JPH10119300A - プリンタ装置及びその製造方法 - Google Patents

プリンタ装置及びその製造方法

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Publication number
JPH10119300A
JPH10119300A JP27468796A JP27468796A JPH10119300A JP H10119300 A JPH10119300 A JP H10119300A JP 27468796 A JP27468796 A JP 27468796A JP 27468796 A JP27468796 A JP 27468796A JP H10119300 A JPH10119300 A JP H10119300A
Authority
JP
Japan
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pressure chamber
nozzle
organic material
ink
hole
Prior art date
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Application number
JP27468796A
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English (en)
Inventor
Kouichirou Kijima
公一朗 木島
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 長さの長いノズルを精度良好且つ安価に形成
することを可能とし、使用可能なインクの範囲を広げ、
正確な記録画像の形成を可能とする。 【解決手段】 吐出媒体が導入される吐出媒体圧力室と
連通する吐出媒体ノズルを金属よりなる板材と有機材料
膜が積層されるノズル形成部材を貫通し、有機材料膜表
面に臨んで開口するように形成し、板材に形成される部
分の径と有機材料膜に形成される部分の径が略等しくな
るようにする。また、定量媒体が導入される定量媒体圧
力室に連通する定量媒体ノズルを同様にして有しても良
い。そして、板材に形成される部分を例えば電鋳法によ
り形成し、有機材料膜に形成される部分を例えばエキシ
マレーザによるアブレーション加工等のレーザ加工によ
り形成することが好ましい。なお、圧力室もエキシマレ
ーザによるアブレーション加工等のレーザ加工により形
成しても良い。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吐出媒体のみ、ま
たは吐出媒体と定量媒体を混合して吐出するプリンタ装
置及びその製造方法に関する。詳しくはノズルの吐出安
定性を向上させて正確な記録画像を形成するプリンタ装
置及びその製造方法に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、特にオフィス等においてデスクト
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真等のカラーの自然画像
を文字，図形とともに出力するといった要求も増加して
きている。そして、これに伴い、高品位な自然画像をプ
リントすることが要求され、中間調の再現が重要となっ
てきている。
【０００３】また、印刷信号に応じて印刷時に必要な時
だけインク液滴をノズルより吐出して紙，フィルム等の
印刷媒体に印刷する、いわゆるオンデマンド型のプリン
タ装置は、小型化，低コスト化が可能なため、近年急速
に普及しつつある。
【０００４】このようにインク液滴を吐出する方法とし
ては、様々な方法が提案されているが、ピエゾ素子を用
いる方法または発熱素子を用いる方法が一般的である。
前者はピエゾ素子の変形によりインクに圧力を加えて吐
出させる方法である。後者は、発熱素子によりインクを
加熱沸騰させて発生する泡の圧力でインクを吐出させる
方法である。
【０００５】そして、上記のような中間調を上述のイン
ク液滴を吐出するオンデマンド型のプリンタ装置で再現
する方法としては、様々な方法が提案されている。すな
わち、第１の方法としてはピエゾ素子或いは発熱素子に
与える電圧パルスの電圧やパルス幅を変化させて吐出す
る液滴サイズを制御し、印刷ドットの径を可変として階
調を表現するものが挙げられる。
【０００６】しかしながらこの方法によると、ピエゾ素
子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅を下げすぎる
とインクを吐出できなくなるため、最小液滴径に限界が
あり、表現可能な階調段数が少なく、特に低濃度の表現
が困難であり、自然画像をプリントアウトするには不十
分である。
【０００７】また、第２の方法としては、ドット径は変
化させずに１画素を例えば４×４のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法を用いて階調表現を行う方法が挙げられる。なお、こ
の場合には１７階調の表現が可能である。
【０００８】しかしながらこの方法で、例えば第１の方
法と同じドット密度で印刷を行った場合、解像度は第１
の方法の１／４であり、荒さが目立つため、自然画像を
プリントアウトするには不十分である。
【０００９】そこで、本発明者等は、インクを吐出する
際にインクと希釈液を混合することにより、吐出される
インク液滴の濃度を変化させ、印刷されるドットの濃度
を制御することを可能にし、解像度の劣化を発生させる
ことなく自然画像をプリントアウトするプリンタ装置を
提案してきた。
【００１０】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、吐出媒体が導入される吐出媒体ノズルと定量
媒体が導入される定量媒体ノズルを互いに隣合うように
開口して有し、定量媒体ノズルから所定量の定量媒体を
吐出媒体ノズルに向けて滲み出させて当該吐出媒体ノズ
ル開口近傍にて吐出媒体と混合させ、吐出媒体ノズルか
ら吐出媒体を定量媒体と混合されている吐出媒体と共に
押し出して、定量媒体と吐出媒体を定量媒体ノズル及び
吐出媒体ノズルの面内方向に混合吐出するようなプリン
トヘッドが挙げられる。そして、このようなプリンタ装
置においては、インク或いは希釈液の何れかである定量
媒体の量を変化させて、インクと希釈液の混合比率を変
化させることによりドットの濃度を変化させて自然画像
をプリントアウトする。なお、上記定量媒体及び吐出媒
体は、どちらか一方がインクであり、残りの一方が希釈
液であれば良い。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、インク
と希釈液を混合吐出するプリンタ装置においては、画像
データに応じた階調を正確に表現するために、インクと
希釈液の混合比率を正確に制御する必要がある。そし
て、このためには、インクと希釈液の混合が行われない
状態、すなわち待機状態において、インクと希釈液が確
実に分離されている必要がある。もし、待機状態におい
てインクと希釈液が接していると、インクと希釈液がそ
れぞれ導入されるノズルにインク及び希釈液が互いに流
れ込み、次のドットにおけるインクと希釈液の混合比率
に大きく影響し、階調を正確に表現することが不可能と
なり、高解像度の記録画像の形成は難しい。
【００１２】そこで、このようにインクと希釈液を混合
吐出するプリンタ装置においては、少なくとも定量媒体
ノズル開口部と吐出媒体ノズル開口部とに挟まれる領域
に、撥液性をもたせることが望まれる。
【００１３】また、前述のインクのみを吐出するプリン
タ装置においても、吐出媒体ノズルの開口部周辺にイン
クが付着してしまうと、吐出方向の不安定状態をもたら
すこととなり、高解像度の記録画像の形成が難しくなる
ため、ノズル開口部の周辺には、撥液性をもたせること
が望まれる。このことは、上述のインクと希釈液を混合
吐出するプリンタ装置においても同様である。
【００１４】この撥液性を有する材質としては、一般的
にポリテトラフルオルエチレン等が挙げられ、上記のよ
うなプリンタ装置においては、ノズル開口部周辺にこの
ような材質を配するようにしている。
【００１５】ところで、上述したようなプリンタ装置に
おいては、ノズルの形状、特に開口部近傍の形状が吐出
方向に大きな影響を及ぼし、印字品質に多大な影響を及
ぼすことから、ノズルの形成をエキシマレーザによるア
ブレーション加工により行うのが一般的である。
【００１６】しかしながら、上記ポリテトラフルオルエ
チレンは、エキシマレーザによるアブレーション加工を
行うことが不可能である。そこで、このようなポリテト
ラフルオルエチレンを使用する場合には、例えば特開平
６−３２８６９８号公報に示されるごとく、ポリテトラ
フルオルエチレン中にエキシマレーザの波長域の光を吸
収するような材質を分散させたものを使用し、エキシマ
レーザによるアブレーション加工にてノズルを形成する
ようにしている。しかし、上記特開平６−３２８６９８
号公報に示すような方法を用いると、エキシマレーザを
用いた加工性と、撥液性とを両立させることは難しく、
どちらかの性質をある程度犠牲にしなければならないと
いう不都合が生じる。
【００１７】また、上記のようにエキシマレーザによる
アブレーション加工を行う場合においては、エキシマレ
ーザ光をマスクするマスク材料と、ノズル加工を行う被
加工物との位置合わせ精度を高精度に保つ必要あると同
時に、マスク材料は高価であるにもかかわらず、このマ
スク材料には絶えずエキシマレーザ光が照射され、消耗
度が高いので、ランニングコストが高価になってしま
う。
【００１８】この一方、安価にノズルを形成する方法と
して、ステンレス基板上等にドライフィルム等の感光性
物質によりノズルに対応するパターンを予め形成してお
き、その上に例えばニッケル等を電解めっきにより被着
させて、その後、ノズルが形成されたニッケルをステン
レス基板から剥離するという電鋳法が挙げられる。この
ような電鋳法によりノズルを形成する場合においては、
ノズル開口部周辺に撥液性を持たせるために、ニッケル
の電解めっき後に金を続けてめっきする、ニッケルの電
解めっき後にフッ素粒子を含有するニッケルめっきを行
い、ニッケル中にフッ素を含有させた混合物を形成する
ようにしている。
【００１９】ところが、上記電鋳法によれば、安価にノ
ズルを形成することが可能であるものの、この場合、撥
液材料として、金或いはフッ素含有ニッケルの何れを使
用した場合においても、これらのめっき方法が無電界め
っきであるために、厚くめっきを行うとノズル形状が乱
れてしまうという不都合が生じる。
【００２０】さらには、金或いはフッ素含有ニッケルと
もに、表面張力が３５Ｄｙｎｅ／ｃｍ程度であり、十分
な撥液性能を有しておらず、これらの撥液材料を用いる
場合においては、ノズル開口部周辺にインクが付着して
吐出方向の乱れが発生する可能性がある。また、このよ
うな撥液材料を使用する場合においては、インクの表面
張力を３５Ｄｙｎｅ／ｃｍ以上に設定する必要があり、
インクとして、表面張力の大きいものしか使用できな
い。さらには、このようにインクの表面張力を大きくす
ると、インクが充填されている液室内部に気泡が残留す
る可能性が高くなり、吐出安定性を損なうといった、不
都合も生じる。
【００２１】さらにまた、上記のように電鋳法によりノ
ズルを形成すると、当然のことながらノズル部分が、ド
ライフィルム等により形成された形状を反映させて形成
されるため、ドライフィルムの解像度および、現像後の
ドライフィルムの形状のアスペクト比によって、ノズル
の長さに制限が加わってしまうこととなる。
【００２２】電鋳法によりノズルを形成する場合におい
ては、ノズルの長さをドライフィルムの厚さよりも厚く
すると、ノズル形状が乱れてしまうので、ノズルの長さ
はドライフィルムの厚さよりも小さいものとされてい
る。例えば、ノズル直径が３０〜４０μｍ程度であるノ
ズルを形成する場合においては、３０〜４０μｍ程度の
直径を有する柱をドライフィルム等の感光性材料により
形成するが、ドライフィルム等の厚さは、高々３０μｍ
程度の厚さに自ずと制限されてしまう。従って、このド
ライフィルムを使用してノズルを形成すると、ノズルの
長さはせいぜい３０μｍ程度となる。
【００２３】このような理由により、ノズルを電鋳法に
より精度良く形成するには、ノズルの長さをノズルの直
径程度或いはそれ以下とする必要があり、ノズルの長さ
を長くすることができず、ノズルより吐出される液滴の
方向安定性を高めることが容易でなかった。
【００２４】ところで、上記のようなプリンタ装置にお
いては、溶液が充填されている溶液タンクとノズルに連
通される液室とを溶液供給路により接続しており、この
溶液供給路をドライフィルム等の感光性樹脂層を使用し
て形成するようにしている。そして、この感光性樹脂層
をノズルが形成されるノズル形成部材と圧力室が形成さ
れている圧力室形成部材の間に配して、これらの間の接
着も行わせるようにしている。このようにすれば、溶液
供給路をつぶしてしまうことなく、これらの間の接着が
可能である。しかしながら、上記ドライフィルムは比較
的耐薬品性に劣るため、使用可能なインクが制限されて
いた。
【００２５】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、長さの長いノズルも精度良好且つ安
価に形成され、使用可能なインクの範囲が広く、正確な
記録画像が形成されるプリンタ装置及びその製造方法を
提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、吐出媒体が導入される吐出媒体圧力室と
これに連通する吐出媒体ノズルとを少なくとも有し、吐
出媒体ノズルから吐出媒体を吐出するプリントヘッドを
有するプリンタ装置において、吐出媒体ノズルが、金属
よりなる板材と有機材料膜が積層されるノズル形成部材
を貫通し、有機材料膜表面に臨んで開口するように形成
されており、板材に形成される部分の径と有機材料膜に
形成される部分の径が略等しくなるように形成されてい
ることを特徴とするものである。
【００２７】また、本発明のプリンタ装置においては、
定量媒体が導入される定量媒体圧力室を有し、これに連
通する定量媒体ノズルをノズル形成部材を貫通し、有機
材料膜表面に臨んで吐出媒体ノズルと互いに隣合うよう
に開口して有し、定量媒体ノズルから吐出媒体ノズルに
向けて定量媒体を滲み出させた後、吐出媒体ノズルから
吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出す
るものであっても良く、上記定量媒体ノズルが、板材に
形成される部分の径と有機材料膜に形成される部分の径
が略等しくなるように形成されていることを特徴とする
ものである。
【００２８】なお、本発明のプリンタ装置においては、
有機材料膜の厚さが１０μｍ以上であることが好まし
い。この有機材料膜が１０μｍ未満であると撥液性を持
たせることが困難となってしまう。
【００２９】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、有機材料膜がポリイミド系材料よりなることが好ま
しい。
【００３０】さらにまた、このポリイミド系材料が、２
３℃の水中に２４時間浸積した場合の吸水率が０．４％
以下のものである、或いは１８０℃以下で重合形成され
るものであることが好ましい。上記のような吸水特性を
有していれば、十分な撥液性を付与することが可能であ
り、１８０℃以下での重合形成が可能であれば、他の部
分に影響を及ぼすことなく重合形成が可能となる。
【００３１】さらには、上記ポリイミド系材料がポリイ
ミドシロキサンを含む材料であることが好ましい。
【００３２】また、本発明のプリンタ装置においては、
吐出媒体ノズル、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズルを
有する板材が電鋳法により形成されていることが好まし
い。
【００３３】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、吐出媒体ノズル、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズ
ルの有機材料膜に形成される部分がエキシマレーザによ
るアブレーション加工により形成されていることが好ま
しい。
【００３４】さらにまた、本発明のプリンタ装置におい
ては、吐出媒体圧力室、吐出媒体圧力室及び定量媒体圧
力室が圧力室形成部材に形成されており、この圧力室形
成部材とノズル形成部材間が熱可塑性の接着剤層により
接着されており、この接着剤層に吐出媒体圧力室、吐出
媒体圧力室及び定量媒体圧力室に連通する貫通孔が形成
されていることが好ましい。
【００３５】なお、この場合、接着剤層の貫通孔がエキ
シマレーザによるアブレーション加工により形成されて
いることが好ましい。
【００３６】さらには、上記接着剤層がポリイミド系材
料よりなること、接着剤層のガラス転移点が２５０℃以
下であることが好ましい。
【００３７】また、本発明のプリンタ装置においては、
吐出媒体圧力室が、吐出媒体ノズルの板材に形成される
部分の径よりも大径を有して有機材料よりなる圧力室形
成部材に形成されていても良い。
【００３８】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室が、吐出媒体ノ
ズル及び定量媒体ノズルの板材に形成される部分の径よ
りも大径を有して有機材料よりなる圧力室形成部材にそ
れぞれ形成されていても良い。
【００３９】これら本発明のプリンタ装置においては、
吐出媒体圧力室、吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室が
圧力室形成部材にエキシマレーザによるアブレーション
加工を行って形成されていることが好ましい。
【００４０】さらに、これら本発明のプリンタ装置にお
いては、圧力室形成部材がポリイミド系材料よりなるこ
とが好ましい。
【００４１】さらにまた、これら本発明のプリンタ装置
においては、圧力室形成部材の少なくとも一部が熱可塑
性の有機材料よりなることが好ましい。
【００４２】また、これら本発明のプリンタ装置におい
ては、圧力室形成部材を形成する有機材料のガラス転移
点が２５０℃以下であることが好ましい。
【００４３】さらに、これら本発明のプリンタ装置にお
いては、圧力室形成部材の厚さが１５μｍ以上であるこ
とが好ましい。
【００４４】本発明のプリンタ装置の製造方法として
は、所定の位置にノズルを形成する第１の貫通孔を有
し、金属よりなる板材を形成する工程と、この板材のノ
ズルが開口して相対向する主面のうちの一方の主面側に
有機材料膜を形成する工程と、板材の有機材料膜が形成
されていない主面側からレーザ光を照射し、板材の第１
の貫通孔を介して有機材料膜中の第１の貫通孔に対応す
る部分のみにレーザ光を照射して有機材料膜に板材の第
１の貫通孔と略同径の第２の貫通孔を形成して、これら
第１の貫通孔及び第２の貫通孔によりノズルを形成し、
ノズル形成部材を形成する工程を有することを特徴とす
るものが挙げられる。
【００４５】なお、上記本発明のプリンタ装置の製造方
法においては、板材の有機材料膜が形成されない主面側
に、第１の貫通孔に対応する位置に圧力室を形成する第
３の貫通孔を有する圧力室形成部材を接着層により接着
した後、この圧力室形成部材側からレーザ光を照射し、
第３の貫通孔を介して接着層中の第３の貫通孔に対応す
る部分に第４の貫通孔を形成するとともに、第１の貫通
孔と略同径の第２の貫通孔を形成するようにしても良
い。
【００４６】また、本発明のプリンタ装置の製造方法と
しては、所定の位置にノズルを形成する第１の貫通孔を
有し、金属よりなる板材を形成する工程と、この板材の
ノズルが開口して相対向する主面のうちの一方の主面側
に第１の有機材料膜を形成する工程と、第１の有機材料
膜が形成される面とは反対側の主面に第２の有機材料膜
を形成する工程と、第２の有機材料膜側から所定形状の
マスクを介してレーザ光を照射し、第２の有機材料膜に
マスクの形状に応じた形状で第１の貫通孔に連通して圧
力室を形成する第３の貫通孔を形成して圧力室形成部材
を形成するとともに、板材の第１の貫通孔を介して第１
の有機材料膜中の第１の貫通孔に対応する部分のみにレ
ーザ光を照射して第１の有機材料膜に板材の第１の貫通
孔と略同径の第２の貫通孔を形成して、これら第１の貫
通孔及び第２の貫通孔によりノズルを形成し、ノズル形
成部材を形成する工程を有することを特徴とするものも
挙げられる。
【００４７】なお、これら本発明のプリンタ装置の製造
方法においては、板材を電鋳により形成することが好ま
しい。
【００４８】さらに、これら本発明のプリンタ装置の製
造方法においては、レーザ光がエキシマレーザであるこ
とが好ましい。
【００４９】本発明のプリンタ装置においては、吐出媒
体ノズル、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズルが、金属
よりなる板材と有機材料膜が積層されるノズル形成部材
を貫通し、有機材料膜表面に臨んで開口するように形成
されており、板材に形成される部分の径と有機材料膜に
形成される部分の径が略等しくなるように形成されてお
り、これを製造する際には、例えば先ず電鋳法によりノ
ズルの一部である第１の貫通孔を有する板材を形成し、
その後、この板材上に有機材料膜を形成して上記板材を
マスク材としてレーザ光を照射し、有機材料膜の第１の
貫通孔に対応する部分のみを除去して第１の貫通孔と略
同等の径を有する第２の貫通孔を形成し、これら第１及
び第２の貫通孔により各ノズルを形成するようにしてい
る。
【００５０】従って、ノズルの大部分を電鋳法により形
成していることから、安価に製造が行われ、残りの部分
を例えばエキシマレーザ等のレーザ光を使用した加工に
より形成するようにしていることから、先端部分が正確
な形状で形成され、且つ有機材料膜の厚さを厚くすれば
長さの長いノズルが精度良好に形成される。さらに、こ
のとき、板材をマスク材として使用していることから、
ノズル加工時に高価なマスク材を使用する必要がなくな
り、製造工程が簡素化され、製造コストが低減される。
さらにまた、マスク材を使用する必要がないことから、
マスク材の位置合わせが不要となり、位置合わせに起因
する製造不良が抑えられ、製造歩留まりが向上する。
【００５１】また、有機材料膜としてポリイミド系材料
を使用すれば撥液性を損なうこと無く、エキシマレーザ
加工性が確保され、特に２３℃の水中に２４時間浸積し
た場合の吸水率が０．４％以下のものを使用すれば十分
な撥液性が確保され、使用可能なインクの範囲が広が
る。さらには、上記ポリイミド系材料として、１８０℃
以下で重合形成されるものを使用すれば他の部分に影響
を及ぼすことなく製造が行われる。
【００５２】さらに、本発明のプリンタ装置において、
吐出媒体圧力室、吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室
が、吐出媒体ノズル、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズ
ルの板材に形成される部分の径よりも大径を有して有機
材料よりなる圧力室形成部材に形成され、これら吐出媒
体圧力室及び定量媒体圧力室をエキシマレーザによるア
ブレーション加工を行って形成するようにすれば、圧力
室形成部材とノズル形成部材間をドライフィルム等によ
り接着する必要がなくなる。従って、圧力室形成部材に
圧力室とともに溶液供給路も形成するようにすれば良
く、耐薬品性に劣るドライフィルムにインクが接触する
ことがなくなり、使用可能なインクの範囲が広がる。
【００５３】なお、このようなプリンタ装置を製造する
場合には、ノズルの一部である第１の貫通孔を有する板
材の相対向する主面に第１の有機材料膜及び第２の有機
材料膜をそれぞれ形成し、第２の有機材料膜上に圧力室
や溶液供給路を形成するためのマスク材を配してこの第
２の有機材料膜側からレーザ光を照射すれば、第１の貫
通孔に連通して圧力室を形成する第３の貫通孔が形成さ
れて圧力室形成部材が形成されるとともに、板材の第１
の貫通孔を介して第１の有機材料膜中の第１の貫通孔に
対応する部分のみにレーザ光が照射されて第１の有機材
料膜に板材の第１の貫通孔と略同径の第２の貫通孔が形
成されて、これら第１の貫通孔及び第２の貫通孔により
ノズルが形成され、容易に製造が行われる。
【００５４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した具体的な
実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明す
る。
【００５５】本発明のプリンタ装置は、いわゆるシリア
ル型のプリンタ装置であり、図１に示すように、被印刷
物であるプリント紙１が支持されるドラム２と、本発明
のプリンタ装置を構成し、上記プリント紙１に記録を行
うプリントヘッド部３により主に構成されるものであ
る。
【００５６】このとき、上記プリント紙１は、ドラム２
の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ４により、ド
ラム２に圧着保持されている。また、上記ドラム２の外
周近傍には、送りネジ５がドラム２の軸方向に平行に設
けられている。そして、この送りネジ５には、プリント
ヘッド部３が保持されている。すなわち、かかるプリン
トヘッド部３は、送りネジ５の回転によって、図中矢印
Ｍで示すようにドラム２の軸方向に移動するようになっ
ている。
【００５７】一方、ドラム２は、プーリ６、ベルト７、
プーリ８を介してモータ９により図中矢印ｍで示すよう
に回転駆動される。さらに、送りネジ５及びモータ９の
回転とプリントヘッド部３は、ヘッドドライブ，ヘッド
送り制御，ドラム回転制御１０により印画データ及び制
御信号１１に基づいて駆動制御される。
【００５８】上記の構成においては、プリントヘッド部
３が移動して１行分の印字を行うと、ドラム２を１行分
だけ回転させて次の印字を行う。ヘッド３が移動し、印
画する場合は、一方向の場合と往復方向の場合とがあ
る。
