JPH1012739A - 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 - Google Patents
半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法Info
- Publication number
- JPH1012739A JPH1012739A JP8166134A JP16613496A JPH1012739A JP H1012739 A JPH1012739 A JP H1012739A JP 8166134 A JP8166134 A JP 8166134A JP 16613496 A JP16613496 A JP 16613496A JP H1012739 A JPH1012739 A JP H1012739A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- wiring
- pad driver
- output control
- semiconductor integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 33
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 abstract description 33
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 abstract description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/50—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
うとすると少ピンパッケージにおいて入出力ポートに対
応した端子を連続して確保できない課題があった。 【解決手段】 パッドドライバセル21〜23が入出力
制御回路11〜13の個数と同数またはそれ以上設けら
れる。配線領域LINにおいて、ポリシリコン配線11
1〜133が各入出力制御回路21〜23の入力端IN
および出力端CP,CNから引き出される。ポリシリコ
ン配線211〜233が各パッドドライバセル21〜2
3の入力端CP,CNおよび出力端INから引き出され
るものである。
Description
と信号の入出力を行うための入出力ポートを備えたマイ
クロコンピュータ等の半導体集積回路および半導体集積
回路の製造方法に関するものである。
ポートという)を備えた半導体集積回路における半導体
素子とリードフレームに至るリード線との配置を示す配
置図である。図において、1は半導体素子(以下、チッ
プともいう)、21〜25はそれぞれパッドと出力ドラ
イバとを有するパッドドライバセル、IOCはチップ1
中の入出力制御回路が設けられる入出力制御回路領域、
LINは入出力制御回路とパッドドライバセル21〜2
5との間の配線が存在する配線領域、PDRはパッドド
ライバセルが設けられるセル領域である。なお、図8に
おいて符号が付されていないパッドドライバセルもあ
る。61〜65はそれぞれパッドドライバセル21〜2
5と対応するリードフレームとを接続する金線やアルミ
ニウム線によるリード線である。なお、図8において符
号が付されていないリード線もある。200はチップ1
においてパッドドライバセルが配置されていない部分を
示す。
は、通常、プラスチックパッケージやセラミックパッケ
ージに封入される。パッケージには、形状の違いや端子
数(ピン数)の違いに応じた様々の種類がある。求めら
れる用途やコストに応じてパッケージの形状や端子数が
定められる。ところが、半導体集積回路の開発には多大
な労力と費用がかかるので、パッケージの端子数が異な
る多数の半導体集積回路を用意したり多様なパッケージ
形状の半導体集積回路を用意するといったユーザの要求
には、なかなか応えられないのが現状である。特に、機
能を変えなくてもよいがより多くのポート端子を得るた
めに端子数を増やした半導体集積回路を用意して欲しい
というユーザの要求や、実装面積を狭くするために端子
数を減らした半導体集積回路を用意して欲しいというユ
ーザの要求は多い。
であるが端子数が異なる2種類の半導体集積回路におけ
るチップ1およびリード線61〜65が示されている。
図8(a)は24ピンの半導体集積回路を示し、図8
(b)は20ピンの半導体集積回路を示している。図9
はパッドドライバセル21〜25の構成の一例を示す回
路図である。図9において、31はソースが電源に接続
されるとともにドレインがパッド30および入出力制御
回路への入力線(IN)に接続されるPチャネルトラン
ジスタ、32はドレインがPチャネルトランジスタ31
のドレインに接続されるとともにソースが接地されてい
るNチャネルトランジスタである。Pチャネルトランジ
スタ31およびNチャネルトランジスタ32のゲートは
入出力制御回路からの出力制御線(CP,CN)に接続
されている。Pチャネルトランジスタ31およびNチャ
ネルトランジスタ32は、出力ドライバを形成する。な
お、入出力制御回路への入力線(IN)が、プルアップ
制御線(UC)によって制御されるPチャネルトランジ
スタ33によってプルアップされる場合もある。その場
合には、Pチャネルトランジスタ31、Nチャネルトラ
ンジスタ32およびPチャネルトランジスタ33は、入
出力ドライバを形成する。
すブロック図である。図において、41はポートの方向
を示す情報を有する方向レジスタ、42はマイクロコン
ピュータのデータバスからの出力データをラッチするポ
ートラッチ、43はポートが入力モードになっていると
きに開くゲート回路である。44は方向レジスタが入力
モードになっているときにプルアップ制御線(UC)に
ローレベルを出力するプルアップ制御回路、45は方向
レジスタ41の内容が「1」のときにポートラッチ42
の値の反転値を出力する反転論理積回路、46は方向レ
ジスタ41の内容が「1」のときにポートラッチ42の
値を出力する反転論理和回路、47は方向レジスタ41
と反転論理和回路46との間に接続された反転回路であ
る。なお、プルアップ制御回路44が設けられていない
こともある。
出力制御回路のモードを出力モードにするときには方向
レジスタ41の内容を「1」に設定し、入力モードにす
るときには方向レジスタ41の内容を「0」に設定す
る。方向レジスタ41の内容が「1」であるときには、
ポートラッチ42にラッチされたデータに応じたレベル
が出力制御線(CP,CN)に現れる。そして、ポート
ラッチ42にラッチされたデータに応じたレベルがパッ
ド30およびリードフレームを介して半導体集積回路の
リード(ピン)に現れる。方向レジスタ41の内容が
