JP2001274208A - マップデータ生成装置およびマップデータ生成方法 - Google Patents
マップデータ生成装置およびマップデータ生成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、複数工程を経るウェハテスト工程
を構成する各工程で良／不良の判定が異なる場合に、通
常の良品とは区別して利用することが可能なチップを不
良品として廃棄することなく分別できるマップデータ生
成装置およびマップデータ生成方法を得る。 【解決手段】 ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前記複数工程を構成する工程別の分類コードの組み
合わせで最終分類コードを特定する分類コード表によっ
て、最終結果としてのマップデータを生成するセルコン
トローラを有する。
を構成する各工程で良／不良の判定が異なる場合に、通
常の良品とは区別して利用することが可能なチップを不
良品として廃棄することなく分別できるマップデータ生
成装置およびマップデータ生成方法を得る。 【解決手段】 ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前記複数工程を構成する工程別の分類コードの組み
合わせで最終分類コードを特定する分類コード表によっ
て、最終結果としてのマップデータを生成するセルコン
トローラを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体をウェハ
状態でテストした際にチップ毎の分類コードを電子情報
として生成する技術に係り、特に複数工程を経るウェハ
テスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異なる
場合に、通常の良品とは区別して利用することが可能な
チップを不良品として廃棄することなく分別できるマッ
プデータ生成装置およびマップデータ生成方法に関する
ものである。
状態でテストした際にチップ毎の分類コードを電子情報
として生成する技術に係り、特に複数工程を経るウェハ
テスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異なる
場合に、通常の良品とは区別して利用することが可能な
チップを不良品として廃棄することなく分別できるマッ
プデータ生成装置およびマップデータ生成方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のマップデータ生成装置は、ウェハ
全チップの分類コードを保持するためにチップ毎に１つ
の分類コード保存エリアを有し、さらに、各処理工程単
位で生成したマップデータを最新データに上書きしてい
くことで最終分類コードを得る動作を行っていた。した
がって、全行程に渡ってすべて良品と判定されたチップ
では問題ないが、最初の工程で良品と判定されたチップ
が次の工程で不良品と判定された場合には、最終分類コ
ードに不良品の分類コードが書き込まれる結果、廃棄処
分となる。このような不良判定がなされたチップの中に
は、例えば、動作スピードが遅いなどの特性によって不
良チップと判定されたものもあるため、廃棄せず通常の
良品とは区別して利用することが可能なチップが含まれ
ている可能性が高かった。
全チップの分類コードを保持するためにチップ毎に１つ
の分類コード保存エリアを有し、さらに、各処理工程単
位で生成したマップデータを最新データに上書きしてい
くことで最終分類コードを得る動作を行っていた。した
がって、全行程に渡ってすべて良品と判定されたチップ
では問題ないが、最初の工程で良品と判定されたチップ
が次の工程で不良品と判定された場合には、最終分類コ
ードに不良品の分類コードが書き込まれる結果、廃棄処
分となる。このような不良判定がなされたチップの中に
は、例えば、動作スピードが遅いなどの特性によって不
良チップと判定されたものもあるため、廃棄せず通常の
良品とは区別して利用することが可能なチップが含まれ
ている可能性が高かった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マップデータ生成装置では、廃棄せず通常の良品とは区
別して利用することが可能なチップに対しても不良判定
がされてしまうため、このようなチップを分別すること
が難しいという問題点があった。
マップデータ生成装置では、廃棄せず通常の良品とは区
別して利用することが可能なチップに対しても不良判定
がされてしまうため、このようなチップを分別すること
が難しいという問題点があった。
【０００４】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、複数工程を経るウェハテスト工
程を構成する各工程で良／不良の判定が異なる場合に、
通常の良品とは区別して利用することが可能なチップを
不良品として廃棄することなく分別できるマップデータ
生成装置およびマップデータ生成方法を得ることを目的
とする。
ためになされたもので、複数工程を経るウェハテスト工
程を構成する各工程で良／不良の判定が異なる場合に、
通常の良品とは区別して利用することが可能なチップを
不良品として廃棄することなく分別できるマップデータ
生成装置およびマップデータ生成方法を得ることを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の発明にかかるマップデータ生成装置は、ウェハテスト
処理を構成する複数工程の実行時にそれぞれの工程から
マップデータを生成するプローバと、前記マップデータ
を受信して保存するとともに、前記複数工程を構成する
工程別の分類コードの組み合わせで最終分類コードを特
定する分類コード表によって、最終結果としてのマップ
データを生成するセルコントローラを有するものであ
る。
の発明にかかるマップデータ生成装置は、ウェハテスト
処理を構成する複数工程の実行時にそれぞれの工程から
マップデータを生成するプローバと、前記マップデータ
を受信して保存するとともに、前記複数工程を構成する
工程別の分類コードの組み合わせで最終分類コードを特
定する分類コード表によって、最終結果としてのマップ
データを生成するセルコントローラを有するものであ
る。
【０００６】請求項２記載の発明にかかるマップデータ
生成装置は、ウェハテスト処理を構成する複数工程の実
行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプロ
ーバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前回までの分類コードと今回の分類コードの論理演
算式定義により最終分類コードを生成するセルコントロ
ーラを有するものである。
生成装置は、ウェハテスト処理を構成する複数工程の実
行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプロ
ーバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前回までの分類コードと今回の分類コードの論理演
算式定義により最終分類コードを生成するセルコントロ
ーラを有するものである。
【０００７】請求項３記載の発明にかかるマップデータ
生成装置は、上記請求項１または２記載の発明におい
て、最終分類コードが、前回までの分類コードと今回の
分類コードの対応表によって決められるものである。
生成装置は、上記請求項１または２記載の発明におい
て、最終分類コードが、前回までの分類コードと今回の
分類コードの対応表によって決められるものである。
【０００８】請求項４記載の発明にかかるマップデータ
生成装置は、上記請求項２記載の発明において、前記セ
ルコントローラは、前記論理演算式定義として、前回の
分類コードと今回の分類コードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回
の結果のまま、および今回の結果に書き換えという４種
類の設定をするように構成されているものである。
生成装置は、上記請求項２記載の発明において、前記セ
ルコントローラは、前記論理演算式定義として、前回の
分類コードと今回の分類コードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回
の結果のまま、および今回の結果に書き換えという４種
類の設定をするように構成されているものである。
【０００９】請求項５記載の発明にかかるマップデータ
生成装置は、上記請求項２記載の発明において、前記セ
ルコントローラは、前記論理演算式定義に基づく分類コ
ード生成において、前回判定と今回判定で良否判定が異
なる場合に前記分類コードを区別設定するように構成さ
れているものである。
生成装置は、上記請求項２記載の発明において、前記セ
ルコントローラは、前記論理演算式定義に基づく分類コ
ード生成において、前回判定と今回判定で良否判定が異
なる場合に前記分類コードを区別設定するように構成さ
れているものである。
【００１０】請求項６記載の発明にかかるマップデータ
生成方法は、複数工程のそれぞれからマップデータが生
成されるウェハテスト処理において、前記複数工程を構
成する工程別の分類コードの組み合わせで最終分類コー
ドを特定する分類コード表によって、最終結果としての
マップデータを生成する工程を有するものである。
生成方法は、複数工程のそれぞれからマップデータが生
成されるウェハテスト処理において、前記複数工程を構
成する工程別の分類コードの組み合わせで最終分類コー
ドを特定する分類コード表によって、最終結果としての
マップデータを生成する工程を有するものである。
【００１１】請求項７記載の発明にかかるマップデータ
生成方法は、上記請求項６記載の発明において、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの論理演算式定義に
より最終分類コードを生成する工程を有するものであ
る。
