JPH10106295A - シュムデータ比較方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シュムデータの検索時間を減らし、シュムデ
ータの比較処理の実行時間を短縮した効率の良いシュム
データ比較方法及び装置を提供する。 【解決手段】 基準シュムデータ格納部３と被比較シュ
ムデータ格納部４には、テーブル番号とＤＵＴ番号を有
するヘッダ部とシュムデータからなるシュムデータファ
イルが格納されている。また、検索制御部１８には、各
々のシュムデータファイルにおけるシュムデータの格納
アドレスがテーブル番号及びＤＵＴ番号に対応付けて記
憶される。条件設定部６を介して試験者からテーブル番
号及びＤＵＴ番号が指定されると、検索制御部１８はこ
れら番号に対応したシュムデータの格納位置を各シュム
データファイルについて算出してシュムデータを読み出
す。比較データ作成部１３はこれらシュムデータを互い
に比較し、この比較結果を比較データ表示制御部１４が
変換して表示部８に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ試験装置が採
取した試験判定結果であるシュムデータを相互に比較す
るシュムデータ比較方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えばメモリ集積回路の動作
余裕試験を行う場合には、ＩＣ試験装置から各種の試験
パターンをメモリ集積回路に与え、電源電圧，入出力信
号電圧，入出力タイミングなどを変化させて試験を行っ
ている。ここで、動作余裕試験にあっては、これら電圧
或いはタイミングを変化させ、各条件下における判定結
果を図６（ａ）或いは図６（ｂ）に示すように平面上に
２次元或いは３次元でプロットして、動作領域（パス領
域）及び非動作領域（フェイル領域）を表示させてい
る。こうした表示を「シュムプロット」と呼ぶととも
に、このシュムプロットの元となるデータを「シュムデ
ータ」と呼んでいる。

【０００３】図６（ａ）の表示を行う場合は、Ｘ軸及び
Ｙ軸についてそれぞれ独立したパラメータを指定して試
験を行うことができ、試験により得られたパス及びフェ
イルの判定結果を２次元で表示できる。また、図６
（ｂ）の表示を行う場合は、Ｘ軸及びＹ軸についてそれ
ぞれ独立したパラメータが指定できると共に、Ｚ軸に指
定するパラメータとして例えば或る判定基準電圧をとる
ことができる。そして、判定結果が「パス」になるまで
この判定基準電圧を変化させ、パスするまでの変化量に
応じてこれを文字で表現してプロットする。例えば、文
字「＊」は判定基準電圧が１ボルトでもパスとならない
領域，文字「０」，「１」，「２」，「３」はそれぞれ
判定基準電圧を「４」，「３」，「２」，「１」ボルト
としたときにパスとなった領域を示している。

【０００４】ところで、測定するＩＣ（集積回路）の違
い，ＩＣの製造ロットの違い，ＩＣを測定する際のタイ
ミングの速度や測定機種の違いなど、条件を様々に変化
させて試験を行うことで、シュムデータとして複数のデ
ータ群が得られる。これらのデータ群はシュムデータフ
ァイルとしてＩＣ試験装置内に格納される。そして、こ
れらデータ群からシュムデータを任意に抽出して互いに
比較することによって、ＩＣの動作異常，特性の違い，
測定装置の動作異常，設計上の問題点などを見い出すこ
とができる。

【０００５】こうした比較処理を行うのがＩＣ試験装置
に接続されたシュムデータ比較装置である。つまり、シ
ュムデータ比較装置は、試験者が複数のシュムデータフ
ァイルの中から任意に選択した２個のファイルに格納さ
れている任意のシュムデータを取り出して比較を行う。
ここで比較に際しては、便宜上、一方のシュムデータ
（ファイル）を基準シュムデータ（ファイル）と呼び、
他方のシュムデータ（ファイル）を被比較シュムデータ
（ファイル）と呼んでいる。なお、これらの指定は試験
者によって行われる。

【０００６】次に、シュムデータファイルの構成を説明
する。図７はシュムデータが１つだけ含まれたシュムデ
ータファイルを示している。ここで、実際の所シュムデ
ータファイルは、シュムデータを１つだけ含むものから
シュムデータを１０００以上含むものまで様々であり、
図７に示す情報がＩＣ試験装置によって得られたシュム
データの数だけ格納されている。

【０００７】図示したように、１つのシュムデータはヘ
ッダ部とデータ部から構成されており、ヘッダ部はテー
ブル番号とＤＵＴ番号を含んでいる。テーブル番号は試
験の対象となるウェハを識別するための番号であって、
ウェハ毎に異なる番号が付与される。また、ＤＵＴ番号
は或るウェハに対して同一条件下で複数回試験を行った
場合にそれぞれの試験を識別するための番号であって、
試験毎に異なる番号が付与される。

【０００８】また、一つのシュムデータファイル内には
テーブル番号及びＤＵＴ番号の双方が同じものは存在し
ない。例えば、テーブル番号が「１」でＤＵＴ番号が
「１」のシュムデータは、或るシュムデータファイルに
はただ一つしか存在しない。さらに、シュムデータファ
イルにおける複数のシュムデータの並びは必ずしも昇順
或いは降順（即ち、テーブル番号の順番およびＤＵＴ番
号の順番通り）ではなく、これらシュムデータはシュム
データファイル上においてはランダムに配置されてい
る。

【０００９】次に、図８にＩＣ試験装置１とシュムデー
タ比較装置２の関係を示す。この図において、基準シュ
ムデータ格納部３，被比較シュムデータ格納部４には、
読み込み部５によって、ＩＣ試験装置１に格納されてい
る基準シュムデータファイル，被比較シュムデータファ
イルがそれぞれ読み込まれる。条件設定部６は試験者に
より設定されたシュムデータの設定条件を記憶する。こ
の設定条件は、各シュムデータファイル中の何れのシュ
ムデータを比較するのかを指定するもので、実際にはテ
ーブル番号及びＤＵＴ番号が指定される。

【００１０】シュムデータ比較部７は、基準シュムデー
タ格納部３及び被比較シュムデータ格納部４からそれぞ
れ設定条件で指定されたシュムデータを検索して読み出
し、これらを互いに比較する。すなわち、座標軸（Ｘ，
Ｙ）の各位置について基準シュムデータと被比較シュム
データの比較を行い、その際、基準シュムデータと被比
較シュムデータのパス／フェイルの組み合わせによって
図９（ａ）に示すように比較結果を決定する。図中、記
号Ｐは「パス」を表わし、記号Ｆは「フェイル」を表わ
している。

【００１１】つまり、基準シュムデータと被比較シュム
データの何れもがパスであれば比較結果は「Ｐ」とな
り、何れもがフェイルであれば比較結果は「Ｆ」とな
る。また、基準シュムデータがパスで被比較シュムデー
タがフェイルであれば比較結果は「×」となり、基準シ
ュムデータがフェイルで被比較シュムデータがパスであ
れば比較結果は「○」となる。そして、以上説明した比
較処理を図示したのが図９（ｂ）である。この図では説
明の都合上、パス／フェイルの結果が４つだけ存在する
場合を示してあり、図中の「比較結果」で示されるよう
に後述する表示部８に表示がなされる。

【００１２】ここで、シュムデータ比較部７のより詳細
な構成を図１０に示す。この図において、テーブル番号
検索部１１は、基準シュムデータ格納部３或いは被比較
シュムデータ格納部４にアクセスして、条件設定部６に
設定されているテーブル番号をヘッダ部に有するシュム
データを検索する。ＤＵＴ番号検索部１２は、テーブル
番号検索部１１が検索したシュムデータに関し、そのヘ
ッダ部のＤＵＴ番号が条件設定部６により設定されたＤ
ＵＴ番号に一致するか否かの照合を行い、一致が見られ
た場合にシュムデータを基準シュムデータ格納部３或い
は被比較シュムデータ格納部４から取り込む。