「0」であるときには、出力制御線(CP,CN)に
は、Pチャネルトランジスタ31およびNチャネルトラ
ンジスタ32をオフにするレベルが現れる。また、ゲー
ト回路43が信号通過状態になる。よって、半導体集積
回路のリードに入力したレベルがデータバスに伝えられ
る。このような入出力制御回路によってポート機能が実
現される。
て説明する。図8(a),(b)に示すチップ1には、
パッドドライバセル21〜25を含む24個のパッドド
ライバセルが設けられている。そして、24ピンパッケ
ージでは全てのパッドドライバセルに配線が施されて、
対応するリードフレームと接続される。しかし、20ピ
ンパッケージでは、配線が施されずリードフレームに接
続されないパッドドライバセルが存在する。配線が施さ
れないパッドドライバセルは、例えば4セルに対して1
セルといったように、離散的にしか割り当てられない。
順にポートA0 〜A4 に対応したものであるとする。図
8(b)に示す例では、パッドドライバセル22には配
線が施されていない。すると、20ピンパッケージで
は、ポートA1 が存在しない。すなわち、半導体集積回
路の端子として、ポートA0 ,A2 ,A3 ,A4 の端子
しか現れない。パッドドライバセル21〜25以外のパ
ッドドライバセルも含めて考えると、例えば、24ピン
パッケージではポートA0 〜A7 ,B0 〜B7 が連続し
て端子に現れていたのに対して、20ピンパッケージで
はポートA0 〜A2 ,A4 〜A6 ,B0 〜B2 ,B4 〜
B6 しか端子に現れないといったような事態が生ずる。
ここで、連続して端子に現れるとは、例えば、ポートA
0 〜A7 に対応した各端子が、連続して配置されている
第1端子〜第8端子に割り当てられることをいう。
ット単位または8ビット単位でのポートの割り当てがで
きないので、20ピンパッケージの半導体集積回路を使
用するユーザに不便を与える。例えば、半導体集積回路
がマイクロコンピュータであったとすると、マイクロコ
ンピュータのユーザは、不連続に生ずる使用できないポ
ートに注意を払いつつプログラムを作成しなければなら
ない。なお、その不便を解消するために、例えば、ポー
トA0 〜A7 ,B0 〜B3 が端子に現れるようにポート
B4 〜B7 に対応したパッドドライバセルを未配線とす
ることが考えられる。すると、配線されるべきパッドド
ライバセルの存在位置の偏りが生ずる。各リードフレー
ムは、一般に偏りなく配置されるので、遠くのリードフ
レームまでリード線を配線しなければならないパッドド
ライバセルがでてくる。しかし、リード線の長さを長く
するとリード線が基盤やチップ1に接触しやすくなるの
で、リード線の長さを長くすることには限界がある。従
って、やはり、20ピンパッケージでは、配線されない
セルを離散的に割り当てなければならない。なお、一般
に、各半導体製造会社毎に、リード線の長さの規定値が
設けられている。
ンパッケージと少ピンパッケージとの双方を実現する際
の入出力制御回路11〜15、配線領域LINおよびパ
ッドドライバセル21〜25を示す配置図である。図1
1(a)は多ピンパッケージ用のチップにおける配置を
示し、図11(b)は少ピンパッケージ用のチップにお
ける配置を示す。双方のチップにおいて、それぞれのリ
ードフレーム(図示せず)の配置に合わせて、多ピンパ
ッケージではパッドドライバセル21〜25は密に配置
され、少ピンパッケージではパッドドライバセル21,
23,25は疎に配置されている。
ポートA0 〜A4 に対応したものであるとすると、図1
1(b)に示す少ピンパッケージ用のチップにおいて、
入出力制御回路11,15は、図示しないポートA0 ,
A4 に対応したパッドドライバセルに接続される。入出
力制御回路12,13,14は、パッドドライバセル2
1,23,25に接続される。そして、図示しないパッ
ドドライバセルは、リードフレームを介してポートA0
,A4 に対応した端子に接続される。パッドドライバ
セル21,23,25は、ポートA1 ,A2 ,A3 に対
応した端子に接続される。
導体集積回路においても、ポートA0 〜A4 は連続して
端子に現れる。従って、4ビット単位または8ビット単
位でのポートの割り当てができないという問題は解消さ
れる。しかし、図11(b)に示された半導体集積回路
を作製する場合には、チップ製作に必要な全工程で用い
られる各マスクを、図11(a)に示された半導体集積
回路用のものとは異なったものとする必要がある。新た
にマスクをおこすには多大な費用と時間がかかる。この
ように、他種類のパッケージのそれぞれに応じたチップ
を有する半導体集積回路を作製する場合に多大な開発コ
ストと期間がかかる。
導体チップ中の周辺部分に多数の入出力回路部と多数の
パッド部とを設け、パッケージの端子数に応じて各入出
力回路部と各パッド部との間の配線を変えることによっ
て、他種類のパッケージに対応しようとするものが開示
されている。しかし、特開昭59−145542号公報
には、入出力回路部とパッド部との間の配線に関する具
体的方法は開示されていない。
は以上のように構成されているので、同一チップを他種
類のパッケージに封入しようとすると少ピンパッケージ
においてポートに対応した端子を連続して確保できない
という課題があった。また、少ピンパッケージにおいて
もポートに対応した端子を連続して確保しようとする
と、チップ製作に必要な各マスクを変更しなければなら
ないという課題があった。
めになされたもので、半導体製造工程のごく一部のみを
変更するだけで他種類のパッケージのそれぞれに対応で
きる半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法を
得ることを目的とする。
る半導体集積回路は、パッドドライバセルが入出力制御
回路の個数と同数またはそれ以上設けられ、配線領域に
おいて、各入出力制御回路の入力端および出力端から引
き出された配線と、各パッドドライバセルの入力端およ
び出力端から引き出された配線とを備え、入出力制御回
路からの配線と、パッドドライバセルからの配線とが各
配線の材質とは異なる材質の配線によって配線領域で接
続され、各入出力制御回路のうち、パッドドライバセル
における配線とは未接続である連続して位置する特定の
入出力制御回路が存在し、各パッドドライバセルのう
ち、入出力制御回路における配線とは未接続である離散
的に位置する特定のパッドドライバセルが存在するもの
である。
は、連続して位置する特定の入出力制御回路から引き出
された配線および離散的に位置する特定のパッドドライ
バセルから引き出された配線のうちの入力端からの配線
は電源または接地に接続され、出力端からの配線は開放
されているものである。
