JPH10138508A - プリンタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 定量媒体と吐出媒体を混合吐出する際の定量
媒体の定量を発熱素子により行い、低濃度側から高濃度
側にわたって、特に低濃度側の階調表現を良好に行う。 【解決手段】 定量媒体圧力室内の定量媒体に第１の圧
力印加手段により圧力を印加し、定量媒体を吐出媒体が
充填される吐出媒体圧力室に連通する吐出媒体ノズル内
の吐出媒体に混合し、吐出媒体圧力室内の吐出媒体に第
２の圧力印加手段により圧力を印加して定量媒体と吐出
媒体の混合液滴を吐出する場合に、少なくとも第１の圧
力印加手段を定量媒体圧力室内の定量媒体に向かって配
される発熱素子とし、当該発熱素子上に、上記定量媒体
に向かって突起部を１つ以上配するようにする。定量媒
体ノズルは吐出媒体ノズルと互いに隣合うようにして開
口して設けても良く、定量媒体ノズルから吐出媒体ノズ
ルに向けて定量媒体を滲み出させて、定量媒体を吐出媒
体ノズル内の吐出媒体に混合しても良い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は定量媒体と吐出媒体
を混合吐出するプリンタ装置に関する。詳しくは、定量
媒体の定量を発熱素子を用いて行うようにし、低濃度側
から高濃度側にわたって、特に低濃度側の階調表現性を
良好としたプリンタ装置に係わるものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、特にオフィス等においてデスクト
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真のようなカラーの自然
画像を文字，図形とともに出力するといった要求も増加
してきている。さらに、パーソナルユースの分野におい
ても、年賀状やグリーティングカード等の作成が盛んに
行われるようになってきており、上記のような要求が増
加してきている。そして、これに伴い、高品位な自然画
像をプリントすることが要求され、中間調の表示による
階調表現が重要となっている。

【０００３】また、記録信号に応じた制御信号に応じて
印刷時に必要な時だけインク液滴をノズルより吐出して
紙，フィルム等の被記録材に被着させて記録する、いわ
ゆるオンデマンド型のプリンタ装置は、小型化，低コス
ト化の可能性を有するため、近年急速に普及しつつあ
る。

【０００４】このように、インク液滴をノズルより吐出
させる方法としては、様々な方法が提案されているが、
ピエゾ素子を用いる方法または発熱素子を用いる方法が
一般的である。前者はピエゾ素子の変形によりインクに
圧力を加えて吐出させる方法である。後者は、発熱素子
によりインクを加熱気化させて発生する泡の圧力でイン
クを吐出させる方法である。

【０００５】そして、上記のような中間調の表示による
階調表現を上述のインク液滴を吐出するオンデマンド型
のプリンタ装置で疑似的に行う方法としては、様々な方
法が提案されている。すなわち、第１の方法としてはピ
エゾ素子或いは発熱素子に与える電圧パルスの電圧やパ
ルス幅を変化させて吐出する液滴サイズを制御し、印刷
ドットの径を可変として階調を表現するものが挙げられ
る。

【０００６】しかし、上記第１の方法においては、ピエ
ゾ素子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅を下げす
ぎるとインクが吐出しなくなるため最小液滴径に限界が
あり、表現可能な階調段数が少なく、特に低濃度の表現
が非常に困難であるという欠点を有している。従って、
自然画像のプリントアウトには不満足なものである。

【０００７】なお、上記のような発熱素子としては、蓄
熱層上に両端に電極が接続される抵抗体が設けられ、こ
の上に保護膜が形成されてなり、抵抗体に通電すること
により発熱する発熱素子が例示される。

【０００８】また、第２の方法としては、ドット径は変
化させずに１画素を例えば４×４のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法や誤差拡散法といった画像処理により階調表現を行う
方法が挙げられる。この場合には、これに加えて輪郭部
の強調処理やスムージング処理といった画像処理技術を
組み合わせる場合もある。

【０００９】しかし、この第２の方法においても、１画
素を４×４のマトリクスで構成した場合、１７階調の濃
度を表現することができるが、例えば上記第１の方法と
同じドット密度で印刷した場合には解像度が１／４に劣
化してしまい、荒さが目立つため、これも自然画像のプ
リントアウトには不満足なものである。

【００１０】この不都合を解消するべく、画像処理を厳
密なものとすると、回路の複雑化や演算処理速度の低
下、すなわち、プリントアウト時間の長時間化を招き好
ましくない。

【００１１】そこで、本発明者等は、従来のインクのみ
を吐出するオンデマンド型のプリンタ装置の問題点を原
理的に解明するために、例えば特開平５−２０１０２４
号公報に示されるように、インクと透明溶媒である希釈
液を所定の混合比で吐出直前に混合して希釈インクと
し、この希釈インクを直ちにノズルより吐出して被記録
材に被着させて記録を行う２液混合型のプリンタ装置を
提案してきた。なお、以下、このような方式のうち、イ
ンクを定量媒体とし、希釈液を吐出媒体とし、定量媒体
であるインクを吐出媒体である希釈液に混合して希釈イ
ンクとし、吐出媒体を混合された希釈液ごと吐出するこ
とにより記録を行う方式をキャリアジェット方式と称す
るが、上記プリンタ装置においては、希釈液を定量媒体
とし、インクを吐出媒体としても何等問題はない。

【００１２】このようなキャリアジェット方式のプリン
タ装置においては、吐出される希釈インク液滴の濃度を
制御し、印刷されるドット毎に濃度を変更することが可
能であり、解像度の劣化を発生させることなく中間階調
が豊富な自然画像をプリントアウトすることが可能であ
る。

【００１３】なお、このような２液混合型のプリンタ装
置としては、吐出媒体が導入される吐出媒体圧力室と、
定量媒体が導入される定量媒体圧力室とを有し、上記定
量媒体圧力室に連通する定量媒体ノズル及び吐出媒体圧
力室に連通する吐出媒体ノズルとを互いに隣合うように
開口して有し、定量媒体ノズルから所定量の定量媒体を
ノズル開口面を伝わらせて吐出媒体ノズルに向けて滲み
出させ、吐出媒体ノズル先端近傍にて充填されている吐
出媒体と接触させ、一定量の吐出媒体を吐出媒体ノズル
から吐出することにより定量媒体と吐出媒体を混合溶液
として吐出するプリンタ装置が挙げられる。すなわち、
このプリンタ装置においては、希釈液或いはインクであ
る一定量の吐出媒体に対して定量媒体となるインク或い
は希釈液の定量する量を変化させることにより混合液滴
のインクの濃度を変化させて階調を表す。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、与えら
れた画像データに基づき、各液滴毎に濃度を制御する２
液混合型のプリンタ装置においては、当然のことながら
画像データに応じて各液滴の濃度を低濃度側から高濃度
側にわたって正確に制御する必要がある。このため、定
量媒体の定量精度は非常に重要な特性である。

【００１５】このような２液混合型のプリンタ装置にお
いては、定量媒体及び吐出媒体を吐出させる手段とし
て、通常ピエゾ素子を使用しており、ピエゾ素子の変形
によりインク或いは希釈液が充填される圧力室に圧力を
加え変形させてインク或いは希釈液をノズルより押し出
すようにしている。

【００１６】しかしながら、このピエゾ素子はコストが
比較的高価であり、このピエゾ素子を使用すると、プリ
ンタ装置のコストが高価となってしまう。そこで、ピエ
ゾ素子と比較して安価である発熱素子を吐出手段として
使用することが望まれている。しかし、この発熱素子を
例えば定量媒体の吐出手段として使用すると、定量媒体
としてインクを使用した場合に、特に低濃度の階調表現
が困難となる。

【００１７】これは、以下に示すような理由による。す
なわち、図４０に模式的に示すように、定量媒体３０１
が充填される定量媒体圧力室３０２とこれに連通し、先
端まで定量媒体３０１が充填されてなる定量媒体ノズル
３０３を有するプリンタ装置において、定量媒体圧力室
３０２への圧力印加手段として発熱素子３０４を定量媒
体圧力室３０２内の定量媒体３０１に向かって配するよ
うに設け、発熱素子３０４から図中矢印Ｈで示すような
熱量を加えると、定量媒体３０１中には図中矢印ｈで示
すような自然対流が発生する。言い換えれば、沸騰現象
を生じない程度の少ない熱量を供給した場合において
は、発熱素子３０４に近接する部分の暖められた定量媒
体３０１とこれ以外の部分の暖められない定量媒体３０
１とが、混じり合い、定量媒体圧力室３０２内の熱量が
分散されやすい。

【００１８】そして、この後、定量媒体３０１全体が暖
められ、沸騰状態となり定量媒体圧力室３０２中の発熱
素子３０４に対応する部分に泡が発生し、図４１に模式
的に示すように、この泡３０５は発熱素子３０４の平面
面積に対応する大きさまで成長する。その結果、定量媒
体圧力室３０２内の定量媒体３０１に圧力が加わり、こ
の泡３０５に対応した体積分の定量媒体３０１が定量媒
体ノズル３０３より押し出される。

