JPH10103936A - 多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び装置 - Google Patents
多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び装置Info
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- JPH10103936A JPH10103936A JP25566496A JP25566496A JPH10103936A JP H10103936 A JPH10103936 A JP H10103936A JP 25566496 A JP25566496 A JP 25566496A JP 25566496 A JP25566496 A JP 25566496A JP H10103936 A JPH10103936 A JP H10103936A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多層記録膜ディスクのそれぞれの記録膜の傾
きを正しく求める。 【解決手段】 多層記録膜の光ディスク１２に向けて半
導体レーザ１にてレーザ光を照射し、その多層記録膜か
らの反射光をハーフミラー６にて２つに分岐し、２つの
分岐光を第１と第２のシリンドリカルレンズ７、１０に
てそれぞれ光ディスクの周方向と半径方向に対応するラ
イン上に配置した第１と第２のＣＣＤラインセンサ８、
１１上に集光させ、各方向で多層記録膜からの複数の反
射光の輝度分布の重心位置を検出することにより、複数
の記録膜が別々の傾きを持つ場合にも、それらの反射光
の集光位置の周方向と半径方向の位置ずれ量を検出し、
複数の記録膜についてそれぞれ周方向と半径方向の傾き
を検査するようした。
きを正しく求める。 【解決手段】 多層記録膜の光ディスク１２に向けて半
導体レーザ１にてレーザ光を照射し、その多層記録膜か
らの反射光をハーフミラー６にて２つに分岐し、２つの
分岐光を第１と第２のシリンドリカルレンズ７、１０に
てそれぞれ光ディスクの周方向と半径方向に対応するラ
イン上に配置した第１と第２のＣＣＤラインセンサ８、
１１上に集光させ、各方向で多層記録膜からの複数の反
射光の輝度分布の重心位置を検出することにより、複数
の記録膜が別々の傾きを持つ場合にも、それらの反射光
の集光位置の周方向と半径方向の位置ずれ量を検出し、
複数の記録膜についてそれぞれ周方向と半径方向の傾き
を検査するようした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多層記録膜ディス
クにおける各記録膜の周方向及び半径方向の傾きを検査
する方法及び装置に関するものである。
クにおける各記録膜の周方向及び半径方向の傾きを検査
する方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のディスクの傾き検査方法を多層記
録膜ディスクに適用した例を図９を参照して説明する。
図９（ａ）に示すように、光ディスク２２にレーザ光２
１を垂直に照射すると、第１記録膜２３ａと第２の記録
膜２３ｂで反射し、偏向ビームスプリッタ２４において
第１記録膜２３ａからの反射光はＰの位置で、第２記録
膜２３ｂからの反射光はＱの位置で反射し、図９（ａ）
〜（ｃ）に示すように、位置検出素子２５のそれぞれの
位置Ｐ0 、Ｑ0 に集光する。そして、位置検出素子１４
は集光位置を電圧又は電流に変換して出力する。
録膜ディスクに適用した例を図９を参照して説明する。
図９（ａ）に示すように、光ディスク２２にレーザ光２
１を垂直に照射すると、第１記録膜２３ａと第２の記録
膜２３ｂで反射し、偏向ビームスプリッタ２４において
第１記録膜２３ａからの反射光はＰの位置で、第２記録
膜２３ｂからの反射光はＱの位置で反射し、図９（ａ）
〜（ｃ）に示すように、位置検出素子２５のそれぞれの
位置Ｐ0 、Ｑ0 に集光する。そして、位置検出素子１４
は集光位置を電圧又は電流に変換して出力する。
【０００３】図示例は、第１記録膜２３ａがｙ方向にθ
°傾き、第２記録膜２３ｂは傾きが無い場合を示す。こ
こで、位置検出素子２５におけるＱ0 の座標を（０，
０）、Ｐ0 の座標を（ｘ0 ，ｙ0 ）とすると、例えばｙ
0 は、偏向ビームスプリッタ２４上のＱ点と第１記録膜
２３ａの間の距離をｌ1 、Ｑ点から位置検出素子２５ま
での距離をｌ2 として、 ｙ0 ＝（ｌ1 ＋ｌ2 ）ｔａｎ２θ で与えられ、したがってｙ0 を検出することによりθを
検出できる。同様にｘ方向の傾きも検出できる。
°傾き、第２記録膜２３ｂは傾きが無い場合を示す。こ
こで、位置検出素子２５におけるＱ0 の座標を（０，
０）、Ｐ0 の座標を（ｘ0 ，ｙ0 ）とすると、例えばｙ
0 は、偏向ビームスプリッタ２４上のＱ点と第１記録膜