は、パッドドライバセルが、配線領域を介してそれに接
続されうる各入出力制御回路に対応したポートに要求さ
れる駆動能力のうちの最大の駆動能力を有するドライバ
を含むように構成されているものである。
は、パッドドライバセルが、配線領域を介してそれに接
続されうる各入出力制御回路に対応したポートのそれぞ
れが有する機能に応じた機能を全て含むように構成され
ているものである。
は、パッドドライバセルの総数が入出力制御回路の総数
よりも多くなっているものである。
の製造方法は、パッドドライバセルとリードフレームと
の間のリード線の長さが規定値以下になるように半導体
素子の角部における各パッドドライバセルを選択するス
テップと、選択された各パッドドライバセルと入出力制
御回路とを配線領域で接続するステップと、選択された
各パッドドライバセルとリードフレームとの間にリード
線を配線するステップとを備えたものである。
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による半
導体集積回路の一部における入出力制御回路、配線領域
LINおよびパッドドライバセルを示す配置図である。
図1(a)は多ピンパッケージ用のチップにおける配置
を示し、図1(b)は少ピンパッケージ用のチップにお
ける配置を示す。図において、21〜25はそれぞれパ
ッド30と出力ドライバとを有するパッドドライバセ
ル、IOCはチップ中の入出力制御回路11〜15が設
けられる入出力制御回路領域、LINは入出力制御回路
とパッドドライバセル21〜25との間の配線が存在す
る配線領域、PDRはパッドドライバセル21〜25が
設けられるセル領域である。
31はソースが電源に接続されるとともにドレインがパ
ッド30および入出力制御回路11〜15への入力線に
接続されるPチャネルトランジスタ(ドライバ)、32
はドレインがPチャネルトランジスタ31のドレインに
接続されるとともにソースが接地されているNチャネル
トランジスタ(ドライバ)である。Pチャネルトランジ
スタ31およびNチャネルトランジスタ32のゲートは
入出力制御回路の出力制御線に接続されている。Pチャ
ネルトランジスタ31およびNチャネルトランジスタ3
2は、出力ドライバを形成する。なお、図1には、パッ
ドドライバセル21においてのみ出力ドライバおよびパ
ッド30が示されている。なお、ここでは、入出力制御
回路11〜15において、INは入力線の入力端を示
し、CP,CNは出力制御線の出力端を示す。パッドド
ライバセル21〜25において、INは入力線の出力端
を示し、CP,CNは出力制御線の入力端を示す。
ライバセル21〜25との間の配線の仕方について説明
する。チップにおいて、入出力制御回路11〜15の数
と図示されない入出力制御回路の数との和は、多ピンパ
ッケージのピン数と同じであるとする。また、パッドド
ライバセル21〜25の数と図示されないパッドドライ
バセルの数との和は、多ピンパッケージのピン数と同じ
であるとする。図1(a),(b)に示すように、パッ
ドドライバセル21〜25は密に配置されている。図1
(a)に示す多ピンパッケージ用のチップでは、各入出
力制御回路11〜15は、それに対応する各パッドドラ
イバセル21〜25と接続される。しかし、図1(b)
に示す少ピンパッケージ用のチップでは、入出力制御回
路11〜15に接続されないパッドドライバセル22,
24が離散的に存在する。入出力制御回路12,13,
14と接続されているパッドドライバセル21,23,
25は、リード線(図示せず)によって対応するリード
フレーム(図示せず)に接続される。
ば、ポートA0 に対応した入出力制御回路11は、図示
しないパッドドライバセルに接続される。ポートA1 ,
A2 ,A3 に対応した入出力制御回路12,13,14
は、パッドドライバセル21,23,25に接続され
る。そして、図示しないパッドドライバセルは、リード
フレームを介してポートA0 に対応した端子に接続され
る。パッドドライバセル21,23,25は、ポートA
1 ,A2 ,A3 に対応した端子に接続される。このよう
にして、少ピンパッケージにおいても、4ビットのポー
トA0 〜A3 が連続して端子に現れる。パッドドライバ
セル21〜25以外のパッドドライバセルも含めて考え
ると、例えば、少ピンパッケージでもポートA0 〜A7
,B0 〜B7が連続して端子に現れるようにすることが
できる。
15において、出力端CP,CNは開放状態とされる。
すなわち、出力端CP,CNに出力制御線は接続されな
い。入力端INは接地または電源に接続される。図1
(b)では、接地に接続された例が示されている。未使
用のパッドドライバセル22,24において、出力端I
Nは開放状態とされる。すなわち、出力端INに入力線
は接続されない。入力端CP,CNは接地または電源に
接続される。図1(b)では、接地に接続された例が示
されている。
イアウト図である。図2(a)は多ピンパッケージ用の
チップ1aのレイアウトを示し、図2(b)は少ピンパ
ッケージ用のチップ1bのレイアウト配置を示す。図に
おいて、100は入出力制御回路が配置されていない部
分、200はパッドドライバセルが配置されていない部
分をそれぞれ示す。入出力制御回路領域IOCにおいて
×印は未使用の入出力制御回路を示し、セル領域PDR
において×印は未使用のパッドドライバセルを示す。
あるから、図2(b)に示すように、少ピンパッケージ
用のチップ1bにおいて、未使用の入出力制御回路を集
中して配置できる。換言すれば、使用する入出力制御回
路を集中して配置できる。すなわち、A0 〜A7 のよう
にまとまっている各ポートのそれぞれに対応した入出力
制御回路を、使用するものとして選定できる。また、未
使用のパッドドライバセルを離散的に配置できる。すな
わち、使用されるパッドドライバセルの配置に偏りが生
じない。使用される入出力制御回路を集中して配置でき
るので、少ピンパッケージの半導体集積回路において
も、パッドドライバセルおよびリードフレームを介して
ポートは連続して端子に現れる。従って、4ビット単位
または8ビット単位でのポート端子の割り当てが容易に
できる。また、使用されるパッドドライバセルの配置に
偏りが生じないので、パッドドライバセルから遠くのリ
ードフレームにリード線をわたすという事態は生じな
い。なお、図2(a)に示すチップ1aと図2(b)に
示すチップ1bとの間で相違しているのは、配線領域L
INだけである。
方法について図3,図4のレイアウト図を参照して説明
する。図3は図1(a),図2(a)に示されたような
多ピンパッケージ用のチップにおける配線を示し、図4
は図1(b),図2(b)に示されたような少ピンパッ
ケージ用のチップにおける配線を示す。ただし、図3,
図4では、入出力制御回路11〜13およびパッドドラ