【００１３】比較データ作成部１３は、条件設定部６の
設定条件に一致したテーブル番号及びＤＵＴ番号をヘッ
ダ部に有するシュムデータが、基準シュムデータファイ
ル或いは被比較シュムデータファイルについて検索され
た場合に、検索されたシュムデータをＤＵＴ番号検索部
１２から取得する。そして、双方のファイルについてシ
ュムデータが検索された場合に、これらシュムデータの
比較を行う。また、比較データ表示制御部１４は、比較
データ作成部１３によるシュムデータの比較結果を表示
部８に表示可能なデータ形式に変換して表示部８へ送出
する。他方、表示部８はＣＲＴ（Cathode Ray Tube）な
どから構成されており、シュムデータ比較部７により得
られたシュムデータの比較結果を表示する。

【００１４】次に、従来の技術によるシュムデータ比較
装置２の動作を説明する。ここで、図１１（ａ）及び図
１１（ｂ）は基準シュムデータファイル及び被比較シュ
ムデータファイルにおけるシュムデータの配置の一例を
示している。すなわち、各シュムデータファイルには何
れも６個のシュムデータが格納されており、これらの図
に示す左から右に向かってシュムデータが順番に格納さ
れている。つまり、基準シュムデータファイルについて
言えば、テーブル番号が「２」でＤＵＴ番号が「１」の
ヘッダ部を有するシュムデータがファイルの先頭に格納
されており、テーブル番号が「１」でＤＵＴ番号が
「１」のヘッダ部を有するシュムデータがファイルの最
後に格納されている。

【００１５】また、各ファイルにおけるシュムデータ
は、それぞれ図示したようにアドレスＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅ，Ｆ及びアドレスＵ，Ｖ，Ｗ，Ｘ，Ｙ，Ｚに配置され
ている。例えば、基準シュムデータファイルにおいて、
テーブル番号が「１」でＤＵＴ番号が「２」のシュムデ
ータの開始位置はアドレス「Ｃ」である。また、被比較
シュムデータファイルにおいて、これと同じテーブル番
号及びＤＵＴ番号のシュムデータの開始位置はアドレス
「Ｘ」である。

【００１６】さらに、以下では、試験者が条件設定部６
に入力した設定条件として、テーブル番号に「１」を指
定すると共に、ＤＵＴ番号として「１」及び「３」を指
定したものとする。つまり、試験者が設定したデータ数
は全部で２個であり、テーブル番号が「１」でＤＵＴ番
号が「１」のシュムデータと、テーブル番号が「１」で
ＤＵＴ番号が「３」のシュムデータを指定したことにな
る。

【００１７】さて、試験者が基準シュムデータファイル
及び被比較シュムデータファイルを選択すると、読み出
し部５がこれらシュムデータファイルをＩＣ試験装置１
からそれぞれ基準シュムデータ格納部３及び被比較シュ
ムデータ格納部４に読み込む。また、試験者が設定した
設定条件が条件設定部６にセットされる。ここで、試験
者によって複数の設定条件が設定された場合は、設定さ
れた順番に設定条件の中の１つが選択される。つまり、
初めはテーブル番号として「１」が設定されると共にＤ
ＵＴ番号として「１」がセットされる。そして、これら
テーブル番号及びＤＵＴ番号をヘッダ部に持つシュムデ
ータを、基準シュムデータファイル及び被比較シュムデ
ータファイルからそれぞれ以下のようにして検索する。

【００１８】最初に基準シュムデータファイルの検索を
行う。テーブル番号検索部１１は、基準シュムデータフ
ァイルを先頭から順次読み出して、ヘッダ部のテーブル
番号が「１」のものを検索する。これにより、アドレス
「Ｂ」にてテーブル番号「１」を持つシュムデータが検
索される。そこで、ＤＵＴ番号検索部１２は、検索され
たヘッダ部に含まれるＤＵＴ番号が設定条件の値である
「１」を否かを照合する。この場合はＤＵＴ番号が
「３」であって設定条件に合致しない。そこで再びテー
ブル番号が「１」のシュムデータを検索するが、アドレ
ス「Ｃ」に配されたシュムデータのＤＵＴ番号は「２」
であって、やはり設定条件と一致せず、引き続き検索を
行う。その後、テーブル番号検索部１１はテーブル番号
が「１」のシュムデータをアドレス「Ｆ」で見つける。
この場合、ＤＵＴ番号は「１」であって設定条件と一致
するから、この時点で基準シュムデータファイルの検索
が完了したことになる。

【００１９】次に、被比較シュムデータファイルについ
ても、設定条件に従ってテーブル番号が「１」でＤＵＴ
番号が「１」のシュムデータを検索する。これにより、
アドレス「Ｖ」においてテーブル番号及びＤＵＴ番号が
設定条件に一致したシュムデータが検索される。以上と
並行して、ＤＵＴ番号検索部１２は、基準シュムデータ
格納部３及び被比較シュムデータ格納部４から、いま検
索されたテーブル番号が「１」でＤＵＴ番号が「１」の
シュムデータをそれぞれ読み出しておく。そして、比較
データ作成部１３でこれら両方のデータの比較を行い、
比較データ表示制御部１４を介して比較結果を表示部８
上に表示する。

【００２０】次に、指定された設定条件はまだ処理され
ずに残っているため、上記同様に、今度はテーブル番号
が「１」でＤＵＴ番号が「３」のシュムデータを基準シ
ュムデータファイル及び被比較シュムデータファイルの
先頭からそれぞれ順に検索し、検索されたシュムデータ
をそれぞれ読み出して比較し、その比較結果を表示部８
に表示する。以上により、全ての設定条件についてシュ
ムデータの比較を行ったので、全体の処理を終了する。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のシ
ュムデータ比較装置にあっては、設定条件を基準シュム
データファイル或いは被比較シュムデータファイルの内
容と毎回照らし合わせている。しかも、例えば探したい
シュムデータがファイルの最後に配置されていると、フ
ァイルを先頭から最後まで全て読み出す必要があった。
したがって、設定条件が変わると、その度に、各ファイ
ルの先頭から順次検索してるために多大な検索時間を要
する上、設定条件が複数存在すれば設定条件の数に比例
した実行時間を必要としていた。

【００２２】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、上述した従来の問題を解決し、シュ
ムデータの検索時間を減らし、シュムデータの比較処理
の実行時間を短縮した効率の良いシュムデータ比較方法
及び装置を提供することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明は、所定の識別子により識別
されるシュムデータと該識別子とをランダムに格納した
記憶手段と、試験者が指定した複数の識別子のそれぞれ
に対応するシュムデータを前記記憶手段から抽出し、抽
出されたシュムデータを互いに比較する比較手段と、前
記比較結果を表示する表示手段とを有するシュムデータ
比較装置において、前記記憶手段上における前記シュム
データの格納位置を前記識別子に対応させて予め記憶し
た対応表と、前記対応表に基づき、前記試験者によって
指定された前記識別子に対応するシュムデータの前記記
憶手段上における格納位置を算出する算出手段とを有
し、前記比較手段は、前記算出手段の算出結果に従って
前記各々のシュムデータを前記記憶手段から抽出するこ
とを特徴としている。

【００２４】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明において、前記対応表は、前記識別子の降順或
いは昇順に並べられていることを特徴としている。ま
た、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明
において、前記識別子には、ウェハ毎に異なる番号が付
与されるテーブル番号と、各ウェハに対して実施する試
験毎に異なる番号が付与されるＤＵＴ番号とが含まれる
ことを特徴としている。

【００２５】また、請求項４記載の発明は、所定の識別
子により識別されるシュムデータと該識別子とをランダ
ムに格納した記憶手段の中から、試験者が指定した複数
の識別子のそれぞれに対応するシュムデータを抽出し、
抽出されたシュムデータを互いに比較してその比較結果
を表示するシュムデータ比較方法において、前記記憶手
段上における前記シュムデータの格納位置を前記識別子
に対応させて予め算出することで対応表を作成してお
き、前記試験者によって前記識別子が指定された場合
に、前記対応表に基づいて、指定された識別子に対応す
るシュムデータの前記記憶手段上における格納位置を算
出し、該算出結果に従って前記各々のシュムデータを前
記記憶手段から抽出して前記比較を行うことを特徴とし
ている。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。図１は、同実施形態による
シュムデータ比較部１７の構成を示すブロック図であっ
て、図１０と同じ構成要素については同一の符号を付し
てあり、その説明を省略する。図１に示す検索制御部１
８には、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に対応させて、
例えば図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すような対応表が
格納されている。

【００２７】これらの対応表は、テーブル番号及びＤＵ
Ｔ番号に関して考えられる全ての組み合わせについて、
基準シュムデータファイル又は被比較シュムデータファ
イル上のシュムデータの開始位置が図中に示す「アドレ
ス」として格納される。その際、各ファイル内でランダ
ムに配置されていたシュムデータに対応したテーブル番
号及びＤＵＴ番号は、それぞれ昇順に並べ替えられる。

【００２８】すなわち、図２（ａ）又は図２（ｂ）の場
合であると、テーブル番号及びＤＵＴ番号は左から右に
向かって「１，１」，「１，２」，「１，３」，「２，
１」，「２，２」，「２，３」となっている。そして、
例えば基準シュムデータファイルにおいては、テーブル
番号が「１」でＤＵＴ番号が「２」のシュムデータに対
応するアドレスには「Ｃ」が格納されており、これは図
１１（ａ）に対応していることがわかる。なお、これら
の対応表は昇順ではなく降順に並べ替えるようにしても
良い。また、検索制御部１８の機能の詳細については、
以下に述べる動作の説明で行う。

【００２９】次に、図３のフローチャートを参照して、
上記構成によるシュムデータ比較装置の動作を説明す
る。まず、ステップＳ１において、試験者は、ＩＣ試験
装置１内に複数個採取されているシュムデータファイル
の中から、基準シュムデータファイル及び被比較シュム
データファイルをそれぞれ選択指定する。そうすると、
ステップＳ２において、読み出し部５が、ＩＣ試験装置
１から指定された基準シュムデータファイル及び被比較
シュムデータファイルをそれぞれ基準シュムデータ格納
部３及び被比較シュムデータ格納部４に格納する。

【００３０】次に、検索制御部１８は基準シュムデータ
格納部３及び被比較シュムデータ格納部４に格納された
各ファイルに基づいて、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示
す対応表を作成する。そのために、まずステップＳ３に
おいて、検索制御部１８は、基準シュムデータ格納部３
に格納された基準シュムデータファイルを先頭から順に
読み出し、ヘッダ部に格納されたテーブル番号及びＤＵ
Ｔ番号を取り出すと共に、シュムデータが格納されてい
る領域の先頭アドレスを算出し、これらテーブル番号，
ＤＵＴ番号，先頭アドレスを検索制御部１８の内部のメ
モリ（図示略）に記憶しておく。例えば図１１（ａ）の
場合、最初のシュムデータはテーブル番号が「２」，Ｄ
ＵＴ番号が「１」，先頭アドレスが「Ａ」である。

【００３１】次いで、検索制御部１８は以上の処理を基
準シュムデータファイルに含まれる全てのシュムデータ
について実施し、その後、内部のメモリに記憶しておい
た上記の情報を周知のソート手法によりテーブル番号及
びＤＵＴ番号の昇順に並べ替え、最終的に図２（ａ）に
示す対応表を作成する。さらに検索制御部１８は、基準
シュムデータファイルに対して行ったのと同様の処理
を、被比較シュムデータファイルに対して行い、これに
より図２（ｂ）に示す対応表を内部のメモリ上に作成す
る。

【００３２】次に、ステップＳ４において、試験者が設
定条件を必要な数だけ指定すると、まず条件設定部６に
は設定された設定条件のうちの最初のものがセットされ
る。ここでは、従来同様、試験者は設定条件として、テ
ーブル番号に「１」を指定すると共にＤＵＴ番号として
「１」及び「３」を指定したものとする。したがって、
最初は設定条件としてはテーブル番号が「１」でＤＵＴ
番号が「１」が設定される。

【００３３】すると、ステップＳ５において、検索制御
部１８は、これらテーブル番号及びＤＵＴ番号に対応す
る基準シュムデータファイル上のアドレスを得るため
に、テーブル番号「１」及びＤＵＴ番号「１」から図２
（ａ）に示す対応表の最初の項目の位置を算出し、これ
により先頭アドレスとして「Ｆ」を得る。なお、図２
（ａ）或いは図２（ｂ）に示す対応表では、テーブル番
号及びＤＵＴ番号が昇順に並べられていることから、簡
単な四則演算により、テーブル番号及びＤＵＴ番号に対
応するアドレスの格納位置が算出できる。そこで、検索
制御部１８は基準シュムデータ格納部３のアドレス
「Ｆ」に位置づけを行って、そこからテーブル番号が
「１」でＤＵＴ番号が「１」のシュムデータを読み出
す。

【００３４】同様に、検索制御部１８は、テーブル番号
「１」及びＤＵＴ番号「１」に対応して図２（ｂ）に示
す対応表の最初の項目の位置を算出し、これによりアド
レス「Ｖ」を得る。そこで、検索制御部１８は被比較シ
ュムデータ格納部４のアドレス「Ｖ」に位置づけを行
い、そこからテーブル番号が「１」でＤＵＴ番号が
「１」のシュムデータを読み出す。次いで、ステップＳ
６において、比較データ作成部１３は、従来におけるの
と同様に、基準シュムデータ格納部３及び被比較シュム
データ格納部４から検索制御部１８によって読み出され
たシュムデータを比較する。そして、ステップＳ７にお
いて、比較データ表示制御部１４を介して、得られた比
較結果を表示部８に表示させる。

【００３５】その後、ステップＳ８において、試験者が
指定した設定条件を全て処理したかどうかの判別を行
う。この場合は未だ処理すべき設定条件（即ち、テーブ
ル番号が「１」でＤＵＴ番号が「３」）が存在するの
で、上述したステップＳ５〜ステップＳ７の処理を繰り
返し行う。すなわち、これらテーブル番号及びＤＵＴ番
号から、図２（ａ）及び図２（ｂ）の３番目の項目が指
定された設定条件に対応するものであることを算出し、
基準シュムデータファイル及び被比較シュムデータファ
イルに対応して、それぞれアドレス「Ｂ」及びアドレス
「Ｕ」を得る。そこで、基準シュムデータファイル及び
被比較シュムデータファイルに対して位置づけを行い、
それぞれアドレス「Ｂ」及びアドレス「Ｕ」を先頭アド
レスとしてシュムデータを読み出し、これらを互いに比
較して比較結果を表示部８に表示させる。以上により、
処理すべき設定条件を全て処理されたことになり、全体
の処理を終了させる。

【００３６】なお、図４は従来の手法及び本実施形態に
よるシュムデータの比較手法について、それらの実行時
間を対比させたものである。基準シュムデータファイル
及び被比較シュムデータファイルとしては、図５に示す
ように、テーブル番号が１〜６の６個，ＤＵＴ番号が１
〜８の８個（即ち、４８個のシュムデータ）が設定され
たものを使用している。つまり、ＤＵＴ番号は何れも１
から８まで昇順に並べられており、テーブル番号につい
ては、基準シュムデータの場合は１から６まで昇順に並
べられ、被比較シュムデータについては１，２，５，
６，３，４の順番で並んでいる。そして、図４に示した
通り、最初の設定条件を除くと、何れの設定条件につい
ても従来の手法に比べて実行時間が大幅に短縮されてい
ることがわかる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
記憶手段上におけるシュムデータの格納位置を識別子に
対応させて予め記憶した対応表を設け、この対応表に基
づいて、試験者が指定した識別子に対応するシュムデー
タについて記憶手段上における格納位置を算出し、この
算出結果に従って各々のシュムデータを抽出して比較を
行うようにしたので、従来のように、試験者が識別子を
指定する度に記憶手段の先頭からシュムデータを検索す
る必要がなくなり、従来に比べてその実行時間を大幅に
短縮することが可能となり、効率良くシュムデータの比
較を行えるという効果が得られる。

【００３８】また、請求項２記載の発明によれば、対応
表を識別子の降順或いは昇順に並べるようにしたので、
試験者によって指定された識別子から、記憶手段上にお
けるシュムデータの格納位置を高速に算出することがで
きるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態によるシュムデータ比較
装置におけるシュムデータ比較部１７の詳細な構成を示
すブロック図である。

【図２】 同実施形態による検索制御部１８に格納され
る対応表の詳細を説明した図であって、（ａ）は基準シ
ュムデータファイルの場合，（ｂ）は被比較シュムデー
タファイルの場合である。

【図３】 同実施形態によるシュムデータ比較装置の動
作を示すフローチャートである。

【図４】 従来の技術によるシュムデータ比較装置と本
発明によるシュムデータ比較装置についてそれらの実行
時間を対比させた図である。

【図５】 図４に示す実行時間の対比の際に用いられた
基準シュムデータ及び被比較シュムデータの配列を示す
図である。

【図６】 シュムプロットの一例を示す図であって、
（ａ）は２次元のプロットの場合，（ｂ）は３次元のプ
ロットの場合である。

【図７】 シュムデータファイルにおける情報の配置を
示した図である。

【図８】 ＩＣ試験装置１とシュムデータ比較装置２の
関係を示すブロック図である。

【図９】 基準シュムデータと被比較シュムデータの比
較手法を説明するための図であって、（ａ）はこれらの
組み合わせと比較結果との対応を示す図であり、（ｂ）
は表示部８上に表示される比較結果を示す図である。

【図１０】 従来の技術によるシュムデータ比較装置に
おけるシュムデータ比較部７の詳細な構成を示すブロッ
ク図である。

【図１１】 基準シュムデータファイル及び被比較シュ
ムデータファイルにおけるシュムデータの配置を示す図
であって、（ａ）は基準シュムデータファイル，（ｂ）
は被比較シュムデータファイルの場合を示している。

【符号の説明】

１ ＩＣ試験装置 ２ シュムデータ比較装置 ３ 基準シュムデータ格納部 ４ 被比較シュムデータ格納部 ５ 読み出し部 ６ 条件設定部 ７ シュムデータ比較部 ８ 表示部 １３ 比較データ作成部 １４ 比較データ表示制御部 １８ 検索制御部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の識別子により識別されるシュムデ
   ータと該識別子とをランダムに格納した記憶手段と、 試験者が指定した複数の識別子のそれぞれに対応するシ
   ュムデータを前記記憶手段から抽出し、抽出されたシュ
   ムデータを互いに比較する比較手段と、 前記比較結果を表示する表示手段とを有するシュムデー
   タ比較装置において、 前記記憶手段上における前記シュムデータの格納位置を
   前記識別子に対応させて予め記憶した対応表と、 前記対応表に基づき、前記試験者によって指定された前
   記識別子に対応するシュムデータの前記記憶手段上にお
   ける格納位置を算出する算出手段とを有し、 前記比較手段は、前記算出手段の算出結果に従って前記
   各々のシュムデータを前記記憶手段から抽出することを
   特徴とするシュムデータ比較装置。
2. 【請求項２】 前記対応表は、前記識別子の降順或いは
   昇順に並べられていることを特徴とする請求項１記載の
   シュムデータ比較装置。
3. 【請求項３】 前記識別子には、ウェハ毎に異なる番号
   が付与されるテーブル番号と、各ウェハに対して実施す
   る試験毎に異なる番号が付与されるＤＵＴ番号とが含ま
   れることを特徴とする請求項１又は２記載のシュムデー
   タ比較装置。
4. 【請求項４】 所定の識別子により識別されるシュムデ
   ータと該識別子とをランダムに格納した記憶手段の中か
   ら、試験者が指定した複数の識別子のそれぞれに対応す
   るシュムデータを抽出し、抽出されたシュムデータを互
   いに比較してその比較結果を表示するシュムデータ比較
   方法において、 前記記憶手段上における前記シュムデータの格納位置を
   前記識別子に対応させて予め算出することで対応表を作
   成しておき、 前記試験者によって前記識別子が指定された場合に、前
   記対応表に基づいて、指定された識別子に対応するシュ
   ムデータの前記記憶手段上における格納位置を算出し、 該算出結果に従って前記各々のシュムデータを前記記憶
   手段から抽出して前記比較を行うことを特徴とするシュ
   ムデータ比較方法。