件を満足する角度（≒４°）
にブラッグ角θB を調整したときの駆動周波数７６ＭＨ
ｚ、８０ＭＨｚ、８４ＭＨｚにおける回折効率特性を図
４に示す。なお、このときの入射光進行方向の軸回りの
回転角θZ とあおり角θA との関係を図５に示す。
【００３５】なお、同じ回転角θZ に対してあおり角θ
A を調整すると、２つの特性が得られることが本願発明
者等によって確認されており、上記の図４は回折効率の
周波数特性がフラット（回折効率が周波数によらず略一
定）の場合を示しているが、図６に回折効率の周波数特
性の形状がピーク状（回折効率が中心周波数で高く、周
辺で低い比較的急峻な形状）の場合を参考として示す。
A を調整すると、２つの特性が得られることが本願発明
者等によって確認されており、上記の図４は回折効率の
周波数特性がフラット（回折効率が周波数によらず略一
定）の場合を示しているが、図６に回折効率の周波数特
性の形状がピーク状（回折効率が中心周波数で高く、周
辺で低い比較的急峻な形状）の場合を参考として示す。
【００３６】図３から理解されるように、従来のように
ブラッグ角θB のみ調整した場合（θB ≒４°、θZ ＝
θA ＝０°）の回折効率（８０ＭＨｚで約５８％）と比
較すると、ブラッグ角θB 及びあおり角θA の両方を調
整することで、ＡＯＤの回折効率が向上している。特
に、θA ≒±９°で回折効率ηがη≒９５％になってい
る。また、θA ≒±６°〜±９°で回折効率ηがη≒８
０〜９５％になり、θA≒±４°〜±９°で回折効率η
がη≒７０〜９５％になっている。回折効率ηを従来の
回折効率より１０％程度以上高くする場合には、あおり
角θA を略３°以上にすればよい。
ブラッグ角θB のみ調整した場合（θB ≒４°、θZ ＝
θA ＝０°）の回折効率（８０ＭＨｚで約５８％）と比
較すると、ブラッグ角θB 及びあおり角θA の両方を調
整することで、ＡＯＤの回折効率が向上している。特
に、θA ≒±９°で回折効率ηがη≒９５％になってい
る。また、θA ≒±６°〜±９°で回折効率ηがη≒８
０〜９５％になり、θA≒±４°〜±９°で回折効率η
がη≒７０〜９５％になっている。回折効率ηを従来の
回折効率より１０％程度以上高くする場合には、あおり
角θA を略３°以上にすればよい。
【００３７】また図４から理解されるように、従来のよ
うにブラッグ角θB のみ調節した場合の回折効率（約５
８％）と比較すると、ブラッグ角θB を調整すると共
に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ 及びあおり角
θA を調節することで、ＡＯＤの回折効率が向上してい
る。特に、θZ ≒±（７０°〜７５°）、θA ≒±（９
°〜１０°）のときには回折効率ηはピークであるη≒
９５％に達している。また、θZ ≒±（４５°〜９０
°）、θA ≒±（７°〜１０°）で回折効率ηがη≒８
０〜９５％になり、θZ ≒±（３０°〜９０°）、θA
≒±（５°〜１０°）で回折効率ηがη≒７０〜９５％
になっている。
うにブラッグ角θB のみ調節した場合の回折効率（約５
８％）と比較すると、ブラッグ角θB を調整すると共
に、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ 及びあおり角
θA を調節することで、ＡＯＤの回折効率が向上してい
る。特に、θZ ≒±（７０°〜７５°）、θA ≒±（９
°〜１０°）のときには回折効率ηはピークであるη≒
９５％に達している。また、θZ ≒±（４５°〜９０
°）、θA ≒±（７°〜１０°）で回折効率ηがη≒８
０〜９５％になり、θZ ≒±（３０°〜９０°）、θA
≒±（５°〜１０°）で回折効率ηがη≒７０〜９５％
になっている。
【００３８】以上はブラッグ角θB が正の場合である
が、ブラッグ角θB が負（θB ≒−４°）の場合におい
ても同様であり、回折効率ηがピーク（約９５％）にな
る場合をまとめると次の表１のようになる。
が、ブラッグ角θB が負（θB ≒−４°）の場合におい
ても同様であり、回折効率ηがピーク（約９５％）にな
る場合をまとめると次の表１のようになる。
【００３９】
【表１】
【００４０】次に、入射光進行方向の軸回りの回転角θ
Z を、図４から得られる回折効率がピークとなる角度、
例えばθZ ＝７０°に固定し、あおり角θA を変化させ
た場合の回折効率特性を図７に示す。図７から理解され
るように、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ を固定
し、あおり角θA を変化させた場合にも、あおり角θ A
を例えばθA ≒１．５°以上に調節することで、回折効
率を従来より向上させることができ、回折効率はθA ≒
９°でη≒９５％、θA ≒４．５°以上でη≒８０〜９
５％、θA ≒３°以上でη≒７０〜９５％になる。
Z を、図４から得られる回折効率がピークとなる角度、
例えばθZ ＝７０°に固定し、あおり角θA を変化させ
た場合の回折効率特性を図７に示す。図７から理解され
るように、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ を固定
し、あおり角θA を変化させた場合にも、あおり角θ A
を例えばθA ≒１．５°以上に調節することで、回折効
率を従来より向上させることができ、回折効率はθA ≒
９°でη≒９５％、θA ≒４．５°以上でη≒８０〜９
５％、θA ≒３°以上でη≒７０〜９５％になる。
【００４１】従って、入射光進行方向の軸回りの回転角
θZ 及びあおり角θA を調整する場合において、最大の
回折効率が得られる状態から、入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ を固定してあおり角θA を変化させた場合
には、あおり角θA を略１．５°以上にすると回折効率
を従来より向上させることができ、あおり角θA が略３
°以上で略７０〜９５％の回折効率が得られ、あおり角
θA が略４．５°以上で略８０〜９５％の回折効率が得
られることになる。
θZ 及びあおり角θA を調整する場合において、最大の
回折効率が得られる状態から、入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ を固定してあおり角θA を変化させた場合
には、あおり角θA を略１．５°以上にすると回折効率
を従来より向上させることができ、あおり角θA が略３
°以上で略７０〜９５％の回折効率が得られ、あおり角
θA が略４．５°以上で略８０〜９５％の回折効率が得
られることになる。
【００４２】上記は、中心周波数における結果である
が、所定の周波数帯域内で周波数を変化させたとして
も、従来より回折効率は向上する。図８に、表１の回折
効率がピークになる条件の１つである、θZ ＝７０°か
つθA ≒９°における回折効率の周波数特性、θZ ＝９
０°かつθA ≒９°にしたときの回折効率の周波数特
性、及び従来の回折効率の周波数特性（θZ ＝±０°、
θA ＝±０°）を示す。図８より明らかなように、所定
の周波数帯域内の何れの周波数においても回折効率は従
来より向上している。
が、所定の周波数帯域内で周波数を変化させたとして
も、従来より回折効率は向上する。図８に、表１の回折
効率がピークになる条件の１つである、θZ ＝７０°か
つθA ≒９°における回折効率の周波数特性、θZ ＝９
０°かつθA ≒９°にしたときの回折効率の周波数特
性、及び従来の回折効率の周波数特性（θZ ＝±０°、
θA ＝±０°）を示す。図８より明らかなように、所定
の周波数帯域内の何れの周波数においても回折効率は従
来より向上している。
【００４３】以上より、ＡＯＤを、異方ブラッグ回折が
利用できるように配置すると共に、異方性結晶の光学軸
が、入射光の進行方向と超音波の進行方向とを含む面に
対して平行にならないように配置することで、ＡＯＤの
回折効率を向上させることができる。
利用できるように配置すると共に、異方性結晶の光学軸
が、入射光の進行方向と超音波の進行方向とを含む面に
対して平行にならないように配置することで、ＡＯＤの
回折効率を向上させることができる。
【００４４】すなわち、ＡＯＤを、異方ブラッグ回折が
利用できるように配置すると共に、異方性結晶の光学軸
が入射光の進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対
して平行にならず、かつ入射光の偏光面が入射光の進行
方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行となる
ようにするか、或いは、異方性結晶の光学軸が入射光の
進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならず、かつ入射光の偏光面が入射光の進行方向と超音
波の進行方向とを含む面に対して平行にならないように
することで、ＡＯＤの回折効率を向上させることができ
る。
利用できるように配置すると共に、異方性結晶の光学軸
が入射光の進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対
して平行にならず、かつ入射光の偏光面が入射光の進行
方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行となる
ようにするか、或いは、異方性結晶の光学軸が入射光の
進行方向と超音波の進行方向とを含む面に対して平行に
ならず、かつ入射光の偏光面が入射光の進行方向と超音
波の進行方向とを含む面に対して平行にならないように
することで、ＡＯＤの回折効率を向上させることができ
る。
【００４５】次に、入射光を２次元に偏向するために、
上記で説明した第１の音響光学偏向素子に、更に本発明
に係る第２の音響光学偏向素子とを組み合わせた場合
（本発明に係る光偏向器）について、第２の音響光学偏
向素子として第１の音響光学偏向素子と同一の構成の偏
向素子（オン-[１１０］型ＴｅＯ2 光偏向素子）を適用
した場合を例に説明する。なお、以下では第１の音響光
学偏向素子を第１のＡＯＤ、第２の音響光学偏向素子を
第２のＡＯＤと称する。
上記で説明した第１の音響光学偏向素子に、更に本発明
に係る第２の音響光学偏向素子とを組み合わせた場合
（本発明に係る光偏向器）について、第２の音響光学偏
向素子として第１の音響光学偏向素子と同一の構成の偏
向素子（オン-[１１０］型ＴｅＯ2 光偏向素子）を適用
した場合を例に説明する。なお、以下では第１の音響光
学偏向素子を第１のＡＯＤ、第２の音響光学偏向素子を
第２のＡＯＤと称する。
【００４６】図９に示すように、第２のＡＯＤは第１の
ＡＯＤから射出された回折光が入射されるように配置さ
れている。この第２のＡＯＤに対し、第２のＡＯＤへの
入射光の進行方向に一致するｚ’軸、第２のＡＯＤへの
入射光の偏光方向（図９では便宜的に第２のＡＯＤへの
入射光の偏光方向を、第１のＡＯＤへの入射光の偏光方
向と９０°異ならせて示している）に一致するｘ’軸、
ｚ’軸及びｘ’軸から右手系で定まるｙ’軸から成る
ｘ’ｙ’ｚ’座標系を定める。また、超音波の進行方
向、すなわち結晶の［１１０］軸方向をｘ’軸方向に一
致させ、かつ光学軸である［００１］軸方向をｚ’軸方
向に一致させた状態を第２のＡＯＤの初期状態とする
（図１参照）。
ＡＯＤから射出された回折光が入射されるように配置さ
れている。この第２のＡＯＤに対し、第２のＡＯＤへの
入射光の進行方向に一致するｚ’軸、第２のＡＯＤへの
入射光の偏光方向（図９では便宜的に第２のＡＯＤへの
入射光の偏光方向を、第１のＡＯＤへの入射光の偏光方
向と９０°異ならせて示している）に一致するｘ’軸、
ｚ’軸及びｘ’軸から右手系で定まるｙ’軸から成る
ｘ’ｙ’ｚ’座標系を定める。また、超音波の進行方
向、すなわち結晶の［１１０］軸方向をｘ’軸方向に一
致させ、かつ光学軸である［００１］軸方向をｚ’軸方
向に一致させた状態を第２のＡＯＤの初期状態とする
（図１参照）。
【００４７】そして、第２のＡＯＤに対する姿勢角と区
別するため、第１のＡＯＤに対するブラッグ角をθB1、
あおり角をθA1、入射光進行方向の軸回りの回転角をθ
Z1とすると共に、第１のＡＯＤに対するブラッグ角
θB1、あおり角θA1、入射光進行方向の軸回りの回転角
θZ1と同様に、前述の初期状態から第２のＡＯＤの姿勢
を調整するための３つの軸回りの角度として、第２のＡ
ＯＤへの入射光の進行方向（ｚ’軸）と超音波進行方向
とで形成される面内での第２のＡＯＤの回転（ｚ’軸と
超音波進行方向とで形成される面に垂直な軸Ｂ’回りの
回転）を表すブラッグ角θB '2、超音波進行方向の軸回
り、すなわち［１１０］軸方向の軸Ａ’回りの回転を表
すあおり角θA '2、第２のＡＯＤへの入射光の進行方
向、すなわちｚ’軸回りの回転を表す入射光進行方向の
軸回りの回転角θZ '2を各々定義する。
別するため、第１のＡＯＤに対するブラッグ角をθB1、
あおり角をθA1、入射光進行方向の軸回りの回転角をθ
Z1とすると共に、第１のＡＯＤに対するブラッグ角
θB1、あおり角θA1、入射光進行方向の軸回りの回転角
θZ1と同様に、前述の初期状態から第２のＡＯＤの姿勢
を調整するための３つの軸回りの角度として、第２のＡ
ＯＤへの入射光の進行方向（ｚ’軸）と超音波進行方向
とで形成される面内での第２のＡＯＤの回転（ｚ’軸と
超音波進行方向とで形成される面に垂直な軸Ｂ’回りの
回転）を表すブラッグ角θB '2、超音波進行方向の軸回
り、すなわち［１１０］軸方向の軸Ａ’回りの回転を表
すあおり角θA '2、第２のＡＯＤへの入射光の進行方
向、すなわちｚ’軸回りの回転を表す入射光進行方向の
軸回りの回転角θZ '2を各々定義する。
【００４８】第２のＡＯＤに対するｘ’ｙ’ｚ’座標系
は、第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向（及
び射出方向）によって定まるため、第２のＡＯＤの姿勢
を決定するにあたっては、第１のＡＯＤから射出される
回折光の偏光方向及び偏光状態（直線偏光か楕円偏光
か）が問題となる。図１０には、ＡＯＤの入射光進行方
向の軸回りの回転角θｚを変化させたときの、ＡＯＤか
ら射出される回折光の長軸の偏光方向θdi（但し、入射
光の偏光方向を基準（＝０°）とする）の変化を示し、
図１１には、ＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角