イバセル21〜23のみが明示されている。配線領域L
INにおいて、各入出力制御回路11〜13の各入力端
INおよび各出力端CP,CNからポリシリコン配線
(配線)111〜113,121〜123,131〜1
33が引き出されている。また、各パッドドライバセル
21〜23の各出力端INおよび各入力端CP,CNか
らポリシリコン配線(配線)211〜213,221〜
223,231〜233が引き出されている。
ジの半導体集積回路において、各入出力制御回路11〜
13は各パッドドライバセル21〜23に接続される。
従って、図3に示すように、各入出力制御回路11〜1
3から引き出されているポリシリコン配線111〜11
3,121〜123,131〜133と各パッドドライ
バセル21〜23から引き出されているポリシリコン配
線211〜213,221〜223,231〜233と
は、アルミニウム配線(配線)71〜73,81〜8
3,91〜93で接続される。
ジの半導体集積回路において、入出力制御回路12がパ
ッドドライバセル21に接続され、入出力制御回路13
がパッドドライバセル23に接続される。従って、図4
に示すように、入出力制御回路12から引き出されてい
るポリシリコン配線121,122,123とパッドド
ライバセル21から引き出されているポリシリコン配線
211,212,213とが、アルミニウム配線71,
81,91で接続される。また、入出力制御回路13か
ら引き出されているポリシリコン配線131,132,
133とパッドドライバセル23から引き出されている
ポリシリコン配線231,232,233とが、アルミ
ニウム配線73,83,93で接続される。なお、未使
用のパッドドライバセル22の入力端CP,CNが接地
または電源に接続されるように、それらと接地との間が
アルミニウム配線103で接続される。
アルミニウム配線71〜73,81〜83,91〜93
の配線の仕方を変えることによって、入出力制御回路1
1〜15とパッドドライバセル21〜25との組合せを
容易に変更することができる。すなわち、アルミニウム
配線71〜73,81〜83,91〜93の配線の仕方
を変えることによって、容易に図1(a),図2(a)
に示されたチップと図1(b),図2(b)に示された
チップとを得ることができる。換言すれば、アルミニウ
ム配線以外の工程を共通とし、アルミニウム配線工程の
みを変更するだけで、異なるパッケージに対応した各チ
ップを得ることができる。
ムによる配線を容易にするために、ポリシリコン配線1
11〜113,121〜123,131〜133,21
1〜213,221〜223,231〜233の長さは
均一ではない。例えば、ポリシリコン配線111〜11
3の長さはそれぞれ相違している。ポリシリコン配線1
31〜133の長さは、ポリシリコン配線111〜11
3,121〜123の長さよりも短い。
ージのピン数に応じた個数の入出力制御回路11〜15
とパッドドライバセル21〜25とが設けられ、各入出
力制御回路11〜15および各パッドドライバセル21
〜25からポリシリコン配線111〜113,121〜
123,131〜133,211〜213,221〜2
23,231〜233が引き出されている。よって、配
線領域LINにおけるアルミニウムによる配線を変更す
るだけで、ポート数以外の仕様は同一であって、種々の
ピン数のパッケージに対応した種々のチップを得ること
ができる。
態2による半導体集積回路における入出力制御回路およ
びパッドドライバセルを示す配置図である。図5には、
入出力制御回路11,12およびパッドドライバセル2
1のみが示されている。実施の形態1では各ポートの機
能は全て同一である場合の例が示されたが、ここでは、
特定のポートにプルアップ機能が付加される場合につい
て説明する。
る。 そして、多ピンパッケージ用のチップではポート#11
用の入出力制御回路11がパッドドライバセル21に接
続されるようにアルミニウム配線され、少ピンパッケー
ジ用のチップではポート#12用の入出力制御回路12
がパッドドライバセル21に接続されるようにアルミニ
ウム配線されるとする。ポート#11用の入出力制御回
路11は、図10に示すプルアップ制御回路44を有し
ているが、ポート#12用の入出力制御回路12は、プ
ルアップ制御回路44を有していない。なお、図5にお
いて、UCは、プルアップ制御線の出力端または入力端
を示す。
21を、プルアップ用のPチャネルトランジスタ(ドラ
イバ)33を有するものとして作製しておけばよい。こ
の場合、入出力制御回路11から、図3,図4に示され
たようなポリシリコン配線111,112,113に加
えて出力端UCからのポリシリコン配線が引き出され
る。また、パッドドライバセル21から、図3,図4に
示されたようなポリシリコン配線211,212,21
3に加えて入力端UCからのポリシリコン配線が引き出
される。
チップでは、ポリシリコン配線111,112,113
とポリシリコン配線211,212,213とがアルミ
ニウム配線71,81,91で接続されるとともに、入
出力制御回路11の出力端UCからのポリシリコン配線
とパッドドライバセル21の入力端UCからのポリシリ
コン配線とがアルミニウム配線で接続される。図4も参
照すると、少ピンパッケージ用のチップでは、ポリシリ
コン配線121,122,123とポリシリコン配線2
11,212,213とがアルミニウム配線71,8
1,91で接続される。図5では、少ピンパッケージ用
のチップにおける接続の仕方が破線で示されている。ま
た、少ピンパッケージ用のチップでは、パッドドライバ
セル21の入力端UCからのポリシリコン配線は、Pチ
ャネルトランジスタ33が常時オフするように、アルミ
ニウム配線で電源に接続される。
ッドドライバセル21がプルアップ用のPチャネルトラ
ンジスタ33を有するものとして作製されている。よっ
て、対応する入出力制御回路として、プルアップ機能が
あるポートに対応した入出力制御回路11が割り当てら
れても、プルアップ機能がないポートに対応した入出力
制御回路12が割り当てられても、配線領域LINにお
ける配線変更のみによって、異なるチップを製造するこ
とができる。
明したが、一方のポートが入力専用ポートまたは出力専
用ポートである場合にも、この実施の形態における考え
方を適用できる。例えば、多ピンパッケージの場合には
パッドドライバセル21が入出力用ポートに接続され少
ピンパッケージの場合にはパッドドライバセル21が入
力専用ポートに接続されるとすると、少ピンパッケージ
の場合に、パッドドライバセル21の入力端CP,CN
を接地に接続すればよい。少ピンパッケージの場合にパ
ッドドライバセル21が出力専用ポートに接続される場
合には、パッドドライバセル21の出力端INを未接続
とすればよい。