【００５９】このようなプリンタ装置における印字及び
制御系のブロック図を図２に示す。上記プリンタ装置は
図２中に示す制御部２０によって制御されている。この
制御部２０は信号処理制御回路２２、ドライバ２３、メ
モリ２５、各種制御モータ駆動その他２７及び補正回路
２６によって構成されている。信号処理制御回路２２は
ＣＰＵ又はＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐ
ｒｏｃｅｓｓｏｒ）構成でなる。
【００６０】そして、印字データ、操作部信号及び外部
制御信号などの信号入力２１は、制御部２０の信号処理
制御回路２２に入力され、この信号処理制御回路２２に
おいて印字順番に揃えられて、ドライバ２３を介して吐
出信号とともにヘッド２４に送られ、ヘッド２４を駆動
制御する。印字順番は、ヘッド２４や印字部の構成で異
なり、また印字データの入力順番との関係もあり、必要
に応じてラインバッファメモリや１画面メモリなどのメ
モリ２５に一旦記録してから取り出す。
【００６１】なお、マルチヘッドでノズル数が非常に多
い場合には、ヘッド２４にＩＣを搭載してヘッド２４に
接続する配線数を減らすようにする。また、信号処理制
御回路２２には、補正２６が接続されており、γ補正、
カラーの場合の色補正、各ヘッドのばらつき補正などを
行う。補正２６には、予め決められた補正データをＲＯ
Ｍ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ）マップ形式で
格納しておき、外部条件、例えばノズル番号、温度、入
力信号などに応じて取り出すようにするのが一般的であ
る。
【００６２】信号処理制御回路２２は、前述のようにＣ
ＰＵやＤＳＰ構成としてソフトウエアで処理するのが一
般的であり、処理された信号は各種制御モータ駆動その
他２７に送られる。各種制御モータ駆動その他２７で
は、ドラム及び送りネジを回転駆動するモータの駆動、
同期、ヘッドのクリーニング、プリント紙の供給、排出
などの制御を行う。また、信号には、印字データ以外の
操作部信号や外部制御信号が含まれることは言うまでも
ない。
【００６３】次に、本例のプリンタ装置を構成するプリ
ントヘッドについて説明する。なお、ここではインクジ
ェット方式のプリントヘッドについて述べる。このプリ
ントヘッドは、図３に示すように、圧力室形成部材３
１、振動板３２、積層型ピエゾ素子３３、ノズル形成部
材３４により主に構成されるものである。
【００６４】上記圧力室形成部材３１は、例えば厚さ略
０．２ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良
い。そして、上記圧力室形成部材３１には吐出媒体バッ
ファタンク（以下、インクバッファタンクと称する。）
を構成する貫通部３５と、吐出媒体圧力室（以下、イン
ク圧力室と称する。）を構成して一主面３１ａに臨んで
開口する第１の凹部３６、吐出媒体供給路（以下、イン
ク供給路と称する。）を構成して一主面３１ａと相対向
する主面３１ｂに臨んで開口し、貫通孔部３５と第１の
凹部３６の底面の端部間を接続するように形成される第
２の凹部３７、吐出媒体導入口（以下、インク導入口と
称する。）を構成して主面３１ｂに臨んで開口し、第１
の凹部３６の他端部と接続される第３の凹部３８が形成
されている。
【００６５】そして、本例のプリントヘッドにおいて
は、上記圧力室形成部材３１の一主面３１ａ側に振動板
３２を配し、相対向する主面３１ｂ側にノズル形成部材
３４（以下、オリフィスプレート３４と称する。）を配
して、圧力室形成部材３１を振動板３２とオリフィスプ
レート３４により厚さ方向に挟み込んでいる。なお、上
記振動板３２は、ニッケル等により形成すれば良く、例
えばエポキシ系の接着剤等により圧力室形成部材３１に
対して接着するようにすれば良い。上記振動板３２にお
いては、インクバッファタンクとなる貫通孔３５に対応
する位置にこれよりも小径のインク供給口３９が形成さ
れている。
【００６６】また、一方のオリフィスプレート３４は、
本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、金属
よりなる板材４０と有機材料膜４１の積層構造となされ
ている。
【００６７】上記板材４０は、例えばニッケルを主成分
とし、３０μｍ程度の厚さを有し、例えば電鋳法により
形成されている。また、一方の有機材料膜４１は、レー
ザ加工性に優れ、かつ、撥液性を有する材料により形成
されることが望ましい。さらに、有機材料膜４１の材質
は、撥液性を有するポリイミド系材料よりなることが好
ましく、さらには１８０℃以下の加熱により重合形成さ
れることが好ましく、さらにまた、ポリイミドシロキサ
ンを含む材料であることが好ましい。また、このポリイ
ミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒素と結合す
る芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換されて
おり、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３重量％〜２
５重量％であることが好ましい。
【００６８】そして、このようなポリイミド系材料とし
ては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム
ＵＰＡ−８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１０
０Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品
名）等が挙げられる。これら有機材料膜を使用すれば、
有機材料膜の表面張力を３１Ｄｙｎｅ／ｃｍ以下とする
ことができる。
【００６９】上記オリフィスプレート３４には、インク
導入口を形成する第３の凹部３８に対応する位置に、吐
出媒体であるインクを吐出するための吐出媒体ノズル４
２（以下、インクノズル４２と称する。）が形成されて
いる。このインクノズル４２は断面形状が例えば円形の
所定径を有する貫通孔として形成されている。
【００７０】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート３４の板材４０を
電鋳法により形成するようにし、インクノズル４２のう
ち板材４０に形成されている第１の貫通孔４２ａを電鋳
法により形成するようにしている。さらに、本例のプリ
ンタ装置のプリントヘッドにおいては、インクノズル４
２のうち有機材料膜４１に形成されている第２の貫通孔
４２ｂを例えばエキシマレーザによるアブレーション加
工といったレーザ加工により形成するようにしている。
【００７１】すなわち、第２の貫通孔４２ｂは、板材４
０をマスク材として使用し、板材４０側からレーザ光を
照射して有機材料膜４１中の第１の貫通孔４２ａに対応
する部分のみにレーザ光を照射して加工を行い、有機材
料膜４１に第１の貫通孔４２ａと略同径の第２の貫通孔
４２ｂを形成し、これら第１の貫通孔４２ａ、第２の貫
通孔４２ｂによりインクノズル４２を形成するようにし
ている。
【００７２】したがって、オリフィスプレート３４に形
成されているインクノズル４２は、板材４０と有機材料
膜４１とにおいて、境目無く連続した形状にて正確な形
状で形成されている。
【００７３】また、有機材料膜４１をレーザ加工性に優
れた材料、とりわけレーザ光としてエキシマレーザ光を
用いた場合において加工性に優れた材料により形成して
いるので、効率よくノズル加工を行うことが可能であ
る。
【００７４】さらに、板材４０の厚さを厚くしてインク
ノズル４２の長さを長くすることは困難であるが、有機
材料膜４１の厚さを厚くしてインクノズル４２の長さを
長くすることは容易であり、この場合にも正確な形状で
インクノズルが形成される。
【００７５】ここで、インク導入口を形成する第３の凹
部３８はインクノズル４２よりも大径を有するように形
成されている。
【００７６】すなわち、圧力室形成部材３１を振動板３
２とオリフィスプレート３４により厚さ方向に挟み込む
ことによって、貫通孔部３５、第１の凹部３６、第２の
凹部３７、第３の凹部３８が接続されることにより形成
される空洞部が振動板３２とオリフィスプレート３４に
より塞がれて、圧力室形成部材３１の振動板３２側から
オリフィスプレート３４側に向かって厚さ方向に形成さ
れるインクバッファタンク４３、これと接続され圧力室
形成部材３１の面内方向に形成されるインク供給路４４
と、これに接続され振動板３２側に形成されるインク圧
力室４５、上記インク圧力室４５に接続され、オリフィ
スプレート３４側に開口するインク導入口４６が連続し
て形成されることとなる。そして、前述のように振動板
３２にはインク供給口３９が形成され、オリフィスプレ
ート３４にはインクノズル４２が形成されていることか
ら、インク供給口３９、インクバッファタンク４３、イ
ンク供給路４４、インク圧力室４５、インク導入口４
６、インクノズル４２の順にインクが流れることとな
る。
【００７７】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板３２の圧力室形成部材３１と接着される面とは反
対側の一主面３２ａのインク圧力室４５に対応する位置
に突起部４９が形成されており、この突起部４９を介し
て積層型ピエゾ素子３３が載置されている。なお、上記
積層型ピエゾ素子３３としては、圧電部材と導電部材と
が交互に積層されてなるものが挙げられる。このとき、
圧電部材と導電部材との積層数は何層であっても良い。
【００７８】この突起部４９はインク圧力室４５の平面
の面積及び積層型ピエゾ素子３３の平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板３
２の一主面３２ａのインク供給口３９に対応する位置に
は図示しないインクタンクに接続されるインク供給管５
０が接続されている。
【００７９】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図４に模式的に示すように、プリント
ヘッド中のインクバッファタンク４３は、管状の部材と
なされており、このインクバッファタンク４３の長手方
向に複数の上述したようなプリントヘッドが所定の間隔
を有して平行に配列されて、インクバッファタンク４３
は各プリントヘッドの共通のインク配給管となされてい
る。そして、これらプリントヘッドにおいては、インク
バッファタンク４３に対してインク供給路４４が直交す
るように接続している。このため、各プリントヘッドの
インクノズル４２は１つの面上に開口することとなる。
すなわち、インクは図示しないインクタンクからインク
バッファタンク４３に供給され、ここから各プリントヘ
ッドのインク供給路４４に供給されることとなる。
【００８０】本例のプリンタ装置のプリントヘッドによ
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子３３においては、駆動電圧が印加
されると、図３中矢印Ｍ1 で示す方向とは逆の方向に直
線的に変位する性質を有するため、これに接着されてい
る突起部４９を中心に振動板３２を持ち上げることとな
り、図５に示すようにインク圧力室４５の体積が増大す
ることとなる。
【００８１】またこの積層型ピエゾ素子３３は駆動電圧
が解放されると、図５中に矢印Ｍ1で示す方向に直線的
に変位する性質を有するため、これに接着されている突
起部４９を介して振動板３２を押圧して湾曲させてイン
ク圧力室４５の体積を減少させてインク圧力室４５内の
圧力を上昇させることとなる。このとき、突起部４９
は、その平面面積が積層型ピエゾ素子３３の平面面積よ
りも小さくなるようになされているので、積層型ピエゾ
素子３３の変位を振動板３２のインク圧力室４５に対応
する位置に集中的に伝達することが可能である。
【００８２】従って、このプリンタ装置のプリントヘッ
ドにより印刷を行う場合には、先ず、積層型ピエゾ素子
３３に所定の駆動電圧を印加する。すると、前述のよう
に積層型ピエゾ素子は図５中矢印Ｍ1 で示す方向とは反
対の方向に変位し、インク圧力室４５の体積が増加す
る。その結果、インクノズル４２の先端に形成されてい
る図示しないインクのメニスカスは、一旦インク圧力室
４５側に後退した後、積層型ピエゾ素子３３の変位が収
まると表面張力との釣り合いによつてインクノズル４２
の先端近傍で安定し、インク吐出の待機状態となる。
【００８３】続いて、積層型ピエゾ素子３３に印加され
ている駆動電圧が解放されると、積層型ピエゾ素子３３
は元の形状に戻ろうとして図５中矢印Ｍ1 で示す方向に
変位する。その結果、インク圧力室４５は元の大きさに
戻ろうとし、インク圧力室４５内の圧力が上昇するた
め、インクノズル４２からインクが吐出され、これを被
記録材に被着させて印刷を行う。このとき、積層型ピエ
ゾ素子３３に印加される駆動電圧の時間変化は、インク
ノズル４２からインクを吐出し得るように設定されてい
る。
【００８４】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、オリフィスプレート３４のノズル開口面側に撥
液性を有する有機材料膜４１が形成されていることか
ら、インクノズル４２の開口部周辺には、金或いはフッ
素含有ニッケルめっきと比較して、十分な撥液性を有す
る有機材料膜４１が形成されていることとなり、ノズル
開口部周辺にインク付着などが発生する可能性が低く、
吐出方向安定性に優れ、正確な記録画像が形成される。
【００８５】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、有機材料膜４１を厚くしてインクノズル
４２のレーザ加工により形成される第２の貫通孔４２ｂ
部分の長さを長くしてインクノズル４２の長さを長くす
ることが容易であり、吐出方向精度を高めることも可能
であり、正確な記録画像が形成される。
【００８６】特に、従来の電鋳法のみにより形成された
金属よりなるオリフィスプレートに形成されるノズルの
長さがせいぜい２５μｍ程度であった場合と比較して、
有機材料膜の厚さを１０μｍ以上とすることにより、吐
出に有効なノズル長さを３５μｍ以上とすることが容易
となり、その結果ノズル長さは、アスペクト比におい
て、４０％以上大きくすることが容易となり、吐出方向
安定性の効果が顕著に得られることとなる。
【００８７】続いて本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、圧力室形成部材を
製造する。すなわち、図６に示すように、厚さが略０．
２ｍｍのステンレス部材６１の一主面６１ａに例えば感
光性ドライフイルムや液体レジスト材料などのレジスト
を塗布した後、インクバッファタンクを形成するための
貫通孔とインク圧力室を形成するための凹部の形成位置
に応じた部分をエッチング可能なパターンを有するマス
クを用いてパターン露光し、レジスト６２を形成する。
【００８８】また、このステンレス部材６１の一主面６
１ａに相対向する主面６１ｂにも同様にしてインク供給
路を形成するための凹部、インク導入口を形成するため
の凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパタ
ーンを有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト
６３を形成する。
【００８９】続いて、上記ステンレス部材６１をレジス
ト６２，６３をマスクとして、例えば塩化第２鉄水溶液
等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチングを行
う。その結果、図７に示すように、インクバッファタン
クを形成し、一主面６１ａからこれと相対向する主面６
１ｂに貫通する貫通孔３５、インク圧力室を形成し、一
主面６１ａに臨んで開口する第１の凹部３６、貫通孔３
５の側面と第１の凹部３６の底面を接続してインク供給
路を形成し、一主面６１ｂに臨んで開口する第２の凹部
３７、インク導入口を形成し、第１の凹部３６の底面か
ら一主面６１ｂに臨んで開口する第３の凹部３８が形成
される。
【００９０】続いてレジスト６２，６３を除去する。レ
ジスト６２，６３としてドライフィルムレジストを使用
した場合には、例えば５％以下の水酸化ナトリウム水溶
液を用いれば良く、レジスト６２，６３として液体レジ
スト材料を用いた場合には、例えば専用アルカリ溶液を
用いれば良い。その結果、図８に示すように、貫通孔３
５、第１の凹部３６、第２の凹部３７、第３の凹部３８
が形成される圧力室形成部材３１が形成される。
【００９１】続いて、オリフィスプレートの製造を行
う。すなわち、図９に示すように、電鋳時のベースとな
り、製造されるオリフィスプレートよりも大きいステン
レスプレート７１を用意し、その一方の主面７１ａ上
に、例えばプリント基板のめっき工程に使用されるめっ
き用ドライフィルムなどの感光性材料を用いて、オリフ
ィスプレートのインクノズルあるいは外形などの形状に
対応したパターン７２を形成する。
【００９２】続いて、図１０に示すように、上記パター
ン７２の形成されたステンレスプレート７１を電解ニッ
ケルめっき浴に浸して、めっきを行い、めっき膜７３を
形成する。なおこのとき、めっき膜７３の厚さは、ドラ
イフィルムにより形成したパターン７２の厚さよりも薄
くする必要がある。これは、前述のように、インクノズ
ルを形成する第１の貫通孔はこのパターン７２の形状に
応じて形成されるが、その長さをパターン７２の高さよ
りも厚くすると正確な形状で形成することが困難となる
ためであり、パターン７２の高さより短く形成すること
で、形状の乱れを生じることなく、第１の貫通孔を有す
るめっき膜７３を形成することが可能となる。
【００９３】例えば、ドライフィルムを用いたパターン
７２の厚さとして３０μｍを選択した場合においては、
めっき膜７３の厚さを２５μｍ程度とすることにより、
ノズル径３５μｍ程度の第１の貫通孔を有するめっき膜
７３をノズル形状の乱れなく形成することができる。
【００９４】続いて、めっき膜７３をステンレスプレー
ト７１より剥離し、洗浄し、図１１に示すような第１の
貫通孔４２ａを有する板材４０を形成する。このとき、
洗浄は、専用ドライフィルム剥離液或いは水酸化ナトリ
ウム水溶液を用いて行うことが可能である。
【００９５】次に、図１２に示すように、板材４０の第
１の貫通孔４２ａが開口し、相対向する主面のうちの一
方の主面４０ａ上に撥液性を有する有機材料膜４１を形
成する。
【００９６】この有機材料膜４１は、レーザ加工性に優
れ、かつ、撥水性を有していることが望ましい。この有
機材料膜４１を形成する材料としては、例えば撥液性を
有するポリイミド系材料が挙げられ、１８０℃以下の加
熱により重合形成される材料が好ましく挙げられ、さら
にはポリイミドシロキサンが好ましく挙げられる。この
ポリイミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒素と
結合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換
されており、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３重量
％〜２５重量％であることが好ましい。
【００９７】このようなポリイミド系材料としては、宇
部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−
８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１００Ｌ（商
品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）等が挙
げられ、図１２においては、例えば、形成後の膜厚が３
０μｍ程度となるフィルム形状とされた宇部興産株式会
社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商
品名）を熱ラミネートする事により貼り合わせる工程を
示すこととする。
【００９８】そして、上述した有機材料を用いた場合に
おいてそれぞれ推奨の硬化条件により、有機材料膜４１
の硬化処理を行う。例えば、有機材料膜４１として、宇
部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−
８３２２（商品名）を用いた場合においては最高温度１
６０℃の処理を行うことにより、耐薬品性に優れた撥液
性を有する有機材料フィルムを形成することができる。
そして、熱処理の最高温度が１８０℃以下の低い温度の
材料を用いることにより、板材４０の劣化の発生、およ
び熱膨張率の違いによるそりの発生を低く抑えることが
できることとなる。
【００９９】なお、上記有機材料膜４１は、図１０に示
しためっき工程において、ステンレスプレート７１と対
向する側の面（ステンレスプレート７１が配される面と
反対側の面）に形成することが望ましい。これは、ステ
ンレスプレート７１と対向する主面の方が他の主面と比
較して表面荒さが荒いために、有機材料膜４１との密着
性の向上が得られやすいこと、そしてノズルに対応する
ドライフィルムよりなるパターン７２の形状が、若干で
はあるが、ステンレスプレート７１と対向しない側の主
面からステンレスプレート７１と対向する側の主面に向
かって細くなるテーパー形状を有しているために、プリ
ンタ装置のプリントヘッドとしての吐出方向安定性に優
れた特性が得られやすいためである。
【０１００】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材４０の有機材料膜４１が形成されていない側の主面
より、エキシマレーザ光を板材４０に対して垂直に照射
する。すると、板材４０がマスク材として機能するた
め、有機材料膜４１の板材４０に形成される孔部に対応
する部分、すなわち第１の貫通孔４２ａに対応する部分
にのみエキシマレーザ光が到達する。その結果、図１３
に示すように、有機材料膜４１に第１の貫通孔４２ａに
連続して形成され、これと略同径の第２の貫通孔４２ｂ
が形成され、第１及び第２の貫通孔４２ａ，４２ｂによ
りインクノズル４２が形成されるとともに、板材４０と
有機材料膜４１が積層されたオリフィスプレート３４が
形成される。
【０１０１】なお、上記のエキシマレーザによるアブレ
ーション加工においては、第１の貫通孔４２ａ内に入り
込んだ有機材料膜４１を容易に除去することができ、板
材４０に形成される第１の貫通孔４２ａと有機材料膜４
１に形成される第２の貫通孔４２ｂ間に段差を生じるこ
とがなく、なめらかに連続した形状のインクノズルが形
成される。
【０１０２】さらに、この工程においては、板材４０を
有機材料膜のアブレーション加工のマスク材料として使
用しているので、エキシマレーザ加工装置の光学系に配
置するノズル形状に対応した投影マスクを用いる必要が
ないので、加工時の位置合わせ精度を大幅に緩和するこ
とが可能となり、位置合わせに起因する製造不良が抑え
られ、製造歩留まりが向上し、生産性が向上する。さら
には、ノズル形成の際にエキシマレーザ加工装置の光学
系に配置する高価な投影マスクを用いないので、製造工
程が簡素化され、必要とされるマスク材が減るためにラ
ンニングコストが低減され、製造コストが低減される。
【０１０３】また、本例のオリフィスプレート３４を製
造する工程においては、インクノズル４２の大部分を電
鋳法により形成しており、安価に製造が行われ、残りの
部分を例えばエキシマレーザ等のレーザ光を使用した加
工により形成するようにしていることから、先端部分が
正確な形状で形成され、且つ有機材料膜４１の厚さを厚
くすれば長さの長いインクノズル４２が精度良好に形成
される。
【０１０４】なお、上述の例においては、有機材料膜４
１をフィルム形状とされた宇部興産株式会社製のポリイ
ミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商品名）により
形成する例について述べたが、有機材料膜４１は、その
原材料としての形状が液状である、ユピコートＦＳ−１
００Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品
名）を用いても形成可能であり、めっき膜７３のめっき
が終了して、ステンレスプレート７１より剥離する前の
状態であれば、形成することができる。
【０１０５】さらに、有機材料膜４１を、その原材料と
しての形状が液状である、ユピコートＦＳ−１００Ｌ
（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）を
用いて形成する場合に、板材４０をステンレスプレート
７１から剥離した後の状態において塗布を行い、これら
液体が板材４０の第１の貫通孔４２ａにまわり込んだと
しても、エキシマレーザの照射により、板材４０に形成
された第１の貫通孔４２ａ内に存在する有機材料は除去
されることとなるので、ノズルの形状の乱れを容易に防
ぐことが可能である。
【０１０６】次に、図１４に示すように、これまでの工
程で形成された圧力室形成部材３１とオリフィスプレー
ト３４とを例えばエポキシ接着剤等の図示しない接着剤
層を用いて接着する。なお、この接着工程においては、
圧力室形成部材３１に形成されたインク導入口を形成す
る第３の凹部３８と、オリフィスプレート３４に形成さ
れたインクノズル４２とが連通するように位置合わせを
行う。
【０１０７】さらに、接着剤としては、圧力室形成部材
３１に形成されるインク供給路を形成する第２の凹部３
７及びインクバッファタンクを形成する貫通孔３５が埋
まらないようなものを選択する。
【０１０８】続いて、図１５に示すように、圧力室形成
部材３１のオリフィスプレート３４が接着されない側の
主面３１ａに、例えばエポキシ系の接着剤等の図示しな
い接着剤層を用いて、予め所定の位置に突起部４９が形
成されている振動板３２を接着する。この場合、インク
供給路を形成する第２の凹部３７は反対側の面である主
面３１ｂに臨んで開口するようになされているため、振
動板３２の接着工程において、この第２の凹部３７が接
着剤によつて塞がれることを未然に防止できる。従っ
