JPH10112019A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体及びその製造方法

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JPH10112019A
JPH10112019A JP28596396A JP28596396A JPH10112019A JP H10112019 A JPH10112019 A JP H10112019A JP 28596396 A JP28596396 A JP 28596396A JP 28596396 A JP28596396 A JP 28596396A JP H10112019 A JPH10112019 A JP H10112019A
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JP
Japan
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magnetic recording
layer
magnetic
intermediate layer
recording medium
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Withdrawn
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JP28596396A
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English (en)
Inventor
Minoru Ichijo
稔 一條
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Maxell Holdings Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐腐食性に優れた磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも3
層を積層してなる磁気記録媒体において、前記非磁性中
間層の主成分が希土類元素の酸化物であることを特徴と
する磁気記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は強磁性金属を主成分
とする薄膜型磁気記録媒体に関する。更に詳細には、本
発明は優れた耐食性を有する薄膜型磁気記録媒体に関す
る。
【0002】
【従来の技術】強磁性金属からなる薄膜を磁気記録層と
する磁気記録媒体は高密度記録特性に優れるため、ハー
ドディスクやデジタルVTR用の記録膜として使用され
ている。しかし、これら強磁性金属を磁気記録層とする
磁気記録媒体は、バインダを含まず、金属が直接外気と
接触するために腐食し易いという問題があった。この点
を改善するために、磁気記録層表面の酸化処理や各種防
錆剤を磁気記録層表面に塗布すること、あるいは無機質
の保護材を磁気記録層上に形成すること等が提案されて
おり、耐腐食性の向上に効果を挙げているが、その効果
は必ずしも十分とは言えない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、上記従来品が持っていた腐食し易いという問題を解
決し、以て信頼性に優れた磁気記録媒体を提供すること
である。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記課題は、非磁性基体
上に強磁性金属薄膜からなる磁気記録層、非磁性中間
層、上部保護層の少なくとも3層を積層してなる磁気記
録媒体において、前記非磁性中間層の主成分が希土類元
素の酸化物であることを特徴とする磁気記録媒体により
解決される。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明によれば、非磁性中間層の
主成分を希土類元素の酸化物とすることにより磁気記録
媒体の耐腐食性を著しく向上させることができる。
【0006】強磁性金属薄膜磁気記録層の腐食には表面
が均一に腐食する全面腐食と、局所的に腐食が進行する
点食とがある。全面腐食は上部保護層により抑制される
が、点食は上部保護層の微細な欠陥から進行するため抑
制が困難であり、場合によっては毛管現象により水蒸気
が濃縮され、腐食を促進することさえある。
【0007】一旦点食が生成すると薄膜磁気記録層の主
成分であるFeやCoは2価の水酸化物となり、腐食は
記録層の内部にまで進行する。そこで、化学的に安定な
希土類元素の酸化物層を非磁性中間層に設けると、たと
え上部保護層の欠陥から腐食因子(例えば、SO2)が
侵入しても磁気記録層の腐食を来さない。
【0008】希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層
に使用する希土類元素としては、原子番号57のLaか
ら原子番号71のLuまで全て使用可能であるが、原子
番号64のGdから原子番号71のLuまでの重希土類
元素の方が、それ自身の酸化性が低いので、一層好適に
使用される。
【0009】希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層
の膜厚は特に限定されないが、一般的に、0.2〜30
nmの範囲内であることが好ましい。膜厚が0.2nm
未満では耐腐食性改善効果が不十分となる。一方、膜厚
が30nm超では耐腐食性改善効果が飽和し不経済とな
るばかりか、スペーシングロスが大きくなり磁気特性が
劣化する。一層好ましい膜厚は0.2〜10nmの範囲
内である。
【0010】非磁性中間層を形成する方法としては、ス
パッタ方、蒸着法、メッキ法など金属薄膜を作成する方
法が全て使用できる。また、磁気記録層を形成する際
に、スパッタ金属や蒸着金属中に希土類元素を混入さ
せ、その後、酸化処理を行って表面に希土類元素の酸化
物層を生成させる方法が、磁気記録層と非磁性中間層の
密着性が高く、一層好ましい。この方法の場合、磁気記
録層中に残る希土類元素の量は多すぎると磁気特性を劣
化させる可能性があり、少なすぎると非磁性中間層が形
成されない可能性がある。従って、一般的に、磁気記録
層に1〜20%含有されることが好ましい。
【0011】非磁性基体上に形成される強磁性金属磁気
記録層は、Co、Fe、Ni、Co−Ni合金、Co−
Cr合金、Co−P合金、Co−Ni−P合金などの強
磁性金属や合金を真空蒸着、イオンプレーティング、ス
パッタリング、メッキなどの手段によって非磁性基体上
に被着する等の手段によって形成される。
【0012】磁気記録媒体としては、ポリエステルフィ
ルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを非
磁性基体とする磁気テープ、ガラス板、アルミニウム
板、合成樹脂板などを非磁性基体とする磁気ディスクや
磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形
態を包含する。
【0013】
【実施例】以下、実施例により本発明の磁気記録媒体を
具体的に例証する。
【0014】実施例1 厚さ10μmのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に
セットし、10−6Torrの真空下でCo80Ni20合
金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポリエス
テルフィルム上に厚さ200nmのCoNi強磁性金属
薄膜からなる磁気記録層を形成した。次いで、Tbを加
熱蒸発させ、磁気記録層上に厚さ50nmのTb層を形
成し、酸素ガスを吹き付けて酸化Tb中間層を形成し
た。その後、CVD装置にセットし、10−2Torrの圧
力でエチレンガスを導入し、フィルム側に13.56M
Hzの高周波を500Wのパワーで印加し、非磁性中間
層上に厚さ10nmのDLC(ダイヤモンドライクカー
ボン)保護膜を形成して磁気テープを作製した。
【0015】実施例2 厚さ10μmのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に
セットし、10−6Torrの真空下でCo75Ni18T
b7合金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポ
リエステルフィルム上に厚さ200nmのCoNiTb
強磁性金属薄膜からなる磁気記録層を形成した。次い
で、酸素ガスを吹き付けて厚さ3nmの酸化Tb中間層
を形成した。その後、CVD装置にセットし、10−2
Torrの圧力でエチレンガスを導入し、フィルム側に1
3.56MHzの高周波を500Wのパワーで印加し、
非磁性中間層上に厚さ10nmのDLC(ダイヤモンド
ライクカーボン)保護膜を形成して磁気テープを作製し
た。
【0016】比較例1 実施例1において、酸化Tb中間層形成を省いたこと以
外は同様にして磁気テープを作製した。
【0017】比較例2 実施例1において、酸化Tb中間層形成とDLC保護膜
形成を省いたこと以外は同様にして磁気テープを作製し
た。
【0018】実施例1,2及び比較例1,2でそれぞれ
作製した磁気テープについて耐腐食性を評価した。耐腐
食性は60℃、90%RH環境下に30日放置した後の
飽和磁化の劣化率と点食の出現密度により評価した。結
果を下記の表1に要約して示す。
【0019】
【表1】
【0020】表1に示された結果から明らかなように、
本発明の磁気記録媒体は飽和磁化の劣化が少なく、点食
の発生も少ない。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層を使用するこ
とにより、磁気記録媒体の耐腐食性を著しく改善するこ
とができる。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
    磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも3
    層を積層してなる磁気記録媒体において、前記非磁性中
    間層の主成分が希土類元素の酸化物であることを特徴と
    する磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 非磁性中間層の厚さが0.2〜30nm
    の範囲内である請求項1の磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 非磁性中間層に用いる希土類元素が原子
    番号64のGd〜原子番号71のLuからなる群から選
    択される請求項1又は2の磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 非磁性中間層を構成する希土類元素が磁
    気記録層に1〜20%含有されている請求項1、2又は
    3の磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
    磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも3
    層を順に積層することからなる磁気記録媒体の製造方法
    において、磁気記録層中に非磁性中間層を構成する希土
    類元素を混入させ、酸化処理によって希土類元素の酸化
    物を主成分とする非磁性中間層を形成することを特徴と
    する磁気記録媒体の製造方法。
JP28596396A 1996-10-08 1996-10-08 磁気記録媒体及びその製造方法 Withdrawn JPH10112019A (ja)

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Effective date: 20040106