JPH068352B2 - オルガノポリシラン及びSiC―繊維の製法 - Google Patents
オルガノポリシラン及びSiC―繊維の製法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はオルガノポリシランの製法及びSiC−繊維の
製法に関する。
製法に関する。
Si−Si−結合を有する有機珪素化合物は、例えば米
国特許(US Re)第31447号、米国特許(US)第4
667046号明細書又はW.H.Attwell等によるJ.Organ
omet.Chem.5(1966)、594及び18(196
9)69に記載されており、それに関連する記載があ
る。
国特許(US Re)第31447号、米国特許(US)第4
667046号明細書又はW.H.Attwell等によるJ.Organ
omet.Chem.5(1966)、594及び18(196
9)69に記載されており、それに関連する記載があ
る。
本発明の課題は、オルガノポリシランの製法である。
この方法は、後記一般式IのSi−Si−結合含有有機
珪素化合物をホウ酸の存在で反応させることよりなる。
珪素化合物をホウ酸の存在で反応させることよりなる。
本発明の方法によれば、Si−結合ハロゲン原子を含有
しない有機ポリシランを製造することができ、この際、
出発化合物もハロゲン不含であるのが有利である。更
に、本発明の方法により、容易に、有機官能基をこのオ
ルガノポリシラン中に導入することができ、これによ
り、化学的及び物理的特性を広範に制御することができ
る。
しない有機ポリシランを製造することができ、この際、
出発化合物もハロゲン不含であるのが有利である。更
に、本発明の方法により、容易に、有機官能基をこのオ
ルガノポリシラン中に導入することができ、これによ
り、化学的及び物理的特性を広範に制御することができ
る。
ホウ酸は、大工業的製品であり当業者には公知である。
純度90〜100重量%殊に99〜100重量%のホウ
酸を使用するのが有利である。
純度90〜100重量%殊に99〜100重量%のホウ
酸を使用するのが有利である。
Si−Si−結合含有有機珪素化合物の反応は、有利に
20〜250℃殊に110〜180℃の温度で行なう。
20〜250℃殊に110〜180℃の温度で行なう。
使用Si−Si−結合含有有機珪素化合物に対して、ホ
ウ酸0.1〜10重量%を使用するのが有利である。
ウ酸0.1〜10重量%を使用するのが有利である。
Si−Si−結合含有有機珪素化合物は、一般式I: 〔式中R1、R3、R4及びR5は各々相互に無関係に水
素、アルキル−、アルケニル−、アリール−又はアルコ
キシ基を表わし、R2は水素又はアルキル基を表わし、
xは0.1〜0.9の範囲、yは0.01〜0.5の範囲内、zは0
〜0.5の範囲及びnは2〜1000の範囲であり、(x+y
+z)の合計は1である〕に相当する。
素、アルキル−、アルケニル−、アリール−又はアルコ
キシ基を表わし、R2は水素又はアルキル基を表わし、
xは0.1〜0.9の範囲、yは0.01〜0.5の範囲内、zは0
〜0.5の範囲及びnは2〜1000の範囲であり、(x+y
+z)の合計は1である〕に相当する。
有利なアルキル−、アルケニル−、アリール−及びアル
コキシ基は炭素原子数1〜6を有する。
コキシ基は炭素原子数1〜6を有する。
アルキル基の例は、メチル及びエチル基であり、アルケ
ニル基の例はビニル−及びアリル基であり、アリール基
の例はフェニルであり、アルコキシ基の例はメトキシ
−、エトキシ−及びプロポキシ基である。
ニル基の例はビニル−及びアリル基であり、アリール基
の例はフェニルであり、アルコキシ基の例はメトキシ
−、エトキシ−及びプロポキシ基である。
殊に、入手容易性に基づき、メチル−、メトキシ−及び
エトキシ基が有利である。
エトキシ基が有利である。
一般式II: 〔(SiMe)a(MeSiOR6)b(SiMe)c〕n 〔ここで、a:cは5:3〜3:5の範囲、Me:R6Oは
8:1〜25:1の範囲、nは2〜50の範囲であり、
(a+b+c)の合計は1であり、R6はメチル−又は
エチル基を表わす〕に相当するSi−Si−結合含有有
機珪素化合物が特に有利である。
8:1〜25:1の範囲、nは2〜50の範囲であり、
(a+b+c)の合計は1であり、R6はメチル−又は
エチル基を表わす〕に相当するSi−Si−結合含有有
機珪素化合物が特に有利である。
本発明方法の有利な実施形において、前記の一般式IIの
化合物に、一般式III: 〔式中R1、R2及びR3は前記のものを表わす〕の有機
珪素化合物を添加する。
化合物に、一般式III: 〔式中R1、R2及びR3は前記のものを表わす〕の有機
珪素化合物を添加する。
一般式IIIの有機珪素化合物は、市販製品であるかもし
くはW.Noll.Chemistry and Technology of Silicones,A
cademic Press,Orlands.1968、に記載のような簡単
な方法で容易に入手できるので、その製法の詳細は不要
であると考える。
くはW.Noll.Chemistry and Technology of Silicones,A
cademic Press,Orlands.1968、に記載のような簡単
な方法で容易に入手できるので、その製法の詳細は不要
であると考える。
一般式IIの使用化合物に対して、0.1〜40重量%の殊
に1〜10重量%のIII式の有機珪素化合物を使用する
のが有利である。
に1〜10重量%のIII式の有機珪素化合物を使用する
のが有利である。
一般式IIの化合物の例は、ジメトキシジメチルシラン、
ジメトキシメチルビニルシラン、ジメトキシジメチルフ
ェニルシラン、ジメトキシエチルメチルシラン、ジエト
キシジメチルシラン、ジエトキシメチルエチルシラン、
ジエトキシメチルフェニルシラン及びジエトキシメチル
ビニルシランである。
ジメトキシメチルビニルシラン、ジメトキシジメチルフ
ェニルシラン、ジメトキシエチルメチルシラン、ジエト
キシジメチルシラン、ジエトキシメチルエチルシラン、
ジエトキシメチルフェニルシラン及びジエトキシメチル
ビニルシランである。
殊にジメトキシメチルビニルシラン及びジメトキシメチ
ルフェニルシランを使用する。
ルフェニルシランを使用する。
本発明の方法は、不活性有機溶剤例えば芳香族又は脂肪
族炭化水素中で実施するのが有利である。芳香族炭化水
素の例は、トルオール、キシロール及びクモールであ
り、脂肪族炭化水素の例はオクタン、デカン及び種々の
沸点画分の石油エーテルである。
族炭化水素中で実施するのが有利である。芳香族炭化水
素の例は、トルオール、キシロール及びクモールであ
り、脂肪族炭化水素の例はオクタン、デカン及び種々の
沸点画分の石油エーテルである。
本発明方法の基礎となっている化学的反応は、次の反応
式A及びBにより進行する: A: ≡SiOR+≡SiOR+=BOH →≡SiOSi≡+=BOR+ROH B: ≡SiOR+=BOH →≡SiOB=+ROH この場合に揮発性成分即ちホウ酸エステル及びアルコー
ルが反応混合物から溜去される。
式A及びBにより進行する: A: ≡SiOR+≡SiOR+=BOH →≡SiOSi≡+=BOR+ROH B: ≡SiOR+=BOH →≡SiOB=+ROH この場合に揮発性成分即ちホウ酸エステル及びアルコー
ルが反応混合物から溜去される。
この反応を大気圧即ち1020hpa(絶対)で、又は約
1020hpa(絶対)で実施するのが有利である。しか
しながら、より高い又はより低い圧力も使用できる。
1020hpa(絶対)で実施するのが有利である。しか
しながら、より高い又はより低い圧力も使用できる。
本発明により製造された有機ポリシランは、SiC−含有
セラミック材料の製造法に使用される。
セラミック材料の製造法に使用される。
例えば、これは、炭化珪素を基体とする保護被覆の製造
法に使用される。金属又は非金属表面上のこの被覆は熱
的及び化学的に安定である。
法に使用される。金属又は非金属表面上のこの被覆は熱
的及び化学的に安定である。
炭化珪素を基体とする保護被覆の有利な製法では、本発
明により製造されたオルガノポリシランを保護すべき基
材上に施与し、700〜1500℃の範囲の温度で不活
性雰囲気下に、もしくは、200〜700℃の温度で反
応性雰囲気下に反応させる。
明により製造されたオルガノポリシランを保護すべき基
材上に施与し、700〜1500℃の範囲の温度で不活
性雰囲気下に、もしくは、200〜700℃の温度で反
応性雰囲気下に反応させる。
この関連での不活性雰囲気とは、不活性ガス例えばアル
ゴン又は窒素又は真空を意味する。反応性雰囲気とは空
気又は酸素含有ガス混合物を意味する。
ゴン又は窒素又は真空を意味する。反応性雰囲気とは空
気又は酸素含有ガス混合物を意味する。
不活性雰囲気での有利な温度は、900〜1300℃で
あり、反応性雰囲気では250〜600℃である。
あり、反応性雰囲気では250〜600℃である。
被覆の施与は、液状又はペースト状物質を基材上に施与
するために好適な任意の方法で、例えば浸漬、スプレ
ー、塗布、注入又はローラがけにより行なうことができ
る。
するために好適な任意の方法で、例えば浸漬、スプレ
ー、塗布、注入又はローラがけにより行なうことができ
る。
この施与の後に、この被覆を有利に10〜200℃の温
度で、不活性又は反応性の雰囲気中で15分〜2時間乾
燥させる。
度で、不活性又は反応性の雰囲気中で15分〜2時間乾
燥させる。
炭化珪素を基体とする保護被覆を得るための特に有利な
出発物質は、前記組成の次の成分より成る: 平均粒度分布0.1〜20μm有利に0.3〜5μmのSiC−
粉末10〜80重量%有利に20〜50重量%、有機溶
剤10〜80重量%有利に15〜60重量%、本発明に
より製造したオルガノポリシラン10〜80重量%有利
に15〜40重量%。
出発物質は、前記組成の次の成分より成る: 平均粒度分布0.1〜20μm有利に0.3〜5μmのSiC−
粉末10〜80重量%有利に20〜50重量%、有機溶
剤10〜80重量%有利に15〜60重量%、本発明に
より製造したオルガノポリシラン10〜80重量%有利
に15〜40重量%。
ここで「重量%」は、保護被覆の処方の全重量に関連す
る。有利な使用溶剤は、芳香族及び脂肪族炭化水素例え
ばトリオール、キシロール及び種々の沸点画分の石油エ
ーテルである。
る。有利な使用溶剤は、芳香族及び脂肪族炭化水素例え
ばトリオール、キシロール及び種々の沸点画分の石油エ
ーテルである。
ここで製造される保護被覆は、有利に厚さ2〜2000
μm殊に2〜50μmを有する。これは、殊に、金属、
セラミック、ガラスセラミック、繊維材料及び炭素上に
熱的及び化学的に安定な表面被覆を得るために使用する
ことができる。特に、CFC(カーボン繊維補強カーボ
ン)及びグラファイトの酸化保護、多孔性セラミック又
は繊維材料の表面封隙及び金属例えば鉄、鋼及び銅の腐
蝕防止が重要である。
μm殊に2〜50μmを有する。これは、殊に、金属、
セラミック、ガラスセラミック、繊維材料及び炭素上に
熱的及び化学的に安定な表面被覆を得るために使用する
ことができる。特に、CFC(カーボン繊維補強カーボ
ン)及びグラファイトの酸化保護、多孔性セラミック又
は繊維材料の表面封隙及び金属例えば鉄、鋼及び銅の腐
蝕防止が重要である。
本発明により製造されたオルガノポリシランは、更に、
SiC−繊維の製造法で使用される。炭化珪素繊維及び金
属有機ポリマーからのその製造法は公知である。これ
は、ポリシラン、ポリカルボシラン及びポリシラザンか
ら製造される。すべての方法に共通して、適当なポリマ
ーの紡糸に、引続く不活性ガス下又は真空中での高熱分
解を伴う。
SiC−繊維の製造法で使用される。炭化珪素繊維及び金
属有機ポリマーからのその製造法は公知である。これ
は、ポリシラン、ポリカルボシラン及びポリシラザンか
ら製造される。すべての方法に共通して、適当なポリマ
ーの紡糸に、引続く不活性ガス下又は真空中での高熱分
解を伴う。
SiC−繊維を製造するための有利な方法では、本発明に
より製造されたオルガノポリシランを紡糸して糸にし、
不活性雰囲気下に又は真空中で800〜1300℃の範
囲の温度で反応させる。
より製造されたオルガノポリシランを紡糸して糸にし、
不活性雰囲気下に又は真空中で800〜1300℃の範
囲の温度で反応させる。
有利な温度は、1000〜1150℃の範囲にあり、有
利な不活性ガスはアルゴン及び窒素である。
利な不活性ガスはアルゴン及び窒素である。
紡糸は公知方法で、例えば乾式紡糸、湿式紡糸又は融解
紡糸によるか又は有利に融解紡糸により実施される。こ
の場合に、融液から有利に平均直径5〜300μmの繊
維を紡糸し、熱、光例えばUV−光、水素及び/又は酸
素殊に空気の作用により網状化させる。この網状化され
た繊維は、不活性ガス又は空気中で、50〜400℃の
温度で延伸させることができる。
紡糸によるか又は有利に融解紡糸により実施される。こ
の場合に、融液から有利に平均直径5〜300μmの繊
維を紡糸し、熱、光例えばUV−光、水素及び/又は酸
素殊に空気の作用により網状化させる。この網状化され
た繊維は、不活性ガス又は空気中で、50〜400℃の
温度で延伸させることができる。
本発明により製造されたオルガノポリシランに、SiC−
繊維の製造法では、一般式IV: R7O〔(R7O)2TiO〕STi(OR7)3 〔式中R7はアルキル基を表わし、sは1〜100の範囲
内の値である〕の化合物0.1〜30重量%(使用オルガ
ノポリシランに対して)有利に1〜10重量%を添加す
ることができる。
繊維の製造法では、一般式IV: R7O〔(R7O)2TiO〕STi(OR7)3 〔式中R7はアルキル基を表わし、sは1〜100の範囲
内の値である〕の化合物0.1〜30重量%(使用オルガ
ノポリシランに対して)有利に1〜10重量%を添加す
ることができる。
一般式IVの化合物の製造は公知であり、例えばD.C.Brad
ley、R.C.Mehrotra及びD.P.GaurのMetal Alkoxides,Ac
ademic Press Inc.London,1978に記載されてい
る。
ley、R.C.Mehrotra及びD.P.GaurのMetal Alkoxides,Ac
ademic Press Inc.London,1978に記載されてい
る。
一般式IVの有利な基R7は、ブチル基である。一般式IVの
化合物の添加の際に、次のように実施する:有利に、有
機溶剤中にオルガノポリシランを溶かし、一般式IVの化
合物を添加し、溶剤を再び除去する。有利な溶剤は、芳
香族又は脂肪族炭化水素例えばトリオール、キシロール
及び種々の沸点画分の石油エーテル1〜99重量%(使
用オルガノポリシランに対して)、殊に30〜60重量
%の量である。溶剤の除去は、有利に100〜230℃
の範囲の温度で、0.1〜10mバールの範囲の圧力で行
なう。
化合物の添加の際に、次のように実施する:有利に、有
機溶剤中にオルガノポリシランを溶かし、一般式IVの化
合物を添加し、溶剤を再び除去する。有利な溶剤は、芳
香族又は脂肪族炭化水素例えばトリオール、キシロール
及び種々の沸点画分の石油エーテル1〜99重量%(使
用オルガノポリシランに対して)、殊に30〜60重量
%の量である。溶剤の除去は、有利に100〜230℃
の範囲の温度で、0.1〜10mバールの範囲の圧力で行
なう。
SiC−繊維は、主として繊維結合加工材料、有利に金属
例えばアルミニウム及びチタン又はセラミック材料例え
ば炭化珪素中で使用される。
例えばアルミニウム及びチタン又はセラミック材料例え
ば炭化珪素中で使用される。
本発明により製造されたオルガノポリシランは、更に、
多孔性炭化珪素セラミックの製造法で使用される。
多孔性炭化珪素セラミックの製造法で使用される。
多孔性SiC−セラミックの有利な製法では、本発明によ
り製造されたオルガノポリシランにSiC−粉末を混合
し、圧縮して成形体とし、不活性雰囲気中で又は真空中
で、700〜2200℃の範囲の温度で反応させる。
り製造されたオルガノポリシランにSiC−粉末を混合
し、圧縮して成形体とし、不活性雰囲気中で又は真空中
で、700〜2200℃の範囲の温度で反応させる。
有利な温度は、900〜1500℃の範囲にあり、有利
なSiC−粉末は、平均粒径0.1〜100μm殊に0.4〜5
0μmを有する。SiC−粉末25〜95重量%(使用オ
ルガノポリシランに対して)殊に50〜80重量%を使
用するのが有利である。
なSiC−粉末は、平均粒径0.1〜100μm殊に0.4〜5
0μmを有する。SiC−粉末25〜95重量%(使用オ
ルガノポリシランに対して)殊に50〜80重量%を使
用するのが有利である。
オルガノポリシランとSiC−粉とよりなる混合物に、な
お圧縮助剤殊に流動助剤を0.01〜5重量%(使用SiC
−粉末に対して)殊に0.2〜1重量%の量で添加するの
が有利である。流動助剤は、例えばAldinger、Kalzによ
るAngew.Chemie 5、381、(1987)に記載され
ている。殊に、グリセリン、ステアリン酸アンモニウム
及びポリエチレングリコールを使用する。
お圧縮助剤殊に流動助剤を0.01〜5重量%(使用SiC
−粉末に対して)殊に0.2〜1重量%の量で添加するの
が有利である。流動助剤は、例えばAldinger、Kalzによ
るAngew.Chemie 5、381、(1987)に記載され
ている。殊に、グリセリン、ステアリン酸アンモニウム
及びポリエチレングリコールを使用する。
オルガノポリシランとSiC−粉末及び場合によっては圧
縮助剤との混合の際に、有利にオルガノポリシランを有
機溶剤中に溶かし、他の成分と混合する。有利な溶剤
は、芳香族又は脂肪族炭化水素例えば有利に10〜99
重量%(混合物に対して)殊に35〜55重量%の量で
のトリオール、キシロール及び種々の沸点画分の石油エ
ーテルである。引続き、溶剤を有利に50〜200℃の
温度及び0.1〜10mバールの圧力で除去する。残る残
分を粉砕し、篩別する。こうして得た最大粒径500μ
m殊に200μmの粉末を圧縮機を用いて場合によって
は、温度の作用下に圧縮して成形体にする。これは、不
活性ガス、空気又は真空中で行なうことができる。
縮助剤との混合の際に、有利にオルガノポリシランを有
機溶剤中に溶かし、他の成分と混合する。有利な溶剤
は、芳香族又は脂肪族炭化水素例えば有利に10〜99
重量%(混合物に対して)殊に35〜55重量%の量で
のトリオール、キシロール及び種々の沸点画分の石油エ
ーテルである。引続き、溶剤を有利に50〜200℃の
温度及び0.1〜10mバールの圧力で除去する。残る残
分を粉砕し、篩別する。こうして得た最大粒径500μ
m殊に200μmの粉末を圧縮機を用いて場合によって
は、温度の作用下に圧縮して成形体にする。これは、不
活性ガス、空気又は真空中で行なうことができる。
ここで得られる多孔性珪素セラミックは、殊にフィルタ
ー工業で使用される。使用SiC−粉末の粒径及び粒度分
布及びSiC−粉末対オルガノポリシランの比により、セ
ラミック中の孔度及び孔度分布を調節することができ
る。SiC−フィルタープレートの利点の1つは、有機残
分を酸化により、容易に除去することができ、この際、
セラミックフィルターは目づまりしないことである。
ー工業で使用される。使用SiC−粉末の粒径及び粒度分
布及びSiC−粉末対オルガノポリシランの比により、セ
ラミック中の孔度及び孔度分布を調節することができ
る。SiC−フィルタープレートの利点の1つは、有機残
分を酸化により、容易に除去することができ、この際、
セラミックフィルターは目づまりしないことである。
オルガノメトキシポリシラン溶液の製造1,1,2−ト
リメチルトリメトキシジシラン940gと1,1,2,
2−テトラメトキシジメチルジシラン60gとからの混
合物は、ナトリウムメチラート3gの添加の後に25℃
から95℃まで昇温した。引続きこの混合物を170℃
まで加熱すると、メチルトリメトキシシランとジメチル
ジメトキシシランとからの混合物755gが溜出した。
245gの残分を沸点範囲170〜200℃の石油エー
テル420g中に溶かした。
リメチルトリメトキシジシラン940gと1,1,2,
2−テトラメトキシジメチルジシラン60gとからの混
合物は、ナトリウムメチラート3gの添加の後に25℃
から95℃まで昇温した。引続きこの混合物を170℃
まで加熱すると、メチルトリメトキシシランとジメチル
ジメトキシシランとからの混合物755gが溜出した。
245gの残分を沸点範囲170〜200℃の石油エー
テル420g中に溶かした。
前記の処方と同様にして、次の反応を実施し、ここで、
Aには実験の系番号、Bには1,1,2−トリメチルト
リメトキシジシランの量(g)を、Cには1,1,2,2
−テトラメトキシジメチルジシランの量(g)を、Dには
ナトリウムメチラートの量(g)を、Eには反応温度
(℃)を、Fには溜出物の量(g)を、Gには残分の量(g)
を、Hには石油エーテルの量(g)を示した。
Aには実験の系番号、Bには1,1,2−トリメチルト
リメトキシジシランの量(g)を、Cには1,1,2,2
−テトラメトキシジメチルジシランの量(g)を、Dには
ナトリウムメチラートの量(g)を、Eには反応温度
(℃)を、Fには溜出物の量(g)を、Gには残分の量(g)
を、Hには石油エーテルの量(g)を示した。
例2 オルガノエトキシポリシラン溶液の製造 1,1,2−トリメチルトリエトキシジシラン140g
及び1,1,2,2−テトラエトキシジメチルジシラン
140gからの混合物は、ナトリウムメチラート1.5g
の添用の後に、25℃から80℃まで昇温する。引続
き、この混合物を180℃まで加熱すると、この際、メ
チルトリエトキシシランとジメチルジエトキシシランと
からの混合物190gが溜出する。90gの残分を沸点
範囲170〜200℃の石油エーテル90g中に溶かし
た。
及び1,1,2,2−テトラエトキシジメチルジシラン
140gからの混合物は、ナトリウムメチラート1.5g
の添用の後に、25℃から80℃まで昇温する。引続
き、この混合物を180℃まで加熱すると、この際、メ
チルトリエトキシシランとジメチルジエトキシシランと
からの混合物190gが溜出する。90gの残分を沸点
範囲170〜200℃の石油エーテル90g中に溶かし
た。
例3 例1によるポリシラン溶液450gにホウ酸(純粋、結
晶)6gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度
で3時間保持した。同時に、ホウ酸メチルエステル、メ
タノール及び石油エーテルからなる溜出物150gを徐
々に蒸留させた。160℃及び0.8mバールで溶剤の除
去の後に、軟化点80℃のオルガノポリシランが得られ
た。
晶)6gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度
で3時間保持した。同時に、ホウ酸メチルエステル、メ
タノール及び石油エーテルからなる溜出物150gを徐
々に蒸留させた。160℃及び0.8mバールで溶剤の除
去の後に、軟化点80℃のオルガノポリシランが得られ
た。
前記の処方と同様に、次に反応を行なった。ここで、A
には実験の系統番号を、Bには使用オルガノポリシラン
の量(g)を、Cにはポリシラン溶液の系統番号を、Dに
はホウ酸の量(g)を、Eには溜出物の量(g)を、Fには軟
化点(℃)を示した。
には実験の系統番号を、Bには使用オルガノポリシラン
の量(g)を、Cにはポリシラン溶液の系統番号を、Dに
はホウ酸の量(g)を、Eには溜出物の量(g)を、Fには軟
化点(℃)を示した。
例4 例2によるオルガノポリシラン溶液85gにメチルジメ
トキシビニルシラン4.6g及びホウ酸(純粋、結晶)3
gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度で20
時間保持する。同時にゆっくり、ホウ酸エステル、相応
するアルコール及び石油エーテルより成る溜出物30g
を取り出した。150℃及び0.2mバールで溶剤の除去
の後に、軟化点>260℃を有するオルガノポリシラン
35gが得られた。
トキシビニルシラン4.6g及びホウ酸(純粋、結晶)3
gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度で20
時間保持する。同時にゆっくり、ホウ酸エステル、相応
するアルコール及び石油エーテルより成る溜出物30g
を取り出した。150℃及び0.2mバールで溶剤の除去
の後に、軟化点>260℃を有するオルガノポリシラン
35gが得られた。
例5 例1で製造したオルガノポリシラン溶液510gに、メチ
ルジメトキシフェニルシラン40g及びホウ酸(純粋、
結晶)15gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この
温度に5時間保持した。同時に、ホウ酸メチルエステ
ル、メタノール及び石油エーテルよりなる溜出物150
gを取り出した。170℃及び0.2mバールでの溶剤の
除去の後に、軟化点70℃のオルガノポリシラン175
gが得られた。
ルジメトキシフェニルシラン40g及びホウ酸(純粋、
結晶)15gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この
温度に5時間保持した。同時に、ホウ酸メチルエステ
ル、メタノール及び石油エーテルよりなる溜出物150
gを取り出した。170℃及び0.2mバールでの溶剤の
除去の後に、軟化点70℃のオルガノポリシラン175
gが得られた。
例6 例1により得られたオルガノポリシラン溶液530gに
メチルジメトキシビニルシラン30g、メチルジメトキ
シフェニルシラン30g及びホウ酸(純粋、結晶)25
gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度で2時
間保持する。同時にホウ酸エステル、メタノール及び石
油エーテルよりなる溜出物170gを取り出した。17
0℃及び0.8mバールで溶剤の除去の後に、軟化点60
℃のオルガノポリシラン155gが得られた。
メチルジメトキシビニルシラン30g、メチルジメトキ
シフェニルシラン30g及びホウ酸(純粋、結晶)25
gを加え、徐々に環流温度まで加熱し、この温度で2時
間保持する。同時にホウ酸エステル、メタノール及び石
油エーテルよりなる溜出物170gを取り出した。17
0℃及び0.8mバールで溶剤の除去の後に、軟化点60
℃のオルガノポリシラン155gが得られた。
前記と同様にして、次の反応を実施した:ここでAには
実験の番号を、Bには使用オルガノポリシランの量(g)
を、Cにはポリシラン溶液の系番号を、Dにはホウ酸の
量(g)を、Eにはメチルジメトキシビニルシアンの量(g)
を、Fにはメチルジメトキシフェニルシランの量(g)
を、Gには溜出物の量(g)を、Hには軟化点(℃)を示
した。
実験の番号を、Bには使用オルガノポリシランの量(g)
を、Cにはポリシラン溶液の系番号を、Dにはホウ酸の
量(g)を、Eにはメチルジメトキシビニルシアンの量(g)
を、Fにはメチルジメトキシフェニルシランの量(g)
を、Gには溜出物の量(g)を、Hには軟化点(℃)を示
した。
例7 例3、5又は6で製造した60〜110℃の範囲の軟化
点を有するオルガノポリシラン120gに、沸点画分17
0〜200℃の石油エーテル120g中でポリチタンブ
チレート6gを加え、引続き、110℃に30分間加熱
した。引続き溶剤を170℃及び0.2mバールで除去し
た。こうして得たポリマーは有機溶剤中に可溶であり、
80〜130℃の範囲の軟化点を有する。300μm−
ノズルを有する融解紡糸装置中でこのポリマーを140
〜170℃及び6〜10バールのアルゴン圧で紡糸し、
この際、引出し速度は15〜100m/minの範囲であ
った。紡糸ノズルから出る際に、この繊維は青灰色、不
透明であった。次いで、繊維を、光及び空気の下で24
時間貯蔵し、この際、これは、無色かつ透明であった。
こうして得られた繊維は、良好な引裂き強度及び可撓性
を示した。この繊維をアルゴン気下に1200℃に加熱
し、この温度で20分保持した。良好な可撓性及び引張
り強度のSiC−繊維が得られた。
点を有するオルガノポリシラン120gに、沸点画分17
0〜200℃の石油エーテル120g中でポリチタンブ
チレート6gを加え、引続き、110℃に30分間加熱
した。引続き溶剤を170℃及び0.2mバールで除去し
た。こうして得たポリマーは有機溶剤中に可溶であり、
80〜130℃の範囲の軟化点を有する。300μm−
ノズルを有する融解紡糸装置中でこのポリマーを140
〜170℃及び6〜10バールのアルゴン圧で紡糸し、
この際、引出し速度は15〜100m/minの範囲であ
った。紡糸ノズルから出る際に、この繊維は青灰色、不
透明であった。次いで、繊維を、光及び空気の下で24
時間貯蔵し、この際、これは、無色かつ透明であった。
こうして得られた繊維は、良好な引裂き強度及び可撓性
を示した。この繊維をアルゴン気下に1200℃に加熱
し、この温度で20分保持した。良好な可撓性及び引張
り強度のSiC−繊維が得られた。
例8(参考例) 例3、4、5又は6により製造したオルガノポリシラン
100gに、沸点画分170〜200℃の石油エーテル2
00g、ステアリン酸アンモニウム0.5g、グリセリン
0.5g及び炭化珪素粉末を加え、激しく攪拌した。引続
き、180℃及び0.2mバールで溶剤を除去し、固体残分を
ミルを用いて粉砕した。こうして得た最大粒径200μ
mを有する粉末を圧縮型中に充填し、600Kニュート
ンの圧力で20秒間圧縮した。引続き、この成形体をア
ルゴン充填炉内で1300℃に加熱し、この温度で90分保
持した。この方法で製造したセラミックプレートは1.5
〜1.9g/cm3の密度及び高い強度を有する。
100gに、沸点画分170〜200℃の石油エーテル2
00g、ステアリン酸アンモニウム0.5g、グリセリン
0.5g及び炭化珪素粉末を加え、激しく攪拌した。引続
き、180℃及び0.2mバールで溶剤を除去し、固体残分を
ミルを用いて粉砕した。こうして得た最大粒径200μ
mを有する粉末を圧縮型中に充填し、600Kニュート
ンの圧力で20秒間圧縮した。引続き、この成形体をア
ルゴン充填炉内で1300℃に加熱し、この温度で90分保
持した。この方法で製造したセラミックプレートは1.5
〜1.9g/cm3の密度及び高い強度を有する。
例9(参考例) 例3、4、5又は6により製造したオルガノポリシラン
160gに沸点画分170〜200℃の石油エーテル2
50g及び最大粒径20μmの炭化珪素粉末75gと混
合し、激しく攪拌した。この混合物は、スプレー、刷毛
塗り、浸漬又はドクタ塗りによる施与に好適である。
160gに沸点画分170〜200℃の石油エーテル2
50g及び最大粒径20μmの炭化珪素粉末75gと混
合し、激しく攪拌した。この混合物は、スプレー、刷毛
塗り、浸漬又はドクタ塗りによる施与に好適である。
CFC(カーボン繊維補強カーボン)又はグラファイトに
よりなる試験棒にこの組成物を塗布し、炉内でアルゴン
吹き込みのもとで1100℃に加熱し、この温度で1.5
時間保持した。冷却後にこの棒上に一様な堅牢付着性炭
化珪素被覆が生じた。
よりなる試験棒にこの組成物を塗布し、炉内でアルゴン
吹き込みのもとで1100℃に加熱し、この温度で1.5
時間保持した。冷却後にこの棒上に一様な堅牢付着性炭
化珪素被覆が生じた。
例10(参考例) 鉄、鋼及び銅よりなる試験棒を使用し、高熱分解温度8
00℃にした点を変えて、例9を繰り返した。冷却後
に、一様な固着性炭化珪素被覆が得られた。
00℃にした点を変えて、例9を繰り返した。冷却後
に、一様な固着性炭化珪素被覆が得られた。
例11(参考例) 加熱温度1℃/minで空気下に、300℃まで加熱する
ことを変えて、例9及び例10を繰り返した。冷却後
に、試験棒上に一様な亀裂のない、良好な付着性の、疎
水性で弾性の被覆が生じた。
ことを変えて、例9及び例10を繰り返した。冷却後
に、試験棒上に一様な亀裂のない、良好な付着性の、疎
水性で弾性の被覆が生じた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 D01F 9/10 A 7199−3B (56)参考文献 特開 昭57−34133(JP,A) 特開 昭53−81727(JP,A) 特公 昭57−26608(JP,B2) 特公 昭57−38548(JP,B2)
Claims (3)
- 【請求項1】オルガノポリシランを製造するため、式
I: [式中R1、R3、R4及びR5は相互に無関係に水素、ア
ルキル基、アルケニル基、アリール基又はアルコキシ基
を表わし、R2は水素又はアルキル基を表わし、xは
0.1〜0.9の範囲内であり、yは0.01〜0.5
の範囲内であり、zは0〜0.5の範囲内であり、nは
2〜1000の範囲内であり、但し(x+y+z)の合
計は1である]のSi−Si−結合含有有機珪素化合物
を、使用Si−Si−結合含有有機珪素化合物に対して
0.1〜10重量%のホウ酸の存在で、反応させること
を特徴とする、オルガノポリシランの製法。 - 【請求項2】一般式III: [式中R1及びR3は各々独立して水素、アルキル−、ア
ルケニル−、アリール−又はアルコキシ基を表わし、R
2は水素又はアルキル基を表わす]の有機珪素化合物を
添加する、請求項1記載の方法。 - 【請求項3】請求項1又は2記載の方法でオルガノポリ
シランを製造し、このオルガノポリシランを紡糸し、不
活性雰囲気下に又は真空中で800〜1300℃の温度
で反応させることを特徴とするSiC−繊維の製法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3811567A DE3811567A1 (de) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | Verfahren zur herstellung von organopolysilanen |
DE3811567.0 | 1988-04-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0211635A JPH0211635A (ja) | 1990-01-16 |
JPH068352B2 true JPH068352B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=6351494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1087156A Expired - Lifetime JPH068352B2 (ja) | 1988-04-07 | 1989-04-07 | オルガノポリシラン及びSiC―繊維の製法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4952658A (ja) |
EP (1) | EP0336404B1 (ja) |
JP (1) | JPH068352B2 (ja) |
DE (2) | DE3811567A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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DE4020828A1 (de) * | 1990-06-29 | 1992-01-02 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur herstellung von organopolysilanen |
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DE4036988A1 (de) * | 1990-11-20 | 1992-05-21 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zur herstellung von metallopolysilanen und deren verwendung |
FR2685693B1 (fr) * | 1991-12-30 | 1994-06-03 | Europ Propulsion | Procede de realisation d'une protection contre l'oxydation de produits en materiau composite, et produits ainsi proteges. |
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DE4339478A1 (de) * | 1993-11-19 | 1995-05-24 | Wacker Chemie Gmbh | Organopolysilan/Alkenylsiloxan-Copolymere |
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CN101346417B (zh) * | 2006-01-19 | 2012-01-25 | 陶氏康宁公司 | 有机硅树脂膜、其制备方法和纳米材料填充的有机硅组合物 |
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EP2118203B1 (en) * | 2007-02-22 | 2012-05-23 | Dow Corning Corporation | Reinforced silicone resin film and method of preparing same |
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1988
- 1988-04-07 DE DE3811567A patent/DE3811567A1/de not_active Withdrawn
-
1989
- 1989-02-21 US US07/312,275 patent/US4952658A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-06 DE DE58908126T patent/DE58908126D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-06 EP EP89106015A patent/EP0336404B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-04-07 JP JP1087156A patent/JPH068352B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0336404A3 (de) | 1991-07-17 |
DE3811567A1 (de) | 1989-10-19 |
JPH0211635A (ja) | 1990-01-16 |
DE58908126D1 (de) | 1994-09-08 |
EP0336404A2 (de) | 1989-10-11 |
US4952658A (en) | 1990-08-28 |
EP0336404B1 (de) | 1994-08-03 |
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