て、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、
接着剤による目詰まりに起因するインク供給路の流路抵
抗の上昇を回避することができる。
【０１０９】またインク供給路が主面３１ｂ側に形成さ
れるので、圧力室形成部材３１に振動板３２を接着する
際に用いる接着剤の選択範囲が制約され難い。
【０１１０】さらに振動板３２と圧力室形成部材３１を
接着する際には、振動板３２のインク供給口３９とイン
クバッファタンクを形成する貫通孔３５の位置合わせ
と、突起部４９とインク圧力室を形成する第１の凹部３
６の位置合わせだけを考慮すればよく、振動板３２の接
着工程は簡便に行われる。
【０１１１】そして、このように振動板３２を接着して
圧力室形成部材３１を振動板３２とオリフィスプレート
３４により挟み込むと、圧力室形成部材３１の貫通孔３
５によりインクバッファタンク４３が形成され、第２の
凹部３７によりインク供給路４４が形成され、第１の凹
部３６によりインク圧力室４５が形成され、第３の凹部
３８によりインク導入口４６が形成されることとなる。
【０１１２】この後、振動板３２上の突起部４９上に積
層型ピエゾ素子を配し、インク供給口３９と接続される
ようにインク供給管５０を配して図３に示したような本
例のプリンタ装置のプリントヘッドを完成する。
【０１１３】ところで、上述の製造方法においては、圧
力室形成部材３１とオリフィスプレート３４の接着工程
において、インクバッファタンク４３を形成する貫通孔
３５、インク供給路４４を形成する第２の凹部３７を埋
めてしまうことのないようなエポキシ接着剤を選定する
必要があったが、以下に示すような方法により製造を行
えば、上記のような不都合を容易に回避することができ
る。
【０１１４】すなわち、先に図１１に示した板材４０の
形成工程の後、図１６に示すように、板材４０の一主面
４０ａに有機材料膜４１を形成するとともに、これと反
対側の主面４０ｂには、レーザ加工によりアブレーショ
ン加工を行うことのできる熱可塑性の接着剤層６４を形
成する。
【０１１５】この接着剤層６４の形成方法は、板材４０
の一主面４０ｂ側に、液体状態のまま塗布してその後の
熱処理により熱可塑性の接着材料とする方法、または既
にフィルム状態とされた熱可塑性の接着材料を配置する
方法等が挙げられる。また、これら熱可塑性の材料とし
ては、たとえば、三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポ
リイミド材料 ネオフレックス（商品名）等が挙げられ
る。さらに、熱可塑性材料がフィルム形状である場合に
は、フィルム全体が熱可塑性材料である必要はなく、そ
の場合フィルムの両面の接着面となる表面に熱可塑性材
料が形成されていればよい。
【０１１６】次に、図１７に示すように、有機材料膜４
１と接着剤層６４の形成された板材４０を図８に示され
るような圧力室形成部材３１に接着剤層６４を用いて接
着する。
【０１１７】なお、この接着工程においては、圧力室形
成部材３１に形成されたインク導入口を形成する第３の
凹部３８と、板材４０のインクノズルを形成する第１の
貫通孔４２ａを後工程で連通させることが可能なように
位置合わせを行う。
【０１１８】なお、接着剤層６４を前述の三井東圧化学
株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス
（商品名）により形成した場合においては、２３０℃程
度のプレス温度において２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度
の圧力を与えることにより接着が可能である。これによ
り、圧力室形成部材３１と板材４０と有機材料膜４１よ
りなるオリフィスプレートとの接着強度を高めることが
できると共に効率良く接着することができる。
【０１１９】さらに液体状態でない接着剤を用いている
ので、接着剤がインク供給路を構成する第２の凹部３７
等を塞ぐことを防止することも可能である。
【０１２０】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
圧力室形成部材３１側からノズル形成部分に対してレー
ザ光を垂直に照射する。すると、圧力室形成部材３１が
マスク材として機能し、図１８に示すようにインク導入
口を構成する第３の凹部３８に対応する部分の接着剤層
６４の加工が行われてこの部分が除去されて貫通孔６５
が形成され、その下層側の板材４０の第１の貫通孔４２
ａが露呈する。さらに、上記加工が終了すると、板材４
０の第１の貫通孔４２ａ内に入り込んだ図示しない有機
材料が加工されて除去され、続いてこの板材４０をマス
ク材として有機材料膜４１の第１の貫通孔４２ａに対応
する部分のみが加工されて除去され、第２の貫通孔４２
ｂが形成されて、これら第１の貫通孔４２ａと第２の貫
通孔４２ｂによりインクノズル４２を形成するととも
に、板材４０と有機材料膜４１よりなるオリフィスプレ
ート３４を完成する。
【０１２１】なお、上記工程においても、前述の製造方
法に示した工程と同様に、第１の貫通孔４２ａ内に入り
込んだ有機材料を容易に除去することができ、インクノ
ズル４２は板材４０に形成される第１の貫通孔４２ａと
有機材料膜４１に形成される第２の貫通孔４２ｂ間に段
差を有することなく、なめらかに連続した形状のノズル
として形成される。
【０１２２】さらに、この工程においても、前述の製造
方法に示した工程と同様に、板材４０を有機材料膜４１
のアブレーション加工の際のマスク材として使用してい
ることから、エキシマレーザ加工装置の光学系に配する
投影マスクが不要であり、加工時の位置合わせ精度を大
幅に緩和することが可能となり、位置合わせに起因する
製造不良が抑えられ、製造歩留まりが向上し、生産性が
向上する。さらには、エキシマレーザ加工装置の光学系
に配置する高価な投影マスクを用いないので、製造工程
が簡素化され、ランニングコストが低減され、製造コス
トが低減される。
【０１２３】なお、上述の例においては、エキシマレー
ザ加工装置の光学系に配置する投影マスクを用いない場
合の説明を行ったが、マスクを用いたとしても、接着剤
層６４の第１の貫通孔４２ａに対応する領域にエキシマ
レーザ光が照射されるようにすればよい。また、上述の
製造方法においては、圧力室形成部材３１の第３の凹部
３８全体にエキシマレーザ光が照射される例について述
べたが、エキシマレーザ照射領域は、少なくとも第１の
貫通孔４２ａに対応する部分とされていれば良い。
【０１２４】すなわち、エキシマレーザ光の照射位置
が、多少ずれたとしても、接着剤層６４の第１の貫通孔
４２ａに対応する部分にエキシマレーザ光が照射される
ようにすればよく、エキシマレーザ光の照射位置合わせ
精度は、さほど必要はない。
【０１２５】続いて、前述の製造方法と同様に、図１９
に示すように、圧力室形成部材３１のオリフィスプレー
ト３４が配されない主面３１ａ上に、例えばエポキシ系
の接着剤等の図示しない接着剤層を用いて、予め所定の
位置に突起部４９が形成されている振動板３２を接着す
る。この場合、インク供給路を形成する第２の凹部３７
は反対側の面である主面３１ｂに臨んで開口するように
なされているため、振動板３２の接着工程において、こ
の第２の凹部３７が接着剤によつて塞がれることを未然
に防止できる。従って、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、接着剤による目詰まりに起因するイ
ンク供給路の流路抵抗の上昇を回避することができる。
【０１２６】またインク供給路が主面３１ｂ側に形成さ
れるので、圧力室形成部材３１に振動板３２を接着する
際に用いる接着剤の選択範囲が制約され難い。
【０１２７】さらに振動板３２と圧力室形成部材３１を
接着する際には、振動板３２のインク供給口３９とイン
クバッファタンクを形成する貫通孔３５の位置合わせ
と、突起部４９とインク圧力室を形成する第１の凹部３
６の位置合わせだけを考慮すればよく、振動板３２の接
着工程は簡便に行われる。
【０１２８】そして、このように振動板３２を接着して
圧力室形成部材３１を振動板３２とオリフィスプレート
３４により挟み込むと、圧力室形成部材３１の貫通孔３
５によりインクバッファタンク４３が形成され、第２の
凹部３７によりインク供給路４４が形成され、第１の凹
部３６によりインク圧力室４５が形成され、第３の凹部
３８によりインク導入口４６が形成されることとなる。
【０１２９】この後、振動板３２上の突起部４９上に積
層型ピエゾ素子を配し、インク供給口３９と接続される
ようにインク供給管５０を配して図３に示したような本
例のプリンタ装置のプリントヘッドを完成する。
【０１３０】前述の例においては、プリントヘッドとし
てインクジェットタイプのプリントヘッドを使用してい
るプリンタ装置の例について述べたが、本発明はプリン
トヘッドとして、２液混合型のプリントヘッドを使用し
ているプリンタ装置にも適用可能である。
【０１３１】この場合、プリンタ装置の構成は、先に図
１に示したものと同様とされる。そして、２液混合型の
プリントヘッドを有するものを使用した場合の、印字及
び制御系のブロック図を図２０に示す。このブロック図
は先に示した図２と略同様の構成を有するが、制御部９
０が図２に示したものと同様の信号処理制御回路２２、
メモリ２５、各種制御２７及び補正回路２６の他、第１
のドライバ９１と第２のドライバ９２によって構成され
ている。なお、ここでは、図２と同様の部分については
説明を省略する。これら第１のドライバ９１及び第２の
ドライバ９２はそれぞれ吐出媒体ノズル及び定量媒体ノ
ズルの数に応じて設けられている。
【０１３２】第１のドライバ９１は、後述するように、
定量媒体ノズルから定量媒体を押し出すために設けられ
た第１の積層型ピエゾ素子（定量側）を駆動制御するも
のであり、第２のドライバ９２は吐出媒体ノズルから吐
出媒体を吐出させるために設けられた第２の積層型ピエ
ゾ素子（吐出側）を駆動制御するものである。なお、上
記定量側と吐出側の何れか一方がインクであり、他方が
希釈液とされている。
【０１３３】これら各第１のドライバ９１及び第２のド
ライバ９２は信号処理制御回路２２内に設けられた後述
のシリアルパラレル変換回路及びタイミング制御回路の
制御に基づいて、それぞれに対応する第１の積層型ピエ
ゾ素子及び第２の積層型ピエゾ素子を駆動制御する。
【０１３４】次に、上記プリントヘッドの駆動回路を図
２１に示す。すなわち、デジタル中間調データが他ブロ
ックより供給され、シリアルパラレル変換回路９４によ
り第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に送ら
れる。シリアルパラレル変換回路９４より与えられたデ
ジタル中間調データが所定のしきい値以下の場合は、定
量および吐出は行わない。印字タイミングになると、他
ブロックから印字トリガが出力され、タイミング制御回
路９５がそれを検出し、所定のタイミングで定量部コン
トロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれ第１の
ドライバ９１および第２のドライバ９２に出力する。
【０１３５】次に、プリントヘッドの構成について説明
する。なお、ここでは、インクを定量媒体とし、希釈液
を吐出媒体とするプリントヘッドの例について述べる。
本例のプリントヘッドは、図２２に示すように、圧力室
形成部材１２１、振動板１２２、積層型ピエゾ素子１２
３ａ，１２３ｂ、ノズル形成部材１２４により主に構成
されるものである。
【０１３６】上記圧力室形成部材１２１は、厚さ略０．
２ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良い。
そして、上記圧力室形成部材１２１には定量媒体バッフ
ァタンク（以下、インクバッファタンクと称する。）を
構成する貫通孔部１２５と、定量媒体圧力室（以下、イ
ンク圧力室と称する。）を構成して一主面１２１ａに臨
んで開口する第１の凹部１２６、定量媒体供給路（以
下、インク供給路と称する。）を構成して一主面１２１
ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、貫通孔部
１２５と第１の凹部１２６の底面の端部間を接続するよ
うに形成される第２の凹部１２７、定量媒体導入口（以
下、インク導入口と称する。）を構成して主面１２１ｂ
に臨んで開口し、第１の凹部１２６の他端部と接続され
る第３の凹部１２８が形成されている。
【０１３７】また、上記圧力室形成部材１２１には吐出
媒体バッファタンク（以下、希釈液バッファタンクと称
する。）を構成する貫通孔部１３５と、吐出媒体圧力室
（以下、希釈液圧力室と称する。）を構成して一主面１
２１ａに臨んで開口する第４の凹部１３６、吐出媒体供
給路（以下、希釈液供給路と称する。）を構成して一主
面１２１ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、
貫通孔部１３５と第４の凹部１３６の底面の端部間を接
続するように形成される第５の凹部１３７、吐出媒体導
入口（以下、希釈液導入口と称する。）を構成して主面
１２１ｂに臨んで開口し、第４の凹部１３６の他端部と
接続される第６の凹部１３８が形成されている。
【０１３８】そして、この圧力室形成部材１２１におい
ては、第３の凹部１２８と第６の凹部１３８が所定の間
隔を有して相対向するように各貫通孔部及び凹部が形成
されている。
【０１３９】そして、本例のプリントヘッドにおいて
は、上記圧力室形成部材１２１の一主面１２１ａ側に振
動板１２２を配し、相対向する主面１２１ｂ側にノズル
形成部材１２４（以下、オリフィスプレート１２４と称
する。）を配して、圧力室形成部材１２１を振動板１２
２とノズル形成部材１２４により厚さ方向に挟み込んで
いる。なお、上記振動板１２２においては、インクバッ
ファタンクとなる貫通孔１２５及び希釈液バッファタン
クとなる貫通孔１３５に対応する位置にこれよりも小径
のインク供給口１２９，１３９がそれぞれ形成されてい
る。
【０１４０】また、一方のオリフィスプレート１２４
は、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、
金属よりなる板材１３０と有機材料膜１３１の積層構造
となされている。
【０１４１】上記板材１３０は、例えばニッケルを主成
分とし、３０μｍ程度の厚さを有し、例えば電鋳法によ
り形成されている。また、一方の有機材料膜１３１は、
レーザ加工性に優れ、かつ、撥液性を有する材料により
形成されることが望ましい。さらに、有機材料膜１３１
の材質は、撥液性を有するポリイミド系材料よりなるこ
とが好ましく、さらには１８０℃以下の加熱により重合
形成されることが好ましく、さらにまた、ポリイミドシ
ロキサンを含む材料であることが好ましい。また、この
ポリイミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒素と
結合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換
されており、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３重量
％〜２５重量％であることが好ましい。
【０１４２】そして、このようなポリイミド系材料とし
ては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム
ＵＰＡ−８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１０
０Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品
名）等が挙げられる。これら有機材料膜を使用すれば、
有機材料膜の表面張力を３１Ｄｙｎｅ／ｃｍ以下とする
ことができる。
【０１４３】上記オリフィスプレート１２４には、イン
ク導入口を形成する第３の凹部１２８に対応する位置
に、定量媒体であるインクを押し出して定量するための
定量媒体ノズル１３２（以下、インクノズル１３２と称
する。）が形成されるとともに、希釈液導入口を形成す
る第６の凹部１３８に対応する位置に、吐出媒体である
希釈液吐出するための吐出媒体ノズル１４２（以下、希
釈液ノズル１４２と称する。）が形成されている。
【０１４４】なお、上記インクノズル１３２は、板材１
３０に形成される厚さ方向の第１の貫通孔１３２ａと有
機材料膜１３１に厚さ方向に対して斜め方向に形成され
る第２の貫通孔１３２ｂにより形成される。また、上記
希釈液ノズル１４２は、板材１３０に形成される厚さ方
向の第１の貫通孔１４２ａと有機材料膜１３１に厚さ方
向に形成される第２の貫通孔１４２ｂにより形成され
る。そして、インクノズル１３２の第２の貫通孔１３２
ｂをノズル開口面となる一主面１３１ａに近づくにつれ
希釈液ノズル１４２の第２の貫通孔１４２ｂに近づく方
向の孔部として形成している。なお、これらインクノズ
ル１３２及び希釈液ノズル１４２は断面形状が例えば円
形の所定径を有する貫通孔として形成されている。
【０１４５】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート１２４の板材１３
０を電鋳法により形成するようにし、インクノズル１３
２のうち板材１３０に形成されている第１の貫通孔１３
２ａを電鋳法により形成し、同様に希釈液ノズル１４２
の第１の貫通孔１４２ａも電鋳法により形成するように
している。さらに、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、インクノズル１３２のうち有機材料膜１
３１に形成されている第２の貫通孔１３２ｂを例えばエ
キシマレーザによるアブレーション加工といったレーザ
加工により形成し、同様に希釈液ノズル１４２の第２の
貫通孔１４２ｂもエキシマレーザによるアブレーション
加工といったレーザ加工法により形成するようにしてい
る。
【０１４６】すなわち、第２の貫通孔１３２ｂ，１４２
ｂは、板材１３０をマスク材として使用し、板材１３０
側からレーザ光を照射して有機材料膜１３１中の第１の
貫通孔１３２ａ，１４２ａに対応する部分のみにそれぞ
れレーザ光を照射して加工を行い、有機材料膜１３１に
第１の貫通孔１３２ａ，１４２ａと略同径の第２の貫通
孔１３２ｂ，１４２ｂを形成し、これら第１の貫通孔１
３２ａと第２の貫通孔１３２ｂによりインクノズル１３
２を、第１の貫通孔１４２ａと第２の貫通孔１４２ｂに
より希釈液ノズル１４２を形成するようにしている。
【０１４７】したがって、オリフィスプレート１２４に
形成されているインクノズル１３２及び希釈液ノズル１
４２は、板材１３０と有機材料膜１３１とにおいて、境
目無く連続した形状にて正確な形状で形成されている。
【０１４８】また、有機材料膜１３１をレーザ加工性に
優れた材料、とりわけレーザ光としてエキシマレーザ光
を用いた場合において加工性に優れた材料により形成し
ているので、効率よくノズル加工を行うことが可能であ
る。
【０１４９】さらに、板材１３０の厚さを厚くしてイン
クノズル１３２及び希釈液ノズル１４２の長さを長くす
ることは困難であるが、有機材料膜１３１の厚さを厚く
してインクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２の長さ
を長くすることは容易であり、この場合にも正確な形状
でインクノズルが形成される。
【０１５０】ここで、インク導入口を形成する第３の凹
部１２８はインクノズル１３２よりも大径を有するよう
に形成されている。一方、希釈液導入口を形成する第６
の凹部１３８も希釈液ノズル１４２よりも大径を有する
ように形成されている。
【０１５１】すなわち、圧力室形成部材１２１を振動板
１２２とオリフィスプレート１２４により厚さ方向に挟
み込むことによって、貫通孔部１２５、第１の凹部１２
６、第２の凹部１２７、第３の凹部１２８が接続される
ことにより形成される空洞部が振動板１２２とオリフィ
スプレート１４４により塞がれて、圧力室形成部材１２
１の振動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に
向かって厚さ方向に形成されるインクバッファタンク１
４３、これと接続され圧力室形成部材１２１の面内方向
に形成されるインク供給路１４４と、これに接続され振
動板１２２側に形成されるインク圧力室１４５、上記イ
ンク圧力室１４５に接続され、オリフィスプレート１２
４側に開口するインク導入口１４６が連続して形成され
ることとなる。
【０１５２】また、圧力室形成部材１２１を振動板１２
２とオリフィスプレート１２４により厚さ方向に挟み込
むことによって、貫通孔部１３５、第４の凹部１３６、
第５の凹部１３７、第６の凹部１３８が接続されること
により形成される空洞部が振動板１２２とオリフィスプ
レート１２４により塞がれて、圧力室形成部材１２１の
振動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に向か
って厚さ方向に形成される希釈液バッファタンク１５
３、これと接続され圧力室形成部材１２１の面内方向に
形成される希釈液供給路１５４と、これに接続され振動
板１２２側に形成される希釈液圧力室１５５、上記希釈
液圧力室１５５に接続され、オリフィスプレート１２４
側に開口する希釈液導入口１５６が連続して形成される
こととなる。
【０１５３】そして、前述のように振動板１２２にはイ
ンク供給口１２９が形成され、オリフィスプレート１２
４にはインクノズル１３２が形成されていることから、
インク供給口１２９、インクバッファタンク１４３、イ
ンク供給路１４４、インク圧力室１４５、インク導入口
１４６、インクノズル１３２の順にインクが流れること
となる。
【０１５４】さらに、前述のように振動板１２２には希
釈液供給口１３９が形成され、オリフィスプレート１２
４には希釈液ノズル１４２が形成されていることから、
希釈液供給口１３９、希釈液バッファタンク１５３、希
釈液供給路１５４、希釈液圧力室１５５、希釈液導入口
１５６、希釈液ノズル１４２の順に希釈液が流れること
となる。
【０１５５】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板１２２の圧力室形成部材１２１と接着される面と
は反対側の一主面１２２ａのインク圧力室１４５に対応
する位置に突起部１４９が形成されており、この突起部
１４９を介して積層型ピエゾ素子１２３ａ（第１の積層
型ピエゾ素子）が載置されている。同様に、希釈液圧力
室１５５に対応する位置にも突起部１５９が形成されて
おり、この突起部１５９を介して積層型ピエゾ素子１２
３ｂ（第２の積層型ピエゾ素子）が載置されている。な
お、上記積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂとして
は、圧電部材と導電部材とが交互に積層されてなるもの
が挙げられる。このとき、圧電部材と導電部材との積層
数は何層であっても良い。
【０１５６】この突起部１４９，１５９はインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の平面の面積及び積層
型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂの平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板１
２２の一主面１２２ａのインク供給口１２９に対応する
位置には図示しないインクタンクに接続されるインク供
給管１５０が接続され、同様に希釈液供給口１３９に対
応する位置には図示しない希釈液タンクに接続される希
釈液供給管１６０が接続されている。
【０１５７】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図２３に模式的に示すように、プリン
トヘッド中のインクバッファタンク１４３及び希釈液バ
ッファタンク１５３は、管状の部材となされており、こ
のインクバッファタンク１４３及び希釈液バッファタン
ク１５３の長手方向に複数の上述したようなプリントヘ
ッドが所定の間隔を有して平行に配列されて、インクバ
ッファタンク１４３は各プリントヘッドの共通のインク
配給管となされ、希釈液バッファタンク１５３も各プリ
ントヘッドの共通の希釈液配給管となされている。そし
て、これらプリントヘッドにおいては、前述のプリント
ヘッドと同様に、インクバッファタンク１４３に対して
インク供給路１４４が接続され、希釈液バッファタンク
１５３に対して希釈液供給路１５４が接続されている。
このため、各プリントヘッドのインクノズル１３２と希
釈液ノズル１４２は隣合うようにして１つの面上に開口
することとなる。
【０１５８】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、インクは図示しないインクタンクか
らインクバッファタンク１４３に供給され、ここから各
プリントヘッドのインク供給路１４４に供給されること
となり、一方の希釈液も図示しない希釈液タンクから希
釈液バッファタンク１５３に供給され、ここから各プリ
ントヘッドの希釈液供給路１５４に供給されることとな
る。
【０１５９】本例のプリンタ装置のプリントヘッドによ
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子である積層型ピエゾ素子１２３ａ
（以下、第１の積層型ピエゾ素子１２３ａと称する。）
においては、駆動電圧が印加されると、図２２中矢印Ｍ
2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を有
するため、これに接着されている突起部１４９を中心に
振動板１２２を持ち上げることとなり、図２４に示すよ
うにインク圧力室１４５の体積が増大することとなる。
このことは、他方の積層型ピエゾ素子１２３ｂ（以下、
第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂと称する。）において
も同様であり、駆動電圧が印加されると、図２２中矢印
Ｍ2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を
有するため、これに接着されている突起部１５９を中心
に振動板１２２を持ち上げることとなり、図２４中に示
すように希釈液圧力室１５５の体積が増大することとな
る。
【０１６０】またこの第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂは駆動電圧が解放されると、図２２
中に矢印Ｍ2 で示す方向に直線的に変位する性質を有す
るため、これに接着されている突起部１４９，１５９を
介して振動板１２２を押圧して湾曲させてインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の体積を減少させてイ
ンク圧力室１４５或いは希釈液圧力室１５５内の圧力を
上昇させることとなる。このとき、突起部１４９，１５
９は、その平面面積が第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂの平面面積よりも小さくなるように
なされているので、第１及び第２の積層型ピエゾ素子１
２３ａ，１２３ｂの変位を振動板１２２のインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５に対応する位置に集中
的に伝達することが可能である。
【０１６１】次に、上記のような構成のプリンタ装置に
より印刷を行う場合の、駆動電圧の印加タイミングを図
２５に示す。ここでは、第１及び第２の積層型ピエゾ素
子として、いわゆるｄ31モードの積層型ピエゾ素子を使
用した場合の駆動電圧の印加タイミングを示す。
【０１６２】すなわち、図２５（ａ）に示すように、印
刷前の待機時、図中（Ａ）で示す時点において、希釈液
圧力室１５５に対応する位置に設けられる第２の積層型
ピエゾ素子１２３ｂに予め例えば２０Ｖを印加し、図２
５（ｂ）に示すように、印刷前の待機時、図中（Ａ）で
示す時点において、インク圧力室１４５に対応する位置
に設けられる第１の積層型ピエゾ素子１２３ａには予め
例えば１０Ｖを印加しておく。すると、図２４中に示す
ように、インク圧力室１４５と希釈液圧力室１５５の体
積が増加した状態となる。このとき、インクノズル１３
２、希釈液ノズル１４２の何れにおいても先端にメニス
カスが形成されている。
【０１６３】そして、印刷時には、前述のヘッドドライ
ブ，ヘッド送り制御，ドラム回転制御からの信号に基づ
いて、定量媒体を飛翔させることなく定量するべく、図
２５（ｂ）中（Ｂ）で示す時点で第１の積層型ピエゾ素
子１２３ａの電圧を例えば５Ｖまで除々に下げ、この状
態で例えば１５０μｓｅｃ保持する。すると、第１の積
層型ピエゾ素子１２３ａが図２４中矢印Ｍ2 で示す方向
に除々に伸長し、図２６中に示すように振動板１２２を
介してインク圧力室１４５が徐々に加圧され、インク圧
力室１４５が元の形状に戻ろうとするため、インクノズ
ル１３２に内圧が加わり、インクがインクノズル１３２
から希釈液ノズル１４２の開口付近までしみ出し、希釈
液ノズル１４２の希釈液に合わさる。なお、このときの
電圧は、画像データの階調に合わせて設定されており、
インクの量は画像データに応じたものとなる。
【０１６４】その後、インクノズル１３２内にインクを
引き込み、定量されたインクのみを希釈液ノズル１４２
開口付近に残存させるべく、図２５（ｂ）中（Ｃ）で示
す時点で第１の積層型ピエゾ素子１２３ａの電圧を１０
Ｖまで徐々に戻す。すると、第１の積層型ピエゾ素子１
２３ａが図２６中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向に
除々に縮小し、インクノズル１３２の内圧が解除され、
インクはインクノズル１３２内に戻ろうとする。これに
より、定量されたインクのみが希釈液ノズル１４２開口
付近に残存することとなる。
【０１６５】次に、希釈液ノズル１４２から希釈液を吐
出するべく、図２５（ａ）中に示すように、図中（Ｄ）
で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの電圧を
例えば０Ｖとする。すると、第２の積層型ピエゾ素子１
２３ｂが図２６中矢印Ｍ2 で示す方向に伸長し、振動板
１２２を介して希釈液圧力室１５５が加圧され、希釈液
圧力室１５５が元の形状に戻ろうとするため、希釈液ノ
ズル１５５に内圧が加わる。その結果、希釈液ノズル１
５５内の内圧によって希釈液が押し出され、この希釈液
と希釈液ノズル１４２開口付近に残存していたインクと
の混合溶液が形成される。
【０１６６】次に、図２５（ａ）中（Ｄ）で示す時点か
ら例えば５０μｓｅｃの間０Ｖとし、図２５（ａ）中
（Ｅ）で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの
電圧を例えば２０Ｖに戻すと、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂが図２２中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向
に縮小し、希釈液ノズル１４２の内圧が解除され、希釈
液が希釈液ノズル１４２内に戻ろうとする。これによ
り、希釈液ノズル１４２内の希釈液と混合溶液間にくび
れが生じ、ついには混合溶液が希釈液ノズル１４２から
吐出され、当該混合溶液が前述のプリント紙１に被着し
て印刷が行われる。このとき、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂに印加される駆動電圧の時間変化は、希釈液ノ
ズル１４２から混合液滴を吐出し得るように設定されて
いる。
【０１６７】希釈液圧力室１５５及びインク圧力室１４
５の内圧はやがて元に戻り、希釈液及びインクは再び希
釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２内に充填さ
れ、再び印刷待機状態となる。
【０１６８】なお、図２５（ｂ）中Ｔ1 で示され、図中
（Ｂ）で示す時点と図中（Ｃ）で示す時点間のインク定
量パルス幅、図２５（ａ）中Ｔ2 で示され、図中（Ｄ）
で示す時点と図中（Ｅ）で示す時点間の希釈液吐出パル
ス幅、図２５（ｂ）中Ｖで示されるインク定量電圧は可
変である。
【０１６９】そして、図２５（ａ），図２５（ｂ）に示
されるように、上記動作を繰り返すことで印刷がなさ
れ、図２５（ａ）中Ｔ3 で示される印刷のサイクルは例
えば１ｍｓｅｃとすれば良い。
【０１７０】すなわち、図２１に示した駆動回路の信号
は、上記のような図２５で示したタイミングで出力さ
れ、これにしたがって、第１の積層型ピエゾ素子１２３
ａおよび第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂに所定電圧が
印加される。
【０１７１】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いても、オリフィスプレート１２４のノズル開口面側に
撥液性を有する有機材料膜１３１が形成されていること
から、インクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２の開
口部周辺には、金或いはフッ素含有ニッケルめっきと比
較して、十分な撥液性を有する有機材料膜１３１が形成
されていることとなり、ノズル開口部周辺にインク付着
などが発生する可能性が低く、吐出方向安定性に優れ、
正確な記録画像が形成される。
【０１７２】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、有機材料膜１３１を厚くしてインクノズ
ル１３２及び希釈液ノズル１４２のレーザ加工により形
成される第２の貫通孔１３２ｂ，１４２ｂ部分の長さを
長くしてインクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２の
長さを長くすることが容易であり、吐出方向精度を高め
ることも可能であり、正確な記録画像が形成される。
【０１７３】続いて本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、圧力室形成部材を
製造する。すなわち、図２７に示すように、厚さが略
０．２ｍｍのステンレススチールよりなるステンレス部
材１７１の一主面１７１ａに例えば感光性ドライフイル
ムや液体レジスト材料などのレジストを塗布した後、イ
ンクバッファタンク及び希釈液バッファタンクを形成す
るための貫通孔とインク圧力室及び希釈液圧力室を形成
するための凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可
能なパターンを有するマスクを用いてパターン露光し、
レジスト１７２を形成する。
【０１７４】また、このステンレス部材１７１の一主面
１７１ａに相対向する主面１７１ｂにも同様にしてイン
ク供給路及び希釈液供給路を形成するための凹部、イン
ク導入口及び希釈液導入口を形成するための凹部の形成
位置に応じた部分をエッチング可能なパターンを有する
マスクを用いてパターン露光し、レジスト１７３を形成
する。
【０１７５】続いて、上記ステンレス部材１７１をレジ
スト１７２，１７３をマスクとして、例えば塩化第２鉄
水溶液等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチング
を行う。その結果、図２８に示すように、インクバッフ
ァタンクを形成し、一主面１７１ａからこれと相対向す
る主面１７１ｂに貫通する貫通孔１２５、インク圧力室
を形成し、一主面１７１ａに臨んで開口する第１の凹部
１２６、貫通孔１２５の側面と第１の凹部１２６の底面
を接続してインク供給路を形成し、一主面１７１ｂに臨
んで開口する第２の凹部１２７、インク導入口を形成
し、第１の凹部１２６の底面から一主面１７１ｂに臨ん
で開口する第３の凹部１２８が形成される。また、同様
に希釈液バッファタンクを形成し、一主面１７１ａから
これと相対向する主面１７１ｂに貫通する貫通孔１３
５、希釈液圧力室を形成し、一主面１７１ａに臨んで開
口する第４の凹部１３６、貫通孔１３５の側面と第１の
凹部１３６の底面を接続してインク供給路を形成し、一
主面１７１ｂに臨んで開口する第５の凹部１３７、希釈
液導入口を形成し、第１の凹部１３６の底面から一主面
１７１ｂに臨んで開口する第６の凹部１３８が形成され
る。なお、これらは、前述のように、第３の凹部１２８
と第６の凹部１３８が所定の間隔を有して相対向するよ
うに形成される。
【０１７６】続いてレジスト１７２，１７３を除去す
る。レジスト１７２，１７３としてドライフィルムレジ
ストを使用した場合には、例えば５％以下の水酸化ナト
リウム水溶液を用いれば良く、レジスト１７２，１７３
として液体レジスト材料を用いた場合には、例えば専用
アルカリ溶液を用いれば良い。その結果、図２９に示す
ように、貫通孔１２５、第１の凹部１２６、第２の凹部
１２７、第３の凹部１２８と、貫通孔１３５、第４の凹
部１３６、第５の凹部１３７、第６の凹部１３８が形成
される圧力室形成部材１２１が形成される。
【０１７７】続いて、オリフィスプレートの製造を行
う。すなわち、図３０に示すように、電鋳時のベースと
なり、製造されるオリフィスプレートよりも大きいステ
ンレススチールよりなるステンレスプレート１８１を用
意し、その一方の主面１８１ａ上に、例えばプリント基
板のめっき工程に使用されるめっき用ドライフィルムな
どの感光性材料を用いて、オリフィスプレートのインク
ノズル及び希釈液ノズルの第１の貫通孔あるいは外形な
どの形状に対応したパターン１８２を形成する。
【０１７８】続いて、図３１に示すように、上記パター
ン１８２の形成されたステンレスプレート１８１を電解
ニッケルめっき浴に浸して、めっきを行い、めっき膜１
８３を形成する。なおこのとき、めっき膜１８３の厚さ
は、ドライフィルムにより形成したパターン１８２の厚
さよりも薄くする必要がある。これは、前述のように、
インクノズル及び希釈液ノズルを形成する第１の貫通孔
はこのパターン１８２の形状に応じて形成されるが、そ
の長さをパターン１８２の高さよりも長くすると正確な
形状で形成することが困難となるためであり、パターン
１８２の高さより短く形成することで、形状の乱れを生
じることなく、第１の貫通孔を有するめっき膜１８３を
形成することが可能となる。
【０１７９】例えば、ドライフィルムを用いたパターン
１８２の厚さとして３０μｍを選択した場合において
は、めっき膜１８３の厚さを２５μｍ程度とすることに
より、ノズル径３５μｍ程度の第１の貫通孔を有するめ
っき膜１８３をノズル形状の乱れなく形成することがで
きる。
【０１８０】続いて、めっき膜１８３をステンレスプレ
ート１８１より剥離し、洗浄し、図３２に示すようなイ
ンクノズルを形成する第１の貫通孔１３２ａと希釈液ノ
ズルを形成する第１の貫通孔１４２ａを有する板材１３
０を形成する。このとき、洗浄は、専用ドライフィルム
剥離液或いは水酸化ナトリウム水溶液を用いて行うこと
が可能である。
【０１８１】次に、図３３に示すように、板材１３０の
第１の貫通孔１３２ａ，１４２ａが開口し、相対向する
主面のうちの一方の主面１３０ａ上に撥液性を有する有
機材料膜１３１を形成する。
【０１８２】この有機材料膜１３１は、レーザ加工性に
優れ、かつ、撥水性を有していることが望ましい。この
有機材料膜１３１を形成する材料としては、例えば撥液
性を有するポリイミド系材料が挙げられ、１８０℃以下
の加熱により重合形成される材料が好ましく挙げられ、
さらにはポリイミドシロキサンが好ましく挙げられる。
このポリイミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒
素と結合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより
置換されており、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３
重量％〜２５重量％であることが好ましい。
【０１８３】このようなポリイミド系材料としては、宇
部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−
８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１００Ｌ（商
品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）等が挙
げられ、図３３においては、例えば、形成後の膜厚が３
０μｍ程度となるフィルム形状とされた宇部興産株式会
社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商
品名）を熱ラミネートする事により貼り合わせる工程を
示すこととする。
【０１８４】そして、上述した有機材料を用いた場合に
おいてそれぞれ推奨の硬化条件により、有機材料膜１３
１の硬化処理を行う。例えば、有機材料膜１３１とし
て、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム Ｕ
ＰＡ−８３２２（商品名）を用いた場合においては最高
温度１６０℃の処理を行うことにより、耐薬品性に優れ
た撥液性を有する有機材料フィルムを形成することがで
きる。そして、熱処理の最高温度が１８０℃以下の低い
温度の材料を用いることにより、板材１３０の劣化の発
生、および熱膨張率の違いによるそりの発生を低く抑え
ることができることとなる。
【０１８５】なお、上記有機材料膜１３１は、図３１に
示しためっき工程において、ステンレスプレート１８１
と対向する側の面（ステンレスプレートが配されない側
の面）に形成することが望ましい。これは、ステンレス
プレート１８１と対向する主面の方が他の主面と比較し
て表面荒さが荒いために、有機材料膜１３１との密着性
の向上が得られやすいこと、そしてノズルに対応するド
ライフィルムよりなるパターン１８２の形状が、若干で
はあるが、ステンレスプレート１８１と対向しない側の
主面からステンレスプレート１８１と対向する側の主面
に向かって細くなるテーパー形状を有しているために、
プリンタ装置のプリントヘッドとしての吐出方向安定性
に優れた特性が得られやすいためである。
【０１８６】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材１３０の有機材料膜１３１が形成されていない側の
主面より、インクノズルを形成する第１の貫通孔１３２
ａが形成される領域に、エキシマレーザ光を板材１３０
に対して垂直に照射する。すると、板材１３０がマスク
材として機能するため、有機材料膜１３１の板材１３０
に形成される第１の貫通孔１３２ａに対応する部分にの
みエキシマレーザ光が到達する。その結果、図３４に示
すように、有機材料膜１３１に第１の貫通孔１３２ａに
連続して形成され、これと略同径の第２の貫通孔１３２
ｂが形成され、第１及び第２の貫通孔１３２ａ，１３２
ｂによりインクノズル１３２が形成される。
【０１８７】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材１３０の有機材料膜１３１が形成されていない側の
主面より、希釈液ノズルを形成する第１の貫通孔１４２
ａが形成される領域に、エキシマレーザ光を板材１３０
に対して斜め方向より照射する。すると、板材１３０が
マスク材として機能するため、有機材料膜１３１の板材
１３０に形成される第１の貫通孔１４２ａに対応する部
分にのみエキシマレーザ光が到達する。その結果、図３
４に示すように、有機材料膜１３１に第１の貫通孔１４
２ａに連続して形成され、これと略同径の第２の貫通孔
１４２ｂが形成され、第１及び第２の貫通孔１４２ａ，
１４２ｂにより希釈液ノズル１４２が形成される。な
お、この工程においては、インクノズル１３２と希釈液
ノズル１４２の開口部間の距離が５μｍ以下とされるこ
とが好ましい。
【０１８８】従って、板材１３０と有機材料膜１３１が
積層され、インクノズル１３２と希釈液ノズル１４２が
形成されたオリフィスプレート１２４が形成される。
【０１８９】なお、上記のエキシマレーザによるアブレ
ーション加工においては、第１の貫通孔１３２ａ，１４
２ａ内に入り込んだ有機材料膜１３１を容易に除去する
ことができ、板材１３０に形成される第１の貫通孔１３
２ａ，１４２ａと有機材料膜１３１に形成される第２の
貫通孔１３２ｂ，１４２ｂ間に段差を生じることがな
く、なめらかに連続した形状のインクノズル１３２及び
希釈液ノズル１４２が形成される。
【０１９０】さらに、この工程においては、板材１３０
を有機材料膜のアブレーション加工のマスク材料として
使用しているので、エキシマレーザ加工装置の光学系に
配置するノズル形状に対応した投影マスクを用いる必要
がないので、加工時の位置合わせ精度を大幅に緩和する
ことが可能となり、位置合わせに起因する製造不良が抑
えられ、製造歩留まりが向上し、生産性が向上する。さ
らには、ノズル形成の際にエキシマレーザ加工装置の光
学系に配置する高価な投影マスクを用いないので、製造
工程が簡素化され、必要とされるマスク材が減るために
ランニングコストが低減され、製造コストが低減され
る。
【０１９１】また、本例のオリフィスプレート１２４を
製造する工程においては、インクノズル１３２及び希釈
液ノズル１４２の大部分を電鋳法により形成しており、
安価に製造が行われ、残りの部分を例えばエキシマレー
ザ等のレーザ光を使用した加工により形成するようにし
ていることから、先端部分が正確な形状で形成され、且
つ有機材料膜１３１の厚さを厚くすれば長さの長いイン
クノズル１３２及び希釈液ノズル１４２が精度良好に形
成される。
【０１９２】なお、上述の例においては、有機材料膜１
３１をフィルム形状とされた宇部興産株式会社製のポリ
イミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商品名）によ
り形成する例について述べたが、有機材料膜１３１は、
その原材料としての形状が液状である、ユピコートＦＳ
−１００Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００
（商品名）を用いても形成可能であり、めっき膜１８３
のめっきが終了して、ステンレスプレート１８１より剥
離する前の状態であれば、形成することができる。
【０１９３】さらに、有機材料膜１３１を、その原材料
としての形状が液状である、ユピコートＦＳ−１００Ｌ
（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）を
用いて形成する場合に、板材１３０をステンレスプレー
ト１８１から剥離した後の状態において塗布を行い、こ
れら液体が板材１３０の第１の貫通孔１３２ａ，１４２
ａにまわり込んだとしても、エキシマレーザの照射によ
り、板材１３０に形成された第１の貫通孔１３２ａ，１
４２ａ内に存在する有機材料は除去されることとなるの
で、ノズルの形状の乱れを容易に防ぐことが可能であ
る。
【０１９４】次に、図３５に示すように、これまでの工
程で形成された圧力室形成部材１２１とオリフィスプレ
ート１２４とを例えばエポキシ接着剤等の図示しない接
着剤層を用いて接着する。なお、この接着工程において
は、圧力室形成部材１２１に形成されたインク導入口を
形成する第３の凹部１２８と、オリフィスプレート１２
４に形成されたインクノズル１３２とが連通し、圧力室
形成部材１２１に形成された希釈液導入口を形成する第
６の凹部１３８と、オリフィスプレート１２４に形成さ
れた希釈液ノズル１４２とが連通するように位置合わせ
を行う。
【０１９５】さらに、接着剤としては、圧力室形成部材
１２１に形成されるインク供給路を形成する第２の凹部
１２７、希釈液供給路を形成する第５の凹部１３７及び
インクバッファタンクを形成する貫通孔１２５、希釈液
バッファタンクを形成する貫通孔１３５が埋まらないよ
うなものを選択する。
【０１９６】続いて、図３６に示すように、圧力室形成
部材１２１のオリフィスプレート１２４が接着されない
側の主面１２１ａに、例えばエポキシ系の接着剤等の図
示しない接着剤層を用いて、予め所定の位置に突起部１
４９，１５９が形成されている振動板１２２を接着す
る。この場合、インク供給路を形成する第２の凹部１２
７及び希釈液供給路を形成する第５の凹部１３７は反対
側の面である主面１２１ｂに臨んで開口するようになさ
れているため、振動板１２２の接着工程において、この
第２の凹部１２７及び第５の凹部１３７が接着剤によつ
て塞がれることを未然に防止できる。従って、本例のプ
リンタ装置のプリントヘッドにおいては、接着剤による
目詰まりに起因するインク供給路の流路抵抗の上昇を回
避することができる。
【０１９７】またインク供給路及び希釈液供給路が主面
１２１ｂ側に形成されるので、圧力室形成部材１２１に
振動板１２２を接着する際に用いる接着剤の選択範囲が
制約され難い。
【０１９８】さらに振動板１２２と圧力室形成部材１２
１を接着する際には、振動板１２２のインク供給口１２
９とインクバッファタンクを形成する貫通孔１２５の位
置合わせ及び振動板１２２の希釈液供給口１３９と希釈
液バッファタンクを形成する貫通孔１３５の位置合わせ
と、突起部１４９とインク圧力室を形成する第１の凹部
１２６及び突起部１５９と希釈液圧力室を形成する第４
の凹部１３６の位置合わせだけを考慮すればよく、振動
板１２２の接着工程は簡便に行われる。
【０１９９】そして、このように振動板１２２を接着し
て圧力室形成部材１２１を振動板１２２とオリフィスプ
レート１２４により挟み込むと、圧力室形成部材１２１
の貫通孔１２５によりインクバッファタンク１４３が形
成され、第２の凹部１２７によりインク供給路１４４が
形成され、第１の凹部１２６によりインク圧力室１４５
が形成され、第３の凹部１２８によりインク導入口１４
６が形成されることとなる。そしてこれとともに、圧力
室形成部材１２１の貫通孔１３５により希釈液バッファ
タンク１５３が形成され、第５の凹部１３７により希釈
液供給路１５４が形成され、第４の凹部１３６により希
釈液圧力室１５５が形成され、第６の凹部１３８により
インク導入口１５６が形成されることとなる。
【０２００】この後、振動板１２２上の突起部１４９，
１５９上に積層型ピエゾ素子を配し、インク供給口１２
９と接続されるようにインク供給管１５０を配し、希釈
液供給口１３９と接続されるように希釈液供給管１６０
を配して図２２に示したような本例のプリンタ装置のプ
リントヘッドを完成する。
【０２０１】ところで、上述の製造方法においては、圧
力室形成部材１２１とオリフィスプレート１２４の接着
工程において、インクバッファタンク１４３を形成する
貫通孔１２５、インク供給路１４４を形成する第２の凹
部１２７、希釈液バッファタンク１５３を形成する貫通
孔１３５、希釈液供給路１５４を形成する第５の凹部１
３７を埋めてしまうことのないようなエポキシ接着剤を
選定する必要があったが、以下に示すような方法により
製造を行えば、上記のような不都合を容易に回避するこ
とができる。
【０２０２】すなわち、先に図３２に示した板材１３０
の形成工程の後、図３７に示すように、板材１３０の一
主面１３０ａに有機材料膜１３１を形成するとともに、
これと反対側の主面１３０ｂには、レーザ加工によりア
ブレーション加工を行うことのできる熱可塑性の接着剤
層１８４を形成する。
【０２０３】この接着剤層１８４の形成方法は、板材１
３０の一主面１３０ｂ側に、液体状態のまま塗布してそ
の後の熱処理により熱可塑性の接着材料とする方法、ま
たは既にフィルム状態とされた熱可塑性の接着材料を配
置する方法等が挙げられる。また、これら熱可塑性の材
料としては、たとえば、三井東圧化学株式会社製の熱可
塑性ポリイミド材料 ネオフレックス（商品名）等が挙
げられる。さらに、熱可塑性材料がフィルム形状である
場合には、フィルム全体が熱可塑性材料である必要はな
く、その場合フィルムの両面の接着面となる表面に熱可
塑性材料が形成されていればよい。
【０２０４】次に、図３８に示すように、有機材料膜１
３１と接着剤層１８４の形成された板材１３０を図２９
に示されるような圧力室形成部材１２１に接着剤層１８
４を用いて接着する。
【０２０５】なお、この接着工程においては、圧力室形