【００１９】このように、発熱素子３０４に対応する位
置に泡３０５を発生させる場合、発熱素子３０４より熱
量を供給し、泡３０５が発生すると、この泡３０５はす
ぐに発熱素子３０４の平面面積に対応する大きさまで成
長してしまう。従って、発熱素子３０４の平面面積より
も小さい大きさの泡３０５を安定して生じさせることは
難しく、この発熱素子３０４の平面面積よりも小さい大
きさの泡３０５に対応した体積分の定量媒体３０１を定
量媒体ノズル３０３から押し出すことは困難である。

【００２０】これらのことから、発熱素子を使用して比
較的少量のインクの定量を安定して行うことは難しく、
低濃度の階調表現が困難である。

【００２１】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、定量媒体と吐出媒体を混合吐出する
際の定量媒体の定量を発熱素子により行い、低濃度側か
ら高濃度側にわたって、特に低濃度側の階調表現を良好
に行うことが可能なプリンタ装置を提供することを目的
とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、吐出媒体が充填される吐出媒体圧力室と
これに連通する吐出媒体ノズルと、定量媒体が充填され
る定量媒体圧力室とを少なくとも有し、定量媒体圧力室
内の定量媒体に第１の圧力印加手段により圧力を印加
し、定量媒体を吐出媒体ノズル内の吐出媒体に混合し、
吐出媒体圧力室内の吐出媒体に第２の圧力印加手段によ
り圧力を印加して定量媒体と吐出媒体の混合液滴を吐出
するプリンタ装置において、少なくとも第１の圧力印加
手段を定量媒体圧力室内の定量媒体に向かって配される
発熱素子とし、当該発熱素子上に、上記定量媒体に向か
って突起部を１つ以上配するようにしていることを特徴
とするものである。

【００２３】なお、上記本発明のプリンタ装置において
は、定量媒体圧力室に連通する定量媒体ノズルを吐出媒
体ノズルと互いに隣合うようにして開口して有し、定量
媒体ノズルから吐出媒体ノズルに向けて定量媒体を滲み
出させて、定量媒体を吐出媒体ノズル内の吐出媒体に混
合することが好ましい。

【００２４】また、本発明のプリンタ装置においては、
発熱素子が抵抗体への通電により発熱するものであるこ
とが好ましい。

【００２５】さらに、本発明のプリンタ装置において突
起部が複数形成されている場合には、突起部間の間隔が
１０μｍ以下であることが好ましい。

【００２６】さらにまた、本発明のプリンタ装置におい
ては、突起部の高さが５μｍ以下であることが好まし
い。

【００２７】また、本発明のプリンタ装置においては、
突起部が酸化珪素よりなることが好ましい。

【００２８】なお、本発明のプリンタ装置においては、
定量媒体がインクであり、吐出媒体が希釈液であること
が好ましい。

【００２９】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、第２の圧力印加手段が、発熱素子或いは積層型や単
板型等の圧電素子の何れにより形成されていても良い。

【００３０】本発明のプリンタ装置においては、定量媒
体圧力室内の定量媒体に圧力を印加する第１の圧力印加
手段として定量媒体圧力室内の定量媒体に向かって配さ
れる発熱素子を使用し、この発熱素子上に上記定量媒体
に向かって配される突起部を１つ以上配するようにして
いることから、発熱素子により定量媒体に熱が与えられ
た場合に、突起部が自然対流現象を抑制して、定量媒体
内の熱量の分散を抑制し、従来沸騰現象を発生し得なか
った少ない熱量においても沸騰現象が発生する。

【００３１】また、上記突起部は、定量媒体の沸騰時に
発生する泡が近在する他の泡と接触して過度に成長する
のを機械的に抑制し、泡が発熱素子の面内方向に成長す
るのを抑制するため、与えられた熱量に応じた大きさの
泡の形成がなされる。

【００３２】従って、本発明のプリンタ装置において
は、発熱素子の平面面積よりも小さな面積の泡が精度良
好に形成され、少量の定量媒体の定量が精度良好になさ
れる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について図面を参照しながら詳細に説明する。

【００３４】本発明のプリンタ装置は、いわゆるシリア
ル型のプリンタ装置であり、図１に示すように、被印刷
物であるプリント紙１が支持されるドラム２と、本発明
のプリンタ装置を構成し、上記プリント紙１に記録を行
うプリントヘッド部３により主に構成されるものであ
る。

【００３５】このとき、上記プリント紙１は、ドラム２
の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ４により、ド
ラム２に圧着保持されている。また、上記ドラム２の外
周近傍には、送りネジ５がドラム２の軸方向に平行に設
けられている。そして、この送りネジ５には、プリント
ヘッド部３が保持されている。すなわち、かかるプリン
トヘッド部３は、送りネジ５の回転によって、図中矢印
Ｍで示すようにドラム２の軸方向に移動するようになっ
ている。

【００３６】一方、ドラム２は、プーリ６、ベルト７、
プーリ８を介してモータ９により図中矢印ｍで示すよう
に回転駆動される。さらに、送りネジ５及びモータ９の
回転とプリントヘッド部３は、ヘッドドライブ，ヘッド
送り制御，ドラム回転制御１０により印画データ及び制
御信号１１に基づいて駆動制御される。

【００３７】上記の構成においては、プリントヘッド部
３が移動して１行分の印字を行うと、ドラム２を１行分
だけ回転させて次の印字を行う。ヘッド３が移動し、印
画する場合は、一方向の場合と往復方向の場合とがあ
る。

【００３８】このようなプリンタ装置における印字及び
制御系のブロック図を図２に示す。上記プリンタ装置は
図２中に示す制御部２０によって制御されている。この
制御部２０は信号処理制御回路２２、第１のドライバ２
３、第２のドライバ２４、メモリ２５、補正回路２６及
び制御駆動部２７によって構成されている。信号処理制
御回路２２はＣＰＵ又はＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉ
ｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）構成でなる。

【００３９】これら第１のドライバ２３及び第２のドラ
イバ２４はそれぞれ定量媒体ノズル及び吐出媒体ノズル
の数に応じて設けられている。第１のドライバ２３は、
定量媒体ノズルから定量媒体を押し出すために設けられ
た第１の圧力印加手段を駆動制御するものであり、第２
のドライバ２４は吐出媒体ノズルから吐出媒体を吐出さ
せるために設けられた第２の圧力印加手段を駆動制御す
るものである。なお、上記定量側と吐出側の何れか一方
がインクであり、他方が希釈液とされている。

【００４０】これら各第１のドライバ２３及び第２のド
ライバ２４は信号処理制御回路２２内に設けられた後述
のシリアルパラレル変換回路及びタイミング制御回路の
制御に基づいて、それぞれに対応する第１及び第２の圧
力印加手段を駆動制御する。

【００４１】そして、印字データ、操作部信号及び外部
制御信号などの信号入力２１は、制御部２０の信号処理
制御回路２２に入力され、この信号処理制御回路２２に
おいて印字順番に揃えられて、第１及び第２のドライバ
２３，２４を介して吐出信号とともにプリントヘッド２
８に送られ、プリントヘッド２８を駆動制御する。印字
順番は、プリントヘッド２８や印字部の構成で異なり、
また印字データの入力順番との関係もあり、必要に応じ
てラインバッファメモリや１画面メモリなどのメモリ２
５に一旦記録してから取り出す。

【００４２】なお、マルチヘッドでノズル数が非常に多
い場合には、プリントヘッド２８にＩＣを搭載してプリ
ントヘッド２８に接続する配線数を減らすようにする。
また、信号処理制御回路２２には、補正回路２６が接続
されており、γ補正、カラーの場合の色補正、各ヘッド
のばらつき補正などを行う。補正回路２６には、予め決
められた補正データをＲＯＭ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍ
ｅｍｏｒｙ）マップ形式で格納しておき、外部条件、例
えばノズル番号、温度、入力信号などに応じて取り出す
ようにするのが一般的である。

【００４３】信号処理制御回路２２は、前述のようにＣ
ＰＵやＤＳＰ構成としてソフトウエアで処理するのが一
般的であり、処理された信号は制御駆動部２７に送られ
る。制御部駆動２７では、ドラム及び送りネジを回転駆
動するモータの駆動、同期、ヘッドのクリーニング、プ
リント紙の供給、排出などの制御を行う。また、信号に
は、印字データ以外の操作部信号や外部制御信号が含ま
れることは言うまでもない。

【００４４】次に、上記プリントヘッドの駆動回路を図
３に示す。すなわち、デジタル中間調データが他ブロッ
クより供給され、シリアルパラレル変換回路３１により
第１のドライバ２３および第２のドライバ２４に送られ
る。シリアルパラレル変換回路３１より与えられたデジ
タル中間調データが所定のしきい値以下の場合は、定量
および吐出は行わない。印字タイミングになると、他ブ
ロックから印字トリガが出力され、タイミング制御回路
３２がそれを検出し、所定のタイミングで定量部コント
ロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれ第１のド
ライバ２３および第２のドライバ２４に出力する。

