JPH10264408A - プリンタ装置及びその製造方法 - Google Patents
プリンタ装置及びその製造方法Info
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- JPH10264408A JPH10264408A JP7613697A JP7613697A JPH10264408A JP H10264408 A JPH10264408 A JP H10264408A JP 7613697 A JP7613697 A JP 7613697A JP 7613697 A JP7613697 A JP 7613697A JP H10264408 A JPH10264408 A JP H10264408A
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- Japan
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- ink
- liquid
- nozzle
- forming member
- film
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 吐出ノズルから吐出液を吐出することで印刷
を行うプリンタ装置において、ノズル開口部周辺での液
の付着等を抑え、正確な記録画像が形成されるようにす
る。 【解決手段】 吐出ノズル４２が貫通孔として形成され
るノズル形成部材３４を、吐出液が吐出する側に撥液性
有機フィルム３４ａが配された積層体によって構成す
る。
を行うプリンタ装置において、ノズル開口部周辺での液
の付着等を抑え、正確な記録画像が形成されるようにす
る。 【解決手段】 吐出ノズル４２が貫通孔として形成され
るノズル形成部材３４を、吐出液が吐出する側に撥液性
有機フィルム３４ａが配された積層体によって構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクのみ、また
はインクと希釈液を混合して吐出するプリンタ装置及び
プリンタ装置の製造方法に関する。詳しくはノズルの吐
出安定性を向上させて正確な記録画像を形成するプリン
タ装置及びその製造方法に係わるものである。
はインクと希釈液を混合して吐出するプリンタ装置及び
プリンタ装置の製造方法に関する。詳しくはノズルの吐
出安定性を向上させて正確な記録画像を形成するプリン
タ装置及びその製造方法に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、特にオフィス等においてデスクト
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真等のカラーの自然画像
を文字，図形とともに出力するといった要求も増加して
きている。そして、これに伴い、高品位な自然画像をプ
リントすることが要求され、中間調の再現が重要となっ
てきている。
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真等のカラーの自然画像
を文字，図形とともに出力するといった要求も増加して
きている。そして、これに伴い、高品位な自然画像をプ
リントすることが要求され、中間調の再現が重要となっ
てきている。
【０００３】また、印刷信号に応じて印刷時に必要な時
だけインク液滴をノズルより吐出して紙，フィルム等の
印刷媒体に印刷する、いわゆるオンデマンド型のプリン
タ装置は、小型化，低コスト化が可能なため、近年急速
に普及しつつある。
だけインク液滴をノズルより吐出して紙，フィルム等の
印刷媒体に印刷する、いわゆるオンデマンド型のプリン
タ装置は、小型化，低コスト化が可能なため、近年急速
に普及しつつある。
【０００４】このように、インク液滴をノズルより吐出
させる方法としては、様々な方法が提案されているが、
ピエゾ素子を用いる方法または発熱素子を用いる方法が
一般的である。前者はピエゾ素子の変形によりインクに
圧力を加えて吐出させる方法である。後者は、発熱素子
によりノズル内のインクを加熱沸騰させて発生する泡の
圧力でインクを吐出させる方法である。
させる方法としては、様々な方法が提案されているが、
ピエゾ素子を用いる方法または発熱素子を用いる方法が
一般的である。前者はピエゾ素子の変形によりインクに
圧力を加えて吐出させる方法である。後者は、発熱素子
によりノズル内のインクを加熱沸騰させて発生する泡の
圧力でインクを吐出させる方法である。
【０００５】そして、上記のような中間調の表示による
階調表現を上述のインク液滴を吐出するオンデマンド型
のプリンタ装置で疑似的に行う方法としては、様々な方
法が提案されている。すなわち、第１の方法としてはピ
エゾ素子或いは発熱素子に与える電圧パルスの電圧やパ
ルス幅を変化させて吐出する液滴サイズを制御し、印刷
ドットの径を可変として階調を表現するものが挙げられ
る。
階調表現を上述のインク液滴を吐出するオンデマンド型
のプリンタ装置で疑似的に行う方法としては、様々な方
法が提案されている。すなわち、第１の方法としてはピ
エゾ素子或いは発熱素子に与える電圧パルスの電圧やパ
ルス幅を変化させて吐出する液滴サイズを制御し、印刷
ドットの径を可変として階調を表現するものが挙げられ
る。
【０００６】また、第２の方法としては、ドット径は変
化させずに１画素を例えば４×４のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法等により階調表現を行う方法が挙げられる。
化させずに１画素を例えば４×４のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法等により階調表現を行う方法が挙げられる。
【０００７】しかしながら、上記の第１の方法において
は、ピエゾ素子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅
を下げすぎるとインクが吐出しなくなるため最小液滴径
に限界があり、表現可能な階調段数が少なく、特に低濃
度の表現が非常に困難であるという欠点を有している。
従って、自然画像のプリントアウトには不満足なもので
ある。
は、ピエゾ素子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅
を下げすぎるとインクが吐出しなくなるため最小液滴径
に限界があり、表現可能な階調段数が少なく、特に低濃
度の表現が非常に困難であるという欠点を有している。
従って、自然画像のプリントアウトには不満足なもので
ある。
【０００８】一方、上記第２の方法においても、１画素
を４×４のマトリクスで構成した場合、１７階調の濃度
を表現することができるが、例えば上記第１の方法と同
じドット密度で印刷した場合には解像度が１／４に劣化
してしまい、荒さが目立つため、これも自然画像のプリ
ントアウトには不満足なものである。
を４×４のマトリクスで構成した場合、１７階調の濃度
を表現することができるが、例えば上記第１の方法と同
じドット密度で印刷した場合には解像度が１／４に劣化
してしまい、荒さが目立つため、これも自然画像のプリ
ントアウトには不満足なものである。
【０００９】そこで、本発明者等は、インクを吐出する
際にインクと希釈液を混合することにより、吐出される
インク液滴の濃度を変化させ、印刷されるドットの濃度
を制御することを可能にし、解像度の劣化を発生させる
ことなく自然画像をプリントアウトするプリンタ装置を
提案してきた。
際にインクと希釈液を混合することにより、吐出される
インク液滴の濃度を変化させ、印刷されるドットの濃度
を制御することを可能にし、解像度の劣化を発生させる
ことなく自然画像をプリントアウトするプリンタ装置を
提案してきた。
【００１０】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、吐出媒体が導入される吐出媒体ノズルと定量
媒体が導入される定量媒体ノズルを互いに隣合うように
開口して有し、定量媒体ノズルから所定量の定量媒体を
吐出媒体ノズルに向けて滲み出させて当該吐出媒体ノズ
ル開口近傍にて吐出媒体と混合させ、吐出媒体ノズルか
ら吐出媒体を定量媒体と混合されている吐出媒体と共に
押し出して、定量媒体と吐出媒体を定量媒体ノズル及び
吐出媒体ノズルの面内方向に混合吐出するようなプリン
トヘッドが挙げられる。このようなプリンタ装置におい
ては、インク或いは希釈液の何れかである定量媒体の量
を変化させて、インクと希釈液の混合比率を変化させる
ことによりドットの濃度を変化させて自然画像をプリン
トアウトする。なお、上記定量媒体及び吐出媒体は、ど
ちらか一方がインクであり、残りの一方が希釈液であれ
ば良い。なお、このプリントヘッドの一例を図３４に示
す。このプリントヘッドは、ノズル形成部材４０１と液
室形成部材４０２とが積層されて構成され、液室形成部
材４０２に設けられた定量媒体液室４０３と吐出媒体液
室４０４が、ノズル形成部材４０２に貫通孔として形成
された定量媒体ノズル４０５または吐出媒体ノズル４０
６とそれぞれ連通している。このようなプリントヘッド
では、液室４０３，４０４の一方を閉塞する振動板４０
７がピエゾ素子４０８，４０９の変位によって下側にた
わむことによって液室４０３，４０４内の吐出媒体また
は定量媒体に圧力がかかり、ノズル４０５，４０６から
吐出媒体または定量媒体が押し出されることになる。
としては、吐出媒体が導入される吐出媒体ノズルと定量
媒体が導入される定量媒体ノズルを互いに隣合うように
開口して有し、定量媒体ノズルから所定量の定量媒体を
吐出媒体ノズルに向けて滲み出させて当該吐出媒体ノズ
ル開口近傍にて吐出媒体と混合させ、吐出媒体ノズルか
ら吐出媒体を定量媒体と混合されている吐出媒体と共に
押し出して、定量媒体と吐出媒体を定量媒体ノズル及び
吐出媒体ノズルの面内方向に混合吐出するようなプリン
トヘッドが挙げられる。このようなプリンタ装置におい
ては、インク或いは希釈液の何れかである定量媒体の量
を変化させて、インクと希釈液の混合比率を変化させる
ことによりドットの濃度を変化させて自然画像をプリン
トアウトする。なお、上記定量媒体及び吐出媒体は、ど
ちらか一方がインクであり、残りの一方が希釈液であれ
ば良い。なお、このプリントヘッドの一例を図３４に示
す。このプリントヘッドは、ノズル形成部材４０１と液
室形成部材４０２とが積層されて構成され、液室形成部
材４０２に設けられた定量媒体液室４０３と吐出媒体液
室４０４が、ノズル形成部材４０２に貫通孔として形成
された定量媒体ノズル４０５または吐出媒体ノズル４０
６とそれぞれ連通している。このようなプリントヘッド
では、液室４０３，４０４の一方を閉塞する振動板４０
７がピエゾ素子４０８，４０９の変位によって下側にた
わむことによって液室４０３，４０４内の吐出媒体また
は定量媒体に圧力がかかり、ノズル４０５，４０６から
吐出媒体または定量媒体が押し出されることになる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、インク
と希釈液を混合吐出するプリンタ装置においては、画像
データに応じた階調を正確に表現するために、インクと
希釈液の混合比率を正確に制御する必要がある。そし
て、このためには、インクと希釈液の混合が行われない
状態、すなわち待機状態において、インクと希釈液が確
実に分離されている必要がある。もし、待機状態におい
てインクと希釈液が接していると、インクと希釈液がそ
れぞれ導入されるノズルにインク及び希釈液が互いに流
れ込み、次のドットにおけるインクと希釈液の混合比率
に大きく影響し、階調を正確に表現することが不可能と
なり、高解像度の記録画像の形成は難しい。
と希釈液を混合吐出するプリンタ装置においては、画像
データに応じた階調を正確に表現するために、インクと
希釈液の混合比率を正確に制御する必要がある。そし
て、このためには、インクと希釈液の混合が行われない
状態、すなわち待機状態において、インクと希釈液が確
実に分離されている必要がある。もし、待機状態におい
てインクと希釈液が接していると、インクと希釈液がそ
れぞれ導入されるノズルにインク及び希釈液が互いに流
れ込み、次のドットにおけるインクと希釈液の混合比率
に大きく影響し、階調を正確に表現することが不可能と
なり、高解像度の記録画像の形成は難しい。
【００１２】また、前述のインクのみを吐出するプリン
タ装置においても、吐出媒体ノズルの開口部周辺にイン
クが付着してしまうと、吐出方向の不安定状態をもたら
すこととなり、高解像度の記録画像の形成が難しくなる
ため、ノズル開口部の周辺には、撥液性をもたせること
が望まれる。このことは、上述のインクと希釈液を混合
吐出するプリンタ装置においても同様である。
タ装置においても、吐出媒体ノズルの開口部周辺にイン
クが付着してしまうと、吐出方向の不安定状態をもたら
すこととなり、高解像度の記録画像の形成が難しくなる
ため、ノズル開口部の周辺には、撥液性をもたせること
が望まれる。このことは、上述のインクと希釈液を混合
吐出するプリンタ装置においても同様である。
【００１３】この撥液性を有する材質としては、一般的
にポリテトラフルオルエチレン等が挙げられ、上記のよ
うなプリンタ装置においては、ノズル開口部周辺にこの
ような材質を配するようにしている。
にポリテトラフルオルエチレン等が挙げられ、上記のよ
うなプリンタ装置においては、ノズル開口部周辺にこの
ような材質を配するようにしている。
【００１４】ところで、上述したようなプリンタ装置に
おいては、ノズルの形状、特に開口部近傍の形状が吐出
方向に大きな影響を及ぼし、印字品質に多大な影響を及
ぼすことから、ノズルの形成をエキシマレーザによるア
ブレーション加工により行うのが一般的である。
おいては、ノズルの形状、特に開口部近傍の形状が吐出
方向に大きな影響を及ぼし、印字品質に多大な影響を及
ぼすことから、ノズルの形成をエキシマレーザによるア
ブレーション加工により行うのが一般的である。
【００１５】しかしながら、上記ポリテトラフルオルエ
チレンは、エキシマレーザ光の波長を透過するものがほ
とんどであり、アブレーション加工を行うことが不可能
である。また、ポリテトラフルオルエチレンテフロン
は、焼成温度がいずれも２８０℃以上であるため、ポリ
サルフォンあるいはポリエーテルイミドといった耐熱温
度の低い材料で液室形成部材を構成した場合には膜形成
が困難である。
チレンは、エキシマレーザ光の波長を透過するものがほ
とんどであり、アブレーション加工を行うことが不可能
である。また、ポリテトラフルオルエチレンテフロン
は、焼成温度がいずれも２８０℃以上であるため、ポリ
サルフォンあるいはポリエーテルイミドといった耐熱温
度の低い材料で液室形成部材を構成した場合には膜形成
が困難である。
【００１６】そこで、レーザ加工性については、例えば
特開平６−３２８６９８号公報に示されるごとく、ポリ
テトラフルオルエチレン中にエキシマレーザの波長域の
光を吸収するような材質を分散させることでレーザ加工
を可能する方法が提案されている。しかし、上記特開平
６−３２８６９８号公報に示すような方法を用いると、
エキシマレーザを用いた加工性と、撥液性とを両立させ
ることは難しく、どちらかの性質をある程度犠牲にしな
ければならないという不都合が生じる。
特開平６−３２８６９８号公報に示されるごとく、ポリ
テトラフルオルエチレン中にエキシマレーザの波長域の
光を吸収するような材質を分散させることでレーザ加工
を可能する方法が提案されている。しかし、上記特開平
６−３２８６９８号公報に示すような方法を用いると、
エキシマレーザを用いた加工性と、撥液性とを両立させ
ることは難しく、どちらかの性質をある程度犠牲にしな
ければならないという不都合が生じる。
【００１７】この他、ノズル開口部周辺に撥液性を付与
する方法としては、ノズル形成部材のノズル開口部側の
面に、撥液材料をスプレーあるいはスピンコートする方
法も提案されている。
する方法としては、ノズル形成部材のノズル開口部側の
面に、撥液材料をスプレーあるいはスピンコートする方
法も提案されている。
【００１８】しかしながら、ノズル形成部材は５ｃｍ角
以下の小型部品であるため、撥液材料の塗布処理を行う
際に、不要な部分に撥液材料が付着してしまう可能性が
高いといった問題がある。特に、ノズル形成部材の液室
側の面に撥液材料が付着してしまうと、この面での濡れ
性が悪くなり、気泡の付着が生じ易くなるといった問題
が生じる。
以下の小型部品であるため、撥液材料の塗布処理を行う
際に、不要な部分に撥液材料が付着してしまう可能性が
高いといった問題がある。特に、ノズル形成部材の液室
側の面に撥液材料が付着してしまうと、この面での濡れ
性が悪くなり、気泡の付着が生じ易くなるといった問題
が生じる。
【００１９】このため、このような撥液材料の塗布処理
を行う場合には、撥液材料の塗布厚を比較的薄く設定せ
ざるを得ず、十分に撥液性が得られない。また、撥液材
料の塗布厚が厚ければ、ノズル形成部材のノズル開口部
近傍に傷がある場合でも膜の厚みによって傷が平坦化さ
れるが、塗布厚を薄くすると、このような効果は望めな
い。
を行う場合には、撥液材料の塗布厚を比較的薄く設定せ
ざるを得ず、十分に撥液性が得られない。また、撥液材
料の塗布厚が厚ければ、ノズル形成部材のノズル開口部
近傍に傷がある場合でも膜の厚みによって傷が平坦化さ
れるが、塗布厚を薄くすると、このような効果は望めな
い。
【００２０】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、ノズル形成部材の液室側
に不要な撥液性材料を付着させることなくノズル開口部
周辺に撥液性を付与することができるプリンタ装置及び
その製造方法を提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、ノズル形成部材の液室側
に不要な撥液性材料を付着させることなくノズル開口部
周辺に撥液性を付与することができるプリンタ装置及び
その製造方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明のプリンタ装置は、吐出液が導入される液
室と、これに連通する吐出ノズルとを少なくとも有し、
吐出ノズルから吐出液を吐出するプリントヘッドを有す
るプリンタ装置であって、上記吐出ノズルが、ノズル形
成部材を貫通する貫通孔として形成され、上記ノズル形
成部材は、吐出液が吐出する側が撥液性有機フィルムに
よって構成される積層体であることを特徴とするもので
ある。
めに、本発明のプリンタ装置は、吐出液が導入される液
室と、これに連通する吐出ノズルとを少なくとも有し、
吐出ノズルから吐出液を吐出するプリントヘッドを有す
るプリンタ装置であって、上記吐出ノズルが、ノズル形
成部材を貫通する貫通孔として形成され、上記ノズル形
成部材は、吐出液が吐出する側が撥液性有機フィルムに
よって構成される積層体であることを特徴とするもので
ある。
【００２２】また、本発明のプリンタ装置の製造方法
は、撥液性有機フィルムと、他のフィルムを貼り合わせ
てノズル形成部材を作製する工程と、このノズル形成部
材にレーザ加工によって貫通孔を形成することによって
吐出ノズルを形成する工程とを有することを特徴とする
ものである。
は、撥液性有機フィルムと、他のフィルムを貼り合わせ
てノズル形成部材を作製する工程と、このノズル形成部
材にレーザ加工によって貫通孔を形成することによって
吐出ノズルを形成する工程とを有することを特徴とする
ものである。
【００２３】ノズル形成部材の、吐出液が吐出する側が
撥液性有機フィルムによって構成されていると、この有
機材料フィルムによってインク付着等が抑えられ、イン
クが安定に吐出され、正確な記録画像が形成される。
撥液性有機フィルムによって構成されていると、この有
機材料フィルムによってインク付着等が抑えられ、イン
クが安定に吐出され、正確な記録画像が形成される。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について図面を参照しながら説明する。
態について図面を参照しながら説明する。
【００２５】本発明にかかるプリンタ装置の第１の実施
の形態を図１に示す。
の形態を図１に示す。
【００２６】このプリンタ装置はシリアル型のプリンタ
装置であり、図１に示すように、被印刷物であるプリン
ト紙１が支持されるドラム２と、本発明のプリンタ装置
を構成し、上記プリント紙１に記録を行うプリントヘッ
ド部３により主に構成されるものである。
装置であり、図１に示すように、被印刷物であるプリン
ト紙１が支持されるドラム２と、本発明のプリンタ装置
を構成し、上記プリント紙１に記録を行うプリントヘッ
ド部３により主に構成されるものである。
【００２７】このとき、上記プリント紙１は、ドラム２
の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ４により、ド
ラム２に圧着保持されている。また、上記ドラム２の外
周近傍には、送りネジ５がドラム２の軸方向に平行に設
けられている。そして、この送りネジ５には、プリント
ヘッド部３が保持されている。すなわち、かかるプリン
トヘッド部３は、送りネジ５の回転によって、図中矢印
Ｍで示すようにドラム２の軸方向に移動するようになっ
ている。
の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ４により、ド
ラム２に圧着保持されている。また、上記ドラム２の外
周近傍には、送りネジ５がドラム２の軸方向に平行に設
けられている。そして、この送りネジ５には、プリント
ヘッド部３が保持されている。すなわち、かかるプリン
トヘッド部３は、送りネジ５の回転によって、図中矢印
Ｍで示すようにドラム２の軸方向に移動するようになっ
ている。
【００２８】一方、ドラム２は、プーリ６、ベルト７、
プーリ８を介してモータ９により図中矢印ｍで示すよう
に回転駆動される。さらに、送りネジ５及びモータ９の
回転とプリントヘッド部３は、ヘッドドライブ，ヘッド
送り制御，ドラム回転制御１０により印画データ及び制
御信号１１に基づいて駆動制御される。
プーリ８を介してモータ９により図中矢印ｍで示すよう
に回転駆動される。さらに、送りネジ５及びモータ９の
回転とプリントヘッド部３は、ヘッドドライブ，ヘッド
送り制御，ドラム回転制御１０により印画データ及び制
御信号１１に基づいて駆動制御される。
【００２９】上記の構成においては、プリントヘッド部
３が移動して１行分の印字を行うと、ドラム２を１行分
だけ回転させて次の印字を行う。ヘッド３が移動し、印
画する場合は、一方向の場合と往復方向の場合とがあ
る。
３が移動して１行分の印字を行うと、ドラム２を１行分
だけ回転させて次の印字を行う。ヘッド３が移動し、印
画する場合は、一方向の場合と往復方向の場合とがあ
る。
【００３０】このようなプリンタ装置における印字及び
制御系のブロック図を図２に示す。上記プリンタ装置は
図２中に示す制御部２０によって制御されている。この
制御部２０は信号処理制御回路２１、ドライバ２２、メ
モリ２３、各種モータ駆動制御部２４及び補正回路２５
によって構成されている。信号処理制御回路２１はＣＰ
Ｕ又はＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏ
ｃｅｓｓｏｒ）構成でなる。
制御系のブロック図を図２に示す。上記プリンタ装置は
図２中に示す制御部２０によって制御されている。この
制御部２０は信号処理制御回路２１、ドライバ２２、メ
モリ２３、各種モータ駆動制御部２４及び補正回路２５
によって構成されている。信号処理制御回路２１はＣＰ
Ｕ又はＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏ
ｃｅｓｓｏｒ）構成でなる。
【００３１】そして、印字データ、操作部信号及び外部
制御信号などの信号入力Ｓ１は、制御部２０の信号処理
制御回路２１に入力され、この信号処理制御回路２１に
おいて印字順番に揃えられて、ドライバ２２を介して吐
出信号とともにヘッド２６に送られ、ヘッド２６を駆動
制御する。印字順番は、ヘッド２６や印字部の構成で異
なり、また印字データの入力順番との関係もあり、必要
に応じてラインバッファメモリや１画面メモリなどのメ
モリ２３に一旦記録してから取り出す。
制御信号などの信号入力Ｓ１は、制御部２０の信号処理
制御回路２１に入力され、この信号処理制御回路２１に
おいて印字順番に揃えられて、ドライバ２２を介して吐
出信号とともにヘッド２６に送られ、ヘッド２６を駆動
制御する。印字順番は、ヘッド２６や印字部の構成で異
なり、また印字データの入力順番との関係もあり、必要
に応じてラインバッファメモリや１画面メモリなどのメ
モリ２３に一旦記録してから取り出す。
【００３２】なお、マルチヘッドでノズル数が非常に多
い場合には、ヘッド２６にＩＣを搭載してヘッド２６に
接続する配線数を減らすようにする。また、信号処理制
御回路２１には、補正回路２５が接続されており、γ補
正、カラーの場合の色補正、各ヘッドのばらつき補正な
どを行う。補正回路２５には、予め決められた補正デー
タをＲＯＭ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ）マッ
プ形式で格納しておき、外部条件、例えばノズル番号、