２３ａの間の距離をｌ1 、Ｑ点から位置検出素子２５ま
での距離をｌ2 として、 ｙ0 ＝（ｌ1 ＋ｌ2 ）ｔａｎ２θ で与えられ、したがってｙ0 を検出することによりθを
検出できる。同様にｘ方向の傾きも検出できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように多層記録膜ディスク２２の多層の記録膜２３ａ、
２３ｂの傾きの検出に適用した場合、位置検出素子２５
に対してその２つの位置Ｐ0 、Ｑ0 に光エネルギーが入
射し、かつ位置検出素子２５はそれらの集光位置を電圧
又は電流に変換して出力するため、それらの２つの位置
の中間位置（光の強弱により等分となるとは限らない）
に光が当ったとして電圧又は電流を出力することにな
り、したがって第１記録膜２３ａと第２記録膜２３ｂか
らの反射光のそれぞれの中心を求めることができず、各
記録膜２３ａ、２３ｂの傾きを求めることができないと
いう問題があった。
ように多層記録膜ディスク２２の多層の記録膜２３ａ、
２３ｂの傾きの検出に適用した場合、位置検出素子２５
に対してその２つの位置Ｐ0 、Ｑ0 に光エネルギーが入
射し、かつ位置検出素子２５はそれらの集光位置を電圧
又は電流に変換して出力するため、それらの２つの位置
の中間位置（光の強弱により等分となるとは限らない）
に光が当ったとして電圧又は電流を出力することにな
り、したがって第１記録膜２３ａと第２記録膜２３ｂか
らの反射光のそれぞれの中心を求めることができず、各
記録膜２３ａ、２３ｂの傾きを求めることができないと
いう問題があった。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、多層
記録膜ディスクのそれぞれの記録膜の傾きを正しく求め
ることができる多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び
装置を提供することを目的としている。
記録膜ディスクのそれぞれの記録膜の傾きを正しく求め
ることができる多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び
装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の多層記録膜ディ
スクの傾き検査方法は、多層記録膜ディスクに向けてレ
ーザ光を照射し、多層記録膜からの反射光を２つに分岐
し、２つの分岐光の一方をディスクの周方向の傾きに対
応するライン上に他方をディスクの半径方向の傾きに対
応するライン上に集光させ、各ライン上における多層記
録膜からの複数の反射光の輝度分布の重心位置を検出す
ることにより、ディスクの周方向と半径方向の傾きに対
応するライン上で、複数の記録膜からの反射光の集光位
置の位置ずれ量を検出し、複数の記録膜が別々の傾きを
持つ場合にもそれぞれ周方向と半径方向の傾きを検査す
るようにしている。
スクの傾き検査方法は、多層記録膜ディスクに向けてレ
ーザ光を照射し、多層記録膜からの反射光を２つに分岐
し、２つの分岐光の一方をディスクの周方向の傾きに対
応するライン上に他方をディスクの半径方向の傾きに対
応するライン上に集光させ、各ライン上における多層記
録膜からの複数の反射光の輝度分布の重心位置を検出す
ることにより、ディスクの周方向と半径方向の傾きに対
応するライン上で、複数の記録膜からの反射光の集光位
置の位置ずれ量を検出し、複数の記録膜が別々の傾きを
持つ場合にもそれぞれ周方向と半径方向の傾きを検査す
るようにしている。
【０００７】複数の反射光の輝度分布の山の重心位置を
求める際に、それらの輝度分布の一部が重なり合ってい
る場合には、輝度分布データを複数回足し合わせて山と
谷の差を顕在化させたり、輝度分布データを微分して０
になる位置を重心とすることができる。
求める際に、それらの輝度分布の一部が重なり合ってい
る場合には、輝度分布データを複数回足し合わせて山と
谷の差を顕在化させたり、輝度分布データを微分して０
になる位置を重心とすることができる。
【０００８】また、本発明の多層記録膜ディスクの傾き
検査装置は、多層記録膜ディスクに向けてレーザ光を照
射する手段と、レーザ光のスポット径を小さくする手段
と、多層記録膜からの反射光を２つに分岐する手段と、
２つに分岐した反射光をディスクの周方向と半径方向の
傾きに対応するライン上に集光させてそれぞれ１次元Ｃ
ＣＤ上に照射する光学系と、１次元ＣＣＤ上における多
層記録膜からの複数の反射光の輝度分布の重心位置を検
出する手段とを備え、上記検査方法を実現するととも
に、レーザ光のスポット径を小さくして１次元ＣＣＤ上
に結像する光の分布を剣峰状にすることにより多層記録
面からの反射光の位置ずれを明確に検出し、また１次元
ＣＣＤにて反射光を検出することにより短時間で輝度分
布の重心位置が求められるようにしたものである。
検査装置は、多層記録膜ディスクに向けてレーザ光を照
射する手段と、レーザ光のスポット径を小さくする手段
と、多層記録膜からの反射光を２つに分岐する手段と、
２つに分岐した反射光をディスクの周方向と半径方向の
傾きに対応するライン上に集光させてそれぞれ１次元Ｃ
ＣＤ上に照射する光学系と、１次元ＣＣＤ上における多
層記録膜からの複数の反射光の輝度分布の重心位置を検
出する手段とを備え、上記検査方法を実現するととも
に、レーザ光のスポット径を小さくして１次元ＣＣＤ上
に結像する光の分布を剣峰状にすることにより多層記録
面からの反射光の位置ずれを明確に検出し、また１次元
ＣＣＤにて反射光を検出することにより短時間で輝度分
布の重心位置が求められるようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の多層記録膜ディス
クの傾き検査装置の一実施形態を図１〜図８を参照しな
がら説明する。
クの傾き検査装置の一実施形態を図１〜図８を参照しな
がら説明する。
【００１０】図１において、１は半導体レーザであり、
この半導体レーザ１から出たレーザ光は、極小スポット
径にしてコリメート光にするコリメートレンズ２に入
り、偏光板３を介して迷光によるレーザ光の不安定を防
ぐピンホール４を通過し、偏光ビームスプリッタ５を通
って光ディスク１２に照射される。なお、光ディスク１
２は、図４に示すように、樹脂板１２ａと樹脂板１２ｅ
が接着層１２ｃにて貼り合わされるとともに、これら樹
脂板１２ａ、１２ｅの対向面にそれぞれ第１記録膜１２
ｂと第２記録膜１２ｄが形成されている。
この半導体レーザ１から出たレーザ光は、極小スポット
径にしてコリメート光にするコリメートレンズ２に入
り、偏光板３を介して迷光によるレーザ光の不安定を防
ぐピンホール４を通過し、偏光ビームスプリッタ５を通
って光ディスク１２に照射される。なお、光ディスク１
２は、図４に示すように、樹脂板１２ａと樹脂板１２ｅ
が接着層１２ｃにて貼り合わされるとともに、これら樹
脂板１２ａ、１２ｅの対向面にそれぞれ第１記録膜１２
ｂと第２記録膜１２ｄが形成されている。
【００１１】光ディスク１２の第１記録膜１２ｂと第２
記録膜１２ｄからの反射光は偏光ビームスプリッタ５で
反射し、ハーフミラー６で反射光は２分岐する。２分岐
された反射光の内の一方は第１のシリンドリカルレンズ
７に通し、ｘ方向に沿うライン上に２つの記録膜１２
ｂ、１２ｄからの反射光を集光させ、そのｘ方向のライ
ン上に配置した第１のＣＣＤラインセンサ８に結像させ
る。これは光ディスク１２の周方向の傾き角を測定する
ものである。２分岐された反射光の内の他方はミラー９
で反射し、第２のシリンドリカルレンズ１０に通し、ｙ
方向に沿うライン上に２つの記録膜１２ｂ、１２ｄから
の反射光を集光させ、そのｙ方向のライン上に配置した
第２のＣＣＤラインセンサ１１に結像させる。これは光
ディスク１２の半径方向の傾き角を測定するものであ
る。１３、１４はそれぞれＣＣＤラインセンサ８、１１
の駆動ユニット、１５はＣＣＤラインセンサ８、１１の
検出信号を処理して２つの記録膜１２ｂ、１２ｄの傾き
を計算する計算機である。
記録膜１２ｄからの反射光は偏光ビームスプリッタ５で
反射し、ハーフミラー６で反射光は２分岐する。２分岐
された反射光の内の一方は第１のシリンドリカルレンズ
７に通し、ｘ方向に沿うライン上に２つの記録膜１２
ｂ、１２ｄからの反射光を集光させ、そのｘ方向のライ
ン上に配置した第１のＣＣＤラインセンサ８に結像させ
る。これは光ディスク１２の周方向の傾き角を測定する
ものである。２分岐された反射光の内の他方はミラー９
で反射し、第２のシリンドリカルレンズ１０に通し、ｙ
方向に沿うライン上に２つの記録膜１２ｂ、１２ｄから
の反射光を集光させ、そのｙ方向のライン上に配置した
第２のＣＣＤラインセンサ１１に結像させる。これは光
ディスク１２の半径方向の傾き角を測定するものであ
る。１３、１４はそれぞれＣＣＤラインセンサ８、１１
の駆動ユニット、１５はＣＣＤラインセンサ８、１１の
検出信号を処理して２つの記録膜１２ｂ、１２ｄの傾き
を計算する計算機である。
【００１２】以上の構成において、光ディスク１２の第
１記録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄが光ディスク１２の
周方向の傾き成分を持つ場合、図２に示すように、これ
ら記録膜１２ｂや１２ｄからの反射光は偏光ビームスプ
リッタ５のＰ点で反射し、第１のシリンドリカルレンズ
７にて第１のＣＣＤラインセンサ８上に集光されるとと
もに、周方向の傾きに対応したｘ0 だけ位置ずれした位
置に結像される。また、ディスク１２の第１記録膜１２
ｂや第２記録膜１２ｄがディスク１２の半径方向の傾き
成分を持つ場合、図３に示すように、これら記録膜１２
ｂや１２ｄからの反射光は偏光ビームスプリッタ５のＰ
点で反射し、第１のシリンドリカルレンズ１０にて第２
のＣＣＤラインセンサ１１上に集光されるとともに、半
径方向の傾きに対応したｙ0 だけ位置ずれした位置に結
像される。
１記録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄが光ディスク１２の
周方向の傾き成分を持つ場合、図２に示すように、これ
ら記録膜１２ｂや１２ｄからの反射光は偏光ビームスプ
リッタ５のＰ点で反射し、第１のシリンドリカルレンズ
７にて第１のＣＣＤラインセンサ８上に集光されるとと
もに、周方向の傾きに対応したｘ0 だけ位置ずれした位
置に結像される。また、ディスク１２の第１記録膜１２
ｂや第２記録膜１２ｄがディスク１２の半径方向の傾き
成分を持つ場合、図３に示すように、これら記録膜１２
ｂや１２ｄからの反射光は偏光ビームスプリッタ５のＰ
点で反射し、第１のシリンドリカルレンズ１０にて第２
のＣＣＤラインセンサ１１上に集光されるとともに、半
径方向の傾きに対応したｙ0 だけ位置ずれした位置に結
像される。
【００１３】位置ずれ量と傾きの関係は、例えば第１記
録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄが半径方向にθ°傾き、
その反射光が第２のＣＣＤラインセンサ１１上でｙ0 だ
け位置ずれした位置に結像したとすると、偏向ビームス
プリッタ５と第１記録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄの間
の距離をｌ1 、偏向ビームスプリッタ５から第２のＣＣ
Ｄラインセンサ１１までの距離をｌ2 として、 ｙ0 ＝（ｌ1 ＋ｌ2 ）ｔａｎ２θ で与えられ、したがってｙ0 を検出することによりθを
検出できる。
録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄが半径方向にθ°傾き、
その反射光が第２のＣＣＤラインセンサ１１上でｙ0 だ
け位置ずれした位置に結像したとすると、偏向ビームス
プリッタ５と第１記録膜１２ｂや第２記録膜１２ｄの間
の距離をｌ1 、偏向ビームスプリッタ５から第２のＣＣ
Ｄラインセンサ１１までの距離をｌ2 として、 ｙ0 ＝（ｌ1 ＋ｌ2 ）ｔａｎ２θ で与えられ、したがってｙ0 を検出することによりθを
検出できる。
【００１４】次に、ＣＣＤラインセンサ８、１１による
実際の検出状態について、ディスク１２の第１記録膜１
２ｂと第２記録膜１２ｄの傾きの有無に応じて詳しく説
明する。まず、２つの記録膜１２ｂ、１２ｄに傾きが無
い場合は、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、
結像する位置は同一のＢ0 位置になる。なお、（ｂ）は
レーザ光のスポット径を十分に小さくしなかった場合の
結像状態であり、（ｃ）は小さくした場合の結像状態で
あり、以下の図５、図６においても同様である。なお、
このようにＣＣＤラインセンサ８、１１上での結像状態
では輝度分布を呈するので、その輝度分布の重心位置を
求めて結像位置Ｂ0 とする。
実際の検出状態について、ディスク１２の第１記録膜１
２ｂと第２記録膜１２ｄの傾きの有無に応じて詳しく説
明する。まず、２つの記録膜１２ｂ、１２ｄに傾きが無
い場合は、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、
結像する位置は同一のＢ0 位置になる。なお、（ｂ）は
レーザ光のスポット径を十分に小さくしなかった場合の
結像状態であり、（ｃ）は小さくした場合の結像状態で
あり、以下の図５、図６においても同様である。なお、
このようにＣＣＤラインセンサ８、１１上での結像状態
では輝度分布を呈するので、その輝度分布の重心位置を
求めて結像位置Ｂ0 とする。
【００１５】また、第１記録膜１２ｂに傾きがあり、第
２記録膜１２ｄに傾きがない場合は、図５（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）に示すように、第１記録膜１２ｂからの
反射光はＢ1 の位置に結像し、第２記録膜１２ｄからの
反射光はＢ0 の位置に結像する。
２記録膜１２ｄに傾きがない場合は、図５（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）に示すように、第１記録膜１２ｂからの
反射光はＢ1 の位置に結像し、第２記録膜１２ｄからの
反射光はＢ0 の位置に結像する。
【００１６】このときレーザ光のスポット径を十分に小
さくしなかった場合には、（ｂ）に示すように、第２記
録膜１２ｄからの反射光の輝度分布の中に第１記録膜１
２ｂからの反射光の輝度分布が隠れて判別できなくなる
ため、（ｃ）に示すようにレーザ光のスポット径を十分
に小さくする必要がある。
さくしなかった場合には、（ｂ）に示すように、第２記
録膜１２ｄからの反射光の輝度分布の中に第１記録膜１
２ｂからの反射光の輝度分布が隠れて判別できなくなる
ため、（ｃ）に示すようにレーザ光のスポット径を十分
に小さくする必要がある。
【００１７】また、第１記録膜１２ｂ及び第２記録膜１
２ｄに傾きがある場合は、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
に示すように、第１記録膜１２ｂからの反射光はＢ1 の
位置に結像し、第２記録膜１２ｄからの反射光はＢ0 の
位置に結像する。このときレーザ光のスポット径を十分
に小さくしなかった場合には、（ｂ）に示すように、第
２記録膜１２ｄからの反射光の輝度分布と第１記録膜１
２ｂからの反射光の輝度分布が一部重なり合い、同じく
判別ができなくなるため、（ｃ）に示すようにレーザ光
のスポット径を十分に小さくする必要がある。
２ｄに傾きがある場合は、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
に示すように、第１記録膜１２ｂからの反射光はＢ1 の
位置に結像し、第２記録膜１２ｄからの反射光はＢ0 の
位置に結像する。このときレーザ光のスポット径を十分
に小さくしなかった場合には、（ｂ）に示すように、第
２記録膜１２ｄからの反射光の輝度分布と第１記録膜１
２ｂからの反射光の輝度分布が一部重なり合い、同じく
判別ができなくなるため、（ｃ）に示すようにレーザ光
のスポット径を十分に小さくする必要がある。
【００１８】さらに、レーザ光のスポット径を十分に小
さくできなかったり、小さくしても反射光の輝度分布が
一部重なり合い、図７（ａ）に示すような２山の輝度分
布を呈する場合には、図７（ｂ）に示すように、輝度分
布をｎ回繰り返し足し算することにより、小さな山の頂
点と山間の谷との距離δを拡大し、その谷のレベルΔを
除くことにより、図７（ｃ）に示すように重なり合わな
い輝度分布が得られる。そして、各輝度分布に近似曲線
を当てはめてそれぞれの重心位置Ｂ0 、Ｂ1 を求めれば
よい。
さくできなかったり、小さくしても反射光の輝度分布が
一部重なり合い、図７（ａ）に示すような２山の輝度分
布を呈する場合には、図７（ｂ）に示すように、輝度分
布をｎ回繰り返し足し算することにより、小さな山の頂
点と山間の谷との距離δを拡大し、その谷のレベルΔを
除くことにより、図７（ｃ）に示すように重なり合わな
い輝度分布が得られる。そして、各輝度分布に近似曲線
を当てはめてそれぞれの重心位置Ｂ0 、Ｂ1 を求めれば
よい。
【００１９】また、別の方法としては、図８（ａ）に示
すような輝度分布データを、図８（ｂ）に示すように微
分して、０になる位置を求めて結像位置Ｂ0 、Ｂ1 を求
めてもよい。
すような輝度分布データを、図８（ｂ）に示すように微
分して、０になる位置を求めて結像位置Ｂ0 、Ｂ1 を求
めてもよい。
【００２０】以上により第１記録膜１２ｂ及び第２記録
膜１２ｄからの反射光の結像位置Ｂ1 、Ｂ0 が求まり、
これら第１記録膜１２ｂ及び第２記録膜１２ｄの傾き角
が正しく求められる。
膜１２ｄからの反射光の結像位置Ｂ1 、Ｂ0 が求まり、
これら第１記録膜１２ｂ及び第２記録膜１２ｄの傾き角
が正しく求められる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の多層記録膜ディスクの傾き検査
方法によれば、以上の説明から明らかなように、各記録
膜からの反射光を２つに分岐してその一方をディスクの
周方向の傾きに対応するライン上に他方をディスクの半
径方向の傾きに対応するライン上に集光させ、各ライン
上における多層記録膜からの複数の反射光の輝度分布の
重心位置を検出するので、ディスクの周方向と半径方向
の傾きに対応するライン上で、複数の記録膜からの反射
光の集光位置の位置ずれ量を検出でき、複数の記録膜が
別々の傾きを持つ場合にもそれぞれ周方向と半径方向の
傾きを検査することができる。
方法によれば、以上の説明から明らかなように、各記録
膜からの反射光を２つに分岐してその一方をディスクの
周方向の傾きに対応するライン上に他方をディスクの半
径方向の傾きに対応するライン上に集光させ、各ライン
上における多層記録膜からの複数の反射光の輝度分布の
重心位置を検出するので、ディスクの周方向と半径方向
の傾きに対応するライン上で、複数の記録膜からの反射
光の集光位置の位置ずれ量を検出でき、複数の記録膜が
別々の傾きを持つ場合にもそれぞれ周方向と半径方向の
傾きを検査することができる。
【００２２】また、本発明の多層記録膜ディスクの傾き
検査装置によれば、レーザ光照射手段と、レーザ光のス
ポット径を小さくする手段と、多層記録膜からの反射光
を２つに分岐する手段と、２つに分岐した反射光をディ
スクの周方向と半径方向に対応するライン上に集光させ
てそれぞれ１次元ＣＣＤ上に照射する光学系と、１次元
ＣＣＤ上における多層記録膜からの複数の反射光の輝度
分布の重心位置を検出する手段とを備えているので、上
記検査方法を実現できるとともに、１次元ＣＣＤ上に結
像する光の分布を剣峰状にできて多層記録面からの反射
光の位置ずれを明確に検出でき、また１次元ＣＣＤにて
反射光のスポットを検出することにより短時間でその重
心位置が求められるという効果を発揮する。
検査装置によれば、レーザ光照射手段と、レーザ光のス
ポット径を小さくする手段と、多層記録膜からの反射光
を２つに分岐する手段と、２つに分岐した反射光をディ
スクの周方向と半径方向に対応するライン上に集光させ
てそれぞれ１次元ＣＣＤ上に照射する光学系と、１次元
ＣＣＤ上における多層記録膜からの複数の反射光の輝度
分布の重心位置を検出する手段とを備えているので、上
記検査方法を実現できるとともに、１次元ＣＣＤ上に結
像する光の分布を剣峰状にできて多層記録面からの反射
光の位置ずれを明確に検出でき、また１次元ＣＣＤにて
反射光のスポットを検出することにより短時間でその重
心位置が求められるという効果を発揮する。
【図１】本発明の多層記録膜ディスクの傾き検査装置の
一実施形態の全体概略構成を示す斜視図である。
一実施形態の全体概略構成を示す斜視図である。
【図２】同実施形態における記録膜の周方向の傾きによ
る反射光のｘ方向の位置ずれの検出状態の説明図であ
り、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
る反射光のｘ方向の位置ずれの検出状態の説明図であ
り、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】同実施形態における記録膜の半径方向の傾きに
よる反射光のｙ方向の位置ずれの検出状態の説明図であ
り、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
よる反射光のｙ方向の位置ずれの検出状態の説明図であ
り、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図４】同実施形態において、第１と第２の記録膜に傾
きの無いときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正
面図、（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検
出信号の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大き
い場合の検出信号の説明図である。
きの無いときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正
面図、（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検
出信号の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大き
い場合の検出信号の説明図である。
【図５】同実施形態において、第１の記録膜に傾きがあ
るときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正面図、
（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検出信号
の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大きい場合
の検出信号の説明図である。
るときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正面図、
（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検出信号
の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大きい場合
の検出信号の説明図である。
【図６】同実施形態において、第１と第２の記録膜に傾
きがあるときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正
面図、（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検
出信号の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大き
い場合の検出信号の説明図である。
きがあるときの検出状態を示し、（ａ）は検出状態の正
面図、（ｂ）はレーザ光のスポット径が大きい場合の検
出信号の説明図、（ｃ）はレーザ光のスポット径が大き
い場合の検出信号の説明図である。
【図７】同実施形態において、第１と第２の記録膜から
の反射光が完全に分離しないときの検出信号の処理方法
の説明図である。
の反射光が完全に分離しないときの検出信号の処理方法
の説明図である。
【図８】同実施形態において、第１と第２の記録膜から
の反射光が完全に分離しないときの検出信号の他の処理
方法の説明図である。
の反射光が完全に分離しないときの検出信号の他の処理
方法の説明図である。
【図９】従来例のディスク傾き検査方法の概略構成を示
し、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は記録膜の一方向の傾
きによる位置検出素子上のｙ方向の位置ずれ状態の説明
図、（ｃ）は記録膜の他方向の傾きによる位置検出素子
上のｘ方向の位置ずれ状態の説明図である。
し、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は記録膜の一方向の傾
きによる位置検出素子上のｙ方向の位置ずれ状態の説明
図、（ｃ）は記録膜の他方向の傾きによる位置検出素子
上のｘ方向の位置ずれ状態の説明図である。
１ 半導体レーザ ２ コリメートレンズ ６ ハーフミラー（分岐手段） ７ 第１のシリンドリカルレンズ ８ 第１のＣＣＤラインセンサ １０ 第２のシリンドリカルレンズ １１ 第２のＣＣＤラインセンサ １２ 光ディスク（多層記録膜ディスク） １５ 計算機
Claims (4)
- 【請求項１】 多層記録膜ディスクに向けてレーザ光を
照射し、多層記録膜からの反射光を２つに分岐し、２つ
の分岐光の一方をディスクの周方向の傾きに対応するラ
イン上に他方をディスクの半径方向の傾きに対応するラ
イン上に集光させ、各ライン上における多層記録膜から
の複数の反射光の輝度分布の重心位置を検出することを
特徴とする多層記録膜ディスクの傾き検査方法。 - 【請求項２】 複数の反射光の輝度分布の山の重心位置
を求める際に、輝度分布データを複数回足し合わせて山
と谷の差を顕在化させることを特徴とする請求項１記載
の多層記録膜ディスクの傾き検査方法。 - 【請求項３】 複数の反射光の輝度分布の山の重心位置
を求める際に、輝度分布データを微分して０になる位置
を重心とすることを特徴とする請求項１記載の多層記録
膜ディスクの傾き検査方法。 - 【請求項４】 多層記録膜ディスクに向けてレーザ光を
照射する手段と、レーザ光のスポット径を小さくする手
段と、多層記録膜からの反射光を２つに分岐する手段
と、２つに分岐した反射光をディスクの周方向と半径方
向に対応するライン上に集光させてそれぞれ１次元ＣＣ
Ｄ上に照射する光学系と、１次元ＣＣＤ上における多層
記録膜からの複数の反射光の輝度分布の重心位置を検出
する手段とを備えたことを特徴とする多層記録膜ディス
クの傾き検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25566496A JPH10103936A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25566496A JPH10103936A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10103936A true JPH10103936A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17281905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25566496A Pending JPH10103936A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 多層記録膜ディスクの傾き検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10103936A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2640314C2 (ru) * | 2014-06-04 | 2017-12-27 | Ахметсалим Сабирович Галеев | Способ измерения положения лазерного пятна и устройство для его осуществления |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP25566496A patent/JPH10103936A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2640314C2 (ru) * | 2014-06-04 | 2017-12-27 | Ахметсалим Сабирович Галеев | Способ измерения положения лазерного пятна и устройство для его осуществления |
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