【００４５】次に、本例のプリンタ装置を構成するプリ
ントヘッドについて説明する。なお、ここでは定量媒体
をインクとし、吐出媒体を希釈液としたキャリアジェッ
ト方式の２液混合型のプリントヘッドについて述べる。
このプリントヘッドは、図４及び図５に模式的に示すよ
うに、基板部材４１と圧力室形成部材４２、オリフィス
プレート４３よりなるものである。

【００４６】上記基板部材４１は、一主面４１ａ側の所
定の位置に第１及び第２の圧力印加手段として第１の発
熱素子４４及び第２の発熱素子４５が形成されてなる。

【００４７】上記基板部材４１には第１の発熱素子４４
及び第２の発熱素子４５が形成されることから、これら
第１及び第２の発熱素子４４，４５を形成する材料及び
導線材料などが、パターニングにより形成されている。
そこで、基板部材４１の第１及び第２の発熱素子４４，
４５が形成される側の主面４１ａには、第１及び第２の
発熱素子４４，４５に電気的な接続をとっている図示し
ない配線がインク及び希釈液によって短絡することを防
止するため、さらには、これら溶液の残留物が発熱素子
上に焦げ付いてしまう現象、いわゆるコゲーションを防
止するために、例えば厚さ０．５μｍ程度のＳｉＣ等よ
りなる保護膜４６がＣＶＤ法等により形成されている。

【００４８】そして、上記圧力室形成部材４２は第１の
発熱素子４４に対応する位置に定量媒体圧力室４７及び
吐出媒体圧力室４８をそれぞれ有するとともに、定量媒
体であるインクを充填しておくための定量媒体バッファ
タンク４９とこの定量媒体バッファタンク４９から各定
量媒体圧力室４７にインクを供給する定量媒体供給路５
０を面内方向に有し、吐出媒体である希釈液を充填して
おくための吐出媒体バッファタンク５１とこの吐出媒体
バッファタンク５１から各吐出媒体圧力室４８に希釈液
を供給する吐出媒体供給路５２を面内方向に有する。

【００４９】上記圧力室形成部材４２は、例えば３０μ
ｍ程度の厚さの感光性ドライフィルム或いはポリイミド
等の感光性樹脂よりなる。

【００５０】そして、図５に模式的な平面図を示すよう
に、各第１の発熱素子４４に対応する位置に定量媒体圧
力室４７を有し、インクである定量媒体を充填するため
の定量媒体バッファタンク４９を有し、この定量媒体バ
ッファタンク４９から定量媒体圧力室４７にインクであ
る定量媒体を供給する定量媒体供給路５０を有する。な
お、上記定量媒体バッファタンク４９にはこれに図示し
ない定量媒体タンクからインクである定量媒体を供給す
るための定量媒体供給口５３が底面側に形成されてい
る。すなわち、図４中に示すように、定量媒体バッファ
タンク４９の底面側から基板部材４１を貫通するように
定量媒体供給口５３が形成されている。

【００５１】さらに、この圧力室形成部材４２において
は、図５中に模式的な平面図を示すように、各第２の発
熱素子４５に対応する位置に吐出媒体圧力室４８を有
し、希釈液である吐出媒体を充填するための吐出媒体バ
ッファタンク５１を有し、この吐出媒体バッファタンク
５１から各吐出媒体圧力室４８に希釈液である吐出媒体
を供給する吐出媒体供給路５２を有する。なお、上記吐
出媒体バッファタンク５１にはこれに図示しない吐出媒
体タンクから希釈液である吐出液を供給するための吐出
媒体供給口５４が底面側に形成されている。すなわち、
図４中に示すように、吐出媒体バッファタンク５１の底
面側から基板部材４１を貫通するように吐出媒体供給口
５４が形成されている。

【００５２】また、上記オリフィスプレート４３は、例
えば厚さ１２５μｍのポリイミド材料により形成されて
おり、このようなポリイミド材料としては、東レ・デュ
ポン（株）社製のカプトンフィルム（商品名）等が例示
される。

【００５３】そして、このオリフィスプレート４３の圧
力室形成部材４２が配される面とは反対側の主面４３ａ
には例えば厚さ１５μｍのポリイミド系材料よりなる撥
液膜５５が形成されている。

【００５４】なお、この撥液膜５５の材料においては、
１８０℃以下の加熱により重合形成される材料が好まし
く、さらには、ポリイミドシロキサンであることが好ま
しい。また、さらには、このポリイミドシロキサンにお
いては、イミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素の
一部がシロキサンにより置換されており、Ｓｉのポリイ
ミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％であること
が好ましい。

【００５５】そして、このようなポリイミド系材料とし
ては、宇部興産株式会社製のユピコートＦＳ−１００Ｌ
（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００（商品名）等
が挙げられる。これら有機材料膜を使用すれば、有機材
料膜の表面張力を３１Ｄｙｎｅ／ｃｍ以下とすることが
できる。

【００５６】上記オリフィスプレート４３には、定量媒
体圧力室４７に対応する位置に定量媒体ノズル５６が形
成され、吐出媒体圧力室４８に対応する位置に吐出媒体
ノズル５７が形成されている。上記吐出媒体ノズル５７
はオリフィスプレート４３の厚さ方向に形成される貫通
孔として形成され、定量媒体ノズル５６はオリフィスプ
レート４３の厚さ方向に対して斜め方向に形成されてお
り、撥液膜５５側に向かうに従って定量媒体ノズル５６
が吐出媒体ノズル５７に近づくように形成され、図５中
にも示すように定量媒体ノズル５６と吐出媒体ノズル５
７が隣合って開口するようになされている。

【００５７】上記定量媒体ノズル５６及び吐出媒体ノズ
ル５７は、撥液膜５５が形成されているオリフィスプレ
ート４３にエキシマレーザ光を照射することにより、形
成されてなる。従って、オリフィスプレート４３形成材
料及び撥液膜５５形成材料としては、エキシマレーザ光
を用いたアブレーション加工特性が優れているものを使
用するようにしており、このような特性を有する材料を
使用すれば、定量媒体ノズル５６及び吐出媒体ノズル５
７を境目の無い連続した形状で形成することが可能であ
る。

【００５８】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては特に、図４中に示すように、定量媒体圧
力室４７に対応する位置にこれに向かって形成される第
１の発熱素子４４の上に保護膜４６を介して複数の突起
部５８が形成されている。すなわち、図５に模式的に示
すように第１の発熱素子４４上に複数の突起部５８が形
成されることとなる。

【００５９】この第１の発熱素子４４及び突起部５８を
拡大して模式的に図６（ａ）（ｂ）に示すが、上記複数
の突起部５８は円柱状をなし、第１の発熱素子４４上の
面内方向に所定の間隔を有して形成されている。そし
て、前述のように突起部５８は保護膜４２を介して第１
の発熱素子４４上に形成されている。なお、上記突起部
５８は、例えばＳｉＯ₂ （酸化珪素）により形成すれば
良い。

【００６０】そして、上記複数の突起部５８間の間隔
は、１０μｍ以下とされることが好ましく、これらの高
さは、後述の製造方法における歩留まりを向上させるた
め、５μｍ以下とすることが好ましい。

【００６１】さらに、本例においては、突起部５８とし
て円柱状の突起部を形成する例について述べたが、この
突起部５８は、図７に示すような断面四角形の四角柱状
の突起部５９、或いは図８に示すような断面六角形の柱
状の突起部６０とされても良い。なお、これらにおいて
も突起部間の間隔及び高さは上記範囲とされることが好
ましい。

【００６２】このような本例のプリンタ装置により印刷
を行うには、以下のようにすれば良い。ここでは、駆動
電圧の印加タイミングチャートを用いて説明する。すな
わち、図９に示すように、図示しない定量媒体タンクか
らインクである定量媒体６１が定量媒体供給口５３を通
じて定量媒体バッファタンク４９に供給され、ここから
定量媒体供給路５０を通じて定量媒体圧力室４７に充填
され、定量媒体圧力室４７からこれに応じた定量媒体ノ
ズル５６の先端まで充填され、この先端には表面張力の
釣り合いにより、メニスカスが形成される。

【００６３】また、図示しない吐出媒体タンクから希釈
液である吐出媒体６２が吐出媒体供給口５４を通じて吐
出媒体バッファタンク５１に供給され、ここから吐出媒
体供給路５２を通じて吐出媒体圧力室４８に充填され、
吐出媒体圧力室４８からこれに応じた吐出媒体ノズル５
７の先端まで充填され、この先端には表面張力の釣り合
いにより、メニスカスが形成される。

【００６４】すなわち、吐出待機状態となる。この吐出
待機状態は、図１０（ａ）（ｂ）に示す駆動電圧の印加
タイミングチャート中の図中（Ａ）で示す時点であり、
第１及び第２の発熱素子４４，４５の駆動電圧は零Ｖと
されている。なお、図１０（ａ）（ｂ）においては、横
軸を時間、縦軸を電圧として表している。