温度、入力信号などに応じて取り出すようにするのが一
般的である。
い場合には、ヘッド２６にＩＣを搭載してヘッド２６に
接続する配線数を減らすようにする。また、信号処理制
御回路２１には、補正回路２５が接続されており、γ補
正、カラーの場合の色補正、各ヘッドのばらつき補正な
どを行う。補正回路２５には、予め決められた補正デー
タをＲＯＭ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ）マッ
プ形式で格納しておき、外部条件、例えばノズル番号、
温度、入力信号などに応じて取り出すようにするのが一
般的である。
【００３３】信号処理制御回路２１は、前述のようにＣ
ＰＵやＤＳＰ構成としてソフトウエアで処理するのが一
般的であり、処理された信号は各種モータ駆動制御部２
４に送られる。各種モータ駆動制御部２４では、ドラム
及び送りネジを回転駆動するモータの駆動、同期、ヘッ
ドのクリーニング、プリント紙の供給、排出などの制御
を行う。また、信号には、印字データ以外の操作部信号
や外部制御信号が含まれることは言うまでもない。
ＰＵやＤＳＰ構成としてソフトウエアで処理するのが一
般的であり、処理された信号は各種モータ駆動制御部２
４に送られる。各種モータ駆動制御部２４では、ドラム
及び送りネジを回転駆動するモータの駆動、同期、ヘッ
ドのクリーニング、プリント紙の供給、排出などの制御
を行う。また、信号には、印字データ以外の操作部信号
や外部制御信号が含まれることは言うまでもない。
【００３４】次に、本例のプリンタ装置を構成するプリ
ントヘッドについて説明する。なお、ここではインクジ
ェット方式のプリントヘッドについて述べる。このプリ
ントヘッドは、図３に示すように、液室形成部材３１、
振動板３２、積層型ピエゾ素子３３、ノズル形成部材３
４により主に構成されるものである。
ントヘッドについて説明する。なお、ここではインクジ
ェット方式のプリントヘッドについて述べる。このプリ
ントヘッドは、図３に示すように、液室形成部材３１、
振動板３２、積層型ピエゾ素子３３、ノズル形成部材３
４により主に構成されるものである。
【００３５】上記液室形成部材３１は、例えば厚さ略
０．１ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良
い。そして、上記液室形成部材３１には吐出媒体バッフ
ァタンク（以下、インクバッファタンクと称する。）を
構成する貫通孔部３５と、吐出媒体圧力室（以下、イン
ク圧力室と称する。）を構成して一主面３１ａに臨んで
開口する第１の凹部３６、吐出媒体供給路（以下、イン
ク供給路と称する。）を構成して一主面３１ａと相対向
する主面３１ｂに臨んで開口し、貫通孔部３５と第１の
凹部３６の底面の端部間を接続するように形成される第
２の凹部３７、吐出媒体導入口（以下、インク導入口と
称する。）を構成して主面３１ｂに臨んで開口し、第１
の凹部３６の他端部と接続される第３の凹部３８が形成
されている。
０．１ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良
い。そして、上記液室形成部材３１には吐出媒体バッフ
ァタンク（以下、インクバッファタンクと称する。）を
構成する貫通孔部３５と、吐出媒体圧力室（以下、イン
ク圧力室と称する。）を構成して一主面３１ａに臨んで
開口する第１の凹部３６、吐出媒体供給路（以下、イン
ク供給路と称する。）を構成して一主面３１ａと相対向
する主面３１ｂに臨んで開口し、貫通孔部３５と第１の
凹部３６の底面の端部間を接続するように形成される第
２の凹部３７、吐出媒体導入口（以下、インク導入口と
称する。）を構成して主面３１ｂに臨んで開口し、第１
の凹部３６の他端部と接続される第３の凹部３８が形成
されている。
【００３６】そして、本例のプリントヘッドにおいて
は、上記液室形成部材３１の一主面３１ａ側に振動板３
２を配し、相対向する主面３１ｂ側にノズル形成部材３
４（以下、オリフィスプレート３４と称する。）を配し
て、液室形成部材３１を振動板３２とオリフィスプレー
ト３４により厚さ方向に挟み込んでいる。
は、上記液室形成部材３１の一主面３１ａ側に振動板３
２を配し、相対向する主面３１ｂ側にノズル形成部材３
４（以下、オリフィスプレート３４と称する。）を配し
て、液室形成部材３１を振動板３２とオリフィスプレー
ト３４により厚さ方向に挟み込んでいる。
【００３７】なお、上記振動板３２は、ニッケル等の金
属箔あるいはガラス転移点が２５０℃以下の樹脂フィル
ム（商品名ネオフレックス）等が２０μｍ程度の厚さで
用いられる。また、この他、温度特性の異なる樹脂フィ
ルムを組み合わて振動板を構成するようにしても良い。
属箔あるいはガラス転移点が２５０℃以下の樹脂フィル
ム（商品名ネオフレックス）等が２０μｍ程度の厚さで
用いられる。また、この他、温度特性の異なる樹脂フィ
ルムを組み合わて振動板を構成するようにしても良い。
【００３８】この振動板３２は、熱圧着あるいはエポキ
シ系の接着剤等により液室形成部材３１に対して接着さ
れる。また、この振動板３２には、インクバッファタン
クとなる貫通孔部３５に対応する位置にこれよりも小径
のインク供給口３９が形成されている。
シ系の接着剤等により液室形成部材３１に対して接着さ
れる。また、この振動板３２には、インクバッファタン
クとなる貫通孔部３５に対応する位置にこれよりも小径
のインク供給口３９が形成されている。
【００３９】また、一方のオリフイスプレート３４は、
本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、撥液
性を有する有機材料フィルム（第１のフィルム）３４ａ
と親水性を有する有機材料フィルム（第２のフィルム）
３４ｂが積層された積層構造となされており、レーザ加
工によって吐出媒体ノズル４２が形成されている。この
オリフィスプレート３４は、撥液性を有する第１のフィ
ルム３４ａがインクの吐出側に、また親水性を有する第
２のフィルム３４ｂがインク液室形成部材３１側となる
ように配されている。
本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、撥液
性を有する有機材料フィルム（第１のフィルム）３４ａ
と親水性を有する有機材料フィルム（第２のフィルム）
３４ｂが積層された積層構造となされており、レーザ加
工によって吐出媒体ノズル４２が形成されている。この
オリフィスプレート３４は、撥液性を有する第１のフィ
ルム３４ａがインクの吐出側に、また親水性を有する第
２のフィルム３４ｂがインク液室形成部材３１側となる
ように配されている。
【００４０】この撥液性を有する第１のフィルム３４ａ
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。なお、この表面張力は和光純薬社
製の濡れ指示薬（商品名：濡れ指数標準薬）を用いて測
定されるものであり、この指示薬のうち標準液Ｎｏ３１
がフィルム上で弾かれることをもって、このフィルムの
表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であると判断した。
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。なお、この表面張力は和光純薬社
製の濡れ指示薬（商品名：濡れ指数標準薬）を用いて測
定されるものであり、この指示薬のうち標準液Ｎｏ３１
がフィルム上で弾かれることをもって、このフィルムの
表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であると判断した。
【００４１】なお、フィルムの撥液性については、表面
張力とともに吸水率も指標となる。第１のフィルムとし
ては、温度２３℃下で、水中に２４時間浸漬した後の吸
水率〔（浸漬後の重量）−（浸漬前の重量）〕／（浸漬
前の重量）×１００％が０．４％以下であるのが望まし
い。また、第１のフィルムは撥液性を有するとともにノ
ズルのレーザ加工性（加工用のレーザ光波長での吸収）
も考慮して選択するのが好ましい。そのような有機材料
フィルムの材質としては、例えばポリイミド系材料が挙
げられ、特にポリイミドシロキサンが好ましい。ポリイ
ミドシロキサンは、ポリイミドのイミド結合の窒素と結
合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換さ
れたものであり、このポリイミドシロキサンとしてはＳ
ｉのポリイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％
であるのが良い。また、この第１のフィルムは厚さが１
０μｍ以上であるのが望ましい。
張力とともに吸水率も指標となる。第１のフィルムとし
ては、温度２３℃下で、水中に２４時間浸漬した後の吸
水率〔（浸漬後の重量）−（浸漬前の重量）〕／（浸漬
前の重量）×１００％が０．４％以下であるのが望まし
い。また、第１のフィルムは撥液性を有するとともにノ
ズルのレーザ加工性（加工用のレーザ光波長での吸収）
も考慮して選択するのが好ましい。そのような有機材料
フィルムの材質としては、例えばポリイミド系材料が挙
げられ、特にポリイミドシロキサンが好ましい。ポリイ
ミドシロキサンは、ポリイミドのイミド結合の窒素と結
合する芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換さ
れたものであり、このポリイミドシロキサンとしてはＳ
ｉのポリイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％
であるのが良い。また、この第１のフィルムは厚さが１
０μｍ以上であるのが望ましい。
【００４２】なお、このポリイミド系フィルムの市販品
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ムＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等がある。
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ムＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等がある。
【００４３】親水性を有する第２のフィルム３４ｂとし
ては、表面張力が４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上のものを用い
るのが望ましい。なお、この表面張力は、和光純薬社製
の濡れ指示薬のうち標準薬Ｎｏ４０がフィルム上で濡れ
ることをもって４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であると判断し
た。
ては、表面張力が４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上のものを用い
るのが望ましい。なお、この表面張力は、和光純薬社製
の濡れ指示薬のうち標準薬Ｎｏ４０がフィルム上で濡れ
ることをもって４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であると判断し
た。
【００４４】またこのフィルムの場合も親水性とともに
ノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好まし
い。そのような有機材料フィルムとしては、親水性のポ
リイミドフィルムが挙げられ、市販品では東レ・デュポ
ン株式会社製のカプトン（商品名）、宇部興産株式会社
製のユーピレックス（商品名）、三井東圧化学株式会社
製のネオフレックスフィルム（商品名）等がある。
ノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好まし
い。そのような有機材料フィルムとしては、親水性のポ
リイミドフィルムが挙げられ、市販品では東レ・デュポ
ン株式会社製のカプトン（商品名）、宇部興産株式会社
製のユーピレックス（商品名）、三井東圧化学株式会社
製のネオフレックスフィルム（商品名）等がある。
【００４５】これらの撥液性の第１のフィルム３４ａと
親水性の第２のフィルム３４ｂは、例えば接着剤３４ｃ
を介して貼り合わされる。
親水性の第２のフィルム３４ｂは、例えば接着剤３４ｃ
を介して貼り合わされる。
【００４６】この接着剤３４ｃとしては、密着強度やレ
ーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が好ま
しく、具体的には宇部興産株式会社製のＵＰＡ−８３２
２（商品名）等が好適である。なお、この接着剤３４ｃ
も、レーザ加工性に優れることに越したことはないが、
フィルム３４ａ，３４ｂに比べて厚さが薄く、またノズ
ル開口面を構成するものではないので加工性はそれほど
厳しく要求されない。したがって、例えばエポキシ系接
着剤であっても構わない。例えばエーブルボンド社のエ
ポキシ系接着剤は、ポリイミド系の接着剤に比べて多少
加工性に劣るが、０．５μｍ以下の厚さであればノズル
形状に乱れを生じることなくノズルの加工が行える。
ーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が好ま
しく、具体的には宇部興産株式会社製のＵＰＡ−８３２
２（商品名）等が好適である。なお、この接着剤３４ｃ
も、レーザ加工性に優れることに越したことはないが、
フィルム３４ａ，３４ｂに比べて厚さが薄く、またノズ
ル開口面を構成するものではないので加工性はそれほど
厳しく要求されない。したがって、例えばエポキシ系接
着剤であっても構わない。例えばエーブルボンド社のエ
ポキシ系接着剤は、ポリイミド系の接着剤に比べて多少
加工性に劣るが、０．５μｍ以下の厚さであればノズル
形状に乱れを生じることなくノズルの加工が行える。
【００４７】このような積層フィルムよりなるオリフィ
スプレート３４には、インク導入口を形成する第３の凹
部３８に対応する位置に、当該第３の凹部３８よりも小
径の貫通孔として吐出媒体ノズル４２（以下、インクノ
ズル４２と称する。）が形成されている。このインクノ
ズル４２は、オリフィスプレート３４に、例えばエキシ
マレーザ光を照射することで加工を行うアブレーション
レーザ加工法によって形成されており、所定径を有する
断面円形状とされている。なお、このレーザ加工法で
は、撥液性を有する第１のフィルム３４ａ、接着剤３４
ｃ、親水性を有する第２のフィルム３４ｂの各層が、同
時に加工されるので、インクノズル４２が境目無く連続
した貫通孔として形成される。
スプレート３４には、インク導入口を形成する第３の凹
部３８に対応する位置に、当該第３の凹部３８よりも小
径の貫通孔として吐出媒体ノズル４２（以下、インクノ
ズル４２と称する。）が形成されている。このインクノ
ズル４２は、オリフィスプレート３４に、例えばエキシ
マレーザ光を照射することで加工を行うアブレーション
レーザ加工法によって形成されており、所定径を有する
断面円形状とされている。なお、このレーザ加工法で
は、撥液性を有する第１のフィルム３４ａ、接着剤３４
ｃ、親水性を有する第２のフィルム３４ｂの各層が、同
時に加工されるので、インクノズル４２が境目無く連続
した貫通孔として形成される。
【００４８】以上のようなオリフィスプレート３４は、
振動板３２とともに液室形成部材３１を厚さ方向から挟
み込むように配されており、貫通孔部３５、第１の凹部
３６、第２の凹部３７、第３の凹部３８が接続されるこ
とにより形成される空洞部が振動板３２とオリフィスプ
レート３４により塞がれたかたちになっている。これに
より、液室形成部材３１には、振動板３２側からオリフ
ィスプレート３４側に向かって厚さ方向に形成されるイ
ンクバッファタンク４３、これと接続され液室形成部材
３１の面内方向に形成されるインク供給路４４と、これ
に接続され振動板３２側に形成されるインク圧力室４
５、上記インク圧力室４５に接続され、オリフィスプレ
ート３４側に開口するインク導入口４６が連続して形成
されることとなる。
振動板３２とともに液室形成部材３１を厚さ方向から挟
み込むように配されており、貫通孔部３５、第１の凹部
３６、第２の凹部３７、第３の凹部３８が接続されるこ
とにより形成される空洞部が振動板３２とオリフィスプ
レート３４により塞がれたかたちになっている。これに
より、液室形成部材３１には、振動板３２側からオリフ
ィスプレート３４側に向かって厚さ方向に形成されるイ
ンクバッファタンク４３、これと接続され液室形成部材
３１の面内方向に形成されるインク供給路４４と、これ
に接続され振動板３２側に形成されるインク圧力室４
５、上記インク圧力室４５に接続され、オリフィスプレ
ート３４側に開口するインク導入口４６が連続して形成
されることとなる。
【００４９】そして、前述のように振動板３２にはイン
ク供給口３９が形成され、オリフィスプレート３４には
インクノズル４２が形成されていることから、インク供
給口３９、インクバッファタンク４３、インク供給路４
４、インク圧力室４５、インク導入口４６、インクノズ
ル４２の順にインクが流れることとなる。
ク供給口３９が形成され、オリフィスプレート３４には
インクノズル４２が形成されていることから、インク供
給口３９、インクバッファタンク４３、インク供給路４
４、インク圧力室４５、インク導入口４６、インクノズ
ル４２の順にインクが流れることとなる。
【００５０】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板３２の液室形成部材３１と接着される面とは反対
側の一主面３２ａのインク圧力室４５に対応する位置に
突起部４９が形成されており、この突起部４９を介して
積層型ピエゾ素子３３が載置されている。なお、上記積
層型ピエゾ素子３３としては、圧電部材と導電部材とが
交互に積層されてなるものが挙げられる。このとき、圧
電部材と導電部材との積層数は何層であっても良い。
振動板３２の液室形成部材３１と接着される面とは反対
側の一主面３２ａのインク圧力室４５に対応する位置に
突起部４９が形成されており、この突起部４９を介して
積層型ピエゾ素子３３が載置されている。なお、上記積
層型ピエゾ素子３３としては、圧電部材と導電部材とが
交互に積層されてなるものが挙げられる。このとき、圧
電部材と導電部材との積層数は何層であっても良い。
【００５１】この突起部４９はインク圧力室４５の平面
の面積及び積層型ピエゾ素子３３の平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板３
２の一主面３２ａのインク供給口３９に対応する位置に
は図示しないインクタンクに接続されるインク供給管５
０が接続されている。
の面積及び積層型ピエゾ素子３３の平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板３
２の一主面３２ａのインク供給口３９に対応する位置に
は図示しないインクタンクに接続されるインク供給管５
０が接続されている。
【００５２】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図４に模式的に示すように、プリント
ヘッド中のインクバッファタンク４３は、管状の部材と
なされており、このインクバッファタンク４３の長手方
向に複数の上述したようなプリントヘッドが所定の間隔
を有して平行に配列されて、インクバッファタンク４３
は各プリントヘッドの共通のインク配給管となされてい
る。そして、これらプリントヘッドにおいては、インク
バッファタンク４３に対してインク供給路４４が直交す
るように接続している。このため、各プリントヘッドの
インクノズル４２は１つの面上に開口することとなる。
すなわち、インクは図示しないインクタンクからインク
バッファタンク４３に供給され、ここから各プリントヘ
ッドのインク供給路４４に供給されることとなる。
ッドにおいては、図４に模式的に示すように、プリント
ヘッド中のインクバッファタンク４３は、管状の部材と
なされており、このインクバッファタンク４３の長手方
向に複数の上述したようなプリントヘッドが所定の間隔
を有して平行に配列されて、インクバッファタンク４３
は各プリントヘッドの共通のインク配給管となされてい
る。そして、これらプリントヘッドにおいては、インク
バッファタンク４３に対してインク供給路４４が直交す
るように接続している。このため、各プリントヘッドの
インクノズル４２は１つの面上に開口することとなる。
すなわち、インクは図示しないインクタンクからインク
バッファタンク４３に供給され、ここから各プリントヘ
ッドのインク供給路４４に供給されることとなる。
【００５３】本例のプリンタ装置のプリントヘッドによ
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子３３においては、駆動電圧が印加
されると、図３中矢印Ｍ1 で示す方向とは逆の方向に直
線的に変位する性質を有するため、これに接着されてい
る突起部４９を中心に振動板３２を持ち上げることとな
り、図５に示すようにインク圧力室４５の体積が増大す
ることとなる。
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子３３においては、駆動電圧が印加
されると、図３中矢印Ｍ1 で示す方向とは逆の方向に直
線的に変位する性質を有するため、これに接着されてい
る突起部４９を中心に振動板３２を持ち上げることとな
り、図５に示すようにインク圧力室４５の体積が増大す
ることとなる。
【００５４】またこの積層型ピエゾ素子３３は駆動電圧
が解放されると、図５中に矢印Ｍ1で示す方向に直線的
に変位する性質を有するため、これに接着されている突
起部４９を介して振動板３２を押圧して湾曲させてイン
ク圧力室４５の体積を減少させてインク圧力室４５内の
圧力を上昇させることとなる。このとき、突起部４９
は、その平面面積が積層型ピエゾ素子３３の平面面積よ
りも小さくなるようになされているので、積層型ピエゾ
素子３３の変位を振動板３２のインク圧力室４５に対応
する位置に集中的に伝達することが可能である。
が解放されると、図５中に矢印Ｍ1で示す方向に直線的
に変位する性質を有するため、これに接着されている突
起部４９を介して振動板３２を押圧して湾曲させてイン
ク圧力室４５の体積を減少させてインク圧力室４５内の
圧力を上昇させることとなる。このとき、突起部４９
は、その平面面積が積層型ピエゾ素子３３の平面面積よ
りも小さくなるようになされているので、積層型ピエゾ
素子３３の変位を振動板３２のインク圧力室４５に対応
する位置に集中的に伝達することが可能である。
【００５５】従って、このプリンタ装置のプリントヘッ
ドにより印刷を行う場合には、先ず、積層型ピエゾ素子
３３に所定の駆動電圧を印加する。すると、前述のよう
に積層型ピエゾ素子は図５中矢印Ｍ1 で示す方向とは反
対の方向に変位し、インク圧力室４５の体積が増加す
る。その結果、インクノズル４２の先端に形成されてい
る図示しないインクのメニスカスは、一旦インク圧力室
４５側に後退した後、積層型ピエゾ素子３３の変位が収
まると表面張力との釣り合いによつてインクノズル４２
の先端近傍で安定し、インク吐出の待機状態となる。
ドにより印刷を行う場合には、先ず、積層型ピエゾ素子
３３に所定の駆動電圧を印加する。すると、前述のよう
に積層型ピエゾ素子は図５中矢印Ｍ1 で示す方向とは反
対の方向に変位し、インク圧力室４５の体積が増加す
る。その結果、インクノズル４２の先端に形成されてい
る図示しないインクのメニスカスは、一旦インク圧力室
４５側に後退した後、積層型ピエゾ素子３３の変位が収
まると表面張力との釣り合いによつてインクノズル４２
の先端近傍で安定し、インク吐出の待機状態となる。
【００５６】続いて、積層型ピエゾ素子３３に印加され
ている駆動電圧が解放されると、積層型ピエゾ素子３３
は元の形状に戻ろうとして図５中矢印Ｍ1 で示す方向に
変位する。その結果、インク圧力室４５は元の大きさに
戻ろうとし、インク圧力室４５内の圧力が上昇するた
め、インクノズル４２からインクが吐出され、これを被
記録材に被着させて印刷を行う。このとき、積層型ピエ
ゾ素子３３に印加される駆動電圧の時間変化は、インク
ノズル４２からインクを吐出し得るように設定されてい
る。
ている駆動電圧が解放されると、積層型ピエゾ素子３３
は元の形状に戻ろうとして図５中矢印Ｍ1 で示す方向に
変位する。その結果、インク圧力室４５は元の大きさに
戻ろうとし、インク圧力室４５内の圧力が上昇するた
め、インクノズル４２からインクが吐出され、これを被
記録材に被着させて印刷を行う。このとき、積層型ピエ
ゾ素子３３に印加される駆動電圧の時間変化は、インク
ノズル４２からインクを吐出し得るように設定されてい
る。
【００５７】ここで、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート３４が撥液性を有
する第１のフィルム３４ａと親水性を有する第２のフィ
ルム３４ｂよりなり、このうち親水性を有する第２のフ
ィルム３４ｂが液室形成部材側に配されているので、液
室形成部材３１の各室ではオリフィスプレート３４によ
ってインクがはじかれることなく気泡の発生等が防止さ
れる。
ッドにおいては、オリフィスプレート３４が撥液性を有
する第１のフィルム３４ａと親水性を有する第２のフィ
ルム３４ｂよりなり、このうち親水性を有する第２のフ
ィルム３４ｂが液室形成部材側に配されているので、液
室形成部材３１の各室ではオリフィスプレート３４によ
ってインクがはじかれることなく気泡の発生等が防止さ
れる。
【００５８】また、オリフィスプレート３４の撥液性を
有する第１のフィルム３４ａは、ノズル加工面側になる
ように配されていることから、ノズル開口部周辺では有
機材料フィルムの撥液性によってインク付着等が抑えら
れ、インクが安定に吐出され、正確な記録画像が形成さ
れる。
有する第１のフィルム３４ａは、ノズル加工面側になる
ように配されていることから、ノズル開口部周辺では有
機材料フィルムの撥液性によってインク付着等が抑えら
れ、インクが安定に吐出され、正確な記録画像が形成さ
れる。
【００５９】続いて本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。
ドの製造方法について述べる。
【００６０】先ず、液室形成部材を製造する。すなわ
ち、図６に示すように、ステンレス部材６１を用意す
る。このステンレス部材６１は、インク供給路やインク
圧力室等の各液室を形成する都合上、厚さが０．０７ｍ
ｍ以上であるのが望ましい。また、インク圧力室にかか
る圧力に耐えるためにも、０．０７ｍｍ以上の厚さが必
要である。なお、ここでは、厚さが０．１ｍｍのステン
レス部材を使用した。
ち、図６に示すように、ステンレス部材６１を用意す
る。このステンレス部材６１は、インク供給路やインク
圧力室等の各液室を形成する都合上、厚さが０．０７ｍ
ｍ以上であるのが望ましい。また、インク圧力室にかか
る圧力に耐えるためにも、０．０７ｍｍ以上の厚さが必
要である。なお、ここでは、厚さが０．１ｍｍのステン
レス部材を使用した。
【００６１】そして、このステンレス部材の一主面６１
ａに例えば感光性ドライフイルムや液体レジスト材料な
どのレジストを塗布した後、インクバッファタンクを形
成するための貫通孔部とインク圧力室を形成するための
凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパター
ンを有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト６
２を形成する。
ａに例えば感光性ドライフイルムや液体レジスト材料な
どのレジストを塗布した後、インクバッファタンクを形
成するための貫通孔部とインク圧力室を形成するための
凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパター
ンを有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト６
２を形成する。
【００６２】また、このステンレス部材６１の一主面６
１ａに相対向する主面６１ｂにも同様にしてインク供給
路を形成するための凹部、インク導入口を形成するため
の凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパタ
ーンを有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト
６３を形成する。
１ａに相対向する主面６１ｂにも同様にしてインク供給
路を形成するための凹部、インク導入口を形成するため
の凹部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパタ
ーンを有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト
６３を形成する。
【００６３】続いて、上記ステンレス部材６１をレジス
ト６２，６３をマスクとして、例えば塩化第２鉄水溶液
等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチングを行
う。その結果、図７に示すように、インクバッファタン
クを形成し、一主面６１ａからこれと相対向する主面６
１ｂに貫通する貫通孔部３５、インク圧力室を形成し、
一主面６１ａに臨んで開口する第１の凹部３６、貫通孔
部３５の側面と第１の凹部３６の底面を接続してインク
供給路を形成し、一主面６１ｂに臨んで開口する第２の
凹部３７、インク導入口を形成し、第１の凹部３６の底
面から一主面６１ｂに臨んで開口する第３の凹部３８が
形成される。
ト６２，６３をマスクとして、例えば塩化第２鉄水溶液
等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチングを行
う。その結果、図７に示すように、インクバッファタン
クを形成し、一主面６１ａからこれと相対向する主面６
１ｂに貫通する貫通孔部３５、インク圧力室を形成し、
一主面６１ａに臨んで開口する第１の凹部３６、貫通孔
部３５の側面と第１の凹部３６の底面を接続してインク
供給路を形成し、一主面６１ｂに臨んで開口する第２の
凹部３７、インク導入口を形成し、第１の凹部３６の底
面から一主面６１ｂに臨んで開口する第３の凹部３８が
形成される。
【００６４】なお、このステンレス部材６１のエッチン
グに際しては、ステンレス部材６１の片面からのエツチ
ング量が、両側面で当該ステンレス部材６１の厚さの約
１／２強となるように選定するのが適当である。これに
より貫通孔部３５や各凹部３６，３７，３８の寸法精度
が向上し、安定な形成が可能になる。また、ステンレス
部材６１の両側で、片面からのエツチング量を同じにす
れば、ステンレス部材６１の一主面６１ａでのエツチン
グの条件と、他方の主面６１ｂでのエッチング条件をほ
ぼ同じに設定できるので、エッチング工程が簡易化する
とともに工程に費やす時間が短縮する。
グに際しては、ステンレス部材６１の片面からのエツチ
ング量が、両側面で当該ステンレス部材６１の厚さの約
１／２強となるように選定するのが適当である。これに
より貫通孔部３５や各凹部３６，３７，３８の寸法精度
が向上し、安定な形成が可能になる。また、ステンレス
部材６１の両側で、片面からのエツチング量を同じにす
れば、ステンレス部材６１の一主面６１ａでのエツチン
グの条件と、他方の主面６１ｂでのエッチング条件をほ
ぼ同じに設定できるので、エッチング工程が簡易化する
とともに工程に費やす時間が短縮する。
【００６５】ここではステンレンス部材６１の厚さが
０．１ｍｍであるので、ステンレス部材６１の片面から
のエッチンング量を約０．０５５ｍｍ程度に設定した。
また、インク供給口となる貫通孔部３５の径は、インク
圧力室４５に圧力が印加された際に、インク供給口４３
でのインク流量がインク圧力室４５内での圧力上昇に影
響を及ぼさないように、後工程で形成するノズルの径よ
りも大きくなるようにした。
０．１ｍｍであるので、ステンレス部材６１の片面から
のエッチンング量を約０．０５５ｍｍ程度に設定した。
また、インク供給口となる貫通孔部３５の径は、インク
圧力室４５に圧力が印加された際に、インク供給口４３
でのインク流量がインク圧力室４５内での圧力上昇に影
響を及ぼさないように、後工程で形成するノズルの径よ
りも大きくなるようにした。
【００６６】続いてレジスト６２，６３を除去する。レ
ジスト６２，６３としてドライフィルムレジストを使用
した場合には、例えば５％以下の水酸化ナトリウム水溶
液を用いれば良く、レジスト６２，６３として液体レジ
スト材料を用いた場合には、例えば専用アルカリ溶液を
用いれば良い。その結果、図８に示すように、貫通孔３
５、第１の凹部３６、第２の凹部３７、第３の凹部３８
が形成される液室形成部材３１が形成される。
ジスト６２，６３としてドライフィルムレジストを使用
した場合には、例えば５％以下の水酸化ナトリウム水溶
液を用いれば良く、レジスト６２，６３として液体レジ
スト材料を用いた場合には、例えば専用アルカリ溶液を
用いれば良い。その結果、図８に示すように、貫通孔３
５、第１の凹部３６、第２の凹部３７、第３の凹部３８
が形成される液室形成部材３１が形成される。
【００６７】このようにしてレジスト６２及び６３を除
去した後、オリフィスプレートを形成する。
去した後、オリフィスプレートを形成する。
【００６８】オリフィスプレートを形成するには、図９
に示すように、親水性の有機材料フィルム６４を、ステ
ンレス部材６１の貫通孔部３５、第２の凹部３７及び第
３の凹部３８が形成された側の面に熱圧着によって接着
する。ここでは、この親水性の有機材料フィルム６４と
して、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点が２５０℃以下
のフィルム（商品名ネオフレックス）を使用した。熱圧
着条件は、温度２３０℃、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ
2である。ここで熱圧着法は、高い接着強度が得られる
とともに煩雑な操作が要らず、効率の良い接着を行うこ
とができる。また、接着剤を用いる方法では、はみ出し
た接着剤がインク流路を塞ぐことが懸念されるが、熱圧
着法ではこのような不都合が回避される。
に示すように、親水性の有機材料フィルム６４を、ステ
ンレス部材６１の貫通孔部３５、第２の凹部３７及び第
３の凹部３８が形成された側の面に熱圧着によって接着
する。ここでは、この親水性の有機材料フィルム６４と
して、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点が２５０℃以下
のフィルム（商品名ネオフレックス）を使用した。熱圧
着条件は、温度２３０℃、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ
2である。ここで熱圧着法は、高い接着強度が得られる
とともに煩雑な操作が要らず、効率の良い接着を行うこ
とができる。また、接着剤を用いる方法では、はみ出し
た接着剤がインク流路を塞ぐことが懸念されるが、熱圧
着法ではこのような不都合が回避される。
【００６９】次に、図１０に示すように、この親水性を
有する有機材料フィルム６４の、ステンレス部材６１と
接着された側とは反対側の面に撥液性を有する有機材料
フィルム６５を接着剤６６によって接着し、積層フィル
ム６７を形成する。
有する有機材料フィルム６４の、ステンレス部材６１と
接着された側とは反対側の面に撥液性を有する有機材料
フィルム６５を接着剤６６によって接着し、積層フィル
ム６７を形成する。
【００７０】この撥液性を有する有機材料フィルム６５
としては、上述の如く、撥液性とレーザ加工性の点から
選択され、例えば宇部興産株式会社製のポリイミド接着
フィルム：ＵＰＡ−Ｎ１１１、ＵＰＡ−Ｎ２２１、ＵＰ
Ａ−Ｔ２２２、ＵＰＡ−Ｔ２０８（いずれも商品名）等
が用いられる。これらのポリイミド接着フィルムは、表
面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下と撥液性に優れ、しか
もエキシマレーザによってノズルを形成した場合にバリ
や剥がれ等が発生せず、オリフィスプレートの材料とし
て好適である。
としては、上述の如く、撥液性とレーザ加工性の点から
選択され、例えば宇部興産株式会社製のポリイミド接着
フィルム：ＵＰＡ−Ｎ１１１、ＵＰＡ−Ｎ２２１、ＵＰ
Ａ−Ｔ２２２、ＵＰＡ−Ｔ２０８（いずれも商品名）等
が用いられる。これらのポリイミド接着フィルムは、表
面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下と撥液性に優れ、しか
もエキシマレーザによってノズルを形成した場合にバリ
や剥がれ等が発生せず、オリフィスプレートの材料とし
て好適である。
【００７１】接着剤６６としては、密着強度とレーザ加
工性に優れることから、宇部興産株式会社製のポリイミ
ド接着材料：ＵＰＡ−８３２２（商品名）等が好適であ
る。また、エーブルボンド社のエポキシ系接着剤も、ポ
リイミド接着材料に比べればレーザ加工性が多少劣るも
のの、薄い厚さ範囲（例えば０．５μｍ以下）であれば
使用可能である。なお、このＵＰＡ−８３２２は、１６
０℃程度の低い硬化温度であっても十分な接着強度を得
ることができる。
工性に優れることから、宇部興産株式会社製のポリイミ
ド接着材料：ＵＰＡ−８３２２（商品名）等が好適であ
る。また、エーブルボンド社のエポキシ系接着剤も、ポ
リイミド接着材料に比べればレーザ加工性が多少劣るも
のの、薄い厚さ範囲（例えば０．５μｍ以下）であれば
使用可能である。なお、このＵＰＡ−８３２２は、１６
０℃程度の低い硬化温度であっても十分な接着強度を得
ることができる。
【００７２】以上のようなオリフィスプレートの形成方
法では、原材料が液体状態の撥液性材料を塗布する方法
とは異なり、液室形成部材側の面に不要な撥液性材料が
付着してしまうことがない。したがって、液室形成部材
側では第１のフィルム３２ｂによる親水性が有効に保持
されることになる。
法では、原材料が液体状態の撥液性材料を塗布する方法
とは異なり、液室形成部材側の面に不要な撥液性材料が
付着してしまうことがない。したがって、液室形成部材
側では第１のフィルム３２ｂによる親水性が有効に保持
されることになる。
【００７３】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
積層フィルム６７にインクノズルを形成する。インクノ
ズルを形成するには、積層フィルム６７の、ステンレス
部材６１の第３の凹部３８に対応する位置に、ステンレ
ス部材６１側からエキシマレーザを垂直に照射する。そ
の結果、図１１に示すように、プレート６７を構成する
親水性の有機材料フィルム６４、接着剤６６、撥液性の
有機材料フィルム６５に連続する貫通孔（インクノズ
ル）４２が形成される。このとき、第３の凹部３０の径
はレーザ加工によって形成されるノズル径に比べて十分
に大きいので、レーザの照射位置が多少ずれでもインク
液室形成部材３１によってレーザが遮蔽されてしまうこ
とがなく、また先に例示したフィルム材や接着剤はいず
れもレーザ加工性に優れるので、精密な形状のインクノ
ズルが形成される。
積層フィルム６７にインクノズルを形成する。インクノ
ズルを形成するには、積層フィルム６７の、ステンレス
部材６１の第３の凹部３８に対応する位置に、ステンレ
ス部材６１側からエキシマレーザを垂直に照射する。そ
の結果、図１１に示すように、プレート６７を構成する
親水性の有機材料フィルム６４、接着剤６６、撥液性の
有機材料フィルム６５に連続する貫通孔（インクノズ
ル）４２が形成される。このとき、第３の凹部３０の径
はレーザ加工によって形成されるノズル径に比べて十分
に大きいので、レーザの照射位置が多少ずれでもインク
液室形成部材３１によってレーザが遮蔽されてしまうこ
とがなく、また先に例示したフィルム材や接着剤はいず
れもレーザ加工性に優れるので、精密な形状のインクノ
ズルが形成される。
【００７４】なお、このように積層フィルムに予めノズ
ルを形成せずに、積層フィルムにステンレス部材を接着
した後にノズルを形成するのは、積層フィルムとステン
レス部材の位置合わせを簡易化するためである。
ルを形成せずに、積層フィルムにステンレス部材を接着
した後にノズルを形成するのは、積層フィルムとステン
レス部材の位置合わせを簡易化するためである。
【００７５】次いで、図１２に示すように、インク液室
形成部材３１のオリフィスプレート３４が接着された側
とは反対側の主面に、予め突起４９が形成された振動板
３２を熱圧着によって接着する。
形成部材３１のオリフィスプレート３４が接着された側
とは反対側の主面に、予め突起４９が形成された振動板
３２を熱圧着によって接着する。
【００７６】ここで、この振動板３２としては、三井東
圧化学社製の金属ラッピングフィルムを使用した。この
金属ラッピングフィルムは、図１３に示すように、温度
特性の異なる３枚の樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３２
ｃよりなる積層フィルム（振動板３２）上に厚さが約１
８μｍの銅箔（突起４９）がラミネート形成されたもの
である。
圧化学社製の金属ラッピングフィルムを使用した。この
金属ラッピングフィルムは、図１３に示すように、温度
特性の異なる３枚の樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３２
ｃよりなる積層フィルム（振動板３２）上に厚さが約１
８μｍの銅箔（突起４９）がラミネート形成されたもの
である。
【００７７】この３枚の樹脂フィルムのうち、１層目の
樹脂フィルム３２ａはガラス転移点が２５０℃以下であ
って２２０〜２３０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂フ
ィルム（商品名ネオフレックス）であり、２層目の樹脂
フィルム３２ｂはガラス転移点が３００℃以上であり、
３００℃以下の温度範囲で接着性を示さないポリイミド
系フィルムであり、３層目の樹脂フィルム３２ｃはガラ
ス転移点が３００℃以下であって２７０℃〜２８０℃の
温度範囲で接着性を示す樹脂フィルム（商品名ネオフレ
ックス）である。そして、突起４９は３層目の樹脂フィ
ルム３２ｃ上に接着されている。
樹脂フィルム３２ａはガラス転移点が２５０℃以下であ
って２２０〜２３０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂フ
ィルム（商品名ネオフレックス）であり、２層目の樹脂
フィルム３２ｂはガラス転移点が３００℃以上であり、
３００℃以下の温度範囲で接着性を示さないポリイミド
系フィルムであり、３層目の樹脂フィルム３２ｃはガラ
ス転移点が３００℃以下であって２７０℃〜２８０℃の
温度範囲で接着性を示す樹脂フィルム（商品名ネオフレ
ックス）である。そして、突起４９は３層目の樹脂フィ
ルム３２ｃ上に接着されている。
【００７８】なお、この突起４９の耐熱性は、実質的に
振動板４９を構成する樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３
２ｃの温度特性に依存することになるが、振動板を構成
するこれら樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３２ｃはいず
れも低温で軟化する材質ではないので、突起４９を耐熱
性のある構造体として形成することができる。
振動板４９を構成する樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３
２ｃの温度特性に依存することになるが、振動板を構成
するこれら樹脂フィルム３２ａ，３２ｂ，３２ｃはいず
れも低温で軟化する材質ではないので、突起４９を耐熱
性のある構造体として形成することができる。
【００７９】このような振動板３２は、突起４９が形成
されていない１層目の樹脂フィルム３２ａが液室形成部
材３１と熱圧着される。この熱圧着条件は、温度２３０
℃程度、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2である。この熱
圧着法は、高い接着強度が得られるとともに煩雑な操作
が要らず、効率の良い接着を行うことができる。
されていない１層目の樹脂フィルム３２ａが液室形成部
材３１と熱圧着される。この熱圧着条件は、温度２３０
℃程度、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2である。この熱
圧着法は、高い接着強度が得られるとともに煩雑な操作
が要らず、効率の良い接着を行うことができる。
【００８０】なお、ここでは振動板３２を熱圧着法によ
って接着しているが、接着剤を用いて接着を行うように
しても構わない。この接着剤としては、熱可塑性接着剤
が好ましいが、低温で硬化する接着剤、例えばエポキシ
系接着剤等であっても差し支えない。
って接着しているが、接着剤を用いて接着を行うように
しても構わない。この接着剤としては、熱可塑性接着剤
が好ましいが、低温で硬化する接着剤、例えばエポキシ
系接着剤等であっても差し支えない。
【００８１】液室形成部材は、このようにして振動板が
接着されることで各凹部が閉塞される。すなわち、貫通
孔部３５によりインクバッファタンク４３が形成され、
第２の凹部３７によりインク供給路４４が形成され、第
１の凹部３６によりインク圧力室４５が形成され、第３
の凹部３８によりインク導入口４６が形成されることと
なる。
接着されることで各凹部が閉塞される。すなわち、貫通
孔部３５によりインクバッファタンク４３が形成され、
第２の凹部３７によりインク供給路４４が形成され、第
１の凹部３６によりインク圧力室４５が形成され、第３
の凹部３８によりインク導入口４６が形成されることと
なる。
【００８２】この後、振動板３２上の突起部４９上に積
層型ピエゾ素子３３を配し、インク供給口３９と接続さ
れるようにインク供給管５０を配して図３に示したよう
な本例のプリンタ装置のプリントヘッドを完成する。
層型ピエゾ素子３３を配し、インク供給口３９と接続さ
れるようにインク供給管５０を配して図３に示したよう
な本例のプリンタ装置のプリントヘッドを完成する。
【００８３】前述の例においては、プリントヘッドとし
てインクジェットタイプのプリントヘッドを使用してい
るプリンタ装置の例について述べたが、本発明はプリン
トヘッドとして、２液混合型のプリントヘッドを使用し
ているプリンタ装置にも適用可能である。
てインクジェットタイプのプリントヘッドを使用してい
るプリンタ装置の例について述べたが、本発明はプリン
トヘッドとして、２液混合型のプリントヘッドを使用し
ているプリンタ装置にも適用可能である。
【００８４】この場合、プリンタ装置の構成は、先に図
１に示したものと同様とされる。そして、２液混合型の
プリントヘッドを有するものを使用した場合の、印字及
び制御系のブロック図を図１４に示す。このブロック図
は先に示した図２と略同様の構成を有するが、制御部９
０が図２に示したものと同様の信号処理制御回路２２、
メモリ２５、各種制御部２７及び補正回路２６の他、第
１のドライバ９１と第２のドライバ９２によって構成さ
れている。なお、ここでは、図２と同様の部分について
は説明を省略する。これら第１のドライバ９１及び第２
のドライバ９２はそれぞれ吐出媒体ノズル及び定量媒体
ノズルの数に応じて設けられている。
１に示したものと同様とされる。そして、２液混合型の
プリントヘッドを有するものを使用した場合の、印字及
び制御系のブロック図を図１４に示す。このブロック図
は先に示した図２と略同様の構成を有するが、制御部９
０が図２に示したものと同様の信号処理制御回路２２、
メモリ２５、各種制御部２７及び補正回路２６の他、第
１のドライバ９１と第２のドライバ９２によって構成さ
れている。なお、ここでは、図２と同様の部分について
は説明を省略する。これら第１のドライバ９１及び第２
のドライバ９２はそれぞれ吐出媒体ノズル及び定量媒体
ノズルの数に応じて設けられている。
【００８５】第１のドライバ９１は、後述するように、
定量媒体ノズルから定量媒体を押し出すために設けられ
た第１の積層型ピエゾ素子（定量側）を駆動制御するも
のであり、第２のドライバ９２は吐出媒体ノズルから吐
出媒体を吐出させるために設けられた第２の積層型ピエ
ゾ素子（吐出側）を駆動制御するものである。なお、上
記定量側と吐出側の何れか一方がインクであり、他方が
希釈液とされている。
定量媒体ノズルから定量媒体を押し出すために設けられ
た第１の積層型ピエゾ素子（定量側）を駆動制御するも
のであり、第２のドライバ９２は吐出媒体ノズルから吐
出媒体を吐出させるために設けられた第２の積層型ピエ
ゾ素子（吐出側）を駆動制御するものである。なお、上
記定量側と吐出側の何れか一方がインクであり、他方が
希釈液とされている。
【００８６】これら各第１のドライバ９１及び第２のド
ライバ９２は信号処理制御回路２２内に設けられた後述
のシリアルパラレル変換回路及びタイミング制御回路の
制御に基づいて、それぞれに対応する第１の積層型ピエ
ゾ素子及び第２の積層型ピエゾ素子を駆動制御する。
ライバ９２は信号処理制御回路２２内に設けられた後述
のシリアルパラレル変換回路及びタイミング制御回路の
制御に基づいて、それぞれに対応する第１の積層型ピエ
ゾ素子及び第２の積層型ピエゾ素子を駆動制御する。
【００８７】次に、上記プリントヘッドの駆動回路を図
１５に示す。すなわち、デジタル中間調データＤ１が他
ブロックより供給され、シリアルパラレル変換回路９４
により第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に
送られる。シリアルパラレル変換回路９４より与えられ
たデジタル中間調データが所定のしきい値以下の場合
は、定量および吐出は行わない。印字タイミングになる
と、他ブロックから印字トリガが出力され、タイミング
制御回路９５がそれを検出し、所定のタイミングで定量
部コントロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれ
第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に出力す
る。
１５に示す。すなわち、デジタル中間調データＤ１が他
ブロックより供給され、シリアルパラレル変換回路９４
により第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に
送られる。シリアルパラレル変換回路９４より与えられ
たデジタル中間調データが所定のしきい値以下の場合
は、定量および吐出は行わない。印字タイミングになる
と、他ブロックから印字トリガが出力され、タイミング
制御回路９５がそれを検出し、所定のタイミングで定量
部コントロール信号と吐出コントロール信号をそれぞれ
第１のドライバ９１および第２のドライバ９２に出力す
る。
【００８８】次に、プリントヘッドの構成について説明
する。なお、ここでは、インクを定量媒体とし、希釈液
を吐出媒体とするプリントヘッドの例について述べる。
本例のプリントヘッドは、図１６に示すように、液室形
成部材１２１、振動板１２２、積層型ピエゾ素子１２３
ａ，１２３ｂ、ノズル形成部材１２４により主に構成さ
れるものである。
する。なお、ここでは、インクを定量媒体とし、希釈液
を吐出媒体とするプリントヘッドの例について述べる。
本例のプリントヘッドは、図１６に示すように、液室形
成部材１２１、振動板１２２、積層型ピエゾ素子１２３
ａ，１２３ｂ、ノズル形成部材１２４により主に構成さ
れるものである。
【００８９】上記液室形成部材１２１は、厚さ略０．１
ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良い。そ
して、上記液室形成部材１２１には定量媒体バッファタ
ンク（以下、インクバッファタンクと称する。）を構成
する貫通孔部１２５と、定量媒体圧力室（以下、インク
圧力室と称する。）を構成して一主面１２１ａに臨んで
開口する第１の凹部１２６、定量媒体供給路（以下、イ
ンク供給路と称する。）を構成して一主面１２１ａと相
対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、貫通孔部１２５
と第１の凹部１２６の底面の端部間を接続するように形
成される第２の凹部１２７、定量媒体導入口（以下、イ
ンク導入口と称する。）を構成して主面１２１ｂに臨ん
で開口し、第１の凹部１２６の他端部と接続される第３
の凹部１２８が形成されている。
ｍｍのステンレススチール等により形成すれば良い。そ
して、上記液室形成部材１２１には定量媒体バッファタ
ンク（以下、インクバッファタンクと称する。）を構成
する貫通孔部１２５と、定量媒体圧力室（以下、インク
圧力室と称する。）を構成して一主面１２１ａに臨んで
開口する第１の凹部１２６、定量媒体供給路（以下、イ
ンク供給路と称する。）を構成して一主面１２１ａと相
対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、貫通孔部１２５
と第１の凹部１２６の底面の端部間を接続するように形
成される第２の凹部１２７、定量媒体導入口（以下、イ
ンク導入口と称する。）を構成して主面１２１ｂに臨ん
で開口し、第１の凹部１２６の他端部と接続される第３
の凹部１２８が形成されている。
【００９０】また、上記液室形成部材１２１には吐出媒
体バッファタンク（以下、希釈液バッファタンクと称す
る。）を構成する貫通孔部１３５と、吐出媒体圧力室
（以下、希釈液圧力室と称する。）を構成して一主面１
２１ａに臨んで開口する第４の凹部１３６、吐出媒体供
給路（以下、希釈液供給路と称する。）を構成して一主
面１２１ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、
貫通孔部１３５と第４の凹部１３６の底面の端部間を接
続するように形成される第５の凹部１３７、吐出媒体導
入口（以下、希釈液導入口と称する。）を構成して主面
１２１ｂに臨んで開口し、第４の凹部１３６の他端部と
接続される第６の凹部１３８が形成されている。
体バッファタンク（以下、希釈液バッファタンクと称す
る。）を構成する貫通孔部１３５と、吐出媒体圧力室
（以下、希釈液圧力室と称する。）を構成して一主面１
２１ａに臨んで開口する第４の凹部１３６、吐出媒体供
給路（以下、希釈液供給路と称する。）を構成して一主
面１２１ａと相対向する主面１２１ｂに臨んで開口し、
貫通孔部１３５と第４の凹部１３６の底面の端部間を接
続するように形成される第５の凹部１３７、吐出媒体導
入口（以下、希釈液導入口と称する。）を構成して主面
１２１ｂに臨んで開口し、第４の凹部１３６の他端部と
接続される第６の凹部１３８が形成されている。
【００９１】そして、この液室形成部材１２１において
は、第３の凹部１２８と第６の凹部１３８が所定の間隔
を有して相対向するように各貫通孔部及び凹部が形成さ
れている。
は、第３の凹部１２８と第６の凹部１３８が所定の間隔
を有して相対向するように各貫通孔部及び凹部が形成さ
れている。
【００９２】そして、本例のプリントヘッドにおいて
は、上記液室形成部材１２１の一主面１２１ａ側に振動
板１２２を配し、相対向する主面１２１ｂ側にノズル形
成部材１２４（以下、オリフィスプレート１２４と称す
る。）を配して、液室形成部材１２１を振動板１２２と
ノズル形成部材１２４により厚さ方向に挟み込んでい
る。なお、上記振動板１２２においては、インクバッフ
ァタンクとなる貫通孔部１２５及び希釈液バッファタン
クとなる貫通孔部１３５に対応する位置にこれよりも小
径のインク供給口１２９，１３９がそれぞれ形成されて
いる。
は、上記液室形成部材１２１の一主面１２１ａ側に振動
板１２２を配し、相対向する主面１２１ｂ側にノズル形
成部材１２４（以下、オリフィスプレート１２４と称す
る。）を配して、液室形成部材１２１を振動板１２２と
ノズル形成部材１２４により厚さ方向に挟み込んでい
る。なお、上記振動板１２２においては、インクバッフ
ァタンクとなる貫通孔部１２５及び希釈液バッファタン
クとなる貫通孔部１３５に対応する位置にこれよりも小
径のインク供給口１２９，１３９がそれぞれ形成されて
いる。
【００９３】また、一方のオリフイスプレート１２４
は、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、
撥液性を有する有機材料フィルム（第１のフィルム）１
２４ａと親水性を有する有機材料フィルム（第２のフィ
ルム）１２４ｂが積層された積層構造となされており、
このうち撥液性を有する第１のフィルム１２４ａがイン
クの吐出側に、また親水性を有する第２のフィルム１２
４ｂがインク液室形成部材側１２１となるように配され
ている。
は、本例のプリンタ装置のプリントヘッドにおいては、
撥液性を有する有機材料フィルム（第１のフィルム）１
２４ａと親水性を有する有機材料フィルム（第２のフィ
ルム）１２４ｂが積層された積層構造となされており、
このうち撥液性を有する第１のフィルム１２４ａがイン
クの吐出側に、また親水性を有する第２のフィルム１２
４ｂがインク液室形成部材側１２１となるように配され
ている。
【００９４】この撥液性を有する第１のフィルム１２４
ａとしては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のもの
を用いるのが望ましい。なお、フィルムの撥液性につい
ては、表面張力とともに吸水率も指標となる。第１のフ
ィルムとしては、温度２３℃下で、水中に２４時間浸漬
した後の吸水率が０．４％以下であるのが望ましい。ま
た、第１のフィルムは撥液性を有するとともにノズルの
レーザ加工性（加工用のレーザ光波長での吸収）も考慮
して選択するのが好ましい。そのような有機材料フィル
ムの材質としては、例えばポリイミド系材料が挙げら
れ、特にポリイミドシロキサンが好ましい。ポリイミド
シロキサンは、ポリイミドのイミド結合の窒素と結合す
る芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換された
ものであり、このポリイミドシロキサンとしてはＳｉの
ポリイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％であ
るのが良い。また、この第１のフィルムは厚さが１０μ
ｍ以上であるのが望ましい。
ａとしては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のもの
を用いるのが望ましい。なお、フィルムの撥液性につい
ては、表面張力とともに吸水率も指標となる。第１のフ
ィルムとしては、温度２３℃下で、水中に２４時間浸漬
した後の吸水率が０．４％以下であるのが望ましい。ま
た、第１のフィルムは撥液性を有するとともにノズルの
レーザ加工性（加工用のレーザ光波長での吸収）も考慮
して選択するのが好ましい。そのような有機材料フィル
ムの材質としては、例えばポリイミド系材料が挙げら
れ、特にポリイミドシロキサンが好ましい。ポリイミド
シロキサンは、ポリイミドのイミド結合の窒素と結合す
る芳香族炭化水素の一部がシロキサンにより置換された
ものであり、このポリイミドシロキサンとしてはＳｉの
ポリイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％であ
るのが良い。また、この第１のフィルムは厚さが１０μ
ｍ以上であるのが望ましい。
【００９５】なお、このポリイミド系フィルムの市販品
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ムＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等がある。
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ムＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等がある。
【００９６】親水性を有する第２のフィルム１２４ｂと
しては、表面張力が４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上のものを用
いるのが望ましく、またこの場合も親水性とともにノズ
ルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好ましい。そ
のような有機材料フィルムとしては、親水性のポリイミ
ドフィルムが挙げられ、市販品では東レ・デュポン株式
会社製のカプトン（商品名）、宇部興産株式会社製のユ
ーピレックス（商品名）、三井東圧化学株式会社製のネ
オフレックスフィルム（商品名）等がある。
しては、表面張力が４０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上のものを用
いるのが望ましく、またこの場合も親水性とともにノズ
ルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好ましい。そ
のような有機材料フィルムとしては、親水性のポリイミ
ドフィルムが挙げられ、市販品では東レ・デュポン株式
会社製のカプトン（商品名）、宇部興産株式会社製のユ
ーピレックス（商品名）、三井東圧化学株式会社製のネ
オフレックスフィルム（商品名）等がある。
【００９７】これらの撥液性の第１のフィルム１２４ａ
と親水性の第２のフィルム１２４ｂは、例えば接着剤１
２４ｃを介して貼り合わされる。
と親水性の第２のフィルム１２４ｂは、例えば接着剤１
２４ｃを介して貼り合わされる。
【００９８】この接着剤１２４ｃとしては、密着強度や
レーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が好
ましく、具体的には宇部興産株式会社製のＵＰＡ−８３
２２（商品名）等が好適である。なお、この接着剤１２
４ｃも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれほど厳しく要求
されない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であっ
ても構わない。例えばエポキシ系の接着剤であるエーブ
ルボンド社のエポキシ系接着剤は、ポリイミド系の接着
剤に比べて多少加工性に劣るが、０．５μｍ程度の厚さ
であればノズル形状に乱れを生じることなくノズルの加
工が行える。
レーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が好
ましく、具体的には宇部興産株式会社製のＵＰＡ−８３
２２（商品名）等が好適である。なお、この接着剤１２
４ｃも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれほど厳しく要求
されない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であっ
ても構わない。例えばエポキシ系の接着剤であるエーブ
ルボンド社のエポキシ系接着剤は、ポリイミド系の接着
剤に比べて多少加工性に劣るが、０．５μｍ程度の厚さ
であればノズル形状に乱れを生じることなくノズルの加
工が行える。
【００９９】このような積層フィルムよりなるオリフィ
スプレート１２４には、インク導入口を形成する第３の
凹部１２８に対応する位置に、当該第３の凹部１２８よ
りも小径の貫通孔として定量媒体ノズル１３２（以下、
インクノズル１３２と称する。）が形成されるととも
に、希釈液導入口を形成する第６の凹部１３８に対応す
る位置に、当該第６の凹部１３８よりも小径の貫通孔と
して吐出媒体ノズル１４２（以下、希釈液ノズル１４２
と称する。）が形成されている。なお、このうち希釈液
ノズル１４２はオリフィスプレート１２４の表面に対し
て垂直に形成され、インクノズル１３２はオリフィスプ
レート１２４の厚さ方向に対して斜めに形成される。こ
れら各ノズル１３２，１４２は、例えばエキシマレーザ
光を照射することで加工を行うアブレーションレーザ加
工法によって、所定径を有する断面円形状の貫通孔とし
て形成される。なお、このレーザ加工法では、撥液性を
有する有機材料フィルム、接着剤、親水性を有する有機
材料フィルムの各層が、同時に加工されるので、インク
ノズル１３２や希釈液ノズル１４２が境目無く連続した
貫通孔として形成される。
スプレート１２４には、インク導入口を形成する第３の
凹部１２８に対応する位置に、当該第３の凹部１２８よ
りも小径の貫通孔として定量媒体ノズル１３２（以下、
インクノズル１３２と称する。）が形成されるととも
に、希釈液導入口を形成する第６の凹部１３８に対応す
る位置に、当該第６の凹部１３８よりも小径の貫通孔と
して吐出媒体ノズル１４２（以下、希釈液ノズル１４２
と称する。）が形成されている。なお、このうち希釈液
ノズル１４２はオリフィスプレート１２４の表面に対し
て垂直に形成され、インクノズル１３２はオリフィスプ
レート１２４の厚さ方向に対して斜めに形成される。こ
れら各ノズル１３２，１４２は、例えばエキシマレーザ
光を照射することで加工を行うアブレーションレーザ加
工法によって、所定径を有する断面円形状の貫通孔とし
て形成される。なお、このレーザ加工法では、撥液性を
有する有機材料フィルム、接着剤、親水性を有する有機
材料フィルムの各層が、同時に加工されるので、インク
ノズル１３２や希釈液ノズル１４２が境目無く連続した
貫通孔として形成される。
【０１００】以上のようなオリフィスプレート１２４
は、振動板１２２とともに液室形成部材１２１を厚さ方
向から挟み込むように配されており、貫通孔部１２５、
第１の凹部１２６、第２の凹部１２７、第３の凹部１２
８が接続されることにより形成される空洞部と、貫通孔
部１３５、第４の凹部１３６、第５の凹部１３７、第６
の凹部１３８が接続されることにより形成される空洞部
が振動板１２２とオリフィスプレート１２４により塞が
れたかたちになっている。
は、振動板１２２とともに液室形成部材１２１を厚さ方
向から挟み込むように配されており、貫通孔部１２５、
第１の凹部１２６、第２の凹部１２７、第３の凹部１２
８が接続されることにより形成される空洞部と、貫通孔
部１３５、第４の凹部１３６、第５の凹部１３７、第６
の凹部１３８が接続されることにより形成される空洞部
が振動板１２２とオリフィスプレート１２４により塞が
れたかたちになっている。
【０１０１】これにより、液室形成部材１２１には、振
動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に向かっ
て厚さ方向に形成されるインクバッファタンク１４３、
これと接続され液室形成部材１２１の面内方向に形成さ
れるインク供給路１４４と、これに接続され振動板１２
２側に形成されるインク圧力室１４５、上記インク圧力
室１４５に接続され、オリフィスプレート１２４側に開
口するインク導入口１４６が連続して形成される。ま
た、それとともに振動板１２２側からオリフィスプレー
ト１２４側に向かって厚さ方向に形成される希釈液バッ
ファタンク１５３、これと接続され液室形成部材１２１
の面内方向に形成される希釈液供給路１５４と、これに
接続され振動板１２２側に形成される希釈液圧力室１５
５、上記希釈液圧力室１５５に接続され、オリフィスプ
レート１２４側に開口する希釈液導入口１５６が連続し
て形成されることとなる。
動板１２２側からオリフィスプレート１２４側に向かっ
て厚さ方向に形成されるインクバッファタンク１４３、
これと接続され液室形成部材１２１の面内方向に形成さ
れるインク供給路１４４と、これに接続され振動板１２
２側に形成されるインク圧力室１４５、上記インク圧力
室１４５に接続され、オリフィスプレート１２４側に開
口するインク導入口１４６が連続して形成される。ま
た、それとともに振動板１２２側からオリフィスプレー
ト１２４側に向かって厚さ方向に形成される希釈液バッ
ファタンク１５３、これと接続され液室形成部材１２１
の面内方向に形成される希釈液供給路１５４と、これに
接続され振動板１２２側に形成される希釈液圧力室１５
５、上記希釈液圧力室１５５に接続され、オリフィスプ
レート１２４側に開口する希釈液導入口１５６が連続し
て形成されることとなる。
【０１０２】そして、前述のように振動板１２２にはイ
ンク供給口１２９が形成され、オリフィスプレート１２
４にはインクノズル１３２が形成されていることから、
インク供給口１２９、インクバッファタンク１４３、イ
ンク供給路１４４、インク圧力室１４５、インク導入口
１４６、インクノズル１３２の順にインクが流れること
となる。
ンク供給口１２９が形成され、オリフィスプレート１２
４にはインクノズル１３２が形成されていることから、
インク供給口１２９、インクバッファタンク１４３、イ
ンク供給路１４４、インク圧力室１４５、インク導入口
１４６、インクノズル１３２の順にインクが流れること
となる。
【０１０３】さらに、前述のように振動板１２２には希
釈液供給口１３９が形成され、オリフィスプレート１２
４には希釈液ノズル１４２が形成されていることから、
希釈液供給口１３９、希釈液バッファタンク１５３、希
釈液供給路１５４、希釈液圧力室１５５、希釈液導入口
１５６、希釈液ノズル１４２の順に希釈液が流れること
となる。
釈液供給口１３９が形成され、オリフィスプレート１２
４には希釈液ノズル１４２が形成されていることから、
希釈液供給口１３９、希釈液バッファタンク１５３、希
釈液供給路１５４、希釈液圧力室１５５、希釈液導入口
１５６、希釈液ノズル１４２の順に希釈液が流れること
となる。
【０１０４】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板１２２の液室形成部材１２１と接着される面とは
反対側の一主面１２２ａのインク圧力室１４５に対応す
る位置に突起部１４９が形成されており、この突起部１
４９を介して積層型ピエゾ素子１２３ａ（第１の積層型
ピエゾ素子）が載置されている。同様に、希釈液圧力室
１５５に対応する位置にも突起部１５９が形成されてお
り、この突起部１５９を介して積層型ピエゾ素子１２３
ｂ（第２の積層型ピエゾ素子）が載置されている。な
お、上記積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂとして
は、圧電部材と導電部材とが交互に積層されてなるもの
が挙げられる。このとき、圧電部材と導電部材との積層
数は何層であっても良い。
振動板１２２の液室形成部材１２１と接着される面とは
反対側の一主面１２２ａのインク圧力室１４５に対応す
る位置に突起部１４９が形成されており、この突起部１
４９を介して積層型ピエゾ素子１２３ａ（第１の積層型
ピエゾ素子）が載置されている。同様に、希釈液圧力室
１５５に対応する位置にも突起部１５９が形成されてお
り、この突起部１５９を介して積層型ピエゾ素子１２３
ｂ（第２の積層型ピエゾ素子）が載置されている。な
お、上記積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂとして
は、圧電部材と導電部材とが交互に積層されてなるもの
が挙げられる。このとき、圧電部材と導電部材との積層
数は何層であっても良い。
【０１０５】この突起部１４９，１５９はインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の平面の面積及び積層
型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂの平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板１
２２の一主面１２２ａのインク供給口１２９に対応する
位置には図示しないインクタンクに接続されるインク供
給管１５０が接続され、同様に希釈液供給口１３９に対
応する位置には図示しない希釈液タンクに接続される希
釈液供給管１６０が接続されている。
１４５或いは希釈液圧力室１５５の平面の面積及び積層
型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂの平面の面積よりも小
さいものとして形成されている。さらに、上記振動板１
２２の一主面１２２ａのインク供給口１２９に対応する
位置には図示しないインクタンクに接続されるインク供
給管１５０が接続され、同様に希釈液供給口１３９に対
応する位置には図示しない希釈液タンクに接続される希
釈液供給管１６０が接続されている。
【０１０６】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図１７に模式的に示すように、プリン
トヘッド中のインクバッファタンク１４３及び希釈液バ
ッファタンク１５３は、管状の部材となされており、こ
のインクバッファタンク１４３及び希釈液バッファタン
ク１５３の長手方向に複数の上述したようなプリントヘ
ッドが所定の間隔を有して平行に配列されて、インクバ
ッファタンク１４３は各プリントヘッドの共通のインク
配給管となされ、希釈液バッファタンク１５３も各プリ
ントヘッドの共通の希釈液配給管となされている。そし
て、これらプリントヘッドにおいては、前述のプリント
ヘッドと同様に、インクバッファタンク１４３に対して
インク供給路１４４が接続され、希釈液バッファタンク
１５３に対して希釈液供給路１５４が接続されている。
このため、各プリントヘッドのインクノズル１３２と希
釈液ノズル１４２は隣合うようにして１つの面上に開口
することとなる。
ッドにおいては、図１７に模式的に示すように、プリン
トヘッド中のインクバッファタンク１４３及び希釈液バ
ッファタンク１５３は、管状の部材となされており、こ
のインクバッファタンク１４３及び希釈液バッファタン
ク１５３の長手方向に複数の上述したようなプリントヘ
ッドが所定の間隔を有して平行に配列されて、インクバ
ッファタンク１４３は各プリントヘッドの共通のインク
配給管となされ、希釈液バッファタンク１５３も各プリ
ントヘッドの共通の希釈液配給管となされている。そし
て、これらプリントヘッドにおいては、前述のプリント
ヘッドと同様に、インクバッファタンク１４３に対して
インク供給路１４４が接続され、希釈液バッファタンク
１５３に対して希釈液供給路１５４が接続されている。
このため、各プリントヘッドのインクノズル１３２と希
釈液ノズル１４２は隣合うようにして１つの面上に開口
することとなる。
【０１０７】すなわち、本例のプリンタ装置のプリント
ヘッドにおいては、インクは図示しないインクタンクか
らインクバッファタンク１４３に供給され、ここから各
プリントヘッドのインク供給路１４４に供給されること
となり、一方の希釈液も図示しない希釈液タンクから希
釈液バッファタンク１５３に供給され、ここから各プリ
ントヘッドの希釈液供給路１５４に供給されることとな
る。
ヘッドにおいては、インクは図示しないインクタンクか
らインクバッファタンク１４３に供給され、ここから各
プリントヘッドのインク供給路１４４に供給されること
となり、一方の希釈液も図示しない希釈液タンクから希
釈液バッファタンク１５３に供給され、ここから各プリ
ントヘッドの希釈液供給路１５４に供給されることとな
る。
【０１０８】本例のプリンタ装置のプリントヘッドによ
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子である積層型ピエゾ素子１２３ａ
（以下、第１の積層型ピエゾ素子１２３ａと称する。）
においては、駆動電圧が印加されると、図１６中矢印Ｍ
2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を有
するため、これに接着されている突起部１４９を中心に
振動板１２２を持ち上げることとなり、図１８に示すよ
うにインク圧力室１４５の体積が増大することとなる。
このことは、他方の積層型ピエゾ素子１２３ｂ（以下、
第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂと称する。）において
も同様であり、駆動電圧が印加されると、図１８中矢印
Ｍ2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を
有するため、これに接着されている突起部１５９を中心
に振動板１２２を持ち上げることとなり、図１８中に示
すように希釈液圧力室１５５の体積が増大することとな
る。
り印刷を行うには、以下のようにすれば良い。すなわ
ち、本例のプリンタ装置のプリントヘッドで使用されて
いる積層型ピエゾ素子である積層型ピエゾ素子１２３ａ
（以下、第１の積層型ピエゾ素子１２３ａと称する。）
においては、駆動電圧が印加されると、図１６中矢印Ｍ
2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を有
するため、これに接着されている突起部１４９を中心に
振動板１２２を持ち上げることとなり、図１８に示すよ
うにインク圧力室１４５の体積が増大することとなる。
このことは、他方の積層型ピエゾ素子１２３ｂ（以下、
第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂと称する。）において
も同様であり、駆動電圧が印加されると、図１８中矢印
Ｍ2 で示す方向とは逆の方向に直線的に変位する性質を
有するため、これに接着されている突起部１５９を中心
に振動板１２２を持ち上げることとなり、図１８中に示
すように希釈液圧力室１５５の体積が増大することとな
る。
【０１０９】またこの第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂは駆動電圧が解放されると、図１６
中に矢印Ｍ2 で示す方向に直線的に変位する性質を有す
るため、これに接着されている突起部１４９，１５９を
介して振動板１２２を押圧して湾曲させてインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の体積を減少させてイ
ンク圧力室１４５或いは希釈液圧力室１５５内の圧力を
上昇させることとなる。このとき、突起部１４９，１５
９は、その平面面積が第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂの平面面積よりも小さくなるように
なされているので、第１及び第２の積層型ピエゾ素子１
２３ａ，１２３ｂの変位を振動板１２２のインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５に対応する位置に集中
的に伝達することが可能である。
１２３ａ，１２３ｂは駆動電圧が解放されると、図１６
中に矢印Ｍ2 で示す方向に直線的に変位する性質を有す
るため、これに接着されている突起部１４９，１５９を
介して振動板１２２を押圧して湾曲させてインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５の体積を減少させてイ
ンク圧力室１４５或いは希釈液圧力室１５５内の圧力を
上昇させることとなる。このとき、突起部１４９，１５
９は、その平面面積が第１及び第２の積層型ピエゾ素子
１２３ａ，１２３ｂの平面面積よりも小さくなるように
なされているので、第１及び第２の積層型ピエゾ素子１
２３ａ，１２３ｂの変位を振動板１２２のインク圧力室
１４５或いは希釈液圧力室１５５に対応する位置に集中
的に伝達することが可能である。
【０１１０】次に、上記のような構成のプリンタ装置に
より印刷を行う場合の、駆動電圧の印加タイミングを図
１９に示す。ここでは、第１及び第２の積層型ピエゾ素
子として、いわゆるｄ31モードの積層型ピエゾ素子を使
用した場合の駆動電圧の印加タイミングを示す。
より印刷を行う場合の、駆動電圧の印加タイミングを図
１９に示す。ここでは、第１及び第２の積層型ピエゾ素
子として、いわゆるｄ31モードの積層型ピエゾ素子を使
用した場合の駆動電圧の印加タイミングを示す。
【０１１１】すなわち、図１９（ａ）に示すように、印
刷前の待機時、図中（Ａ）で示す時点において、希釈液
圧力室１５５に対応する位置に設けられる第２の積層型
ピエゾ素子１２３ｂに予め例えば２０Ｖを印加し、図１
９（ｂ）に示すように、印刷前の待機時、図中（Ａ）で
示す時点において、インク圧力室１４５に対応する位置
に設けられる第１の積層型ピエゾ素子１２３ａには予め
例えば１０Ｖを印加しておく。すると、図１８中に示す
ように、インク圧力室１４５と希釈液圧力室１５５の体
積が増加した状態となる。このとき、インクノズル１３
２、希釈液ノズル１４２の何れにおいても先端にメニス
カスが形成されている。
刷前の待機時、図中（Ａ）で示す時点において、希釈液
圧力室１５５に対応する位置に設けられる第２の積層型
ピエゾ素子１２３ｂに予め例えば２０Ｖを印加し、図１
９（ｂ）に示すように、印刷前の待機時、図中（Ａ）で
示す時点において、インク圧力室１４５に対応する位置
に設けられる第１の積層型ピエゾ素子１２３ａには予め
例えば１０Ｖを印加しておく。すると、図１８中に示す
ように、インク圧力室１４５と希釈液圧力室１５５の体
積が増加した状態となる。このとき、インクノズル１３
２、希釈液ノズル１４２の何れにおいても先端にメニス
カスが形成されている。
【０１１２】そして、印刷時には、前述のヘッドドライ
ブ，ヘッド送り制御，ドラム回転制御からの信号に基づ
いて、定量媒体を飛翔させることなく定量するべく、図
１９（ｂ）中（Ｂ）で示す時点で第１の積層型ピエゾ素
子１２３ａの電圧を例えば５Ｖまで除々に下げ、この状
態で例えば１５０μｓｅｃ保持する。すると、第１の積
層型ピエゾ素子１２３ａが図１８中矢印Ｍ2 で示す方向
に除々に伸長し、図２０中に示すように振動板１２２を
介してインク圧力室１４５が徐々に加圧され、インク圧
力室１４５が元の形状に戻ろうとするため、インクノズ
ル１３２に内圧が加わり、インクがインクノズル１３２
から希釈液ノズル１４２の開口付近までしみ出し、希釈
液ノズル１４２の希釈液に合わさる。なお、このときの
電圧は、画像データの階調に合わせて設定されており、
インクの量は画像データに応じたものとなる。
ブ，ヘッド送り制御，ドラム回転制御からの信号に基づ
いて、定量媒体を飛翔させることなく定量するべく、図
１９（ｂ）中（Ｂ）で示す時点で第１の積層型ピエゾ素
子１２３ａの電圧を例えば５Ｖまで除々に下げ、この状
態で例えば１５０μｓｅｃ保持する。すると、第１の積
層型ピエゾ素子１２３ａが図１８中矢印Ｍ2 で示す方向
に除々に伸長し、図２０中に示すように振動板１２２を
介してインク圧力室１４５が徐々に加圧され、インク圧
力室１４５が元の形状に戻ろうとするため、インクノズ
ル１３２に内圧が加わり、インクがインクノズル１３２
から希釈液ノズル１４２の開口付近までしみ出し、希釈
液ノズル１４２の希釈液に合わさる。なお、このときの
電圧は、画像データの階調に合わせて設定されており、
インクの量は画像データに応じたものとなる。
【０１１３】その後、インクノズル１３２内にインクを
引き込み、定量されたインクのみを希釈液ノズル１４２
開口付近に残存させるべく、図１９（ｂ）中（Ｃ）で示
す時点で第１の積層型ピエゾ素子１２３ａの電圧を１０
Ｖまで徐々に戻す。すると、第１の積層型ピエゾ素子１
２３ａが図２０中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向に
除々に縮小し、インクノズル１３２の内圧が解除され、
インクはインクノズル１３２内に戻ろうとする。これに
より、定量されたインクのみが希釈液ノズル１４２開口
付近に残存することとなる。
引き込み、定量されたインクのみを希釈液ノズル１４２
開口付近に残存させるべく、図１９（ｂ）中（Ｃ）で示
す時点で第１の積層型ピエゾ素子１２３ａの電圧を１０
Ｖまで徐々に戻す。すると、第１の積層型ピエゾ素子１
２３ａが図２０中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向に
除々に縮小し、インクノズル１３２の内圧が解除され、
インクはインクノズル１３２内に戻ろうとする。これに
より、定量されたインクのみが希釈液ノズル１４２開口
付近に残存することとなる。
【０１１４】次に、希釈液ノズル１４２から希釈液を吐
出するべく、図１９（ａ）中に示すように、図中（Ｄ）
で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの電圧を
例えば０Ｖとする。すると、第２の積層型ピエゾ素子１
２３ｂが図２０中矢印Ｍ2 で示す方向に伸長し、振動板
１２２を介して希釈液圧力室１５５が加圧され、希釈液
圧力室１５５が元の形状に戻ろうとするため、希釈液ノ
ズル１５５に内圧が加わる。その結果、希釈液ノズル１
５５内の内圧によって希釈液が押し出され、この希釈液
と希釈液ノズル１４２開口付近に残存していたインクと
の混合溶液が形成される。
出するべく、図１９（ａ）中に示すように、図中（Ｄ）
で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの電圧を
例えば０Ｖとする。すると、第２の積層型ピエゾ素子１
２３ｂが図２０中矢印Ｍ2 で示す方向に伸長し、振動板
１２２を介して希釈液圧力室１５５が加圧され、希釈液
圧力室１５５が元の形状に戻ろうとするため、希釈液ノ
ズル１５５に内圧が加わる。その結果、希釈液ノズル１
５５内の内圧によって希釈液が押し出され、この希釈液
と希釈液ノズル１４２開口付近に残存していたインクと
の混合溶液が形成される。
【０１１５】次に、図１９（ａ）中（Ｄ）で示す時点か
ら例えば５０μｓｅｃの間０Ｖとし、図１９（ａ）中
（Ｅ）で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの
電圧を例えば２０Ｖに戻すと、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂが図２２中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向
に縮小し、希釈液ノズル１４２の内圧が解除され、希釈
液が希釈液ノズル１４２内に戻ろうとする。これによ
り、希釈液ノズル１４２内の希釈液と混合溶液間にくび
れが生じ、ついには混合溶液が希釈液ノズル１４２から
吐出され、当該混合溶液が前述のプリント紙１に被着し
て印刷が行われる。このとき、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂに印加される駆動電圧の時間変化は、希釈液ノ
ズル１４２から混合液滴を吐出し得るように設定されて
いる。
ら例えば５０μｓｅｃの間０Ｖとし、図１９（ａ）中
（Ｅ）で示す時点で第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂの
電圧を例えば２０Ｖに戻すと、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂが図２２中矢印Ｍ2 で示す方向とは反対の方向
に縮小し、希釈液ノズル１４２の内圧が解除され、希釈
液が希釈液ノズル１４２内に戻ろうとする。これによ
り、希釈液ノズル１４２内の希釈液と混合溶液間にくび
れが生じ、ついには混合溶液が希釈液ノズル１４２から
吐出され、当該混合溶液が前述のプリント紙１に被着し
て印刷が行われる。このとき、第２の積層型ピエゾ素子
１２３ｂに印加される駆動電圧の時間変化は、希釈液ノ
ズル１４２から混合液滴を吐出し得るように設定されて
いる。
【０１１６】希釈液圧力室１５５及びインク圧力室１４
５の内圧はやがて元に戻り、希釈液及びインクは再び希
釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２内に充填さ
れ、再び印刷待機状態となる。
５の内圧はやがて元に戻り、希釈液及びインクは再び希
釈液ノズル１４２及びインクノズル１３２内に充填さ
れ、再び印刷待機状態となる。
【０１１７】なお、図１９（ｂ）中Ｔ1 で示され、図中
（Ｂ）で示す時点と図中（Ｃ）で示す時点間のインク定
量パルス幅、図１９（ａ）中Ｔ2 で示され、図中（Ｄ）
で示す時点と図中（Ｅ）で示す時点間の希釈液吐出パル
ス幅、図１９（ｂ）中Ｖで示されるインク定量電圧は可
変である。
（Ｂ）で示す時点と図中（Ｃ）で示す時点間のインク定
量パルス幅、図１９（ａ）中Ｔ2 で示され、図中（Ｄ）
で示す時点と図中（Ｅ）で示す時点間の希釈液吐出パル
ス幅、図１９（ｂ）中Ｖで示されるインク定量電圧は可
変である。
【０１１８】そして、図１９（ａ），図１９（ｂ）に示
されるように、上記動作を繰り返すことで印刷がなさ
れ、図１９（ａ）中Ｔ3 で示される印刷のサイクルは例
えば１ｍｓｅｃとすれば良い。
されるように、上記動作を繰り返すことで印刷がなさ
れ、図１９（ａ）中Ｔ3 で示される印刷のサイクルは例
えば１ｍｓｅｃとすれば良い。
【０１１９】すなわち、図１５に示した駆動回路の信号
は、上記のような図１９で示したタイミングで出力さ
れ、これにしたがって、第１の積層型ピエゾ素子１２３
ａおよび第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂに所定電圧が
印加される。
は、上記のような図１９で示したタイミングで出力さ
れ、これにしたがって、第１の積層型ピエゾ素子１２３
ａおよび第２の積層型ピエゾ素子１２３ｂに所定電圧が
印加される。
【０１２０】ここで、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、オリフィスプレート１２４が撥液性を
有する第１のフィルム１２４ａと親水性を有する第２の
フィルム１２４ｂの２層よりなり、このうち親水性を有
する第２の材料フィルム１２４ｂが液室形成部材１２１
側に、撥液性を有する第１のフィルム１２４ａがノズル
開口部側になるように配されていることから、液室形成
部材１２１の各室ではオリフィスプレート１２４によっ
てインクがはじかれることなく気泡の発生等が防止され
る。また、ノズル開口部周辺では第１のフィルム１２４
ａの撥液性によってインク付着等が抑えられ、インクが
安定に吐出され、正確な記録画像が形成される。
ッドにおいては、オリフィスプレート１２４が撥液性を
有する第１のフィルム１２４ａと親水性を有する第２の
フィルム１２４ｂの２層よりなり、このうち親水性を有
する第２の材料フィルム１２４ｂが液室形成部材１２１
側に、撥液性を有する第１のフィルム１２４ａがノズル
開口部側になるように配されていることから、液室形成
部材１２１の各室ではオリフィスプレート１２４によっ
てインクがはじかれることなく気泡の発生等が防止され
る。また、ノズル開口部周辺では第１のフィルム１２４
ａの撥液性によってインク付着等が抑えられ、インクが
安定に吐出され、正確な記録画像が形成される。
【０１２１】続いて本例のプリンタ装置のプリントヘッ
ドの製造方法について述べる。先ず、液室形成部材を製
造する。すなわち、図２１に示すように、ステンレス部
材１７１を用意する。このステンレス部材１７１は、イ
ンク供給路やインク圧力室等の各液室を形成する都合
上、厚さが０．０７ｍｍ以上であるのが望ましい。ま
た、インク圧力室にかかる圧力に耐えるためにも、０．
０７ｍｍ以上の厚さが必要である。なお、ここでは、厚
さが０．１ｍｍのステンレス部材を使用した。
ドの製造方法について述べる。先ず、液室形成部材を製
造する。すなわち、図２１に示すように、ステンレス部
材１７１を用意する。このステンレス部材１７１は、イ
ンク供給路やインク圧力室等の各液室を形成する都合
上、厚さが０．０７ｍｍ以上であるのが望ましい。ま
た、インク圧力室にかかる圧力に耐えるためにも、０．
０７ｍｍ以上の厚さが必要である。なお、ここでは、厚
さが０．１ｍｍのステンレス部材を使用した。
【０１２２】そして、このステンレス部材１７１の一主
面１７１ａに例えば感光性ドライフイルムや液体レジス
ト材料などのレジストを塗布した後、インクバッファタ
ンク及び希釈液バッファタンクを形成するための貫通孔
部とインク圧力室及び希釈液圧力室を形成するための凹
部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパターン
を有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト１７
２を形成する。
面１７１ａに例えば感光性ドライフイルムや液体レジス
ト材料などのレジストを塗布した後、インクバッファタ
ンク及び希釈液バッファタンクを形成するための貫通孔
部とインク圧力室及び希釈液圧力室を形成するための凹
部の形成位置に応じた部分をエッチング可能なパターン
を有するマスクを用いてパターン露光し、レジスト１７
２を形成する。
【０１２３】また、このステンレス部材１７１の一主面
１７１ａに相対向する主面１７１ｂにも同様にしてイン
ク供給路及び希釈液供給路を形成するための凹部、イン
ク導入口及び希釈液導入口を形成するための凹部の形成
位置に応じた部分をエッチング可能なパターンを有する
マスクを用いてパターン露光し、レジスト１７３を形成
する。
１７１ａに相対向する主面１７１ｂにも同様にしてイン
ク供給路及び希釈液供給路を形成するための凹部、イン
ク導入口及び希釈液導入口を形成するための凹部の形成
位置に応じた部分をエッチング可能なパターンを有する
マスクを用いてパターン露光し、レジスト１７３を形成
する。
【０１２４】続いて、上記ステンレス部材１７１をレジ
スト１７２，１７３をマスクとして、例えば塩化第２鉄
水溶液等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチング
を行う。その結果、図２２に示すように、インクバッフ
ァタンクを形成し、一主面１７１ａからこれと相対向す
る主面１７１ｂに貫通する貫通孔部１２５、インク圧力
室を形成し、一主面１７１ａに臨んで開口する第１の凹
部１２６、貫通孔部１２５の側面と第１の凹部１２６の
底面を接続してインク供給路を形成し、一主面１７１ｂ
に臨んで開口する第２の凹部１２７、インク導入口を形
成し、第１の凹部１２６の底面から一主面１７１ｂに臨
んで開口する第３の凹部１２８が形成される。また、同
様に希釈液バッファタンクを形成し、一主面１７１ａか
らこれと相対向する主面１７１ｂに貫通する貫通孔部１
３５、希釈液圧力室を形成し、一主面１７１ａに臨んで
開口する第４の凹部１３６、貫通孔部１３５の側面と第
１の凹部１３６の底面を接続してインク供給路を形成
し、一主面１７１ｂに臨んで開口する第５の凹部１３
７、希釈液導入口を形成し、第１の凹部１３６の底面か
ら一主面１７１ｂに臨んで開口する第６の凹部１３８が
形成される。なお、これらは、前述のように、第３の凹
部１２８と第６の凹部１３８が所定の間隔を有して相対
向するように形成される。
スト１７２，１７３をマスクとして、例えば塩化第２鉄
水溶液等のエッチング溶液に所定時間浸してエッチング
を行う。その結果、図２２に示すように、インクバッフ
ァタンクを形成し、一主面１７１ａからこれと相対向す
る主面１７１ｂに貫通する貫通孔部１２５、インク圧力
室を形成し、一主面１７１ａに臨んで開口する第１の凹
部１２６、貫通孔部１２５の側面と第１の凹部１２６の
底面を接続してインク供給路を形成し、一主面１７１ｂ
に臨んで開口する第２の凹部１２７、インク導入口を形
成し、第１の凹部１２６の底面から一主面１７１ｂに臨
んで開口する第３の凹部１２８が形成される。また、同
様に希釈液バッファタンクを形成し、一主面１７１ａか
らこれと相対向する主面１７１ｂに貫通する貫通孔部１
３５、希釈液圧力室を形成し、一主面１７１ａに臨んで
開口する第４の凹部１３６、貫通孔部１３５の側面と第
１の凹部１３６の底面を接続してインク供給路を形成
し、一主面１７１ｂに臨んで開口する第５の凹部１３
７、希釈液導入口を形成し、第１の凹部１３６の底面か
ら一主面１７１ｂに臨んで開口する第６の凹部１３８が
形成される。なお、これらは、前述のように、第３の凹
部１２８と第６の凹部１３８が所定の間隔を有して相対
向するように形成される。
【０１２５】このステンレス部材１７１のエッチングに
際しては、ステンレス部材１７１の片面からのエツチン
グ量が、両側面でステンレス部材１７１の厚さの約１／
２強となるように選定するのが適当である。これにより
貫通孔部１２５，１３５や各凹部１２６，１２７，１２
８，１３６，１３７，１３８の寸法精度が向上し、安定
な形成が可能になる。また、ステンレス部材１７１の両
側で、片面からのエツチング量を同じにすれば、ステン
レス部材１７１の両側面でエツチングの条件をほぼ同じ
条件に設定し得るので、エッチング工程が簡易化すると
ともに工程に費やす時間が短縮する。
際しては、ステンレス部材１７１の片面からのエツチン
グ量が、両側面でステンレス部材１７１の厚さの約１／
２強となるように選定するのが適当である。これにより
貫通孔部１２５，１３５や各凹部１２６，１２７，１２
８，１３６，１３７，１３８の寸法精度が向上し、安定
な形成が可能になる。また、ステンレス部材１７１の両
側で、片面からのエツチング量を同じにすれば、ステン
レス部材１７１の両側面でエツチングの条件をほぼ同じ
条件に設定し得るので、エッチング工程が簡易化すると
ともに工程に費やす時間が短縮する。
【０１２６】なお、ここではステンレス部材１７１の厚
さが０．１ｍｍであるので、ステンレス部材１７１の片
面からのエッチンング量を約０．０５５ｍｍ程度に設定
した。また、インク供給口１４３，希釈液供給口１５３
となる貫通孔部１２５，１３５の径は、インク圧力室１
４５や希釈液圧力室１５５に圧力が印加された際に、供
給口１４３，１５３での液流量が圧力室１４５，１５５
内での圧力上昇に影響を及ぼさないように、後工程で形
成するノズルの径よりも大きくなるようにした。
さが０．１ｍｍであるので、ステンレス部材１７１の片
面からのエッチンング量を約０．０５５ｍｍ程度に設定
した。また、インク供給口１４３，希釈液供給口１５３
となる貫通孔部１２５，１３５の径は、インク圧力室１
４５や希釈液圧力室１５５に圧力が印加された際に、供
給口１４３，１５３での液流量が圧力室１４５，１５５
内での圧力上昇に影響を及ぼさないように、後工程で形
成するノズルの径よりも大きくなるようにした。
【０１２７】続いてレジスト１７２，１７３を除去す
る。レジスト１７２，１７３としてドライフィルムレジ
ストを使用した場合には、例えば５％以下の水酸化ナト
リウム水溶液を用いれば良く、レジスト１７２，１７３
として液体レジスト材料を用いた場合には、例えば専用
アルカリ溶液を用いれば良い。その結果、図２３に示す
ように、貫通孔部１２５、第１の凹部１２６、第２の凹
部１２７、第３の凹部１２８と、貫通孔部１３５、第４
の凹部１３６、第５の凹部１３７、第６の凹部１３８が
形成される液室形成部材１２１が形成される。
る。レジスト１７２，１７３としてドライフィルムレジ
ストを使用した場合には、例えば５％以下の水酸化ナト
リウム水溶液を用いれば良く、レジスト１７２，１７３
として液体レジスト材料を用いた場合には、例えば専用
アルカリ溶液を用いれば良い。その結果、図２３に示す
ように、貫通孔部１２５、第１の凹部１２６、第２の凹
部１２７、第３の凹部１２８と、貫通孔部１３５、第４
の凹部１３６、第５の凹部１３７、第６の凹部１３８が
形成される液室形成部材１２１が形成される。
【０１２８】このようにしてレジスト１７２及び１７３
を除去した後、オリフィスプレートを形成する。
を除去した後、オリフィスプレートを形成する。
【０１２９】オリフィスプレートを形成するには、ま
ず、図２４に示すように、親水性の有機材料フィルム１
７４を、液室形成部材１２１の貫通孔部１２５，１３
５、第２の凹部１２７、第３の凹部１２８、第５の凹部
１３７、第６の凹部１３８が形成された側の面に熱圧着
によって接着する。ここでは、この親水性の有機材料フ
ィルム１７４として、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点
が２５０℃以下のフィルム（商品名ネオフレックス）を
使用した。熱圧着条件は、温度２３０℃、圧力２０〜３
０ｋｇｆ／ｃｍ2である。ここで熱圧着法は、高い接着
強度が得られるとともに煩雑な操作が要らず、効率の良
い接着を行うことができる。また、接着剤を用いる方法
では、はみ出した接着剤がインク流路を塞ぐことが懸念
されるが、熱圧着法ではこのような不都合が回避され
る。
ず、図２４に示すように、親水性の有機材料フィルム１
７４を、液室形成部材１２１の貫通孔部１２５，１３
５、第２の凹部１２７、第３の凹部１２８、第５の凹部
１３７、第６の凹部１３８が形成された側の面に熱圧着
によって接着する。ここでは、この親水性の有機材料フ
ィルム１７４として、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点
が２５０℃以下のフィルム（商品名ネオフレックス）を
使用した。熱圧着条件は、温度２３０℃、圧力２０〜３
０ｋｇｆ／ｃｍ2である。ここで熱圧着法は、高い接着
強度が得られるとともに煩雑な操作が要らず、効率の良
い接着を行うことができる。また、接着剤を用いる方法
では、はみ出した接着剤がインク流路を塞ぐことが懸念
されるが、熱圧着法ではこのような不都合が回避され
る。
【０１３０】次に、図２５に示すように、この親水性を
有する有機材料フィルム１７４の、ステンレス部材１７
１と接着された側とは反対側の面に撥液性を有する有機
材料フィルム１７５を接着剤１７６によって接着するこ
とによって積層フィルム１７７を形成する。
有する有機材料フィルム１７４の、ステンレス部材１７
１と接着された側とは反対側の面に撥液性を有する有機
材料フィルム１７５を接着剤１７６によって接着するこ
とによって積層フィルム１７７を形成する。
【０１３１】この撥液性を有する有機材料フィルム１７
５としては、上述の如く、撥液性とレーザ加工性の点か
ら選択され、例えば宇部興産株式会社製のポリイミド接
着フィルム：ＵＰＡ−Ｎ１１１、ＵＰＡ−Ｎ２２１、Ｕ
ＰＡ−Ｔ２２２、ＵＰＡ−Ｔ２０８（いずれも商品名）
等が用いられる。これらのポリイミド接着フィルムは、
表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下と撥液性に優れ、し
かもエキシマレーザによってノズルを形成した場合にバ
リや剥がれ等が発生せず、オリフィスプレートの材料と
して好適である。
５としては、上述の如く、撥液性とレーザ加工性の点か
ら選択され、例えば宇部興産株式会社製のポリイミド接
着フィルム：ＵＰＡ−Ｎ１１１、ＵＰＡ−Ｎ２２１、Ｕ
ＰＡ−Ｔ２２２、ＵＰＡ−Ｔ２０８（いずれも商品名）
等が用いられる。これらのポリイミド接着フィルムは、
表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下と撥液性に優れ、し
かもエキシマレーザによってノズルを形成した場合にバ
リや剥がれ等が発生せず、オリフィスプレートの材料と
して好適である。
【０１３２】接着剤１７６としては、密着強度とレーザ
加工性に優れることから、宇部興産株式会社製のポリイ
ミド接着材料：ＵＰＡ−８３２２（商品名）等が好適で
ある。また、エーブルボンド社のエポキシ系接着剤も、
ポリイミド接着材料に比べればレーザ加工性が多少劣る
ものの、薄い厚さ範囲（例えば０．５μｍ以下）であれ
ば使用可能である。なお、このうちＵＰＡ−８３２２
は、１６０℃程度の低い硬化温度であっても十分な接着
強度を得ることができる。
加工性に優れることから、宇部興産株式会社製のポリイ
ミド接着材料：ＵＰＡ−８３２２（商品名）等が好適で
ある。また、エーブルボンド社のエポキシ系接着剤も、
ポリイミド接着材料に比べればレーザ加工性が多少劣る
ものの、薄い厚さ範囲（例えば０．５μｍ以下）であれ
ば使用可能である。なお、このうちＵＰＡ−８３２２
は、１６０℃程度の低い硬化温度であっても十分な接着
強度を得ることができる。
【０１３３】以上のようなオリフィスプレートの形成方
法では、原材料が液体状態の撥液性材料を塗布する方法
とは異なり、液室形成部材側の面に不要な撥液性材料が
付着してしまうことがない。したがって、液室形成部材
側では第１のフィルム１２４ｂによる親水性が有効に保
持されることになる。
法では、原材料が液体状態の撥液性材料を塗布する方法
とは異なり、液室形成部材側の面に不要な撥液性材料が
付着してしまうことがない。したがって、液室形成部材
側では第１のフィルム１２４ｂによる親水性が有効に保
持されることになる。
【０１３４】次に、エキシマレーザ加工装置を用いて、
図２６に示すように積層フィルム１７７にインクノズル
と希釈液ノズルを形成する。
図２６に示すように積層フィルム１７７にインクノズル
と希釈液ノズルを形成する。
【０１３５】まず、希釈液ノズルを形成するには、積層
フィルム１７１の、液室形成部材１２１の第６の凹部１
３８に対応する位置に、エキシマレーザを液室形成部材
１７１側から垂直に照射する。その結果、積層フィルム
１７７を構成する親水性の有機材料フィルム１７４、接
着剤１７６、撥液性の有機材料フィルム１７５に連続す
る貫通孔（希釈液ノズル）１４２が形成される。
フィルム１７１の、液室形成部材１２１の第６の凹部１
３８に対応する位置に、エキシマレーザを液室形成部材
１７１側から垂直に照射する。その結果、積層フィルム
１７７を構成する親水性の有機材料フィルム１７４、接
着剤１７６、撥液性の有機材料フィルム１７５に連続す
る貫通孔（希釈液ノズル）１４２が形成される。
【０１３６】次に、インクノズルを形成するために、積
層フィルム１７７の、液室形成部材１２１の第３の凹部
１２８に対応する位置に、エキシマレーザを希釈液ノズ
ル１７９の開口部に向かう方向で斜めに照射する。その
結果、積層フィルム１７７を構成する親水性の有機材料
フィルム１７４、接着剤１７６、撥液性の有機材料フィ
ルム１７５に連続する貫通孔（インクノズル）１３２が
形成される。
層フィルム１７７の、液室形成部材１２１の第３の凹部
１２８に対応する位置に、エキシマレーザを希釈液ノズ
ル１７９の開口部に向かう方向で斜めに照射する。その
結果、積層フィルム１７７を構成する親水性の有機材料
フィルム１７４、接着剤１７６、撥液性の有機材料フィ
ルム１７５に連続する貫通孔（インクノズル）１３２が
形成される。
【０１３７】これらノズル１３２，１４２の形成に際し
て、第３の凹部１２８または第６の凹部１３８の径はノ
ズル１２８，１７９の径に比べて十分に大きいので、レ
ーザの照射位置が多少ずれでも液室形成部材１２１によ
ってレーザが遮蔽されてしまうことがなく、また先に例
示したフィルム材や接着剤はいずれもレーザ加工性に優
れるので、精密な形状のインクノズルが形成される。
て、第３の凹部１２８または第６の凹部１３８の径はノ
ズル１２８，１７９の径に比べて十分に大きいので、レ
ーザの照射位置が多少ずれでも液室形成部材１２１によ
ってレーザが遮蔽されてしまうことがなく、また先に例
示したフィルム材や接着剤はいずれもレーザ加工性に優
れるので、精密な形状のインクノズルが形成される。
【０１３８】なお、このように積層フィルムに予めノズ
ルを形成せずに、積層フィルムにステンレス部材を接着
した後にノズルを形成するのは、積層フィルムとステン
レス部材の位置合わせを簡易化するためである。
ルを形成せずに、積層フィルムにステンレス部材を接着
した後にノズルを形成するのは、積層フィルムとステン
レス部材の位置合わせを簡易化するためである。
【０１３９】次いで、図２７に示すように、液室形成部
材１２１のオリフィスプレート１２４が接着された側と
は反対側の主面に、予め突起１４９，１５９が形成され
た振動板１２２を熱圧着によって接着する。
材１２１のオリフィスプレート１２４が接着された側と
は反対側の主面に、予め突起１４９，１５９が形成され
た振動板１２２を熱圧着によって接着する。
【０１４０】ここで、この振動板１２２としては、三井
東圧化学社製の金属ラッピングフィルムを使用した。こ
の金属ラッピングフィルムは、図２８に示すように、温
度特性の異なる３枚の樹脂フィルム１２２ａ，１２２
ｂ，１２２ｃよりなる積層フィルム（振動板１２２）上
に厚さが約１８μｍの２枚の銅箔（突起１４９，、１５
９）がラミネート形成されたものである。
東圧化学社製の金属ラッピングフィルムを使用した。こ
の金属ラッピングフィルムは、図２８に示すように、温
度特性の異なる３枚の樹脂フィルム１２２ａ，１２２
ｂ，１２２ｃよりなる積層フィルム（振動板１２２）上
に厚さが約１８μｍの２枚の銅箔（突起１４９，、１５
９）がラミネート形成されたものである。
【０１４１】この３枚の樹脂フィルムのうち、１層目の
樹脂フィルム１２２ａはガラス転移点が２５０℃以下で
あって２２０〜２３０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂
フィルム（商品名ネオフレックス）であり、２層目の樹
脂フィルム１２２ｂはガラス転移点が３００℃以上であ
り、３００℃以下の温度範囲で接着性を示さないポリイ
ミド系フィルムであり、３層目の樹脂フィルム１２２ｃ
はガラス転移点が３００℃以下であって２７０℃〜２８
０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂フィルム（商品名ネ
オフレックス）である。そして、突起１４９，１５９
は、３層目の樹脂フィルム１２２ｃ上に貼り合わされる
ことで形成される。
樹脂フィルム１２２ａはガラス転移点が２５０℃以下で
あって２２０〜２３０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂
フィルム（商品名ネオフレックス）であり、２層目の樹
脂フィルム１２２ｂはガラス転移点が３００℃以上であ
り、３００℃以下の温度範囲で接着性を示さないポリイ
ミド系フィルムであり、３層目の樹脂フィルム１２２ｃ
はガラス転移点が３００℃以下であって２７０℃〜２８
０℃の温度範囲で接着性を示す樹脂フィルム（商品名ネ
オフレックス）である。そして、突起１４９，１５９
は、３層目の樹脂フィルム１２２ｃ上に貼り合わされる
ことで形成される。
【０１４２】なお、この突起１４９，１５９の耐熱性
は、実質的に振動板１２２を構成する樹脂フィルム１２
２ａ，１２２ｂ，１２２ｃの温度特性に依存することに
なるが、振動板１２２を構成するフィルムはいずれも低
温で軟化する材質ではないので、突起１４９，１５９を
耐熱性のある構造体として形成することができる。
は、実質的に振動板１２２を構成する樹脂フィルム１２
２ａ，１２２ｂ，１２２ｃの温度特性に依存することに
なるが、振動板１２２を構成するフィルムはいずれも低
温で軟化する材質ではないので、突起１４９，１５９を
耐熱性のある構造体として形成することができる。
【０１４３】また、この振動板１２２では、突起が形成
されていない１層目の樹脂フィルム１２２ａが液室形成
部材１２１と熱圧着される。この熱圧着条件は、温度２
３０℃程度、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2である。こ
の熱圧着法は、高い接着強度が得られるとともに煩雑な
操作が要らず、効率の良い接着を行うことができる。
されていない１層目の樹脂フィルム１２２ａが液室形成
部材１２１と熱圧着される。この熱圧着条件は、温度２
３０℃程度、圧力２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2である。こ
の熱圧着法は、高い接着強度が得られるとともに煩雑な
操作が要らず、効率の良い接着を行うことができる。
【０１４４】なお、ここでは振動板１２２を熱圧着法に
よって接着しているが、接着剤を用いて接着を行うよう
にしても構わない。この接着剤としては、熱可塑性接着
剤が好ましいが、低温で硬化する接着剤、例えばエポキ
シ系接着剤等であっても差し支えない。
よって接着しているが、接着剤を用いて接着を行うよう
にしても構わない。この接着剤としては、熱可塑性接着
剤が好ましいが、低温で硬化する接着剤、例えばエポキ
シ系接着剤等であっても差し支えない。
【０１４５】液室形成部材１２１は、このようにして振
動板１２２が接着されることで各貫通孔部１２５，１３
５及び各凹部１２６，１２７，１２８，１３６，１３
７，１３８が閉塞される。
動板１２２が接着されることで各貫通孔部１２５，１３
５及び各凹部１２６，１２７，１２８，１３６，１３
７，１３８が閉塞される。
【０１４６】すなわち、貫通孔部１２５によりインクバ
ッファタンク１４３が形成され、第２の凹部１２７によ
りインク供給路１４４が形成され、第１の凹部１２６に
よりインク圧力室１４５が形成され、第３の凹部１２８
によりインク導入口１４６が形成されることとなる。
ッファタンク１４３が形成され、第２の凹部１２７によ
りインク供給路１４４が形成され、第１の凹部１２６に
よりインク圧力室１４５が形成され、第３の凹部１２８
によりインク導入口１４６が形成されることとなる。
【０１４７】また、貫通孔部１３５により希釈液バッフ
ァタンク１５３が形成され、第２の凹部１３７により希
釈液供給路１５４が形成され、第１の凹部１３６により
希釈液圧力室１５５が形成され、第３の凹部１３８によ
り希釈液導入口１５６が形成されることとなる。
ァタンク１５３が形成され、第２の凹部１３７により希
釈液供給路１５４が形成され、第１の凹部１３６により
希釈液圧力室１５５が形成され、第３の凹部１３８によ
り希釈液導入口１５６が形成されることとなる。
【０１４８】この後、振動板１２２上の突起部１４９，
１５９上に積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂを配
し、インク供給口１２９と接続されるようにインク供給
管１５０を配するとともに、希釈液供給口１３９と接続
されるように希釈液供給管１６０を配することで図１６
に示したような本例のプリンタ装置のプリントヘッドを
完成する。
１５９上に積層型ピエゾ素子１２３ａ，１２３ｂを配
し、インク供給口１２９と接続されるようにインク供給
管１５０を配するとともに、希釈液供給口１３９と接続
されるように希釈液供給管１６０を配することで図１６
に示したような本例のプリンタ装置のプリントヘッドを
完成する。
【０１４９】以上で説明したプリントヘッドは、いずれ
も液室形成部材が金属材料により構成されるが、この液
室形成部材はポリサルフォンやポリエーテルイミド等の
材料を射出成形することで形成しても良い。
も液室形成部材が金属材料により構成されるが、この液
室形成部材はポリサルフォンやポリエーテルイミド等の
材料を射出成形することで形成しても良い。
【０１５０】液室形成部材を射出成形によって形成した
プリントヘッドの例として、インクジェットタイプのプ
リントヘッドを図２９に、２液混合タイプのプリントヘ
ッドを図３０に示す。
プリントヘッドの例として、インクジェットタイプのプ
リントヘッドを図２９に、２液混合タイプのプリントヘ
ッドを図３０に示す。
【０１５１】まず、図２９に示すプリントヘッドは、液
室形成部材３０１、振動板３０２、積層型ピエゾ素子３
０３、インク供給管３０４、オリフィスプレート３０５
により構成されている。
室形成部材３０１、振動板３０２、積層型ピエゾ素子３
０３、インク供給管３０４、オリフィスプレート３０５
により構成されている。
【０１５２】上記液室形成部材３０１は樹脂材料を射出
成形することで成形された成形体であり、定量媒体バッ
ファタンク３０６、定量媒体供給路３０７、定量媒体圧
力室３０８、定量媒体導入部３０９（以下、それぞれイ
ンクバッファタンク３０６、インク供給路３０７、イン
ク圧力室３０８及びインク導入部３０９と称する。）が
一主面に臨んで開口する凹部３１０として形成されてい
る。また、上記インク導入部３０９の底部には、液室形
成部材の他方の主面に貫通するインク導入口３１１が形
成されている。
成形することで成形された成形体であり、定量媒体バッ
ファタンク３０６、定量媒体供給路３０７、定量媒体圧
力室３０８、定量媒体導入部３０９（以下、それぞれイ
ンクバッファタンク３０６、インク供給路３０７、イン
ク圧力室３０８及びインク導入部３０９と称する。）が
一主面に臨んで開口する凹部３１０として形成されてい
る。また、上記インク導入部３０９の底部には、液室形
成部材の他方の主面に貫通するインク導入口３１１が形
成されている。
【０１５３】この液室形成部材３０１の樹脂材料として
は、耐熱温度が１８０℃程度のポリサルフォン材料ある
いはポリエーテルイミド材料等を用いることが可能であ
る。ここで樹脂材料を射出成形することで形成される液
室形成部材３０１の場合、これまで熱処理によって撥液
性が付与されていたが、このプリントヘッドでは後述す
る撥液性の有機材料フィルムによって撥液性を付与する
ので、この熱処理が不要である。したがって、耐熱温度
が１８０℃程度の樹脂材料を使用することができる。
は、耐熱温度が１８０℃程度のポリサルフォン材料ある
いはポリエーテルイミド材料等を用いることが可能であ
る。ここで樹脂材料を射出成形することで形成される液
室形成部材３０１の場合、これまで熱処理によって撥液
性が付与されていたが、このプリントヘッドでは後述す
る撥液性の有機材料フィルムによって撥液性を付与する
ので、この熱処理が不要である。したがって、耐熱温度
が１８０℃程度の樹脂材料を使用することができる。
【０１５４】この液室形成部材３０１には、凹部３１０
が開口する側の主面に振動板３０２が配されるとともに
他方の主面にオリフィスプレート３０５が配されてお
り、この振動板３０２とオリフィスプレート３０５によ
って厚さ方向に挟み込まれたかたちになっている。
が開口する側の主面に振動板３０２が配されるとともに
他方の主面にオリフィスプレート３０５が配されてお
り、この振動板３０２とオリフィスプレート３０５によ
って厚さ方向に挟み込まれたかたちになっている。
【０１５５】このうち、振動板３０２は、ニッケル等の
金属箔あるいは樹脂フィルムによって構成されており、
バッファタンクに対応する位置に、バッファタンクの径
よりも小径となされたインク供給口３１３が形成されて
いる。
金属箔あるいは樹脂フィルムによって構成されており、
バッファタンクに対応する位置に、バッファタンクの径
よりも小径となされたインク供給口３１３が形成されて
いる。
【０１５６】一方、オリフィスプレート３０５は、この
プリントヘッドでは、撥液性を有する有機材料フィルム
３０５ａと、この有機材料フィルム３０５ａを液室形成
部材３０１に接着する接着剤層３０５ｂによって構成さ
れている。
プリントヘッドでは、撥液性を有する有機材料フィルム
３０５ａと、この有機材料フィルム３０５ａを液室形成
部材３０１に接着する接着剤層３０５ｂによって構成さ
れている。
【０１５７】接着剤層は３０５ｂは、液室形成部材３０
１の耐熱温度である１８０℃以下の温度で接着工程が終
了する材料により構成される。
１の耐熱温度である１８０℃以下の温度で接着工程が終
了する材料により構成される。
【０１５８】この接着剤層３０５ｂとしては、密着強度
やレーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が
好ましく、具体的には宇部興産社製のＵＰＡ−８３２２
（商品名）等が好適である。なお、この接着剤層３０５
ｂも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれ程厳しく要求さ
れない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であって
も構わない。例えば、エポキシ系接着剤であるエーブル
ボンド社製のエポキシ接着剤は、ポリイミド系の接着剤
に比べて多少加工性に劣るが０．５μｍ程度の厚さであ
ればノズル形状に乱れを生じることなくノズルの加工が
行える。
やレーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が
好ましく、具体的には宇部興産社製のＵＰＡ−８３２２
（商品名）等が好適である。なお、この接着剤層３０５
ｂも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれ程厳しく要求さ
れない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であって
も構わない。例えば、エポキシ系接着剤であるエーブル
ボンド社製のエポキシ接着剤は、ポリイミド系の接着剤
に比べて多少加工性に劣るが０．５μｍ程度の厚さであ
ればノズル形状に乱れを生じることなくノズルの加工が
行える。
【０１５９】撥液性を有する有機材料フィルム３０５ａ
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。またこのような撥液性を有すると
ともにノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好
ましい。そのような有機材料フィルムの材質としては、
例えばポリイミド系材料が挙げられ、特にポリイミドシ
ロキサンが好ましい。ポリイミドシロキサンは、ポリイ
ミドのイミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素の一
部がシロキサンにより置換されたものであり、Ｓｉのポ
リイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％である
のが良い。
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。またこのような撥液性を有すると
ともにノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好
ましい。そのような有機材料フィルムの材質としては、
例えばポリイミド系材料が挙げられ、特にポリイミドシ
ロキサンが好ましい。ポリイミドシロキサンは、ポリイ
ミドのイミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素の一
部がシロキサンにより置換されたものであり、Ｓｉのポ
リイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％である
のが良い。
【０１６０】なお、このポリイミド系フィルムの市販品
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等が用いられる。
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等が用いられる。
【０１６１】撥液性を有する有機材料フィルム３０５ａ
としては、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重
合体も使用可能である。この共重合体は撥液性に非常に
優れる有機材料であり、オリフィスプレートの材料とし
て適している。しかし、焼成温度が２７０℃であるた
め、耐熱温度が２００℃以下の液室形成部材に直接熱圧
着させることが困難であり、また接着剤による接着性も
劣るため、これまでは使用が避けられていた。しかし、
接着剤層３０５ｂとして、接着温度が１８０℃以下の接
着材料、例えば、宇部興産社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−８３２２（商品名）を接着剤層として用い
れば、低温で十分な強度の接着を行うことができる。但
し、この共重合体フィルムは、ポリイミドフィルムに比
べてレーザ加工性に劣るので、５μｍ以下の厚さで用い
るのが望ましい。５μｍ以下の厚さであれば、エキシマ
レーザ加工装置によって直径が３５μｍ程度の円形のノ
ズルが精密な形状で加工できる。
としては、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重
合体も使用可能である。この共重合体は撥液性に非常に
優れる有機材料であり、オリフィスプレートの材料とし
て適している。しかし、焼成温度が２７０℃であるた
め、耐熱温度が２００℃以下の液室形成部材に直接熱圧
着させることが困難であり、また接着剤による接着性も
劣るため、これまでは使用が避けられていた。しかし、
接着剤層３０５ｂとして、接着温度が１８０℃以下の接
着材料、例えば、宇部興産社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−８３２２（商品名）を接着剤層として用い
れば、低温で十分な強度の接着を行うことができる。但
し、この共重合体フィルムは、ポリイミドフィルムに比
べてレーザ加工性に劣るので、５μｍ以下の厚さで用い
るのが望ましい。５μｍ以下の厚さであれば、エキシマ
レーザ加工装置によって直径が３５μｍ程度の円形のノ
ズルが精密な形状で加工できる。
【０１６２】このような積層フィルムよりなるオリフィ
スプレート３０５には、インク導入口３１１と連続する
貫通孔としてインクノズル３１２が形成されている。液
室形成部材３０１のインク導入口３１１と、オリフィス
プレートのインクノズル３１２は、インク導入部３０９
の底部に、例えばエキシマレーザ光を照射することで加
工を行うアブレーションレーザ加工法によって形成さ
れ、所定径を有する断面円形状とされている。なお、こ
のレーザ加工法では、液室形成部材３０１、接着剤層３
０５ｂ、撥液性を有する有機材料フィルム３０５ａの各
層が、同時に加工されるので、インクノズル３１２が境
目無く連続した貫通孔として形成される。
スプレート３０５には、インク導入口３１１と連続する
貫通孔としてインクノズル３１２が形成されている。液
室形成部材３０１のインク導入口３１１と、オリフィス
プレートのインクノズル３１２は、インク導入部３０９
の底部に、例えばエキシマレーザ光を照射することで加
工を行うアブレーションレーザ加工法によって形成さ
れ、所定径を有する断面円形状とされている。なお、こ
のレーザ加工法では、液室形成部材３０１、接着剤層３
０５ｂ、撥液性を有する有機材料フィルム３０５ａの各
層が、同時に加工されるので、インクノズル３１２が境
目無く連続した貫通孔として形成される。
【０１６３】以上のようなオリフィスプレートは、振動
板３０２とともに液室形成部材３０１を厚さ方向から挟
み込むように配されており、凹部３１０が振動板３０２
によって塞がれたかたちになっている。これにより、液
室形成部材３０１には、振動板３０２側からオリフィス
プレート３０５側に向かって厚さ方向に形成されるイン
クバッファタンク３０６、これと接続され液室形成部材
３０１の面内方向に形成されるインク供給路３０７と、
これに接続され振動板３０２側に形成されるインク圧力
室３０８、上記インク圧力室３０８に接続され、オリフ
ィスプレート３０５側に開口するインク導入部３０９及
びインク導入口３１１が連続して形成されることとな
る。
板３０２とともに液室形成部材３０１を厚さ方向から挟
み込むように配されており、凹部３１０が振動板３０２
によって塞がれたかたちになっている。これにより、液
室形成部材３０１には、振動板３０２側からオリフィス
プレート３０５側に向かって厚さ方向に形成されるイン
クバッファタンク３０６、これと接続され液室形成部材
３０１の面内方向に形成されるインク供給路３０７と、
これに接続され振動板３０２側に形成されるインク圧力
室３０８、上記インク圧力室３０８に接続され、オリフ
ィスプレート３０５側に開口するインク導入部３０９及
びインク導入口３１１が連続して形成されることとな
る。
【０１６４】そして、前述のように振動板３０２にはイ
ンク供給口３１３が形成され、オリフィスプレート３０
５にはインクノズル３１２が形成されていることから、
インク供給口３１３、インクバッファタンク３０６、イ
ンク供給路３０７、インク圧力室３０８、インク導入部
３０９、インク導入口３１１、インクノズル３１２の順
にインクが流れることとなる。
ンク供給口３１３が形成され、オリフィスプレート３０
５にはインクノズル３１２が形成されていることから、
インク供給口３１３、インクバッファタンク３０６、イ
ンク供給路３０７、インク圧力室３０８、インク導入部
３０９、インク導入口３１１、インクノズル３１２の順
にインクが流れることとなる。
【０１６５】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板３０２の液室形成部材３０１と接着される面とは
反対側の一主面のインク圧力室３０８に対応する位置に
突起部３１４が形成されており、この突起部３１４を介
して積層型ピエゾ素子３０３が載置されている。なお、
上記積層型ピエゾ素子３０３としては、圧電部材と導電
部材とが交互に積層されてなるものが挙げられる。この
とき、圧電部材と導電部材との積層数は何層であっても
良い。
振動板３０２の液室形成部材３０１と接着される面とは
反対側の一主面のインク圧力室３０８に対応する位置に
突起部３１４が形成されており、この突起部３１４を介
して積層型ピエゾ素子３０３が載置されている。なお、
上記積層型ピエゾ素子３０３としては、圧電部材と導電
部材とが交互に積層されてなるものが挙げられる。この
とき、圧電部材と導電部材との積層数は何層であっても
良い。
【０１６６】この突起部３１４はインク圧力室３０８の
平面の面積及び積層型ピエゾ素子３０３の平面の面積よ
りも小さいものとして形成されている。さらに、上記振
動板３０２の一主面のインク供給口３１３に対応する位
置には図示しないインクタンクに接続されるインク供給
管３０４が接続されている。
平面の面積及び積層型ピエゾ素子３０３の平面の面積よ
りも小さいものとして形成されている。さらに、上記振
動板３０２の一主面のインク供給口３１３に対応する位
置には図示しないインクタンクに接続されるインク供給
管３０４が接続されている。
【０１６７】このプリントヘッドにおいても、積層型ピ
エゾ素子３０３の変位によって振動板３０２が持ち上げ
られたり押圧されたりする。これによってインク圧力室
３０８での圧力が制御され、インクノズル３１２からイ
ンクが吐出することになる。
エゾ素子３０３の変位によって振動板３０２が持ち上げ
られたり押圧されたりする。これによってインク圧力室
３０８での圧力が制御され、インクノズル３１２からイ
ンクが吐出することになる。
【０１６８】このとき、このプリントヘッドにおいて
は、オリフィスプレート３０５が撥液性を有する有機材
料フィルム３０５ａと接着剤層３０５ｂの２層よりな
り、撥液性の有機材料フィルム３０５ａがノズル開口面
側となるように配されているので、ノズル開口部周辺で
は有機材料フィルム３０５ａの撥水性によってインク付
着等が抑えられ、インクが安定に吐出され、正確な記録
画像が形成される。
は、オリフィスプレート３０５が撥液性を有する有機材
料フィルム３０５ａと接着剤層３０５ｂの２層よりな
り、撥液性の有機材料フィルム３０５ａがノズル開口面
側となるように配されているので、ノズル開口部周辺で
は有機材料フィルム３０５ａの撥水性によってインク付
着等が抑えられ、インクが安定に吐出され、正確な記録
画像が形成される。
【０１６９】このようなプリントヘッドを製造するに
は、射出成形法によってインクバッファタンク３０６、
インク供給路３０７、インク圧力室３０８、インク導入
部３０９に対応する凹部３１０を有する樹脂部材を成形
する。そして、この樹脂部材の凹部３１０が形成された
側と反対側の面に、撥液性の有機材料フィルム３０５ａ
上に接着剤層３０５ｂが形成されてなる積層フィルム３
０５を熱圧着する。そして、インク導入部３０９の底部
に対してエキシマレーザを照射して、この底部から液室
形成部材３０１とオリフィスプレート３０５を貫通する
貫通孔としてインク導入口３１１及びインクノズル３１
２を形成する。この後、樹脂部材のオリフィスプレート
が形成された側と反対側の面に、突起を有する振動板３
０２、積層ピエゾ素子３０３を接着し、インク液供給管
３０４を取り付けることでプリントヘッドが完成する。
は、射出成形法によってインクバッファタンク３０６、
インク供給路３０７、インク圧力室３０８、インク導入
部３０９に対応する凹部３１０を有する樹脂部材を成形
する。そして、この樹脂部材の凹部３１０が形成された
側と反対側の面に、撥液性の有機材料フィルム３０５ａ
上に接着剤層３０５ｂが形成されてなる積層フィルム３
０５を熱圧着する。そして、インク導入部３０９の底部
に対してエキシマレーザを照射して、この底部から液室
形成部材３０１とオリフィスプレート３０５を貫通する
貫通孔としてインク導入口３１１及びインクノズル３１
２を形成する。この後、樹脂部材のオリフィスプレート
が形成された側と反対側の面に、突起を有する振動板３
０２、積層ピエゾ素子３０３を接着し、インク液供給管
３０４を取り付けることでプリントヘッドが完成する。
【０１７０】次に、図３０に示すプリントヘッドは、２
液混合タイプのプリントヘッドであり、液室形成部材３
１５、振動板３１６、積層型ピエゾ素子３１７，３１
８、インク供給管３１９、希釈液供給管３２０及びノズ
ル形成部材３２１により構成されている。
液混合タイプのプリントヘッドであり、液室形成部材３
１５、振動板３１６、積層型ピエゾ素子３１７，３１
８、インク供給管３１９、希釈液供給管３２０及びノズ
ル形成部材３２１により構成されている。
【０１７１】上記液室形成部材３１５は樹脂材料を射出
成形することで成形された成形体であり、定量媒体バッ
ファタンク３２２、定量媒体供給路３２３、定量媒体圧
力室３２４及び定量媒体導入部３２５（以下、それぞれ
インクバッファタンク３２２、インク供給路３２３、イ
ンク圧力室３２４及びインク導入部３２５と称する。）
が、一主面に臨んで開口する第１の凹部３２６として形
成されている。また、上記インク導入部３２５の底部に
は、液室形成部材３１５の他方の主面に貫通するインク
導入口３２７が形成されている。また、この第１の凹部
３２６の隣には、これと左右対称に、吐出媒体バッファ
タンク３２８、吐出媒体供給路３２９、吐出媒体圧力室
３３０及び吐出媒体導入部３３１（以下、それぞれ希釈
液バッファタンク３２８、希釈液供給路３２９、希釈液
圧力室３３０及び希釈液導入部３３１と称する。）が、
一主面に臨んで開口する第２の凹部３３２として形成さ
れている。また、上記希釈液導入部３３１の底部には、
液室形成部材３１５の他方の主面に貫通する希釈液導入
口３３３が形成されている。
成形することで成形された成形体であり、定量媒体バッ
ファタンク３２２、定量媒体供給路３２３、定量媒体圧
力室３２４及び定量媒体導入部３２５（以下、それぞれ
インクバッファタンク３２２、インク供給路３２３、イ
ンク圧力室３２４及びインク導入部３２５と称する。）
が、一主面に臨んで開口する第１の凹部３２６として形
成されている。また、上記インク導入部３２５の底部に
は、液室形成部材３１５の他方の主面に貫通するインク
導入口３２７が形成されている。また、この第１の凹部
３２６の隣には、これと左右対称に、吐出媒体バッファ
タンク３２８、吐出媒体供給路３２９、吐出媒体圧力室
３３０及び吐出媒体導入部３３１（以下、それぞれ希釈
液バッファタンク３２８、希釈液供給路３２９、希釈液
圧力室３３０及び希釈液導入部３３１と称する。）が、
一主面に臨んで開口する第２の凹部３３２として形成さ
れている。また、上記希釈液導入部３３１の底部には、
液室形成部材３１５の他方の主面に貫通する希釈液導入
口３３３が形成されている。
【０１７２】この液室形成部材３１５の樹脂材料として
は、耐熱温度が１８０℃程度のポリサルフォン材料ある
いはポリエーテルイミド材料等を用いることが可能であ
る。ここで樹脂材料を射出成形法することで形成される
液室形成部材の場合、これまで熱処理によって撥液性が
付与されていたが、このプリントヘッドでは後述する撥
液性の有機材料フィルムによって撥液性を付与するの
で、この熱処理が不要である。したがって、耐熱温度が
１８０℃程度の樹脂材料を使用することができる。
は、耐熱温度が１８０℃程度のポリサルフォン材料ある
いはポリエーテルイミド材料等を用いることが可能であ
る。ここで樹脂材料を射出成形法することで形成される
液室形成部材の場合、これまで熱処理によって撥液性が
付与されていたが、このプリントヘッドでは後述する撥
液性の有機材料フィルムによって撥液性を付与するの
で、この熱処理が不要である。したがって、耐熱温度が
１８０℃程度の樹脂材料を使用することができる。
【０１７３】この液室形成部材３１５には、第１の凹部
３２６及び第２の凹部３３２が開口する側の主面に振動
板３１６が配されるとともに他方の主面にオリフィスプ
レート３２１が配されており、この振動板３１６とオリ
フィスプレート３２１によって厚さ方向に挟み込まれた
かたちになっている。
３２６及び第２の凹部３３２が開口する側の主面に振動
板３１６が配されるとともに他方の主面にオリフィスプ
レート３２１が配されており、この振動板３１６とオリ
フィスプレート３２１によって厚さ方向に挟み込まれた
かたちになっている。
【０１７４】このうち、振動板３１６は、ニッケル等の
金属箔あるいは樹脂フィルムによって構成されており、
インクバッファタンク３２２に対応する位置にインクバ
ッファタンク３３２の径よりも小径となされたインク供
給口３３４が形成されている。また、希釈液バッファタ
ンク３２８に対応する位置に希釈液バッファタンク３２
８に径よりも小径となされた希釈液供給口３３５が形成
されている。
金属箔あるいは樹脂フィルムによって構成されており、
インクバッファタンク３２２に対応する位置にインクバ
ッファタンク３３２の径よりも小径となされたインク供
給口３３４が形成されている。また、希釈液バッファタ
ンク３２８に対応する位置に希釈液バッファタンク３２
８に径よりも小径となされた希釈液供給口３３５が形成
されている。
【０１７５】一方、オリフィスプレート３２１は、この
プリントヘッドでは、撥液性を有する有機材料フィルム
３２１ａと、この有機材料フィルム３２１ａを液室形成
部材３１５に接着する接着剤層３２１ｂによって構成さ
れている。
プリントヘッドでは、撥液性を有する有機材料フィルム
３２１ａと、この有機材料フィルム３２１ａを液室形成
部材３１５に接着する接着剤層３２１ｂによって構成さ
れている。
【０１７６】接着剤層３２１ｂは、液室形成部材３１５
の耐熱温度である１８０℃以下の温度において接着工程
が終了する材料により構成される。
の耐熱温度である１８０℃以下の温度において接着工程
が終了する材料により構成される。
【０１７７】この接着剤層３２１ｂとしては、密着強度
やレーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が
好ましく、具体的には宇部興産社製のＵＰＡ−８３２２
（商品名）等が好適である。なお、この接着剤層３２１
ｂも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれほど厳しく要求
されない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であっ
ても構わない。例えばエポキシ系接着剤であるエーブル
ボンド社製のエポキシ接着剤は、ポリイミド系の接着剤
に比べて多少加工性に劣るが０．５μｍ程度の厚さであ
ればノズル形状の乱れを生じることなくノズルの加工が
行える。
やレーザ加工性に優れることからポリイミド接着材料が
好ましく、具体的には宇部興産社製のＵＰＡ−８３２２
（商品名）等が好適である。なお、この接着剤層３２１
ｂも、レーザ加工性に優れることに越したことはない
が、フィルムに比べて厚さが薄く、またノズル開口面を
構成するものではないので加工性はそれほど厳しく要求
されない。したがって、例えばエポキシ系接着剤であっ
ても構わない。例えばエポキシ系接着剤であるエーブル
ボンド社製のエポキシ接着剤は、ポリイミド系の接着剤
に比べて多少加工性に劣るが０．５μｍ程度の厚さであ
ればノズル形状の乱れを生じることなくノズルの加工が
行える。
【０１７８】撥液性を有する有機材料フィルム３２１ａ
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。またこのような撥液性を有すると
ともにノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好
ましい。そのような有機材料フィルムの材質としては、
例えばポリイミド系材料が挙げられ、特にポリイミドシ
ロキサンが好ましい。ポリイミドシロキサンは、ポリイ
ミドのイミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素の一
部がシロキサンにより置換されたものであり、Ｓｉのポ
リイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％である
のが良い。
としては、表面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のものを
用いるのが望ましい。またこのような撥液性を有すると
ともにノズルのレーザ加工性も考慮して選択するのが好
ましい。そのような有機材料フィルムの材質としては、
例えばポリイミド系材料が挙げられ、特にポリイミドシ
ロキサンが好ましい。ポリイミドシロキサンは、ポリイ
ミドのイミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素の一
部がシロキサンにより置換されたものであり、Ｓｉのポ
リイミドに対する含有量が３重量％〜２５重量％である
のが良い。
【０１７９】なお、このポリイミド系フィルムの市販品
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等が用いられる。
としては、宇部興産株式会社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−Ｎ１１１（商品名）や、ＵＰＡ−Ｎ２２１
（商品名）あるいは、ＵＰＡ−Ｔ２２２（商品名）や、
ＵＰＡ−Ｔ２０８（商品名）等が用いられる。
【０１８０】撥液性を有する有機材料フィルム３２１ａ
としては、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重
合体も使用可能である。この共重合体は撥液性に非常に
優れる有機材料であり、オリフィスプレートの材料とし
て適している。しかし、焼成温度が２７０℃であるた
め、耐熱温度が２００℃以下の液室形成部材に直接熱圧
着させることが困難であり、また接着剤による接着性も
劣るため、これまでは使用が避けられていた。しかし、
接着剤層３２１ｂとして、接着温度が１８０℃以下の接
着材料、例えば、宇部興産社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−８３２２を用いれば、低温で十分な強度の
接着を行うことができる。但し、この共重合体フィルム
は、ポリイミドフィルムに比べてレーザ加工性に劣るの
で、５μｍ以下の厚さで用いるのが望ましい。５μｍ以
下の厚さであれば、エキシマレーザ加工装置によって直
径が３５μｍ程度の円形のノズルが精密な形状で加工で
きる。
としては、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重
合体も使用可能である。この共重合体は撥液性に非常に
優れる有機材料であり、オリフィスプレートの材料とし
て適している。しかし、焼成温度が２７０℃であるた
め、耐熱温度が２００℃以下の液室形成部材に直接熱圧
着させることが困難であり、また接着剤による接着性も
劣るため、これまでは使用が避けられていた。しかし、
接着剤層３２１ｂとして、接着温度が１８０℃以下の接
着材料、例えば、宇部興産社製のポリイミド接着フィル
ム：ＵＰＡ−８３２２を用いれば、低温で十分な強度の
接着を行うことができる。但し、この共重合体フィルム
は、ポリイミドフィルムに比べてレーザ加工性に劣るの
で、５μｍ以下の厚さで用いるのが望ましい。５μｍ以
下の厚さであれば、エキシマレーザ加工装置によって直
径が３５μｍ程度の円形のノズルが精密な形状で加工で
きる。
【０１８１】このような積層フィルムよりなるオリフィ
スプレート３２１には、インク導入口３２７と連続する
貫通孔として定量媒体ノズル３３６（以下、インクノズ
ル３３６と称する。）が厚さ方向に対して斜めに形成さ
れ、また希釈液導入口３３３と連続する貫通孔として吐
出媒体ノズル３３７（以下、希釈液ノズル３３７と称す
る。）が垂直に形成されている。このインクノズル３３
６及び希釈液ノズル３３７は、液室形成部材３１５のイ
ンク導入部３２５または希釈液導入部３３１の底部に、
例えばエキシマレーザ光を照射することで加工を行うア
ブレーションレーザ加工法によって形成されており、所
定径を有する断面円形状とされている。なお、このレー
ザ加工法では、液室形成部材３１５、接着剤層３２１
ｂ、撥液性を有する有機材料フィルム３２１ａの各層
が、同時に加工されるので、ノズルが境目無く連続した
貫通孔として形成される。
スプレート３２１には、インク導入口３２７と連続する
貫通孔として定量媒体ノズル３３６（以下、インクノズ
ル３３６と称する。）が厚さ方向に対して斜めに形成さ
れ、また希釈液導入口３３３と連続する貫通孔として吐
出媒体ノズル３３７（以下、希釈液ノズル３３７と称す
る。）が垂直に形成されている。このインクノズル３３
６及び希釈液ノズル３３７は、液室形成部材３１５のイ
ンク導入部３２５または希釈液導入部３３１の底部に、
例えばエキシマレーザ光を照射することで加工を行うア
ブレーションレーザ加工法によって形成されており、所
定径を有する断面円形状とされている。なお、このレー
ザ加工法では、液室形成部材３１５、接着剤層３２１
ｂ、撥液性を有する有機材料フィルム３２１ａの各層
が、同時に加工されるので、ノズルが境目無く連続した
貫通孔として形成される。
【０１８２】以上のようなオリフィスプレート３２１
は、振動板３１６とともに液室形成部材３１５を厚さ方
向から挟み込むように配されており、このオリフィスプ
レート３２１に形成されたインクノズル３３６と希釈液
ノズル３３７は、それぞれインク導入口３２７、希釈液
導入口３３に連通したかたちになる。
は、振動板３１６とともに液室形成部材３１５を厚さ方
向から挟み込むように配されており、このオリフィスプ
レート３２１に形成されたインクノズル３３６と希釈液
ノズル３３７は、それぞれインク導入口３２７、希釈液
導入口３３に連通したかたちになる。
【０１８３】したがって、インクバッファタンク３２６
に供給されたインクは、インクバッファタンク３２６、
インク供給路３２３、インク圧力室３２４、インク導入
部３２５、インク導入口３２７、インクノズル３３６の
順に流れることとなる。また、希釈液バッファタンク３
２８に供給された希釈液は、希釈液バッファタンク３２
８、希釈液供給路３２９、希釈液圧力室３３０、希釈液
導入部３３１、希釈液導入口３３３、希釈液ノズル３３
７の順に流れることとなる。
に供給されたインクは、インクバッファタンク３２６、
インク供給路３２３、インク圧力室３２４、インク導入
部３２５、インク導入口３２７、インクノズル３３６の
順に流れることとなる。また、希釈液バッファタンク３
２８に供給された希釈液は、希釈液バッファタンク３２
８、希釈液供給路３２９、希釈液圧力室３３０、希釈液
導入部３３１、希釈液導入口３３３、希釈液ノズル３３
７の順に流れることとなる。
【０１８４】また、本例のプリントヘッドにおいては、
振動板３３８，３３９の液室形成部材３１５と接着され
る面とは反対側の一主面のインク圧力室３２４、希釈液
圧力室３３０に対応する位置に突起部３３８，３３９が
形成されており、この突起部３３８，３３９を介して積
層型ピエゾ素子３１７，３１８が載置されている。な
お、上記積層型ピエゾ素子３１７，３１８としては、圧
電部材と導電部材とが交互に積層されてなるものが挙げ
られる。このとき、圧電部材と導電部材との積層数は何
層であっても良い。
振動板３３８，３３９の液室形成部材３１５と接着され
る面とは反対側の一主面のインク圧力室３２４、希釈液
圧力室３３０に対応する位置に突起部３３８，３３９が
形成されており、この突起部３３８，３３９を介して積
層型ピエゾ素子３１７，３１８が載置されている。な
お、上記積層型ピエゾ素子３１７，３１８としては、圧
電部材と導電部材とが交互に積層されてなるものが挙げ
られる。このとき、圧電部材と導電部材との積層数は何
層であっても良い。
【０１８５】この突起部３３８，３３９はインク圧力室
３２４，希釈液圧力室３３０の平面の面積及び積層型ピ
エゾ素子３１７，３１８の平面の面積よりも小さいもの
として形成されている。さらに、上記振動板３１６の一
主面のインク供給口３３４に対応する位置には図示しな
いインクタンクに接続されるインク供給管３１９が接続
されている。また、希釈液供給口３３５に対応する位置
には図示しない希釈液タンクに接続される希釈液供給管
３２０が接続されている。
３２４，希釈液圧力室３３０の平面の面積及び積層型ピ
エゾ素子３１７，３１８の平面の面積よりも小さいもの
として形成されている。さらに、上記振動板３１６の一
主面のインク供給口３３４に対応する位置には図示しな
いインクタンクに接続されるインク供給管３１９が接続
されている。また、希釈液供給口３３５に対応する位置
には図示しない希釈液タンクに接続される希釈液供給管
３２０が接続されている。
【０１８６】このプリントヘッドにおいても、積層型ピ
エゾ素子３１７，３１８の変位によって振動板３１６が
持ち上げられたり押圧されたりする。これによってイン
ク圧力室３２４や希釈液圧力室３３０の圧力が制御さ
れ、オリフィスプレート３２１上でインクと希釈液が混
合され、吐出することになる。
エゾ素子３１７，３１８の変位によって振動板３１６が
持ち上げられたり押圧されたりする。これによってイン
ク圧力室３２４や希釈液圧力室３３０の圧力が制御さ
れ、オリフィスプレート３２１上でインクと希釈液が混
合され、吐出することになる。
【０１８７】このとき、このプリントヘッドにおいて
は、オリフィスプレート３２１が撥液性を有する有機材
料フィルム３２１ａと接着剤層３２１ｂの２層よりな
り、撥液性の有機材料フィルム３２１ａがノズル開口面
側となるように配されているので、ノズル開口部周辺で
は有機材料フィルム３２１ａの撥水性によってインク付
着等が抑えられ、インクの混合、吐出が安定化し、正確
な記録画像が形成される。
は、オリフィスプレート３２１が撥液性を有する有機材
料フィルム３２１ａと接着剤層３２１ｂの２層よりな
り、撥液性の有機材料フィルム３２１ａがノズル開口面
側となるように配されているので、ノズル開口部周辺で
は有機材料フィルム３２１ａの撥水性によってインク付
着等が抑えられ、インクの混合、吐出が安定化し、正確
な記録画像が形成される。
【０１８８】このようなプリントヘッドを製造するに
は、射出成形法によってインクバッファタンク３２６、
インク供給路３２３、インク圧力室３２４、インク導入
部３２５に対応する第１の凹部３２６と、希釈液バッフ
ァタンク３２８、希釈液供給路３２９、希釈液圧力室３
３０、希釈液導入部３３１に対応する第２の凹部３３２
を有する樹脂部材を成形する。そして、この樹脂部材の
第１の凹部と第２の凹部が形成された側と反対側の面
に、撥液性の有機材料フィルム３２１ａ上に接着剤層３
２１ｂが形成されてなるオリフィスプレート３２１を熱
圧着する。そして、インク導入部３２５の底部に対して
エキシマレーザを厚さ方向に対して斜めに照射すること
で、この底部から液室形成部材３１５とオリフィスプレ
ート３２１を貫通するインク導入口３２７とインクノズ
ル３３６を形成する。続いて、希釈液導入部３３１の底
部に対してエキシマレーザを垂直に照射することで、こ
の底部から液室形成部材３１５とオリフィスプレート３
２１を貫通する希釈液導入口３３３と希釈液ノズル３３
７を形成する。
は、射出成形法によってインクバッファタンク３２６、
インク供給路３２３、インク圧力室３２４、インク導入
部３２５に対応する第１の凹部３２６と、希釈液バッフ
ァタンク３２８、希釈液供給路３２９、希釈液圧力室３
３０、希釈液導入部３３１に対応する第２の凹部３３２
を有する樹脂部材を成形する。そして、この樹脂部材の
第１の凹部と第２の凹部が形成された側と反対側の面
に、撥液性の有機材料フィルム３２１ａ上に接着剤層３
２１ｂが形成されてなるオリフィスプレート３２１を熱
圧着する。そして、インク導入部３２５の底部に対して
エキシマレーザを厚さ方向に対して斜めに照射すること
で、この底部から液室形成部材３１５とオリフィスプレ
ート３２１を貫通するインク導入口３２７とインクノズ
ル３３６を形成する。続いて、希釈液導入部３３１の底
部に対してエキシマレーザを垂直に照射することで、こ
の底部から液室形成部材３１５とオリフィスプレート３
２１を貫通する希釈液導入口３３３と希釈液ノズル３３
７を形成する。
【０１８９】この後、樹脂部材のオリフィスプレート３
２１が形成された側と反対側の面に、突起３３８，３３
９を有する振動板３１６、積層ピエゾ素子３１７，３１
８を接着し、インク液供給管３１９及び希釈液供給管３
２０を取り付けることでプリントヘッドが完成する。
２１が形成された側と反対側の面に、突起３３８，３３
９を有する振動板３１６、積層ピエゾ素子３１７，３１
８を接着し、インク液供給管３１９及び希釈液供給管３
２０を取り付けることでプリントヘッドが完成する。
【０１９０】以上、本発明に係るプリンタ装置に搭載さ
れるプリントヘッドの具体的な形態について説明した
が、プリントヘッドの構成はこれに限るものではない。
例えば、液室の形状や液を吐出させるための機構等は、
この種のプリントヘッドで採用されているものがいずれ
も適用可能である。また、熱圧着やレーザ加工等のプロ
セス条件も各種変更が可能である。
れるプリントヘッドの具体的な形態について説明した
が、プリントヘッドの構成はこれに限るものではない。
例えば、液室の形状や液を吐出させるための機構等は、
この種のプリントヘッドで採用されているものがいずれ
も適用可能である。また、熱圧着やレーザ加工等のプロ
セス条件も各種変更が可能である。
【０１９１】例えば、ここでは溌液性フィルム３４ａ，
１２４ａ，３０５ａ，３２１ａの材質として表面張力が
３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の材質を用いることとして説明
を行ったが、本発明においては溌液性フィルム３４ａ，
１２４ａ，３０５ａ，３２１ａの材質は、その全てが表
面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の材質により構成され
る必要はない。溌液性フィルム３４ａ，１２４ａ，３０
５ａ，３２１ａの少なくとも片面の表面張力が３１ｄｙ
ｎｅ／ｃｍ以下の材質により構成されていれば、オリフ
ィスプレートの形成方法において、原材料が液体状態の
溌液性材料を塗布する工程を用いないので、液室形成部
材側の面に不要な溌液性材料が付着してしまうことがな
く、同様の効果が得られる。
１２４ａ，３０５ａ，３２１ａの材質として表面張力が
３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の材質を用いることとして説明
を行ったが、本発明においては溌液性フィルム３４ａ，
１２４ａ，３０５ａ，３２１ａの材質は、その全てが表
面張力が３１ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の材質により構成され
る必要はない。溌液性フィルム３４ａ，１２４ａ，３０
５ａ，３２１ａの少なくとも片面の表面張力が３１ｄｙ
ｎｅ／ｃｍ以下の材質により構成されていれば、オリフ
ィスプレートの形成方法において、原材料が液体状態の
溌液性材料を塗布する工程を用いないので、液室形成部
材側の面に不要な溌液性材料が付着してしまうことがな
く、同様の効果が得られる。
【０１９２】また、ここでは、オリフィスプレート３
４，１２４を構成する親水性の有機材料フィルム６４，
１７４の材質として、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点
が２５０℃以下のフィルム（商品名ネオフレックス）を
使用した例を説明したが、図３１に示すような有機材料
フィルム１９１を用いても同様の効果が得られる。
４，１２４を構成する親水性の有機材料フィルム６４，
１７４の材質として、厚さが略５０μｍ、ガラス転移点
が２５０℃以下のフィルム（商品名ネオフレックス）を
使用した例を説明したが、図３１に示すような有機材料
フィルム１９１を用いても同様の効果が得られる。
【０１９３】すなわち、この図３１に示す有機材料フィ
ルム１９１は厚さがほぼ１２５μｍ、ガラス転移点が２
５０℃以上のデュポン社製のカプトン（商品名）よりな
る樹脂材料１９２の一面に、厚さがほぼ７μｍ、ガラス
転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなる樹脂材
料１９３が塗布されて構成されている。
ルム１９１は厚さがほぼ１２５μｍ、ガラス転移点が２
５０℃以上のデュポン社製のカプトン（商品名）よりな
る樹脂材料１９２の一面に、厚さがほぼ７μｍ、ガラス
転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなる樹脂材
料１９３が塗布されて構成されている。
【０１９４】この有機材料フィルム１９１の厚さは有機
材料フィルム６４，１７４の厚さよりも厚いので、オリ
フィスプレート３４及び１２４の強度を一段と確保する
ことができるとともに、ノズル４２の長さを長くするこ
とができるので、吐出されるインク液滴の方向性を高め
ることができる。
材料フィルム６４，１７４の厚さよりも厚いので、オリ
フィスプレート３４及び１２４の強度を一段と確保する
ことができるとともに、ノズル４２の長さを長くするこ
とができるので、吐出されるインク液滴の方向性を高め
ることができる。
【０１９５】特に２液混合型のオリフィスプレート１２
４において有機材料フィルム１９１を用いた場合には、
インク用ノズル１３２の傾斜角度に余裕をもたせること
ができるとともに、インク液室と希釈液室との間隔を容
易に広げることができるので、インク漏れ及び希釈液漏
れを確実に防止し得る。
４において有機材料フィルム１９１を用いた場合には、
インク用ノズル１３２の傾斜角度に余裕をもたせること
ができるとともに、インク液室と希釈液室との間隔を容
易に広げることができるので、インク漏れ及び希釈液漏
れを確実に防止し得る。
【０１９６】また、プリンタ装置の印字方式も図１に示
す構成によるものに限らず、図３２に示すライン型のプ
リンタ装置、図３３に示すドラム型のプリンタ装置であ
っても良い。なお、図中、図１に対応する部材の符号に
ついては、図１の符号と同一符号を使用した。
す構成によるものに限らず、図３２に示すライン型のプ
リンタ装置、図３３に示すドラム型のプリンタ装置であ
っても良い。なお、図中、図１に対応する部材の符号に
ついては、図１の符号と同一符号を使用した。
【０１９７】このうちライン型のプリンタ装置は、図示
しない多数のプリントヘッドがライン状に配置されてな
るラインヘッド２１２がドラム２０２の軸方向に固定し
て設けられている。このライン型のプリンタ装置におい
ては、ラインヘッド２１２が１行分の印字を同時に行う
ようになされており、一行分の印字が完了すると図中矢
印ｍで示す方向にドラム２０２を１行分だけ回転させて
次の行の印字を行うようになされている。この場合、全
ラインを一括して印字したり、複数ブロツクに分割した
り、１行おきに交互に印字する方法が考えられる。
しない多数のプリントヘッドがライン状に配置されてな
るラインヘッド２１２がドラム２０２の軸方向に固定し
て設けられている。このライン型のプリンタ装置におい
ては、ラインヘッド２１２が１行分の印字を同時に行う
ようになされており、一行分の印字が完了すると図中矢
印ｍで示す方向にドラム２０２を１行分だけ回転させて
次の行の印字を行うようになされている。この場合、全
ラインを一括して印字したり、複数ブロツクに分割した
り、１行おきに交互に印字する方法が考えられる。
【０１９８】また、ドラム回転型のプリンタ装置は、ド
ラム２０２が回転するとその回転に同期してプリントヘ
ッド部２０３からインクが吐出され、プリント紙２０１
上に画像が形成される。ドラム２０２が図中矢印ｍで示
す方向に１回転してプリント紙２０１上に円周方向に１
列の印刷が完了すると、送りねじ２０５が回転してプリ
ントヘッド部２０３を図中矢印Ｍ´で示す方向に１ピッ
チ分移動させ、次の列の印刷を行う。この場合、ドラム
２０２と送りねじ２０５を同時に回転させ、印刷しなが
らプリントヘッド部２０３を徐々に移動させる方法もあ
る。マルチノズルヘッドの場合や同じ場所を何度か印字
するような構成の場合は、ドラム２０２と送りねじ２０
５とを連動して同時に回転させながらスパイラル状の印
字を行う。
ラム２０２が回転するとその回転に同期してプリントヘ
ッド部２０３からインクが吐出され、プリント紙２０１
上に画像が形成される。ドラム２０２が図中矢印ｍで示
す方向に１回転してプリント紙２０１上に円周方向に１
列の印刷が完了すると、送りねじ２０５が回転してプリ
ントヘッド部２０３を図中矢印Ｍ´で示す方向に１ピッ
チ分移動させ、次の列の印刷を行う。この場合、ドラム
２０２と送りねじ２０５を同時に回転させ、印刷しなが
らプリントヘッド部２０３を徐々に移動させる方法もあ
る。マルチノズルヘッドの場合や同じ場所を何度か印字
するような構成の場合は、ドラム２０２と送りねじ２０
５とを連動して同時に回転させながらスパイラル状の印
字を行う。
【０１９９】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のプリンタ装置は、ノズルが形成されるノズル形成部
材として、撥液性有機フィルムがノズル開口部側に配さ
れた積層体を用いるので、ノズル形成部材の液室側に不
要な撥液性材料を付着させることなくノズル開口部周辺
に撥液性を付与することができる。したがって、ノズル
開口部周辺でのインク付着等が抑えられ、インクが安定
に吐出され、正確な記録画像が形成される。
明のプリンタ装置は、ノズルが形成されるノズル形成部
材として、撥液性有機フィルムがノズル開口部側に配さ
れた積層体を用いるので、ノズル形成部材の液室側に不
要な撥液性材料を付着させることなくノズル開口部周辺
に撥液性を付与することができる。したがって、ノズル
開口部周辺でのインク付着等が抑えられ、インクが安定
に吐出され、正確な記録画像が形成される。
【図１】本発明を適用したプリンタ装置の一例を模式的
に示す要部概略斜視図である。
に示す要部概略斜視図である。
【図２】本発明を適用したプリンタ装置の一例の印字及
び制御系のブロック図である。
び制御系のブロック図である。
【図３】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドを示す要部概略断面図である。
トヘッドを示す要部概略断面図である。
【図４】図３に示すプリンタ装置のインクバッファタン
クを示す要部概略平面図である。
クを示す要部概略平面図である。
【図５】本発明を適用したプリンタ装置の一例のプリン
トヘッドのインク圧力室の体積が増大した状態を示す要
部概略断面図である。
トヘッドのインク圧力室の体積が増大した状態を示す要
部概略断面図である。
【図６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、ステンレス部材上にレジ
ストを形成する工程を示す要部概略断面図である。
例を工程順に示すものであり、ステンレス部材上にレジ
ストを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、エッチングした状態を示
す要部概略断面図である。
例を工程順に示すものであり、エッチングした状態を示
す要部概略断面図である。
【図８】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、圧力室形成部材を形成す
る工程を示す要部概略断面図である。
例を工程順に示すものであり、圧力室形成部材を形成す
る工程を示す要部概略断面図である。
【図９】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、ステンレス部材に親水性
の有機材料フィルムを接着する工程を示す要部概略断面
図である。
例を工程順に示すものであり、ステンレス部材に親水性
の有機材料フィルムを接着する工程を示す要部概略断面
図である。
【図１０】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、親水性の有機材料フィ
ルムに溌液性の有機材料フィルムを接着する工程を示す
要部概略断面図である。
一例を工程順に示すものであり、親水性の有機材料フィ
ルムに溌液性の有機材料フィルムを接着する工程を示す
要部概略断面図である。
【図１１】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、積層フィルムにノズル
を形成する工程を示す要部概略断面図である。
一例を工程順に示すものであり、積層フィルムにノズル
を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図１２】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
一例を工程順に示すものであり、振動板を接着する工程
を示す要部拡大断面図である。
一例を工程順に示すものであり、振動板を接着する工程
を示す要部拡大断面図である。
【図１３】液室形成部材に接着する振動板の構成を示す
要部拡大断面図である。
要部拡大断面図である。
【図１４】本発明を適用したプリンタ装置の他の例の印
字及び制御系のブロック図である。
字及び制御系のブロック図である。
【図１５】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドの駆動回路を示す回路ブロック図である。
リントヘッドの駆動回路を示す回路ブロック図である。
【図１６】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドを示す要部概略断面図である。
リントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図１７】図１６に示すプリンタ装置のバッファタンク
を示す要部概略平面図である。
を示す要部概略平面図である。
【図１８】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室及び希釈液圧力室の体積が
増大した状態を示す要部概略断面図である。
リントヘッドのインク圧力室及び希釈液圧力室の体積が
増大した状態を示す要部概略断面図である。
【図１９】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドの駆動電圧の印加タイミングを示すチャー
トである。
リントヘッドの駆動電圧の印加タイミングを示すチャー
トである。
【図２０】本発明を適用したプリンタ装置の他の例のプ
リントヘッドのインク圧力室の体積が元の状態に戻ろう
とする様子を示す要部概略断面図である。
リントヘッドのインク圧力室の体積が元の状態に戻ろう
とする様子を示す要部概略断面図である。
【図２１】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、ステンレス部
材上にレジストを形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
さらに他の例を工程順に示すものであり、ステンレス部
材上にレジストを形成する工程を示す要部概略断面図で
ある。
【図２２】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、エッチングし
た状態を示す要部概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、エッチングし
た状態を示す要部概略断面図である。
【図２３】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、圧力室形成部
材を形成する工程を示す要部概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、圧力室形成部
材を形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図２４】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、液室形成部材
に親水性の有機材料フィルムを接着する工程を示す要部
概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、液室形成部材
に親水性の有機材料フィルムを接着する工程を示す要部
概略断面図である。
【図２５】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、親水性の有機
材料フィルムに溌液性の有機材料フィルムを接着する工
程を示す要部概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、親水性の有機
材料フィルムに溌液性の有機材料フィルムを接着する工
程を示す要部概略断面図である。
【図２６】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、積層フィルム
にノズルを形成する工程を示す要部概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、積層フィルム
にノズルを形成する工程を示す要部概略断面図である。
【図２７】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、振動板を接着
する工程を示す要部概略断面図である。
さらに他の例を工程順に示すものであり、振動板を接着
する工程を示す要部概略断面図である。
【図２８】液室形成部材に接着する振動板の構成を示す
要部概略断面図である。
要部概略断面図である。
【図２９】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
例のプリントヘッドを示す要部概略断面図である。
【図３０】本発明を適用したプリンタ装置のさらに他の
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
例のプリントヘッドを示す要部概略平面図である。
【図３１】親水性有機材料フィルムの他の例を示す要部
概略断面図である。
概略断面図である。
【図３２】本発明を適用したプリンタ装置の他の例を模
式的に示す要部概略斜視図である。
式的に示す要部概略斜視図である。
【図３３】本発明を適用したプリンタ装置の他の例を模
式的に示す要部概略斜視図である。
式的に示す要部概略斜視図である。
【図３４】従来のプリンタヘッドを示す要部概略断面図
である。
である。
３１，１２１，３０１，３１５ 液室形成部材、３４，
１２４ ３０５，３２１ オリフィスプレート、３４
ａ，１２４ａ，３０５ａ，３２１ａ 溌液性を有する有
機材料フィルム、４２，１３２，３１２，３３６ イン
クノズル、１４２，３３７ 希釈液ノズル
１２４ ３０５，３２１ オリフィスプレート、３４
ａ，１２４ａ，３０５ａ，３２１ａ 溌液性を有する有
機材料フィルム、４２，１３２，３１２，３３６ イン
クノズル、１４２，３３７ 希釈液ノズル
Claims (13)
- 【請求項１】 吐出液が導入される液室と、これに連通
する吐出ノズルとを少なくとも有し、吐出ノズルから吐
出液を吐出するプリントヘッドを有するプリンタ装置に
おいて、 上記吐出ノズルが、ノズル形成部材を貫通する貫通孔と
して形成され、 上記ノズル形成部材は、吐出液が吐出する側が撥液性有
機フィルムによって構成される積層体であることを特徴
とするプリンタ装置。 - 【請求項２】 上記吐出ノズルは、ノズル形成部材をレ
ーザ加工することで形成されることを特徴とする請求項
１記載のプリンタ装置。 - 【請求項３】 撥液性有機フィルムの厚さが、１０μｍ
以上であることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装
置。 - 【請求項４】 撥液性有機フィルムは、ポリイミド系材
料よりなることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装
置。 - 【請求項５】 ポリイミド系材料は、温度２３℃下で、
水中に２４時間浸漬した後の吸水率が０．４％以下であ
ることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置。 - 【請求項６】 撥液性有機フィルムを構成するポリイミ
ド系材料は、ポリイミドシロキサンを含む材料であるこ
とを特徴とする請求項５記載のプリンタ装置。 - 【請求項７】 撥液性有機フィルムは、四フッ化エチレ
ンと六フッ化プロピレンの共重合体であることを特徴と
する請求項１記載のプリンタ装置。 - 【請求項８】 積層フィルムのフィルム同士が、硬化温
度が１８０℃以下の接着剤によって接着されていること
を特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。 - 【請求項９】 液室が、ノズル形成部材側に開口してお
り、 ノズル形成部材の液室側が、表面張力が４０ｄｙｎｅ／
ｃｍ以上の親水性有機フィルムによって構成されている
ことを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。 - 【請求項１０】 親水性有機フィルムは、ポリイミド系
材料であることを特徴とする請求項９記載のプリンタ装
置。 - 【請求項１１】 液室が、樹脂の射出成形体によって形
成されており、 この射出成形体に、撥液性有機フィルムが、接着温度が
１８０℃以下の接着剤層によって接着されていることを
特徴とする請求項１記載のプリンタ装置。 - 【請求項１２】 ノズル形成部材に、第１の吐出ノズル
と第２の吐出ノズルが貫通孔として設けられ、第１のノ
ズルからの溶液と第２のノズルからの溶液が混合されて
吐出されることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装
置。 - 【請求項１３】 撥液性有機フィルムと、他のフィルム
を貼り合わせてノズル形成部材を作製する工程と、この
ノズル形成部材にレーザ加工によって貫通孔を形成する
ことによって吐出ノズルを形成する工程とを有すること
を特徴とするプリンタ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7613697A JPH10264408A (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | プリンタ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7613697A JPH10264408A (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | プリンタ装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10264408A true JPH10264408A (ja) | 1998-10-06 |
Family
ID=13596562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7613697A Abandoned JPH10264408A (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | プリンタ装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10264408A (ja) |
-
1997
- 1997-03-27 JP JP7613697A patent/JPH10264408A/ja not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040212 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060404 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20060605 |