JPH10132607A - 磁気エンコーダ - Google Patents

磁気エンコーダ

Info

Publication number
JPH10132607A
JPH10132607A JP8291794A JP29179496A JPH10132607A JP H10132607 A JPH10132607 A JP H10132607A JP 8291794 A JP8291794 A JP 8291794A JP 29179496 A JP29179496 A JP 29179496A JP H10132607 A JPH10132607 A JP H10132607A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clock
phase
circuit
magnetic encoder
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8291794A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3004924B2 (ja
Inventor
Tetsuo Kiriyama
哲郎 桐山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17773524&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH10132607(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP8291794A priority Critical patent/JP3004924B2/ja
Priority to US08/958,153 priority patent/US5949051A/en
Priority to EP97118944A priority patent/EP0840095B2/en
Priority to DE69719668T priority patent/DE69719668T3/de
Priority to CN200310102855.7A priority patent/CN1249925C/zh
Priority to CNB971212953A priority patent/CN1148568C/zh
Publication of JPH10132607A publication Critical patent/JPH10132607A/ja
Publication of JP3004924B2 publication Critical patent/JP3004924B2/ja
Application granted granted Critical
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2451Incremental encoders

Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電力低減を図り、長寿命の電池駆動型ハ
ンドツール応用を可能とした磁気エンコーダを提供す
る。 【解決手段】 ピッチλで着磁された第1部材と、これ
に相対移動可能に配置されて第1〜第4のMR素子Ma1
〜Mb2がλ/4ずつ位相がずれた状態で形成された第2
部材を有し、Ma1〜Mb2をブリッジ接続して2相正弦波
状信号を出力する検知回路31を構成する。検知回路3
1の電源及び接地端子には第1のクロックCK1により
間欠的に駆動される電源スイッチ素子Sa1〜Sb2を介挿
する。検知回路31の出力信号は、CK1を用いたサン
プルホールド回路41a,41bによりサンプリング
し、第2のクロックCK2により動作するバイアス回路
44により間欠的に活性化されるコンパレータ42a,
42bにより2値化する。コンパレータ出力はフリップ
フロップ43a,43bによりホールドする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、相対移動する部
材間の磁気的結合の変化を検出して相対移動量を検出す
る磁気エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】相対移動する部材の位置,角度等の検出
を行うエンコーダの一つに、磁気エンコーダがある。磁
気エンコーダの主要部は、図12に示すように、N極と
S極が交互に所定ピッチλで配列形成された第1部材9
1と、この第1部材61に対して相対移動可能に対向配
置されて相対移動に伴う磁界変化を検出する素子が形成
された第2部材92とにより構成される。第2部材92
には例えば、第1〜第4の磁気抵抗(MR)素子Ma1,
Mb1,Ma2,Mb2が第1部材の磁極配列ピッチλとの関
係で順次λ/4(90°)ずつ位相がずれた状態に配置
される。
【0003】第2部材92上の第1〜第4のMR素子M
a1〜Mb2は、図13に示すように、180°位相がずれ
たもの同士を直列接続してブリッジ回路が構成されて、
検知回路93が構成される。第1〜第4のMR素子Ma1
〜Mb2は、第1,第2部材91,92の相対移動方向
(図12に矢印xで示す変位方向)とは直交する長手方
向に着磁されていて、これらに供給される直流電流と第
1部材91からの水平方向磁界との相互作用により磁化
が回転し、抵抗値が変化する。磁化の回転角をθ、MR
素子の固有の抵抗値をΔRとすると、磁化の回転により
MR素子ではΔR・cos2θなる抵抗値変化が発生す
る。各MR素子に作用する水平方向磁界の大きさは、相
対移動に応じてピッチλで周期的に変化し、従って回転
角θも周期的に変化するから、第1,第3のMR素子M
a1,Ma2を直列接続した接続ノードには正弦波状信号I
NAが得られ、第2,第4のMR素子Mb1,Mb2を直列
接続した接続ノードには、正弦波状信号INAとは位相
が90°ずれた正弦波状信号INBが得られる。
【0004】この様な検知回路93から得られる2相正
弦波状信号INA,INBは、図13に示すようにコン
パレータ94a,94bによって2相方形波信号OUT
A,OUTBに変換することができる。この2相方形波
信号OUTA,OUTBをカウンタで計数することによ
って、位置、角度等が求められることになる。この様な
MR素子を用いた磁気エンコーダは、静電容量式や光電