θｚを変化させたときの、回折光の偏光成分の長軸と短
軸との比率の変化を示す。
は、第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向（及
び射出方向）によって定まるため、第２のＡＯＤの姿勢
を決定するにあたっては、第１のＡＯＤから射出される
回折光の偏光方向及び偏光状態（直線偏光か楕円偏光
か）が問題となる。図１０には、ＡＯＤの入射光進行方
向の軸回りの回転角θｚを変化させたときの、ＡＯＤか
ら射出される回折光の長軸の偏光方向θdi（但し、入射
光の偏光方向を基準（＝０°）とする）の変化を示し、
図１１には、ＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角
θｚを変化させたときの、回折光の偏光成分の長軸と短
軸との比率の変化を示す。
【００４９】図１０及び図１１に示す関係から、例えば
次の条件を満足するように第１のＡＯＤ及び第２のＡＯ
Ｄの入射光進行方向の軸回りの回転角及びあおり角を調
整すれば、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの偏向方向が
直交し、かつ高い回折効率が得られることが明らかとな
った。
次の条件を満足するように第１のＡＯＤ及び第２のＡＯ
Ｄの入射光進行方向の軸回りの回転角及びあおり角を調
整すれば、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの偏向方向が
直交し、かつ高い回折効率が得られることが明らかとな
った。
【００５０】 第１のＡＯＤ：θZ1≒＋８０°、θA1≒＋１０° 第２のＡＯＤ：θZ2≒−１０°（：θZ '2≒−８０
°）、θA '2≒＋１０° なおθZ2は、第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの
回転角θZ '2を、ｘｙｚ座標系から見たときの角度（第
１のＡＯＤへの入射光の偏光方向を０°としたときの角
度）である。上記の条件について、図１２を参照しなが
ら説明する。
°）、θA '2≒＋１０° なおθZ2は、第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの
回転角θZ '2を、ｘｙｚ座標系から見たときの角度（第
１のＡＯＤへの入射光の偏光方向を０°としたときの角
度）である。上記の条件について、図１２を参照しなが
ら説明する。
【００５１】図１２は、上記の条件に従って第１のＡＯ
Ｄ及び第２のＡＯＤの姿勢を調整した場合を説明するた
めの図であり、図１２の下から順に、（１）は第１のＡ
ＯＤへの入射光の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿
勢、（３）は第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光
方向、（４）は第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡ
ＯＤから射出される回折光の偏光方向を、各々便宜的に
図１２の紙面に垂直な方向を入射及び回折光の進行方向
とみなして概念的に示している。
Ｄ及び第２のＡＯＤの姿勢を調整した場合を説明するた
めの図であり、図１２の下から順に、（１）は第１のＡ
ＯＤへの入射光の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿
勢、（３）は第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光
方向、（４）は第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡ
ＯＤから射出される回折光の偏光方向を、各々便宜的に
図１２の紙面に垂直な方向を入射及び回折光の進行方向
とみなして概念的に示している。
【００５２】図１２（１）に示すように、第１のＡＯＤ
への入射光の偏光方向が図１２の上下方向であるとする
と、第１のＡＯＤに対するｘｙｚ座標系は図１２（１）
に示すように定まる。第１のＡＯＤの入射光の進行方向
の軸回りの角度は先の条件からθZ1≒＋８０°であるの
で、図１２（２）に示すように、第１のＡＯＤは入射光
の進行方向の軸回りに＋８０°回転されて配置される。
なお、図１２（２）において白抜きで示す矢印は超音波
の進行方向を表している。また、第１のＡＯＤの入射光
の進行方向の軸回りの角度θZ1≒＋８０°に対する最適
なあおり角θA1は、図５よりθA1≒＋１０°である。図
４からも明らかなように、第１のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤにおける回折効率は
ピーク付近の高い値となる。
への入射光の偏光方向が図１２の上下方向であるとする
と、第１のＡＯＤに対するｘｙｚ座標系は図１２（１）
に示すように定まる。第１のＡＯＤの入射光の進行方向
の軸回りの角度は先の条件からθZ1≒＋８０°であるの
で、図１２（２）に示すように、第１のＡＯＤは入射光
の進行方向の軸回りに＋８０°回転されて配置される。
なお、図１２（２）において白抜きで示す矢印は超音波
の進行方向を表している。また、第１のＡＯＤの入射光
の進行方向の軸回りの角度θZ1≒＋８０°に対する最適
なあおり角θA1は、図５よりθA1≒＋１０°である。図
４からも明らかなように、第１のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤにおける回折効率は
ピーク付近の高い値となる。
【００５３】第１のＡＯＤを上記の姿勢角に調整した場
合、第１のＡＯＤから射出される回折光の（長軸の）偏
光方向は、図１０からθdi1 ≒＋７０°となり（図１２
（３）参照）、図１１からも明らかなように、この回折
光はほぼ直線偏光であるとみなすことができる。そし
て、この回折光の偏光方向を基準として、第２のＡＯＤ
に対するｘ’ｙ’ｚ’座標系が図１２（３）に示すよう
に定まる。
合、第１のＡＯＤから射出される回折光の（長軸の）偏
光方向は、図１０からθdi1 ≒＋７０°となり（図１２
（３）参照）、図１１からも明らかなように、この回折
光はほぼ直線偏光であるとみなすことができる。そし
て、この回折光の偏光方向を基準として、第２のＡＯＤ
に対するｘ’ｙ’ｚ’座標系が図１２（３）に示すよう
に定まる。
【００５４】第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによって入
射光を２次元に偏向するためには、第１のＡＯＤによる
偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とが、少なくと
も交差（好ましくは直交）している必要がある。第１の
ＡＯＤによる偏向方向に対し、第２のＡＯＤによる偏向
方向を直交させた場合、ｘｙｚ座標系から見た第２のＡ
ＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2はθZ2＝θ
Z1−９０°＝−１０°となる。第１のＡＯＤから射出さ
れる回折光の偏光方向θdi1 はθdi1 ≒＋７０°である
ので、この偏光方向を基準としたときの（ｘ’ｙ’ｚ’
座標系から見た）第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回
りの回転角はθZ '2＝θZ2−θdi1 ≒−８０°となる。
射光を２次元に偏向するためには、第１のＡＯＤによる
偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とが、少なくと
も交差（好ましくは直交）している必要がある。第１の
ＡＯＤによる偏向方向に対し、第２のＡＯＤによる偏向
方向を直交させた場合、ｘｙｚ座標系から見た第２のＡ
ＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2はθZ2＝θ
Z1−９０°＝−１０°となる。第１のＡＯＤから射出さ
れる回折光の偏光方向θdi1 はθdi1 ≒＋７０°である
ので、この偏光方向を基準としたときの（ｘ’ｙ’ｚ’
座標系から見た）第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回
りの回転角はθZ '2＝θZ2−θdi1 ≒−８０°となる。
【００５５】また、第２のＡＯＤの入射光の進行方向の
軸回りの角度θZ '2≒−８０°に対する最適なあおり角
θA '2は、図５よりθA '2≒−１０°である。図４から
も明らかなように、第２のＡＯＤを上記姿勢角に調整す
ることにより、第１のＡＯＤから射出された回折光に対
する第２のＡＯＤの回折効率はピーク付近の高い値とな
る。そして、図１０からも明らかなように、第２のＡＯ
Ｄへの入射光の偏光方向を基準としたときの、第２のＡ
ＯＤから射出される回折光の偏光方向θdi'2は、θdi'2
≒−７０°であるので、第２のＡＯＤから射出される回
折光のｘｙｚ座標系から見た偏光方向θdi2 は、θdi2
＝θdi1 ＋θdi'2≒０°となり、第１のＡＯＤへの入射
光の偏光方向と略一致することになる。
軸回りの角度θZ '2≒−８０°に対する最適なあおり角
θA '2は、図５よりθA '2≒−１０°である。図４から
も明らかなように、第２のＡＯＤを上記姿勢角に調整す
ることにより、第１のＡＯＤから射出された回折光に対
する第２のＡＯＤの回折効率はピーク付近の高い値とな
る。そして、図１０からも明らかなように、第２のＡＯ
Ｄへの入射光の偏光方向を基準としたときの、第２のＡ
ＯＤから射出される回折光の偏光方向θdi'2は、θdi'2
≒−７０°であるので、第２のＡＯＤから射出される回
折光のｘｙｚ座標系から見た偏光方向θdi2 は、θdi2
＝θdi1 ＋θdi'2≒０°となり、第１のＡＯＤへの入射
光の偏光方向と略一致することになる。
【００５６】第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤをタンデム
に配置した場合の、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによ
る総合的な回折効率の周波数特性を図１３に示す。図１
３においてθZ1＝＋８０°として示す曲線は、第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤを先に説明した条件で配置した場
合の周波数特性であり、従来の配置方法による回折効率
の周波数特性（θZ1＝±０°として示す曲線）と比較し
ても明らかなように、所定の周波数帯域内の何れの周波
数においても回折効率は従来より大幅に向上している。
に配置した場合の、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによ
る総合的な回折効率の周波数特性を図１３に示す。図１
３においてθZ1＝＋８０°として示す曲線は、第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤを先に説明した条件で配置した場
合の周波数特性であり、従来の配置方法による回折効率
の周波数特性（θZ1＝±０°として示す曲線）と比較し
ても明らかなように、所定の周波数帯域内の何れの周波
数においても回折効率は従来より大幅に向上している。
【００５７】なお、上記ではθZ1＝＋８０°とした場合
を例に説明したが、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの回
折効率が共に高くなるのは、上記の条件に限定されるも
のではない。例えばθZ1＝−８０°とした場合にも、上
記の条件と同等の回折効率が得られる条件が存在し、ま
たブラッグ角θB ＜０とした場合にも上記の条件と同等
の回折効率が得られる条件が存在している。また、｜θ
Z1｜＝８０°に限定されるものでもなく、例えば｜θZ1
｜＝７０°、或いは｜θZ1｜＝８５°としてもよい。
を例に説明したが、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの回
折効率が共に高くなるのは、上記の条件に限定されるも
のではない。例えばθZ1＝−８０°とした場合にも、上
記の条件と同等の回折効率が得られる条件が存在し、ま
たブラッグ角θB ＜０とした場合にも上記の条件と同等
の回折効率が得られる条件が存在している。また、｜θ
Z1｜＝８０°に限定されるものでもなく、例えば｜θZ1
｜＝７０°、或いは｜θZ1｜＝８５°としてもよい。
【００５８】また、図１３においてθZ1＝＋９０°とし
て示す曲線は、第１のＡＯＤの入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ1をθZ1＝＋９０°、第２のＡＯＤの入射光
進行方向の軸回りの回転角θZ2をθZ2＝０°とした場合
であるが、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの各々に対
し、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ1、θZ2（正確
にはθZ '2）に応じて、図５よりあおり角が適正に調整
されているため、この場合にも回折効率は従来より向上
する。
て示す曲線は、第１のＡＯＤの入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ1をθZ1＝＋９０°、第２のＡＯＤの入射光
進行方向の軸回りの回転角θZ2をθZ2＝０°とした場合
であるが、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの各々に対
し、入射光進行方向の軸回りの回転角θZ1、θZ2（正確
にはθZ '2）に応じて、図５よりあおり角が適正に調整
されているため、この場合にも回折効率は従来より向上
する。
【００５９】更に、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２
のＡＯＤによる偏向方向とは、必ずしも直交していなく
てもよく、第１のＡＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏
向方向が交差する、という条件の下で、第１のＡＯＤに
おける回折効率及び第２のＡＯＤにおける回折効率が各
々略最大となるように第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの
姿勢を調整してもよい。例えば次の条件を満足するよう
に第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸
回りの回転角及びあおり角を調整した場合には、第１の
ＡＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏向方向は、交差す
るものの直交しないが、第１のＡＯＤにおける回折効率
及び第２のＡＯＤにおける回折効率が各々略最大となる
ので、光偏向器として更に高い回折効率が得られる。
のＡＯＤによる偏向方向とは、必ずしも直交していなく
てもよく、第１のＡＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏
向方向が交差する、という条件の下で、第１のＡＯＤに
おける回折効率及び第２のＡＯＤにおける回折効率が各
々略最大となるように第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの
姿勢を調整してもよい。例えば次の条件を満足するよう
に第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸
回りの回転角及びあおり角を調整した場合には、第１の
ＡＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏向方向は、交差す
るものの直交しないが、第１のＡＯＤにおける回折効率
及び第２のＡＯＤにおける回折効率が各々略最大となる
ので、光偏向器として更に高い回折効率が得られる。
【００６０】 第１のＡＯＤ：θZ1≒＋７０°、θA1≒＋１０° 第２のＡＯＤ：θZ2≒−５°（：θZ '2≒−７０°）、
θA '2≒＋１０° 上記の条件について、図１４を参照しながら説明する。
図１４は、上記の条件に従って第１のＡＯＤ及び第２の
ＡＯＤの姿勢を調整した場合を説明するための図であ
り、図１４の下から順に、（１）は第１のＡＯＤへの入
射光の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）
は第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、
（４）は第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤか
ら射出される回折光の偏光方向を、各々便宜的に図１４
の紙面に垂直な方向を入射及び回折光の進行方向とみな
して概念的に示している。
θA '2≒＋１０° 上記の条件について、図１４を参照しながら説明する。
図１４は、上記の条件に従って第１のＡＯＤ及び第２の
ＡＯＤの姿勢を調整した場合を説明するための図であ
り、図１４の下から順に、（１）は第１のＡＯＤへの入
射光の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）
は第１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、
（４）は第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤか
ら射出される回折光の偏光方向を、各々便宜的に図１４
の紙面に垂直な方向を入射及び回折光の進行方向とみな
して概念的に示している。
【００６１】図１４（１）に示すように、第１のＡＯＤ
への入射光の偏光方向が図１４の上下方向であるとする
と、第１のＡＯＤに対するｘｙｚ座標系は図１４（１）
に示すように定まる。第１のＡＯＤの入射光の進行方向
の軸回りの角度は先の条件からθZ1≒＋７０°であるの
で、図１４（２）に示すように、第１のＡＯＤは入射光
の進行方向の軸回りに＋７０°回転されて配置される。
なお、図１４（２）において白抜きで示す矢印は超音波
の進行方向を表している。また、第１のＡＯＤの入射光
の進行方向の軸回りの角度θZ1≒＋７０°に対する最適
なあおり角θA1は、図５よりθA1≒＋１０°である。図
４からも明らかなように、第１のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤにおける回折効率は
略最大となる。
への入射光の偏光方向が図１４の上下方向であるとする
と、第１のＡＯＤに対するｘｙｚ座標系は図１４（１）
に示すように定まる。第１のＡＯＤの入射光の進行方向
の軸回りの角度は先の条件からθZ1≒＋７０°であるの
で、図１４（２）に示すように、第１のＡＯＤは入射光
の進行方向の軸回りに＋７０°回転されて配置される。
なお、図１４（２）において白抜きで示す矢印は超音波
の進行方向を表している。また、第１のＡＯＤの入射光
の進行方向の軸回りの角度θZ1≒＋７０°に対する最適
なあおり角θA1は、図５よりθA1≒＋１０°である。図
４からも明らかなように、第１のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤにおける回折効率は
略最大となる。
【００６２】第１のＡＯＤを上記の姿勢角に調整した場
合、第１のＡＯＤから射出される回折光の（長軸の）偏
光方向は、図１０からθdi1 ≒＋６５°となり（図１４
（３）参照）、図１１からも明らかなように、この回折
光はほぼ直線偏光であるとみなすことができる。そし
て、この回折光の偏光方向を基準として、第２のＡＯＤ
に対するｘ’ｙ’ｚ’座標系が図１４（３）に示すよう
に定まる。
合、第１のＡＯＤから射出される回折光の（長軸の）偏
光方向は、図１０からθdi1 ≒＋６５°となり（図１４
（３）参照）、図１１からも明らかなように、この回折
光はほぼ直線偏光であるとみなすことができる。そし
て、この回折光の偏光方向を基準として、第２のＡＯＤ
に対するｘ’ｙ’ｚ’座標系が図１４（３）に示すよう
に定まる。
【００６３】第１のＡＯＤから射出された回折光に対
し、第２のＡＯＤの回折効率が略最大となるときの、
ｘ’ｙ’ｚ’座標系から見た第２のＡＯＤの入射光進行
方向の軸回りの回転角θZ '2は、図４からも明らかなよ
うに、θZ '2≒＋７０°又は−７０°である。第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤによって入射光を２次元に偏向す
るためには、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯ
Ｄによる偏向方向とが交差し、かつ交差角度がなるべく
９０°に近い角度であることが望ましいので、θZ'2≒
−７０°とする（図１４（４）参照）。また、第２のＡ
ＯＤの入射光の進行方向の軸回りの角度θZ '2≒−７０
°に対する最適なあおり角θA '2は、図５よりθA '2≒
−１０°となる。
し、第２のＡＯＤの回折効率が略最大となるときの、
ｘ’ｙ’ｚ’座標系から見た第２のＡＯＤの入射光進行
方向の軸回りの回転角θZ '2は、図４からも明らかなよ
うに、θZ '2≒＋７０°又は−７０°である。第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤによって入射光を２次元に偏向す
るためには、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯ
Ｄによる偏向方向とが交差し、かつ交差角度がなるべく
９０°に近い角度であることが望ましいので、θZ'2≒
−７０°とする（図１４（４）参照）。また、第２のＡ
ＯＤの入射光の進行方向の軸回りの角度θZ '2≒−７０
°に対する最適なあおり角θA '2は、図５よりθA '2≒
−１０°となる。
【００６４】第１のＡＯＤから射出される回折光の（長
軸の）偏光方向θdi1 はθdi1 ≒＋６５°であるので、
ｘｙｚ座標系から見た第２のＡＯＤの入射光進行方向の
軸回りの回転角θZ2はθZ2＝θdi1 ＋θZ '2≒−５°と
なり、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯＤによ
る偏向方向との交差角度は、交差角度＝θZ1−θZ2≒７
５°となる（図１４（５）参照）。図４からも明らかな
ように、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの
回折効率が各々略最大となるので、第１のＡＯＤ及び第
２のＡＯＤをタンデム配置した光偏向器における回折効
率も略最大となる。
軸の）偏光方向θdi1 はθdi1 ≒＋６５°であるので、
ｘｙｚ座標系から見た第２のＡＯＤの入射光進行方向の
軸回りの回転角θZ2はθZ2＝θdi1 ＋θZ '2≒−５°と
なり、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯＤによ
る偏向方向との交差角度は、交差角度＝θZ1−θZ2≒７
５°となる（図１４（５）参照）。図４からも明らかな
ように、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤを上記姿勢角に
調整することにより、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの
回折効率が各々略最大となるので、第１のＡＯＤ及び第
２のＡＯＤをタンデム配置した光偏向器における回折効
率も略最大となる。
【００６５】また、図１０からも明らかなように、第２
のＡＯＤへの入射光の偏光方向を基準としたときの、第
２のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向θdi'2は、
θdi'2≒−６５°であるので、第２のＡＯＤから射出さ
れる回折光のｘｙｚ座標系から見た偏光方向θdi2 は、
θdi2 ＝θdi1 ＋θdi'2≒０°となり、第１のＡＯＤへ
の入射光の偏光方向と略一致することになる。
のＡＯＤへの入射光の偏光方向を基準としたときの、第
２のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向θdi'2は、
θdi'2≒−６５°であるので、第２のＡＯＤから射出さ
れる回折光のｘｙｚ座標系から見た偏光方向θdi2 は、
θdi2 ＝θdi1 ＋θdi'2≒０°となり、第１のＡＯＤへ
の入射光の偏光方向と略一致することになる。
【００６６】なお、上記のように、光偏向器の第１のＡ
ＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏向方向が直交してい
ない場合であっても、後述するように、第１のＡＯＤ及
び第２のＡＯＤの少なくとも一方に対し、周波数変調の
位相をずらしかつ振幅を調整した駆動信号を供給するよ
うにすれば、光偏向器に入射された光を、互いに直交す
る２つの方向に沿って２次元に偏向することができる。
ＯＤの偏向方向と第２のＡＯＤの偏向方向が直交してい
ない場合であっても、後述するように、第１のＡＯＤ及
び第２のＡＯＤの少なくとも一方に対し、周波数変調の
位相をずらしかつ振幅を調整した駆動信号を供給するよ
うにすれば、光偏向器に入射された光を、互いに直交す
る２つの方向に沿って２次元に偏向することができる。
【００６７】以上より、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤ
をタンデム配置した光偏向器においても、各ＡＯＤを異
方ブラッグ回折が利用できるように配置すると共に、各
ＡＯＤの異方性結晶の光学軸が、各ＡＯＤへの入射光の
進行方向と各ＡＯＤの異方性結晶内の超音波の進行方向
とを含む面に対して各々平行にならないように各々配置
することで、光偏向器の回折効率を向上させることがで
きる。
をタンデム配置した光偏向器においても、各ＡＯＤを異
方ブラッグ回折が利用できるように配置すると共に、各
ＡＯＤの異方性結晶の光学軸が、各ＡＯＤへの入射光の
進行方向と各ＡＯＤの異方性結晶内の超音波の進行方向
とを含む面に対して各々平行にならないように各々配置
することで、光偏向器の回折効率を向上させることがで
きる。
【００６８】次に、上記の光偏向器を利用した円筒内面
走査型画像記録装置の実施形態を図面を参照して説明す
る。図１５に示すように、本実施形態に係る画像記録装
置は、レーザビームＬを発生するレーザビーム発生器１
４と、レーザビーム発生器１４から発生されたレーザビ
ームを３本のレーザビームＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 に分割する
レーザビームスプリッタ１６とを備えている。
走査型画像記録装置の実施形態を図面を参照して説明す
る。図１５に示すように、本実施形態に係る画像記録装
置は、レーザビームＬを発生するレーザビーム発生器１
４と、レーザビーム発生器１４から発生されたレーザビ
ームを３本のレーザビームＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 に分割する
レーザビームスプリッタ１６とを備えている。
【００６９】レーザビームＬ1 の射出側には、レーザビ
ームＬ1 を、回転鏡３２に入射されるレーザビーム（回
転鏡３２については後述）に対して設定したＸＹＺ座標
系におけるＸ軸方向に相当する方向に偏向する第１のＡ
ＯＤ１８ｘと、第１のＡＯＤ１８ｘで回折されたレーザ
ビームＬ1 をＹ軸方向に相当する方向に偏向すると共に
画像情報に応じてレーザビームを強度変調（オンオフ変
調）する第２のＡＯＤ１８ｙと、から成る光偏向器１８
が配置されている。
ームＬ1 を、回転鏡３２に入射されるレーザビーム（回
転鏡３２については後述）に対して設定したＸＹＺ座標
系におけるＸ軸方向に相当する方向に偏向する第１のＡ
ＯＤ１８ｘと、第１のＡＯＤ１８ｘで回折されたレーザ
ビームＬ1 をＹ軸方向に相当する方向に偏向すると共に
画像情報に応じてレーザビームを強度変調（オンオフ変
調）する第２のＡＯＤ１８ｙと、から成る光偏向器１８
が配置されている。
【００７０】またレーザビームＬ2 の射出側には、レー
ザビームＬ2 を偏向することなく画像情報に応じてレー
ザビームをオンオフ変調するＡＯＤ２０が配置されてお
り、レーザビームＬ3 の射出側には、レーザビームＬ3
をＸ軸方向に相当する方向に偏向する第１のＡＯＤ２２
ｘと、第１のＡＯＤ２２ｘで回折されたレーザビームＬ
3 をＹ軸方向に相当する方向に偏向すると共に画像情報
に応じてレーザビームをオンオフ変調する第２のＡＯＤ
２２ｙと、から成る光偏向器２２が配置されている。
ザビームＬ2 を偏向することなく画像情報に応じてレー
ザビームをオンオフ変調するＡＯＤ２０が配置されてお
り、レーザビームＬ3 の射出側には、レーザビームＬ3
をＸ軸方向に相当する方向に偏向する第１のＡＯＤ２２
ｘと、第１のＡＯＤ２２ｘで回折されたレーザビームＬ
3 をＹ軸方向に相当する方向に偏向すると共に画像情報
に応じてレーザビームをオンオフ変調する第２のＡＯＤ
２２ｙと、から成る光偏向器２２が配置されている。
【００７１】図１６に示すように、光偏向器１８の第１
のＡＯＤ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１８ｙは、各々の姿勢
が調整された状態で同一のパッケージ１８Ａ内に取付け
されている。また、図示は省略するが、光偏向器２２の
第１のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡＯＤ２２ｙについて
も、各々の姿勢が調整された状態で同一のパッケージ内
に取付けられている。従って、入射光に対する各光偏向
器のパッケージの姿勢を調整することにより、第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤの姿勢の調整が完了するので、本
実施形態に係る画像記録装置の製造が容易になる。
のＡＯＤ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１８ｙは、各々の姿勢
が調整された状態で同一のパッケージ１８Ａ内に取付け
されている。また、図示は省略するが、光偏向器２２の
第１のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡＯＤ２２ｙについて
も、各々の姿勢が調整された状態で同一のパッケージ内
に取付けられている。従って、入射光に対する各光偏向
器のパッケージの姿勢を調整することにより、第１のＡ
ＯＤ及び第２のＡＯＤの姿勢の調整が完了するので、本
実施形態に係る画像記録装置の製造が容易になる。
【００７２】本実施形態では、各パッケージ内における
光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１
８ｙ、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡ
ＯＤ２２ｙの各々の姿勢が、先に説明した条件、すなわ
ちブラッグ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射光
進行方向の軸回りの回転角θZ1がθZ1≒＋８０°、第１
のＡＯＤのあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡＯ
Ｄの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−１
０°、第２のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１０
°となるように調整されている。
光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１
８ｙ、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡ
ＯＤ２２ｙの各々の姿勢が、先に説明した条件、すなわ
ちブラッグ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射光
進行方向の軸回りの回転角θZ1がθZ1≒＋８０°、第１
のＡＯＤのあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡＯ
Ｄの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−１
０°、第２のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１０
°となるように調整されている。
【００７３】光偏向器１８、ＡＯＤ２０、及び光偏向器
２２のレーザビーム射出側には、各々レーザビームをｘ
軸の負の方向に反射するミラー２４、２６、２８が配置
されおり、これらのミラーのレーザビーム反射側には、
各ミラーから反射されたレーザビームを集光する集光レ
ンズ３０、軸に対して４５°傾斜した反射面を備え、か
つモータ３４により軸を中心として回転される円柱状の
回転鏡３２が配置されている。なお、記録シートＳは、
展開して図示した円筒状のドラム３６の内周面に保持さ
れており、回転鏡３２は軸がドラム３６の中心軸と一致
するように配置されている。
２２のレーザビーム射出側には、各々レーザビームをｘ
軸の負の方向に反射するミラー２４、２６、２８が配置
されおり、これらのミラーのレーザビーム反射側には、
各ミラーから反射されたレーザビームを集光する集光レ
ンズ３０、軸に対して４５°傾斜した反射面を備え、か
つモータ３４により軸を中心として回転される円柱状の
回転鏡３２が配置されている。なお、記録シートＳは、
展開して図示した円筒状のドラム３６の内周面に保持さ
れており、回転鏡３２は軸がドラム３６の中心軸と一致
するように配置されている。
【００７４】上記の画像記録装置では、レーザビームに
よって記録されるドットが記録シートＳ上でＭ方向に配
列されている状態（図１５の状態）から回転鏡３２を９
０°回転させると、図１７（１）に示すようにドット配
列が９０°回転されことになる。すなわち、ドット配列
が回転鏡３２の回転に伴って回転されることになり、回
転鏡３２の反射面の中心に入射されないレーザビームＬ
1 、Ｌ3 によって記録されるドットが単振動し、レーザ
ビームＬ1 、Ｌ3 によって記録されるドットの軌跡は正
弦波状になる。
よって記録されるドットが記録シートＳ上でＭ方向に配
列されている状態（図１５の状態）から回転鏡３２を９
０°回転させると、図１７（１）に示すようにドット配
列が９０°回転されことになる。すなわち、ドット配列
が回転鏡３２の回転に伴って回転されることになり、回
転鏡３２の反射面の中心に入射されないレーザビームＬ
1 、Ｌ3 によって記録されるドットが単振動し、レーザ
ビームＬ1 、Ｌ3 によって記録されるドットの軌跡は正
弦波状になる。
【００７５】これに対し、回転鏡３２の反射面が図１８
（１）に示す向き（反射面の短軸がＹ軸と一致）の場
合、Ｚ軸に沿って反射面の中心に入射するレーザビーム
Ｌ０の回転鏡３２への入射方向を、Ｘ軸方向に−θx だ
け変位させたとすると、反射面で反射されたレーザビー
ムのＸ軸に直交する平面上への照射位置がＺ軸方向に沿
って＋Δｚだけ変位する。このレーザビームの照射位置
の変位の方向は、前記Ｘ軸に直交する平面が記録シート
Ｓであるとすると、図１５及び図１７に示すＭ方向（回
転鏡３２の回転に伴うレーザビームの走査方向（θ方
向）と直交する方向）である。
（１）に示す向き（反射面の短軸がＹ軸と一致）の場
合、Ｚ軸に沿って反射面の中心に入射するレーザビーム
Ｌ０の回転鏡３２への入射方向を、Ｘ軸方向に−θx だ
け変位させたとすると、反射面で反射されたレーザビー
ムのＸ軸に直交する平面上への照射位置がＺ軸方向に沿
って＋Δｚだけ変位する。このレーザビームの照射位置
の変位の方向は、前記Ｘ軸に直交する平面が記録シート
Ｓであるとすると、図１５及び図１７に示すＭ方向（回
転鏡３２の回転に伴うレーザビームの走査方向（θ方
向）と直交する方向）である。
【００７６】従って、レーザビームＬ1 に対し、光偏向
器１８の第１のＡＯＤ１８ＸによってＸ軸方向に相当す
る方向に偏向すると共に、正弦波状の振動が相殺される
ように偏向量を余弦波状に変化させることで、図１７
（１）に示すレーザビームＬ1の軌跡を走査方向に沿っ
た直線とすることができる。また、レーザビームＬ3 に
対し、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ＸによってＸ軸
方向に相当する方向に偏向すると共に、正弦波状の振動
が相殺されるように偏向量を余弦波状に変化させること
で、図１７（１）に示すレーザビームＬ3 の軌跡を走査
方向に沿った直線とすることができる。
器１８の第１のＡＯＤ１８ＸによってＸ軸方向に相当す
る方向に偏向すると共に、正弦波状の振動が相殺される
ように偏向量を余弦波状に変化させることで、図１７
（１）に示すレーザビームＬ1の軌跡を走査方向に沿っ
た直線とすることができる。また、レーザビームＬ3 に
対し、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ＸによってＸ軸
方向に相当する方向に偏向すると共に、正弦波状の振動
が相殺されるように偏向量を余弦波状に変化させること
で、図１７（１）に示すレーザビームＬ3 の軌跡を走査
方向に沿った直線とすることができる。
【００７７】これにより、レーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ
3 によって形成される３本の走査線を互いに平行にする
ことはできるが、各レーザビームによって形成される走
査線端の位置は、図１７（２）に示すように互いにずれ
ることになる。この走査線端の位置を揃えるためには、
記録シートＳへのレーザビーム照射位置を走査方向（θ
方向）にも変位させる必要がある。
3 によって形成される３本の走査線を互いに平行にする
ことはできるが、各レーザビームによって形成される走
査線端の位置は、図１７（２）に示すように互いにずれ
ることになる。この走査線端の位置を揃えるためには、
記録シートＳへのレーザビーム照射位置を走査方向（θ
方向）にも変位させる必要がある。
【００７８】これに対し、回転鏡３２の反射面が図１８
（２）に示す向き（反射面の短軸がＹ軸と一致：先に説
明した図１８（１）に示す向きと同一））の場合、Ｚ軸
に沿って反射面の中心に入射するレーザビームＬ０の回
転鏡３２への入射方向を、Ｙ軸方向に＋θY だけ変位さ
せたとすると、反射面で反射されたレーザビームのＸ軸
に直交する平面上への照射位置がＹ軸方向に沿って＋Δ
ｙだけ変位する。このレーザビームの照射位置の変位の
方向は、前記Ｘ軸に直交する平面が記録シートＳである
とすると、図１５及び図１７に示すθ方向（回転鏡３２
の回転に伴うレーザビームの走査方向）である。
（２）に示す向き（反射面の短軸がＹ軸と一致：先に説
明した図１８（１）に示す向きと同一））の場合、Ｚ軸
に沿って反射面の中心に入射するレーザビームＬ０の回
転鏡３２への入射方向を、Ｙ軸方向に＋θY だけ変位さ
せたとすると、反射面で反射されたレーザビームのＸ軸
に直交する平面上への照射位置がＹ軸方向に沿って＋Δ
ｙだけ変位する。このレーザビームの照射位置の変位の
方向は、前記Ｘ軸に直交する平面が記録シートＳである
とすると、図１５及び図１７に示すθ方向（回転鏡３２
の回転に伴うレーザビームの走査方向）である。
【００７９】従って、例として図１８（３）にも示すよ
うに、レーザビームＬ０の回転鏡３２への入射方向を、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に変位させる（図ではＸ、Ｙ軸方
向にθXYだけ変位させている）ことにより、レーザビー
ムの照射位置を２次元に変位させることができる。図１
９（１）に示すように、回転鏡３２の反射面に入射する
レーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 の光スポットを、記録シ
ートＳと共役な面Ｓ’に射影した場合、回転鏡３２の回
転に伴う面Ｓ’上におけるレーザビームＬ1 及びＬ3 の
光スポットの軌跡は、回転鏡３２の角速度をωとする
と、
うに、レーザビームＬ０の回転鏡３２への入射方向を、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に変位させる（図ではＸ、Ｙ軸方
向にθXYだけ変位させている）ことにより、レーザビー
ムの照射位置を２次元に変位させることができる。図１
９（１）に示すように、回転鏡３２の反射面に入射する
レーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 の光スポットを、記録シ
ートＳと共役な面Ｓ’に射影した場合、回転鏡３２の回
転に伴う面Ｓ’上におけるレーザビームＬ1 及びＬ3 の
光スポットの軌跡は、回転鏡３２の角速度をωとする
と、
【００８０】 レーザビームＬ1 ：Ｘ＝−ａ・cos ωｔ ，Ｙ＝−ａ・sin ωｔ …（１） レーザビームＬ3 ：Ｘ＝ａ・cos ωｔ ，Ｙ＝ａ・sin ωｔ …（２） 上記（１）式、（２）式で表される円となる（図１９
（２）参照）。このため、レーザビームＬ1 を、光偏向
器１８の第１のＡＯＤ１８Ｘ、第２のＡＯＤ１８Ｙによ
り上記（１）式に応じてＸ軸方向に相当する方向及びＹ
軸方向に相当する方向に偏向し、レーザビームＬ3 を、
光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２Ｘ、第２のＡＯＤ２２
Ｙにより上記（２）式に応じてＸ軸方向に相当する方向
及びＹ軸方向に相当する方向に偏向することで、回転鏡
３２から射出されるレーザビームＬ1、Ｌ2 、Ｌ3 を常
にＺ軸方向（記録シートＳ上のＭ方向）に沿って一定間
隔で配列することができ、図１７（３）に示すように、
レーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3によって形成される３本
の走査線を、互いに平行でかつ端部の位置を揃えること
ができる。
（２）参照）。このため、レーザビームＬ1 を、光偏向
器１８の第１のＡＯＤ１８Ｘ、第２のＡＯＤ１８Ｙによ
り上記（１）式に応じてＸ軸方向に相当する方向及びＹ
軸方向に相当する方向に偏向し、レーザビームＬ3 を、
光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２Ｘ、第２のＡＯＤ２２
Ｙにより上記（２）式に応じてＸ軸方向に相当する方向
及びＹ軸方向に相当する方向に偏向することで、回転鏡
３２から射出されるレーザビームＬ1、Ｌ2 、Ｌ3 を常
にＺ軸方向（記録シートＳ上のＭ方向）に沿って一定間
隔で配列することができ、図１７（３）に示すように、
レーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3によって形成される３本
