JPH10114574A - 非酸化物性珪素セラミツクスの前駆体としてのSiCNゲル - Google Patents

非酸化物性珪素セラミツクスの前駆体としてのSiCNゲル

Info

Publication number
JPH10114574A
JPH10114574A JP9243503A JP24350397A JPH10114574A JP H10114574 A JPH10114574 A JP H10114574A JP 9243503 A JP9243503 A JP 9243503A JP 24350397 A JP24350397 A JP 24350397A JP H10114574 A JPH10114574 A JP H10114574A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gel
sicn
precursor
reaction
alkyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9243503A
Other languages
English (en)
Inventor
Ralf Riedel
ラルフ・リーデル
Andreas Dipl Chem Gabriel
アンドレアス・ガブリール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bayer AG
Original Assignee
Bayer AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bayer AG filed Critical Bayer AG
Publication of JPH10114574A publication Critical patent/JPH10114574A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0067Inorganic membrane manufacture by carbonisation or pyrolysis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/02Inorganic material
    • B01D71/0213Silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/0828Carbonitrides or oxycarbonitrides of metals, boron or silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/571Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/589Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/455Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08Specific temperatures applied
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/08Specific temperatures applied
    • B01D2323/081Heating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/12Specific ratios of components used

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非酸化物性珪素セラミックスの製造に対する
その使用することができる新規SiCNゲルの提供。 【解決手段】 シリルカルボジイミドR3Si−NCN
−SiR3(R=アルキル、アリール)とシランRSi
3(R=H、アルキル、アリール;X=F、Cl、B
r、I)とを反応させることにより得られるSiCNゲ
ル。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明はシリルカルボジイミドR3Si−
NCN−SiR3(R=アルキル、アリール)とシラン
RSiX3(R=H、アルキル、アリール;X=F、C
l、Br、I)とを反応させることにより得られる新規
SiCNゲル、および非酸化物性珪素セラミックスの製
造に対するその使用に関する。
【0002】重合体セラミックスの前駆体はドイツ特許
公告明細書第44 30 817号において公知であ
り、これはビス(トリアルキルシリル)カルボジイミド
を周期律表の第IIIA、IVAおよびVA族のハロゲ
ン化物と反応させることにより得られる。特に上記特許
にはビス(トリメチルシリル)カルボジイミドと四塩化
珪素との反応が記載されている。しかし、この場合には
SiCNゲルは生じない。さらに反応生成物を熱分解す
る間、最低400℃の温度から結晶相が現れることが観
察されている。完全に無定形のセラミックス物質をつく
ることはできない。
【0003】本発明においては、シリルカルボジイミド
と(アルキル)トリハロシランとを反応させることによ
り、安定なゲルの形で重合体のセラミックス前駆体を製
造することができ、このものは多孔度が低く、不活性雰
囲気または反応性の雰囲気中において熱分解することに
より約1450℃より低い温度において結晶化しない非
酸化物性珪素セラミックスに変えることができることが
見出された。
【0004】従って本発明によれば、シリルカルボジイ
ミドR3Si−NCN−SiR3(R=アルキル、アリー
ル)とシランRSiX3(R=H、アルキル、アリー
ル;X=F、Cl、Br、I)とを反応させることによ
り得られるSiCNゲルが提供される。さらに本発明に
おいては、セラミックスの粉末、被膜、成形品、繊維お
よび膜の製造、および多孔性基質の含浸に対する本発明
のSiCNゲルの使用に関する。
【0005】本発明のSiCNゲルの原料成分はR3
i−NCN−SR3型、但しここで記号Rはアルキルま
たはアリール基、特にメチル、エチルまたはフェニル基
である、のシリルカルボジイミド及びRSiX3型、但
しここでRは水素またはアルキルまたはアリール基、特
にメチル、エチル、プロピル、イソプロピルまたはフェ
ニル基であることができ、Xはフッ素、塩素、臭素また
はヨードを表す、の(アルキル)トリハロシランであ
る。本発明のSiCNゲルの製造は塩基を添加すること
によって触媒にすることができる。触媒としてはピリジ
ンを(アルキル)トリハロシランのモル量に関し0.0
1〜1.5当量の量で添加する。
【0006】本発明のSiCNゲルは下記の包括的な反
応式によって製造される。
【0007】
【化1】
【0008】本発明の特定の具体化例においては、原料
成分と触媒とを混合し、ゲル化点に達するまで混合物を
撹拌することにより本発明のSiCNゲルが製造され
る。反応時間は塩基の添加量、反応温度および撹拌速度
に依存する。一般に反応時間は10分〜15時間であ
る。反応温度は室温〜約80℃の値に設定することが有
利である。
【0009】他の具体化例においては、撹拌を行わずに
室温で反応を行う。必要な反応時間は当然長くなり、数
週間程度の長さになることがある。
【0010】これらの原料の反応は一般に添加物質なし
でも起こるが、本発明のSiCNゲルの製造は不活性溶
媒、例えばTHF、ジエチルエーテルまたはトルエン中
で行うこともできる。
【0011】本発明のSiCNゲルは製造後乾燥工程に
付され、ここで揮発性の大きな反応生成物、触媒および
随時使用される溶媒を除去する。乾燥は減圧下におい
て、室温またはそれよりも高い温度で行うことが好まし
い。 乾膠体が得られ、これは乾燥条件に依存して緻密な
または粉末の形で生じる。この乾膠体の特異な点は多孔
度が小さく、得られる表面積が1m2/gより、好まし
くは0.1m2/g(BET測定法により決定)よりも
小さいことである。
【0012】他の具体化例においては、乾燥工程の前に
本発明のSiCNゲルを最高54℃の温度で熟成し、こ
こで3次元の収縮工程を起こさせる。ゲル層の場合に
は、この工程の完了には数分から数時間かかるが、成形
品の場合にはこの工程は約5日ないし8週間続く。この
ようにして乾燥後透明な亀裂がない乾膠体の成形品を得
ることができる。
【0013】熟成/乾燥の前に、本発明のSiCNゲル
に対し極めて多様な成形工程、例えば注型、押し出し、
繊維の延伸等を行うことができる。この方法で、次の熱
分解の後で、セラミックスの被膜、一体となった成形品
および複合体、繊維または膜を得ることができる。
【0014】本発明のSiCNゲルはまた、例えばセラ
ミックスまたは炭素から成ることができる多孔体の基質
を含浸するのに適している。好適具体化例においては、
含浸すべき基質を原料成分の混合物中に導入し、次いで
触媒を加えて反応を開始させる。これによって本発明の
SiCNゲルがその場で生じ、基質の細孔を充填する。
【0015】本発明のSiCNゲルを非酸化物性珪素セ
ラミックスに変えるには、不活性雰囲気、例えばアルゴ
ン、ヘリウム、窒素、または反応性雰囲気、例えばアン
モニア中において熱分解を行う。これによって最終生成
物中の炭素含量を調節することができる。熱分解温度
は、無定形のセラミックスを製造する場合、最高140
0℃であることができる。約1450℃以上ではこの生
成物は結晶化する。
【0016】
【実施例】すべての反応は焼鈍したガラス器中において
乾燥アルゴンを流しながら行った。IR(KBr錠剤
法)およびRAMANの試料は保護雰囲気中でつくり測
定を行った。STAの測定(質量分光器Balzers
QMG420を付属したNetzsch 429)はヘ
リウム下において加熱速度2K/分で行った。
【0017】実施例 1 [MeSi(NCN)1.5n(ゲル本体) 20.0g(107ミリモル)のビス(トリメチルシリ
ル)−カルボジイミドを秤量して100mlの保護ガラ
スフラスコに入れ、10.7g(71.6ミリモル)の
メチルトリクロロシランに加える。566mg(10.
7ミリモル)のピリジンを加えた後、この混合物を90
℃の油浴の温度に加熱する。13時間後ゲル化点に到達
する。熟成の目的で反応器の装入物を45℃に保つ。熟
成工程終了後、残った液を注ぎ出し、保護ガス下におい
て50℃で残留した液相を蒸発させ、透明な成形品を得
た。
【0018】室温ないし1500℃の温度範囲において
同時的熱分析(STA)を行い、He中において熱的に
誘起される乾膠体のセラミックス化を検査した。これに
対しセラミックス収率は60%に達した。560〜59
0℃の温度範囲において、発熱反応に伴い20%の質量
減が測定された。その場で生じた分解生成物は、質量ス
ペクトルで測定し、主としてメタン(質量数=16)お
よびアセトニトリルまたはメチルイソニトリル(質量数
=41)並びにそのフラグメントであった。850〜1
120℃の間で10%の質量減が再び生じたが、これは
殆ど窒素の離脱によるものである。
【0019】FT−IR(KBr錠剤法):ν[c
-1]=2965(SiMe)、2152(NCN)、
1270(SiMe)、748(SiN);RAMA
N:ν[cm-1]=2974(SiMe)、2906
(SiMe)、1533(NCN);29Si−CP/M
AS NMR(300MHz):d=−62.3ppm;C2.5
33Si(103.16):計算値C29.11、N4
0.73、O0.00、Si27.23;検出値C28.7
5、N38.3、O0.28、Si26.9;熱分解生成
物(700℃)C19.0、N44.8、O0.26;熱
分解生成物(1200℃)C21.1、N34.4、O
0.32。
【0020】実施例 2 その場における被覆/含浸 溶媒としてトルエンを石英の容器に入れる。その中に多
孔性の基質を含浸するか、または被覆すべきセラミック
ス粉末をその中に懸濁させる。次いで化学量論的な関係
をもった原料成分および触媒を加え、この混合物を沸点
に加熱する。反応終了後、減圧下において液体成分を蒸
溜し、重合体で被覆された基質を1000℃で熱分解し
た。
【0021】本発明の主な特徴及び態様は次の通りであ
る。 1.シリルカルボジイミドR3Si−NCN−SiR
3(R=アルキル、アリール)とシランRSiX3(R=
H、アルキル、アリール;X=F、Cl、Br、I)と
を反応させることにより得られる新規SiCNゲル。
【0022】2.セラミックスの粉末、被膜、成形品、
繊維および膜の製造、および多孔性基質の含浸に対する
上記第1項記載のSiCNゲルの使用。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリルカルボジイミドR3Si−NCN
    −SiR3(R=アルキル、アリール)とシランRSi
    3(R=H、アルキル、アリール;X=F、Cl、B
    r、I)とを反応させることにより得られることを特徴
    とするSiCNゲル。
JP9243503A 1996-08-29 1997-08-26 非酸化物性珪素セラミツクスの前駆体としてのSiCNゲル Pending JPH10114574A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19634799.8 1996-08-29
DE19634799A DE19634799A1 (de) 1996-08-29 1996-08-29 SiCN-Gele als Vorstufen zu nichtoxidischen Silicium-Keramiken

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10114574A true JPH10114574A (ja) 1998-05-06

Family

ID=7803944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9243503A Pending JPH10114574A (ja) 1996-08-29 1997-08-26 非酸化物性珪素セラミツクスの前駆体としてのSiCNゲル

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5863462A (ja)
EP (1) EP0826628B1 (ja)
JP (1) JPH10114574A (ja)
DE (2) DE19634799A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010174133A (ja) * 2009-01-29 2010-08-12 Teijin Ltd ポリシリルカルボジイミド化合物およびその製造方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19706028C1 (de) * 1997-02-17 1998-07-02 Bayer Ag Neue Carbodiimid-Polymere als Vorstufen für C/N- und B/C/N-Werkstoffe
US6964932B2 (en) 2001-08-28 2005-11-15 Andreas Zerr Silicon carbonitride with spinel structure
US6774432B1 (en) * 2003-02-05 2004-08-10 Advanced Micro Devices, Inc. UV-blocking layer for reducing UV-induced charging of SONOS dual-bit flash memory devices in BEOL
US7118967B1 (en) 2003-02-19 2006-10-10 Spansion, Llc Protection of charge trapping dielectric flash memory devices from UV-induced charging in BEOL processing
US6989563B1 (en) 2004-02-02 2006-01-24 Advanced Micro Devices, Inc. Flash memory cell with UV protective layer
US7091088B1 (en) 2004-06-03 2006-08-15 Spansion Llc UV-blocking etch stop layer for reducing UV-induced charging of charge storage layer in memory devices in BEOL processing
US20060084566A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-20 General Electric Company Multiphase ceramic nanocomposites and method of making them
ATE496102T1 (de) * 2008-10-16 2011-02-15 Looser Holding Ag Antihaft-beschichtungen

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4594330A (en) * 1984-03-22 1986-06-10 Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. Fine amorphous powder and process for preparing fine powdery mixture of silicon nitride and silicon carbide
US4704299A (en) * 1985-11-06 1987-11-03 Battelle Memorial Institute Process for low temperature curing of sol-gel thin films
FR2640952B1 (ja) * 1988-11-25 1991-03-01 Rhone Poulenc Chimie
US5306555A (en) * 1991-09-18 1994-04-26 Battelle Memorial Institute Aerogel matrix composites
DE69427457T2 (de) * 1993-12-17 2001-09-27 Honda Motor Co Ltd Yttrium-enthaltendes Verbundpulver, gesinterter Verbundwerkstoff, und Verfahren zu dessen Herstellung
JP2793773B2 (ja) * 1994-05-13 1998-09-03 神鋼コベルコツール株式会社 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材
DE4430817C2 (de) * 1994-08-30 1997-02-13 Max Planck Gesellschaft Herstellung keramischer Materialien durch Pyrolyse von hochvernetzten polymeren Carbodiimiden als Keramikvorstufe sowie Keramikvorstufe
DE19502095A1 (de) * 1995-01-24 1996-07-25 Max Planck Gesellschaft Herstellung keramischer Überzüge durch reaktive Abscheidung von polymeren Keramikvorstufen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010174133A (ja) * 2009-01-29 2010-08-12 Teijin Ltd ポリシリルカルボジイミド化合物およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0826628A1 (de) 1998-03-04
DE59701060D1 (de) 2000-03-02
EP0826628B1 (de) 2000-01-26
DE19634799A1 (de) 1998-03-05
US5863462A (en) 1999-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR840001536B1 (ko) 폴리실란의 제조방법
KR850000130B1 (ko) 폴리(디실릴)실라잔 폴리머의 제조방법
US4543344A (en) Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3
US4540803A (en) Hydrosilazane polymers from [R3 Si]2 NH and HSiCl3
US5128494A (en) Hydridosiloxanes as precursors to ceramic products
JPS60226890A (ja) プレセラミツク有機シラザン重合体
JPH033696B2 (ja)
JPH068352B2 (ja) オルガノポリシラン及びSiC―繊維の製法
EP0295062B1 (en) Polysilacyclobutasilazanes
US4656300A (en) Process for a thermal treatment of a polysilazane containing .tbd.SiH groups and .tbd.Si--NH-- groups
US5268496A (en) Process for the preparation of polysilazanes
Gabriel et al. Synthesis and thermally induced ceramization of a non‐oxidic poly (methylsilsesquicarbodi‐imide) gel
US5010158A (en) Process for preparing polysiloxazane compositions and the products formed thereby
US4916200A (en) Silane modified polysilacyclobutasilazanes
JPH10114574A (ja) 非酸化物性珪素セラミツクスの前駆体としてのSiCNゲル
JPH03221531A (ja) プレセラミックポリマー
US4929742A (en) Silane modified polysilacyclobutasilazanes
US4742143A (en) Preceramic polymers derived from cyclic silazanes, and halosilanes and a method for their preparation
US4745205A (en) Novel preceramic polymers derived from cyclic silazanes and halogenated disilanes and a method for their preparation
KR940007325B1 (ko) 폴리실라메틸레노실란 중합체의 제조방법
US4694060A (en) Process for the treatment of polyorganosilazanes and/or of polyorgano(disilyl)silazanes by means of a treatment of polyorganosilazanes with a catalyst system comprising an ionic inorganic salt and a complexing compound
JPH06322133A (ja) ボラジン変性ヒドリドポリシラザンポリマーの生成方法
JPH049169B2 (ja)
Boury et al. Stoichiometric silicon carbide from borate‐catalyzed polymethylsilane–polyvinylsilane formulations
JPH07267620A (ja) 酸素不含または酸素含量の少ない炭化珪素成形体の製造方法