式に比べて、水や切削油等の出力信号に対する影響が小
さく、従って機械加工工場等、耐環境性が要求される用
途に特に優れている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】磁気エンコーダは、電
池駆動型のハンドツール長さ測定器等に利用する場合、
消費電力が大きな問題となる。即ち、検出回路を構成す
るMR素子は、直列接続されて直流電源により駆動電流
が流されるが、例えば一つのMR素子の抵抗を1.5k
Ωとし、印加電圧を1.5Vとすると、ブリッジ回路の
総抵抗は1.5kΩであるから、流れる電流は1mAに
達する。従って例えば、160mAhの酸化銀ボタン電
池では、僅か160時間(約6日半)の寿命しかない。
【0006】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、消費電力低減を図り、長寿命の電池駆動型ハン
ドツール応用を可能とした磁気エンコーダを提供するこ
とを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係る磁気エン
コーダは、N極とS極が所定ピッチで交互に配列形成さ
れた第1部材と、この第1部材に対して相対移動可能に
対向配置されて第1〜第4の磁気抵抗素子が第1部材の
磁極配列ピッチとの関係で順次90°ずつ位相がずれた
状態で配列形成された第2部材と、この第2部材上の第
1〜第4の磁気抵抗素子の180°位相がずれたもの同
士の差動出力を得る回路を構成して前記第1,第2部材
の相対移動に応じて2相正弦波状信号を出力する検知手
段と、この検知手段から得られる2相正弦波状信号から
2相方形波信号を生成する信号処理手段と、この信号処
理手段から得られる2相方形波信号を計数して前記第
1,第2の部材の相対移動量を求める計数手段と、前記
検知手段に一定周波数の第1のクロックにより制御され
て間欠的に直流電源の出力を供給する電源スイッチ手段
とを備えたことを特徴としている。
【0008】この発明はまた、前記信号処理手段が、前
記検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ前
記第1のクロックによりサンプリングして保持する一対
のサンプルホールド回路と、これらのサンプルホールド
回路の出力をそれぞれ一定の基準電位と比較して2値化
データを得るための、前記第1のクロックに対して位相
遅れを持たせた第2のクロックにより間欠的に活性化さ
れるバイアス回路を持つ一対のコンパレータと、これら
のコンパレータが出力する2値化データをそれぞれ取り
込んで2相方形波信号を出力する一対のフリップフロッ
プとを有することを特徴とする。
【0009】この発明は更に、前記信号処理手段が、前
記検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ前
記第1のクロックによりサンプリングして保持する一対
のサンプルホールド回路と、これらのサンプルホールド
回路の出力に内挿処理を施して2相方形波信号を出力す
るための、前記第1のクロックに対して位相遅れを持た
せた第2のクロックにより間欠的に活性化される内挿回
路とを有することを特徴とする。
【0010】この発明は更に、前記サンプルホールド回
路が、その入出力端のいずれか一方に前記第1のクロッ
クにより活性化される増幅手段を有することを特徴とす
る。この発明は更に、前記信号処理手段が、前記検知手
段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ一定の基準
電位と比較して2値化データを得るための前記第1のク
ロックにより間欠的に活性化される一対のコンパレータ
と、これらのコンパレータが出力する2値化データをそ
れぞれ取り込んで2相方形波信号を出力する一対のフリ
ップフロップとを有することを特徴とする。この発明は
更に、前記信号処理手段、計数手段及び電源スイッチ手
段は前記第2部材に搭載され、前記第2部材には更に前
記計数手段の出力を表示する表示手段が搭載されている
ことを特徴とする。
【0011】この発明によると、電源スイッチによって
MR素子により構成される検知回路が間欠的に電力供給
されて活性化されるようにしているため、MR素子に常
時電流が流される従来方式に比べて、間欠動作のための
第1のクロックのデューティ比に比例してMR素子での
消費電流が削減される。従って、電池駆動型のハンドツ
ール長さ測定器等に利用したときに、電池(太陽電池を
含む)の長寿命化が図られる。
【0012】特にこの発明において、信号処理手段とし
て、検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ
電源スイッチ手段を間欠駆動する第1のクロックにより
サンプリングして保持する一対のサンプルホールド回路
を設けると共に、これらのサンプルホールド回路の出力
を2値化するためのコンパレータとして、間欠的に電源
供給されるバイアス回路を持つものを用いると、コンパ
レータでの電力削減もできる。特に、コンパレータを間
欠動作させる第2のクロックとして、第1のクロックに
対して位相遅れを持たせたものを用いると、サンプリン
グ値が確定するまではコンパレータを非活性状態に保つ
ことができて、電力削減の効果が大きくなる。なお、コ
ンパレータを間欠的に活性化する場合、非活性の間出力
が不定状態になるが、これはコンパレータの出力に常時
オン状態のフリップフロップを設けてコンパレータ出力
を取り込むようにすることで、不都合は回避され、安定
に2相方形波信号を出力することができる。
【0013】更に、信号処理手段として、サンプルホー
ルド回路の出力に電気的に内挿処理を施して2相正弦波
状信号を得る内挿回路を設ける場合に、この内挿回路を
第1のクロックに対して位相遅れを持たせた第2のクロ
ックにより間欠的に活性化するように構成すること、サ
ンプルホールド回路の入出力端のいずれかに増幅手段を
設ける場合に、この増幅手段を第1のクロックで間欠的
に活性化するように構成することによって、やはり低消
費電力化が図られる。更にまた、この発明において検知
手段を電源スイッチにより間欠駆動することは、2相正
弦波状信号をサンプリングしていることになるから、格
別にサンプルホールド回路を設けなくてもよい。また電
源スイッチを間欠駆動する第1のクロックと別に第2の
クロックを用意することも必ずしも必要ではなく、第1
のクロックで間欠駆動される検知手段の出力を同じ第1
のクロックで間欠的に活性化されるコンパレータで処理
することによって、簡単な構成で低消費電力の信号処理
が可能になる。
【0014】またこの発明において、信号処理手段、計
数手段及び電源スイッチ手段を第2部材に搭載し、第2
部材に更に計数手段の出力を表示する表示手段を搭載す
ることにより、電池を搭載して長時間の使用を可能とし
た低消費電力のハンドツール長さ測定器等が得られる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図1は、この発明の一実施例に係
る磁気エンコーダの構成を示す。この磁気エンコーダ
は、N極とS極がピッチλで交互に配列形成されて磁気
スケールを構成する第1部材1と、この第1部材1に対
して矢印xで示す方向に相対移動可能に対向配置された
第2部材2とから構成される。第2部材2には、第1部
材の磁極が配列されたスケール面に対して所定ギャップ
をもって対向して相対移動に伴う磁界変化を検出するM
R素子が形成された検出ヘッド3、この検出ヘッド3か
ら出力される2相正弦波状信号INA,INBを処理し
て2相方形波信号OUTA,OUTBを生成する信号処
理回路4、この信号処理回路4から得られる2相方形波
信号を計数するカウンタ5、カウント結果を表示するL
CD等の表示器6、及びこれらの各回路部に直流電力を
供給する電池7が搭載されている。
【0016】図2は、第1部材1との関係で検出ヘッド
3の要部構成を示す。第1部材1は、前述のようにピッ
チλで着磁されており、これに対して、検出ヘッド3の
要部は、基板21と、この上に形成された第1〜第4の
MR素子Ma1,Mb1,Ma2,Mb2とから構成される。M
R素子Ma1,Mb1,Ma2,Mb2は、矢印で示す相対変位
方向xとは直交する方向の両端を端子とする細長い抵抗
であって、第1部材1の磁極ピッチλに対して、(λ/
4)ピッチで、即ち順次90°ずつずれた状態に配列形
成されている。MR素子Ma1,Mb1,Ma2,Mb2は例え
ばスパッタ等による薄膜素子であり、図では省略したが
通常保護膜で全体が覆われる。
【0017】図3は、検出ヘッド3及び信号処理回路4
の等価回路である。検出ヘッド3の互いに180°位相
がずれた第1,第3のMR素子Ma1,Ma2が直列接続さ
れ、同様に180°位相がずれた第2,第4のMR素子
Mb1,Mb2が直列接続されて、それらの接続ノードを第
1,第2のブリッジ出力端子A,Bとするブリッジ構成
の検知回路31が構成される。この実施例では、この検
知回路31に間欠的に電池7の電力を供給する電源スイ
ッチとして、各MR素子の電源端子及び接地端子にアナ
ログスイッチ素子Sa1,Sa2,Sb1,Sb2が設けられて
いる。これらのスイッチ素子Sa1,Sa2,Sb1,Sb2
は、クロック発生回路45から出力される一定周波数の
第1のクロックCK1により所定周期で選択的にオン駆
動される。
【0018】信号処理回路4は、検知回路31から得ら
れる2相正弦波状信号INA,INBをそれぞれクロッ
ク発生器45からの第1のクロックCK1によりサンプ
リングして保持するスイッチ素子S3a,S3bとコンデン
サCa,Cbからなる一対のサンプルホールド回路41
a,41bと、これらのサンプリング値を基準電位VRE
F と比較して2値化データDA,DBを得る一対のコン
パレータ42a,42bと、これらのコンパレータ42
a,42bが出力する2値化データDA,DBを取り込
んで2相方形波信号OUTA,OUTBを出力する一対
のDタイプフリップフロップ43a,43bとにより構
成される。
【0019】コンパレータ42a,42bは、クロック
発生器45から第1のクロックCK1に同期して第1の
クロックCK1より僅かな位相遅れをもって発生される
第2のクロックCK2により間欠的にオン駆動されるア
ナログスイッチS4が電源端子に設けられたバイアス回
路44を有する。即ちコンパレータ42a,42bは、
検知回路31に僅かに遅れて間欠的に活性化されるよう
になっている。フリップフロップ43a,43bは常時
オンであり、第2のロックCK2によりデータ取り込み
が行われる。
【0020】この様に構成された磁気エンコーダの動作
を次に説明する。図4は、この磁気エンコーダの概略動
作タイミング図である。検知回路31からは、第1,第
2部材1,2の相対変位に伴って、前述した動作原理に
より互いに90°位相がずれた2相の正弦波状信号IN
A,INBが得られる。実際には第1のクロックCK1
によりこれらの2相正弦波状信号INA,INBがチョ
ッピングされるが、図4では便宜的に連続的に示してい
る。この2相正弦波状信号INA,INBはサンプルホ
ールド回路41a,41bにより第1のクロックCK1
でサンプリングされて、そのサンプリング値INAS,
INBSがコンパレータ42a,42bにより基準電位
VREF と比較されて、基準電位VREF を越えるタイミン
グで立ち上がる2値化データDA,DBが得られる。
【0021】図5は、一方の正弦波状信号INAに着目
して、図4の横軸(1周期がピッチλの変位量に対応す
る時間軸)のレンジを拡大して示したものである。第1
のクロックCK1が“H”の期間に、検知回路31に電
力が供給され、これにより得られた正弦波状信号INA
がサンプリングされる。第1のクロックCK1が“L”
になってサンプリング値INASが確定しその後第2の
クロックCK2が“H”になる。コンパレータ42a,
42bは、第2のクロックCK2が“H”の期間のみバ
イアス回路44が働いて活性化され、サンプリング値I
NASと基準電位VREF との比較を行い、基準電位VRE
F を越える第2クロックCK2のタイミングで2値化デ
ータDAが得られる。この2値化データDAは、第2の
クロックCK2の立下がりタイミングでフリップフロッ
プ43aに取り込まれて、方形波信号OUTAが得られ
る。もう一方の正弦波状信号INB,方形波信号OUT
Bについても同様である。
【0022】なお、第1,第2のクロックCK1,CK
2の周期Pは、第1,第2部材1,2の相対変位速度
(スケール摺動速度)との関係で十分小さいことが必要
である。言い換えれば、周期Pによって、スケール摺動
速度の最大値が制限される。具体的には、スケール摺動