の走査線を、互いに平行でかつ端部の位置を揃えること
ができる。
【００８１】上記に基づき、本実施形態では図２０に示
す制御装置３８が設けられている。図２０に示すよう
に、制御装置３８は各ＡＯＤのトランスデューサに接続
されている。制御装置３８は制御回路４０を備えてい
る。制御回路４０には、モータ３４に取り付けられた図
示しないロータリエンコーダが接続されており、ロータ
リーエンコーダから入力されたモータの回転に同期した
回転位置信号Ｐ及び主走査開始信号ＬＳＹＮＣに基づい
てクロック信号を生成する。
す制御装置３８が設けられている。図２０に示すよう
に、制御装置３８は各ＡＯＤのトランスデューサに接続
されている。制御装置３８は制御回路４０を備えてい
る。制御回路４０には、モータ３４に取り付けられた図
示しないロータリエンコーダが接続されており、ロータ
リーエンコーダから入力されたモータの回転に同期した
回転位置信号Ｐ及び主走査開始信号ＬＳＹＮＣに基づい
てクロック信号を生成する。
【００８２】制御回路４０には、余弦波電圧信号生成回
路４２、正弦波電圧信号生成回路４４、定電圧信号生成
回路４６、余弦波電圧信号生成回路４８、及び正弦波電
圧信号生成回路５０が接続されている。余弦波電圧信号
生成回路４２は、制御回路４０から入力されるクロック
信号に従って、Ｘ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号
（但し、ａは定数、ωはクロック信号が表すモータ３４
（回転鏡３２）の角速度、ｔは経過時間）を生成する。
また、正弦波電圧信号生成回路４４は、制御回路４０か
ら入力されるクロック信号に従って、Ｙ＝−ａ・sin ω
ｔの正弦波電圧信号を生成する。
路４２、正弦波電圧信号生成回路４４、定電圧信号生成
回路４６、余弦波電圧信号生成回路４８、及び正弦波電
圧信号生成回路５０が接続されている。余弦波電圧信号
生成回路４２は、制御回路４０から入力されるクロック
信号に従って、Ｘ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号
（但し、ａは定数、ωはクロック信号が表すモータ３４
（回転鏡３２）の角速度、ｔは経過時間）を生成する。
また、正弦波電圧信号生成回路４４は、制御回路４０か
ら入力されるクロック信号に従って、Ｙ＝−ａ・sin ω
ｔの正弦波電圧信号を生成する。
【００８３】また、定電圧信号生成回路４６は一定電圧
の信号を生成する。余弦波電圧信号生成回路４８は制御
回路４０から入力されるクロック信号に従って、Ｘ＝ａ
・cos ωｔの余弦波電圧信号を生成する。そして正弦波
電圧信号生成回路５０は、制御回路４０から入力される
クロック信号に従って、Ｙ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧
信号を生成する。
の信号を生成する。余弦波電圧信号生成回路４８は制御
回路４０から入力されるクロック信号に従って、Ｘ＝ａ
・cos ωｔの余弦波電圧信号を生成する。そして正弦波
電圧信号生成回路５０は、制御回路４０から入力される
クロック信号に従って、Ｙ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧
信号を生成する。
【００８４】上記の電圧信号生成回路４２〜５０は、入
力された信号の電圧レベルに応じた周波数の高周波信号
を出力する電圧制御発振器（ＶＣＯ）５２Ａ、５２Ｂ、
５２Ｃ、５２Ｄ、５２Ｅに接続されている。従って、Ｖ
ＣＯ５２ＡからはＸ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号
に応じて周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣ
Ｏ５２ＢからはＹ＝−ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に
応じて周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣＯ
５２ＤからはＸ＝ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じ
て周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣＯ５２
ＥからはＹ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じて周
波数変調された高周波信号が出力されることになる。ま
たＶＣＯ５２Ｃからは一定周波数の高周波信号が出力さ
れる。
力された信号の電圧レベルに応じた周波数の高周波信号
を出力する電圧制御発振器（ＶＣＯ）５２Ａ、５２Ｂ、
５２Ｃ、５２Ｄ、５２Ｅに接続されている。従って、Ｖ
ＣＯ５２ＡからはＸ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号
に応じて周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣ
Ｏ５２ＢからはＹ＝−ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に
応じて周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣＯ
５２ＤからはＸ＝ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じ
て周波数変調された高周波信号が出力され、ＶＣＯ５２
ＥからはＹ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じて周
波数変調された高周波信号が出力されることになる。ま
たＶＣＯ５２Ｃからは一定周波数の高周波信号が出力さ
れる。
【００８５】ＶＣＯ５２Ａの出力端は、増幅器５６Ａを
介して光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘのトランスデ
ューサに接続されており、ＶＣＯ５２Ｄの出力端は、増
幅器５６Ｄを介して光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘ
のトランスデューサに接続されている。ＶＣＯ５２Ａ、
５２Ｄから出力された信号は、増幅器５６Ａ、５６Ｄで
増幅されて第１のＡＯＤ１８ｘ、第１のＡＯＤ２２ｘの
トランスデューサに各々入力される。
介して光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘのトランスデ
ューサに接続されており、ＶＣＯ５２Ｄの出力端は、増
幅器５６Ｄを介して光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘ
のトランスデューサに接続されている。ＶＣＯ５２Ａ、
５２Ｄから出力された信号は、増幅器５６Ａ、５６Ｄで
増幅されて第１のＡＯＤ１８ｘ、第１のＡＯＤ２２ｘの
トランスデューサに各々入力される。
【００８６】また、ＶＣＯ５２Ｂの出力端は、変調器５
４Ａ、増幅器５６Ｂを介して光偏向器１８の第２のＡＯ
Ｄ１８ｙのトランスデューサに接続されており、ＶＣＯ
５２Ｃの出力端は、変調器５４Ｂ、増幅器５６Ｃを介し
てＡＯＤ２０のトランスデューサに接続されており、Ｖ
ＣＯ５２Ｅの出力端は、変調器５４Ｃ、増幅器５６Ｅを
介して光偏向器２２の第２のＡＯＤ２２ｙのトランスデ
ューサに接続されている。また、制御回路４０には２値
画像信号生成回路５８が接続されており、２値画像信号
生成回路５８の出力端は変調器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ
に各々接続されている。
４Ａ、増幅器５６Ｂを介して光偏向器１８の第２のＡＯ
Ｄ１８ｙのトランスデューサに接続されており、ＶＣＯ
５２Ｃの出力端は、変調器５４Ｂ、増幅器５６Ｃを介し
てＡＯＤ２０のトランスデューサに接続されており、Ｖ
ＣＯ５２Ｅの出力端は、変調器５４Ｃ、増幅器５６Ｅを
介して光偏向器２２の第２のＡＯＤ２２ｙのトランスデ
ューサに接続されている。また、制御回路４０には２値
画像信号生成回路５８が接続されており、２値画像信号
生成回路５８の出力端は変調器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ
に各々接続されている。
【００８７】２値画像信号生成回路５８は、制御回路４
０から入力されたクロック信号と同期したタイミングで
変調器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃに２値画像信号を出力す
る。ＶＣＯ５２Ｂ、ＶＣＯ５２Ｃ、ＶＣＯ５２Ｅから出
力された高周波信号は、２値画像信号生成回路５８から
入力された２値画像信号に応じて変調器５４Ａ、５４
Ｂ、５４Ｃで各々オンオフ変調され、増幅器５６Ｂ、５
６Ｃ、５６Ｅによって増幅された後に、第２のＡＯＤ１
８ｙ、ＡＯＤ２０、第２のＡＯＤ２２ｙのトランスデュ
ーサに各々入力される。
０から入力されたクロック信号と同期したタイミングで
変調器５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃに２値画像信号を出力す
る。ＶＣＯ５２Ｂ、ＶＣＯ５２Ｃ、ＶＣＯ５２Ｅから出
力された高周波信号は、２値画像信号生成回路５８から
入力された２値画像信号に応じて変調器５４Ａ、５４
Ｂ、５４Ｃで各々オンオフ変調され、増幅器５６Ｂ、５
６Ｃ、５６Ｅによって増幅された後に、第２のＡＯＤ１
８ｙ、ＡＯＤ２０、第２のＡＯＤ２２ｙのトランスデュ
ーサに各々入力される。
【００８８】次に、画像記録装置の動作について説明す
る。レーザビーム発生器１４から射出されたレーザビー
ムＬはビームスプリッタ１６によってレーザビーム
Ｌ1 、Ｌ 2 、Ｌ3 に分割される。ビームスプリッタ１６
から射出されたレーザビームＬ2は、ＡＯＤ２０に入射
される。ＡＯＤ２０のトランスデューサには、２値画像
信号に応じてオンオフ変調された一定周波数の高周波信
号が入力されるので、ＡＯＤ２０に入射されたレーザビ
ームＬ2 は、ｘ軸に相当する方向及びｙ軸に相当する方
向に偏向（回折）されることなく、２値画像信号に応じ
たオンオフのみが行われてＡＯＤ２０から射出され、ミ
ラー２６で反射され、集光レンズ３０を介して回転鏡３
２に入射される。
る。レーザビーム発生器１４から射出されたレーザビー
ムＬはビームスプリッタ１６によってレーザビーム
Ｌ1 、Ｌ 2 、Ｌ3 に分割される。ビームスプリッタ１６
から射出されたレーザビームＬ2は、ＡＯＤ２０に入射
される。ＡＯＤ２０のトランスデューサには、２値画像
信号に応じてオンオフ変調された一定周波数の高周波信
号が入力されるので、ＡＯＤ２０に入射されたレーザビ
ームＬ2 は、ｘ軸に相当する方向及びｙ軸に相当する方
向に偏向（回折）されることなく、２値画像信号に応じ
たオンオフのみが行われてＡＯＤ２０から射出され、ミ
ラー２６で反射され、集光レンズ３０を介して回転鏡３
２に入射される。
【００８９】また、ビームスプリッタ１６から射出され
たレーザビームＬ1 は、光偏向器１８の第１のＡＯＤ１
８ｘに入射される。第１のＡＯＤ１８ｘのトランスデュ
ーサには、Ｘ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じ
て周波数変調された高周波信号が入力されるので、第１
のＡＯＤ１８ｘに入射されたレーザビームＬ1 は、ｘ軸
に相当する方向に偏向（回折）されると共に、その偏向
量がＸ＝−ａ・cos ωｔに応じて随時変化されて第１の
ＡＯＤ１８ｘから射出され、光偏向器１８の第２のＡＯ
Ｄ１８ｙに入射される。
たレーザビームＬ1 は、光偏向器１８の第１のＡＯＤ１
８ｘに入射される。第１のＡＯＤ１８ｘのトランスデュ
ーサには、Ｘ＝−ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じ
て周波数変調された高周波信号が入力されるので、第１
のＡＯＤ１８ｘに入射されたレーザビームＬ1 は、ｘ軸
に相当する方向に偏向（回折）されると共に、その偏向
量がＸ＝−ａ・cos ωｔに応じて随時変化されて第１の
ＡＯＤ１８ｘから射出され、光偏向器１８の第２のＡＯ
Ｄ１８ｙに入射される。
【００９０】また、第２のＡＯＤ１８ｙのトランスデュ
ーサには、Ｙ＝−ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じ
て周波数変調されると共に、２値画像信号に応じてオン
オフ変調された高周波信号が入力されるので、第２のＡ
ＯＤ１８ｙに入射されたレーザビームＬ1 は、ｙ軸に相
当する方向に偏向されると共に、その偏向量がＹ＝−ａ
・sin ωｔに応じて随時変化され、更に２値画像信号に
応じたオンオフが行われて第２のＡＯＤ１８ｙから射出
される。第２のＡＯＤ１８ｙから射出されたレーザビー
ムＬ1 は、ミラー２４で反射され、集光レンズ３０を介
して回転鏡３２に入射される。
ーサには、Ｙ＝−ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じ
て周波数変調されると共に、２値画像信号に応じてオン
オフ変調された高周波信号が入力されるので、第２のＡ
ＯＤ１８ｙに入射されたレーザビームＬ1 は、ｙ軸に相
当する方向に偏向されると共に、その偏向量がＹ＝−ａ
・sin ωｔに応じて随時変化され、更に２値画像信号に
応じたオンオフが行われて第２のＡＯＤ１８ｙから射出
される。第２のＡＯＤ１８ｙから射出されたレーザビー
ムＬ1 は、ミラー２４で反射され、集光レンズ３０を介
して回転鏡３２に入射される。
【００９１】更に、ビームスプリッタ１６から射出され
たレーザビームＬ3 は、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２
２ｘに入射される。第１のＡＯＤ２２ｘのトランスデュ
ーサには、Ｘ＝ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じて
周波数変調された高周波信号が入力されるので、第１の
ＡＯＤ２２ｘに入射されたレーザビームＬ3 は、ｘ軸に
相当する方向に偏向（回折）されると共に、その偏向量
がＸ＝ａ・cos ωｔに応じて随時変化されて第１のＡＯ
Ｄ２２ｘから射出され、光偏向器２２の第２のＡＯＤ２
２ｙに入射される。
たレーザビームＬ3 は、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２
２ｘに入射される。第１のＡＯＤ２２ｘのトランスデュ
ーサには、Ｘ＝ａ・cos ωｔの余弦波電圧信号に応じて
周波数変調された高周波信号が入力されるので、第１の
ＡＯＤ２２ｘに入射されたレーザビームＬ3 は、ｘ軸に
相当する方向に偏向（回折）されると共に、その偏向量
がＸ＝ａ・cos ωｔに応じて随時変化されて第１のＡＯ
Ｄ２２ｘから射出され、光偏向器２２の第２のＡＯＤ２
２ｙに入射される。
【００９２】また、第２のＡＯＤ２２ｙのトランスデュ
ーサには、Ｙ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じて
周波数変調されると共に、２値画像信号に応じてオンオ
フ変調された高周波信号が入力されるので、第２のＡＯ
Ｄ２２ｙに入射されたレーザビームＬ3 は、ｙ軸に相当
する方向に偏向されると共に、その偏向量がＹ＝ａ・si
n ωｔに応じて随時変化され、更に２値画像信号に応じ
たオンオフが行われて第２のＡＯＤ２２ｙから射出され
る。第２のＡＯＤ２２ｙから射出されたレーザビームＬ
3 は、ミラー２８で反射され、集光レンズ３０を介して
回転鏡３２に入射される。
ーサには、Ｙ＝ａ・sin ωｔの正弦波電圧信号に応じて
周波数変調されると共に、２値画像信号に応じてオンオ
フ変調された高周波信号が入力されるので、第２のＡＯ
Ｄ２２ｙに入射されたレーザビームＬ3 は、ｙ軸に相当
する方向に偏向されると共に、その偏向量がＹ＝ａ・si
n ωｔに応じて随時変化され、更に２値画像信号に応じ
たオンオフが行われて第２のＡＯＤ２２ｙから射出され
る。第２のＡＯＤ２２ｙから射出されたレーザビームＬ
3 は、ミラー２８で反射され、集光レンズ３０を介して
回転鏡３２に入射される。
【００９３】回転鏡３２はｚ軸を中心に回転しているの
で、回転鏡３２に入射された３本のレーザビームＬ1 、
Ｌ2 、Ｌ3 は、回転鏡３２の反射面で反射されることに
よって、記録シートＳ上を走査される。また、レーザビ
ームＬ1 は、光偏向器１８により（１）式に応じてｘ軸
に相当する方向及びｙ軸に相当する方向に偏向されてお
り、レーザビームＬ3 は、光偏向器２２により（２）式
に応じてｘ軸に相当する方向及びｙ軸に相当する方向に
偏向されているので、図１７（３）に示すように、レー
ザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 によって記録シートＳ上に形
成される３本の走査線は、互いに平行でかつ端部の位置
が揃うことになる。従って、画像を構成する各走査線の
主走査方向の記録範囲が同一で、かつ歪みが生ずること
のないように、記録シートＳに高精度に画像を記録する
ことができる。
で、回転鏡３２に入射された３本のレーザビームＬ1 、
Ｌ2 、Ｌ3 は、回転鏡３２の反射面で反射されることに
よって、記録シートＳ上を走査される。また、レーザビ
ームＬ1 は、光偏向器１８により（１）式に応じてｘ軸
に相当する方向及びｙ軸に相当する方向に偏向されてお
り、レーザビームＬ3 は、光偏向器２２により（２）式
に応じてｘ軸に相当する方向及びｙ軸に相当する方向に
偏向されているので、図１７（３）に示すように、レー
ザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 によって記録シートＳ上に形
成される３本の走査線は、互いに平行でかつ端部の位置
が揃うことになる。従って、画像を構成する各走査線の
主走査方向の記録範囲が同一で、かつ歪みが生ずること
のないように、記録シートＳに高精度に画像を記録する
ことができる。
【００９４】また、本実施形態では先に説明したよう
に、光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘと第２のＡＯＤ
１８ｙ、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘと第２のＡ
ＯＤ２２ｙの各々の姿勢が、ブラッグ角θB がθB ≒４
°、第１のＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θ
Z1がθZ1≒＋８０°、第１のＡＯＤのあおり角θA1がθ
A1≒＋１０°、第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ2がθZ2≒−１０°、第２のＡＯＤのあおり
角θA '2がθA '2≒＋１０°となるように調整されてい
るので、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる総合的な
回折効率が従来に比して非常に高く、レーザビーム発生
器１４から射出されるレーザビームのエネルギーを有効
に利用して画像を記録することができる。
に、光偏向器１８の第１のＡＯＤ１８ｘと第２のＡＯＤ
１８ｙ、光偏向器２２の第１のＡＯＤ２２ｘと第２のＡ
ＯＤ２２ｙの各々の姿勢が、ブラッグ角θB がθB ≒４
°、第１のＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θ
Z1がθZ1≒＋８０°、第１のＡＯＤのあおり角θA1がθ
A1≒＋１０°、第２のＡＯＤの入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ2がθZ2≒−１０°、第２のＡＯＤのあおり
角θA '2がθA '2≒＋１０°となるように調整されてい
るので、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる総合的な
回折効率が従来に比して非常に高く、レーザビーム発生
器１４から射出されるレーザビームのエネルギーを有効
に利用して画像を記録することができる。
【００９５】なお、上記では光偏向器１８の第１のＡＯ
Ｄ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１８ｙ、光偏向器２２の第１
のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡＯＤ２２ｙの各々の姿勢
を、ブラッグ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射
光進行方向の軸回りの回転角θ Z1がθZ1≒＋８０°、第
１のＡＯＤのあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡ
ＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−
１０°、第２のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１
０°となるように、すなわち第１のＡＯＤによる偏向方
向と第２のＡＯＤによる偏向方向とが直交するように調
整した場合を例に説明したが、入射光を２次元に偏向す
るためには、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯ
Ｄによる偏向方向とが少なくとも交差していればよく、
例えば第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの姿勢を、ブラッ
グ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射光進行方向
の軸回りの回転角θZ1がθZ1≒＋７０°、第１のＡＯＤ
のあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡＯＤの入射
光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−５°、第２
のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１０°となるよ
うに調整してもよい。これにより、第１のＡＯＤによる
回折効率、第２のＡＯＤによる回折効率が各々略最大と
なり、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる総合的な回
折効率を略最大とすることができる。
Ｄ１８ｘ及び第２のＡＯＤ１８ｙ、光偏向器２２の第１
のＡＯＤ２２ｘ及び第２のＡＯＤ２２ｙの各々の姿勢
を、ブラッグ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射
光進行方向の軸回りの回転角θ Z1がθZ1≒＋８０°、第
１のＡＯＤのあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡ
ＯＤの入射光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−
１０°、第２のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１
０°となるように、すなわち第１のＡＯＤによる偏向方
向と第２のＡＯＤによる偏向方向とが直交するように調
整した場合を例に説明したが、入射光を２次元に偏向す
るためには、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯ
Ｄによる偏向方向とが少なくとも交差していればよく、
例えば第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの姿勢を、ブラッ
グ角θB がθB ≒４°、第１のＡＯＤの入射光進行方向
の軸回りの回転角θZ1がθZ1≒＋７０°、第１のＡＯＤ
のあおり角θA1がθA1≒＋１０°、第２のＡＯＤの入射
光進行方向の軸回りの回転角θZ2がθZ2≒−５°、第２
のＡＯＤのあおり角θA '2がθA '2≒＋１０°となるよ
うに調整してもよい。これにより、第１のＡＯＤによる
回折効率、第２のＡＯＤによる回折効率が各々略最大と
なり、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる総合的な回
折効率を略最大とすることができる。
【００９６】但しこの場合、第１のＡＯＤによる偏向方
向及び第２のＡＯＤによる偏向方向の少なくとも一方
が、回転鏡３２に入射されるレーザビームに対して設定
したＸＹＺ座標系におけるＸ軸方向に相当する方向、又
はＹ軸方向に相当する方向からずれることになるので、
第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向
方向とが直交させた場合と同様に第１のＡＯＤ及び第２
のＡＯＤを駆動したとすると、回転鏡３２の反射面に入
射するレーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 の光スポットを記
録シートＳと共役な面Ｓ’に射影したとき（図１９
（１）参照）の面Ｓ’上におけるレーザビームＬ1 及び
Ｌ3 の光スポットの軌跡は、（１）式又は（２）式で表
される真円とはならず、楕円になるという問題がある。
向及び第２のＡＯＤによる偏向方向の少なくとも一方
が、回転鏡３２に入射されるレーザビームに対して設定
したＸＹＺ座標系におけるＸ軸方向に相当する方向、又
はＹ軸方向に相当する方向からずれることになるので、
第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向
方向とが直交させた場合と同様に第１のＡＯＤ及び第２
のＡＯＤを駆動したとすると、回転鏡３２の反射面に入
射するレーザビームＬ1 、Ｌ2 、Ｌ3 の光スポットを記
録シートＳと共役な面Ｓ’に射影したとき（図１９
（１）参照）の面Ｓ’上におけるレーザビームＬ1 及び
Ｌ3 の光スポットの軌跡は、（１）式又は（２）式で表
される真円とはならず、楕円になるという問題がある。
【００９７】これに対しては、第１のＡＯＤ及び第２の
ＡＯＤのトランスデューサに入力する高周波信号の周波
数変調の位相及び振幅を変化させて（ＶＣＯ５２に入力
する余弦波電圧信号又は正弦波電圧信号の位相及び振幅
を変化させて）、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる
レーザビームの偏向量を変化させれば、レーザビームＬ
1 及びＬ3 の光スポットの軌跡を、（１）式又は（２）
式で表される真円とすることができる。
ＡＯＤのトランスデューサに入力する高周波信号の周波
数変調の位相及び振幅を変化させて（ＶＣＯ５２に入力
する余弦波電圧信号又は正弦波電圧信号の位相及び振幅
を変化させて）、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤによる
レーザビームの偏向量を変化させれば、レーザビームＬ
1 及びＬ3 の光スポットの軌跡を、（１）式又は（２）
式で表される真円とすることができる。
【００９８】以下、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２
のＡＯＤによる偏向方向とを非直交とした場合に、光ス
ポットの軌跡を真円とするための第１のＡＯＤ及び第２
のＡＯＤによる偏向量を求める。
のＡＯＤによる偏向方向とを非直交とした場合に、光ス
ポットの軌跡を真円とするための第１のＡＯＤ及び第２
のＡＯＤによる偏向量を求める。
【００９９】例として図２１に示すように、第１のＡＯ
Ｄによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを直
交させたときの各ＡＯＤによる偏向方向を単位ベクトル
ｉ0，j 0 で表し、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２
のＡＯＤによる偏向方向とを非直交にしたとき（このと
きの交差角をθとする）の各ＡＯＤによる偏向方向を単
位ベクトルｉ，j で表すものとする。任意の位置のベク
トルｘを、直交している単位ベクトルｉ0 ，j 0 及び非
直交の単位ベクトルｉ，j で表すと、 ｘ＝ａ0 ・ｉ0 ＋ｂ0 ・j 0 …（３） ｘ＝ａ・ｉ＋ｂ・j …（４） となり、係数ａ0 ，ｂ0 と係数ａ，ｂとの関係は
Ｄによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを直
交させたときの各ＡＯＤによる偏向方向を単位ベクトル
ｉ0，j 0 で表し、第１のＡＯＤによる偏向方向と第２
のＡＯＤによる偏向方向とを非直交にしたとき（このと
きの交差角をθとする）の各ＡＯＤによる偏向方向を単
位ベクトルｉ，j で表すものとする。任意の位置のベク
トルｘを、直交している単位ベクトルｉ0 ，j 0 及び非
直交の単位ベクトルｉ，j で表すと、 ｘ＝ａ0 ・ｉ0 ＋ｂ0 ・j 0 …（３） ｘ＝ａ・ｉ＋ｂ・j …（４） となり、係数ａ0 ，ｂ0 と係数ａ，ｂとの関係は
【０１００】
【数１】
【０１０１】となる。次にベクトルｘをレーザビームの
光スポットの位置とみなし、光スポットの軌跡（ベクト
ルｘの軌跡）が真円となるための条件を求める。単位ベ
クトルｉ0 ，j 0 を用いて光スポットの軌跡（真円）を
表すと、（３）式における係数ａ0 ，ｂ0 は時間の関数
となり、次のように表される。
光スポットの位置とみなし、光スポットの軌跡（ベクト
ルｘの軌跡）が真円となるための条件を求める。単位ベ
クトルｉ0 ，j 0 を用いて光スポットの軌跡（真円）を
表すと、（３）式における係数ａ0 ，ｂ0 は時間の関数
となり、次のように表される。
【０１０２】 ａ0 （ｔ）＝cos(ω＋φ） …（７） ｂ0 （ｔ）＝sin(ω＋φ） …（８） 但し、φはｔ＝０のときの位相を表し、ｔ＝０（光スポ
ットの位置がベクトルｉ 0 に一致するときをｔ＝０とす
る）のときをφ＝０とする。また、（７）式及び（８）
式では、光スポットが単位ベクトルｉ0 から単位ベクト
ルｊ0 へ向かう方向（図２１における時計回り方向）に
沿って旋回するものとした。次に（７）式及び（８）式
を（５）式及び（６）式に代入することにより、単位ベ
クトルｉ，j を用いて光スポットの軌跡（真円）を表す
したときの（４）式の係数ａ，ｂを求めると、次のよう
になる。
ットの位置がベクトルｉ 0 に一致するときをｔ＝０とす
る）のときをφ＝０とする。また、（７）式及び（８）
式では、光スポットが単位ベクトルｉ0 から単位ベクト
ルｊ0 へ向かう方向（図２１における時計回り方向）に
沿って旋回するものとした。次に（７）式及び（８）式
を（５）式及び（６）式に代入することにより、単位ベ
クトルｉ，j を用いて光スポットの軌跡（真円）を表す
したときの（４）式の係数ａ，ｂを求めると、次のよう
になる。
【０１０３】
【数２】
【０１０４】ここで、θC ＝π／２−θなる非直交角θ
C を定義すると、cot θ＝tan θC となるので、（９）
式及び（10) 式は、
C を定義すると、cot θ＝tan θC となるので、（９）
式及び（10) 式は、
【０１０５】
【数３】
【０１０６】となる。従って、第１のＡＯＤによる偏向
方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを非直交（θ≠９
０°）とした場合であっても、第１のＡＯＤによる偏向
量及び第２のＡＯＤによる偏向量が（11) 式及び（12）
式で表される変化となるように、すなわち、第１のＡＯ
Ｄによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを直
交させたときと比較して、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯ
Ｄによる偏向量が各々（１／ cosθC ）倍となり、かつ
一方のＡＯＤによる偏向量の変化の位相が他方のＡＯＤ
による偏向量の変化の位相に対してθC だけずれるよう
に、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤに入力する高周波信
号の周波数変調の位相及び振幅を変化させれば、レーザ
ビームの光スポットの軌跡を真円にすることができる。
方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを非直交（θ≠９
０°）とした場合であっても、第１のＡＯＤによる偏向
量及び第２のＡＯＤによる偏向量が（11) 式及び（12）
式で表される変化となるように、すなわち、第１のＡＯ
Ｄによる偏向方向と第２のＡＯＤによる偏向方向とを直
交させたときと比較して、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯ
Ｄによる偏向量が各々（１／ cosθC ）倍となり、かつ
一方のＡＯＤによる偏向量の変化の位相が他方のＡＯＤ
による偏向量の変化の位相に対してθC だけずれるよう
に、第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤに入力する高周波信
号の周波数変調の位相及び振幅を変化させれば、レーザ
ビームの光スポットの軌跡を真円にすることができる。
【０１０７】また、上記では音響光学媒体としてＴｅＯ
2 単結晶を用いた例を説明したが、ＰｂＭｏＯ4 その他
の一軸結晶や二軸結晶を使用することもできる。
2 単結晶を用いた例を説明したが、ＰｂＭｏＯ4 その他
の一軸結晶や二軸結晶を使用することもできる。
【０１０８】また、上記では本発明に係る光ビーム走査
装置として画像記録装置を例に説明したが、これに限定
されるものではなく、被照射体上に光ビームを走査さ
せ、被照射体を反射又は透過した光ビームの光量を検出
して被照射体上に記録されている画像を読み取る画像読
取装置等の他の光ビーム走査装置に適用することも可能
である。
装置として画像記録装置を例に説明したが、これに限定
されるものではなく、被照射体上に光ビームを走査さ
せ、被照射体を反射又は透過した光ビームの光量を検出
して被照射体上に記録されている画像を読み取る画像読
取装置等の他の光ビーム走査装置に適用することも可能
である。
【０１０９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、第１の音
響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第１の音響光学
偏向素子に入射される入射光の進行方向と第１の音響光
学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む
面に対して平行にならないように第１の音響光学偏向素
子を配置すると共に、第２の音響光学偏向素子による偏
向方向が第１の音響光学偏向素子による偏向方向と交差
し、かつ第２の音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸
が、第２の音響光学偏向素子に入射される入射光の進行
方向と第２の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波
の進行方向とを含む面に対して平行にならないように第
２の音響光学偏向素子を配置したので、広い周波数帯域
に亘って高い回折効率で入射光を２次元に偏向すること
ができ、かつ低コストの光偏向器が得られる、という優
れた効果を有する。
響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第１の音響光学
偏向素子に入射される入射光の進行方向と第１の音響光
学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む
面に対して平行にならないように第１の音響光学偏向素
子を配置すると共に、第２の音響光学偏向素子による偏
向方向が第１の音響光学偏向素子による偏向方向と交差
し、かつ第２の音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸
が、第２の音響光学偏向素子に入射される入射光の進行
方向と第２の音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波
の進行方向とを含む面に対して平行にならないように第
２の音響光学偏向素子を配置したので、広い周波数帯域
に亘って高い回折効率で入射光を２次元に偏向すること
ができ、かつ低コストの光偏向器が得られる、という優
れた効果を有する。
【０１１０】また本発明は、上記の光偏向器を利用し
て、回折効率を向上した低コストの光ビーム走査装置が
得られる、という優れた効果を有する。
て、回折効率を向上した低コストの光ビーム走査装置が
得られる、という優れた効果を有する。
【図１】本実施形態に係るＡＯＤの概略図である。
【図２】ＡＯＤを回転させる軸を説明するためのＡＯＤ
単体の斜視図である。
単体の斜視図である。
【図３】あおり角θA のみを変化させた場合のＡＯＤ単
体の回折効率の変化を示す線図である。
体の回折効率の変化を示す線図である。
【図４】あおり角θA 及び入射光進行方向の軸回りの回
転角θZ を変化させた場合の、入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ の変化に対するＡＯＤ単体の回折効率の変
化を示す線図である。
転角θZ を変化させた場合の、入射光進行方向の軸回り
の回転角θZ の変化に対するＡＯＤ単体の回折効率の変
化を示す線図である。
【図５】図４に示した回折効率特性を得るための入射光
進行方向の軸回りの回転角θZとあおり角θA との関係
を示す線図である。
進行方向の軸回りの回転角θZとあおり角θA との関係
を示す線図である。
【図６】入射光進行方向の軸回りの回転角θZ の変化に
対する回折効率の変化（回折効率の周波数特性の形状が
ピーク状（急峻な形状）の場合）を示す線図である。
対する回折効率の変化（回折効率の周波数特性の形状が
ピーク状（急峻な形状）の場合）を示す線図である。
【図７】入射光進行方向の軸回りの回転角θZ が７０°
のときのあおり角θA の変化に対するＡＯＤ単体の回折
効率の変化を示す線図である。
のときのあおり角θA の変化に対するＡＯＤ単体の回折
効率の変化を示す線図である。
【図８】入射光進行方向の軸回りの回転角θZ を７０
°、９０°、±０°とし、かつ所定周波数帯域内で駆動
周波数を変化させたときのＡＯＤ単体での回折効率の変
化を各々示す線図である。
°、９０°、±０°とし、かつ所定周波数帯域内で駆動
周波数を変化させたときのＡＯＤ単体での回折効率の変
化を各々示す線図である。
【図９】第１のＡＯＤと第２のＡＯＤをタンデム配置し
た光偏向器において、各ＡＯＤを回転させる軸を説明す
るための光偏向器の斜視図である。
た光偏向器において、各ＡＯＤを回転させる軸を説明す
るための光偏向器の斜視図である。
【図１０】入射光進行方向の軸回りの回転角θｚを変化
させたときの、ＡＯＤから射出される回折光の長軸の偏
光方向θdi（但し、入射光の偏光方向を基準（＝０°）
とする）の変化を示す線図である。
させたときの、ＡＯＤから射出される回折光の長軸の偏
光方向θdi（但し、入射光の偏光方向を基準（＝０°）
とする）の変化を示す線図である。
【図１１】駆動周波数を各値とし、かつ入射光進行方向
の軸回りの回転角θｚを変化させたときの、回折光の偏
光成分の長軸と短軸との比率の変化を各々示す線図であ
る。
の軸回りの回転角θｚを変化させたときの、回折光の偏
光成分の長軸と短軸との比率の変化を各々示す線図であ
る。
【図１２】光偏向器の第１のＡＯＤ及び第２のＡＯＤの
偏向方向が直交し、かつ高い回折効率を得るための条件
を説明するための、（１）は第１のＡＯＤへの入射光の
偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）は第１
のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、（４）は第
２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤから射出され
る回折光の偏光方向を各々示す概念図である。
偏向方向が直交し、かつ高い回折効率を得るための条件
を説明するための、（１）は第１のＡＯＤへの入射光の
偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）は第１
のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、（４）は第
２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤから射出され
る回折光の偏光方向を各々示す概念図である。
【図１３】第１のＡＯＤの入射光進行方向の軸回りの回
転角θZ1を＋８０°、＋９０°、±０°とし、かつ所定
周波数帯域内で駆動周波数を変化させたときの、第１の
ＡＯＤ及び第２のＡＯＤの総合的な（光偏向器の）回折
効率の変化を各々示す線図である。
転角θZ1を＋８０°、＋９０°、±０°とし、かつ所定
周波数帯域内で駆動周波数を変化させたときの、第１の
ＡＯＤ及び第２のＡＯＤの総合的な（光偏向器の）回折
効率の変化を各々示す線図である。
【図１４】光偏向器で高い回折効率を得るための他の条
件を説明するための、（１）は第１のＡＯＤへの入射光
の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）は第
１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、（４）は
第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤから射出さ
れる回折光の偏光方向を各々示す概念図である。
件を説明するための、（１）は第１のＡＯＤへの入射光
の偏光方向、（２）は第１のＡＯＤの姿勢、（３）は第
１のＡＯＤから射出される回折光の偏光方向、（４）は
第２のＡＯＤの姿勢、（５）は第２のＡＯＤから射出さ
れる回折光の偏光方向を各々示す概念図である。
【図１５】本実施形態に係る画像記録装置の概略構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図１６】光偏向器を構成する第１のＡＯＤ及び第２の
ＡＯＤが同一のパッケージ内に取付けられている状態を
示す斜視図である。
ＡＯＤが同一のパッケージ内に取付けられている状態を
示す斜視図である。
【図１７】（１）は回転鏡によって偏向された３本のレ
ーザビームによって記録シート上に記録される走査線、
（２）はレーザビームをｘ軸方向に相当する方向に偏向
して像の回転を補正した場合の走査線、（３）はレーザ
ビームを２次元に偏向して走査線長の相違も補正した場
合の走査線を各々示す平面図である。
ーザビームによって記録シート上に記録される走査線、
（２）はレーザビームをｘ軸方向に相当する方向に偏向
して像の回転を補正した場合の走査線、（３）はレーザ
ビームを２次元に偏向して走査線長の相違も補正した場
合の走査線を各々示す平面図である。
【図１８】回転鏡の反射面に入射するレーザビームＬ０
の入射方向を、（１）はＸ軸方向に−θx だけ変位させ
た場合、（２）はＹ軸方向に＋θY だけ変位させた場
合、（３）はＸ、Ｙ軸方向にθxYだけ変位させた場合を
各々示す斜視図である。
の入射方向を、（１）はＸ軸方向に−θx だけ変位させ
た場合、（２）はＹ軸方向に＋θY だけ変位させた場
合、（３）はＸ、Ｙ軸方向にθxYだけ変位させた場合を
各々示す斜視図である。
【図１９】（１）は回転鏡の反射面に入射する３本のレ
ーザビームの光スポットを、記録シートと共役な面Ｓ’
に射影した場合を説明する概念図、（２）は面Ｓ’上で
の各レーザビームの光スポットの軌跡を示す平面図であ
る。
ーザビームの光スポットを、記録シートと共役な面Ｓ’
に射影した場合を説明する概念図、（２）は面Ｓ’上で
の各レーザビームの光スポットの軌跡を示す平面図であ
る。
【図２０】本実施形態に係る画像記録装置の制御装置の
概略ブロック図である。
概略ブロック図である。
【図２１】第１のＡＯＤによる偏向方向と第２のＡＯＤ
による偏向方向とを非直交とした場合に、レーザビーム
の光スポットの軌跡を真円とするための条件を求める過
程を説明するための概念図である。
による偏向方向とを非直交とした場合に、レーザビーム
の光スポットの軌跡を真円とするための条件を求める過
程を説明するための概念図である。
１０ ＴｅＯ2 単結晶 １２ トランスデューサ １８ 光偏向器 １８ｘ 第１のＡＯＤ １８ｙ 第２のＡＯＤ ２０ ＡＯＤ ２２ 光偏向器 ２２ｘ 第１のＡＯＤ ２２ｙ 第２のＡＯＤ
Claims (12)
- 【請求項１】 異方性結晶内を進行する超音波と異方性
結晶内を進行する光波との間に生じる異方ブラッグ回折
を利用した第１及び第２の音響光学偏向素子を備え、前
記第１の音響光学偏向素子で偏向された光が前記第２の
音響光学偏向素子に入射される光偏向器であって、 第１の音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第１の
音響光学偏向素子に入射される入射光の進行方向と前記
異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平
行にならないように第１の音響光学偏向素子が配置され
ており、 第２の音響光学偏向素子による偏向方向が第１の音響光
学偏向素子による偏向方向と交差し、かつ第２の音響光
学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第２の音響光学偏向
素子に入射される入射光の進行方向と前記異方性結晶内
の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にならない
ように第２の音響光学偏向素子が配置されていることを
特徴とする光偏向器。 - 【請求項２】 異方性結晶内を進行する超音波と異方性
結晶内を進行する光波との間に生じる異方ブラッグ回折
を利用した第１及び第２の音響光学偏向素子を備え、前
記第１の音響光学偏向素子で偏向された光が前記第２の
音響光学偏向素子に入射される光偏向器であって、 第１の音響光学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第１の
音響光学偏向素子に入射される入射光の進行方向と前記
異方性結晶内の超音波の進行方向とを含む面に対して平
行にならず、かつ前記入射光の偏光面が前記入射光の進
行方向と前記超音波の進行方向とを含む面に対して平行
となる条件、及び前記異方性結晶の光学軸が前記入射光
の進行方向と前記超音波の進行方向とを含む面に対して
平行にならず、かつ前記入射光の偏光面が前記入射光の
進行方向と前記超音波の進行方向とを含む面に対して平
行にならない条件のいずれか１つの条件を満足するよう
に第１の音響光学偏向素子が配置されており、 第２の音響光学偏向素子による偏向方向が第１の音響光
学偏向素子による偏向方向と交差し、かつ第２の音響光
学偏向素子の異方性結晶の光学軸が第２の音響光学偏向
素子に入射される入射光の進行方向と前記異方性結晶内
の超音波の進行方向とを含む面に対して平行にならず、
かつ前記入射光の偏光面が前記入射光の進行方向と前記
超音波の進行方向とを含む面に対して平行となる条件、
及び前記異方性結晶の光学軸が前記入射光の進行方向と
前記超音波の進行方向とを含む面に対して平行になら
ず、かつ前記入射光の偏光面が前記入射光の進行方向と
前記超音波の進行方向とを含む面に対して平行にならな
い条件のいずれか１つの条件を満足するように第２の音
響光学偏向素子が配置されていることを特徴とする光偏
向器。 - 【請求項３】 異方性結晶内を進行する超音波と異方性
結晶内を進行する光波との間に生じる異方ブラッグ回折
を利用した第１及び第２の音響光学偏向素子を備え、前
記第１の音響光学偏向素子で偏向された光が前記第２の
音響光学偏向素子に入射される光偏向器であって、 前記第１の音響光学偏向素子は、第１の音響光学偏向素
子への入射光の進行方向をｚ軸、前記入射光の偏光方向
をｘ軸とするｘｙｚ座標系を定めたときに、第１の音響
光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とｘ軸
とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸がｚ軸に一致
した状態を第１の音響光学偏向素子の初期状態とし、該
初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ方向の軸回
りに回転されていると共にｚ軸と前記超音波の進行方向
とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転されて配置さ
れており、 前記第２の音響光学偏向素子は、第２の音響光学偏向素
子による偏向方向が第１の音響光学偏向素子による偏向
方向と交差し、かつ第２の音響光学偏向素子への入射光
の進行方向をｚ’軸、前記入射光の偏光方向をｘ’軸と
するｘ’ｙ’ｚ’座標系を定めたときに、第２の音響光
学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向とｘ’軸
とが平行で、かつ前記異方性結晶の光学軸がｚ’軸に一
致した状態を第２の音響光学偏向素子の初期状態とし、
該初期状態から、前記超音波の進行方向と同じ方向の軸
回りに回転されていると共にｚ’軸と前記超音波の進行
方向とを含む面に垂直な軸回りに所定角度回転されて配
置されていることを特徴とする光偏向器。 - 【請求項４】 前記第１の音響光学偏向素子は、第１の
音響光学偏向素子の異方性結晶内の超音波の進行方向と
同じ方向の軸回りの回転角度が略３°以上とされてお
り、 前記第２の音響光学偏向素子は、第２の音響光学偏向素
子の異方性結晶内の超音波の進行方向と同じ方向の軸回
りの回転角度が略３°以上とされていることを特徴とす
る請求項３記載の光偏向器。 - 【請求項５】 前記第１の音響光学偏向素子が、更に前
記ｚ軸回りに回転されて配置されており、 前記第２の音響光学偏向素子が、更に前記ｚ’軸回りに
回転されて配置されていることを特徴とする請求項３又
は請求項４記載の光偏向器。 - 【請求項６】 前記第１の音響光学偏向素子に対する前
記ｚ軸と第１の音響光学偏向素子内の異方性結晶内の超
音波の進行方向とを含む面に垂直な軸回りの回転角度が
ブラッグ角、前記超音波の進行方向と同じ方向の軸回り
の回転角度が略３°以上、前記ｚ軸回りの回転角度が略
３０°〜略９０°とされており、 前記第２の音響光学偏向素子に対する前記ｚ’軸と第２
の音響光学偏向素子内の異方性結晶内の超音波の進行方
向とを含む面に垂直な軸回りの回転角度がブラッグ角、
前記超音波の進行方向と同じ方向の軸回りの回転角度が
略３°以上、前記ｚ’軸回りの回転角度が略３０°〜略
９０°とされていることを特徴とする請求項５記載の光
偏向器。 - 【請求項７】 前記第１の音響光学偏向素子の前記ｚ軸
回りの回転角度が略７０°〜略７５°とされており、 前記第２の音響光学偏向素子の前記ｚ’軸回りの回転角
度が略７０°〜略７５°とされていることを特徴とする
請求項６記載の光偏向器。 - 【請求項８】 前記第１及び第２の音響光学偏向素子
は、第１の音響光学偏向素子による偏向方向と第２の音
響光学偏向素子による偏向方向とが直交するように配置
されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何
れか１項記載の光偏向器。 - 【請求項９】 前記異方性結晶は一軸結晶であることを
特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか１項記載の光
偏向器。 - 【請求項１０】 前記異方性結晶はＴｅＯ2 であること
を特徴とする請求項１乃至請求項９の何れか１項記載の
光偏向器。 - 【請求項１１】 第１及び第２の音響光学偏向素子が単
一のパッケージに各々取付けられていることを特徴とす
る請求項１乃至請求項１０の何れか１項記載の光偏向
器。 - 【請求項１２】 請求項１乃至請求項１１の何れか１項
記載の光偏向器を備えた光ビーム走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32732196A JP3696349B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-12-06 | 光偏向器及び光ビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-236783 | 1996-09-06 | ||
| JP23678396 | 1996-09-06 | ||
| JP32732196A JP3696349B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-12-06 | 光偏向器及び光ビーム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10133239A true JPH10133239A (ja) | 1998-05-22 |
| JP3696349B2 JP3696349B2 (ja) | 2005-09-14 |
Family
ID=26532850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32732196A Expired - Fee Related JP3696349B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-12-06 | 光偏向器及び光ビーム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3696349B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085952A (ja) * | 2004-06-07 | 2011-04-28 | Electro Scientific Industries Inc | レーザシステム性能を改善するためのａｏｍ変調技術 |
| JP2012173427A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Olympus Corp | ２次元スキャナ、及び、光刺激装置 |
| JP2013152471A (ja) * | 2006-09-12 | 2013-08-08 | Ucl Business Plc | ビーム偏向装置及び方法 |
| JP2020525839A (ja) * | 2017-07-03 | 2020-08-27 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 光学的接触型音響光学デバイス及びその製造方法 |
| GB2573687B (en) * | 2016-12-23 | 2022-08-31 | Leica Microsystems | Optical arrangement and method for influencing the beam direction of at least one light beam |
-
1996
- 1996-12-06 JP JP32732196A patent/JP3696349B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085952A (ja) * | 2004-06-07 | 2011-04-28 | Electro Scientific Industries Inc | レーザシステム性能を改善するためのａｏｍ変調技術 |
| JP2013152471A (ja) * | 2006-09-12 | 2013-08-08 | Ucl Business Plc | ビーム偏向装置及び方法 |
| JP2012173427A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Olympus Corp | ２次元スキャナ、及び、光刺激装置 |
| GB2573687B (en) * | 2016-12-23 | 2022-08-31 | Leica Microsystems | Optical arrangement and method for influencing the beam direction of at least one light beam |
| JP2020525839A (ja) * | 2017-07-03 | 2020-08-27 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 光学的接触型音響光学デバイス及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3696349B2 (ja) | 2005-09-14 |
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| JPH0234011B2 (ja) |
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