生成方法は、上記請求項６記載の発明において、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの論理演算式定義に
より最終分類コードを生成する工程を有するものであ
る。
【００１２】請求項８記載の発明にかかるマップデータ
生成方法は、上記請求項６または７記載の発明におい
て、前回までの分類コードと今回の分類コードの対応表
によって最終分類コードを決定する工程を有するもので
ある。
生成方法は、上記請求項６または７記載の発明におい
て、前回までの分類コードと今回の分類コードの対応表
によって最終分類コードを決定する工程を有するもので
ある。
【００１３】請求項９記載の発明にかかるマップデータ
生成方法は、上記請求項７記載の発明において、前記論
理演算式定義として、前回の分類コードと今回の分類コ
ードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果のまま、および今回
の結果に書き換えという４種類の設定を行う工程を有す
るものである。
生成方法は、上記請求項７記載の発明において、前記論
理演算式定義として、前回の分類コードと今回の分類コ
ードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果のまま、および今回
の結果に書き換えという４種類の設定を行う工程を有す
るものである。
【００１４】請求項１０記載の発明にかかるマップデー
タ生成方法は、上記請求項７記載の発明において、前記
論理演算式定義に基づく分類コード生成において、前回
判定と今回判定で良否判定が異なる場合に前記分類コー
ドを区別設定する工程を有するものである。
タ生成方法は、上記請求項７記載の発明において、前記
論理演算式定義に基づく分類コード生成において、前回
判定と今回判定で良否判定が異なる場合に前記分類コー
ドを区別設定する工程を有するものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態１を図面に基づいて詳細に説明する。図１
は、テストチップ１４の範囲とテスト結果を示すウェハ
マップである。図１において、１２はウェハ、１４はテ
ストチップであり、横軸はテストチップ１４の横方向の
座標（チップ座標ｘ）、縦軸はテストチップ１４の縦方
向の座標（チップ座標ｙ）であり、テストチップ１４内
に表示している数字は、そのチップテスト結果である分
類コード例を示している。
実施の形態１を図面に基づいて詳細に説明する。図１
は、テストチップ１４の範囲とテスト結果を示すウェハ
マップである。図１において、１２はウェハ、１４はテ
ストチップであり、横軸はテストチップ１４の横方向の
座標（チップ座標ｘ）、縦軸はテストチップ１４の縦方
向の座標（チップ座標ｙ）であり、テストチップ１４内
に表示している数字は、そのチップテスト結果である分
類コード例を示している。
【００１６】図１に示すように、本実施の形態のマップ
データ生成装置ではウェハ１２をテストする場合に、テ
ストチップ１４の範囲でテストされ、テストチップ１４
毎に良品または不良品の分類コードが生成される。
データ生成装置ではウェハ１２をテストする場合に、テ
ストチップ１４の範囲でテストされ、テストチップ１４
毎に良品または不良品の分類コードが生成される。
【００１７】図２は、ウェハ１２のテストを説明するた
めのフロー、図３は、実施の形態１における工程Ａのマ
ップデータのテーブルである。図２において、１０はマ
ップデータ生成装置、１６，２０，２４はプローバ、１
８，２２，２６はテスタ、３０はセルコントローラを示
している。
めのフロー、図３は、実施の形態１における工程Ａのマ
ップデータのテーブルである。図２において、１０はマ
ップデータ生成装置、１６，２０，２４はプローバ、１
８，２２，２６はテスタ、３０はセルコントローラを示
している。
【００１８】図２に示す工程Ａでの処理では、プローバ
１６にウェハ１２を投入すると、テストチップ１４毎に
テストがテスタ１８を用いて実施され、プローバ１６に
より図３のマップデータＭａｐＡが生成される。図３に
おいて、分類コード「Ｘ」はテストチップなし、分類コ
ード「０」は不良品チップ、分類コード「１」は良品チ
ップ、分類コード「ＸＬ」は横方向データ数、分類コー
ド「ＹＬ」は縦方向データ数を表す。図３に示すマップ
データＭａｐＡは、図２に示すように、プローバ１６か
らセルコントローラ３０に送信され、セルコントローラ
３０に保存される。
１６にウェハ１２を投入すると、テストチップ１４毎に
テストがテスタ１８を用いて実施され、プローバ１６に
より図３のマップデータＭａｐＡが生成される。図３に
おいて、分類コード「Ｘ」はテストチップなし、分類コ
ード「０」は不良品チップ、分類コード「１」は良品チ
ップ、分類コード「ＸＬ」は横方向データ数、分類コー
ド「ＹＬ」は縦方向データ数を表す。図３に示すマップ
データＭａｐＡは、図２に示すように、プローバ１６か
らセルコントローラ３０に送信され、セルコントローラ
３０に保存される。
【００１９】図４は、実施の形態１における工程Ｂのマ
ップデータのテーブルである。図２に示す工程Ｂでの処
理では、プローバ２０にウェハ１２を投入すると、テス
トチップ１４毎にテストがテスタ２２を用いて実施さ
れ、プローバ２０により図４のマップデータＭａｐＢが
生成される。図４において、分類コード「Ｘ」はテスト
チップなし、分類コード「０」は不良品チップ、分類コ
ード「２」は工程Ｂの良品チップ、分類コード「ＸＬ」
は横方向データ数、分類コード「ＹＬ」は縦方向データ
数を表す。図４に示すマップデータＭａｐＢは、図２に
示すように、プローバ２０からセルコントローラ３０に
送信され、セルコントローラ３０に保存される。
ップデータのテーブルである。図２に示す工程Ｂでの処
理では、プローバ２０にウェハ１２を投入すると、テス
トチップ１４毎にテストがテスタ２２を用いて実施さ
れ、プローバ２０により図４のマップデータＭａｐＢが
生成される。図４において、分類コード「Ｘ」はテスト
チップなし、分類コード「０」は不良品チップ、分類コ
ード「２」は工程Ｂの良品チップ、分類コード「ＸＬ」
は横方向データ数、分類コード「ＹＬ」は縦方向データ
数を表す。図４に示すマップデータＭａｐＢは、図２に
示すように、プローバ２０からセルコントローラ３０に
送信され、セルコントローラ３０に保存される。
【００２０】図５は、実施の形態１における最終工程Ｃ
のマップデータのテーブルである。図２に示す工程Ｃで
の処理では、プローバ２４にウェハ１２を投入すると、
テストチップ１４毎にテストがテスタ２６を用いて実施
され、プローバ２４により図５のマップデータＭａｐＣ
が生成される。図５において、分類コード「Ｘ」はテス
トチップなし、分類コード「０」は不良品チップ、分類
コード「３」は最終工程Ｃの良品チップ、分類コード
「ＸＬ」は横方向データ数、分類コード「ＹＬ」は縦方
向データ数を表す。図５に示すマップデータＭａｐＣ
は、図２に示すように、プローバ２４からセルコントロ
ーラ３０に送信され、セルコントローラ３０に保存され
る。
のマップデータのテーブルである。図２に示す工程Ｃで
の処理では、プローバ２４にウェハ１２を投入すると、
テストチップ１４毎にテストがテスタ２６を用いて実施
され、プローバ２４により図５のマップデータＭａｐＣ
が生成される。図５において、分類コード「Ｘ」はテス
トチップなし、分類コード「０」は不良品チップ、分類
コード「３」は最終工程Ｃの良品チップ、分類コード
「ＸＬ」は横方向データ数、分類コード「ＹＬ」は縦方
向データ数を表す。図５に示すマップデータＭａｐＣ
は、図２に示すように、プローバ２４からセルコントロ
ーラ３０に送信され、セルコントローラ３０に保存され
る。
【００２１】以上の結果、図２に示すセルコントローラ
３０には、マップデータＭａｐＡ、マップデータＭａｐ
Ｂ、マップデータＭａｐＣが保存されることになる。
３０には、マップデータＭａｐＡ、マップデータＭａｐ
Ｂ、マップデータＭａｐＣが保存されることになる。
【００２２】次にセルコントローラ３０の動作について
説明する。図６は、演算設定例１を説明するためのテー
ブルである。
説明する。図６は、演算設定例１を説明するためのテー
ブルである。
【００２３】本実施の形態のマップデータ生成装置１０
では、セルコントローラ３０内に図６に示す演算設定例
１を設定しておく。具体的には、図６に示すように、工
程Ａでは分類コード「０」と分類コード「１」、工程Ｂ
では分類コード「０」と分類コード「２」、最終工程Ｃ
では分類コード「０」と分類コード「３」といったテス
ト結果が得られるため、各テストチップ１４のテスト結
果は合計８種類の遷移ケースが考えられ、各々分類コー
ド「Ａ」から分類コード「Ｈ」まで設定しておく。チッ
プなしについては分類コード「Ｘ」のままの状態で遷移
するものと仮定する。
では、セルコントローラ３０内に図６に示す演算設定例
１を設定しておく。具体的には、図６に示すように、工
程Ａでは分類コード「０」と分類コード「１」、工程Ｂ
では分類コード「０」と分類コード「２」、最終工程Ｃ
では分類コード「０」と分類コード「３」といったテス
ト結果が得られるため、各テストチップ１４のテスト結
果は合計８種類の遷移ケースが考えられ、各々分類コー
ド「Ａ」から分類コード「Ｈ」まで設定しておく。チッ
プなしについては分類コード「Ｘ」のままの状態で遷移
するものと仮定する。
【００２４】セルコントローラ３０では、最終工程Ｃの
マップデータＭａｐＣを受信したタイミングで、マップ
データＭａｐＣを保存すると同時に、マップデータＭａ
ｐＡ、マップデータＭａｐＢ、マップデータＭａｐＣを
基に各テストチップ１４に分類コード「Ａ」〜分類コー
ド「Ｈ」を割り当て、図７の演算結果を導く。その場合
の処理フローチャートを図７に示す。
マップデータＭａｐＣを受信したタイミングで、マップ
データＭａｐＣを保存すると同時に、マップデータＭａ
ｐＡ、マップデータＭａｐＢ、マップデータＭａｐＣを
基に各テストチップ１４に分類コード「Ａ」〜分類コー
ド「Ｈ」を割り当て、図７の演算結果を導く。その場合