【００６５】次に、図１０（ｂ）中（Ｂ）で示す時点か
ら第１の発熱素子４４の駆動電圧を徐々に３Ｖまで上昇
させ、この状態でしばらく保持する。すると、第１の発
熱素子４４が発熱することから、定量媒体圧力室４７内
のインクである定量媒体６１が加熱され沸騰し、図１１
に示すように、第１の発熱素子４４上に泡６３が発生
し、定量媒体圧力室４７内の圧力が上昇し、定量媒体ノ
ズル５６先端にメニスカスを形成していた定量媒体６１
は、定量媒体ノズル５６先端よりあふれることとなる。
そして、吐出媒体ノズル５７の先端近傍においてメニス
カスを形成している吐出媒体６２と接触して混合溶液６
４を吐出媒体ノズル５７の先端近傍において形成する。

【００６６】このとき、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、前述のように定量媒体圧力室４７内
の第１の発熱素子４４上に保護膜４６を介して複数の突
起部５８を形成していることから、上記第１の発熱素子
４４が発熱して定量媒体６１に熱が与えられた場合に、
上記突起部５８が自然対流現象を抑制して、定量媒体６
１内の熱量の分散を抑制し、従来沸騰現象を発生し得な
かった少ない熱量においても沸騰現象が発生する。

【００６７】さらには、本例のプリンタ装置において
は、突起部５８を円柱状としていることから、この突起
部５８のエッジ部分により、泡６３を形成するための沸
騰核の形成が促進され、比較的低熱量の供給により、溶
液を沸騰状態とすることができるようになる。

【００６８】また、上記突起部５８は、定量媒体６１の
沸騰時に発生する泡６３が近在する他の泡６３と接触し
て過度に成長するのを機械的に抑制し、泡６３が第１の
発熱素子４４の面内方向に成長するのを抑制するため、
与えられた熱量に応じた大きさの泡の形成がなされる。

【００６９】さらに、上記複数の突起部５８は、これら
の間隔を１０μｍ以下として形成されており、少ない熱
量でより効果的に沸騰現象を発生させることができる。

【００７０】従って、本例のプリンタ装置においては、
第１の発熱素子４４の平面面積よりも小さな面積の泡が
精度良好に形成され、少量の定量媒体６１の定量が精度
良好になされる。

【００７１】なお、本例のプリンタ装置において、第１
の発熱素子４４の平面面積以上の面積を有する泡の形成
が精度良好に行われることは言うまでもなく、比較的多
量の定量媒体６１の定量も精度良好になされる。

【００７２】次に、図１０（ａ）中（Ｃ）で示す時点に
おいて第２の発熱素子４５の電圧を５Ｖとし、この状態
でしばらく保持する。すると、第２の発熱素子４５が発
熱し、吐出媒体圧力室４８内の吐出媒体６２が加熱され
沸騰し、図１２に示すように吐出媒体圧力室４８内の第
２の発熱素子４５上に泡６５が発生し、吐出媒体圧力室
４８内の圧力が上昇するため、吐出媒体ノズル５７から
混合溶液６４が押し出される。

【００７３】なお、上記第２の発熱素子４５の駆動電圧
を５Ｖまで上昇させた後、すなわち、図１０（ａ）中
（Ｃ）で示す時点よりも後の時点から図中（Ｄ）で示す
時点までかけて第１の発熱素子４４の電圧を徐々に元の
零Ｖまで戻す。すると、第１の発熱素子４４の加熱が終
了することから、定量媒体圧力室４７内の圧力の上昇が
収まり、定量媒体ノズル５６から押し出された定量媒体
６１と定量媒体ノズル５６内に残存しているインク間が
分かれ、図１２中に示すように、定量媒体６１は定量媒
体ノズル５６内に引き込まれる。

【００７４】続いて、図１０（ａ）中（Ｅ）で示す時点
において、第２の発熱素子４５の駆動電圧を元の零Ｖに
戻す。すると、第２の発熱素子４５の加熱が終了するこ
とから、吐出媒体圧力室４８内の圧力の上昇が収まり、
吐出媒体ノズル５７から押し出された混合溶液６４と吐
出媒体ノズル５７内に充填されている定量媒体６２間が
分かれ、図１３に示すように、混合溶液６４が吐出媒体
ノズル５７より吐出され、被記録材に被着して印刷が行
われる。なお、図１０（ａ）中（Ｅ）で示す時点は図１
０（ｂ）中（Ｄ）で示す時点よりも後の時点とする。

【００７５】その後、定量媒体ノズル５６には再度定量
媒体６１が充填されて、新たなメニスカスが形成され、
吐出媒体ノズル５７には再度吐出媒体６２が充填され
て、新たなメニスカスが形成されて図９に示した待機状
態に戻り、このような動作を繰り返すことにより印刷が
行われる。

【００７６】ここで第１の発熱素子４４に与えられてい
る駆動電圧の時間変化は、定量媒体ノズル５６から定量
媒体６１を画像データの階調に応じた量を押し出し得る
ように設定されている。

【００７７】また、第２の発熱素子４５に与えられてい
る駆動電圧の時間変化は、吐出媒体ノズル５７から混合
溶液を吐出し得るように設定されている。

【００７８】なお、この例の場合、図１０中ｔ₁ で示す
インク吐出時間は１０μｓｅｃとされ、図１０中ｔ₂ で
示す希釈液吐出時間は４〜５μｓｅｃとされ、図１０中
ｔ₃で示す吐出周期は１ｍｓｅｃ（周波数１ｋＨｚ）と
されており、図１０中Ｖ₁ で示す定量電圧は可変とされ
ている。

【００７９】本例のプリンタ装置においては、前述のよ
うに少量の定量媒体６１の定量、比較的多量の定量媒体
６１の定量が精度良好になされ、正確な濃度を有する混
合溶液の吐出が可能である。従って、低濃度側から高濃
度側にわたって、特に低濃度側における階調表現を良好
に行うことが可能で、解像度の劣化を発生させることな
く階調を表現し、自然画像を形成することが十分可能で
ある。

【００８０】次に、本例のプリンタ装置の製造方法につ
いて述べる。先ず、基板部材を形成する。すなわち、図
１４に示すように、例えば両面に酸化処理を行うことに
より１μｍ程度の図示しない酸化シリコン膜が形成され
た厚さ略０．５ｍｍのシリコン基板７１の相対向する主
面のうちの一方の主面７１ａに抵抗膜となるＴａＡｌ膜
７２を例えばスパッタリング法により形成した後、導体
パターンとなるＡｌ膜７３を例えばスパッタリング法に
より形成する。

【００８１】次に、フォトレジストを用いて、導体パタ
ーンに対応したパターン形状を上記Ａｌ膜７３上に形成
し、そのフォトレジストをマスク材として、例えばリン
酸／硝酸の混合水溶液を用いてエッチングを行い、図１
５に示すような導体パターン７４を形成する。

【００８２】なお、この工程においては、使用するエッ
チング溶液（リン酸／硝酸の混合水溶液）の濃度を調整
して、抵抗膜であるＴａＡｌ膜７２がエッチングされな
いようにする。

【００８３】続いて、フォトレジストを用いて、導体パ
ターンと発熱素子の発熱部となる抵抗体部分とを含む形
状に対応したパターンを上記導体パターン７４及びＴａ
Ａｌ膜７３上に形成し、そのフォトレジストをマスク材
として、例えばフッ酸／硝酸／酢酸の混合水溶液を用い
てエッチングを行い、図１６に示すように、導体パター
ン７４の下層にＴａＡｌ膜７２を残し、且つＴａＡｌ膜
７２の一部を露呈させて第１及び第２の発熱素子に対応
するような抵抗体７５，７６を形成するとともに、不要
な部分を除去する。

【００８４】次に、図１７に示すように、導体パターン
７４及び抵抗体７５，７６上に、上記導体パターン７４
が溶液によって短絡することを防止するため、さらに
は、インク及び希釈液のコゲーションを防止するため
に、これらを覆うような例えばＳｉＣ等よりなる保護膜
７７をシリコン基板７１上にＣＶＤ法等により形成す
る。

【００８５】なお、この工程においては、導体パターン
７４中の図示しない外部配線との接続部分には、保護膜
７７が形成されないようにする。

【００８６】次に、突起部を形成するべく、図１８に示
すように、上記保護膜７７上に突起部を形成するための
例えば厚さ３μｍ程度のＳｉＯ₂ 膜である膜７８をＣＶ
Ｄ法等により形成する。上記膜７８の形成方法として
は、上記ＣＶＤ法の他に、スパッタリング法、真空蒸着
法等が挙げられる。この膜７８においても保護膜７７と
同様に、導体パターン７４中の図示しない外部配線との
接続部分には形成しないようにする。なお、上記保護膜
７７及び膜７８は連続して形成することが可能である。

【００８７】続いて、図１９に示すように、膜７８上の
第１の発熱素子の発熱部となる抵抗体７５に対応する位
置に、複数の突起部の断面形状に対応したマスク部材７
９を形成する。このマスク部材７９は、例えばＮｉ及び
Ａｌ等により形成すれば良い。

【００８８】このマスク部材７９を形成するには、突起
部の断面形状に対応したフォトレジストにより突起部の
形状のネガパターンに対応した形状を作製した後にマス
ク材料となるＮｉ及びＡｌを全面に真空蒸着法により形
成し、その後フォトレジストを溶解することにより、フ
ォトレジストの存在しない部分にのみマスク部材７９と
なるＮｉ及びＡｌを残す方法、いわゆるリフトオフ法に
より形成すれば良い。

【００８９】また、マスク部材７９となるＮｉ及びＡｌ
膜をスパッタリング法等により全面に形成した後に、フ
ォトレジストを用いて、露光・現像工程により、突起部
のポジパターンの断面形状とし、そのフォトレジストを
マスク材として、マスク部材７９となるＮｉ及びＡｌを
例えば塩素系ガスを用いたＲＩＥ装置あるいは、Ａｒガ
スを用いたイオンミリング装置を用いてエッチングする
ことにより、突起部の形状に対応したマスク部材７９を
形成する方法が挙げられる。

【００９０】このように、マスク部材７９を形成する方
法としては、上記のような２種類の方法が例示される
が、突起部の断面形状を微細な形状とするには、上記の
方法のうちエッチング法を選択することが望ましい。

【００９１】次に、上記マスク部材７９をマスク材とし
てエッチングを行い、当該マスク部材７９を除去し、図
２０に示すように第１の発熱素子を形成する抵抗体７５
上に保護膜７７を介して複数の突起部８０を形成する。

【００９２】このように突起部８０を形成する方法とし
ては、ＣＦ₄ ガスを用いたＲＩＥ装置による加工が挙げ
られ、マスク部材７９の除去は、所定の酸あるいはアル
カリ水溶液を用いることにより、行うことができる。

【００９３】なお、ここでは、突起部を形成するための
膜７８としてＳｉＯ₂ （酸化珪素）よりなる膜を使用す
るものとし、ＣＦ₄ ガスを用いたＲＩＥ装置において、
ガス圧力を３Ｐａとし、２００Ｗの投入電圧により、
０．０２５０μｍ／ｍｉｎ程度の速度にて加工するもの
とし、膜厚３μｍの膜７８を約１２０ｍｉｎかけて加工
し、直径約３μｍの断面円形の複数の突起部８０を形成
するものとしたが、これら突起部８０は精度よく形成さ
れた。

【００９４】次に、図２１に示すように、一主面７１ａ
側にＴａＡｌ膜７２、導体パターン７４、保護膜７７が
積層されたシリコン基板７１に、例えば超音波加工によ
り、定量媒体供給口８１及び吐出媒体供給口８２を形成
し、基板部材８３を完成する。

【００９５】次に、図２２に示すように、基板部材８３
上の保護膜７７上に感光性ドライフィルムを用いて、定
量媒体圧力室８４、定量媒体供給路８５、定量媒体バッ
ファータンク８６、さらには、吐出媒体圧力室８７、吐
出媒体供給路８８、吐出媒体バッファータンク８９を有
する圧力室形成部材９０を形成する。

【００９６】この圧力室形成部材９０を形成する感光性
ドライフィルムとしては、例えば東京応化（株）社製の
感光性ドライフィルムオーディルＰＲ１３５（商品名）
が挙げられる。さらに、このように液体状態でないドラ
イフィルム材料を用いることにより、基板部材７１の定
量媒体供給口８１及び吐出媒体供給口８２が形成された
後に圧力室形成部材７１を形成することが可能である。

【００９７】このとき、上記突起部８０の高さがあまり
高いと、上述のドライフィルムのラミネート工程におい
て、突起部８０が倒れたり、折れたりしてしまう可能性
が高いため、前述のように当該突起部８０の高さを５μ
ｍ以下とすることが好ましい。

【００９８】次に、オリフィスプレートを製造する。す
なわち、図２３に示すように、例えば厚さ１２５μｍの
ポリイミド材料よりなる板材９１の相対向する主面の一
方の主面９１ａ上に例えばポリイミド材料よりなる撥液
膜９２を形成する。

【００９９】この板材９１を形成するポリイミド材料と
しては、東レ・デュポン（株）社製のポリイミドフィル
ム カプトン５００Ｈ（商品名）等が例示される。

【０１００】また、撥液膜９２を形成する材料として
は、上述のように、宇部興産株式会社製のユピコートＦ
Ｓ−１００Ｌ（商品名）や、ユピファインＦＰ−１００
（商品名）等が挙げられる。なお、本例においては、例
えば形成後の膜厚が２０μｍ程度となるように宇部興産
株式会社製のポリイミドインク ユピコートＦＳ−１０
０Ｌ（商品名）を印刷或いは塗布により形成したものと
する。

【０１０１】次に、撥液膜９２を形成する材料における
推奨の硬化条件により、撥液膜９２の硬化処理を行う。
例えば、撥液膜９２を宇部興産株式会社製のポリイミド
インク ユピコートＦＳ−１００Ｌ（商品名）により形
成した場合においては最高温度１６０℃の処理を行うこ
とにより、耐薬品性に優れた撥液膜９２を形成すること
ができる。そして、熱処理の最高温度が１８０℃以下の
低い温度の材料を用いることにより、熱膨張率の違いに
よるそりの発生を低く抑えることができる。

【０１０２】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
板材９１の撥液膜９２が形成されない主面側から、エキ
シマレーザ光を垂直に照射し、図２４に示すような吐出
媒体ノズル９３を形成する。また、板材９１の撥液膜９
２が形成されない主面側から、エキシマレーザ光を斜め
方向に照射し、図２４に示すような定量媒体ノズル９４
を形成する。このとき、定量媒体ノズル９４は撥液膜９
２側に向かうに従って吐出媒体ノズル９３に近づくよう
に形成し、オリフィスプレート９５を完成する。

【０１０３】なお、本例においては、板材９１及び撥液
膜９２を構成する材料としていずれもエキシマレーザ光
によるアブレーション加工性に優れた材料を用いている
ので、吐出媒体ノズル９３及び定量媒体ノズル９４を形
状精度良好に、また、膜剥がれ等を発生させることな
く、形成することができる。

【０１０４】次に、図２５に示すように、上述のように
して形成されたオリフィスプレート９５と、圧力室形成
部材９０が既に積層形成された基板部材８３を重ね合わ
せ、圧力室形成部材９０の有する接着性を用いて接着
し、本例のプリンタ装置のプリントヘッドを完成する。
このとき、定量媒体圧力室８４と定量媒体ノズル９４、
吐出媒体圧力室８７と吐出媒体ノズル９３の位置合わせ
を行い、これらがそれぞれ連通するようにする。

【０１０５】なお、この接着工程においては、圧力室形
成部材９０であるドライフィルムの有する接着性を用い
ることにより、エポキシ接着剤等を用いることなく、接
着をおこなうことができる。

【０１０６】なお、上記ドライフィルムとして、上述の
ように東京応化（株）社製の感光性ドライフィルムオー
ディルＰＲ１３５（商品名）を用いた場合においては、
１５０℃程度のプレス温度において４〜５ｋｇｆ／ｃｍ
² 程度の圧力を加えて接着を行う。

【０１０７】上述のプリンタ装置のプリントヘッドにお
いては、突起部５８を保護膜４６上の第１の発熱素子４
４に対応する位置に形成した例について述べたが、この
突起部は以下のように形成されていても良い。

【０１０８】すなわち、図２６に示すように、保護膜４
６上の第１の発熱素子４４に対応する位置よりも広い範
囲に亘って複数の突起部９６を形成するようにしても良
い。なお、図２６においては、図４と同様の部分につい
ては同じ符号を付し、説明を省略するものとする。

【０１０９】さらに、上述の例においては突起部８０を
形成する膜７８の突起部８０以外の部分を除去してプリ
ンタ装置のプリントヘッドを形成するようにしたが、突
起部８０以外の部分で突起部８０の形成に関与しない部
分は除去する必要はなく、以下のようにしても良い。

【０１１０】すなわち、図２７に示すように、突起部９
７を形成する膜９８の突起部９７に関与しない部分を残
存させるようにし、圧力室形成部材４２と保護膜４６の
間に膜９８を残存させるようにしても良い。なお、図２
７においても、図４と同様の部分については同じ符号を
付し、説明を省略するものとする。

【０１１１】このように膜９８の突起部９７に関与しな
い部分を残存させようにすると、全体としての段差を少
なくすることができ、圧力室形成部材４２を形成するた
めのドライフィルムの露光工程において、その歩留まり
が向上する。

【０１１２】さらに、上述の例においては、オリフィス
プレート９５を板材９１と撥液膜９２よりなるものとし
たが、オリフィスプレートは必ずしもこの構成でなくて
も良く、金属プレートと有機材料フィルムとの積層構
造、金属の多層メッキ構造を有していても良い。

【０１１３】さらには、上述の例においては、圧力室形
成部材を感光性のドライフィルムにより形成した例につ
いて述べたが、この圧力室形成部材は必ずしもドライフ
ィルムに限定される必要はない。

【０１１４】さらに、上述の例においては、定量媒体を
インクとし、吐出媒体を希釈液としたが、本発明を適用
したプリンタ装置においては、これに限定する必要はな
く、定量媒体を希釈液とし、吐出媒体をインクとしても
よい。なお、このようにすれば、希釈液はインクと比較
してコゲーションが発生し難いので、このコゲーション
が定量濃度に影響を及ぼす危険性を回避することが可能
となる。

【０１１５】また、上述の例においては、第１の圧力印
加手段となる第１の発熱素子４４に対応する位置及びそ
の付近にのみ突起部５８を形成する例について述べた
が、第２の圧力印加手段となる第２の発熱素子４５に対
応する位置及びその付近にも突起部を形成するようにし
ても良い。

【０１１６】このようにすれば、吐出媒体圧力室４８内
においても、沸騰を開始する熱量を低くすることが可能
となるので、低電圧にて吐出を行うことが可能となり、
プリンタ装置の低電力化がなされることとなる。

【０１１７】なお、上述の例においては、第１及び第２
の圧力印加手段の何れも発熱素子とした例について述べ
たが、第２の圧力印加手段としては、圧電素子を使用し
ても良い。

【０１１８】このように、第２の圧力印加手段として圧
電素子を使用したプリンタ装置のプリントヘッドとして
は、図２８及び図２９に示すようなものが挙げられる。
すなわち、本例のプリンタ装置も前述のプリンタ装置と
同様に、基板部材１０１と圧力室形成部材１０２、オリ
フィスプレート１０３により主に構成されるものであ
る。

【０１１９】上記基板部材１０１は、一主面１０１ａ側
の所定の位置に第１の圧力印加手段として発熱素子１０
４が形成されてなる。また、この基板部材１０１には、
吐出媒体圧力室を形成するための第１の貫通孔１０５ａ
も形成されている。さらには、上記基板部材１０１にも
上述の例と同様に保護膜１０６が形成されている。

【０１２０】そして、上記圧力室形成部材１０２には、
発熱素子１０４に対応する位置に定量媒体圧力室１０
７、第１の貫通孔１０５ａに対応する位置にはこれと連
通して吐出媒体圧力室を形成する第２の貫通孔１０５ｂ
が形成されており、第１の貫通孔１０５ａと第２の貫通
孔１０５ｂにより吐出媒体圧力室１０８が形成されてい
る。

【０１２１】ここで、基板部材１０１の第１の貫通孔１
０５ａは、ノズル配列ピッチが粗い場合においては、超
音波加工により形成すれば良く、ノズル配列ピッチが狭
い場合においては、異方性エッチングにより形成すれば
良い。

【０１２２】また、上記圧力室形成部材１０２は、定量
媒体であるインクを充填しておくための定量媒体バッフ
ァタンク１０９とこの定量媒体バッファタンク１０９か
ら各定量媒体圧力室１０７にインクを供給する定量媒体
供給路１１０を面内方向に有し、吐出媒体である希釈液
を充填しておくための吐出媒体バッファタンク１１１と
この吐出媒体バッファタンク１１１から各吐出媒体圧力
室１０８に希釈液を供給する吐出媒体供給路１１２を面
内方向に有する。

【０１２３】上記圧力室形成部材１０２は、例えば３０
μｍ程度の厚さの感光性ドライフィルムポリイミド等の
感光性樹脂よりなり、基板部材１０１とオリフィスプレ
ート１０３との接着材としても機能している。このよう
な感光性ドライフィルムとしては、例えば東京応化
（株）社製の感光性ドライフィルム オーディルＰＲ１
３５（商品名）が、インク等の溶剤に対して耐久性を有
していることから、好ましく例示される。

【０１２４】そして、図２９に模式的な平面図を示すよ
うに、各発熱素子１０４に対応する位置に定量媒体圧力
室１０７を有し、インクである定量媒体を充填するため
の定量媒体バッファタンク１０９を有し、この定量媒体
バッファタンク１０９から定量媒体圧力室１０７にイン
クである定量媒体を供給する定量媒体供給路１１０を有
する。なお、上記定量媒体バッファタンク１０９にはこ
れに図示しない定量媒体タンクからインクである定量媒
体を供給するための定量媒体供給口１１３が底面側に形
成されている。すなわち、図２８中に示すように、定量
媒体バッファタンク１０９の底面側から基板部材１０１
を貫通するように定量媒体供給口１１３が形成されてい
る。

【０１２５】さらに、この圧力室形成部材１０２におい
ては、図２９中に模式的な平面図を示すように、吐出媒
体圧力室１０８を形成する第２の貫通孔１０５ｂを有
し、希釈液である吐出媒体を充填するための吐出媒体バ
ッファタンク１１１を有し、この吐出媒体バッファタン
ク１１１から各吐出媒体圧力室１０８に希釈液である吐
出媒体を供給する吐出媒体供給路１１２を有する。な
お、上記吐出媒体バッファタンク１１１にはこれに図示
しない吐出媒体タンクから希釈液である吐出液を供給す
るための吐出媒体供給口１１４が底面側に形成されてい
る。すなわち、図２８中に示すように、吐出媒体バッフ
ァタンク１１１の底面側から基板部材１０１を貫通する
ように吐出媒体供給口１１４が形成されている。

【０１２６】上記圧力室形成部材１０２においては、定
量媒体圧力室１０７や第２の貫通孔１０５ｂ等は、プリ
ント基板形成技術および半導体形成技術などに用いられ
ているフォトリソグラフィー技術により形成されてい
る。

【０１２７】また、上記オリフィスプレート１０３は、
例えば厚さ１２５μｍのポリイミド材料により形成され
ており、このようなポリイミド材料としては、東レ・デ
ュポン（株）社製のカプトンフィルム（商品名）等が例
示される。なお、このオリフィスプレート１０３の圧力
室形成部材１０２が配される面とは反対側の主面１０３
ａには前述の例と同様の撥液膜１１５が形成されてい
る。

【０１２８】さらに、上記オリフィスプレート１０３に
は、定量媒体圧力室１０７に対応する位置に定量媒体ノ
ズル１１６が形成され、吐出媒体圧力室１０８に対応す
る位置に吐出媒体ノズル１１７が前述の例と同様にして
形成されている。なお、これら定量媒体ノズル１１６及
び吐出媒体ノズル１１７もエキシマレーザ光によるアブ
レーション加工により形成されている。

【０１２９】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいても、前述のプリンタ装置と同様に、図２８
中に示すように、定量媒体圧力室１０７に対応する位置
にこれに向かって形成される発熱素子１０４の上に保護
膜１０６を介して複数の突起部１１８が形成されてい
る。すなわち、図２９に模式的に示すように発熱素子１
０４上に複数の突起部１１８が形成されることとなる。

【０１３０】そして、本例のプリンタ装置においては、
基板部材１０１の圧力室形成部材１０２が配されない側
の主面１０１ｂ側に、基板部材１０１の第１の貫通孔１
０５ａを塞ぐようにして振動板１１９が配されている。
すなわち、第１の貫通孔１０５ａと第２の貫通孔１０５
ｂを振動板１１９とオリフィスプレート１０３により挟
み込んで吐出媒体圧力室１０８を形成するようにしてい
る。

【０１３１】さらに、本例のプリンタ装置においては、
振動板１１９上の吐出媒体圧力室１０８に対応する位置
に積層型の圧電素子１２０が配されており、第２の圧力
印加手段となされている。この積層型の圧電素子１２０
は、電圧の印加に応じて図中矢印ａに示す方向に伸縮す
る。そして、上記圧電素子１２０の振動板１１９とは反
対側の一端側が支持体１２１に固定されていることか
ら、当該圧電素子１２０が伸長すると、振動板１１９の
吐出媒体圧力室１０８に対応する部分が押圧され、吐出
媒体圧力室１０８内の吐出媒体への圧力の印加が可能と
なされている。なお、上記振動板１１９においては、吐
出媒体圧力室１０８に対応する部分の周辺が薄板化され
ており、圧電素子１２０の加圧が吐出媒体圧力室１０８
内の吐出媒体に有効に伝わるようになされているととも
に、定量媒体供給口１１３に対応する位置及び吐出媒体
供給口１１４に対応する位置にこれらと連通する孔部が
形成されていることは言うまでもない。上記振動板１１
９は、基板部材１０１の主面１０１ｂに例えばエポキシ
接着剤などにより接着されている。

【０１３２】また、本例のプリンタ装置においては、図
２８に示すように、定量媒体供給口１１３と図示しない
定量媒体タンクを接続する定量媒体供給管１２２が配さ
れるとともに、吐出媒体供給口１１４と図示しない吐出
媒体タンクを接続する吐出媒体供給管１２３が配されて
いる。