態3による半導体集積回路における入出力制御回路およ
びパッドドライバセルを示す配置図である。図6には、
入出力制御回路11,12およびパッドドライバセル2
1のみが示されている。実施の形態1では各ポートの機
能は全て同一である場合の例が示されたが、ここでは、
各ポートの駆動能力が異なる場合について説明する。
る。 そして、多ピンパッケージ用のチップではポート#11
用の入出力制御回路11がパッドドライバセル21に接
続されるようにアルミニウム配線され、少ピンパッケー
ジ用のチップではポート#12用の入出力制御回路12
がパッドドライバセル21に接続されるようにアルミニ
ウム配線されるとする。
21におけるPチャネルトランジスタ31およびNチャ
ネルトランジスタ32の駆動能力を、それぞれ大きい方
の数値に合わせて設計すればよい。すなわち、Pチャネ
ルトランジスタ31の駆動能力が120、Nチャネルト
ランジスタ32の駆動能力が150になるようにパッド
ドライバセル21を設計する。そして、図3に示すよう
に、多ピンパッケージ用のチップでは、ポリシリコン配
線111,112,113とポリシリコン配線211,
212,213とをアルミニウム配線71,81,91
で接続すればよい。また、図4に示すように、少ピンパ
ッケージ用のチップでは、ポリシリコン配線121,1
22,123とポリシリコン配線211,212,21
3とをアルミニウム配線71,81,91で接続すれば
よい。
例えば、ポート#11の仕様書上の駆動能力がPch側1
00,Nch側150であるのに対して、実際にはPch側
120,Nch側150であったとしても問題はない。
ッドドライバセル21におけるPチャネルトランジスタ
31およびNチャネルトランジスタ32の駆動能力が、
要求されうる最大の数値に合わせて設計されている。従
って、要求される駆動能力が異なっているポートがあっ
たとしても、配線領域LINにおける配線変更のみによ
って、異なるチップを製造することができる。
態4による半導体集積回路におけるチップの一部、リー
ドフレームおよびリード線を示す配置図である。図にお
いて、311〜315はパッドドライバセル21〜26
内のパッド30とリード線61〜65で接続されるリー
ドフレームの先端、411〜415はパッドドライバセ
ル21〜25内のパッド30とリード線161〜165
で接続されるリードフレームの先端である。実線で示さ
れたリードフレームの先端311〜315はあるパッケ
ージ(第1のパッケージ)の半導体集積回路中のものを
示し、破線で示されたリードフレームの先端411〜4
15はそれとは別のパッケージ(第2のパッケージ)の
半導体集積回路中のものを示している。
おける図示されていないパッドドライバセルも含めたセ
ル総数は、チップ1c内の図示されていない入出力制御
回路も含めた入出力制御回路総数よりも多い。また、入
出力制御回路数は、第1のパッケージのピン数および第
2のパッケージのピン数と同数であるとする。
ージのピン数とが同じであったとしても、図7に示すよ
うに、リードフレームの先端311〜315,411〜
415の位置が異なる場合がある。例えば、一方のパッ
ケージ形状が正方形で他方のパッケージ形状が長方形で
あるような場合である。その場合に、全く同一のチップ
1cを用いたのでは、一方の半導体集積回路において、
パッド30とリードフレームの先端311〜315,4
11〜415との間の配線が困難になることがある。特
に、チップ1の角部分では、一方のリードフレームの先
端311〜315の配置と他方のリードフレームの先端
411〜415の配置とのずれが大きい。
示すようにリードフレームの先端411〜415が配置
されているときに、パッドドライバセル22のパッド3
0からリードフレームの先端412へ配線したりパッド
ドライバセル23のパッド30からリードフレームの先
端413へ配線したりすると、距離が長くなるので、半
導体集積回路における故障を招く。
パッケージにおいて使用されるパッドドライバセル2
1,23〜26の組合せと、第1のパッケージにおいて
使用されるパッドドライバセル21〜24,26の組合
せとを異ならせる。パッドドライバセル21〜26のそ
れぞれの選択は、図7に示すように、各リードフレーム
の先端311〜315,411〜415とパッド30と
の間に設けられるリード線61〜65,161〜165
の長さが長くならないように決定される。例えば、規定
値以下になるように決定される。セル数が入出力制御回
路数よりも多いので、すなわち、セル数がリードフレー
ム数よりも多いので、使用されるパッドドライバセル2
1〜26を変更することは容易である。
の変更に応じて、第1のパッケージに封入されるチップ
1の配線領域LINにおける配線と第2のパッケージに
封入されるチップ1の配線領域LINにおける配線とを
変える。各入出力制御回路11〜15から、図3に示さ
れたようなポリシリコン配線が引き出されている。ま
た、各パッドドライバセル21〜26から図3に示され
たようなポリシリコン配線が引き出されている。そし
て、第1のパッケージに封入されるチップ1内では、各
入出力制御回路11〜15と各パッドドライバセル21
〜24,26とが接続されるようにアルミニウムによる
配線がなされる。また、第2のパッケージに封入される
チップ1内では、各入出力制御回路11〜15と各パッ
ドドライバセル21,23〜26とが接続されるように
アルミニウムによる配線がなされる。
ッケージのピン数が、チップ1c内に作り込まれた入出
力制御回路11〜15の数よりも多い。よって、リード
フレームの位置が変更される場合に、配線可能な範囲で
容易にパッドドライバセル21〜26とリードフレーム
との間の配線を変更できる。このことは、形状の異なる
パッケージ間でリードフレーム位置の差が大きいチップ
1cの角部において特に有効である。なお、ここではピ
ン数が同じで形状が異なる2つのパッケージを対象に説
明したが、この実施の形態は、ピン数が異なるパッケー
ジを対象とすることもできる。また、実施の形態2,3
における考え方を、この実施の形態4にさらに適用する
こともできる。
れば、半導体集積回路を、パッドドライバセルが入出力
制御回路の個数と同数またはそれ以上設けられ、各入出
力制御回路の入力端および出力端から引き出された配線
と、各パッドドライバセルの入力端および出力端から引
き出された配線とを備え、入出力制御回路からの配線と
パッドドライバセルからの配線とが各配線の材質とは異
なる材質の配線によって配線領域で接続され、パッドド
ライバセルにおける配線とは未接続である連続して位置
する特定の入出力制御回路が存在し、入出力制御回路に
おける配線とは未接続である離散的に位置する特定のパ
ッドドライバセルが存在するように構成したので、種々