成部材１２１に形成されたインク導入口を形成する第３
の凹部１２８と、板材１３０のインクノズルを形成する
第１の貫通孔１３２ａを後工程で連通させることが可能
であり、圧力室形成部材１２１に形成された希釈液導入
口を形成する第６の凹部１３８と、板材１３０の希釈液
ノズルを形成する第１の貫通孔１４２ａを後工程で連通
させることが可能なように位置合わせを行う。
【０２０６】そして、接着剤層１８４を前述の三井東圧
化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレッ
クス（商品名）により形成した場合においては、２３０
℃程度のプレス温度において２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2
程度の圧力を与えることにより接着が可能である。これ
により、圧力室形成部材１２１と板材１３０と有機材料
膜１３１よりなるオリフィスプレートとの接着強度を高
めることができると共に効率良く接着することができ
る。
【０２０７】さらに液体状態でない接着剤を用いている
ので、接着剤がインク供給路を構成する第２の凹部１２
７、第５の凹部１３７等を塞ぐことを防止することも可
能である。
【０２０８】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材１２１側からノズル形成部分に対してレーザ光を垂
直に照射する。すると、圧力室形成部材１２１がマスク
材として機能し、図３９に示すようにインク導入口を構
成する第３の凹部１２８に対応する部分の接着剤層１８
４の加工が行われてこの部分が除去されて貫通孔１８５
が形成され、その下層側の板材１３０の第１の貫通孔１
３２ａが露呈する。また、同様に、図３９中に示すよう
に希釈液導入口を構成する第６の凹部１３８に対応する
部分の接着剤層１８４の加工が行われてこの部分が除去
されて貫通孔１８６が形成され、その下層側の板材１３
０の第１の貫通孔１４２ａが露呈する。
【０２０９】さらに、上記加工が終了すると、板材１３
０の第１の貫通孔１３２ａ，１４２ａ内に入り込んだ図
示しない有機材料が加工されて除去される。
【０２１０】続いて、有機材料膜１３１の第１の貫通孔
１４２ａに対応する部分のみに垂直方向にレーザ光を照
射する。すると、この部分のみが加工されて除去され、
第２の貫通孔１４２ｂが形成されて、これら第１の貫通
孔１４２ａと第２の貫通孔１４２ｂにより希釈液ノズル
１４２が形成される。
【０２１１】さらに、この板材１３０をマスク材とし
て、有機材料膜１３１の第１の貫通孔１３２ａに対応す
る部分のみに斜め方向にレーザ光を照射する。すると、
この部分が加工されて除去され、第２の貫通孔１３２ｂ
が形成されて、これら第１の貫通孔１３２ａと第２の貫
通孔１３２ｂによりインクノズル１３２が形成される。
そして、板材１３０と有機材料膜１３１よりなるオリフ
ィスプレート１２４を完成する。
【０２１２】なお、上記工程においても、前述の製造方
法に示した工程と同様に、第１の貫通孔１３２ａ，１４
２ａ内に入り込んだ有機材料を容易に除去することがで
き、インクノズル１３２及び希釈液ノズル１４２は板材
１３０に形成される第１の貫通孔１３２ａ，１４２ａと
有機材料膜１３１に形成される第２の貫通孔１３２ｂ，
１４２ｂ間に段差を有することなく、なめらかに連続し
た形状のノズルとして形成される。
【０２１３】さらに、この工程においても、前述の製造
方法に示した工程と同様に、板材１３０を有機材料膜１
３１のアブレーション加工の際のマスク材として使用し
ていることから、エキシマレーザ加工装置の光学系に配
する投影マスクが不要であり、加工時の位置合わせ精度
を大幅に緩和することが可能となり、位置合わせに起因
する製造不良が抑えられ、製造歩留まりが向上し、生産
性が向上する。さらには、エキシマレーザ加工装置の光
学系に配置する高価な投影マスクを用いないので、製造
工程が簡素化され、ランニングコストが低減され、製造
コストが低減される。
【０２１４】なお、上述の例においては、エキシマレー
ザ加工装置の光学系に配置する投影マスクを用いない場
合の説明を行ったが、マスクを用いたとしても、接着剤
層１８４の第１の貫通孔１３２ａ，１４２ａに対応する
領域にエキシマレーザ光が照射されるようにすればよ
い。また、上述の製造方法においては、圧力室形成部材
１２１の第３の凹部１２８及び第６の凹部１３８全体に
エキシマレーザ光が照射される例について述べたが、エ
キシマレーザ照射領域は、少なくとも第１の貫通孔１３
２ａ，１４２ａに対応する部分とされていれば良い。
【０２１５】すなわち、エキシマレーザ光の照射位置
が、多少ずれたとしても、接着剤層１８４の第１の貫通
孔１３２ａに対応する部分にエキシマレーザ光が照射さ
れるようにすればよく、エキシマレーザ光の照射位置合
わせ精度は、さほど必要はない。
【０２１６】続いて、前述の製造方法と同様に、図４０
に示すように、圧力室形成部材１２１のオリフィスプレ
ート１２４が配されない主面１２１ａ上に、例えばエポ
キシ系の接着剤等の図示しない接着剤層を用いて、予め
所定の位置に突起部１４９，１５９が形成されている振
動板１２２を接着する。この場合、インク供給路を形成
する第２の凹部１２７及び希釈液供給路を形成する第５
の凹部１３７は反対側の面である主面１２１ｂに臨んで
開口するようになされているため、振動板１２２の接着
工程において、この第２の凹部１２７及び第５の凹部１
３７が接着剤によつて塞がれることを未然に防止でき
る。従って、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、接着剤による目詰まりに起因するインク供給路
の流路抵抗の上昇を回避することができる。
【０２１７】またインク供給路及び希釈液供給路が主面
１２１ｂ側に形成されるので、圧力室形成部材１２１に
振動板１２２を接着する際に用いる接着剤の選択範囲が
制約され難い。
【０２１８】さらに振動板１２２と圧力室形成部材１２
１を接着する際には、振動板１２２のインク供給口１２
９とインクバッファタンクを形成する貫通孔１２５、振
動板１２２の希釈液供給口１３９と希釈液バッファタン
クを形成する貫通孔１３５の位置合わせと、突起部１４
９とインク圧力室を形成する第１の凹部１２６、突起部
１５９と希釈液圧力室を形成する第４の凹部１３６の位
置合わせだけを考慮すればよく、振動板１２２の接着工
程は簡便に行われる。
【０２１９】そして、このように振動板１２２を接着し
て圧力室形成部材１２１を振動板１２２とオリフィスプ
レート１２４により挟み込むと、圧力室形成部材１２１
の貫通孔１２５によりインクバッファタンク１４３が形
成され、第２の凹部１２７によりインク供給路１４４が
形成され、第１の凹部１２６によりインク圧力室１４５
が形成され、第３の凹部１２８によりインク導入口１４
６が形成されることとなる。また、同様に、圧力室形成
部材１２１の貫通孔１３５により希釈液バッファタンク
１５３が形成され、第５の凹部１３７により希釈液供給
路１５４が形成され、第４の凹部１３６により希釈液圧
力室１５５が形成され、第６の凹部１３８により希釈液
導入口１５６が形成される。
【０２２０】この後、振動板１２２上の突起部１４９，
１５９上に積層型ピエゾ素子を配し、インク供給口１２
９と接続されるようにインク供給管１５０を配するとと
もに、希釈液供給口１３９と接続されるように希釈液供
給管１６０を配して図２２に示したような本例のプリン
タ装置のプリントヘッドを完成する。
【０２２１】これまで述べたプリンタ装置のプリントヘ
ッドの例においては、圧力室に充填されたインク或い
は、インク及び希釈液への圧力印加手段として、圧電材
料である積層型ピエゾ素子を用いた場合を示したが、本
発明はこのような圧力印加手段として発熱素子を使用し
たプリンタ装置のプリントヘッドにも適用可能である。
すなわち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドは、発
熱素子によりインクを加熱し、発生する泡の圧力により
インクを吐出させるものである。
【０２２２】このような発熱素子を使用したプリンタ装
置のプリントヘッドとしては、図４１及び図４２に示す
ようなものが挙げられる。すなわち、本例のプリンタ装
置のプリントヘッドは、図４１に示すように、基板部材
１９１と圧力室形成部材１９９、オリフィスプレート２
００よりなるものである。
【０２２３】上記基板部材１９１は、一主面１９１ａ側
の所定の位置に発熱素子１９２，１９３が形成されてな
る。
【０２２４】上記基板部材１９１は、例えば厚さが略
０．５ｍｍのシリコンにより構成される。そして、この
基板部材１９１には発熱素子１９２，１９３が形成され
ることから、発熱素子１９２，１９３を形成する材料及
び導線材料などが、パターニングにより形成されてお
り、基板部材１９１の発熱素子１９２，１９３が形成さ
れる側の主面１９１ａには、発熱素子１９２，１９３の
熱を緩和する、インクとの絶縁を図ることを目的とし
て、保護膜２０４が形成されている。
【０２２５】そして、上記圧力室形成部材１９９は発熱
素子１９２，１９３に対応する位置に圧力室１９４，１
９５を有するとともに、吐出媒体であるインクを充填し
ておくためのインクバッファタンク１９６とこのインク
バッファタンク１９６から各圧力室にインクを供給する
インク供給路１９７，１９８を面内方向に有する。
【０２２６】上記圧力室形成部材１９９は、例えば２５
μｍ程度の厚さのドライフィルム等の感光性樹脂よりな
り、図４２に模式的な平面図を示すように、各発熱素子
１９２，１９３に対応する位置に圧力室１９４，１９５
を有し、インクを充填するためのインクバッファタンク
１９６を有し、このインクバッファタンク１９６から各
圧力室１９４，１９５にインクを供給するインク供給路
１９７，１９８を有する。なお、上記インクバッファタ
ンク１９６にはこれに図示しないインクタンクからイン
クを供給するためのインク供給口２０５が底面側に形成
されている。すなわち、図４１中に示すように、インク
バッファタンク１９６の底面側から基板部材１９１を貫
通するようにインク供給口２０５が形成されている。
【０２２７】また、上記オリフィスプレート２００は金
属より成る板材２０１と有機材料膜２０２を積層形成し
たものであり、圧力室１９４，１９５に対応する位置に
インクを吐出するためのインクノズル２０２，２０３を
有する。
【０２２８】なお、上記インクノズル２０２，２０３は
圧力室１９４，１９５に連通するように形成されてい
る。そして、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、上記インクノズル２０２，２０３が板材２０１
に形成される第１の貫通孔２０２ａ，２０３ａと有機材
料膜２０２に形成される第２の貫通孔２０２ｂ，２０３
ｂを連通させて形成するようにしている。なお、上記板
材２０１と圧力室形成部材１９９間は図示しない接着剤
層、或いはドライフィルムよりなる圧力室形成部材１９
９の有する接着性により接着されている。
【０２２９】上記板材２０１は、例えばニッケルを主成
分とし、３０μｍ程度の厚さを有し、電鋳法により形成
されている。また、一方の有機材料膜２０１は、レーザ
加工性に優れ、かつ、撥水性を有する材料により形成さ
れることが望ましい。さらに、有機材料膜２０１の材質
は、撥液性を有するポリイミド系材料よりなることが好
ましく、さらには１８０℃以下の加熱により重合形成さ
れる材料が好ましく、さらにまた、ポリイミドシロキサ
ンを含む材料であることが好ましい。また、このポリイ
ミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒素と結合す
る芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換されて
おり、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３重量％〜２
５重量％であることが好ましい。
【０２３０】そして、このようなポリイミド系材料とし
ては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム
ＵＰＡ−８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１０
０Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品
名）等が挙げられる。これら有機材料膜を使用すれば、
有機材料膜の表面張力を３１Ｄｙｎｅ／ｃｍ以下とする
ことができる。
【０２３１】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいても、オリフィスプレート２００の板材２０
１を電鋳法により形成するようにし、インクノズル２０
２，２０３のうち板材２０１に形成されている第１の貫
通孔２０２ａ，２０３ａを電鋳法により形成するように
している。さらに、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、インクノズル２０２，２０３のうち有機
材料膜２０２に形成されている第２の貫通孔２０２ｂ，
２０３ｂを例えばエキシマレーザによるアブレーション
加工といったレーザ加工により形成するようにしてい
る。
【０２３２】すなわち、第２の貫通孔２０２ｂ，２０３
ｂは、板材２０１をマスク材として使用し、板材２０１
側からレーザ光を照射して有機材料膜２０２中の第１の
貫通孔２０２ａ，２０３ａに対応する部分のみにレーザ
光を照射して加工を行い、有機材料膜２０２に第１の貫
通孔２０２ａ，２０３ａと略同径の第２の貫通孔２０２
ｂ，２０３ｂを形成し、これら第１の貫通孔２０２ａ，
２０３ａ、第２の貫通孔２０２ｂ，２０３ｂによりイン
クノズル２０２，２０３を形成するようにしている。
【０２３３】したがって、本例のプリンタ装置のプリン
トヘッドにおいても、前述のピエゾ素子を使用したイン
クジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッドと同様
の効果が得られる。
【０２３４】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドは、前述したインクジェット方式のプリンタ装置のプ
リントヘッドと略同様の製造方法により製造可能であ
り、これと同様の効果を得ることができる。
【０２３５】さらに、本発明は、前述の２液混合型のプ
リンタ装置のプリントヘッドと同様の構成を有し、圧力
印加手段として発熱素子を使用したプリンタ装置のプリ
ントヘッドにも適用可能である。なお、ここでは、イン
クを定量媒体とし、希釈液を吐出媒体とするキャリアジ
ェット方式のプリンタ装置のプリントヘッドについて述
べる。上記プリンタ装置のプリントヘッドの駆動回路に
おいては、図２１に示した回路ブロック図の第１及び第
２の積層型ピエゾ素子が第１及び第２の発熱素子のそれ
ぞれ変更される。
【０２３６】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、図４３及び図４４に示すようなものが挙げら
れる。すなわち、本例のプリンタ装置のプリントヘッド
は、図４３に示すように、基板部材２０６と圧力室形成
部材２０７、オリフィスプレート２０８よりなるもので
ある。
【０２３７】上記基板部材２０６は、一主面２０６ａ側
の所定の位置に発熱素子２０９，２１０が形成されてな
る。
【０２３８】上記基板部材２０６は、例えば厚さが略
０．５ｍｍのシリコンにより構成される。そして、この
基板部材２０６には発熱素子２０９，２１０が形成され
ることから、発熱素子２０９，２１０を形成する材料及
び導線材料などが、パターニングにより形成されてお
り、基板部材２０６の発熱素子２０９，２１０が形成さ
れる側の主面２０６ａには、発熱素子２０９，２１０の
熱を緩和するため、及びインク及び希釈液との絶縁を図
ることを目的として、保護膜２１１が形成されている。
【０２３９】そして、上記圧力室形成部材２０７は発熱
素子２０９，２１０に対応する位置にインク圧力室２１
２及び希釈液圧力室２１３をそれぞれ有するとともに、
定量媒体であるインクを充填しておくためのインクバッ
ファタンク２１４とこのインクバッファタンク２１４か
ら各インク圧力室２１２にインクを供給するインク供給
路２１５を面内方向に有し、吐出媒体である希釈液を充
填しておくための希釈液バッファタンク２１６とこのイ
ンクバッファタンク２１６から各希釈液圧力室２１３に
希釈液を供給する希釈液供給路２１７を面内方向に有す
る。
【０２４０】上記圧力室形成部材２０７は、例えば２５
μｍ程度の厚さのドライフィルム等の感光性樹脂よりな
る。そして、図４４に模式的な平面図を示すように、各
発熱素子２０９に対応する位置にインク圧力室２１２を
有し、インクを充填するためのインクバッファタンク２
１４を有し、このインクバッファタンク２１４から各圧
力室２１２にインクを供給するインク供給路２１５を有
する。なお、上記インクバッファタンク２１４にはこれ
に図示しないインクタンクからインクを供給するための
インク供給口２１８が底面側に形成されている。すなわ
ち、図４３中に示すように、インクバッファタンク２１
４の底面側から基板部材２０６を貫通するようにインク
供給口２１８が形成されている。
【０２４１】さらに、この圧力室形成部材２０７におい
ては、図４４中に模式的な平面図を示すように、各発熱
素子２１０に対応する位置に圧力室２１３を有し、希釈
液を充填するための希釈液バッファタンク２１６を有
し、この希釈液バッファタンク２１６から各圧力室２１
３に希釈液を供給する希釈液供給路２１７を有する。な
お、上記希釈液バッファタンク２１６にはこれに図示し
ない希釈液タンクから希釈液を供給するための希釈液供
給口２１９が底面側に形成されている。すなわち、図４
３中に示すように、希釈液バッファタンク２１６の底面
側から基板部材２０６を貫通するように希釈液供給口２
１９が形成されている。
【０２４２】また、上記オリフィスプレート２０８は金
属より成る板材２２０と有機材料膜２２１を積層形成し
たものであり、インク及び希釈液圧力室２１２，２１３
に対応する位置にインクを定量するためのインクノズル
２２２と希釈液を吐出するための希釈液ノズル２２３を
それぞれ有する。
【０２４３】なお、上記インクノズル２２２及び希釈液
ノズル２２３はインク及び希釈液圧力室２１２，２１３
に連通するように形成されている。そして、本例のプリ
ンタ装置のプリントヘッドにおいては、上記インクノズ
ル２２２が板材２２０に形成される第１の貫通孔２２２
ａと有機材料膜２２１に形成される第２の貫通孔２２２
ｂを連通させて形成し、上記希釈液ノズル２２３が板材
２２０に形成される第１の貫通孔２２３ａと有機材料膜
２２１に形成される第２の貫通孔２２３ｂを連通させて
形成するようにしている。なお、上記板材２２０と圧力
室形成部材２０７間は図示しない接着剤層或いはドライ
フィルムよりなる圧力室形成部材２０７の有する接着性
により接着されている。
【０２４４】上記板材２２０は、例えばニッケルを主成
分とし、３０μｍ程度の厚さを有し、電鋳法により形成
されている。また、一方の有機材料膜２２１は、レーザ
加工性に優れ、かつ、撥水性を有する材料により形成さ
れることが望ましい。さらに、有機材料膜２２１の材質
は、撥液性を有するポリイミド系材料よりなることが好
ましく、さらには１８０℃以下の加熱により重合形成さ
れる材料が好ましく、さらにまた、ポリイミドシロキサ
ンを含む材料であることが好ましい。また、このポリイ
ミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒素と結合す
る芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換されて
おり、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３重量％〜２
５重量％であることが好ましい。
【０２４５】そして、このようなポリイミド系材料とし
ては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム
ＵＰＡ−８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１０
０Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品
名）等が挙げられる。これら有機材料膜を使用すれば、
有機材料膜の表面張力を３１Ｄｙｎｅ／ｃｍ以下とする
ことができる。
【０２４６】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいても、オリフィスプレート２０８の板材２２
０を電鋳法により形成するようにし、インクノズル２２
２及び希釈液ノズル２２３のうち板材２２０に形成され
ている第１の貫通孔２２２ａ，２２３ａを電鋳法により
形成するようにしている。さらに、本例のプリンタ装置
のプリントヘッドにおいては、インクノズル２２２及び
希釈液ノズル２２３のうち有機材料膜２２１に形成され
ている第２の貫通孔２２２ｂ，２２３ｂを例えばエキシ
マレーザによるアブレーション加工といったレーザ加工
により形成するようにしている。
【０２４７】すなわち、第２の貫通孔２２２ｂ，２２３
ｂは、板材２２０をマスク材として使用し、板材２２０
側からレーザ光を照射して有機材料膜２２１中の第１の
貫通孔２２２ａ，２２３ａに対応する部分のみにレーザ
光を照射して加工を行い、有機材料膜２２１に第１の貫
通孔２２２ａ，２２３ａと略同径の第２の貫通孔２２２
ｂ，２２３ｂを形成し、これら第１の貫通孔２２２ａと
第２の貫通孔２２２ｂによりインクノズル２２２を形成
し、第１の貫通孔２２３ａと第２の貫通孔２２３ｂによ
り希釈液ノズル２２３を形成するようにしている。
【０２４８】したがって、本例のプリンタ装置のプリン
トヘッドにおいても、前述のピエゾ素子を使用したキャ
リアジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッドと同
様の効果が得られる。
【０２４９】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドは、前述したキャリアジェット方式のプリンタ装置の
プリントヘッドと略同様の製造方法により製造可能であ
り、これと同様の効果を得ることができる。
【０２５０】上述した例においては、圧力印加手段とし
て、積層型の圧電素子および、発熱素子を使用したが、
本発明においては、圧力印加手段を上記の積層型の圧電
素子及び発熱素子に限定する必要はなく、例えば単板あ
るいは２層の圧電材料を用いた撓みモードの圧力上昇手
段を用いることも可能である。
【０２５１】上述した例においては、圧力室形成部材を
厚さ０．２ｍｍのステンレス材料により形成する例を示
したが、本発明においては、圧力室形成部材を上記のよ
うな条件に限定する必要はない。また、各貫通孔や凹部
を形成する手法として、エッチング法を挙げたが、射出
成形法等を使用しても良い。
【０２５２】本発明を適用したプリンタ装置のプリント
ヘッドとしては、以下に示すようなものも挙げられる。
本例のプリンタ装置のプリントヘッドは、先に図４１及
び図４２に示したものと略同様の構成を有するものであ
り、図４５にその構造を示すが、図４１及び図４２に示
したものと同様の構成を有する部分については同一の符
号を付し、説明を省略するものとする。
【０２５３】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドが先に述べたプリンタ装置のプリントヘッドと大
きく異なる点としては、圧力室形成部材２２４が例えば
エキシマレーザ等のレーザ光によるアブレーション加工
が可能な有機材料よりなり、少なくとも圧力室１９４，
１９５が、例えばエキシマレーザを用いたアブレーショ
ン加工により形成されている点が挙げられる。
【０２５４】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、圧力室形成部材２２４の少なくとも圧力室１９
４，１９５を板材２０１を加工停止材として使用し、エ
キシマレーザを用いたアブレーション加工により形成す
るようにしている。
【０２５５】上記圧力室形成部材２２４は、例えば厚さ
が２０μｍのポリイミド系材料により形成すれば良く、
圧力室１９４，１９５を形成するアブレーション加工
は、例えば波長が３００ｎｍ以下であるエキシマレーザ
光を用いて行えば良い。さらに、本例のプリンタ装置の
プリントヘッドにおいては、圧力室形成部材２２４の形
成材料を熱可塑性も有するものとし、この圧力室形成部
材２２４を接着剤としても機能させ、基板部材１９１と
オリフィスプレート２００の接着も行わせるようにすれ
ば良い。このように、圧力室形成部材２２４をポリイミ
ド系材料により構成すれば、圧力室形成部材の耐薬品性
が向上する。
【０２５６】ただし、圧力室形成部材２２４があまり薄
いと、圧力室内部に気泡が残存した場合の除去が困難と
なるので、圧力室形成部材２２４は１５μｍ以上の厚さ
を有していることが望ましい。
【０２５７】なお、上記のようなレーザ光によるアブレ
ーション加工が可能で熱可塑性のポリイミド系材料とし
ては、三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材
料ネオフレックス（商品名）等が例示される。そして、
上記三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料
ネオフレックス（商品名）を使用すれば、その表面張
力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であり、親水性材料である
ために、圧力室１９４，１９５やインク供給路１９７，
１９８中においてインク中に気泡などが付着しにくい。
【０２５８】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、オリフィスプレート２００を形成する板
材２０１を厚さ２５μｍ程度とし、保護膜２０４を導電
材料の短絡、溶液のコゲーションを防止するためにＳｉ
Ｃ等により形成することが好ましい。さらに、有機材料
膜２０２の厚さを例えば１５μｍとすることが好まし
い。
【０２５９】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いても、これまでに述べたプリンタ装置のプリントヘッ
ドと同様の効果が得られ、また圧力室形成部材２２４を
化学的に安定で高い耐薬品性を有する有機材料により形
成し、ドライフィルム等の感光性樹脂材料を使用しない
ことから、長時間の繰り返し使用にも十分耐え得るプリ
ンタ装置のプリントヘッドが得られることとなる。
【０２６０】このような本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにより印刷を行うには、以下のようにすれば良
い。すなわち、図４６に示すように、図示しないインク
タンクからインク２２５がインク供給口２０５を通じて
インクバッファタンク１９６に供給され、ここから各イ
ンク供給路１９７，１９８を通じて各圧力室１９４，１
９５に充填され、これら圧力室１９４，１９５からこれ
らに応じたインクノズル２０２，２０３の先端まで充填
され、これらの先端には表面張力の釣り合いにより、メ
ニスカスＤ1 ，Ｄ2 が形成され、インク吐出の待機状態
となる。
【０２６１】次に、図４７に示すように、例えば発熱素
子１９３に電圧を印加する。すると、これに対応する圧
力室１９５内のインク２２５が加熱されて沸騰し、発熱
素子１９５上に泡２２６が発生する。この結果、圧力室
１９５内の圧力が上昇し、インク２０３にメニスカスＤ
2 を形成していたインク２２５がインクノズル２０３よ
り押し出される。
【０２６２】そして、発熱素子１９３に印加していた電
圧を解除すると、発熱素子１９３からの熱供給が停止す
るため、圧力室１９５内の沸騰状態が収まり、圧力室１
９５内の圧力は低下する。このため、インクノズル２０
３から押し出されたインク２２５とインクノズル２０３
内のインク２２５間にくびれが生じ、図４８に示すよう
に、インクノズル２０３からインク液滴２２７が吐出さ
れ、これが被記録材に付着して印刷が行われる。その
後、インクノズル２０３には再度インク２２５が充填さ
れて、新たなメニスカスが形成され、図４６に示した待
機状態に戻る。
【０２６３】このような動作は、他方の発熱素子１９２
においても同様に行われ、この動作を繰り返すことによ
り印刷が行われる。
【０２６４】ここで、発熱素子１９３に与えられている
駆動電圧の時間変化は、インクノズル２０３からインク
２２５を吐出し得るように設定されている。
【０２６５】次に、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、基板部材を形成す
る。すなわち、図４９に示すように、例えば両面に酸化
処理を行うことにより１μｍ程度の図示しない酸化シリ
コン膜が形成された厚さ略０．５ｍｍのシリコン基板２
３０の相対向する主面のうちの一方の主面２３０ａに抵
抗膜となるＴａＡｌ膜２３１を例えばスパッタリング法
により形成した後、導体パターンとなるＡｌ膜２３２を
例えばスパッタリング法により形成する。
【０２６６】次に、フォトレジストを用いて、導体パタ
ーンに対応したパターン形状を上記Ａｌ膜２３２上に形
成し、そのフォトレジストをマスク材として、例えばリ
ン酸／硝酸の混合水溶液を用いてエッチングを行い、図
５０に示すような導体パターン２３４を形成する。
【０２６７】なお、この工程においては、使用するエッ
チング溶液（リン酸／硝酸の混合水溶液）の濃度を調整
して、抵抗膜であるＴａＡｌ膜２３１がエッチングされ
ないようにする。
【０２６８】続いて、フォトレジストを用いて、導体パ
ターンと発熱素子の発熱部となる抵抗体部分とを含む形
状に対応したパターンを上記Ａｌ膜２３１及びＴａＡｌ
膜２３２上に形成し、そのフォトレジストをマスク材と
して、例えばフッ酸／硝酸／リン酸の混合水溶液を用い
てエッチングを行い、図５１に示すように、導体パター
ン２３４の下層にＴａＡｌ膜２３１を残し、且つＴａＡ
ｌ膜２３１の一部を露呈させて抵抗体２３５ａ，２３５
ｂを形成するとともに、不要な部分を除去する。
【０２６９】次に、図５２に示すように、導体パターン
２３４及び抵抗体２３５ａ，２３５ｂ上に、上記導体パ
ターン２３４が溶液によって短絡することを防止するた
め、さらには、インクのコゲーションを防止するため
に、例えばＳｉＣ等よりなる保護膜２３６を形成する。
【０２７０】なお、この工程においては、導体パターン
２３４中の図示しない外部配線との接続部分には、保護
膜２３６が形成されないようにする。
【０２７１】次に、図５３に示すように、一主面２３０
ａ側にＴａＡｌ膜２３１、導体パターン２３４、保護膜
２３６が積層されたシリコン基板２３０に、例えば超音
波加工により、インク供給口２０５を形成し、基板部材
１９１を完成する。
【０２７２】次に、オリフィスプレートを製造する。す
なわち、図５４に示すように、電鋳時のベースとなり、
オリフィスプレートよりも大きいステンレススチールよ
りなるステンレスプレート２４１を用意し、その一方の
主面２４１ａ上に、例えばプリント基板のめっき工程に
使用されるめっき用ドライフィルムなどの感光性材料を
用いて、オリフィスプレートのインクノズルあるいは外
形などの形状に対応したパターン２４２を形成する。
【０２７３】続いて、図５５に示すように、上記パター
ン２４２の形成されたステンレスプレート２４１を電解
ニッケルめっき浴に浸して、めっきを行い、めっき膜２
４３を形成する。なおこのとき、めっき膜２４３の厚さ
は、ドライフィルムにより形成したパターン２４２の厚
さよりも薄くする必要がある。これは、前述のように、
インクノズルを形成する第１の貫通孔はこのパターン２
４２の形状に応じて形成されるが、その長さをパターン
２４２の高さよりも厚くすると正確な形状で形成するこ
とが困難となるためであり、パターン２４２の高さより
短く形成することで、形状の乱れを生じることなく、第
１の貫通孔を有するめっき膜２４３を形成することが可
能となる。
【０２７４】例えば、ドライフィルムを用いたパターン
２４２の厚さとして３０μｍを選択した場合において
は、めっき膜２４３の厚さを２５μｍ程度とすることに
より、ノズル径３５μｍ程度の第１の貫通孔を有するめ
っき膜２４３をノズル形状の乱れなく形成することがで
きる。
【０２７５】続いて、めっき膜２４３をステンレスプレ
ート２４１より剥離し、洗浄し、図５６に示すような第
１の貫通孔２０２ａ，２０３ａを有する板材２０１を形
成する。このとき、洗浄は、専用ドライフィルム剥離液
或いは水酸化ナトリウム水溶液を用いて行うことが可能
である。
【０２７６】次に、図５７に示すように、板材２０１の
第１の貫通孔２０２ａ，２０３ａが開口する相対向する
主面のうち、一方の主面２０１ｂに、例えばエキシマレ
ーザ等のレーザによるアブレーション加工が可能で熱可
塑性を有する有機材料２４４（第２の有機材料膜）を形
成する。
【０２７７】このような有機材料としては、たとえば、
三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネ
オフレックス（商品名）等が挙げられる。
【０２７８】続いて、図５８に示すように、板材２０１
の上述の熱可塑性を有する有機材料２４４が形成される
主面２０１ｂとは反対側の主面２０１ａに撥液性を有す
る有機材料膜２４５（第１の有機材料膜）を形成する。
【０２７９】上記有機材料膜２４５は、レーザ加工性に
優れ、かつ、撥水性を有していることが望ましい。この
有機材料膜２４５を形成する材料としては、例えば撥液
性を有するポリイミド系材料が挙げられ、１８０℃以下
の加熱により重合形成される材料が好ましく挙げられ、
さらにはポリイミドシロキサンが好ましく挙げられる。
このポリイミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒
素と結合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより
置換されており、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３
重量％〜２５重量％であることが好ましい。
【０２８０】このようなポリイミド系材料としては、宇
部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−
８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１００Ｌ（商
品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）等が挙
げられ、図５８においては、例えば、形成後の膜厚が３
０μｍ程度となるフィルム形状とされた宇部興産株式会
社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商
品名）を熱ラミネートする事により貼り合わせる工程を
示すこととする。
【０２８１】そして、上述した有機材料を用いた場合に
おいてそれぞれ推奨の硬化条件により、有機材料膜２４
５の硬化処理を行う。例えば、有機材料膜２４５とし
て、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム Ｕ
ＰＡ−８３２２（商品名）を用いた場合においては最高
温度１６０℃の処理を行うことにより、耐薬品性に優れ
た撥液性を有する有機材料フィルムを形成することがで
きる。そして、熱処理の最高温度が１８０℃以下の低い
温度の材料を用いることにより、板材２０１の劣化の発
生、および熱膨張率の違いによるそりの発生を低く抑え
ることができることとなる。
【０２８２】なお、上記有機材料膜２４５は、図５５に
示しためっき工程において、ステンレスプレート２４１
と対向する側の面（ステンレスプレート４１が配されな
い側の面）に形成することが望ましい。これは、ステン
レスプレート２４１と対向する主面の方が他の主面と比
較して表面荒さが荒いために、有機材料膜２４１との密
着性の向上が得られやすいこと、そしてノズルに対応す
るドライフィルムよりなるパターン２４２の形状が、若
干ではあるが、ステンレスプレート２４１と対向しない
側の主面からステンレスプレート２４１と対向する側の
主面に向かって細くなるテーパー形状を有しているため
に、プリンタ装置のプリントヘッドとしての吐出方向安
定性に優れた特性が得られやすいためである。
【０２８３】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材２４１上の有機材料２４４側からエキシマレーザを
垂直に照射する。なお、ここでは、投影マスクを用いる
ことによりエキシマレーザ光を圧力室、インク供給路、
インクバッファタンクに対応した部分のみに照射するよ
うにする。
【０２８４】そして、照射するエキシマレーザ光のエネ
ルギー密度は、ポリイミド材料等の有機材料が精度良く
加工ができるような条件に合わせ、金属材料には損傷を
与えず、有機材料のみをアブレーション加工できるもの
とする。
【０２８５】エキシマレーザ光を照射された部分は、ア
ブレーション加工がなされることとなり、有機材料２４
４には、図５９に示すように、投影マスクの形状に対応
した圧力室１９４，１９５、インク供給路１９７，１９
８、インクバッファタンク１９６が形成され、圧力室形
成部材２２４が形成される。なお、このとき、有機材料
２４４の下層側にはアブレーション加工が不可能な板材
２０１が存在することから、この板材２０１が加工停止
層として機能し、所定形状に応じた貫通孔が形成されて
有機材料２４４の加工が終了する。
【０２８６】さらには、有機材料２４４の加工が終わる
と、その下層となる板材２０１中の第１の貫通孔２０２
ａ，２０３ａ形成部分のみ、エキシマレーザ光が透過し
て、撥液性を有する有機材料膜２４５に到達することと
なり、図５９に示すように第２の貫通孔２０２ｂ，２０
３ｂが形成され、第１及び第２の貫通孔２０２ａ，２０
２ｂによりインクノズル２０２が形成されるとともに、
第１及び第２の貫通孔２０３ａ，２０３ｂによりインク
ノズル２０３が形成され、圧力室形成部材２２４と接着
された状態でオリフィスプレート２００が形成される。
【０２８７】なお、上記のエキシマレーザによるアブレ
ーション加工においては、第１の貫通孔２０２ａ，２０
３ａ内に入り込んだ有機材料膜２４５を容易に除去する
ことができ、板材２０１に形成される第１の貫通孔２０
２ａ，２０３ａと有機材料膜２０２に形成される第２の
貫通孔２０２ｂ，２０３ｂ間に段差を生じることがな
く、なめらかに連続した形状のインクノズル２０２，２
０３が形成される。
【０２８８】さらに、図５９に示した工程においては、
有機材料２４４のアブレーション加工に必要なマスク材
料として投影マスクを用いるものの、有機材料膜２４５
の加工時には板材２０１をマスク材として使用してお
り、エキシマレーザ加工装置の光学系に配置する投影マ
スクの枚数を減らすことができ、エキシマレーザ加工装
置機のランニングコストが低減され、製造コストが低減
される。
【０２８９】なお、上述の例においては、有機材料膜２
０２をフィルム形状とされた宇部興産株式会社製のポリ
イミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商品名）によ
り形成する例について述べたが、有機材料膜２０２は、
その原材料としての形状が液状である、ユピコートＦＳ
−１００Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００
（商品名）を用いても形成可能であり、めっき膜２４３
のめっきが終了して、ステンレスプレート２４１より剥
離する前の状態であれば、形成することができる。
【０２９０】さらに、有機材料膜２０２を、その原材料
としての形状が液状である、ユピコートＦＳ−１００Ｌ
（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）を
用いて形成する場合に、板材２０１をステンレスプレー
ト２４１から剥離した後の状態において塗布を行い、こ
れら液体が板材２０１の第１の貫通孔２０２ａ，２０３
ａにまわり込んだとしても、エキシマレーザの照射によ
り、板材２０１に形成された第１の貫通孔２０２ａ，２
０３ａ内に存在する有機材料は除去されることとなるの
で、ノズルの形状の乱れを容易に防ぐことが可能であ
る。
【０２９１】またさらには、上述の例においては、熱可
塑性の有機材料２４４を形成した後に、撥液性を有する
有機材料膜２４５の形成を行ったが、この順序は逆であ
っても構わない。
【０２９２】次に、図６０に示すように、先に形成した
基板部材１９１と上述のようにして形成した圧力室形成
部材２２４とオリフィスプレート２００を基板部材１９
１上に圧力室形成部材２４４が配されるようにして接着
し、図４５に示したようなプリンタ装置のプリントヘッ
ドを完成する。なお、この接着工程においては、圧力室
形成部材２２４を形成する熱可塑性の有機材料の接着性
を利用して接着を行っており、エポキシ接着剤等を用い
ることなく、接着を行うことが可能である。
【０２９３】上記圧力室形成部材２２４を三井東圧化学
株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス
（商品名）により形成した場合においては、２３０℃程
度のプレス温度で２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力
を加えることにより接着が可能である。
【０２９４】上述の例においては、圧力室形成部材２２
４を例えば三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミ
ド材料 ネオフレックス（商品名）により形成した場合
について説明したが、圧力室形成部材２２４は、図６１
に示すような例えば東レ・デュポン（株）社製のカプト
ン（商品名）といった熱可塑性を有しないポリイミドフ
ィルム材料２４６の両面に、例えば三井東圧化学株式会
社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス（商品
名）といった熱可塑性の材料膜２４７ａ，２４７ｂが形
成された積層構造を有する有機材料２４８により形成し
てもよい。
【０２９５】このような積層構造を有する有機材料２４
８を用いることによって、熱可塑性を有している部分、
すなわち、熱と圧力を加えることによって、変形しやす
い部分の割合が減ることとなるので、基板部材との接着
工程において圧力室の形状崩れ等を発生させる危険性を
低減することが可能である。また、この場合において
も、有機材料２４８を構成する材料として、いずれもエ
キシマレーザ光を用いたアブレーション加工がなされや
すい材料を用いているので、圧力室、インク供給路、イ
ンクバッファタンクの加工を容易に行うことができる。
【０２９６】本発明を適用したプリンタ装置のプリント
ヘッドとしては、以下に示すようなものも挙げられる。
本例のプリンタ装置のプリントヘッドは、先に図４３及
び図４４に示したものと略同様の構成を有するものであ
り、図６２にその構造を示すが、図４３及び図４４に示
したものと同様の構成を有する部分については同一の符
号を付し、説明を省略するものとする。
【０２９７】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドが先に述べたプリンタ装置のプリントヘッドと大
きく異なる点としては、圧力室形成部材２４９が例えば
エキシマレーザ等のレーザ光によるアブレーション加工
が可能な有機材料よりなり、少なくともインク圧力室２
１２、希釈液圧力室２１３が、例えばエキシマレーザを
用いたアブレーション加工により形成されている点が挙
げられる。
【０２９８】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、圧力室形成部材２４９の少なくともインク圧力
室２１２と希釈液圧力室２１３を板材２２０を加工停止
材として使用し、エキシマレーザを用いたアブレーショ
ン加工により形成するようにしている。
【０２９９】上記圧力室形成部材２４９は、例えば厚さ
が２０μｍのポリイミド系材料により形成すれば良く、
インク圧力室２１２と希釈液圧力室２１３を形成するア
ブレーション加工は、例えば波長が３００ｎｍ以下であ
るエキシマレーザ光を用いて行えば良い。さらに、本例
のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、圧力室形
成部材２４９の形成材料を熱可塑性も有するものとし、
この圧力室形成部材２４９を接着剤としても機能させ、
基板部材２０６とオリフィスプレート２０８の接着も行
わせるようにすれば良い。このように、圧力室形成部材
２４９をポリイミド系材料により構成すれば、圧力室形
成部材の耐薬品性が向上する。
【０３００】ただし、圧力室形成部材２４９があまり薄
いと、圧力室内部に気泡が残存した場合の除去が困難と
なるので、圧力室形成部材２４９は１５μｍ以上の厚さ
を有していることが望ましい。
【０３０１】なお、上記のようなレーザ光によるアブレ
ーション加工が可能で熱可塑性のポリイミド系材料とし
ては、三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材
料ネオフレックス（商品名）等が例示される。そして、
上記三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料
ネオフレックス（商品名）を使用すれば、その表面張
力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であり、親水性材料である
ために、インク圧力室２１２と希釈液圧力室２１３やイ
ンク供給路２１５及び希釈液供給路２１７においてイン
ク中に気泡などが付着しにくい。
【０３０２】また、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドにおいては、オリフィスプレート２０８を形成する板
材２２０を厚さ２５μｍ程度とし、保護膜２１１を導電
材料の短絡、溶液のコゲーションを防止するためにＳｉ
Ｃ等により形成することが好ましい。さらに、有機材料
膜２２１の厚さを例えば１５μｍとすることが好まし
い。
【０３０３】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いても、これまでに述べたプリンタ装置のプリントヘッ
ドと同様の効果が得られ、また圧力室形成部材２４９を
化学的に安定で高い耐薬品性を有する有機材料により形
成し、ドライフィルム等の感光性樹脂材料を使用しない
ことから、長時間の繰り返し使用にも十分耐え得るプリ
ンタ装置のプリントヘッドが得られることとなる。
【０３０４】このような本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにより印刷を行うには、以下のようにすれば良
い。ここでは、駆動電圧の印加タイミングチャートを用
いて説明する。すなわち、図６３に示すように、図示し
ないインクタンクからインク２５０がインク供給口２１
８を通じてインクバッファタンク２１４に供給され、こ
こからインク供給路２１５を通じてインク圧力室２１２
に充填され、インク圧力室２１２からこれに応じたイン
クノズル２２２の先端まで充填され、この先端には表面
張力の釣り合いにより、メニスカスが形成される。ま
た、図示しない希釈液タンクから希釈液２５１が希釈液
供給口２１９を通じて希釈液バッファタンク２１６に供
給され、ここから希釈液供給路２１７を通じて希釈液圧
力室２１３に充填され、希釈液圧力室２１３からこれに
応じた希釈液ノズル２２３の先端まで充填され、この先
端には表面張力の釣り合いにより、メニスカスが形成さ
れる。すなわち、吐出待機状態となる。この吐出待機状
態は、図６４（ａ）（ｂ）に示すように図中（Ａ）で示
す時点であり、発熱素子２０９，２１０の駆動電圧は零
Ｖとされている。なお、図６４（ａ）（ｂ）において
は、横軸を時間、縦軸を電圧として表している。
【０３０５】次に、図６４（ｂ）中（Ｂ）で示す時点か
ら発熱素子２０９の駆動電圧を徐々に３Ｖまで上昇さ
せ、この状態でしばらく保持する。すると、発熱素子２
０９が発熱することから、インク圧力室内２１２のイン
ク２５０が加熱され沸騰し、図６５に示すように、発熱
素子２０９上に泡２５２が発生し、インク圧力室２１２
内の圧力が上昇し、インクノズル２２２先端にメニスカ
スを形成していたインク２５０は、インクノズル２５０
先端よりあふれることとなる。そして、希釈液ノズル２
２３の先端近傍においてメニスカスを形成している希釈
液２５１と接触して混合溶液２５３を希釈液ノズル２２
３の先端近傍において形成する。
【０３０６】次に、図６４（ａ）中（Ｃ）で示す時点に
おいて発熱素子２１０の電圧を５Ｖとし、この状態でし
ばらく保持する。すると、発熱素子２１０が発熱し、希
釈液圧力室２１３内の希釈液２５１が加熱され沸騰し、
図６６に示すように希釈液圧力室２１３内の発熱素子２
１０上に泡２５４が発生し、希釈液圧力室２１３内の圧
力が上昇するため、希釈液ノズル２２３から混合溶液２
５３が押し出される。
【０３０７】なお、上記発熱素子２１０の駆動電圧を５
Ｖまで上昇させた後、すなわち、図６４（ａ）（ｂ）中
（Ｃ）で示す時点よりも後の時点から図中（Ｄ）で示す
時点までかけて発熱素子２０９の電圧を徐々に元の零Ｖ
まで戻す。すると、発熱素子２０９の加熱が終了するこ
とから、インク圧力室２１２内の圧力の上昇が収まり、
インクノズル２２２から押し出されたインク２５０とイ
ンクノズル２２２内に残存しているインク間が分かれ、
図６６中に示すように、インク２５０はインクノズル２
２２内に引き込まれる。
【０３０８】続いて、図６４（ａ）中（Ｅ）で示す時点
において、発熱素子２１０の駆動電圧を元の零Ｖに戻
す。すると、発熱素子２１０の加熱が終了することか
ら、希釈液圧力室２１３内の圧力の上昇が収まり、希釈
液ノズル２２３から押し出された混合液２５３と希釈液
ノズル２２３内に充填されている希釈液間が分かれ、図
６７に示すように、混合溶液２５３が吐出媒体ノズル２
２３より吐出され、被記録材に被着して印刷が行われ
る。なお、図６４（ａ）中（Ｅ）で示す時点は図６４
（ｂ）中（Ｄ）で示す時点よりも後の時点とする。
【０３０９】その後、インクノズル２２２には再度イン
ク２５０が充填されて、新たなメニスカスが形成され、
希釈液ノズル２２３には再度希釈液２５１が充填され
て、新たなメニスカスが形成されて図６３に示した待機
状態に戻り、このような動作を繰り返すことにより印刷
が行われる。
【０３１０】ここで発熱素子２０９に与えられている駆
動電圧の時間変化は、インクノズル２２２からインク２
５０を画像データの階調に応じた量を押し出し得るよう
に設定されている。
【０３１１】また、発熱素子２１０に与えられている駆
動電圧の時間変化は、希釈液ノズル２２３から混合溶液
を吐出し得るように設定されている。
【０３１２】なお、この例の場合、図６４中ｔ1 で示す
インク吐出時間は例えば２０μｓｅｃ程度とされ、図６
４中ｔ2 で示す希釈液吐出時間は例えば１０μｅｃ程度
とされ、図６４中ｔ3 で示す吐出周期は１ｍｓｅｃ（周
波数１ｋＨｚ）とされており、図６４中Ｖ1 で示す定量
電圧は可変とされている。
【０３１３】次に、本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、基板部材を形成す
る。すなわち、図６８に示すように、例えば両面に酸化
処理を行うことにより１μｍ程度の図示しない酸化シリ
コン膜が形成された厚さ略０．５ｍｍのシリコン基板２
６０の相対向する主面のうちの一方の主面２６０ａに抵
抗膜となるＴａＡｌ膜２６１を例えばスパッタリング法
により形成した後、導体パターンとなるＡｌ膜２６２を
例えばスパッタリング法により形成する。
【０３１４】次に、フォトレジストを用いて、導体パタ
ーンに対応したパターン形状を上記Ａｌ膜２６２上に形
成し、そのフォトレジストをマスク材として、例えばリ
ン酸／硝酸の混合水溶液を用いてエッチングを行い、図
６９に示すような導体パターン２６４を形成する。
【０３１５】なお、この工程においては、使用するエッ
チング溶液（リン酸／硝酸の混合水溶液）の濃度を調整
して、抵抗膜であるＴａＡｌ膜２６１がエッチングされ
ないようにする。
【０３１６】続いて、フォトレジストを用いて、導体パ
ターンと発熱素子の発熱部となる抵抗体部分とを含む形
状に対応したパターンを上記Ａｌ膜２６１及びＴａＡｌ
膜２６２上に形成し、そのフォトレジストをマスク材と
して、例えばフッ酸／硝酸／リン酸の混合水溶液を用い
てエッチングを行い、図７０に示すように、導体パター
ン２６４の下層にＴａＡｌ膜２６１を残し、且つＴａＡ
ｌ膜２６１の一部を露呈させて２つの発熱素子に対応す
るような抵抗体２６５ａ，２６５ｂを形成するととも
に、不要な部分を除去する。
【０３１７】次に、図７１に示すように、導体パターン
２６４及び抵抗体２６５ａ，２６５ｂ上に、上記導体パ
ターン２６４が溶液によって短絡することを防止するた
め、さらには、インクのコゲーションを防止するため
に、例えばＳｉＣ等よりなる保護膜２６６を形成する。
【０３１８】なお、この工程においては、導体パターン
２６４中の図示しない外部配線との接続部分には、保護
膜２６６が形成されないようにする。
【０３１９】次に、図７２に示すように、一主面２６０
ａ側にＴａＡｌ膜２６１、導体パターン２６４、保護膜
２６６が積層されたシリコン基板２６０に、例えば超音
波加工により、インク供給口２１８及び希釈液供給口２
１９を形成し、基板部材２０６を完成する。
【０３２０】次に、オリフィスプレートを製造する。す
なわち、図７３に示すように、電鋳時のベースとなり、
オリフィスプレートよりも大きいステンレスプレート２
７１を用意し、その一方の主面２７１ａ上に、例えばプ
リント基板のめっき工程に使用されるめっき用ドライフ
ィルムなどの感光性材料を用いて、オリフィスプレート
のインクノズルあるいは外形などの形状に対応したパタ
ーン２７２を形成する。
【０３２１】続いて、図７４に示すように、上記パター
ン２７２の形成されたステンレスプレート２７１を電解
ニッケルめっき浴に浸して、めっきを行い、めっき膜２
７３を形成する。なおこのとき、めっき膜２７３の厚さ
は、ドライフィルムにより形成したパターン２７２の厚
さよりも薄くする必要がある。これは、前述のように、
インクノズル及び希釈液ノズルを形成する第１の貫通孔
はこのパターン２７２の形状に応じて形成されるが、そ
の長さをパターン２７２の高さよりも厚くすると正確な
形状で形成することが困難となるためであり、パターン
２７２の高さより短く形成することで、形状の乱れを生
じることなく、第１の貫通孔を有するめっき膜２７３を
形成することが可能となる。
【０３２２】例えば、ドライフィルムを用いたパターン
２７２の厚さとして３０μｍを選択した場合において
は、めっき膜２７３の厚さを２５μｍ程度とすることに
より、ノズル径３５μｍ程度の第１の貫通孔を有するめ
っき膜２７３をノズル形状の乱れなく形成することがで
きる。
【０３２３】続いて、めっき膜２７３をステンレスプレ
ート２７１より剥離し、洗浄し、図７５に示すような第
１の貫通孔２２２ａ，２２３ａを有する板材２２０を形
成する。このとき、洗浄は、専用ドライフィルム剥離液
或いは水酸化ナトリウム水溶液を用いて行うことが可能
である。
【０３２４】次に、図７６に示すように、板材２２０の
第１の貫通孔２２２ａ，２２３ａが開口する相対向する
主面のうち、一方の主面２２０ｂに、例えばエキシマレ
ーザ等のレーザによるアブレーション加工が可能で熱可
塑性を有する有機材料２７４を形成する。
【０３２５】このような有機材料としては、たとえば、
三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネ
オフレックス（商品名）等が挙げられる。
【０３２６】続いて、図７７に示すように、板材２２０
の上述の熱可塑性を有する有機材料２７４が形成される
主面２２０ｂとは反対側の主面２２０ａに撥液性を有す
る有機材料膜２７５を形成する。
【０３２７】上記有機材料膜２７５は、レーザ加工性に
優れ、かつ、撥水性を有していることが望ましい。この
有機材料膜２７５を形成する材料としては、例えば撥液
性を有するポリイミド系材料が挙げられ、１８０℃以下
の加熱により重合形成される材料が好ましく挙げられ、
さらにはポリイミドシロキサンが好ましく挙げられる。
このポリイミドシロキサンにおいては、イミド結合の窒
素と結合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより
置換されており、Ｓｉのポリイミドに対する含有量が３
重量％〜２５重量％であることが好ましい。
【０３２８】このようなポリイミド系材料としては、宇
部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−
８３２２（商品名）や、ユピコートＦＳ−１００Ｌ（商
品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）等が挙
げられ、図７７においては、例えば、形成後の膜厚が３
０μｍ程度となるフィルム形状とされた宇部興産株式会
社製のポリイミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商
品名）を熱ラミネートする事により貼り合わせる工程を
示すこととする。
【０３２９】そして、上述した有機材料を用いた場合に
おいてそれぞれ推奨の硬化条件により、有機材料膜２４
５の硬化処理を行う。例えば、有機材料膜２７５とし
て、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィルム Ｕ
ＰＡ−８３２２（商品名）を用いた場合においては最高
温度１６０℃の処理を行うことにより、耐薬品性に優れ
た撥液性を有する有機材料フィルムを形成することがで
きる。そして、熱処理の最高温度が１８０℃以下の低い
温度の材料を用いることにより、板材２２０の劣化の発
生、および熱膨張率の違いによるそりの発生を低く抑え
ることができることとなる。
【０３３０】なお、上記有機材料膜２７５は、図７４に
示しためっき工程において、ステンレスプレート２７１
と対向する側の面（ステンレスプレート２７１が配され
る面と反対側の面）に形成することが望ましい。これ
は、ステンレスプレート２７１と対向する主面の方が他
の主面と比較して表面荒さが荒いために、有機材料膜２
７１との密着性の向上が得られやすいこと、そしてノズ
ルに対応するドライフィルムよりなるパターン２７２の
形状が、若干ではあるが、ステンレスプレート２７１と
対向しない側の主面からステンレスプレート２７１と対
向する側の主面に向かって細くなるテーパー形状を有し
ているために、プリンタ装置のプリントヘッドとしての
吐出方向安定性に優れた特性が得られやすいためであ
る。
【０３３１】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材２２０上の有機材料２７４側からエキシマレーザ光
を垂直に照射する。なお、ここでは、投影マスクを用い
ることによりエキシマレーザ光を希釈液圧力室、希釈液
供給路、希釈液バッファタンクに対応した部分のみに照
射するようにする。
【０３３２】そして、照射するエキシマレーザ光のエネ
ルギー密度は、ポリイミド材料等の有機材料が精度良く
加工ができるような条件に合わせ、金属材料には損傷を
与えず、有機材料のみをアブレーション加工できるもの
とする。
【０３３３】エキシマレーザ光を照射された部分は、ア
ブレーション加工がなされることとなり、有機材料２７
４には、図７８に示すように、投影マスクの形状に対応
した希釈液圧力室２１３、希釈液供給路２１７、希釈液
バッファタンク２１６が形成される。なお、このとき、
有機材料２７４の下層側にはアブレーション加工が不可
能な板材２２０が存在することから、この板材２２０が
加工停止層として機能し、所定形状に応じた貫通孔が形
成されて有機材料２７４の加工が終了する。
【０３３４】さらには、有機材料２７４の加工が終わる
と、その下層となる板材２２０中の第１の貫通孔２２３
ａ形成部分のみ、エキシマレーザ光が透過して、撥液性
を有する有機材料膜２７５に到達することとなり、図７
８中に示すように第２の貫通孔２２３ｂが形成され、第
１及び第２の貫通孔２２３ａ，２２３ｂにより希釈液ノ
ズル２２３が形成される。
【０３３５】さらに、エキシマレーザ加工装置を用い
て、板材２２０上の有機材料２７４側からエキシマレー
ザ光を斜め方向に照射する。なお、ここでは、投影マス
クを用いることによりエキシマレーザ光をインク圧力
室、インク供給路、インクバッファタンクに対応した部
分のみに照射するようにする。
【０３３６】そして、照射するエキシマレーザ光のエネ
ルギー密度は、ポリイミド材料等の有機材料が精度良く
加工ができるような条件に合わせ、金属材料には損傷を
与えず、有機材料のみをアブレーション加工できるもの
とする。
【０３３７】エキシマレーザ光を照射された部分は、ア
ブレーション加工がなされることとなり、有機材料２７
４には、図７８中に示すように、投影マスクの形状に対
応したインク圧力室２１２、インク供給路２１５、イン
クバッファタンク２１４が形成される。
【０３３８】ところで、上記のようにエキシマレーザ光
を斜め方向に照射すると、投影マスクに覆われない部分
は有機材料２７４の厚さ方向に対して斜め方向に加工さ
れ、その結果、図７８中に示すように、インク圧力室２
１２、インク供給路２１５、インクバッファタンク２１
４は有機材料２７４の厚さ方向に対して斜め方向に形成
される。
【０３３９】なお、このとき、有機材料２７４の下層側
にはアブレーション加工が不可能な板材２２０が存在す
ることから、この板材２２０が加工停止層として機能
し、所定形状に応じた貫通孔が形成されて有機材料２７
４の加工が終了する。
【０３４０】さらには、有機材料２７４の加工が終わる
と、その下層となる板材２２０中の第１の貫通孔２２２
ａ形成部分のみ、エキシマレーザ光が透過して、撥液性
を有する有機材料膜２７５に到達することとなり、図７
８中に示すように第２の貫通孔２２２ｂが形成され、第
１及び第２の貫通孔２２２ａ，２２２ｂによりインクノ
ズル２２２が形成される。
【０３４１】なお、この工程においてもエキシマレーザ
光は有機材料膜２７５の厚さ方向に対して斜め方向に照
射されていることから、第２の貫通孔２２２ｂも有機材
料膜２７５の厚さ方向に対して斜め方向に形成され、第
２の貫通孔２２２ｂは第２の貫通孔２２３ｂに徐々に近
づいていくように形成され、有機材料膜２２１が完成す
る。
【０３４２】すなわち、上記工程において、インク圧力
室２１２、インク供給路２１５、インクバッファタンク
２１４、希釈液圧力室２１３、希釈液供給路２１７、希
釈液バッファタンク２１６が形成される圧力室形成部材
２４９が形成される。さらには、インクノズル２２２と
希釈液ノズル２２３を有するオリフィスプレート２２１
が圧力室形成部材２４９と接着された状態で形成され
る。
【０３４３】なお、上記のエキシマレーザによるアブレ
ーション加工においては、第１の貫通孔２２２ａ，２２
３ａ内に入り込んだ有機材料膜２７５を容易に除去する
ことができ、板材２２０に形成される第１の貫通孔２２
２ａ，２２３ａと有機材料膜２２１に形成される第２の
貫通孔２２２ｂ，２２３ｂ間に段差を生じることがな
く、なめらかに連続した形状のインクノズル２２２、希
釈液ノズル２２３が形成される。
【０３４４】さらに、図７８に示した工程においては、
有機材料２７４のアブレーション加工に必要なマスク材
料として投影マスクを用いるものの、有機材料膜２７５
の加工時には板材２２０をマスク材として使用してお
り、エキシマレーザ加工装置の光学系に配置する投影マ
スクの枚数を減らすことができ、エキシマレーザ加工装
置機のランニングコストが低減され、製造コストが低減
される。
【０３４５】なお、上述の例においては、有機材料膜２
２１をフィルム形状とされた宇部興産株式会社製のポリ
イミド接着フィルム ＵＰＡ−８３２２（商品名）によ
り形成する例について述べたが、有機材料膜２２１は、
その原材料としての形状が液状である、ユピコートＦＳ
−１００Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００
（商品名）を用いても形成可能であり、めっき膜２７３
のめっきが終了して、ステンレスプレート２７１より剥
離する前の状態であれば、形成することができる。
【０３４６】さらに、有機材料膜２２１を、その原材料
としての形状が液状である、ユピコートＦＳ−１００Ｌ
（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）を
用いて形成する場合に、板材２２０をステンレスプレー
ト２７１から剥離した後の状態において塗布を行い、こ
れら液体が板材２２０の第１の貫通孔２２２ａ，２２３
ａにまわり込んだとしても、エキシマレーザの照射によ
り、板材２２０に形成された第１の貫通孔２２２ａ，２
２３ａ内に存在する有機材料は除去されることとなるの
で、ノズルの形状の乱れを容易に防ぐことが可能であ
る。
【０３４７】またさらには、上述の例においては、熱可
塑性の有機材料２７４を形成した後に、撥液性を有する
有機材料膜２７５の形成を行ったが、この順序は逆であ
っても構わない。
【０３４８】次に、図７９に示すように、先に形成した
基板部材２０６と上述のようにして形成した圧力室形成
部材２４９とオリフィスプレート２０８を基板部材２０
６上に圧力室形成部材２４９が配されるようにして接着
し、図６２に示したようなプリンタ装置のプリントヘッ
ドを完成する。なお、この接着工程においては、圧力室
形成部材２４９を形成する熱可塑性の有機材料の接着性
を利用して接着を行っており、エポキシ接着剤等を用い
ることなく、接着を行うことが可能である。
【０３４９】なお、この接着工程においては、液室形成
部材２４９である熱可塑性材料の有する接着性を用いる
ことにより、エポキシ接着剤等を用いることなく、接着
をおこなうことができる。
【０３５０】上記圧力室形成部材２４９を三井東圧化学
株式会社製の熱可塑性ポリイミド材料 ネオフレックス
（商品名）により形成した場合においては、２３０℃程
度のプレス温度で２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力
を加えることにより接着が可能である。
【０３５１】本例のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いても、前述のプリンタ装置のプリントヘッドと同様に
圧力室形成部材を先に図６１に示したような例えば東レ
・デュポン（株）社製のカプトン（商品名）といった熱
可塑性を有しないポリイミドフィルム材料２４６の両面
に、例えば三井東圧化学株式会社製の熱可塑性ポリイミ
ド材料 ネオフレックス（商品名）といった熱可塑性の
材料膜２４７ａ，２４７ｂが形成された積層構造を有す
る有機材料２４８により形成しても良く、この場合にも
同様の効果が得られる。
【０３５２】上述のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、インク圧力室及び希釈液圧力室、インク供給路
及び希釈液供給路、インクバッファタンク及び希釈液バ
ッファタンクの全てをエキシマレーザを用いたアブレー
ション加工により形成する例について述べたが、これら
全てをエキシマレーザを用いたアブレーション加工によ
り形成する必要はない。
【０３５３】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、図８０及び図８１に示すようなものが挙げら
れる。すなわち、先に図４５に示したプリンタ装置のプ
リントヘッドと略同様の構成を有するが、基板部材１９
１のインク供給口２０５をインクバッファタンクとして
兼用するようにし、圧力室形成部材２７６にはインク圧
力室２７７，２７８、インク供給路２７９，２８０のみ
を形成するようにしたものが挙げられる。なお、本例の
プリンタ装置のプリントヘッドにおいては、図４５に示
したプリンタ装置のプリントヘッドと同様の構成を有す
る部分においては、同一の符号を付し、説明を省略する
こととする。
【０３５４】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、図８０及び図８１に示すように、イ
ンク供給路２７９，２８０がインクバッファタンクとし
て兼用されるインク供給路２０５に直接接続されてい
る。このようにすれば、圧力室形成部材２７６を形成す
るためのエキシマレーザ等のレーザ光を使用したアブレ
ーション加工時に除去するべき有機材料の体積が少なく
なることとなり、アブレーション加工工程における発熱
量を少なくすることができ、被加工物の温度上昇を抑え
られることとなり、結果的に、アブレーション加工を行
うレーザ光のパルス発振周波数を高められることとな
り、加工時間が短縮され、生産性が向上する。
【０３５５】なお、ここでは、インクのみを吐出させる
インクジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッドの
例について述べたが、同様の構成を２液混合型の例えば
キャリアジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッド
にも適用可能である。
【０３５６】また、これまで述べた圧力室形成部材をレ
ーザ加工により形成するプリンタ装置のプリントヘッド
においては、圧力印加手段として発熱素子を使用する例
について述べたが、この圧力印加手段としては、積層型
ピエゾ素子等の圧電素子を用いても何等問題ない。
【０３５７】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、図８２及び図８３に断面図及び模式的に示す
平面図を示すようなものが挙げられる。すなわち、イン
クノズル２８１が形成されるオリフィスプレート２８２
と圧力室２８３、インク供給路２８４、インクバッファ
タンク２８５が形成される圧力室形成部材２８６と振動
板２８７が積層されたものである。
【０３５８】なお、上記振動板２８７には圧力室２８３
に対応する位置に他の部分よりも変位し易いように突起
部２８８が形成され、インクバッファタンク２８５に対
応する位置にはインク供給口２８９が形成されている。
【０３５９】そして、上記振動板２８７の突起部２８８
上には、積層型ピエゾ素子等の圧電素子２９０がその一
端を支持体２９１により支持されて配置されている。こ
の圧電素子２９０は、駆動電圧の変化により図中矢印Ｍ
3 で示す方向に変位し、振動板２８７の突起部２８８を
押圧してインク圧力室２８３内のインクに圧力を印加す
ることが可能となされている。
【０３６０】この他の構成については、これまで述べた
プリンタ装置のプリントヘッドと同様であるので説明を
省略する。また、このプリンタ装置のプリントヘッドの
動作も前述したプリンタ装置のプリントヘッドと同様で
あるので説明を省略する。
【０３６１】なお、ここでは、インクのみを吐出させる
インクジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッドの
例について述べたが、同様の構成を２液混合型の例えば
キャリアジェット方式のプリンタ装置のプリントヘッド
にも適用可能である。
【０３６２】これまで述べたプリンタ装置のプリントヘ
ッドの例においては、圧力印加手段として積層型ピエゾ
素子或いは発熱素子を使用している例について述べた
が、本発明は圧力印加手段として例えば単板あるいは２
層の圧電材料を用いた撓みモードの圧力上昇手段を用い
たプリンタ装置のプリントヘッドにも適用可能である。
【０３６３】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のプリンタ装置においては、吐出媒体ノズル、吐出媒
体ノズル及び定量媒体ノズルが、金属よりなる板材と有
機材料膜が積層されるノズル形成部材を貫通し、有機材
料膜表面に臨んで開口するように形成されており、板材
に形成される部分の径と有機材料膜に形成される部分の
径が略等しくなるように形成されており、これを製造す
る際には、例えば先ず電鋳法によりノズルの一部である
第１の貫通孔を有する板材を形成し、その後、この板材
上に有機材料膜を形成して上記板材をマスク材としてレ
ーザ光を照射し、有機材料膜の第１の貫通孔に対応する
部分のみを除去して第１の貫通孔と略同等の径を有する
第２の貫通孔を形成し、これら第１及び第２の貫通孔に
より各ノズルを形成するようにしている。
【０３６４】従って、ノズルの大部分を電鋳法により形
成していることから、安価に製造が行われ、生産性が向
上する。また、残りの部分を例えばエキシマレーザ等の
レーザ光を使用した加工により形成するようにしている
ことから、先端部分が正確な形状で形成され、且つ有機
材料膜の厚さを厚くすれば長さの長いノズルが精度良好
に形成され、吐出安定性が向上し、正確な記録画像の形
成が可能となる。
【０３６５】さらに、このとき、板材をマスク材として
使用していることから、ノズル加工時に高価なマスク材
を使用する必要がなくなり、製造工程が簡素化され、製
造コストが低減され、生産性が向上する。さらにまた、
マスク材を使用する必要がないことから、マスク材の位
置合わせが不要となり、位置合わせに起因する製造不良
が抑えられ、製造歩留まりが向上し、生産性が向上す
る。
【０３６６】また、有機材料膜としてポリイミド系材料
を使用すれば撥液性を損なうこと無く、エキシマレーザ
加工性が確保され、特に２３℃の水中に２４時間浸積し
た場合の吸水率が０．４％以下のものを使用すれば十分
な撥液性が確保され、使用可能なインクの範囲が広が
る。さらには、上記ポリイミド系材料として、１８０℃
以下で重合形成されるものを使用すれば他の部分に影響
を及ぼすことなく製造が行われる。
【０３６７】さらに、本発明のプリンタ装置において、
吐出媒体圧力室、吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室
が、吐出媒体ノズル、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズ
ルの板材に形成される部分の径よりも大径を有して有機
材料よりなる圧力室形成部材に形成され、これら吐出媒
体圧力室及び定量媒体圧力室をエキシマレーザによるア
ブレーション加工を行って形成するようにすれば、圧力
室形成部材とノズル形成部材間をドライフィルム等によ
り接着する必要がなくなる。従って、圧力室形成部材に
圧力室とともに溶液供給路も形成するようにすれば良
く、耐薬品性に劣るドライフィルムにインクが接触する
ことがなくなり、使用可能なインクの範囲が広がる。
【０３６８】なお、このようなプリンタ装置を製造する
場合には、ノズルの一部である第１の貫通孔を有する板
材の相対向する主面に第１の有機材料膜及び第２の有機
材料膜をそれぞれ形成し、第２の有機材料膜上に圧力室
や溶液供給路を形成するためのマスク材を配してこの第
２の有機材料膜側からレーザ光を照射すれば、第１の貫
通孔に連通して圧力室を形成する第３の貫通孔が形成さ
れて圧力室形成部材が形成されるとともに、板材の第１
の貫通孔を介して第１の有機材料膜中の第１の貫通孔に
対応する部分のみにレーザ光が照射されて第１の有機材
料膜に板材の第１の貫通孔と略同径の第２の貫通孔が形
成されて、これら第１の貫通孔及び第２の貫通孔により
ノズルが形成され、容易に製造が行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したプリンタ装置の一例を模式的
に示す要部概略斜視図である。
【図２】本発明を適用したプリンタ装置の一例の印字及
び制御系のブロック図である。
【図３】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドを示す要部概略断面図である。
【図４】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドを示す要部概略平面図である。
【図５】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドのインク圧力室の体積が増大した状態を示す要
部概略断面図である。
【図６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、ステンレス部材上にレジ
ストを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、エッチングした状態を示
す要部概略断面図である。
【図８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、圧力室形成部材を形成す
る工程を示す要部概略断面図である。
【図９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、ステンレスプレート上に
パターンを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図１０】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、ステンレスプレート上
にめっき膜を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図１１】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、板材を形成する工程を
示す要部概略断面図である。
【図１２】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、有機材料膜を形成する
工程を示す要部概略断面図である。
【図１３】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、オリフィスプレートを
形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図１４】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、圧力室形成部材とオリ
フィスプレートを接着する工程を示す要部拡大断面図で
ある。
【図１５】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、振動板を接着する工程
を示す要部拡大断面図である。
【図１６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
他の例を工程順に示すものであり、板材に有機材料膜と
接着剤層を形成する工程を示す要部拡大断面図である。
【図１７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
他の例を工程順に示すものであり、板材と圧力室形成部
材を接着する工程を示す要部拡大断面図である。
【図１８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
他の例を工程順に示すものであり、オリフィスプレート
を形成する工程を示す要部拡大断面図である。
【図１９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
他の例を工程順に示すものであり、振動板を接着する工
程を示す要部拡大断面図である。
【図２０】本発明を適用したプリンタ装置の他の例の印
字及び制御系のブロック図である。
【図２１】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドの駆動回路を示す回路ブロック図である。
【図２２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図２３】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図２４】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室及び希釈液圧力室の体積が
増大した状態を示す要部概略断面図である。
【図２５】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドの駆動電圧の印加タイミングを示すチャー
トである。
【図２６】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室の体積が元の状態に戻ろう
とする様子を示す要部概略断面図である。
【図２７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、ステンレス部
材上にレジストを形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図２８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、エッチングし
た状態を示す要部概略断面図である。
【図２９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、圧力室形成部
材を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図３０】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、ステンレスプ
レート上にパターンを形成する工程を示す要部概略断面
図である。
【図３１】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、めっき膜を形
成する工程を示す要部概略断面図である。
【図３２】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、板材を形成す
る工程を示す要部概略断面図である。
【図３３】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、有機材料膜を
形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図３４】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、オリフィスプ
レートを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図３５】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、圧力室形成部
材とオリフィスプレートを接着する工程を示す要部概略
断面図である。
【図３６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、振動板を接着
する工程を示す要部概略断面図である。
【図３７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、板材に有機材
料膜と接着剤層を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図３８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、板材と圧力室
形成部材を接着する工程を示す要部概略断面図である。
【図３９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、オリフィスプ
レートを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図４０】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、振動板を接着
する工程を示す要部概略断面図である。
【図４１】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図４２】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図４３】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図４４】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図４５】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図４６】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、インク吐出の待機状態を
示す要部概略断面図である。
【図４７】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、インクが押し出される様
子を示す要部概略断面図である。
【図４８】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、インク液滴が吐出される
様子を示す要部概略断面図である。
【図４９】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、基板部材を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図５０】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、導体パターンを形成する工程を示す要部概略断面
図である。
【図５１】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、抵抗体を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図５２】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、保護膜を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図５３】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、基板部材を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図５４】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、ステンレスプレート上にパターンを形成する工程
を示す要部概略断面図である。
【図５５】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、めっき膜を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図５６】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、板材を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図５７】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、板材の一主面に有機材料を形成する工程を示す要
部概略断面図である。
【図５８】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、板材の一主面に有機材料膜を形成する工程を示す
要部概略断面図である。
【図５９】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、オリフィスプレートを形成する工程を示す要部概
略断面図である。
【図６０】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、基板部材と圧力室形成部材間を接着する工程を示
す要部概略断面図である。
【図６１】圧力室形成部材を形成する材料の一例を示す
断面図である。
【図６２】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図６３】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、吐出待機状態を示す要部
概略断面図である。
【図６４】本発明を適用したプリンタ装置が搭載された
プリンタ装置のさらに他の例のプリントヘッドの駆動電
圧の印加タイミングを示すチャートである。
【図６５】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、混合溶液が形成された状
態を示す要部概略断面図である。
【図６６】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、混合溶液が押し出された
状態を示す要部概略断面図である。
【図６７】本発明を適用したプリンタ装置による印刷動
作を動作順に示すものであり、混合溶液が吐出された状
態を示す要部概略断面図である。
【図６８】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、シリコン基板にＴａＡｌ膜及びＡｌ膜を形成する
工程を示す要部概略断面図である。
【図６９】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、導体パターンを形成する工程を示す要部概略断面
図である。
【図７０】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、抵抗体を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図７１】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、保護膜を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図７２】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、基板部材を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図７３】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、ステンレスプレート上にパターンを形成する工程
を示す要部概略断面図である。
【図７４】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、めっき膜を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図７５】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、板材を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。
【図７６】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、有機材料を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図７７】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、有機材料膜を形成する工程を示す要部概略断面図
である。
【図７８】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、オリフィスプレートを形成する工程を示す要部概
略断面図である。
【図７９】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法のさらに他の例を工程順に示すもので
あり、基板部材と圧力室形成部材を接着する工程を示す
要部概略断面図である。
【図８０】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図８１】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図８２】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図８３】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
【符号の説明】
３１，１２１，２２４，２４９ 圧力室形成部材、３
４，１２４ オリフィスプレート、４０，１３０ 板
材、４１，１３１ 有機材料膜、４２，１３２ インク
ノズル、４２ａ，１３２ａ，１４２ａ 第１の貫通孔、
４２ｂ，１３２ｂ，１４２ｂ 第２の貫通孔、 ４５，
１４５ インク圧力室、１４２ 希釈液ノズル、１５５
希釈液圧力室

Claims (36)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吐出媒体が導入される吐出媒体圧力室と
    これに連通する吐出媒体ノズルとを少なくとも有し、吐
    出媒体ノズルから吐出媒体を吐出するプリントヘッドを
    有するプリンタ装置において、 吐出媒体ノズルが、金属よりなる板材と有機材料膜が積
    層されるノズル形成部材を貫通し、有機材料膜表面に臨
    んで開口するように形成されており、板材に形成される
    部分の径と有機材料膜に形成される部分の径が略等しく
    なるように形成されていることを特徴とするプリンタ装
    置。
  2. 【請求項２】 有機材料膜の厚さが１０μｍ以上である
    ことを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
  3. 【請求項３】 有機材料膜がポリイミド系材料よりなる
    ことを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
  4. 【請求項４】 ポリイミド系材料が、２３℃の水中に２
    ４時間浸積した場合の吸水率が０．４％以下のものであ
    ることを特徴とする請求項３記載のプリンタ装置。
  5. 【請求項５】 ポリイミド系材料が、１８０℃以下で重
    合形成されるものであることを特徴とする請求項３記載
    のプリンタ装置。
  6. 【請求項６】 ポリイミド系材料がポリイミドシロキサ
    ンを含む材料であることを特徴とする請求項３記載のプ
    リンタ装置。
  7. 【請求項７】 吐出媒体ノズルを有する板材が電鋳法に
    より形成されていることを特徴とする請求項１記載のプ
    リンタ装置。
  8. 【請求項８】 吐出媒体ノズルの有機材料膜に形成され
    る部分がエキシマレーザによるアブレーション加工によ
    り形成されていることを特徴とする請求項１記載のプリ
    ンタ装置。
  9. 【請求項９】 吐出媒体圧力室が圧力室形成部材に形成
    されており、この圧力室形成部材とノズル形成部材間が
    熱可塑性の接着剤層により接着されており、この接着剤
    層に吐出媒体圧力室に連通する貫通孔が形成されている
    ことを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
  10. 【請求項１０】 接着剤層の貫通孔がエキシマレーザに
    よるアブレーション加工により形成されていることを特
    徴とする請求項９記載のプリンタ装置。
  11. 【請求項１１】 接着剤層がポリイミド系材料よりなる
    ことを特徴とする請求項９記載のプリンタ装置。
  12. 【請求項１２】 接着剤層のガラス転移点が２５０℃以
    下であることを特徴とする請求項９記載のプリンタ装
    置。
  13. 【請求項１３】 定量媒体が導入される定量媒体圧力室
    を有し、これに連通する定量媒体ノズルをノズル形成部
    材を貫通し、有機材料膜表面に臨んで吐出媒体ノズルと
    互いに隣合うように開口して有し、定量媒体ノズルから
    吐出媒体ノズルに向けて定量媒体を滲み出させた後、吐
    出媒体ノズルから吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐出
    媒体を混合吐出するものであり、上記定量媒体ノズル
    が、板材に形成される部分の径と有機材料膜に形成され
    る部分の径が略等しくなるように形成されていることを
    特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
  14. 【請求項１４】 吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズルを
    有する板材が電鋳法により形成されていることを特徴と
    する請求項１３記載のプリンタ装置。
  15. 【請求項１５】 吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズルの
    有機材料膜に形成される部分がエキシマレーザによるア
    ブレーション加工により形成されていることを特徴とす
    る請求項１３記載のプリンタ装置。
  16. 【請求項１６】 吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室が
    圧力室形成部材に形成されており、この圧力室形成部材
    とノズル形成部材間が熱可塑性の接着剤層により接着さ
    れており、この接着剤層に吐出媒体圧力室及び定量媒体
    圧力室に連通する貫通孔がそれぞれ形成されていること
    を特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置。
  17. 【請求項１７】 接着剤層の貫通孔がエキシマレーザに
    よるアブレーション加工により形成されていることを特
    徴とする請求項１６記載のプリンタ装置。
  18. 【請求項１８】 吐出媒体圧力室が、吐出媒体ノズルの
    板材に形成される部分の径よりも大径を有して有機材料
    よりなる圧力室形成部材に形成されていることを特徴と
    する請求項１記載のプリンタ装置。
  19. 【請求項１９】 吐出媒体圧力室が圧力室形成部材にエ
    キシマレーザによるアブレーション加工を行って形成さ
    れていることを特徴とする請求項１８記載のプリンタ装
    置。
  20. 【請求項２０】 圧力室形成部材がポリイミド系材料よ
    りなることを特徴とする請求項１８記載のプリンタ装
    置。
  21. 【請求項２１】 圧力室形成部材の少なくとも一部が熱
    可塑性の有機材料よりなることを特徴とする請求項１８
    記載のプリンタ装置。
  22. 【請求項２２】 圧力室形成部材を形成する有機材料の
    ガラス転移点が２５０℃以下であることを特徴とする請
    求項１８記載のプリンタ装置。
  23. 【請求項２３】 圧力室形成部材の厚さが１５μｍ以上
    であることを特徴とする請求項１８記載のプリンタ装
    置。
  24. 【請求項２４】 吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室
    が、吐出媒体ノズル及び定量媒体ノズルの板材に形成さ
    れる部分の径よりも大径を有して有機材料よりなる圧力
    室形成部材にそれぞれ形成されていることを特徴とする
    請求項１３記載のプリンタ装置。
  25. 【請求項２５】 吐出媒体圧力室及び定量媒体圧力室が
    圧力室形成部材にエキシマレーザによるアブレーション
    加工を行って形成されていることを特徴とする請求項２
    ４記載のプリンタ装置。
  26. 【請求項２６】 圧力室形成部材がポリイミド系材料よ
    りなることを特徴とする請求項２４記載のプリンタ装
    置。
  27. 【請求項２７】 圧力室形成部材の少なくとも一部が熱
    可塑性の有機材料よりなることを特徴とする請求項２４
    記載のプリンタ装置。
  28. 【請求項２８】 圧力室形成部材を形成する有機材料の
    ガラス転移点が２５０℃以下であることを特徴とする請
    求項２４記載のプリンタ装置。
  29. 【請求項２９】 圧力室形成部材の厚さが１５μｍ以上
    であることを特徴とする請求項２４記載のプリンタ装
    置。
  30. 【請求項３０】 所定の位置にノズルを形成する第１の
    貫通孔を有し、金属よりなる板材を形成する工程と、こ
    の板材のノズルが開口して相対向する主面のうちの一方
    の主面側に有機材料膜を形成する工程と、 板材の有機材料膜が形成されていない主面側からレーザ
    光を照射し、板材の第１の貫通孔を介して有機材料膜中
    の第１の貫通孔に対応する部分のみにレーザ光を照射し
    て有機材料膜に板材の第１の貫通孔と略同径の第２の貫
    通孔を形成して、これら第１の貫通孔及び第２の貫通孔
    によりノズルを形成し、ノズル形成部材を形成する工程
    を有することを特徴とするプリンタ装置の製造方法。
  31. 【請求項３１】 板材の有機材料膜が形成されない主面
    側に、第１の貫通孔に対応する位置に圧力室を形成する
    第３の貫通孔を有する圧力室形成部材を接着層により接
    着した後、この圧力室形成部材側からレーザ光を照射
    し、第３の貫通孔を介して接着層中の第３の貫通孔に対
    応する部分に第４の貫通孔を形成するとともに、第１の
    貫通孔と略同径の第２の貫通孔を形成することを特徴と
    する請求項３０記載のプリンタ装置の製造方法。
  32. 【請求項３２】 板材を電鋳により形成することを特徴
    とする請求項３０記載のプリンタ装置の製造方法。
  33. 【請求項３３】 レーザ光がエキシマレーザであること
    を特徴とする請求項３０記載のプリンタ装置の製造方
    法。
  34. 【請求項３４】 所定の位置にノズルを形成する第１の
    貫通孔を有し、金属よりなる板材を形成する工程と、 この板材のノズルが開口して相対向する主面のうちの一
    方の主面側に第１の有機材料膜を形成する工程と、 第１の有機材料膜が形成される面とは反対側の主面に第
    ２の有機材料膜を形成する工程と、 第２の有機材料膜側から所定形状のマスクを介してレー
    ザ光を照射し、第２の有機材料膜にマスクの形状に応じ
    た形状で第１の貫通孔に連通して圧力室を形成する第３
    の貫通孔を形成して圧力室形成部材を形成するととも
    に、板材の第１の貫通孔を介して第１の有機材料膜中の
    第１の貫通孔に対応する部分のみにレーザ光を照射して
    第１の有機材料膜に板材の第１の貫通孔と略同径の第２
    の貫通孔を形成して、これら第１の貫通孔及び第２の貫
    通孔によりノズルを形成し、ノズル形成部材を形成する
    工程を有することを特徴とするプリンタ装置の製造方
    法。
  35. 【請求項３５】 板材を電鋳により形成することを特徴
    とする請求項３４記載のプリンタ装置の製造方法。
  36. 【請求項３６】 レーザ光がエキシマレーザであること
    を特徴とする請求項３４記載のプリンタ装置の製造方
    法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002210984A (ja) * 2001-01-12 2002-07-31 Ricoh Co Ltd ノズル形成部材並びに液滴吐出ヘッド及びその製造方法
US6878298B2 (en) 1999-03-25 2005-04-12 Fuji Xerox Co., Ltd. Ink jet recording head and method for manufacturing the same

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US6942815B2 (en) 1999-03-25 2005-09-13 Fuji Xerox Co., Ltd. Ink jet recording head and method for manufacturing the same
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