JPH0572281A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPH0572281A JPH0572281A JP3234630A JP23463091A JPH0572281A JP H0572281 A JPH0572281 A JP H0572281A JP 3234630 A JP3234630 A JP 3234630A JP 23463091 A JP23463091 A JP 23463091A JP H0572281 A JPH0572281 A JP H0572281A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 同一ＬＳＩの内部配線の電気的特性の試験を
測定条件をかえて繰り返し行う電子ビームテスタに関
し、被試験ＬＳＩ上に多数のノードが存在する場合で
も、ノード相互間の関係に基づいて、容易に必要なノー
ドを抽出して測定を行えるとともにノードデータの解析
を行うことが可能な測定装置を提供する。 【構成】 半導体装置の動作特性、電気的特性等の測定
を行う測定装置において、複数の測定点についての測定
点名称、測定点位置等の測定点情報を記憶するととも
に、前記記憶している測定点相互の関係を示す識別情報
を記憶する測定点情報記憶手段（６）と、前記識別情報
に基づいて、関連する測定点情報を抽出する測定点情報
抽出手段（４）と、を備える。
測定条件をかえて繰り返し行う電子ビームテスタに関
し、被試験ＬＳＩ上に多数のノードが存在する場合で
も、ノード相互間の関係に基づいて、容易に必要なノー
ドを抽出して測定を行えるとともにノードデータの解析
を行うことが可能な測定装置を提供する。 【構成】 半導体装置の動作特性、電気的特性等の測定
を行う測定装置において、複数の測定点についての測定
点名称、測定点位置等の測定点情報を記憶するととも
に、前記記憶している測定点相互の関係を示す識別情報
を記憶する測定点情報記憶手段（６）と、前記識別情報
に基づいて、関連する測定点情報を抽出する測定点情報
抽出手段（４）と、を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定装置に係り、特に
同一ＬＳＩの内部配線の電気的特性の試験を測定条件を
かえて繰り返し行う電子ビームテスタに関する。
同一ＬＳＩの内部配線の電気的特性の試験を測定条件を
かえて繰り返し行う電子ビームテスタに関する。
【０００２】近年、ＬＳＩ等の半導体製品の開発期間の
短縮化に伴い、設計検証や故障解析を短時間に行うこと
が要求されており、半導体製品の試験を行う電子ビーム
テスタにおいても操作性や運用効率の向上が要望されて
いる。
短縮化に伴い、設計検証や故障解析を短時間に行うこと
が要求されており、半導体製品の試験を行う電子ビーム
テスタにおいても操作性や運用効率の向上が要望されて
いる。
【０００３】
【従来の技術】従来の電子ビームテスタにおいては、被
試験ＬＳＩ毎に測定点（以下、ノードという。）データ
ファイルを有し、新しいノードの測定を行う度に、当該
ノードの被試験ＬＳＩ上における位置（座標データ）、
当該ノードの名称等のノードデータを記憶していた。
試験ＬＳＩ毎に測定点（以下、ノードという。）データ
ファイルを有し、新しいノードの測定を行う度に、当該
ノードの被試験ＬＳＩ上における位置（座標データ）、
当該ノードの名称等のノードデータを記憶していた。
【０００４】したがって、過去に測定を行ったことのあ
るＬＳＩについて、再び試験条件などを変えて測定する
場合には、ノードデータファイルの検索（履歴検索）を
行って、過去に測定したことのあるノードのノードデー
タを使用したり、参照して解析したりすることができる
ようになっていた。
るＬＳＩについて、再び試験条件などを変えて測定する
場合には、ノードデータファイルの検索（履歴検索）を
行って、過去に測定したことのあるノードのノードデー
タを使用したり、参照して解析したりすることができる
ようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＬＳＩの試
験を行う場合のノードの測定順番は、ノード相互間の関
係に基づいて決定するのが一般的である。すなわち、Ｌ
ＳＩ内部の電圧が変化するタイミングの順番に測定した
り、ある特定の信号系統の信号伝達の順番に測定したり
していた。しかしながら、上記従来の測定装置において
は、ノードデータとしてノード相互間の関係を示す情報
は記憶していなかったため、ノード相互間の関係付けを
行う場合には操作者の記憶等に頼らなければならなかっ
た。したがって、同一被試験ＬＳＩのノード数が多くな
ると、履歴検索で全ノードの中から必要なノードだけ
を、例えば、信号伝達順番等の意味のある順番で取り出
すのに非常に時間がかかるという不具合があった。ま
た、よく似た名称のノードを間違って取り出してしまう
等の不具合があった。
験を行う場合のノードの測定順番は、ノード相互間の関
係に基づいて決定するのが一般的である。すなわち、Ｌ
ＳＩ内部の電圧が変化するタイミングの順番に測定した
り、ある特定の信号系統の信号伝達の順番に測定したり
していた。しかしながら、上記従来の測定装置において
は、ノードデータとしてノード相互間の関係を示す情報
は記憶していなかったため、ノード相互間の関係付けを
行う場合には操作者の記憶等に頼らなければならなかっ
た。したがって、同一被試験ＬＳＩのノード数が多くな
ると、履歴検索で全ノードの中から必要なノードだけ
を、例えば、信号伝達順番等の意味のある順番で取り出
すのに非常に時間がかかるという不具合があった。ま
た、よく似た名称のノードを間違って取り出してしまう
等の不具合があった。
【０００６】そこで、本発明の目的は、被試験ＬＳＩ上
に多数のノードが存在する場合でも、ノード相互間の関
係に基づいて、容易に必要なノードを抽出して測定を行
えるとともにノードデータの解析を行うことが可能な測
定装置を提供することを目的とする。
に多数のノードが存在する場合でも、ノード相互間の関
係に基づいて、容易に必要なノードを抽出して測定を行
えるとともにノードデータの解析を行うことが可能な測
定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、半導体装置の動作特性、電気的特性等の
測定を行う測定装置において、複数の測定点についての
測定点名称、測定点位置等の測定点情報を記憶するとと
もに、前記記憶している測定点相互の関係を示す識別情
報を記憶する測定点情報記憶手段（６）と、前記識別情
報に基づいて、関連する測定点情報を抽出する測定点情
報抽出手段（４）と、を備えて構成する。
め、本発明は、半導体装置の動作特性、電気的特性等の
測定を行う測定装置において、複数の測定点についての
測定点名称、測定点位置等の測定点情報を記憶するとと
もに、前記記憶している測定点相互の関係を示す識別情
報を記憶する測定点情報記憶手段（６）と、前記識別情
報に基づいて、関連する測定点情報を抽出する測定点情
報抽出手段（４）と、を備えて構成する。
【０００８】
【作用】本発明によれば、測定点情報記憶手段（６）
は、複数の測定点についての測定点名称、測定点位置等
の測定点情報を記憶するとともに、前記記憶している測
定点相互の関係を示す識別情報を記憶する。測定点情報
抽出手段（４）は、前記識別情報に基づいて、関連する
測定点情報を抽出する。
は、複数の測定点についての測定点名称、測定点位置等
の測定点情報を記憶するとともに、前記記憶している測
定点相互の関係を示す識別情報を記憶する。測定点情報
抽出手段（４）は、前記識別情報に基づいて、関連する
測定点情報を抽出する。
【０００９】したがって、抽出した測定点情報に基づい
て関連する測定点における測定、測定結果の解析を容易
に行うことができる。
て関連する測定点における測定、測定結果の解析を容易
に行うことができる。
【００１０】
【実施例】次に、図１乃至図５を参照して本発明の実施
例を説明する。図１に本発明を電子ビームテスタに適用
した場合の基本構成ブロック図を示す。
例を説明する。図１に本発明を電子ビームテスタに適用
した場合の基本構成ブロック図を示す。
【００１１】電子ビームテスタ１は、被試験ＬＳＩ２の
内部の電圧波形を取得することができる電圧測定装置３
を有している。この電圧測定装置３は、制御用コンピュ
ータ４の制御下で動作し、その測定結果は、ディスプレ
イ５に表示されるとともに記憶装置６に記憶される。ま
た、測定条件、測定結果の解析条件等の入力はキーボー
ド７を介して行われる。この場合において、制御用コン
ピュータ４は測定点情報抽出手段および測定結果合成出
力手段として機能する。
内部の電圧波形を取得することができる電圧測定装置３
を有している。この電圧測定装置３は、制御用コンピュ
ータ４の制御下で動作し、その測定結果は、ディスプレ
イ５に表示されるとともに記憶装置６に記憶される。ま
た、測定条件、測定結果の解析条件等の入力はキーボー
ド７を介して行われる。この場合において、制御用コン
ピュータ４は測定点情報抽出手段および測定結果合成出
力手段として機能する。
【００１２】記憶装置６は、図２に示すように、制御用
コンピュータ４が電圧測定装置３を制御するための制御
用プログラムを格納している制御用プログラム格納領域
６１と、各測定点（ノード）のノードデータを格納する
測定点データ格納領域６２と、各ノードの電圧波形測定
データを格納する波形データ格納領域６３と、を備えて
いる。この場合において、記憶装置６は、測定点情報記
憶手段として機能している。
コンピュータ４が電圧測定装置３を制御するための制御
用プログラムを格納している制御用プログラム格納領域
６１と、各測定点（ノード）のノードデータを格納する
測定点データ格納領域６２と、各ノードの電圧波形測定
データを格納する波形データ格納領域６３と、を備えて
いる。この場合において、記憶装置６は、測定点情報記
憶手段として機能している。
【００１３】測定点データ格納領域６２は、各ノード相
互間の関係を示す識別コードを格納する識別コード格納
領域６２１と、各ノードの名称を格納するノード名称格
納領域６２２と、各ノードの被試験ＬＳＩ２のチップ内
における位置座標データを格納する座標データ格納領域
６２３と、を備えている。例えば、図３に示すようにノ
ード名“Ｃ”の測定点の識別コードは“１−２”、一座
標データは“ＸC 、Ｙ C ”であり、その意味するところ
は、識別コードのハイフンの前の数字（グループ番号）
の“１”はノード名“Ｃ”の測定点がグループ番号＝
“１”のグループに属することを示し、識別コードのハ
イフンの後ろの数字（サブグループ番号）の“２”は当
該グループが信号伝達順番を示すグループだとすれば、
ノード名“Ｃ”の測定点がグループ内で“２”番目に信
号が伝達されることを示し（図４（ａ）参照）、位置座
標データは、被試験ＬＳＩ２若しくは図示しない電子ビ
ーム鏡筒を移動させるためのステージのステージ座標系
で表される被試験ＬＳＩ２のチップ原点を基準として求
めた（ＸC 、ＹC ）の位置に当該ノードが存在すること
を示している。
互間の関係を示す識別コードを格納する識別コード格納
領域６２１と、各ノードの名称を格納するノード名称格
納領域６２２と、各ノードの被試験ＬＳＩ２のチップ内
における位置座標データを格納する座標データ格納領域
６２３と、を備えている。例えば、図３に示すようにノ
ード名“Ｃ”の測定点の識別コードは“１−２”、一座
標データは“ＸC 、Ｙ C ”であり、その意味するところ
は、識別コードのハイフンの前の数字（グループ番号）
の“１”はノード名“Ｃ”の測定点がグループ番号＝
“１”のグループに属することを示し、識別コードのハ
イフンの後ろの数字（サブグループ番号）の“２”は当
該グループが信号伝達順番を示すグループだとすれば、
ノード名“Ｃ”の測定点がグループ内で“２”番目に信
号が伝達されることを示し（図４（ａ）参照）、位置座
標データは、被試験ＬＳＩ２若しくは図示しない電子ビ
ーム鏡筒を移動させるためのステージのステージ座標系
で表される被試験ＬＳＩ２のチップ原点を基準として求
めた（ＸC 、ＹC ）の位置に当該ノードが存在すること
を示している。
【００１４】同様にして、図３に示した各ノードの関係
をグループごとに示すと、グループ番号＝“１”のグル
ープを構成する各ノードは図４（ａ）に示すように、ノ
ード名“Ａ”のノードを起点として、ノード名“Ｂ”、
“Ｃ”の各ノードが対等に接続されていることを示す。
さらにノード名“Ｃ”のノードにはノード名“Ｄ”、
“Ｅ”のノードが直列に接続され、またさらにノード名
“Ｅ”のノードにはノード名“Ｋ”、“Ｌ”の各ノード
が対等に接続されていることを示している。
をグループごとに示すと、グループ番号＝“１”のグル
ープを構成する各ノードは図４（ａ）に示すように、ノ
ード名“Ａ”のノードを起点として、ノード名“Ｂ”、
“Ｃ”の各ノードが対等に接続されていることを示す。
さらにノード名“Ｃ”のノードにはノード名“Ｄ”、
“Ｅ”のノードが直列に接続され、またさらにノード名
“Ｅ”のノードにはノード名“Ｋ”、“Ｌ”の各ノード
が対等に接続されていることを示している。
【００１５】グループ番号＝“２”のグループを構成す
る各ノードは図４（ｂ）に示すように、ノード名“Ｏ”
のノードを起点として、“Ｐ”、“Ｑ”、“Ｒ”、
“Ｓ”のノードが順次直列に接続されていることを示し
ている。
る各ノードは図４（ｂ）に示すように、ノード名“Ｏ”
のノードを起点として、“Ｐ”、“Ｑ”、“Ｒ”、
“Ｓ”のノードが順次直列に接続されていることを示し
ている。
【００１６】グループ番号＝“３”のグループを構成す
る各ノードは図４（ｃ）に示すように、ノード名
“Ｔ”、“Ｕ”、“Ｖ”、“Ｗ”、のノードがすべて対
等に設定されていることを示している。
る各ノードは図４（ｃ）に示すように、ノード名
“Ｔ”、“Ｕ”、“Ｖ”、“Ｗ”、のノードがすべて対
等に設定されていることを示している。
【００１７】グループ番号＝“４”のグループを構成す
る各ノードは図４（ｄ）に示すように、ノード名“Ｘ”
のノードを起点として、“Ｙ”、“Ｚ”、“Ｍ”の各ノ
ードが対等に接続されていることを示している。
る各ノードは図４（ｄ）に示すように、ノード名“Ｘ”
のノードを起点として、“Ｙ”、“Ｚ”、“Ｍ”の各ノ
ードが対等に接続されていることを示している。
【００１８】このように、グループ番号が同じノードは
相互に関連があることを示し、サブグループ番号が同じ
ノードは互いに同等な関係にあることを示している。次
に、測定装置の動作について図５の処理フローチャート
を参照して説明する。
相互に関連があることを示し、サブグループ番号が同じ
ノードは互いに同等な関係にあることを示している。次
に、測定装置の動作について図５の処理フローチャート
を参照して説明する。
【００１９】まず、測定者は、測定メニューの選択を行
う（ステップＳ１）。被試験ＬＳＩ２の測定メニューに
は、新しいノードを追加して測定してゆく新ノード測定
モードと、過去のノードデータを履歴検索することによ
り必要なノードを抽出して測定してゆく履歴検索測定モ
ードがあり、いずれかを選択することとなる。以下にお
いては、履歴検索測定モードの場合について説明する。
う（ステップＳ１）。被試験ＬＳＩ２の測定メニューに
は、新しいノードを追加して測定してゆく新ノード測定
モードと、過去のノードデータを履歴検索することによ
り必要なノードを抽出して測定してゆく履歴検索測定モ
ードがあり、いずれかを選択することとなる。以下にお
いては、履歴検索測定モードの場合について説明する。
【００２０】続いて測定者は、測定点の指定を行う（ス
テップＳ２）。例えば、測定者が上述したグループ番号
＝“４”のグループを構成する各ノードについての再測
定を行うことをキーボード７から入力する。これにより
制御用コンピュータ４は、制御用プログラムに基づき、
記憶装置の測定点データ格納領域にアクセスし、ノード
データの履歴検索を行い、グループ番号＝“４”のグル
ープに属する“Ｘ”、“Ｙ”、“Ｚ”、“Ｍ”の各ノー
ドを抽出する（ステップＳ３）。
テップＳ２）。例えば、測定者が上述したグループ番号
＝“４”のグループを構成する各ノードについての再測
定を行うことをキーボード７から入力する。これにより
制御用コンピュータ４は、制御用プログラムに基づき、
記憶装置の測定点データ格納領域にアクセスし、ノード
データの履歴検索を行い、グループ番号＝“４”のグル
ープに属する“Ｘ”、“Ｙ”、“Ｚ”、“Ｍ”の各ノー
ドを抽出する（ステップＳ３）。
【００２１】次に、制御用コンピュータ４は、これらの
ノードについて、電圧波形の測定を行い（ステップＳ
４）、各ノードの電圧波形測定データを記憶装置６の波
形データ格納領域６３に格納する（ステップＳ５）。
ノードについて、電圧波形の測定を行い（ステップＳ
４）、各ノードの電圧波形測定データを記憶装置６の波
形データ格納領域６３に格納する（ステップＳ５）。
【００２２】その後、測定者は、必要なノードについて
の電圧波形データを波形データ格納領域６３から読出
し、波形合成を行って（ステップＳ６）、合成結果をデ
ィスプレイに５に表示して測定結果の解析を行う。
の電圧波形データを波形データ格納領域６３から読出
し、波形合成を行って（ステップＳ６）、合成結果をデ
ィスプレイに５に表示して測定結果の解析を行う。
【００２３】以上の説明のように、ノードデータとし
て、ノード間相互の関係を示す識別コードを格納してい
るため、容易にノード間の関係を把握することができる
とともに、グループ番号＝“１”のグループに属するノ
ード等のように指定することにより、容易に必要なノー
ドを抽出することが可能となる。
て、ノード間相互の関係を示す識別コードを格納してい
るため、容易にノード間の関係を把握することができる
とともに、グループ番号＝“１”のグループに属するノ
ード等のように指定することにより、容易に必要なノー
ドを抽出することが可能となる。
【００２４】以上の実施例においては、履歴検索を行う
場合についてのみ述べたが、ノードの新規追加の場合に
は、ノード名称、ノードの位置座標データに識別コード
を付加してやることにより、すでに格納されているノー
ドデータと同様に取扱うことができる。また、あるノー
ドが属するグループを他のグループ変更するなどの変更
についても、識別コードのみを変更すれば良いので容易
に対処することができる。またさらに、あるノードが属
するグループから当該ノードを削除する場合にも、識別
コードを変更し、または削除すれば良いので、容易に行
うことができる。なお、これらのノードの新規追加、変
更、削除などは、キーボード７を介して制御用コンピュ
ータ４の制御下で行われることとなる。この場合におい
て、制御用コンピュータ４およびキーボード７は、測定
点間情報操作手段として機能している。
場合についてのみ述べたが、ノードの新規追加の場合に
は、ノード名称、ノードの位置座標データに識別コード
を付加してやることにより、すでに格納されているノー
ドデータと同様に取扱うことができる。また、あるノー
ドが属するグループを他のグループ変更するなどの変更
についても、識別コードのみを変更すれば良いので容易
に対処することができる。またさらに、あるノードが属
するグループから当該ノードを削除する場合にも、識別
コードを変更し、または削除すれば良いので、容易に行
うことができる。なお、これらのノードの新規追加、変
更、削除などは、キーボード７を介して制御用コンピュ
ータ４の制御下で行われることとなる。この場合におい
て、制御用コンピュータ４およびキーボード７は、測定
点間情報操作手段として機能している。
【００２５】また、以上の実施例においては、識別コー
ドとして、２種の数値を組み合わせたものを用いていた
が、例えば、識別コード“１−４”を“０１０４”のよ
うに１つの数値で表したり、“Ａ、Ｄ”のようにアルフ
ァベット同士の組み合わせで表したり、“Ａ、４”のよ
うにアルファベットと数値の組合わせで表したり、様々
な表現を用いることが可能である。さらに、一のノード
に対して、複数の識別コードを割り当てることも可能で
ある。これにより、同一のノードを複数のグループで参
照することができ、試験結果の解析が容易になる。
ドとして、２種の数値を組み合わせたものを用いていた
が、例えば、識別コード“１−４”を“０１０４”のよ
うに１つの数値で表したり、“Ａ、Ｄ”のようにアルフ
ァベット同士の組み合わせで表したり、“Ａ、４”のよ
うにアルファベットと数値の組合わせで表したり、様々
な表現を用いることが可能である。さらに、一のノード
に対して、複数の識別コードを割り当てることも可能で
ある。これにより、同一のノードを複数のグループで参
照することができ、試験結果の解析が容易になる。
【００２６】さらにまた、以上の実施例においては、電
子ビームテスタについてのみ説明したが、複数の関連す
る測定点を繰り返し用いて測定、解析を行う他の測定装
置に本発明を適用することも可能である。
子ビームテスタについてのみ説明したが、複数の関連す
る測定点を繰り返し用いて測定、解析を行う他の測定装
置に本発明を適用することも可能である。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、測定点情報抽出手段
は、測定点情報記憶手段に記憶している測定点相互の関
係を示す識別情報に基づいて、関連する測定点情報を抽
出することができるので、測定装置は被試験ＬＳＩ上に
多数のノードが存在する場合でも、ノード相互間の関係
に基づいて、容易に必要なノードを抽出して、当該ノー
ドの測定並びに当該ノードの測定結果の解析を行うこと
が可能となる。
は、測定点情報記憶手段に記憶している測定点相互の関
係を示す識別情報に基づいて、関連する測定点情報を抽
出することができるので、測定装置は被試験ＬＳＩ上に
多数のノードが存在する場合でも、ノード相互間の関係
に基づいて、容易に必要なノードを抽出して、当該ノー
ドの測定並びに当該ノードの測定結果の解析を行うこと
が可能となる。
【図１】本発明の実施例の基本構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】記憶装置の記憶状態を説明する図である。
【図３】測定点データ格納領域の記憶状態を説明する図
である。
である。
【図４】測定点相互の関係を説明する図である。
【図５】図１の実施例の処理フローチャートである。
１…電子ビームテスタ ２…被試験ＬＳＩ ３…電圧測定装置 ４…制御用コンピュータ ５…ディスプレイ ６…記憶装置 ７…キーボード ６１…制御用プログラム格納領域 ６２…測定点データ格納領域 ６３…波形データ格納領域 ６２１…識別コード格納領域 ６２２…ノード名称格納領域 ６２３…座標データ格納領域
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体装置の動作特性、電気的特性等の
測定を行う測定装置において、 複数の測定点についての測定点名称、測定点位置等の測
定点情報を記憶するとともに、前記記憶している測定点
相互の関係を示す識別情報を記憶する測定点情報記憶手
段（６）と、 前記識別情報に基づいて、関連する測定点情報を抽出す
る測定点情報抽出手段（４）を備えたことを特徴とする
測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の測定装置において、 前記測定点情報および前記識別情報を追加、変更、削除
する測定点情報操作手段（４、７）を備えたことを特徴
とする測定装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の測定装置
において、 前記複数の測定点についての測定結果を記憶する測定結
果記憶手段（６）と、 前記記憶した識別情報に基づいて、関連する測定点にお
ける前記測定結果を合成して出力する測定結果合成出力
手段（４）と、を備えたことを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234630A JPH0572281A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3234630A JPH0572281A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572281A true JPH0572281A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16974049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3234630A Withdrawn JPH0572281A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101821640A (zh) * | 2008-12-17 | 2010-09-01 | 惠瑞捷（新加坡）私人有限公司 | 用于确定用于检测芯片上的故障的相关值以及确定芯片上的位置的故障概率的方法和装置 |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP3234630A patent/JPH0572281A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101821640A (zh) * | 2008-12-17 | 2010-09-01 | 惠瑞捷（新加坡）私人有限公司 | 用于确定用于检测芯片上的故障的相关值以及确定芯片上的位置的故障概率的方法和装置 |
| JP2011505016A (ja) * | 2008-12-17 | 2011-02-17 | ヴェリジー（シンガポール） プライベート リミテッド | チップの欠陥検出のために関連度値を判定し、チップ上の位置で欠陥確率を判定する方法及び装置 |
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