の形状のパッケージに対応した種々の半導体集積回路が
得られる効果がある。特に、少ピンパッケージ用の半導
体素子を低コストで得られる効果がある。
回路を、連続して位置する特定の入出力制御回路から引
き出された配線および離散的に位置する特定のパッドド
ライバセルから引き出された配線のうちの入力端からの
配線は電源または接地に接続され、出力端からの配線は
開放されるように構成したので、配線領域における配線
のみで未使用入出力制御回路および未使用パッドドライ
バセルに対する処置を行える効果がある。
回路を、パッドドライバセルが、配線領域を介してそれ
に接続されうる各入出力制御回路に対応したポートに要
求される駆動能力のうちの最大の駆動能力を有するドラ
イバを含むように構成したので、パッドドライバセルを
変更せずに駆動能力の異なるポートを実現できる効果が
ある。
回路を、パッドドライバセルが、配線領域を介してそれ
に接続されうる各入出力制御回路に対応したポートのそ
れぞれが有する機能に応じた機能を全て含むように構成
したので、パッドドライバセルを変更せずに機能の異な
るポートを実現できる効果がある。
回路を、パッドドライバセルの総数が入出力制御回路の
総数よりも多くなるように構成したので、配線を変更す
るだけで、同一ピン数であっても形状が異なる種々の形
状のパッケージに対応した種々の半導体集積回路が得ら
れる効果がある。
回路の製造方法を、パッドドライバセルとリードフレー
ムとの間のリード線の長さが規定値以下になるように半
導体素子の角部における各パッドドライバセルを選択す
るステップと、選択された各パッドドライバセルと入出
力制御回路とを配線領域で接続するステップと、選択さ
れた各パッドドライバセルとリードフレームとの間にリ
ード線を配線するステップとを備えるように構成したの
で、配線を変更するだけで、同一ピン数であっても形状
が異なる種々の形状のパッケージに対応した種々の半導
体集積回路が得られる効果がある。
路の一部における入出力制御回路、配線領域およびパッ
ドドライバセルを示す配置図である。
図である。
示すレイアウト図である。
示すレイアウト図である。
路における入出力制御回路およびパッドドライバセルを
示す配置図である。
路における入出力制御回路およびパッドドライバセルを
示す配置図である。
路におけるチップの一部、リードフレームおよびリード
線を示す配置図である。
における半導体素子とリードフレームに至るリード線と
の配置を示す配置図である。
図である。
ク図である。
ージと少ピンパッケージとの双方を実現する際の入出力
制御回路、配線領域およびパッドドライバセルを示す配
置図である。
イバセル、31,33Pチャネルトランジスタ(ドライ
バ)、32 Nチャネルトランジスタ(ドライバ)、6
1〜65 リード線、71〜73,81〜83,91〜
93 アルミニウム配線(配線)、111〜113,1
21〜123,131〜133,211〜213,22
1〜223,231〜233 ポリシリコン配線(配
線)、311〜315,411〜415 リードフレー
ム、LIN 配線領域。
Claims (6)
- 【請求項1】 複数の入出力制御回路と、それぞれリー
ドフレームに接続可能な複数のパッドドライバセルと、
前記各入出力制御回路と各パッドドライバセルとの間に
設けられた配線領域とを備えた半導体集積回路におい
て、前記パッドドライバセルは前記入出力制御回路の個
数と同数またはそれ以上設けられ、前記配線領域に、前
記各入出力制御回路の入力端および出力端から引き出さ
れた配線と、前記各パッドドライバセルの入力端および
出力端から引き出された配線とを備え、 前記入出力制御回路からの配線と前記パッドドライバセ
ルからの配線とが、前記各配線の材質とは異なる材質の
配線によって配線領域で接続され、 連続して位置する特定の前記入出力制御回路から引き出
された配線は前記パッドドライバセルにおける配線とは
未接続であって、離散的に位置する特定の前記パッドド
ライバセルから引き出された配線は前記入出力制御回路
における配線とは未接続である半導体集積回路。 - 【請求項2】 連続して位置する特定の入出力制御回路
から引き出された配線および離散的に位置する特定のパ
ッドドライバセルから引き出された配線のうちの入力端
からの配線は電源または接地に接続され、出力端からの
配線は開放されていることを特徴とする請求項1記載の
半導体集積回路。 - 【請求項3】 パッドドライバセルは、配線領域を介し
てそれに接続されうる各入出力制御回路に対応したポー
トに要求される駆動能力のうちの最大の駆動能力を有す
るドライバを含むことを特徴とする請求項1または請求
項2記載の半導体集積回路。 - 【請求項4】 パッドドライバセルは、配線領域を介し
てそれに接続されうる各入出力制御回路に対応したポー
トのそれぞれが有する機能に応じた機能を含むことを特
徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記
載の半導体集積回路。 - 【請求項5】 パッドドライバセルの総数は入出力制御
回路の総数よりも多いことを特徴とする請求項1から請
求項4のうちのいずれか1項記載の半導体集積回路。 - 【請求項6】 複数の入出力制御回路と、それぞれリー
ドフレームに接続可能であって入出力制御回路の総数よ
りも多い数のパッドドライバセルと、前記各入出力制御
回路と各パッドドライバセルとの間に設けられた配線領
域とを備え、前記配線領域に、前記各入出力制御回路の
入力端および出力端から引き出された配線と、前記各パ
ッドドライバセルの入力端および出力端から引き出され
た配線とを有する半導体素子を含む半導体集積回路の製
造方法において、前記半導体素子の角部における各パッ
ドドライバセルを、パッドドライバセルとリードフレー
ムとの間のリード線の長さが規定値以下になるように選
択し、選択された各パッドドライバセルと入出力制御回
路とを前記配線領域で接続し、選択された各パッドドラ
イバセルとリードフレームとの間にリード線を配線する
ことを特徴とする半導体集積回路の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16613496A JP3565991B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 |
US08/759,882 US5889334A (en) | 1996-06-26 | 1996-12-03 | Semiconductor integrated circuit and fabrication method therefor |
US09/225,504 US6127207A (en) | 1996-06-26 | 1999-01-06 | Semiconductor integrated circuit and fabrication method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16613496A JP3565991B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1012739A true JPH1012739A (ja) | 1998-01-16 |
JP3565991B2 JP3565991B2 (ja) | 2004-09-15 |
Family
ID=15825671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16613496A Expired - Fee Related JP3565991B2 (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5889334A (ja) |
JP (1) | JP3565991B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW442945B (en) * | 1998-11-20 | 2001-06-23 | Sony Computer Entertainment Inc | Integrated circuit chip, integrated circuit device, printed circuit board and electronic machine |
JP2007081220A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路およびそのレイアウト設計方法 |
US20130227809A1 (en) | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade |
US9457768B2 (en) | 2011-04-21 | 2016-10-04 | Pylon Manufacturing Corp. | Vortex damping wiper blade |
US9174609B2 (en) | 2011-04-21 | 2015-11-03 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade with cover |
MX345011B (es) | 2011-07-28 | 2017-01-11 | Pylon Mfg Corp | Adaptador, conector y conjunto de limpiaparabrisas. |
US9108595B2 (en) | 2011-07-29 | 2015-08-18 | Pylon Manufacturing Corporation | Windshield wiper connector |
US20130219649A1 (en) | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade |
US10829092B2 (en) | 2012-09-24 | 2020-11-10 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade with modular mounting base |
US10166951B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-01-01 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper connector |
US9505380B2 (en) | 2014-03-07 | 2016-11-29 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper connector and assembly |
WO2017075066A1 (en) | 2015-10-26 | 2017-05-04 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade |
WO2017201473A1 (en) | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper blade |
US11040705B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-06-22 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper connector |
AU2017268008A1 (en) | 2016-05-19 | 2018-11-22 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper connector |
WO2017201485A1 (en) | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Pylon Manufacturing Corp. | Windshield wiper connector |
CN109311452A (zh) | 2016-05-19 | 2019-02-05 | 电缆塔制造有限公司 | 挡风玻璃雨刮器连接器 |
WO2018081791A1 (en) | 2016-10-31 | 2018-05-03 | Pylon Manufacturing Corp. | Wiper blade with cover |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59145542A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Matsushita Electronics Corp | 大規模集積回路 |
JPH04307943A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-10-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2929784B2 (ja) * | 1991-08-02 | 1999-08-03 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