の処理フローチャートを図７に示す。
【００２５】図７は、実施の形態１のマップデータ生成
方法を説明するためのフローチャート、図８は、図６の
演算設定例１に対する演算結果を説明するためのテーブ
ル、図９は、図６の演算設定例１の分類番号別集計結果
を説明するためのテーブルである。図７に示すように、
フローチャート内の（ｘ，ｙ）はテストチップ１４の座
標（チップ座標）を示す。得られた図８の結果から、分
類コード別にチップ数を集計すると図９が得られること
になる。
方法を説明するためのフローチャート、図８は、図６の
演算設定例１に対する演算結果を説明するためのテーブ
ル、図９は、図６の演算設定例１の分類番号別集計結果
を説明するためのテーブルである。図７に示すように、
フローチャート内の（ｘ，ｙ）はテストチップ１４の座
標（チップ座標）を示す。得られた図８の結果から、分
類コード別にチップ数を集計すると図９が得られること
になる。
【００２６】図７を参照すると、本実施の形態のマップ
データ生成方法では、まず、テストチップ１４の座標
（ｘ，ｙ）を（０，０）に設定し（ステップＳ１）、マ
ップデータＭａｐＡの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読
み込み（ステップＳ２）、マップデータＭａｐＢの座標
（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ３）、
マップデータＭａｐＣの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を
読み込み（ステップＳ４）、設定演算例１のテーブルよ
り、最終結果を選択し、マップデータＭａｐＦの座標
（ｘ，ｙ）のテストチップ１４のテスト結果として保存
する（ステップＳ５）。
データ生成方法では、まず、テストチップ１４の座標
（ｘ，ｙ）を（０，０）に設定し（ステップＳ１）、マ
ップデータＭａｐＡの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読
み込み（ステップＳ２）、マップデータＭａｐＢの座標
（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ３）、
マップデータＭａｐＣの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を
読み込み（ステップＳ４）、設定演算例１のテーブルよ
り、最終結果を選択し、マップデータＭａｐＦの座標
（ｘ，ｙ）のテストチップ１４のテスト結果として保存
する（ステップＳ５）。
【００２７】続いて、テストチップ１４のｘ座標と横方
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
６）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−１
（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ６の「＝」）
には次ステップ（ステップＳ８）に進み（ステップＳ６
の「＝」→ステップＳ８）、テストチップ１４のｘ座標
と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が等しくない場合
（ステップＳ６の「≠」）にはｘに１を加算（ｘ＝ｘ＋
１）してステップＳ２に戻る（ステップＳ６の「≠」→
ステップＳ７→ステップＳ２）。
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
６）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−１
（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ６の「＝」）
には次ステップ（ステップＳ８）に進み（ステップＳ６
の「＝」→ステップＳ８）、テストチップ１４のｘ座標
と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が等しくない場合
（ステップＳ６の「≠」）にはｘに１を加算（ｘ＝ｘ＋
１）してステップＳ２に戻る（ステップＳ６の「≠」→
ステップＳ７→ステップＳ２）。
【００２８】また、テストチップ１４のｙ座標と縦方向
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ
８）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ８の「＝」）
には処理を終了（ＥＮＤ）し、テストチップ１４のｙ座
標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等しくない場
合（ステップＳ８の「≠」）にはｘにゼロを代入しかつ
ｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップＳ２に戻る
（ステップＳ８の「≠」→ステップＳ９→ステップＳ
２）。
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ
８）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ８の「＝」）
には処理を終了（ＥＮＤ）し、テストチップ１４のｙ座
標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等しくない場
合（ステップＳ８の「≠」）にはｘにゼロを代入しかつ
ｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップＳ２に戻る
（ステップＳ８の「≠」→ステップＳ９→ステップＳ
２）。
【００２９】また、工程Ａでの結果が不満足な場合、再
テストしてマップデータＭａｐＡの最新データを生成し
て、最終結果を再計算することで対応が可能となる。
テストしてマップデータＭａｐＡの最新データを生成し
て、最終結果を再計算することで対応が可能となる。
【００３０】このようにして、分類コード「Ｂ」〜分類
コード「Ｈ」が工程Ａ、工程Ｂ、最終工程Ｃのいずれか
で良品と判断されたものであり、分別できる分類コード
を持つことができ、不良と判断されたものでも、分別し
て扱うことができる。さらに、分類コード「Ｂ」〜分類
コード「Ｈ」で不良品にも細分化されたコードとして構
成されているため、より細かな分類も可能である。
コード「Ｈ」が工程Ａ、工程Ｂ、最終工程Ｃのいずれか
で良品と判断されたものであり、分別できる分類コード
を持つことができ、不良と判断されたものでも、分別し
て扱うことができる。さらに、分類コード「Ｂ」〜分類
コード「Ｈ」で不良品にも細分化されたコードとして構
成されているため、より細かな分類も可能である。
【００３１】実施の形態２．以下、この発明の実施の形
態２を図面に基づいて詳細に説明する。上記実施の形態
１では、最終結果としての分類コードを得るためには、
各工程で生成される分類コード毎に全発生パターンの設
定を要するため、分類コードの種類が増えた場合、設定
数が膨大になるケースが考えられる。以下、このような
ケースへの対応を考慮した実施の形態２について説明す
る。
態２を図面に基づいて詳細に説明する。上記実施の形態
１では、最終結果としての分類コードを得るためには、
各工程で生成される分類コード毎に全発生パターンの設
定を要するため、分類コードの種類が増えた場合、設定
数が膨大になるケースが考えられる。以下、このような
ケースへの対応を考慮した実施の形態２について説明す
る。
【００３２】前述の図１から図５までは、実施の形態１
と同じ条件とする。また、セルコントローラ３０内に、
図１に示す演算の定義設定を行う。分類コード「Ｐ１」
は、前回までの良品チップの分類コードの総称、分類コ
ード「Ｐ２」は今回の良品チップの分類コードの総称、
分類コード「Ｆ１」は、前回までの不良品チップの分類
コードの総称、分類コード「Ｆ２」は、今回の不良品チ
ップの分類コードの総称とする。
と同じ条件とする。また、セルコントローラ３０内に、
図１に示す演算の定義設定を行う。分類コード「Ｐ１」
は、前回までの良品チップの分類コードの総称、分類コ
ード「Ｐ２」は今回の良品チップの分類コードの総称、
分類コード「Ｆ１」は、前回までの不良品チップの分類
コードの総称、分類コード「Ｆ２」は、今回の不良品チ
ップの分類コードの総称とする。
【００３３】図１５は、実施の形態２における演算設定
例２の分類番号別集計結果を説明するためのテーブル、
図１６は、実施の形態２における工程Ａのマップデータ
のテーブル、図１７は、実施の形態２における工程Ｂの
マップデータのテーブルである。本実施の形態のマップ
データ生成装置１０では、例えば、図１６で良品チップ
の分類コード「１」のテストチップ１４が存在するが、
図１７では同一チップが不良品チップの分類コード
「０」に変わっている。この例の場合分類コード「Ｐ
１」＝１、分類コード「Ｐ２」＝０となり、分類コード
「Ｐｐｐ」＝Ｐａと設定している場合には（後述、図１
１参照）、このテストチップ１４の処理結果は、良品チ
ップで分類コードが分類コード「Ｐａ」に置き換えられ
る。
例２の分類番号別集計結果を説明するためのテーブル、
図１６は、実施の形態２における工程Ａのマップデータ
のテーブル、図１７は、実施の形態２における工程Ｂの
マップデータのテーブルである。本実施の形態のマップ
データ生成装置１０では、例えば、図１６で良品チップ
の分類コード「１」のテストチップ１４が存在するが、
図１７では同一チップが不良品チップの分類コード
「０」に変わっている。この例の場合分類コード「Ｐ
１」＝１、分類コード「Ｐ２」＝０となり、分類コード
「Ｐｐｐ」＝Ｐａと設定している場合には（後述、図１
１参照）、このテストチップ１４の処理結果は、良品チ
ップで分類コードが分類コード「Ｐａ」に置き換えられ
る。
【００３４】図１０は、論理演算式定義を説明するため
のテーブルである。図１０において「Ｐ１ ＡＮＤ Ｐ
２＝Ｐｐｐ」とは、「前回が良品チップの分類コードで
あったものが今回良品チップの分類コードに変わったテ
ストチップ１４は、すべて分類コード「Ｐｐｐ」で指定
した良品チップの分類コードに置き換える演算を実施す
る」という定義を表す。
のテーブルである。図１０において「Ｐ１ ＡＮＤ Ｐ
２＝Ｐｐｐ」とは、「前回が良品チップの分類コードで
あったものが今回良品チップの分類コードに変わったテ
ストチップ１４は、すべて分類コード「Ｐｐｐ」で指定
した良品チップの分類コードに置き換える演算を実施す
る」という定義を表す。
【００３５】また図１０（ａ）に示すＡＮＤ演算とは、
「「前回までの結果」および「今回結果」ともに良品チ
ップと判断されたときに良品チップでの分類コードに置
き換える演算を実施し、そうでない場合には不良品チッ
プの分類コードに置き換える演算を実施する」という定
義を表す。
「「前回までの結果」および「今回結果」ともに良品チ
ップと判断されたときに良品チップでの分類コードに置
き換える演算を実施し、そうでない場合には不良品チッ
プの分類コードに置き換える演算を実施する」という定
義を表す。
【００３６】分類コード「Ｐ１」は前回までの結果が良
であること、分類コード「Ｆ１」は前回までの結果が不
良であること、分類コード「Ｐ２」は今回の結果が良で
あること、分類コード「Ｆ２」は今回の結果が不良であ
ることを表す。
であること、分類コード「Ｆ１」は前回までの結果が不
良であること、分類コード「Ｐ２」は今回の結果が良で
あること、分類コード「Ｆ２」は今回の結果が不良であ
ることを表す。
【００３７】分類コード「Ｐｐｐ」、分類コード「Ｆｐ
ｆ」、分類コード「Ｆｆｐ」、分類コード「Ｆｆｆ」は
各演算結果に対応した分類コードを区別して格納できる
ようにつけられたラベル名である。
ｆ」、分類コード「Ｆｆｐ」、分類コード「Ｆｆｆ」は
各演算結果に対応した分類コードを区別して格納できる
ようにつけられたラベル名である。
【００３８】また図１０（ｂ）に示すＯＲ演算は、
「「前回まで」、「今回」のどちらかが良と判定された
ときに良での分類コードに置き換える演算を実施し、そ
うでない場合は不良の分類コードに置き換えるという演
算を実施する」という定義を表す。
「「前回まで」、「今回」のどちらかが良と判定された
ときに良での分類コードに置き換える演算を実施し、そ
うでない場合は不良の分類コードに置き換えるという演
算を実施する」という定義を表す。
【００３９】また図１０（ｃ）に示すＮＷ演算は、「分
類コード「今回」の分類コードを採用する」という定義
を表し、図１０（ｄ）に示すＢＦ演算は「「前回まで」
の分類コードを採用する」という定義を表す。
類コード「今回」の分類コードを採用する」という定義
を表し、図１０（ｄ）に示すＢＦ演算は「「前回まで」
の分類コードを採用する」という定義を表す。
【００４０】さらに詳しく、本実施の形態を具体的に説
明する。図１１は、演算設定例２を説明するためのテー
ブルである。図１１に示すように、各工程には、上記Ａ
ＮＤ演算／ＯＲ演算／ＮＷ演算／ＢＦ演算のうちからの
選択設定と、ＡＮＤ演算設定またはＯＲ演算設定の場合
には、各演算結果に対応した分類コードの設定を行う。
図１１の工程Ｂでは、ＯＲ演算を選択し、分類コード
「Ｐｐｐ」の良品チップの分類コードを分類コード「Ｐ
ａ」に設定し、分類コード「Ｐｐｆ」および分類コード
「Ｐｆｐ」の良品チップの分類コードを分類コード「Ｐ
ｂ」に設定し、分類コード「Ｆｆｆ」の不良品チップの
分類コードを分類コード「Ｆｃ」に設定する。
明する。図１１は、演算設定例２を説明するためのテー
ブルである。図１１に示すように、各工程には、上記Ａ
ＮＤ演算／ＯＲ演算／ＮＷ演算／ＢＦ演算のうちからの
選択設定と、ＡＮＤ演算設定またはＯＲ演算設定の場合
には、各演算結果に対応した分類コードの設定を行う。
図１１の工程Ｂでは、ＯＲ演算を選択し、分類コード
「Ｐｐｐ」の良品チップの分類コードを分類コード「Ｐ
ａ」に設定し、分類コード「Ｐｐｆ」および分類コード
「Ｐｆｐ」の良品チップの分類コードを分類コード「Ｐ
ｂ」に設定し、分類コード「Ｆｆｆ」の不良品チップの
分類コードを分類コード「Ｆｃ」に設定する。
【００４１】図１２は、実施の形態２のマップデータ生
成方法を説明するためのフローチャート、図１３は、実
施の形態２におけるマップデータＭａｐＡとマップデー
タＭａｐＢの演算結果を説明するためのテーブルであ
る。
成方法を説明するためのフローチャート、図１３は、実
施の形態２におけるマップデータＭａｐＡとマップデー
タＭａｐＢの演算結果を説明するためのテーブルであ
る。
【００４２】図１２を参照すると、本実施の形態のマッ
プデータ生成方法では、まず、マップデータＭａｐＴに
マップデータＭａｐＦの値を代入するとともに、テスト
チップ１４の座標（ｘ，ｙ）を（０，０）に設定し（ス
テップＳ２１）、マップデータＭａｐＴの座標（ｘ，
ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ２２）、今回
マップの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステ
ップＳ２３）、設定演算例２のテーブルより、最終結果
を選択し、マップデータＭａｐＦの座標（ｘ，ｙ）のテ
ストチップ１４のテスト結果として保存する（ステップ
Ｓ２４）。
プデータ生成方法では、まず、マップデータＭａｐＴに
マップデータＭａｐＦの値を代入するとともに、テスト
チップ１４の座標（ｘ，ｙ）を（０，０）に設定し（ス
テップＳ２１）、マップデータＭａｐＴの座標（ｘ，
ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ２２）、今回
マップの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステ
ップＳ２３）、設定演算例２のテーブルより、最終結果
を選択し、マップデータＭａｐＦの座標（ｘ，ｙ）のテ
ストチップ１４のテスト結果として保存する（ステップ
Ｓ２４）。
【００４３】続いて、テストチップ１４のｘ座標と横方
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
２５）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−
１（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ２５の
「＝」）には次ステップ（ステップＳ２７）に進み（ス
テップＳ２５の「＝」→ステップＳ２７）、テストチッ
プ１４のｘ座標と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が
等しくない場合（ステップＳ２５の「≠」）にはｘに１
を加算（ｘ＝ｘ＋１）してステップＳ２２に戻る（ステ
ップＳ２５の「≠」→ステップＳ２６→ステップＳ２
２）。
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
２５）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−
１（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ２５の
「＝」）には次ステップ（ステップＳ２７）に進み（ス
テップＳ２５の「＝」→ステップＳ２７）、テストチッ
プ１４のｘ座標と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が
等しくない場合（ステップＳ２５の「≠」）にはｘに１
を加算（ｘ＝ｘ＋１）してステップＳ２２に戻る（ステ
ップＳ２５の「≠」→ステップＳ２６→ステップＳ２
２）。
【００４４】また、テストチップ１４のｙ座標と縦方向
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ２
７）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ２７の
「＝」）には処理を終了（ＥＮＤ）し、テストチップ１
４のｙ座標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等し
くない場合（ステップＳ２７の「≠」）にはｘにゼロを
代入しかつｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップＳ
２２に戻る（ステップＳ２７の「≠」→ステップＳ２８
→ステップＳ２２）。
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ２
７）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ２７の
「＝」）には処理を終了（ＥＮＤ）し、テストチップ１
４のｙ座標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等し
くない場合（ステップＳ２７の「≠」）にはｘにゼロを
代入しかつｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップＳ
２２に戻る（ステップＳ２７の「≠」→ステップＳ２８
→ステップＳ２２）。
【００４５】この結果、図１２のフローチャートに沿っ
て、図３の工程ＡのマップデータＭａｐＡと、図４の今
回のマップであるマップデータＭａｐＢを演算した結果
は、図１３のマップデータＭａｐＢ’となる。
て、図３の工程ＡのマップデータＭａｐＡと、図４の今
回のマップであるマップデータＭａｐＢを演算した結果
は、図１３のマップデータＭａｐＢ’となる。
【００４６】図１４は、実施の形態２におけるマップデ
ータＭａｐＢ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説
明するためのテーブルである。本実施の形態のマップデ
ータ生成方法では、図１１の最終工程Ｃの設定、および
図１２のフローチャートに沿って、図１３のマップデー
タＭａｐＢ’と図５の今回のマップであるマップデータ
ＭａｐＣを演算する結果、図１４のマップデータＭａｐ
Ｃ’を得る。
ータＭａｐＢ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説
明するためのテーブルである。本実施の形態のマップデ
ータ生成方法では、図１１の最終工程Ｃの設定、および
図１２のフローチャートに沿って、図１３のマップデー
タＭａｐＢ’と図５の今回のマップであるマップデータ
ＭａｐＣを演算する結果、図１４のマップデータＭａｐ
Ｃ’を得る。
【００４７】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、分類コードの種類が増大しても、分類コード毎に設
定する必要がなく、設定数が分類コードによって増大す
ることを回避できる。さらに加えて、いずれかの工程で
不良と判断されたテストチップ１４も分別して扱うこと
ができるようになるといった効果を奏する。
ば、分類コードの種類が増大しても、分類コード毎に設
定する必要がなく、設定数が分類コードによって増大す
ることを回避できる。さらに加えて、いずれかの工程で
不良と判断されたテストチップ１４も分別して扱うこと
ができるようになるといった効果を奏する。
【００４８】実施の形態３．以下、この発明の実施の形
態３を図面に基づいて詳細に説明する。図１８は、実施
の形態３における演算設定例３を説明するためのテーブ
ル、図１９は、実施の形態３のマップデータ生成方法を
説明するためのフローチャート、図２０は、実施の形態
３におけるマップデータＭａｐＡとマップデータＭａｐ
Ｂの演算結果を説明するためのテーブルである。
態３を図面に基づいて詳細に説明する。図１８は、実施
の形態３における演算設定例３を説明するためのテーブ
ル、図１９は、実施の形態３のマップデータ生成方法を
説明するためのフローチャート、図２０は、実施の形態
３におけるマップデータＭａｐＡとマップデータＭａｐ
Ｂの演算結果を説明するためのテーブルである。
【００４９】上記実施の形態１において、各工程毎に生
成されるマップデータＭａｐＡ、マップデータＭａｐ
Ｂ、マップデータＭａｐＣは、最終工程Ｃが終わるまで
保存しておかなければ最終結果が計算できないため、工
程数が増大した場合には、保存メモリの増大が問題とな
るケースが想定される。実施の形態３はこのようなケー
スに対応するための一実施の形態である。
成されるマップデータＭａｐＡ、マップデータＭａｐ
Ｂ、マップデータＭａｐＣは、最終工程Ｃが終わるまで
保存しておかなければ最終結果が計算できないため、工
程数が増大した場合には、保存メモリの増大が問題とな
るケースが想定される。実施の形態３はこのようなケー
スに対応するための一実施の形態である。
【００５０】本実施の形態のマップデータ生成装置１０
では、図１８の演算設定例３に示すように各工程での分
類コードの処理を実施する。工程Ａでの処理は、図１９
のフローチャートに沿って、マップデータＭａｐＡから
図２０の最新のマップデータＭａｐＦを生成し、マップ
データＭａｐＢの削除を行う。
では、図１８の演算設定例３に示すように各工程での分
類コードの処理を実施する。工程Ａでの処理は、図１９
のフローチャートに沿って、マップデータＭａｐＡから
図２０の最新のマップデータＭａｐＦを生成し、マップ
データＭａｐＢの削除を行う。
【００５１】具体的には、本実施の形態のマップデータ
生成方法では、図１９に示すように、まず、マップデー
タＭａｐＴにマップデータＭａｐＦの値を代入するとと
もに、テストチップ１４の座標（ｘ，ｙ）を（０，０）
に設定し（ステップＳ３１）、マップデータＭａｐＴの
座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ３
２）、今回マップの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み
込み（ステップＳ３３）、設定演算例３のテーブルよ
り、最終結果を選択し、マップデータＭａｐＦの座標
（ｘ，ｙ）のテストチップ１４のテスト結果として保存
する（ステップＳ３４）。
生成方法では、図１９に示すように、まず、マップデー
タＭａｐＴにマップデータＭａｐＦの値を代入するとと
もに、テストチップ１４の座標（ｘ，ｙ）を（０，０）
に設定し（ステップＳ３１）、マップデータＭａｐＴの
座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み込み（ステップＳ３
２）、今回マップの座標（ｘ，ｙ）のテスト結果を読み
込み（ステップＳ３３）、設定演算例３のテーブルよ
り、最終結果を選択し、マップデータＭａｐＦの座標
（ｘ，ｙ）のテストチップ１４のテスト結果として保存
する（ステップＳ３４）。
【００５２】続いて、テストチップ１４のｘ座標と横方
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
３５）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−
１（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ３５の
「＝」）には次ステップ（ステップＳ３７）に進み（ス
テップＳ３５の「＝」→ステップＳ３７）、テストチッ
プ１４のｘ座標と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が
等しくない場合（ステップＳ３５の「≠」）にはｘに１
を加算（ｘ＝ｘ＋１）してステップＳ３２に戻る（ステ
ップＳ３５の「≠」→ステップＳ３６→ステップＳ３
２）。
向データ数−１（＝ＸＬ−１）とを比較し（ステップＳ
３５）、テストチップ１４のｘ座標と横方向データ数−
１（＝ＸＬ−１）が等しい場合（ステップＳ３５の
「＝」）には次ステップ（ステップＳ３７）に進み（ス
テップＳ３５の「＝」→ステップＳ３７）、テストチッ
プ１４のｘ座標と横方向データ数−１（＝ＸＬ−１）が
等しくない場合（ステップＳ３５の「≠」）にはｘに１
を加算（ｘ＝ｘ＋１）してステップＳ３２に戻る（ステ
ップＳ３５の「≠」→ステップＳ３６→ステップＳ３
２）。
【００５３】また、テストチップ１４のｙ座標と縦方向
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ３
７）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ３７の
「＝」）には今回マップの削除を実行し（ステップＳ３
９）、処理を終了（ＥＮＤ）する。一方、テストチップ
１４のｙ座標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等
しくない場合（ステップＳ３７の「≠」）にはｘにゼロ
を代入しかつｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップ
Ｓ３２に戻る（ステップＳ３７の「≠」→ステップＳ３
８→ステップＳ３２）。
データ数−１（＝ＹＬ−１）とを比較し（ステップＳ３
７）、テストチップ１４のｙ座標と縦方向データ数−１
（＝ＹＬ−１）が等しい場合（ステップＳ３７の
「＝」）には今回マップの削除を実行し（ステップＳ３
９）、処理を終了（ＥＮＤ）する。一方、テストチップ
１４のｙ座標と縦方向データ数−１（＝ＹＬ−１）が等
しくない場合（ステップＳ３７の「≠」）にはｘにゼロ
を代入しかつｙに１を加算（ｙ＝ｙ＋１）してステップ
Ｓ３２に戻る（ステップＳ３７の「≠」→ステップＳ３
８→ステップＳ３２）。
【００５４】図２１は、実施の形態３におけるマップデ
ータＭａｐＢ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説
明するためのテーブルである。本実施の形態のマップデ
ータ生成装置１０では、工程Ｂでも、図１９のフローチ
ャートに沿って、マップデータＭａｐＢ’と最新のマッ
プデータＭａｐＣにより図２１の最新のマップデータＭ
ａｐＦを生成する。
ータＭａｐＢ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説
明するためのテーブルである。本実施の形態のマップデ
ータ生成装置１０では、工程Ｂでも、図１９のフローチ
ャートに沿って、マップデータＭａｐＢ’と最新のマッ
プデータＭａｐＣにより図２１の最新のマップデータＭ
ａｐＦを生成する。
【００５５】図２２は、実施の形態３におけるマップデ
ータＭａｐＦとマップデータＭａｐＣの演算結果を説明
するためのテーブルである。本実施の形態のマップデー
タ生成装置１０では、同様に最終工程Ｃでも、図１９の
フローチャートに沿って、マップデータＭａｐＦと最新
のマップデータＭａｐＣにより図２２の最新のマップデ
ータＭａｐＦを生成し、マップデータＭａｐＣを削除す
る。
ータＭａｐＦとマップデータＭａｐＣの演算結果を説明
するためのテーブルである。本実施の形態のマップデー
タ生成装置１０では、同様に最終工程Ｃでも、図１９の
フローチャートに沿って、マップデータＭａｐＦと最新
のマップデータＭａｐＣにより図２２の最新のマップデ
ータＭａｐＦを生成し、マップデータＭａｐＣを削除す
る。
【００５６】以上説明したように本実施の形態によれ
ば、分類コードは、実施の形態１と同じ分類コード
「Ａ」〜分類コード「Ｈ」の８種類を得ることができ
る。さらに加えて、各工程毎に生成されたマップデータ
ＭａｐＡ、マップデータＭａｐＢ、マップデータＭａｐ
Ｃは、各工程で処理するときだけ仮保存しておけばよ
く、最終工程Ｃまで保存しておく必要がないため、保存
メモリの削減ができるようになるといった効果を奏す
る。
ば、分類コードは、実施の形態１と同じ分類コード
「Ａ」〜分類コード「Ｈ」の８種類を得ることができ
る。さらに加えて、各工程毎に生成されたマップデータ
ＭａｐＡ、マップデータＭａｐＢ、マップデータＭａｐ
Ｃは、各工程で処理するときだけ仮保存しておけばよ
く、最終工程Ｃまで保存しておく必要がないため、保存
メモリの削減ができるようになるといった効果を奏す
る。
【００５７】なお、本発明が上記各実施形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成部
材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、
本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にするこ
とができる。また、各図において、同一構成要素には同
一符号を付している。
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成部
材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、
本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にするこ
とができる。また、各図において、同一構成要素には同
一符号を付している。
【００５８】
【発明の効果】この発明の請求項１記載の発明は以上説
明したように、ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前記複数工程を構成する工程別の分類コードの組み
合わせで最終分類コードを特定する分類コード表によっ
て、最終結果としてのマップデータを生成するセルコン
トローラを有するので、複数工程に対応したマップを生
成できるようになり、さらに加えて、複数工程を経るウ
ェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異
なる場合であっても、通常の良品とは区別して利用する
ことが可能なチップを、不良品として廃棄することなく
分別できるようになるといった効果を奏する。
明したように、ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、前記マップデータを受信して保存するととも
に、前記複数工程を構成する工程別の分類コードの組み
合わせで最終分類コードを特定する分類コード表によっ
て、最終結果としてのマップデータを生成するセルコン
トローラを有するので、複数工程に対応したマップを生
成できるようになり、さらに加えて、複数工程を経るウ
ェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異
なる場合であっても、通常の良品とは区別して利用する
ことが可能なチップを、不良品として廃棄することなく
分別できるようになるといった効果を奏する。
【００５９】請求項２記載の発明は以上説明したよう
に、ウェハテスト処理を構成する複数工程の実行時にそ
れぞれの工程からマップデータを生成するプローバと、
前記マップデータを受信して保存するとともに、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの論理演算式定義に
より最終分類コードを生成するセルコントローラを有す
るので、複数工程を経るウェハテスト工程を構成する各
工程で良／不良の判定が異なる場合であっても、通常の
良品とは区別して利用することが可能なチップを、不良
品として廃棄することなく分別できるようになるといっ
た効果を奏する。
に、ウェハテスト処理を構成する複数工程の実行時にそ
れぞれの工程からマップデータを生成するプローバと、
前記マップデータを受信して保存するとともに、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの論理演算式定義に
より最終分類コードを生成するセルコントローラを有す
るので、複数工程を経るウェハテスト工程を構成する各
工程で良／不良の判定が異なる場合であっても、通常の
良品とは区別して利用することが可能なチップを、不良
品として廃棄することなく分別できるようになるといっ
た効果を奏する。
【００６０】請求項３記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項１または２記載の発明において、最終分
類コードが、前回までの分類コードと今回の分類コード
の対応表によって決められるので、複数工程を経るウェ
ハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異な
る場合であっても、通常の良品とは区別して利用するこ
とが可能なチップを、不良品として廃棄することなく分
別できるようになるといった効果を奏する。さらに、特
定の分類コードを用いて不良品にも細分化された分類コ
ードを付与することで、より細かな分類も可能となる。
に、上記請求項１または２記載の発明において、最終分
類コードが、前回までの分類コードと今回の分類コード
の対応表によって決められるので、複数工程を経るウェ
ハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定が異な
る場合であっても、通常の良品とは区別して利用するこ
とが可能なチップを、不良品として廃棄することなく分
別できるようになるといった効果を奏する。さらに、特
定の分類コードを用いて不良品にも細分化された分類コ
ードを付与することで、より細かな分類も可能となる。
【００６１】請求項４記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項２記載の発明において、前記セルコント
ローラは、前記論理演算式定義として、前回の分類コー
ドと今回の分類コードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果の
まま、および今回の結果に書き換えという４種類の設定
をするように構成されているので、上記請求項２記載の
効果に加えて、論理演算式定義を用いることで設定の簡
略化が図れ、その結果、分類コードの種類が増大して
も、分類コード毎に設定する必要がなく、設定数が分類
コードによって増大することを回避できる。さらに加え
て、いずれかの工程で不良と判断されたテストチップも
分別して扱うことができるようになるといった効果を奏
する。
に、上記請求項２記載の発明において、前記セルコント
ローラは、前記論理演算式定義として、前回の分類コー
ドと今回の分類コードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果の
まま、および今回の結果に書き換えという４種類の設定
をするように構成されているので、上記請求項２記載の
効果に加えて、論理演算式定義を用いることで設定の簡
略化が図れ、その結果、分類コードの種類が増大して
も、分類コード毎に設定する必要がなく、設定数が分類
コードによって増大することを回避できる。さらに加え
て、いずれかの工程で不良と判断されたテストチップも
分別して扱うことができるようになるといった効果を奏
する。
【００６２】請求項５記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項２記載の発明において、前記セルコント
ローラは、前記論理演算式定義に基づく分類コード生成
において、前回判定と今回判定で良否判定が異なる場合
に前記分類コードを区別設定するように構成されている
ので、上記請求項２記載の効果に加えて、各工程毎に生
成されたマップデータは、各工程で処理するときだけ仮
保存しておけばよく、最終工程まで保存しておく必要が
ないため、保存メモリの削減ができるようになるといっ
た効果を奏する。
に、上記請求項２記載の発明において、前記セルコント
ローラは、前記論理演算式定義に基づく分類コード生成
において、前回判定と今回判定で良否判定が異なる場合
に前記分類コードを区別設定するように構成されている
ので、上記請求項２記載の効果に加えて、各工程毎に生
成されたマップデータは、各工程で処理するときだけ仮
保存しておけばよく、最終工程まで保存しておく必要が
ないため、保存メモリの削減ができるようになるといっ
た効果を奏する。
【００６３】請求項６記載の発明は以上説明したよう
に、複数工程のそれぞれからマップデータが生成される
ウェハテスト処理において、前記複数工程を構成する工
程別の分類コードの組み合わせで最終分類コードを特定
する分類コード表によって、最終結果としてのマップデ
ータを生成する工程を有するので、複数工程に対応した
マップを生成できるようになり、さらに加えて、複数工
程を経るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良
の判定が異なる場合であっても、通常の良品とは区別し
て利用することが可能なチップを、不良品として廃棄す
ることなく分別できるようになるといった効果を奏す
る。
に、複数工程のそれぞれからマップデータが生成される
ウェハテスト処理において、前記複数工程を構成する工
程別の分類コードの組み合わせで最終分類コードを特定
する分類コード表によって、最終結果としてのマップデ
ータを生成する工程を有するので、複数工程に対応した
マップを生成できるようになり、さらに加えて、複数工
程を経るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良
の判定が異なる場合であっても、通常の良品とは区別し
て利用することが可能なチップを、不良品として廃棄す
ることなく分別できるようになるといった効果を奏す
る。
【００６４】請求項７記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項６記載の発明において、前回までの分類
コードと今回の分類コードの論理演算式定義により最終
分類コードを生成する工程を有するので、複数工程を経
るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定
が異なる場合であっても、通常の良品とは区別して利用
することが可能なチップを、不良品として廃棄すること
なく分別できるようになるといった効果を奏する。
に、上記請求項６記載の発明において、前回までの分類
コードと今回の分類コードの論理演算式定義により最終
分類コードを生成する工程を有するので、複数工程を経
るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判定
が異なる場合であっても、通常の良品とは区別して利用
することが可能なチップを、不良品として廃棄すること
なく分別できるようになるといった効果を奏する。
【００６５】請求項８記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項６または７記載の発明において、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの対応表によって最
終分類コードを決定する工程を有するので、複数工程を
経るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判
定が異なる場合であっても、通常の良品とは区別して利
用することが可能なチップを、不良品として廃棄するこ
となく分別できるようになるといった効果を奏する。さ
らに、特定の分類コードを用いて不良品にも細分化され
た分類コードを付与することで、より細かな分類も可能
となる。
に、上記請求項６または７記載の発明において、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの対応表によって最
終分類コードを決定する工程を有するので、複数工程を
経るウェハテスト工程を構成する各工程で良／不良の判
定が異なる場合であっても、通常の良品とは区別して利
用することが可能なチップを、不良品として廃棄するこ
となく分別できるようになるといった効果を奏する。さ
らに、特定の分類コードを用いて不良品にも細分化され
た分類コードを付与することで、より細かな分類も可能
となる。
【００６６】請求項９記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項７記載の発明において、前記論理演算式
定義として、前回の分類コードと今回の分類コードで、
ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果のまま、および今回の結果に
書き換えという４種類の設定を行う工程を有するので、
上記請求項７記載の効果に加えて、論理演算式定義を用
いることで設定の簡略化が図れ、その結果、分類コード
の種類が増大しても、分類コード毎に設定する必要がな
く、設定数が分類コードによって増大することを回避で
きる。さらに加えて、いずれかの工程で不良と判断され
たテストチップも分別して扱うことができるようになる
といった効果を奏する。
に、上記請求項７記載の発明において、前記論理演算式
定義として、前回の分類コードと今回の分類コードで、
ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果のまま、および今回の結果に
書き換えという４種類の設定を行う工程を有するので、
上記請求項７記載の効果に加えて、論理演算式定義を用
いることで設定の簡略化が図れ、その結果、分類コード
の種類が増大しても、分類コード毎に設定する必要がな
く、設定数が分類コードによって増大することを回避で
きる。さらに加えて、いずれかの工程で不良と判断され
たテストチップも分別して扱うことができるようになる
といった効果を奏する。
【００６７】請求項１０記載の発明は以上説明したよう
に、上記請求項７記載の発明において、前記論理演算式
定義に基づく分類コード生成において、前回判定と今回
判定で良否判定が異なる場合に前記分類コードを区別設
定する工程を有するので、上記請求項７記載の効果に加
えて、各工程毎に生成されたマップデータは、各工程で
処理するときだけ仮保存しておけばよく、最終工程まで
保存しておく必要がないため、保存メモリの削減ができ
るようになるといった効果を奏する。
に、上記請求項７記載の発明において、前記論理演算式
定義に基づく分類コード生成において、前回判定と今回
判定で良否判定が異なる場合に前記分類コードを区別設
定する工程を有するので、上記請求項７記載の効果に加
えて、各工程毎に生成されたマップデータは、各工程で
処理するときだけ仮保存しておけばよく、最終工程まで
保存しておく必要がないため、保存メモリの削減ができ
るようになるといった効果を奏する。
【図１】 テストチップの範囲とテスト結果を示すウェ
ハマップ。
ハマップ。
【図２】 ウェハテストを説明するためのフロー。
【図３】 実施の形態１における工程Ａのマップデータ
のテーブル。
のテーブル。
【図４】 実施の形態１における工程Ｂのマップデータ
のテーブル。
のテーブル。
【図５】 実施の形態１における工程Ｃのマップデータ
のテーブル。
のテーブル。
【図６】 演算設定例１を説明するためのテーブル。
【図７】 実施の形態１のマップデータ生成方法を説明
するためのフローチャート。
するためのフローチャート。
【図８】 図６の演算設定例１に対する演算結果を説明
するためのテーブル。
するためのテーブル。
【図９】 図６の演算設定例１の分類番号別集計結果を
説明するためのテーブル。
説明するためのテーブル。
【図１０】 論理演算式定義を説明するためのテーブ
ル。
ル。
【図１１】 演算設定例２を説明するためのテーブル。
【図１２】 実施の形態２のマップデータ生成方法を説
明するためのフローチャート。
明するためのフローチャート。
【図１３】 実施の形態２におけるマップデータＭａｐ
ＡとマップデータＭａｐＢの演算結果を説明するための
テーブル。
ＡとマップデータＭａｐＢの演算結果を説明するための
テーブル。
【図１４】 実施の形態２におけるマップデータＭａｐ
Ｂ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するため
のテーブル。
Ｂ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するため
のテーブル。
【図１５】 実施の形態２における演算設定例２の分類
番号別集計結果を説明するためのテーブル。
番号別集計結果を説明するためのテーブル。
【図１６】 実施の形態２における工程Ａのマップデー
タのテーブル。
タのテーブル。
【図１７】 実施の形態２における工程Ｂのマップデー
タのテーブル。
タのテーブル。
【図１８】 実施の形態３における演算設定例３を説明
するためのテーブル。
するためのテーブル。
【図１９】 実施の形態３のマップデータ生成方法を説
明するためのフローチャート。
明するためのフローチャート。
【図２０】 実施の形態３におけるマップデータＭａｐ
ＡとマップデータＭａｐＢの演算結果を説明するための
テーブル。
ＡとマップデータＭａｐＢの演算結果を説明するための
テーブル。
【図２１】 実施の形態３におけるマップデータＭａｐ
Ｂ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するため
のテーブル。
Ｂ’とマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するため
のテーブル。
【図２２】 実施の形態３におけるマップデータＭａｐ
ＦとマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するための
テーブル。
ＦとマップデータＭａｐＣの演算結果を説明するための
テーブル。
１０ マップデータ生成装置、 １２ ウェハ、 １４
テストチップ、 １６，２０，２４ プローバ、 １
８，２２，２６ テスタ、 ３０ セルコントローラ、
ＭａｐＡ，ＭａｐＢ，ＭａｐＣ マップデータ。
テストチップ、 １６，２０，２４ プローバ、 １
８，２２，２６ テスタ、 ３０ セルコントローラ、
ＭａｐＡ，ＭａｐＢ，ＭａｐＣ マップデータ。
Claims (10)
- 【請求項１】 ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、 前記マップデータを受信して保存するとともに、前記複
数工程を構成する工程別の分類コードの組み合わせで最
終分類コードを特定する分類コード表によって、最終結
果としてのマップデータを生成するセルコントローラを
有することを特徴とするマップデータ生成装置。 - 【請求項２】 ウェハテスト処理を構成する複数工程の
実行時にそれぞれの工程からマップデータを生成するプ
ローバと、 前記マップデータを受信して保存するとともに、前回ま
での分類コードと今回の分類コードの論理演算式定義に
より最終分類コードを生成するセルコントローラを有す
ることを特徴とするマップデータ生成装置。 - 【請求項３】 最終分類コードが、前回までの分類コー
ドと今回の分類コードの対応表によって決められること
を特徴とする請求項１または２に記載のマップデータ生
成装置。 - 【請求項４】 前記セルコントローラは、前記論理演算
式定義として、前回の分類コードと今回の分類コード
で、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結果のまま、および今回の結
果に書き換えという４種類の設定をするように構成され
ていることを特徴とする請求項２に記載のマップデータ
生成装置。 - 【請求項５】 前記セルコントローラは、前記論理演算
式定義に基づく分類コード生成において、前回判定と今
回判定で良否判定が異なる場合に前記分類コードを区別
設定するように構成されていることを特徴とする請求項
２に記載のマップデータ生成装置。 - 【請求項６】 複数工程のそれぞれからマップデータが
生成されるウェハテスト処理において、前記複数工程を
構成する工程別の分類コードの組み合わせで最終分類コ
ードを特定する分類コード表によって、最終結果として
のマップデータを生成する工程を有することを特徴とす
るマップデータ生成方法。 - 【請求項７】 前回までの分類コードと今回の分類コー
ドの論理演算式定義により最終分類コードを生成する工
程を有することを特徴とする請求項６に記載のマップデ
ータ生成方法。 - 【請求項８】 前回までの分類コードと今回の分類コー
ドの対応表によって最終分類コードを決定する工程を有
することを特徴とする請求項６または７に記載のマップ
データ生成方法。 - 【請求項９】 前記論理演算式定義として、前回の分類
コードと今回の分類コードで、ＡＮＤ、ＯＲ、前回の結
果のまま、および今回の結果に書き換えという４種類の
設定を行う工程を有することを特徴とする請求項７に記
載のマップデータ生成方法。 - 【請求項１０】 前記論理演算式定義に基づく分類コー
ド生成において、前回判定と今回判定で良否判定が異な
る場合に前記分類コードを区別設定する工程を有するこ
とを特徴とする請求項７に記載のマップデータ生成方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082665A JP2001274208A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | マップデータ生成装置およびマップデータ生成方法 |
| US09/642,004 US6549863B1 (en) | 2000-03-23 | 2000-08-21 | Apparatus and method for generating map data |
| KR1020000068313A KR20010092650A (ko) | 2000-03-23 | 2000-11-17 | 맵 데이터 생성장치 및 맵 데이터 생성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082665A JP2001274208A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | マップデータ生成装置およびマップデータ生成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001274208A true JP2001274208A (ja) | 2001-10-05 |
Family
ID=18599438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000082665A Withdrawn JP2001274208A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | マップデータ生成装置およびマップデータ生成方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6549863B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001274208A (ja) |
| KR (1) | KR20010092650A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716057B1 (ko) | 2006-06-15 | 2007-05-08 | 세크론 주식회사 | 프로빙 검사장치용 맵 형성 시스템 및 이를 이용하는 맵형성 방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7337088B2 (en) * | 2001-05-23 | 2008-02-26 | Micron Technology, Inc. | Intelligent measurement modular semiconductor parametric test system |
| JP4122735B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2008-07-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体デバイスの検査方法および検査条件設定方法 |
| US7162386B2 (en) | 2002-04-25 | 2007-01-09 | Micron Technology, Inc. | Dynamically adaptable semiconductor parametric testing |
| US7010451B2 (en) * | 2003-04-17 | 2006-03-07 | Micron Technology, Inc. | Dynamic creation and modification of wafer test maps during wafer testing |
| US7100081B1 (en) * | 2003-10-09 | 2006-08-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for fault classification based on residual vectors |
| SG117490A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-12-29 | Systems On Silicon Mfg Co Pte | A method for detecting probing stripes |
| US7355423B2 (en) * | 2006-05-24 | 2008-04-08 | Micron Technology, Inc. | Method for optimizing probe card design |
| KR20080102708A (ko) * | 2007-05-22 | 2008-11-26 | 세크론 주식회사 | 프로빙 검사장치용 맵 생성 시스템 및 이를 이용하는 맵생성 방법 |
| US7983859B2 (en) * | 2007-09-26 | 2011-07-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | System and method for analyzing defects on a wafer |
| US10474774B2 (en) | 2013-09-04 | 2019-11-12 | International Business Machines Corporation | Power and performance sorting of microprocessors from first interconnect layer to wafer final test |
| US10955468B2 (en) * | 2018-01-23 | 2021-03-23 | Texas Instruments Incorporated | Wafer probe resumption of die testing |
| CN112974272B (zh) * | 2021-02-01 | 2023-06-06 | 广东利扬芯片测试股份有限公司 | 芯片测试结果bin项分类系统及其分类方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4932029A (en) * | 1987-07-24 | 1990-06-05 | Ant Nachrichtentechnik Gmbh | Method and apparatus for correcting errors in convolutional code signals |
| JP3270643B2 (ja) * | 1994-12-22 | 2002-04-02 | キヤノン株式会社 | 指示位置検出方法及び装置 |
| US5787190A (en) | 1995-06-07 | 1998-07-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for pattern recognition of wafer test bins |
| US5614420A (en) * | 1996-05-16 | 1997-03-25 | Taiwan Semicondoctor Manufacturing Company Ltd. | Method of preventing mask tone error |
| JPH10178072A (ja) | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Hitachi Ltd | 半導体検査方法 |
| JPH1167853A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | ウェーハマップ解析補助システムおよびウェーハマップ解析方法 |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082665A patent/JP2001274208A/ja not_active Withdrawn
- 2000-08-21 US US09/642,004 patent/US6549863B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-17 KR KR1020000068313A patent/KR20010092650A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716057B1 (ko) | 2006-06-15 | 2007-05-08 | 세크론 주식회사 | 프로빙 검사장치용 맵 형성 시스템 및 이를 이용하는 맵형성 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6549863B1 (en) | 2003-04-15 |
| KR20010092650A (ko) | 2001-10-26 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |