JPH1012995A - 立体構造を有する回路部品の製造方法 - Google Patents

立体構造を有する回路部品の製造方法

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JPH1012995A
JPH1012995A JP8163265A JP16326596A JPH1012995A JP H1012995 A JPH1012995 A JP H1012995A JP 8163265 A JP8163265 A JP 8163265A JP 16326596 A JP16326596 A JP 16326596A JP H1012995 A JPH1012995 A JP H1012995A
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JP
Japan
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dimensional structure
plating
circuit component
adhesion promoting
promoting layer
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JP8163265A
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Yoshiyuki Ando
好幸 安藤
Akira Sato
亮 佐藤
Hideki Asano
秀樹 浅野
Tomoaki Takahashi
知顕 高橋
Haruo Akaboshi
晴夫 赤星
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Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Cable Ltd
Hitachi Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0014Shaping of the substrate, e.g. by moulding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating

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  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 立体構造を有する回路部品の製造工程に金型
による射出成形を必要とするため、金型が回路部品の種
類毎に必要となり、設備費が高くなるほか、少量多品種
の生産には経済的に無理がある。 【解決手段】 光造形法により光硬化性樹脂を層状に硬
化・積層させて立体構造の造形品を製作し(工程10
1)、この造形品の表面を粗化し(工程102)、この
粗化した表面に金属メッキを形成し(工程104,10
5)、更に、エッチングレジストの塗布(工程10
6)、紫外線の露光処理(工程107)、レジスト現像
処理(工程108)、銅エッチング処理(工程109)
を順次実施し、最後にレジスト剥離処理を実行(工程1
10)すれば、表面に電気回路パターンの形成された造
形品を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メッキ等により部
分的に表面を金属被覆した筐体、回路部品、コネクタ、
電磁シールド部品等のパターン状の金属層を有する立体
構造を有する回路部品の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、プラスチック成形品の表面に電気
回路のパターンを形成した射出成形回路基板(以下、
「MCB」という)及び射出成形回路部品(以下、「M
ID」という)と呼ばれるものがあり、プラスチック射
出成形品の立体面に金属パターンを形成して作られ、従
来のプリント基板のように平板に限定されず、種々の形
状に対応できるという特徴を有している。このような特
徴を持つことから、MCB及びMIDは、今後、光回路
部品の小型軽量化及び製造工程の減少をもたらすものと
期待されている。
【0003】図12は立体構造を有する回路部品の従来
の製造方法を説明するフローチャートである(この内容
は、サブトラクティブ法に準拠している)。まず、専用
の金型を用いて射出成形機により射出成形が行われ(工
程1201)、立体形状を有する射出成形品を製作す
る。ついで、表面を粗化し(工程1202)、更にメッ
キ触媒(パラジウム塩等)を塗布する(工程120
3)。この後、無電解銅メッキを薄付けし(工程120
4)、更に電解銅メッキを厚付けする(工程120
5)。ついで、エッチングレジストの塗布(工程120
6)、紫外線の露光処理(工程1207)、レジスト現
像処理(工程1208)、銅エッチング処理(工程12
09)を順次実施し、最後にレジスト剥離処理を実行す
る(工程1210)。
【0004】以上の一連の処理を実行することにより、
表面に電気回路に応じた導電パターンの金属層が形成さ
れた射出成形回路部品を得ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の立体構
造を有する回路部品によると、射出成形機自体は部品の
種類が異なっても共通に使用できるが、金型は部品の種
類毎に異なるものを必要とし、金型の償却には大量生産
が要求される。つまり、金型は高価であるため、少量多
品種の生産では経済的に不利になる。
【0006】また、最近では、製造メーカは顧客から極
めて短期間の製品納期を要求される場合が多くなり、金
型製作に日数をかけることが難しくなっており、納期を
満たせない場合が生じている。更に、製品形状を変更す
る場合、金型修正が必要になり、これに対しても相当の
日数と費用を要することになる。以上のように、射出成
形法を用いる限り、少量多品種、或いは短期納期の生産
には不向きである。
【0007】そこで本発明は、少量多品種、ならびに短
期納期の生産に適する立体構造を有する回路部品の製造
方法を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、光造形法により光硬化性樹脂を層状
に硬化・積層させて立体構造の造形品を製作し、この造
形品の表面を粗化し、粗化した前記造形品の表面に金属
メッキを形成し、前記金属メッキの表面にリソグラフィ
技術とエッチング技術を用いて電気回路パターンを形成
するようにしている。
【0009】この方法によれば、形状データを与えるの
みで、光造形法によって立体構造を有する造形品が射出
成形機及び金型を用いずに製作することができ、以降の
工程は従来からの技術に従って行うことができる。ま
た、形状の変更には、形状データをCADに与えること
によって行われる。したがって、少量多品種の立体構造
の造形品を短納期に製造することが可能になる。
【0010】前記金属メッキは、無電解メッキ法、もし
くは電解メッキ法と無電解メッキ法の組み合わせにより
形成することができる。この方法によれば、立体構造の
造形品の場合、浸漬することが容易であり、無電解メッ
キ(化学メッキ)を用いることによって絶縁体であるプ
ラスチックの表面に金属メッキが施される。したがっ
て、造形品がプラスチック等の絶縁体であっても表面に
金属メッキを施すことができる。
【0011】また、上記の目的は、光造形法により光硬
化性樹脂を層状に硬化・積層させて立体構造の造形品を
製作し、この造形品の表面に接着促進層を形成し、この
接着促進層の表面を粗化し、粗化した前記接着促進層の
表面に金属メッキを形成し、この金属メッキの表面にリ
ソグラフィ技術とエッチング技術を用いて電気回路パタ
ーンを形成することによっても達成される。
【0012】この方法によれば、接着促進層の粗化表面
の粗さを極めて小さくでき、回路の微細化、配線の高密
度化に極めて有利である。また、粗化後に施した金属メ
ッキの表面を平滑にでき、はんだ付用途のみならず、金
線ボンディング用途などの平滑な導体面が要求される用
途に極めて有利である。また、立体構造を有する成形体
の材質を変更しても表面粗化条件を変更しなくともよ
く、成形体材質の選択肢の自由度が大きくなる。また、
光造形樹脂では、硬化のために光を透過させる必要上、
充てん剤の混入はできるだけ少ないか、全く混入しない
ことが好ましいが、このような場合、立体構造を有する
成形体に従来法同様の粗化処理を行っても成形体と金属
メッキとの間で十分な密着を得ることは困難となるが、
接着促進層を設けることにより金属メッキの引き剥がし
強さ(ピール強度)を高めることができ、信頼性が大幅
に向上する。
【0013】この場合の前記金属メッキは、無電解メッ
キ法、もしくは電解メッキ法と無電解メッキ法の組み合
わせにより形成することができる。この方法によれば、
立体構造の造形品の場合、浸漬することが容易であり、
無電解メッキ(化学メッキ)を用いることによって絶縁
体であるプラスチックの表面に金属メッキが施される。
したがって、造形品がプラスチック等の絶縁体であって
も表面に金属メッキを施すことができる。
【0014】更に、前記接着促進層の形成は、ディップ
法又はスプレー法を用いて行うことができる。この方法
によれば、ディップ法を用いることにより接着促進層の
ための溶液中に造形品を浸漬するのみで造形品の表面に
接着促進層を形成でき、スプレー法を用いれば接着促進
層のための溶液を造形品に噴霧するのみで表面に接着促
進層を形成することができる。したがって、接着促進層
の形成工程を簡単な手段によって設けることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】図1は立体構造を有する回路部品
の本発明による製造方法を説明する工程流れ図である。
図1の方法は、サブトラクティブ法に準拠したものとな
っている。まず、図2に示す形状の光造形品201を光
造形法により製作する(工程101)。光造形法は、レ
ーザ光を走査して光硬化性樹脂を層状に硬化、積層して
立体モデルを作製する加工法である。製作された光造形
品201は光(UV)硬化性材料を用いて光造形装置
(この種の装置には、例えば、株式会社ディーメックの
モデル「JSC−2000」がある)により製作する。
【0016】次に、表面を粗化し(工程102)、更に
触媒(パラジウム塩)を塗布する(工程103)。この
後、無電解銅メッキ(化学メッキ)を薄付けし(工程1
04)、更に電解銅メッキを厚付けし或いは一括して無
電解銅メッキを厚付けする(工程105)。ついで、エ
ッチングレジストの塗布(工程106)、紫外線の露光
処理(工程107)、レジスト現像処理(工程10
8)、銅エッチング処理(工程109)を順次実施し、
最後にレジスト剥離処理を実行する(工程110)。以
上の一連の処理を実行することにより、図3に示すよう
に、光造形品201に電気導体回路302が形成された
光造形回路部品301を得ることができる。
【0017】このように、本発明によれば、従来のよう
な射出成形を用いないため、金型を用いる必要が無くな
り、形状データをCAD(Computer Aided Design)装置
に入力するのみで、簡単に少量多品種の光造形回路部品
(立体プリント基板とも言う)の製造を行うことができ
る。また、形状変更も容易に行うことができる。なお、
図4に示すように、図1の方法に対し、工程101で光
造形品201を製作した後、接着促進層をディップ法或
いはスプレー法により形成する工程(工程111)を設
け、この接着促進層に対して表面粗化処理(工程10
2)を施し、以降は図1に示した処理を実行する方法に
することもできる。
【0018】このように、接着促進層を設けることによ
り、電気導体である金属層の表面粗さを非常に小さくす
ることができる。また、金属層のピール強度を非常に大
きな値にすることができる。接着促進層は、例えば、エ
ポキシ樹脂と合成ゴム、架橋剤、硬化剤、フィラーを組
み合わせたものを用いることができる。エポキシ樹脂に
はノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポ
キシ樹脂等があり、合成ゴムにはアクリロニトリルブタ
ジエンゴム、カルボキシル基を含むアクリロニトリルブ
タジエンゴム等がある。また、硬化剤にはジアミノジフ
ェニルメタン、イミダゾール類等がある。更に、架橋剤
にはアルキル変性レゾール型フェノール樹脂等があり、
フィラーには炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム等があ
る。
【0019】接着促進層の組成の具体例を示せば、以下
の如くである。 エポキシ樹脂 20〜50g/l 合成ゴム 30〜50g/l 架橋剤 30〜50g/l 硬化剤 3〜10重量部/エポキシ樹脂100重量部 フィラー 30〜100g/l そして、溶解に用いる溶媒には、メチルエチルケトンや
セルソルブ等の溶剤を用いる。このような接着促進層を
光造形品201に形成する方法としては、上記の接着促
進層の溶液に光造形品201を浸漬する方法、スプレー
から吐出して塗布する方法等がある。このようにして接
着促進層を形成された光造形品201は、所定の条件
(乾燥時間、乾燥温度、硬化温度、硬化時間等)接着促
進層の乾燥及び硬化が行われる。
【0020】図5は立体構造を有する回路部品の本発明
による第2の製造方法を説明する工程流れ図であり、セ
ミアディティブ法に準拠した内容になっている。まず、
図1の方法と同様に、図2に示す形状の光造形品201
を製作する(工程501)。この光造形品201も光
(UV)硬化性材料を用いて光造形装置により製作す
る。ついで、表面を粗化し(工程502)、更に触媒を
塗布する(工程503)。この後、無電解銅メッキを薄
付けする(工程504)。ついで、エッチングレジスト
の塗布(工程505)、紫外線(UV)の露光処理(工
程506)、レジスト現像処理(工程507)、電解銅
メッキ又は無電解銅メッキの厚付け処理(工程50
8)、レジスト剥離処理(工程509)、及び薄付銅の
エッチング処理(工程510)を順次実施する。以上の
一連の処理を実行することにより、図3に示した構成の
光造形回路部品301を得ることができる。
【0021】この方法においても、従来のように射出成
形を用いないので金型を用いる必要が無くなり、形状デ
ータをCADに入力するのみで、簡単に少量多品種の光
造形回路部品の製造を行うことが可能になる。また、形
状変更も容易に行うことができる。図5の方法に対し、
図6に示すように、工程501で光造形品201を製作
した後、接着促進層をディップ法或いはスプレー法によ
り形成する工程(工程511)を設け、この接着促進層
に対して表面粗化処理(工程502)を施し、以降は図
51に示した処理を実行する方法にすることもできる。
【0022】このように、接着促進層を設けることによ
り、電気導体である金属層の表面粗さを非常に小さくす
ることができる。また、金属層のピール強度を極めて大
きくすることができる。図7は立体構造を有する回路部
品の本発明による第3の製造方法を説明する工程流れ図
であり、フルアディティブ法に準拠した内容になってい
る。
【0023】まず、図2に示す形状の光造形品201を
製作する(工程701)。この光造形品201は前記し
たように、光(UV)硬化性材料を用いて光造形装置に
より製作する。ついで、表面を粗化し(工程702)、
更に触媒を塗布する(工程703)。この後、エッチン
グレジストの塗布(工程704)、紫外線の露光処理
(工程705)、レジスト現像処理(工程706)、無
電解銅メッキの厚付け処理(工程707を順次実施す
る。以上の一連の処理を実行することにより、図3に示
した構成の光造形回路部品301を得ることができる。
【0024】図7の方法によれば、前記各方法に比べ工
程数を少なくでき、且つ、従来のような射出成形を用い
ないため、金型を用いる必要が無くなり、形状データを
CADに入力するのみで、簡単に少量多品種の光造形回
路部品の製造を行うことが可能になる。また、形状変更
も容易に行うことができる。更に、図7の方法に対し、
図8に示すように、工程701で光造形品201を製作
した後、接着促進層をディップ法或いはスプレー法によ
り形成する工程(工程708)を設け、この接着促進層
に対して表面粗化処理(工程702)を施し、以降の処
理を図7に示したようにすることもできる。
【0025】このように、接着促進層を設けることによ
り、図4の方法と同様に電気導体である金属層の表面粗
さを非常に小さくすることができる。また、金属層のピ
ール強度を極めて大きくすることができる。図9は立体
構造を有する回路部品の本発明による第4の製造方法を
説明する工程流れ図であり、フォトアディティブ法に準
拠した内容になっている。
【0026】まず、図2に示す形状の光造形品201を
製作する(工程901)。この光造形品201は前記し
たように、光(UV)硬化性材料を用いて光造形装置に
より製作する。ついで、表面を粗化し(工程902)、
更に、粗化面に感光性の触媒を塗布する(工程90
3)。この後、触媒塗布面に紫外線を露光し(工程90
4)、更に、感光性触媒の現像処理し(工程905)、
この後,無電解銅メッキを厚付け処理する(工程90
6)。以上の一連の処理を実行することにより、図3に
示した構成の光造形回路部品301を得ることができ
る。
【0027】図9の方法によれば、図7の方法に比べて
更に工程数を少なくでき、且つ、従来のような射出成形
を用いないため、金型を用いる必要が無くなり、形状デ
ータをCADに入力するのみで、簡単に少量多品種の光
造形回路部品の製造を行うことが可能になる。また、形
状変更も容易に行うことができる。図9の方法に対し、
図10に示すように、工程901で光造形品201を製
作した後、接着促進層をディップ法或いはスプレー法に
より形成する工程(工程907)を設け、この接着促進
層に対して表面粗化処理(工程902)を施し、以降は
図9に示した処理を実行する方法にすることもできる。
【0028】このように、接着促進層を設けることによ
り、電気導体である金属層の表面粗さを非常に小さくす
ることができる。また、金属層のピール強度を極めて大
きくすることができる。
【0029】
【実施例】本発明者らは、図1に示した方法に従い、光
造形装置に株式会社ディーメック製のモデル「JSC−
2000」を用い、また、光造形品201の材料に日本
合成ゴム(株)製の「SCR−300」を用いて光造形
回路部品の製造を試みた。まず、図2に示す形状の光造
形品201を製作した。この時、レーザビームスポット
径が0.15mm、UV樹脂液面でのレーザパワー40
mW、1スキャンでの樹脂の硬化幅0.2mm、硬化深
さ0.2mm、スキャンピッチ0.2mm、積層ピッチ
0.1mmの各造形条件にして製作した。
【0030】ついで、クロム酸/硫酸混合溶液(クロム
酸400g/lと硫酸400ml/lの混合物)を60
℃にし、この溶液に光造形品201を浸漬して表面を粗
化した。更に、図11に示す手順により、光造形品20
1の表面に触媒(パラジウム塩)を塗布した。この後、
次に示す無電解銅メッキ液に7時間浸漬し、約35μm
の銅の膜厚を析出した。
【0031】 硫酸銅・五水和物 10g/l エチレンジアミン四酢酸 30g/l ポリエチレングリコール(Mw600) 0.8g/l 2.2−ジビリジル 30mg/l 37%ホルムアルデヒド 3ml/l pH(水酸化ナトリウムで調整) 12.5 液温 70℃ 次に、エッチングレジストとして電着レジスト(例え
ば、日本ペイント株式会社製の「フォトED P−10
00」)を用い、25℃で50mA/dm2 で3分間電
着させ、約8μmの厚さに塗布した。この後、遮光マス
クを装着し、紫外線(散乱光)を約400mj/cm2
で露光した。更に、32℃の1%メタ珪酸ナトリウムを
不図示のスプレー装置を用いて120秒間スプレーして
レジストを現像した。ついで、40℃の塩化第二鉄の3
6%溶液に2〜3分間浸漬して銅をエッチングした。更
に、50℃の5%メタ珪酸ナトリウムを120秒間スプ
レーしてレジストを剥離した。
【0032】以上の一連の処理を実行することにより、
射出成形を行うことなく、図3に示す構成の光造形回路
部品301を得ることができる。次に、図4に示した方
法により立体構造を有する回路部品(光造形回路部品)
の製造を試みた結果について説明する。この場合も、条
件は、レーザビームスポット径を0.15mm、UV樹
脂液面でのレーザパワーを40mW、1スキャンでの樹
脂の硬化幅を0.2mm、硬化深さを0.2mm、スキ
ャンピッチを0.2mm、積層ピッチを0.1mmとし
た。また、光造形装置には、株式会社ディーメック製の
モデル「JSC−2000」を用い、また、光造形品2
01の材料に「SCR−300」を用いて光造形回路部
品の製造を試みた。
【0033】そして、光造形品201に塗布する接着促
進層は上記したような組成であってもよいのであるが、
ここでは、以下に示す組成の接着促進層の溶液をディッ
プ法を用いて膜厚が約10μmになるように光造形品2
01の全面に塗布した。 ノボラック型エポキシ樹脂 40g/l アクリロニトリルブタジエンゴム 30g/l アルキル変性型フェノール樹脂 35g/l ジアミノジフェニルメタン 2重量部 炭酸カルシウム 45g/l 溶剤 メチルエチルケトン そして、以下に示す乾燥、硬化条件で接着促進層を形成
した。
【0034】 乾燥温度 75℃(50〜80℃) 乾燥時間 10分(10〜15分) 硬化温度 165℃(150〜200℃) 硬化時間 70分(60〜90分) これらの乾燥及び硬化の条件は、使用した溶剤、樹脂等
に応じて光造形品201に変質や変形を生じない範囲で
任意に選択することができる。
【0035】次に、以下に示す粗化液にクロム酸/硫酸
混合溶液(50g/lと硫酸250ml/lを混合した
溶液)を用い、この溶液を50℃に加熱した中に光造形
品201を5分間浸漬させ、接着促進層に対する粗化処
理を行った。粗化液には、過マンガン酸カリウム溶液、
クロム酸と硫酸の混合溶液、水酸化ナトリウムや水酸化
カルシウム等の強アルカリ溶液等があるが、ここでは以
下の組成の粗化液の1つを用いた(ここでは、3例につ
いて示す)。そして、粗化液の温度を40〜80℃、粗
化時間を5〜40分にして粗化処理を行った。
【0036】(1)過マンガン酸カリウム溶液: 過マンガン酸カリウム 20〜100g/l PH 11〜14 (水酸化ナトリウムで調整) (2)クロム酸/硫酸の混合溶液: クロム酸 20〜300g/l 硫酸 50〜300ml/l (3)水酸化ナトリウム: 60〜600g/l 更に、粗化した光造形品201に対し、図11に示した
手順によりメッキ触媒(パラジウム−錫コロイド、金属
銅コロイド等)を塗布した。メッキ触媒は、塩化錫及び
塩化パラジウムの溶液に逐次浸漬することにより行うこ
とができる。或いは、市販のパラジウム−錫コロイド触
媒溶液やアルカリイオン性触媒溶液を通常の条件で使用
してもメッキ触媒が達成される。
【0037】この後、以下に示す無電解銅メッキ溶液に
7時間浸漬し、約35μm厚の銅の膜厚を析出した。 硫酸銅・五水和物 10g/l エチレンジアミン四酢酸 30g/l ポリエチレングリコール(Mw600) 0.8g/l 2.2−ジビリジル 30mg/l 37%ホルムアルデヒド 3ml/l pH(水酸化ナトリウムで調整) 12.5 液温 70℃ 以降の工程における各処理は、上記した説明と同じであ
るので、ここでは説明は省略する。
【0038】以上のようにして光造形回路部品(立体プ
リント基板)の表面に形成された金属皮膜の粗さを観察
したところ、4μmの小ささであった。
【0039】
【発明の効果】以上より明らかな如く、本発明によれ
ば、射出成形機及び金型を用いずに立体構造を有する回
路部品を製作することができ、少量多品種の立体構造の
造形品を短納期に製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】立体構造を有する回路部品の本発明による製造
方法を説明する工程流れ図である。
【図2】本発明にかかる光造形法により製作された立体
構造の光造形品を示す斜視図である。
【図3】本発明の製造方法により製作された立体構造を
有する回路部品の完成状態を示す斜視図である。
【図4】図1の製造方法の変形例を説明する工程流れ図
である。
【図5】立体構造を有する回路部品の本発明による第2
の製造方法を説明する工程流れ図である。
【図6】図5の製造方法の変形例を説明する工程流れ図
である。
【図7】立体構造を有する回路部品の本発明による第3
の製造方法を説明する工程流れ図である。
【図8】図7の製造方法の変形例を説明する工程流れ図
である。
【図9】立体構造を有する回路部品の本発明による第4
の製造方法を説明する工程流れ図である。
【図10】図9の製造方法の変形例を説明する工程流れ
図である。
【図11】光造形品の表面に触媒を塗布する工程の詳細
内容を示す説明図である。
【図12】立体構造を有する造形品を射出成形で製作す
る工程を含む従来の製造方法を説明する工程流れ図であ
る。
【符号の説明】
201 光造形品 301 光造形回路部品 302 電気導体回路
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29C 69/00 B29C 69/00 (72)発明者 浅野 秀樹 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社パワーシステム研究所内 (72)発明者 高橋 知顕 茨城県日立市大みか町7丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 赤星 晴夫 茨城県日立市大みか町7丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光造形法により光硬化性樹脂を層状に硬化
    ・積層させて立体構造の造形品を製作し、 前記造形品の表面を粗化し、 粗化した前記造形品の表面に金属メッキを形成し、 前記金属メッキの表面にリソグラフィ技術とエッチング
    技術を用いて電気回路パターンを形成することを特徴と
    する立体構造を有する回路部品の製造方法。
  2. 【請求項2】前記金属メッキは、無電解メッキ法、もし
    くは電解メッキ法と無電解メッキ法の組み合わせにより
    形成することを特徴とする請求項1記載の立体構造を有
    する回路部品の製造方法。
  3. 【請求項3】光造形法により光硬化性樹脂を層状に硬化
    ・積層させて立体構造の造形品を製作し、 前記造形品の表面に接着促進層を形成し、 前記接着促進層の表面を粗化し、 粗化した前記接着促進層の表面に金属メッキを形成し、 前記金属メッキの表面にリソグラフィ技術とエッチング
    技術を用いて電気回路パターンを形成することを特徴と
    する立体構造を有する回路部品の製造方法。
  4. 【請求項4】充てん剤を含有しない光硬性樹脂を用いる
    請求項3記載の立体構造を有する回路部品の製造方法。
  5. 【請求項5】前記金属メッキは、電解メッキ法、無電解
    メッキ法、もしくは電解メッキ法と無電解メッキ法の組
    み合わせにより形成することを特徴とする請求項3記載
    の立体構造を有する回路部品の製造方法。
  6. 【請求項6】前記接着促進層の形成は、ディップ法また
    はスプレー法を用いて行うことを特徴とする請求項3記
    載の立体構造を有する回路部品の製造方法。
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