JP2817533B2 (ja) * | 1991-09-27 | 1998-10-30 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US5977575A (en) * | 1992-04-27 | 1999-11-02 | Seiko Instruments Inc. | Semiconductor sensor device comprised of plural sensor chips connected to function as a unit |
JP3168692B2 (ja) * | 1992-06-05 | 2001-05-21 | 富士電機株式会社 | パワーicの製造方法 |
US5444600A (en) * | 1992-12-03 | 1995-08-22 | Linear Technology Corporation | Lead frame capacitor and capacitively-coupled isolator circuit using the same |
US5512765A (en) * | 1994-02-03 | 1996-04-30 | National Semiconductor Corporation | Extendable circuit architecture |
US5780772A (en) * | 1997-01-24 | 1998-07-14 | National Semiconductor Corporation | Solution to mold wire sweep in fine pitch devices |
-
1996
- 1996-06-26 JP JP16613496A patent/JP3565991B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-03 US US08/759,882 patent/US5889334A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-01-06 US US09/225,504 patent/US6127207A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6127207A (en) | 2000-10-03 |
JP3565991B2 (ja) | 2004-09-15 |
US5889334A (en) | 1999-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3565991B2 (ja) | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 | |
US3968478A (en) | Chip topography for MOS interface circuit | |
EP0278857B1 (en) | Master slice type integrated circuit | |
KR20010012276A (ko) | 인터칩 본딩을 갖는 집적 회로 패키지와 그것을 위한 방법 | |
JPH01289138A (ja) | マスタースライス型半導体集積回路 | |
JP2560805B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH079978B2 (ja) | マスタスライス型半導体集積回路 | |
US5463560A (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
JPS59167049A (ja) | 半導体装置 | |
US6465884B1 (en) | Semiconductor device with variable pin locations | |
KR100211768B1 (ko) | 삼중 금속층을 가지는 반도체 메모리 장치 | |
JP3216931B2 (ja) | バスサイジングを有するマイクロプロセッサ | |
JP2737689B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPS63156423A (ja) | 集積回路部品 | |
JP2006324471A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JPH03227039A (ja) | 半導体集積回路 | |
JP2752262B2 (ja) | 1チップlsiの製造方法 | |
US5583374A (en) | Semiconductor device having a reduced wiring area in and out of data path zone | |
JP2671883B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JP3084740B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH02306650A (ja) | 半導体装置 | |
JP2562406B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2518253B2 (ja) | 半導体集積回路およびその製造方法 | |
JPH01243166A (ja) | 半導体装置 | |
JPH088343A (ja) | 集積回路装置の電源配線 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080618 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080618 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100618 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110618 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110618 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110618 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120618 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120618 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140618 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |