JPH10102241A - アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法 - Google Patents
アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法Info
- Publication number
- JPH10102241A JPH10102241A JP25293896A JP25293896A JPH10102241A JP H10102241 A JPH10102241 A JP H10102241A JP 25293896 A JP25293896 A JP 25293896A JP 25293896 A JP25293896 A JP 25293896A JP H10102241 A JPH10102241 A JP H10102241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- weight
- crucible material
- vapor deposition
- aluminum vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、
高強度化することにより寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼに好適なるつぼ材及びその製造法を提供する。 【解決手段】 平均粒径が６μｍ以上で１０μｍ未満及
び１μｍ以下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５
μｍ以下の粒径のものであるフィラーにピッチ及びター
ルを含有してなるアルミニウム蒸着用るつぼ材並びに上
記のアルミニウム蒸着用るつぼ材を捏和、粉砕、成形、
焼成及び黒鉛化することを特徴とするアルミニウム蒸着
用るつぼ材の製造法。
高強度化することにより寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼに好適なるつぼ材及びその製造法を提供する。 【解決手段】 平均粒径が６μｍ以上で１０μｍ未満及
び１μｍ以下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５
μｍ以下の粒径のものであるフィラーにピッチ及びター
ルを含有してなるアルミニウム蒸着用るつぼ材並びに上
記のアルミニウム蒸着用るつぼ材を捏和、粉砕、成形、
焼成及び黒鉛化することを特徴とするアルミニウム蒸着
用るつぼ材の製造法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルミニウム蒸着
用るつぼの製造法に好適なアルミニウム蒸着用るつぼ材
（以下、単にるつぼ材とする）及びその製造法に関す
る。
用るつぼの製造法に好適なアルミニウム蒸着用るつぼ材
（以下、単にるつぼ材とする）及びその製造法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のアルミニウム蒸着用るつぼは、特
開平６−１２８７２７号公報に示されるように、平均粒
径が１０μｍ以上で、かつ１μｍ以下の粒径のものをそ
れぞれ１重量％以上含有するコークス粉、人造黒鉛粉等
のフィラー（骨材）及び固定炭素分が５５重量％以下の
バインダーを原料としたるつぼ材を用いていた。しかし
ながら、このようなるつぼ材は、黒鉛化時のかさ密度及
び曲げ強度が低く、また組織も不均一のためフィラーと
バインダーの分散性（均一混合性）が悪く、得られるア
ルミニウム蒸着用るつぼの寿命も短いという欠点があっ
た。
開平６−１２８７２７号公報に示されるように、平均粒
径が１０μｍ以上で、かつ１μｍ以下の粒径のものをそ
れぞれ１重量％以上含有するコークス粉、人造黒鉛粉等
のフィラー（骨材）及び固定炭素分が５５重量％以下の
バインダーを原料としたるつぼ材を用いていた。しかし
ながら、このようなるつぼ材は、黒鉛化時のかさ密度及
び曲げ強度が低く、また組織も不均一のためフィラーと
バインダーの分散性（均一混合性）が悪く、得られるア
ルミニウム蒸着用るつぼの寿命も短いという欠点があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】請求項１及び２記載の
発明は、フィラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、高
強度化することにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼに好適なるつぼ材を提供するものである。請求項
３記載の発明は、請求項１及び２記載の効果を奏し、フ
ィラーとバインダーの分散性を高め、さらに寿命の長い
アルミニウム蒸着用るつぼに好適なるつぼ材を提供する
ものである。請求項４記載の発明は、フィラーの粒子を
微細にし、基材を緻密化、高強化することにより、寿命
の長いアルミニウム蒸着用るつぼ材の製造法を提供する
ものである。
発明は、フィラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、高
強度化することにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼに好適なるつぼ材を提供するものである。請求項
３記載の発明は、請求項１及び２記載の効果を奏し、フ
ィラーとバインダーの分散性を高め、さらに寿命の長い
アルミニウム蒸着用るつぼに好適なるつぼ材を提供する
ものである。請求項４記載の発明は、フィラーの粒子を
微細にし、基材を緻密化、高強化することにより、寿命
の長いアルミニウム蒸着用るつぼ材の製造法を提供する
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、平均粒径が６
μｍ以上で１０μｍ未満及び１μｍ以下の粒径のものが
１重量％未満で、かつ２５μｍ以下の粒径のものである
フィラーにピッチ及びタールを含有してなるるつぼ材に
関する。また、本発明は、このるつぼ材において、フィ
ラーが、コークス粉及び人造黒鉛粉であるるつぼ材に関
する。また、本発明は、このるつぼ材において、ピッチ
が、固定炭素分が６０重量％以上のピッチ及び固定炭素
分５０重量％以上のピッチの２種類を併用したピッチで
あるるつぼ材に関する。さらに、本発明は、上記のアル
ミニウム蒸着用るつぼ材を捏和、粉砕、成形、焼成及び
黒鉛化することを特徴とするアルミニウム蒸着用るつぼ
材の製造法に関する。
μｍ以上で１０μｍ未満及び１μｍ以下の粒径のものが
１重量％未満で、かつ２５μｍ以下の粒径のものである
フィラーにピッチ及びタールを含有してなるるつぼ材に
関する。また、本発明は、このるつぼ材において、フィ
ラーが、コークス粉及び人造黒鉛粉であるるつぼ材に関
する。また、本発明は、このるつぼ材において、ピッチ
が、固定炭素分が６０重量％以上のピッチ及び固定炭素
分５０重量％以上のピッチの２種類を併用したピッチで
あるるつぼ材に関する。さらに、本発明は、上記のアル
ミニウム蒸着用るつぼ材を捏和、粉砕、成形、焼成及び
黒鉛化することを特徴とするアルミニウム蒸着用るつぼ
材の製造法に関する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明に用いられるフィラーとし
ては、コークス粉、人造黒鉛粉等が用いられ、これらの
フィラーの平均粒径はコークス粉及び人造黒鉛粉ともに
６μｍ以上で１０μｍ未満、好ましくは６〜９μｍの範
囲とされ、１０μｍ以上のものを用いるとるつぼ材のか
さ密度が低下し、かつ組織間の結合力も低下し、得られ
るアルミニウム蒸着用るつぼが低寿命となる。一方、６
μｍ未満のものを用いると焼成中に割れ易くなるという
欠点がある。また、上記以外にコークス粉及び人造黒鉛
粉の粒径は、それぞれ１μｍ以下の粒径のものが１重量
％未満、好ましくは０．１重量％未満で、かつ２５μｍ
以下の粒径のものであり、１μｍ以下の粒径のものを１
重量％以上含有したり、２５μｍ以上の粒径のものを少
量でも含有するとるつぼ材の組織が不均一となり、組織
間の結合力が低下し、得られるアルミニウム蒸着用るつ
ぼが低寿命となる。
ては、コークス粉、人造黒鉛粉等が用いられ、これらの
フィラーの平均粒径はコークス粉及び人造黒鉛粉ともに
６μｍ以上で１０μｍ未満、好ましくは６〜９μｍの範
囲とされ、１０μｍ以上のものを用いるとるつぼ材のか
さ密度が低下し、かつ組織間の結合力も低下し、得られ
るアルミニウム蒸着用るつぼが低寿命となる。一方、６
μｍ未満のものを用いると焼成中に割れ易くなるという
欠点がある。また、上記以外にコークス粉及び人造黒鉛
粉の粒径は、それぞれ１μｍ以下の粒径のものが１重量
％未満、好ましくは０．１重量％未満で、かつ２５μｍ
以下の粒径のものであり、１μｍ以下の粒径のものを１
重量％以上含有したり、２５μｍ以上の粒径のものを少
量でも含有するとるつぼ材の組織が不均一となり、組織
間の結合力が低下し、得られるアルミニウム蒸着用るつ
ぼが低寿命となる。
【０００６】コークス粉の含有量は、焼成歩留まり、曲
げ強度及びかさ密度の面で４０〜６０重量部の範囲が好
ましく、５０〜６０重量部の範囲であることがより好ま
しい。人造黒鉛粉の含有量は、焼成歩留まり、得られる
アルミニウム蒸着用るつぼの電気比抵抗の面で、１〜５
重量部の範囲が好ましく、２〜４重量部の範囲であるこ
とがより好ましい。ピッチ及びタールの含有量は、かさ
密度が高く、得られるアルミニウム蒸着用るつぼを長寿
命とする面で、ピッチが２０〜５０重量部及びタールが
５〜１０重量部の範囲が好ましく、ピッチが３０〜４０
重量部及びタールが６〜８重量部の範囲であることがよ
り好ましい。
げ強度及びかさ密度の面で４０〜６０重量部の範囲が好
ましく、５０〜６０重量部の範囲であることがより好ま
しい。人造黒鉛粉の含有量は、焼成歩留まり、得られる
アルミニウム蒸着用るつぼの電気比抵抗の面で、１〜５
重量部の範囲が好ましく、２〜４重量部の範囲であるこ
とがより好ましい。ピッチ及びタールの含有量は、かさ
密度が高く、得られるアルミニウム蒸着用るつぼを長寿
命とする面で、ピッチが２０〜５０重量部及びタールが
５〜１０重量部の範囲が好ましく、ピッチが３０〜４０
重量部及びタールが６〜８重量部の範囲であることがよ
り好ましい。
【０００７】なお本発明で用いるピッチは、固定炭素分
が６０重量％以上のピッチと固定炭素分が５０重量％以
上のピッチを組み合わせて用いれば、バインダーとして
の炭化歩留まりを高め、かつバインダーとフィラーの分
散性を高め、るつぼ材を緻密化、高強度化し、長寿命の
アルミニウム蒸着用るつぼが得られるので好ましい。
が６０重量％以上のピッチと固定炭素分が５０重量％以
上のピッチを組み合わせて用いれば、バインダーとして
の炭化歩留まりを高め、かつバインダーとフィラーの分
散性を高め、るつぼ材を緻密化、高強度化し、長寿命の
アルミニウム蒸着用るつぼが得られるので好ましい。
【０００８】本発明になるるつぼ材は、上記に示す原料
を捏和、粉砕、成形、焼成さらに黒鉛化することによっ
て得られる。捏和は、一般に双腕型ニーダーなどを用い
て、各材料を、好ましくは２００〜２５０℃、好ましく
は５〜１０時間混練することにより行われる。粉砕は、
捏和で得られたものを、各種粉砕機を用いて平均粒子径
が２０〜３０μｍになるように粉砕することにより行わ
れる。成形は、粉砕して得られた粉体を、ブロック状に
金型プレスなどの方法で付形することにより行われる。
成形圧力は、９８〜１４７MPa（１０００〜１５００kg/
cm2）が好ましい。成形圧力が低いと比重が下がり、高
いと焼成中に割れ易くなる傾向がある。
を捏和、粉砕、成形、焼成さらに黒鉛化することによっ
て得られる。捏和は、一般に双腕型ニーダーなどを用い
て、各材料を、好ましくは２００〜２５０℃、好ましく
は５〜１０時間混練することにより行われる。粉砕は、
捏和で得られたものを、各種粉砕機を用いて平均粒子径
が２０〜３０μｍになるように粉砕することにより行わ
れる。成形は、粉砕して得られた粉体を、ブロック状に
金型プレスなどの方法で付形することにより行われる。
成形圧力は、９８〜１４７MPa（１０００〜１５００kg/
cm2）が好ましい。成形圧力が低いと比重が下がり、高
いと焼成中に割れ易くなる傾向がある。
【０００９】焼成は、上記に示す成形物を炭素化するも
のであり、還元雰囲気下、好ましくは８００〜１０００
℃に昇温して行うことができる。焼成時間は、３００〜
５００時間が好ましい。還元雰囲気下で焼成する方法と
しては、成形体のまわりに炭素粉を詰めて焼成する方法
などがある。黒鉛化は、焼成により炭素化したものを、
好ましくは２６００〜３０００℃に昇温して行うことが
できる。黒鉛化時間は、４０〜７０時間が好ましい。
のであり、還元雰囲気下、好ましくは８００〜１０００
℃に昇温して行うことができる。焼成時間は、３００〜
５００時間が好ましい。還元雰囲気下で焼成する方法と
しては、成形体のまわりに炭素粉を詰めて焼成する方法
などがある。黒鉛化は、焼成により炭素化したものを、
好ましくは２６００〜３０００℃に昇温して行うことが
できる。黒鉛化時間は、４０〜７０時間が好ましい。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。 実施例１ 平均粒径が６μｍ及びフィラー全重量に対して１μｍ以
下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５μｍ以上の
粒径のものが皆無になるように調整した石炭系コークス
（新日鐵化学(株)製、商品名ＬＰＣ−Ａ）５０重量部、
平均粒径が８μｍ及びフィラー全重量に対して１μｍ以
下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５μｍ以上の
粒径のものが皆無になるように調整した人造黒鉛（自家
製非売品）５重量部、固定炭素分が６３重量％の石炭系
ピッチ（大阪化学(株)製、商品名ペレット２８）３０重
量部、固定炭素分が５７重量％の石炭系ピッチ（川崎製
鉄(株)製、商品名ＰＫ−Ｌ）１０重量部及びタール（川
崎製鉄(株)製、コールタール）５重量部を配合し、２５
０±２０℃の温度で５時間捏和した。
下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５μｍ以上の
粒径のものが皆無になるように調整した石炭系コークス
（新日鐵化学(株)製、商品名ＬＰＣ−Ａ）５０重量部、
平均粒径が８μｍ及びフィラー全重量に対して１μｍ以
下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５μｍ以上の
粒径のものが皆無になるように調整した人造黒鉛（自家
製非売品）５重量部、固定炭素分が６３重量％の石炭系
ピッチ（大阪化学(株)製、商品名ペレット２８）３０重
量部、固定炭素分が５７重量％の石炭系ピッチ（川崎製
鉄(株)製、商品名ＰＫ−Ｌ）１０重量部及びタール（川
崎製鉄(株)製、コールタール）５重量部を配合し、２５
０±２０℃の温度で５時間捏和した。
【００１１】次いで、この捏和物を粉砕して平均粒径を
２５μｍに調整した成形粉を得た後、成形粉を金型を用
いて１２３MPaの圧力で成形して寸法が１３０×１７０
×３１０mmの成形体を得た。この成形体を９００℃の温
度で焼成し、さらに２８００℃の温度で黒鉛化してるつ
ぼ材を得た。この後、るつぼ材を機械加工し、肉厚が１
０mm、外径が１３０mm及び高さが１２０mmのアルミニウ
ム蒸着用るつぼを得た。
２５μｍに調整した成形粉を得た後、成形粉を金型を用
いて１２３MPaの圧力で成形して寸法が１３０×１７０
×３１０mmの成形体を得た。この成形体を９００℃の温
度で焼成し、さらに２８００℃の温度で黒鉛化してるつ
ぼ材を得た。この後、るつぼ材を機械加工し、肉厚が１
０mm、外径が１３０mm及び高さが１２０mmのアルミニウ
ム蒸着用るつぼを得た。
【００１２】実施例２ コークス粉の平均粒径を９μｍとした以外は実施例１と
同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下実
施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施例
１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下実
施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施例
１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
【００１３】実施例３ 固定炭素分が６３重量％の石炭系ピッチを３５重量部及
び固定炭素分が５７重量％の石炭系ピッチ５重量部とし
た以外は実施例１と同じ条件で、かつ実施例１と同様の
原料を用い、以下実施例１と同様の工程を経てるつぼ材
を得、さらに実施例１と同寸法のアルミニウム蒸着用る
つぼを得た。
び固定炭素分が５７重量％の石炭系ピッチ５重量部とし
た以外は実施例１と同じ条件で、かつ実施例１と同様の
原料を用い、以下実施例１と同様の工程を経てるつぼ材
を得、さらに実施例１と同寸法のアルミニウム蒸着用る
つぼを得た。
【００１４】比較例１ コークス粉の平均粒径を１２μｍとした以外は実施例１
と同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下
実施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施
例１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
と同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下
実施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施
例１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
【００１５】比較例２ コークス粉の平均粒径を６μｍ及びフィラー全重量に対
して１μｍ以下の粒径のものを３重量％で、かつ２５μ
ｍ以上の粒径のものを３重量％とした以外は実施例１と
同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下実
施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施例
１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
して１μｍ以下の粒径のものを３重量％で、かつ２５μ
ｍ以上の粒径のものを３重量％とした以外は実施例１と
同じ条件で、かつ実施例１と同様の原料を用い、以下実
施例１と同様の工程を経てるつぼ材を得、さらに実施例
１と同寸法のアルミニウム蒸着用るつぼを得た。
【００１６】次に実施例１〜３及び比較例１〜２で得ら
れたるつぼ材を１０×１０×５０ｍｍの寸法に加工した
試験片を用いてかさ密度及び曲げ強度を測定した。その
結果を表１に示す。なお、かさ密度及び曲げ強度は、Ｊ
ＩＳ Ｒ ７２１２に準ずる方法で測定した。
れたるつぼ材を１０×１０×５０ｍｍの寸法に加工した
試験片を用いてかさ密度及び曲げ強度を測定した。その
結果を表１に示す。なお、かさ密度及び曲げ強度は、Ｊ
ＩＳ Ｒ ７２１２に準ずる方法で測定した。
【００１７】
【表１】 表１から、実施例のるつぼ材はかさ密度が高く、曲げ強
度に優れることが示される。
度に優れることが示される。
【００１８】また、実施例１〜３及び比較例１〜２で得
られたアルミニウム蒸着用るつぼに粒状アルミニウムを
入れたものを真空蒸着装置に収納し、１０−４ｔｏｒｒ
に減圧し、高周波誘導で１４５０℃の温度で２時間加熱
してアルミニウムを蒸発させる実験を繰り返し行い、そ
の都度外観を観察した。その結果を表２に示す。
られたアルミニウム蒸着用るつぼに粒状アルミニウムを
入れたものを真空蒸着装置に収納し、１０−４ｔｏｒｒ
に減圧し、高周波誘導で１４５０℃の温度で２時間加熱
してアルミニウムを蒸発させる実験を繰り返し行い、そ
の都度外観を観察した。その結果を表２に示す。
【００１９】
【表２】 表２から、比較例のアルミニウム蒸着用るつぼは１５回
の使用で上部が割れたのに対し、実施例のアルミニウム
蒸着用るつぼは２１回以上使用することができ、寿命の
長いことが示される。
の使用で上部が割れたのに対し、実施例のアルミニウム
蒸着用るつぼは２１回以上使用することができ、寿命の
長いことが示される。
【００２０】
【発明の効果】請求項１及び２記載のるつぼ材は、フィ
ラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、高強度化するこ
とにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用るつぼに好適
なるつぼ材である。請求項３記載のるつぼ材は、請求項
１記載の効果を奏し、フィラーとバインダーの分散性を
高め、さらに寿命の長いアルミニウム蒸着用るつぼに好
適なるつぼ材である。請求項４記載の方法で得られるる
つぼ材は、フィラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、
高強化することにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼ材である。
ラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、高強度化するこ
とにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用るつぼに好適
なるつぼ材である。請求項３記載のるつぼ材は、請求項
１記載の効果を奏し、フィラーとバインダーの分散性を
高め、さらに寿命の長いアルミニウム蒸着用るつぼに好
適なるつぼ材である。請求項４記載の方法で得られるる
つぼ材は、フィラーの粒子を微細にし、基材を緻密化、
高強化することにより、寿命の長いアルミニウム蒸着用
るつぼ材である。
Claims (4)
- 【請求項１】 平均粒径が６μｍ以上で１０μｍ未満及
び１μｍ以下の粒径のものが１重量％未満で、かつ２５
μｍ以下の粒径のものであるフィラーにピッチ及びター
ルを含有してなるアルミニウム蒸着用るつぼ材。 - 【請求項２】 フィラーが、コークス粉及び人造黒鉛粉
である請求項１記載のアルミニウム蒸着用るつぼ材。 - 【請求項３】 ピッチが、固定炭素分が６０重量％以上
のピッチ及び固定炭素分が５０重量％以上のピッチの２
種類を併用したピッチである請求項１又は２記載のアル
ミニウム蒸着用るつぼ材。 - 【請求項４】 請求項１、２又は３記載のアルミニウム
蒸着用るつぼ材を捏和、粉砕、成形、焼成及び黒鉛化す
ることを特徴とするアルミニウム蒸着用るつぼ材の製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25293896A JPH10102241A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25293896A JPH10102241A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10102241A true JPH10102241A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17244255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25293896A Pending JPH10102241A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10102241A (ja) |
-
1996
- 1996-09-25 JP JP25293896A patent/JPH10102241A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4311777B2 (ja) | 黒鉛材の製造方法 | |
| JP2005298231A (ja) | 等方性黒鉛材の製造方法 | |
| EP0146399A2 (en) | Nuclear graphite articles and their production | |
| JPH07165467A (ja) | 等方性黒鉛材の製造方法 | |
| JPH10102241A (ja) | アルミニウム蒸着用るつぼ材及びその製造法 | |
| JPH05251088A (ja) | 燃料電池用多孔質炭素電極板の製造方法 | |
| JPS5827208B2 (ja) | 黒鉛質成形体の製造方法 | |
| JP2910002B2 (ja) | 特殊炭素材の混練方法 | |
| JPH0259468A (ja) | 高固有抵抗化等方性黒鉛材の製造法 | |
| JP3135187B2 (ja) | イオン注入部材用の炭素材料およびその製造方法 | |
| JP2001130963A (ja) | 等方性高密度炭素材の製造方法 | |
| JPS61295216A (ja) | 高密度・高強度等方性黒鉛材の製造法 | |
| JPS5978914A (ja) | 特殊炭素材の製造方法 | |
| JPH0333064A (ja) | 炭素―炭化ケイ素複合材料製造用紛末組成物、炭素―炭化ケイ素複合材料の製造方法および炭素―炭化ケイ素複合材料 | |
| JP4353550B2 (ja) | 自己潤滑性を有する炭素系複合摺動材料とその製造方法 | |
| JPH02271919A (ja) | 炭化チタン微粉末の製造方法 | |
| JPH0337108A (ja) | 等方性炭素材 | |
| JPH04321560A (ja) | 等方性高強度黒鉛材料の製造方法 | |
| JPS63151610A (ja) | 大型炭素材製造用原料組成物 | |
| JP2808807B2 (ja) | 炭素材用原料粉の製法 | |
| JPH05279005A (ja) | 高密度炭素材の製造方法 | |
| SU1699910A1 (ru) | Способ приготовлени пресс-порошка | |
| JPH0687654A (ja) | 炭化ホウ素／炭素複合材およびその製造方法 | |
| JPS6110069A (ja) | 高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法 | |
| SU1034994A1 (ru) | Способ приготовлени коксопековой композиции дл мелкозернистых графитовых изделий |