【０１３３】このような本例のプリンタ装置により印刷
を行うには、以下のようにすれば良い。すなわち、図３
０に示すように、図示しない定量媒体タンクからインク
である定量媒体１３１が定量媒体供給管１２２、定量媒
体供給口１１３を通じて定量媒体バッファタンク１０９
に供給され、ここから定量媒体供給路１１０を通じて定
量媒体圧力室１０７に充填され、定量媒体圧力室１０７
からこれに応じた定量媒体ノズル１１６の先端まで充填
され、この先端には表面張力の釣り合いにより、メニス
カスが形成される。

【０１３４】また、図示しない吐出媒体タンクから希釈
液である吐出媒体１３２が吐出媒体供給管１２３、吐出
媒体供給口１１４を通じて吐出媒体バッファタンク１１
１に供給され、ここから吐出媒体供給路１１２を通じて
吐出媒体圧力室１０８に充填され、吐出媒体圧力室１０
８からこれに応じた吐出媒体ノズル１１７の先端まで充
填され、この先端には表面張力の釣り合いにより、メニ
スカスが形成される。

【０１３５】すなわち、待機状態となる。この待機状態
においては、発熱素子１０４には駆動電圧を印加せず、
圧電素子１２０には、これを構成する圧電材料の分極方
向に対して正の電圧を印加することにより、縮ませた状
態としておき、図３０中に示すように、振動板１１９を
引き上げて撓ませた状態とし、吐出媒体圧力室１０８の
体積を増加させた状態としておく。

【０１３６】次に、前述のプリンタ装置により印刷を行
った場合と同様に、発熱素子１０４の駆動電圧を上昇さ
せ、この状態でしばらく保持し、図３１に示すように、
発熱素子１０４上に泡１３３を発生させ、定量媒体ノズ
ル１１６先端よりあふれさせ、吐出媒体ノズル１１７の
先端近傍においてメニスカスを形成している吐出媒体１
３２と接触させて混合溶液１３４を吐出媒体ノズル１１
７の先端近傍において形成する。

【０１３７】次に、圧電素子１２０に印加していた電圧
を解放する。すると、圧電素子１２０が伸長し、図３２
に示すように、振動板１１９の撓みが元に戻り、吐出媒
体圧力室１０８内の圧力が待機状態よりも上昇すること
となる。その結果、吐出媒体ノズル１１７先端にメニス
カスを形成していた混合溶液１３４は、吐出媒体ノズル
１１７より押し出される。

【０１３８】続いて、圧電素子１２０に待機状態と等し
い電圧を印加すると、吐出媒体圧力室１０８内の体積は
増加することとなり、当該吐出媒体圧力室１０８内の圧
力は低下することとなる。そして、その圧力の低下によ
り、図３３に示すように、吐出媒体ノズル１１７先端よ
り吐出した混合溶液１３４と、吐出媒体ノズル１１７に
充填されている吐出媒体１３２間は分離し、混合溶液１
３４が図示しない被記録媒体に向けて吐出され、記録が
行われる。

【０１３９】なお、発熱素子１０４においては、この後
も前述のプリンタ装置と同様に駆動電圧を変化させて、
定量された定量媒体１３１の分離、メニスカスの形成を
行う。また、圧電素子１２０においても上記のように駆
動電圧を待機状態と等しい電圧に戻すと、吐出媒体圧力
室１０８内の圧力が低下することから吐出媒体バッファ
タンク１１１側から吐出媒体１３２が供給され、新たな
メニスカスを形成する。その結果、図３０に示すような
待機状態に戻る。

【０１４０】なお、上記発熱素子１０４に与えられてい
る駆動電圧の時間変化は、定量媒体ノズル１１６から定
量媒体１３１を画像データの階調に応じた量で押し出し
得るように設定されている。

【０１４１】また、圧電素子１２０に与えられている駆
動電圧の時間変化は、吐出媒体ノズル１１７から混合溶
液１３４を吐出し得るように設定されている。

【０１４２】本例のプリンタ装置においても、第１の圧
力印加手段である発熱素子１０４に対応する位置に突起
部１１８を形成していることから、前述のプリンタ装置
と同様の効果が得られる。

【０１４３】さらに、本例のプリンタ装置においては、
第２の圧力印加手段として積層型の圧電素子１２０を使
用していることから、プリンタヘッド全体としての消費
電力を低減することが可能である。

【０１４４】また、この積層型の圧電素子１２０に印加
する電圧を調整することにより、吐出される混合溶液１
３４の液滴径を容易に制御することができる。すなわ
ち、被記録媒体の種類に合わせて、液滴径を制御するこ
とが容易となる。

【０１４５】さらには、この圧電素子１２０に印加する
電圧を調整して、定量媒体１３１の量だけでなく、吐出
媒体１３２の量も調整するようにすれば、より広範囲な
濃度表現が可能となる。

【０１４６】上述の例においては、積層型の圧電素子を
用いた例について述べたが、本発明を適用したプリンタ
装置においては、単板の圧電素子を用いることも可能で
ある。

【０１４７】すなわち、図３４及び図３５に示すよう
な、図２８及び図２９に示すプリンタ装置のプリントヘ
ッドと略同様の構成を有するものであり、図２８に示し
た吐出媒体圧力室１０８に対応する部分の周辺が薄板化
されている振動板の代わりに均一な厚さを有する振動板
１３９が配されており、図２８に示した積層型の圧電素
子１２０の代わりに単板型の圧電素子１４０が配されて
なるものである。なお、図３４及び図３５においては図
２８及び図２９に示したプリンタ装置と同様の構成を有
する部分については同様の符号を付し、説明を省略する
こととする。

【０１４８】この単板型の圧電素子１４０は、電圧が印
加されると、当該圧電素子１４０の面内方向に縮むた
め、振動板１３９は図３４中矢印ｂで示す方向に撓むこ
ととなる。すなわち、上記単板型の圧電素子１４０は、
いわゆるバイモルフ効果により、動作する。

【０１４９】このような本例のプリンタ装置により印刷
を行うには、以下のようにすれば良い。すなわち、図３
６に示すように、先に図３０にて説明したのと同様にし
て定量１３１が定量媒体ノズル１１６の先端まで充填さ
れ、この先端には表面張力の釣り合いにより、メニスカ
スが形成されるとともに、吐出媒体１３２が吐出媒体ノ
ズル１１７の先端まで充填され、この先端には表面張力
の釣り合いにより、メニスカスが形成され、待機状態と
なる。なお、図３６中においては、図３０と同様の構成
を有する部分においては同一の符号を付し、説明を省略
する。

【０１５０】この待機状態においては、発熱素子１０４
には駆動電圧を印加せず、圧電素子１４０にも駆動電圧
を印加しないようにする。

【０１５１】次に、前述のプリンタ装置により印刷を行
った場合と同様に、発熱素子１０４の駆動電圧を上昇さ
せ、この状態でしばらく保持し、図３７に示すように発
熱素子１０４上に泡１３３を発生させ、定量媒体１３１
を定量媒体ノズル１１６先端よりあふれさせ、吐出媒体
ノズル１１７の先端近傍においてメニスカスを形成して
いる吐出媒体１３２と接触させて混合溶液１３４を吐出
媒体ノズル１１７の先端近傍において形成する。

【０１５２】次に、圧電素子１４０に駆動電圧を印加す
る。すると、図３８に示すように、当該圧電素子１４０
が面内方向に収縮し、振動板１３９を押圧する。その結
果、吐出媒体圧力室１０８の体積は待機状態と比較して
減少し、当該吐出媒体圧力室１０８内の圧力が上昇し、
吐出媒体ノズル１１７先端にメニスカスを形成していた
混合溶液１３４は、吐出媒体ノズル１１７より押し出さ
れる。

【０１５３】続いて、圧電素子１４０の駆動電圧を解放
すると、吐出媒体圧力室１０８の体積が増加し、当該吐
出媒体圧力室１０８内の圧力は低下する。その結果、図
３９に示すように、吐出媒体ノズル１１７先端より吐出
した混合溶液１３４と、吐出媒体ノズル１１７に充填さ
れている吐出媒体１３２間は分離し、混合溶液１３４が
図示しない被記録媒体に向けて吐出され、記録が行われ
る。

【０１５４】なお、発熱素子１０４においては、この後
も前述のプリンタ装置と同様に駆動電圧を変化させて、
定量された定量媒体１３１の分離、メニスカスの形成を
行う。また、圧電素子１４０においても上記のように駆
動電圧を解放すると、吐出媒体圧力室１０８内の圧力が
低下することから吐出媒体バッファタンク１１１側から
吐出媒体１３２が供給され、新たなメニスカスを形成す
る。その結果、図３６に示すような待機状態に戻る。

【０１５５】なお、上記発熱素子１０４に与えられてい
る駆動電圧の時間変化は、定量媒体ノズル１１６から定
量媒体１３１を画像データの階調に応じた量で押し出し
得るように設定されている。

【０１５６】また、圧電素子１４０に与えられている駆
動電圧の時間変化は、吐出媒体ノズル１１７から混合溶
液１３４を吐出し得るように設定されている。

【０１５７】本例のプリンタ装置においても、第１の圧
力印加手段である発熱素子１０４に対応する位置に突起
部１１８を形成していることから、前述のプリンタ装置
と同様の効果が得られる。

【０１５８】さらに、本例のプリンタ装置においては、
第２の圧力印加手段として単板型のの圧電素子１４０を
使用していることから、プリンタヘッド全体としての消
費電力を低減することが可能である。

【０１５９】また、この単板型の圧電素子１４０に印加
する電圧を調整することにより、吐出される混合溶液１
３４の液滴径を容易に制御することができる。すなわ
ち、被記録媒体の種類に合わせて、液滴径を制御するこ
とが容易となる。

【０１６０】さらには、この圧電素子１４０に印加する
電圧を調整して、定量媒体１３１の量だけでなく、吐出
媒体１３２の量も調整するようにすれば、より広範囲な
濃度表現が可能となる。

【０１６１】また、本例のプリンタ装置においては、第
２の圧力印加手段として、積層型の圧電素子ではなく、
単板型の圧電素子を使用していることから、プリンタヘ
ッドの低コスト化が可能となる。

【０１６２】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のプリンタ装置においては、定量媒体圧力室内の定量
媒体に圧力を印加する第１の圧力印加手段として定量媒
体圧力室内の定量媒体に向かって配される発熱素子を使
用し、この発熱素子上に上記定量媒体に向かって配され
る突起部を１つ以上配するようにしていることから、発
熱素子により定量媒体に熱が与えられた場合に、突起部
が自然対流現象を抑制して、定量媒体内の熱量の分散を
抑制し、従来沸騰現象を発生し得なかった少ない熱量に
おいても沸騰現象が発生する。

【０１６３】また、上記突起部は、定量媒体の沸騰時に
発生する泡が近在する他の泡と接触して過度に成長する
のを機械的に抑制し、泡が発熱素子の面内方向に成長す
るのを抑制するため、与えられた熱量に応じた大きさの
泡の形成がなされる。

【０１６４】従って、本発明のプリンタ装置において
は、発熱素子の平面面積よりも小さな面積の泡が精度良
好に形成され、少量の定量媒体の定量が精度良好になさ
れる。

【０１６５】また、本発明のプリンタ装置において、発
熱素子の平面面積以上の面積を有する泡の形成が精度良
好に行われることは言うまでもなく、比較的多量の定量
媒体の定量も精度良好になされる。

【０１６６】すなわち、これらのことから、本発明のプ
リンタ装置においては、低濃度側から高濃度側にわたっ
て、特に定量媒体としてインクを使用した場合に、低濃
度側における階調表現を良好に行うことが可能で、解像
度の劣化を発生させることなく階調を表現し、自然画像
を形成することが十分可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したプリンタ装置の一例を模式的
に示す要部概略斜視図である。

【図２】本発明を適用したプリンタ装置の一例の印字及
び制御系のブロック図である。

【図３】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドの駆動回路を示す回路ブロック図である。

【図４】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドを示す要部概略断面図である。

【図５】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドを示す要部概略平面図である。

【図６】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドの発熱素子及び突起部を拡大して示す要部概略
断面図及び平面図である。

【図７】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの突起部の他の例を示す要部拡大平面図である。

【図８】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの突起部のさらに他の例を示す要部拡大平面図であ
る。

【図９】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘッ
ドの一例による印刷動作を動作順に示すものであり、吐
出待機状態を示す要部概略断面図である。

【図１０】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリ
ントヘッドの駆動電圧の印加タイミングを示すチャート
である。

【図１１】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドの一例による印刷動作を動作順に示すものであり、
混合溶液が形成された状態を示す要部概略断面図であ
る。

【図１２】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドの一例による印刷動作を動作順に示すものであり、
混合溶液が押し出された状態を示す要部概略断面図であ
る。

【図１３】本発明を適用したプリンタ装置のプリントヘ
ッドの一例による印刷動作を動作順に示すものであり、
混合溶液が吐出された状態を示す要部概略断面図であ
る。

【図１４】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、シリコン
基板にＴａＡｌ膜及びＡｌ膜を形成する工程を示す要部
概略断面図である。

【図１５】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、導体パタ
ーンを形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図１６】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、抵抗体を
形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図１７】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、保護膜を
形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図１８】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、突起部を
形成する膜を形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。

【図１９】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、マスク部
材を形成する膜を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。

【図２０】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、突起部を
形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図２１】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、基板部材
を形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図２２】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、圧力室形
成部材を形成する工程を示す要部概略断面図である。

【図２３】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、板材の一
主面上に撥液膜を形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。

【図２４】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、オリフィ
スプレートを形成する工程を示す要部概略断面図であ
る。

【図２５】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの製造方法を工程順に示すものであり、オリフィ
スプレートと基板部材を接着する工程を示す要部概略断
面図である。

【図２６】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの一例の突起部の他の例を示す要部拡大断面図で
ある。

【図２７】本発明が適用されたプリンタ装置のプリント
ヘッドの一例の突起部の他の例を示す要部拡大断面図で
ある。

【図２８】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略断面図である。

【図２９】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略平面図である。

【図３０】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドによる印刷動作を動作順に示すものであ
り、吐出待機状態を示す要部概略断面図である。

【図３１】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドによる印刷動作を動作順に示すものであ
り、混合溶液が形成された状態を示す要部概略断面図で
ある。

【図３２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドによる印刷動作を動作順に示すものであ
り、混合溶液が押し出された状態を示す要部概略断面図
である。

【図３３】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドによる印刷動作を動作順に示すものであ
り、混合溶液が吐出された状態を示す要部概略断面図で
ある。

【図３４】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。

【図３５】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。

【図３６】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドによる印刷動作を動作順に示すもの
であり、吐出待機状態を示す要部概略断面図である。

【図３７】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドによる印刷動作を動作順に示すもの
であり、混合溶液が形成された状態を示す要部概略断面
図である。

【図３８】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドによる印刷動作を動作順に示すもの
であり、混合溶液が押し出された状態を示す要部概略断
面図である。

【図３９】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドによる印刷動作を動作順に示すもの
であり、混合溶液が吐出された状態を示す要部概略断面
図である。

【図４０】従来のプリンタ装置の発熱素子の発熱により
自然対流が発生している状態を示す要部拡大断面図であ
る。

【図４１】従来のプリンタ装置において定量媒体が定量
媒体ノズルより押し出された状態を示す要部拡大断面図
である。

【符号の説明】

４４ 第１の発熱素子、４５ 第２の発熱素子、４７，
１０７ 定量媒体圧力室、４８，１０８ 吐出媒体圧力
室、５６，１１６ 定量媒体ノズル、５７，１１７ 吐
出媒体ノズル、５８，５９，６０，９６，９７，１１８
突起部、６１，１３１ 定量媒体、６２，１３２ 吐
出媒体、６４，１３４ 混合溶液、１０４ 発熱素子、
１１９，１３９ 振動板、１２０，１４０ 圧電素子

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出媒体が充填される吐出媒体圧力室と
   これに連通する吐出媒体ノズルと、定量媒体が充填され
   る定量媒体圧力室とを少なくとも有し、 定量媒体圧力室内の定量媒体に第１の圧力印加手段によ
   り圧力を印加し、定量媒体を吐出媒体ノズル内の吐出媒
   体に混合し、吐出媒体圧力室内の吐出媒体に第２の圧力
   印加手段により圧力を印加して定量媒体と吐出媒体の混
   合液滴を吐出するプリンタ装置において、 少なくとも第１の圧力印加手段が定量媒体圧力室内の定
   量媒体に向かって配される発熱素子であり、当該発熱素
   子上に、上記定量媒体に向かって突起部が１つ以上配さ
   れていることを特徴とするプリンタ装置。
2. 【請求項２】 定量媒体圧力室に連通する定量媒体ノズ
   ルを吐出媒体ノズルと互いに隣合うようにして開口して
   有し、定量媒体ノズルから吐出媒体ノズルに向けて定量
   媒体を滲み出させて、定量媒体を吐出媒体ノズル内の吐
   出媒体に混合することを特徴とする請求項１記載のプリ
   ンタ装置。
3. 【請求項３】 発熱素子が抵抗体への通電により発熱す
   るものであることを特徴とする請求項１記載のプリンタ
   装置。
4. 【請求項４】 突起部が複数形成されており、突起部間
   の間隔が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１
   記載のプリンタ装置。
5. 【請求項５】 突起部の高さが５μｍ以下であることを
   特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
6. 【請求項６】 突起部が酸化珪素よりなることを特徴と
   する請求項１記載のプリンタ装置。
7. 【請求項７】 定量媒体がインクであり、吐出媒体が希
   釈液であることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装
   置。
8. 【請求項８】 第２の圧力印加手段が発熱素子であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
9. 【請求項９】 第２の圧力印加手段が圧電素子であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。
10. 【請求項１０】 圧電素子が積層型の圧電素子であるこ
    とを特徴とする請求項９記載のプリンタ装置。
11. 【請求項１１】 圧電素子が単板型の圧電素子であるこ
    とを特徴とする請求項９記載のプリンタ装置。