速度の最大値をvmax とすると、vmax <(λ/2)/
Pを満たすことが必要であり、この条件を満たすことに
より、誤検出を防止することができる。またこの実施例
の場合、コンパレータ42a,42bを間欠動作させた
ことにより、その出力端が不定状態になる期間が生じる
が、フリップフロップ43a,43bにより2値化デー
タDA,DBをホールドすることにより、2相方形波信
号OUTA,OUTBが不安定になることはない。
【0023】この実施例によると、検知回路31及びコ
ンパレータ42a,42bの間欠動作により、消費電流
が低減される。その効果を具体的に見積もると、次のよ
うになる。一つのMR素子の抵抗を1.5kΩ、印加電
圧を1.5Vとすると、従来方式では、MR素子による
検知回路で1.5V/1.5kΩ=1000μAの電流
が流れる。コンパレータの消費電流を100μAとする
と、合計1,100μAとなる。
【0024】これに対しこの実施例の場合、第1のクロ
ックCK1の“H”期間をW1=10μs、第2のクロ
ックCK2の“H”期間をW2=1μs、両クロックC
K1,CK2の周期を共にP=10msとすると、検知
回路31での消費電流は従来比がデューティ比W1/P
=1/1000となり、同様にコンパレータでの消費電
流の従来比はデューティ比W2/P=1/10,000
になる。クロック発生回路45については、カウンタ5
のシステムクロックと同じクロック源を利用すれば、簡
単なディジタル回路のみで実現できるため、ここでの消
費電流は無視できる。またアナログスイッチ素子の消費
電流もMR素子等のそれに比べて無視できるから、この
実施例により大幅な消費電流の低減が図られることが分
かる。
【0025】以上によりこの実施例によると、電池で長
時間動作させることが可能なハンドツールの長さ測定器
等を実現することができる。また、MR素子及び検知回
路の電力消費による発熱が抑制されるから、温度に敏感
な測定に有利である。更に、MR素子及び検知回路の自
己発熱によるドリフトが小さくなり、電源投入後温度が
安定するまで待つことなく測定を開始でき、しかも長時
間安定した精度の測定ができるという効果も得られる。
更にまた、MR素子に流れる積算電流が減少するから、
MR素子の耐蝕性も向上する。
【0026】図3の実施例では、各MR素子の電源端
子,接地端子にそれぞれアナログスイッチ素子を介在さ
せたが、これはアナログスイッチ素子のオン抵抗が無視
できない場合に、電源側と接地側とに等しくオン抵抗を
入れることでオン抵抗の影響をキャンセルできるという
効果がある。オン抵抗が無視できるならば、電源側また
は接地側いずれか一方にのみアナログスイッチ素子を介
在させることもできる。
【0027】また、オン抵抗の小さいアナログスイッチ
素子を用いる場合には、図6(a)に示すように、電源
側のMR素子Ma1,Mb1に共通に一つのアナログスイッ
チ素子S1を設け、同様に接地側のMR素子Ma2,Mb2
に共通に一つのアナログスイッチ素子S2を設ける構成
としてもよい。更に、図6(b),(c)示すように、
図6(a)のアナログスイッチ素子S1,S2の一方を
省略することもできる。
【0028】図7は、この発明の別の実施例の信号処理
回路4の構成を示す。この実施例は、検知回路31の出
力段、即ちサンプルホールド回路41a,41bの入力
段に前置増幅器71a,71bをそれぞれ設けた場合で
ある。この場合増幅器71a,71bは、第1のクロッ
クCK1によりオン駆動されるアナログスイッチ素子S
7により動作するバイアス回路72を持ち、これにより
間欠的に活性化されるものとする。この様に間欠動作す
る増幅器71a,71bを用いると、これがサンプリン
グ回路の働きをする。また、増幅器71a,71bを設
けたことによる消費電流の増大は、間欠動作により小さ
く抑えられる。増幅器71a,71bをサンプルホール
ド回路41a,41bの出力端子側に設けた場合も同様
の間欠動作型とすることにより、消費電力を抑えること
ができる。
【0029】上記実施例のコンパレータのみを用いた2
相方形波発生方式は、内挿数が4である。更に高分解能
を実現するためには、コンパレータに代わって内挿回路
が必要になる。図8は、内挿回路81を用いた実施例で
ある。内挿方式は種々知られているが、代表的な例は、
抵抗分割による方法である。この場合内挿回路81は、
抵抗アレイと複数のオペアンプ、コンパレータ及びロジ
ック回路で構成される。この様な内挿回路81の少なく
ともオペアンプ及びコンパレータについて、先の実施例
のコンパレータ42a,42bと同様に、第2のクロッ
クCK2によりオン駆動されるアナログスイッチ素子S
8で活性化されるバイアス回路82を持つものとすれ
ば、内挿回路81での消費電力を抑制することができ
る。この様な内挿回路81を持つ方式は、図7の実施例
のように増幅器71a,71bを持つ場合にも同様に適
用できる。
【0030】上記実施例では、4個のMR素子によりブ
リッジ回路を組んで検知回路31を構成したが、ブリッ
ジ回路を組まない検知方式にも同様にこの発明を適用で
きる。図9はその様な実施例の検知回路31の構成を示
す。この検知回路31では、4個のMR素子Ma1〜Mb2
はそれぞれ電流源Ia1〜Ib2を介在させて併設されてい
る。MR素子Ma1〜Mb2が共通の電源スイッチS1によ
り(または別個に用意された電源スイッチにより)間欠
駆動されることは、先の実施例と同様である。そして、
0°,180°のMR素子Ma1,Ma2の出力の差分をと
る差動増幅回路32aと、90°,270°のMR素子
Mb1,Mb2の出力の差分をとる差動増幅回路32bとが
それぞれ設けられる。この実施例の場合、二つの差動増
幅回路32a,32bをも間欠的に活性化すべく、第1
のクロックCK1で駆動される電源スイッチS32をもつ
バイアス回路33が設けられている。
【0031】図10は、更に別の実施例である。検知回
路31は第1のクロックCK1により間欠駆動されるか
ら、これ自身サンプリング回路となっている。従ってこ
の実施例では、別途サンプルホールド回路を設けること
なく、検知回路31からの2相正弦波状信号INA,I
NBを直接コンパレータ42a,42bに入力するよう
にしている。また、コンパレータ42a,42bを間欠
的に活性化するためのバイアス回路44の電源スイッチ
S4は、第1のクロックCK1により駆動するようにし
ている。コンパレータ42a,42bの出力DA,DB
はそれぞれ、先の実施例と同様にフリップフロップに取
り込まれる。この実施例の場合、図5に対応する動作波
形は、図11のようになる。この実施例によると、サン
プルホールド回路を用いず、クロックも一種類のみで済
むため、信号処理回路は簡単になる。
【0032】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明による磁気エ
ンコーダでは、MR素子を用いた検知回路を、電源スイ
ッチにより間欠的に電力供給されて活性化されるように
構成することで、MR素子での消費電流が効果的に低減
される。また、検知回路から出力される2相正弦波信号
を2値化するコンパレータその他の内挿回路を、検知回
路と同期して間欠的に活性化されるように構成すること
により、信号処理回路部の消費電力低減も図られる。従
ってこの発明によれば、電池駆動型のハンドツール長さ
測定器等に利用したときに、電池の長寿命化が図られる
磁気エンコーダが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例に係る磁気エンコーダの
構成を示す。
【図2】 同実施例の検出ヘッドの構成を示す。
【図3】 同実施例の検出ヘッド及び信号処理回路の回
路構成を示す。
【図4】 同実施例の概略動作タイミング図である。
【図5】 同実施例の拡大した動作タイミング図であ
る。
【図6】 他の実施例の検知回路構成を示す。
【図7】 他の実施例の信号処理回路構成を示す。
【図8】 他の実施例の信号処理回路構成を示す。
【図9】 他の実施例の検知回路構成を示す。
【図10】 他の実施例の信号処理回路構成を示す。
【図11】 図10の実施例の図5に対応する動作タイ
ミング図である。
【図12】 磁気エンコーダの原理説明図である。
【図13】 従来の磁気エンコーダの信号処理回路構成
を示す。
【符号の説明】
1…第1部材、2…第2部材、3…検出ヘッド、31…
検知回路、Ma1〜Mb2…第1〜第4のMR素子、Sa1,
Sa2,Sb1,Sb2…アナログスイッチ素子(電源スイッ
チ)、41a,41b…サンプルホールド回路、42
a,42b…コンパレータ、44…バイアス回路、S4
…アナログスイッチ素子、43a,43b…フリップフ
ロップ、45…クロック発生回路、71a,71b…増
幅器、72…バイアス回路、S7…アナログスイッチ素
子、81…内挿回路、82…バイアス回路、S8…アナ
ログスイッチ素子。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 N極とS極が交互に所定ピッチで配列形
    成された第1部材と、 この第1部材に対して相対移動可能に対向配置されて第
    1〜第4の磁気抵抗素子が第1部材の磁極配列ピッチと
    の関係で順次90°ずつ位相がずれた状態で配列形成さ
    れた第2部材と、 この第2部材上の第1〜第4の磁気抵抗素子の180°
    位相がずれたもの同士の差動出力を得る回路を構成して
    前記第1,第2部材の相対移動に応じて2相正弦波状信
    号を出力する検知手段と、 この検知手段から得られる2相正弦波状信号から2相方
    形波信号を生成する信号処理手段と、 この信号処理手段から得られる2相方形波信号を計数し
    て前記第1,第2の部材の相対移動量を求める計数手段
    と、 前記検知手段に一定周波数の第1のクロックにより制御
    されて間欠的に直流電源の出力を供給する電源スイッチ
    手段とを備えたことを特徴とする磁気エンコーダ。
  2. 【請求項2】 前記検知手段は、前記第1〜第4の磁気
    抵抗素子の180°位相がずれたもの同士を直列接続し
    て構成されたブリッジ回路であることを特徴とする請求
    項1記載の磁気エンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記検知手段は、前記第1〜第4の磁気
    抵抗素子をそれぞれ電流源を介して併設して、180°
    位相がずれたもの同士の差分出力をとる二つの差動回路
    を設けて構成されていることを特徴とする請求項1記載
    の磁気エンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記信号処理手段は、 前記検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ
    前記第1のクロックによりサンプリングして保持する一
    対のサンプルホールド回路と、 これらのサンプルホールド回路の出力をそれぞれ一定の
    基準電位と比較して2値化データを得るための、前記第
    1のクロックに対して位相遅れを持たせた第2のクロッ
    クにより間欠的に活性化される一対のコンパレータと、 これらのコンパレータが出力する2値化データをそれぞ
    れ取り込んで2相方形波信号を出力する一対のフリップ
    フロップとを有することを特徴とする請求項1記載の磁
    気エンコーダ。
  5. 【請求項5】 前記信号処理手段は、 前記検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ
    前記第1のクロックによりサンプリングして保持する一
    対のサンプルホールド回路と、 これらのサンプルホールド回路の出力に内挿処理を施し
    て2相方形波信号を出力するための、前記第1のクロッ
    クに対して位相遅れを持たせた第2のクロックにより間
    欠的に活性化される内挿回路とを有することを特徴とす
    る請求項1記載の磁気エンコーダ。
  6. 【請求項6】 前記サンプルホールド回路はその入出力
    端のいずれか一方に前記第1のクロックにより活性化さ
    れる増幅手段を有することを特徴とする請求項4または
    5に記載の磁気エンコーダ。
  7. 【請求項7】 前記信号処理手段は、 前記検知手段から得られる2相正弦波状信号をそれぞれ
    一定の基準電位と比較して2値化データを得るための前
    記第1のクロックにより間欠的に活性化される一対のコ
    ンパレータと、 これらのコンパレータが出力する2値化データをそれぞ
    れ取り込んで2相方形波信号を出力する一対のフリップ
    フロップとを有することを特徴とする請求項1記載の磁
    気エンコーダ。
  8. 【請求項8】 前記信号処理手段、計数手段及び電源ス
    イッチ手段は前記第2部材に搭載され、前記第2部材に
    は更に前記計数手段の出力を表示する表示手段が搭載さ
    れていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項
    に記載の磁気エンコーダ。
JP8291794A 1996-11-01 1996-11-01 磁気エンコーダ Expired - Fee Related JP3004924B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8291794A JP3004924B2 (ja) 1996-11-01 1996-11-01 磁気エンコーダ
US08/958,153 US5949051A (en) 1996-11-01 1997-10-27 Magnetic encoder using a displacement detecting circuit thereof
EP97118944A EP0840095B2 (en) 1996-11-01 1997-10-30 Magnetic encoder
DE69719668T DE69719668T3 (de) 1996-11-01 1997-10-30 Magnetische Kodiereinrichtung
CN200310102855.7A CN1249925C (zh) 1996-11-01 1997-10-31 磁性编码器
CNB971212953A CN1148568C (zh) 1996-11-01 1997-10-31 磁性编码器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8291794A JP3004924B2 (ja) 1996-11-01 1996-11-01 磁気エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10132607A true JPH10132607A (ja) 1998-05-22
JP3004924B2 JP3004924B2 (ja) 2000-01-31

Family

ID=17773524

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8291794A Expired - Fee Related JP3004924B2 (ja) 1996-11-01 1996-11-01 磁気エンコーダ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5949051A (ja)
EP (1) EP0840095B2 (ja)
JP (1) JP3004924B2 (ja)
CN (2) CN1148568C (ja)
DE (1) DE69719668T3 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003148949A (ja) * 2001-11-15 2003-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転角度検出装置
JP2006098306A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Yamaha Corp 磁気測定装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0924491B1 (fr) * 1997-12-22 2000-08-23 Brown & Sharpe Tesa S.A. Circuit électronique pour dispositif de mesure de dimension à électrodes magnétorésistives
DE19931318C2 (de) * 1999-07-07 2002-01-24 Carl Mahr Holding Gmbh Wegmeßsystem für stromsparende Meßgeräte
GB9919333D0 (en) * 1999-08-16 1999-10-20 Flying Null Ltd Information bearing label codes
EP1295081B1 (fr) * 2000-06-27 2004-11-03 Tesa Sa Dispositif de mesure a electrodes magnetoresistives
TW540073B (en) 2001-10-19 2003-07-01 Viewmove Technologies Inc Electromagnetic mark device for a magnetism encoder
US8882657B2 (en) * 2003-03-07 2014-11-11 Intuitive Surgical Operations, Inc. Instrument having radio frequency identification systems and methods for use
JP3839802B2 (ja) * 2003-07-25 2006-11-01 三菱電機株式会社 磁気検出装置
JP4751032B2 (ja) * 2004-04-22 2011-08-17 株式会社森精機製作所 変位検出装置
JP5565990B2 (ja) * 2005-07-08 2014-08-06 オリンパス株式会社 エンコーダ
US7728583B2 (en) * 2006-07-06 2010-06-01 General Electric Company Apparatus for monitoring rotary machines
DE102006032277B4 (de) * 2006-07-12 2017-06-01 Infineon Technologies Ag Magnetfeldsensorbauelement
DE102006032266A1 (de) * 2006-07-12 2008-01-17 Infineon Technologies Ag Sensorbauelement
KR101122310B1 (ko) * 2007-02-26 2012-03-21 가부시키가이샤후지쿠라 자기 센서 모듈 및 피스톤 위치 검출 장치
US7530177B1 (en) 2007-11-08 2009-05-12 Mitutoyo Corporation Magnetic caliper with reference scale on edge
JP5156671B2 (ja) * 2009-02-27 2013-03-06 株式会社日立製作所 磁界検出装置および計測装置
WO2011129140A1 (ja) * 2010-04-12 2011-10-20 村田機械株式会社 変位センサ及び変位の検出方法
CN102747652B (zh) * 2012-06-15 2014-08-20 陕西科技大学 一种纤维成纸过程的数字化加密方法
CN104422382A (zh) * 2013-08-31 2015-03-18 上海球栅测量系统有限公司 用于磁栅传感器的宽电源直线编码器
CN104422381A (zh) * 2013-08-31 2015-03-18 上海雷尼威尔技术有限公司 宽电源位移测量系统和装置
CN103808244A (zh) * 2014-02-28 2014-05-21 南京景曜智能科技有限公司 一种用于位置测量的磁编码器
WO2015136690A1 (ja) * 2014-03-14 2015-09-17 三菱電機株式会社 磁気式位置検出装置、磁気式位置検出方法
KR200478279Y1 (ko) * 2014-04-24 2015-09-14 이우성 타악기용 채
EP2960666B1 (en) * 2014-06-25 2017-01-25 Nxp B.V. Sensor system with a three half-bridge configuration
US9435663B2 (en) * 2014-08-22 2016-09-06 Mitutoyo Corporation Absolute position encoder scale having layers in a stacked configuration
DE102014119531B4 (de) 2014-12-23 2019-06-27 Infineon Technologies Ag Sensorschaltung
US10453956B2 (en) * 2015-04-02 2019-10-22 Delta Electronics, Inc. Semiconductor packaging structure
JP6925015B2 (ja) 2017-02-15 2021-08-25 内山工業株式会社 着磁方法及び着磁装置
DE102017121524B4 (de) * 2017-09-15 2019-12-24 Bogen Electronic Gmbh Messanordnung
DE102017123772B4 (de) * 2017-10-12 2019-06-19 Paul Tutzu Elektromagnetisches Messsystem für die Erfassung von Länge und Winkel basierend auf dem Magnetoimpedanzeffekt

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4968864A (en) * 1978-06-05 1990-11-06 Keiichiro Doi Magnetic card control microwave oven
US4418372A (en) * 1979-08-02 1983-11-29 Hitachi, Ltd. Magnetic rotary encoder
JPS5637511A (en) 1979-09-04 1981-04-11 Nec Corp Electronic meter
JPS5886405A (ja) * 1981-11-18 1983-05-24 Nec Corp 角度検出器
JPS5979806A (ja) * 1982-10-29 1984-05-09 Hitachi Ltd 多相磁気回転センサおよび多相−2相出力変換方法
JPS59127114U (ja) 1983-02-16 1984-08-27 株式会社ミツトヨ デジタル表示型測定装置
JPS60218027A (ja) 1984-04-14 1985-10-31 Fanuc Ltd エンコ−ダ
JPH01178816A (ja) * 1988-01-11 1989-07-17 Alps Electric Co Ltd 磁気センサ
US5047716A (en) 1988-02-19 1991-09-10 K.K. Sankyo Seiki Seisakusho Movement detector employing constant current drive
US5057678A (en) * 1988-06-09 1991-10-15 Hitachi Metals, Ltd. Magnetic sensor and card reader containing it
JPH01318917A (ja) * 1988-06-20 1989-12-25 Shicoh Eng Co Ltd 磁気抵抗素子を用いた磁気エンコーダ
JPH0266480A (ja) 1988-08-31 1990-03-06 Murata Mfg Co Ltd センサ素子の組立て実装方法
JPH02264818A (ja) * 1989-04-05 1990-10-29 Seiko Epson Corp 磁気エンコーダー
DE3939278C1 (ja) * 1989-11-28 1991-06-20 Doduco Gmbh + Co Dr. Eugen Duerrwaechter, 7530 Pforzheim, De
JP3037380B2 (ja) * 1990-08-30 2000-04-24 日立金属株式会社 磁気式エンコーダ
EP0479525A3 (en) * 1990-10-01 1994-10-12 Yaskawa Denki Seisakusho Kk Absolute position measuring resolver apparatus with backup means in power failure.
US5272573A (en) * 1991-02-19 1993-12-21 Eastman Kodak Company High-speed magnetic tape duplicator apparatus having an array of permanent magnets productive of a spatially varying transfer field of gradually diminishing strength
US5179475A (en) * 1991-02-19 1993-01-12 Eastman Kodak Company Stray field and DC remanent suppression in high-speed magnetic tape duplicator apparatus having an array of permanent magnets productive of a spatially varying transfer field
JP2581421Y2 (ja) * 1991-06-17 1998-09-21 株式会社村田製作所 磁気センサ
DE4203073C2 (de) 1992-02-04 1994-12-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4233331C2 (de) 1992-10-05 1995-06-01 Inst Mikrostrukturtechnologie Anordnung zur Bestimmung von Positionen
JPH06147915A (ja) 1992-11-11 1994-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気式エンコーダ
JPH06147920A (ja) 1992-11-11 1994-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気式エンコーダ
DE4316221C2 (de) 1993-05-14 1995-11-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US5448419A (en) * 1993-06-11 1995-09-05 Eastman Kodak Company Apparatus and method for anhysteretically recording from master drum to slave web
US5451759A (en) * 1993-06-24 1995-09-19 Nhk Spring Co., Ltd. Using high-permeability magnetic elements randomly scattered in the objects
FR2727778B1 (fr) * 1994-12-02 1997-01-03 Commissariat Energie Atomique Codeur magnetique pour la lecture de marques sur une piste magnetique associee
US5889403A (en) * 1995-03-31 1999-03-30 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Magnetic detecting element utilizing magnetic impedance effect

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003148949A (ja) * 2001-11-15 2003-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転角度検出装置
JP2006098306A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Yamaha Corp 磁気測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0840095A1 (en) 1998-05-06
JP3004924B2 (ja) 2000-01-31
DE69719668T3 (de) 2009-08-13
DE69719668T2 (de) 2004-03-18
CN1530628A (zh) 2004-09-22
CN1183544A (zh) 1998-06-03
DE69719668D1 (de) 2003-04-17
CN1148568C (zh) 2004-05-05
CN1249925C (zh) 2006-04-05
US5949051A (en) 1999-09-07
EP0840095B1 (en) 2003-03-12
EP0840095B2 (en) 2009-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3004924B2 (ja) 磁気エンコーダ
US7535215B2 (en) Apparatus and method for the determination of a direction of an object
JP5435666B2 (ja) 平面内の磁界方向を測定する磁界センサ及び電流センサ
US5747995A (en) Magnetic position measuring device using Hall elements as sensors and method for its operation
KR101950704B1 (ko) 복수의 측정 장치들에 의해 생성된 신호의 처리 회로 및 방법
JPS62204118A (ja) 磁気的に位置あるいは速度を検出する装置
JP2529960B2 (ja) 磁気的位置検出装置
CN105277220A (zh) 具有四个阻性感测元件的全桥配置的传感器系统
JPH09119823A (ja) 位置センサ
Bhaskarrao et al. An improved linearizing digital interface for shaft angle sensors with sine–cosine characteristic
JP2722605B2 (ja) 磁気エンコーダ
JP2679207B2 (ja) アブソリュートエンコーダ用符号板
USRE34443E (en) Apparatus magnetically detecting position or speed of moving body utilizing bridge circuit with series connected MR elements
JP2001174286A (ja) 磁気エンコーダ
JPH09273943A (ja) 多回転アブソリュート・エンコーダ
Trontelj et al. Novel Integr Ated Magnetic Sensor Based on Hall Element Array
JPH03191821A (ja) 磁気エンコーダ
JPH01301113A (ja) 磁気抵抗素子の信号処理回路
JPH10311742A (ja) 位置検出センサ
JPS5868615A (ja) 磁気式ロ−タリ・エンコ−ダの出力回路
JPH10122808A (ja) 磁気センサ
JPS63177018A (ja) 多重てい倍型磁気エンコ−ダ
JP3195019B2 (ja) 原点信号検出装置
CN115586436A (zh) 基于磁传感阵列的永磁直线电机高分辨率位置检测方法
JPS6182112A (ja) 測長器

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111119

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141119

Year of fee payment: 15

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees