JPH10112019A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH10112019A JPH10112019A JP28596396A JP28596396A JPH10112019A JP H10112019 A JPH10112019 A JP H10112019A JP 28596396 A JP28596396 A JP 28596396A JP 28596396 A JP28596396 A JP 28596396A JP H10112019 A JPH10112019 A JP H10112019A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- layer
- magnetic
- intermediate layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐腐食性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも３
層を積層してなる磁気記録媒体において、前記非磁性中
間層の主成分が希土類元素の酸化物であることを特徴と
する磁気記録媒体。
磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも３
層を積層してなる磁気記録媒体において、前記非磁性中
間層の主成分が希土類元素の酸化物であることを特徴と
する磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は強磁性金属を主成分
とする薄膜型磁気記録媒体に関する。更に詳細には、本
発明は優れた耐食性を有する薄膜型磁気記録媒体に関す
る。
とする薄膜型磁気記録媒体に関する。更に詳細には、本
発明は優れた耐食性を有する薄膜型磁気記録媒体に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】強磁性金属からなる薄膜を磁気記録層と
する磁気記録媒体は高密度記録特性に優れるため、ハー
ドディスクやデジタルＶＴＲ用の記録膜として使用され
ている。しかし、これら強磁性金属を磁気記録層とする
磁気記録媒体は、バインダを含まず、金属が直接外気と
接触するために腐食し易いという問題があった。この点
を改善するために、磁気記録層表面の酸化処理や各種防
錆剤を磁気記録層表面に塗布すること、あるいは無機質
の保護材を磁気記録層上に形成すること等が提案されて
おり、耐腐食性の向上に効果を挙げているが、その効果
は必ずしも十分とは言えない。
する磁気記録媒体は高密度記録特性に優れるため、ハー
ドディスクやデジタルＶＴＲ用の記録膜として使用され
ている。しかし、これら強磁性金属を磁気記録層とする
磁気記録媒体は、バインダを含まず、金属が直接外気と
接触するために腐食し易いという問題があった。この点
を改善するために、磁気記録層表面の酸化処理や各種防
錆剤を磁気記録層表面に塗布すること、あるいは無機質
の保護材を磁気記録層上に形成すること等が提案されて
おり、耐腐食性の向上に効果を挙げているが、その効果
は必ずしも十分とは言えない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、上記従来品が持っていた腐食し易いという問題を解
決し、以て信頼性に優れた磁気記録媒体を提供すること
である。
は、上記従来品が持っていた腐食し易いという問題を解
決し、以て信頼性に優れた磁気記録媒体を提供すること
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題は、非磁性基体
上に強磁性金属薄膜からなる磁気記録層、非磁性中間
層、上部保護層の少なくとも３層を積層してなる磁気記
録媒体において、前記非磁性中間層の主成分が希土類元
素の酸化物であることを特徴とする磁気記録媒体により
解決される。
上に強磁性金属薄膜からなる磁気記録層、非磁性中間
層、上部保護層の少なくとも３層を積層してなる磁気記
録媒体において、前記非磁性中間層の主成分が希土類元
素の酸化物であることを特徴とする磁気記録媒体により
解決される。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明によれば、非磁性中間層の
主成分を希土類元素の酸化物とすることにより磁気記録
媒体の耐腐食性を著しく向上させることができる。
主成分を希土類元素の酸化物とすることにより磁気記録
媒体の耐腐食性を著しく向上させることができる。
【０００６】強磁性金属薄膜磁気記録層の腐食には表面
が均一に腐食する全面腐食と、局所的に腐食が進行する
点食とがある。全面腐食は上部保護層により抑制される
が、点食は上部保護層の微細な欠陥から進行するため抑
制が困難であり、場合によっては毛管現象により水蒸気
が濃縮され、腐食を促進することさえある。
が均一に腐食する全面腐食と、局所的に腐食が進行する
点食とがある。全面腐食は上部保護層により抑制される
が、点食は上部保護層の微細な欠陥から進行するため抑
制が困難であり、場合によっては毛管現象により水蒸気
が濃縮され、腐食を促進することさえある。
【０００７】一旦点食が生成すると薄膜磁気記録層の主
成分であるＦｅやＣｏは２価の水酸化物となり、腐食は
記録層の内部にまで進行する。そこで、化学的に安定な
希土類元素の酸化物層を非磁性中間層に設けると、たと
え上部保護層の欠陥から腐食因子（例えば、ＳＯ2）が
侵入しても磁気記録層の腐食を来さない。
成分であるＦｅやＣｏは２価の水酸化物となり、腐食は
記録層の内部にまで進行する。そこで、化学的に安定な
希土類元素の酸化物層を非磁性中間層に設けると、たと
え上部保護層の欠陥から腐食因子（例えば、ＳＯ2）が
侵入しても磁気記録層の腐食を来さない。
【０００８】希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層
に使用する希土類元素としては、原子番号５７のＬａか
ら原子番号７１のＬｕまで全て使用可能であるが、原子
番号６４のＧｄから原子番号７１のＬｕまでの重希土類
元素の方が、それ自身の酸化性が低いので、一層好適に
使用される。
に使用する希土類元素としては、原子番号５７のＬａか
ら原子番号７１のＬｕまで全て使用可能であるが、原子
番号６４のＧｄから原子番号７１のＬｕまでの重希土類
元素の方が、それ自身の酸化性が低いので、一層好適に
使用される。
【０００９】希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層
の膜厚は特に限定されないが、一般的に、０．２〜３０
ｎｍの範囲内であることが好ましい。膜厚が０．２ｎｍ
未満では耐腐食性改善効果が不十分となる。一方、膜厚
が３０ｎｍ超では耐腐食性改善効果が飽和し不経済とな
るばかりか、スペーシングロスが大きくなり磁気特性が
劣化する。一層好ましい膜厚は０．２〜１０ｎｍの範囲
内である。
の膜厚は特に限定されないが、一般的に、０．２〜３０
ｎｍの範囲内であることが好ましい。膜厚が０．２ｎｍ
未満では耐腐食性改善効果が不十分となる。一方、膜厚
が３０ｎｍ超では耐腐食性改善効果が飽和し不経済とな
るばかりか、スペーシングロスが大きくなり磁気特性が
劣化する。一層好ましい膜厚は０．２〜１０ｎｍの範囲
内である。
【００１０】非磁性中間層を形成する方法としては、ス
パッタ方、蒸着法、メッキ法など金属薄膜を作成する方
法が全て使用できる。また、磁気記録層を形成する際
に、スパッタ金属や蒸着金属中に希土類元素を混入さ
せ、その後、酸化処理を行って表面に希土類元素の酸化
物層を生成させる方法が、磁気記録層と非磁性中間層の
密着性が高く、一層好ましい。この方法の場合、磁気記
録層中に残る希土類元素の量は多すぎると磁気特性を劣
化させる可能性があり、少なすぎると非磁性中間層が形
成されない可能性がある。従って、一般的に、磁気記録
層に１〜２０％含有されることが好ましい。
パッタ方、蒸着法、メッキ法など金属薄膜を作成する方
法が全て使用できる。また、磁気記録層を形成する際
に、スパッタ金属や蒸着金属中に希土類元素を混入さ
せ、その後、酸化処理を行って表面に希土類元素の酸化
物層を生成させる方法が、磁気記録層と非磁性中間層の
密着性が高く、一層好ましい。この方法の場合、磁気記
録層中に残る希土類元素の量は多すぎると磁気特性を劣
化させる可能性があり、少なすぎると非磁性中間層が形
成されない可能性がある。従って、一般的に、磁気記録
層に１〜２０％含有されることが好ましい。
【００１１】非磁性基体上に形成される強磁性金属磁気
記録層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−
Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ合金などの強
磁性金属や合金を真空蒸着、イオンプレーティング、ス
パッタリング、メッキなどの手段によって非磁性基体上
に被着する等の手段によって形成される。
記録層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−
Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ合金などの強
磁性金属や合金を真空蒸着、イオンプレーティング、ス
パッタリング、メッキなどの手段によって非磁性基体上
に被着する等の手段によって形成される。
【００１２】磁気記録媒体としては、ポリエステルフィ
ルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを非
磁性基体とする磁気テープ、ガラス板、アルミニウム
板、合成樹脂板などを非磁性基体とする磁気ディスクや
磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形
態を包含する。
ルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを非
磁性基体とする磁気テープ、ガラス板、アルミニウム
板、合成樹脂板などを非磁性基体とする磁気ディスクや
磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形
態を包含する。
【００１３】
【実施例】以下、実施例により本発明の磁気記録媒体を
具体的に例証する。
具体的に例証する。
【００１４】実施例１ 厚さ１０μｍのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に
セットし、１０−６Torrの真空下でＣｏ８０Ｎｉ２０合
金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポリエス
テルフィルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉ強磁性金属
薄膜からなる磁気記録層を形成した。次いで、Ｔｂを加
熱蒸発させ、磁気記録層上に厚さ５０ｎｍのＴｂ層を形
成し、酸素ガスを吹き付けて酸化Ｔｂ中間層を形成し
た。その後、ＣＶＤ装置にセットし、１０−２Torrの圧
力でエチレンガスを導入し、フィルム側に１３．５６Ｍ
Ｈｚの高周波を５００Ｗのパワーで印加し、非磁性中間
層上に厚さ１０ｎｍのＤＬＣ（ダイヤモンドライクカー
ボン）保護膜を形成して磁気テープを作製した。
セットし、１０−６Torrの真空下でＣｏ８０Ｎｉ２０合
金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポリエス
テルフィルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉ強磁性金属
薄膜からなる磁気記録層を形成した。次いで、Ｔｂを加
熱蒸発させ、磁気記録層上に厚さ５０ｎｍのＴｂ層を形
成し、酸素ガスを吹き付けて酸化Ｔｂ中間層を形成し
た。その後、ＣＶＤ装置にセットし、１０−２Torrの圧
力でエチレンガスを導入し、フィルム側に１３．５６Ｍ
Ｈｚの高周波を５００Ｗのパワーで印加し、非磁性中間
層上に厚さ１０ｎｍのＤＬＣ（ダイヤモンドライクカー
ボン）保護膜を形成して磁気テープを作製した。
【００１５】実施例２ 厚さ１０μｍのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に
セットし、１０−６Torrの真空下でＣｏ７５Ｎｉ１８Ｔ
ｂ７合金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポ
リエステルフィルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉＴｂ
強磁性金属薄膜からなる磁気記録層を形成した。次い
で、酸素ガスを吹き付けて厚さ３ｎｍの酸化Ｔｂ中間層
を形成した。その後、ＣＶＤ装置にセットし、１０−２
Torrの圧力でエチレンガスを導入し、フィルム側に１
３．５６ＭＨｚの高周波を５００Ｗのパワーで印加し、
非磁性中間層上に厚さ１０ｎｍのＤＬＣ（ダイヤモンド
ライクカーボン）保護膜を形成して磁気テープを作製し
た。
セットし、１０−６Torrの真空下でＣｏ７５Ｎｉ１８Ｔ
ｂ７合金を加熱蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポ
リエステルフィルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉＴｂ
強磁性金属薄膜からなる磁気記録層を形成した。次い
で、酸素ガスを吹き付けて厚さ３ｎｍの酸化Ｔｂ中間層
を形成した。その後、ＣＶＤ装置にセットし、１０−２
Torrの圧力でエチレンガスを導入し、フィルム側に１
３．５６ＭＨｚの高周波を５００Ｗのパワーで印加し、
非磁性中間層上に厚さ１０ｎｍのＤＬＣ（ダイヤモンド
ライクカーボン）保護膜を形成して磁気テープを作製し
た。
【００１６】比較例１ 実施例１において、酸化Ｔｂ中間層形成を省いたこと以
外は同様にして磁気テープを作製した。
外は同様にして磁気テープを作製した。
【００１７】比較例２ 実施例１において、酸化Ｔｂ中間層形成とＤＬＣ保護膜
形成を省いたこと以外は同様にして磁気テープを作製し
た。
形成を省いたこと以外は同様にして磁気テープを作製し
た。
【００１８】実施例１，２及び比較例１，２でそれぞれ
作製した磁気テープについて耐腐食性を評価した。耐腐
食性は６０℃、９０％ＲＨ環境下に３０日放置した後の
飽和磁化の劣化率と点食の出現密度により評価した。結
果を下記の表１に要約して示す。
作製した磁気テープについて耐腐食性を評価した。耐腐
食性は６０℃、９０％ＲＨ環境下に３０日放置した後の
飽和磁化の劣化率と点食の出現密度により評価した。結
果を下記の表１に要約して示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１に示された結果から明らかなように、
本発明の磁気記録媒体は飽和磁化の劣化が少なく、点食
の発生も少ない。
本発明の磁気記録媒体は飽和磁化の劣化が少なく、点食
の発生も少ない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層を使用するこ
とにより、磁気記録媒体の耐腐食性を著しく改善するこ
とができる。
希土類元素の酸化物からなる非磁性中間層を使用するこ
とにより、磁気記録媒体の耐腐食性を著しく改善するこ
とができる。
Claims (5)
- 【請求項１】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも３
層を積層してなる磁気記録媒体において、前記非磁性中
間層の主成分が希土類元素の酸化物であることを特徴と
する磁気記録媒体。 - 【請求項２】 非磁性中間層の厚さが０．２〜３０ｎｍ
の範囲内である請求項１の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 非磁性中間層に用いる希土類元素が原子
番号６４のＧｄ〜原子番号７１のＬｕからなる群から選
択される請求項１又は２の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 非磁性中間層を構成する希土類元素が磁
気記録層に１〜２０％含有されている請求項１、２又は
３の磁気記録媒体。 - 【請求項５】 非磁性基体上に強磁性金属薄膜からなる
磁気記録層、非磁性中間層、上部保護層の少なくとも３
層を順に積層することからなる磁気記録媒体の製造方法
において、磁気記録層中に非磁性中間層を構成する希土
類元素を混入させ、酸化処理によって希土類元素の酸化
物を主成分とする非磁性中間層を形成することを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28596396A JPH10112019A (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28596396A JPH10112019A (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10112019A true JPH10112019A (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17698234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28596396A Withdrawn JPH10112019A (ja) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10112019A (ja) |
-
1996
- 1996-10-08 JP JP28596396A patent/JPH10112019A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6821618B2 (en) | Magnetic recording medium and process for producing the same | |
| US6753077B2 (en) | Magnetic recording medium and process for producing the same | |
| JPS61253622A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS59178617A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| US6916530B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| US6472048B1 (en) | Magnetic recording medium and process for producing the same | |
| JPH0546013B2 (ja) | ||
| JPH10112019A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS62117143A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH09320031A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2538123B2 (ja) | 固定磁気ディスクおよびその製造方法 | |
| JPS6313256B2 (ja) | ||
| JP2538124B2 (ja) | 固定磁気ディスクおよびその製造方法 | |
| JPH04311809A (ja) | 垂直磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JPS59157837A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6333286B2 (ja) | ||
| JPH025003B2 (ja) | ||
| EP1274072B1 (en) | Magnetic recording medium and process for producing the same | |
| JP2001250216A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法 | |
| JPS6364623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2004046948A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61294635A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62291719A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05166167A (ja) | 固定磁気ディスクおよびその製造方法 | |
| JPH0513333B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040106 |