JPH0995661A - 湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備 - Google Patents
湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備Info
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- JPH0995661A JPH0995661A JP8174644A JP17464496A JPH0995661A JP H0995661 A JPH0995661 A JP H0995661A JP 8174644 A JP8174644 A JP 8174644A JP 17464496 A JP17464496 A JP 17464496A JP H0995661 A JPH0995661 A JP H0995661A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内や半導体製造装置内等にガス
状有機物を存在させないようにする。 【解決手段】クリーンルームの壁材の連結用やパーティ
ションの連結用などのために隙間に充填して使用される
湿式シール材として、使用時にガス状有機物を発生しな
いものを用いる。具体的には、一液型ポリウレタン樹脂
を主成分とし、滑剤として、炭素数１９以下の脂肪族炭
化水素および炭素数１７以下の高級アルコールを含まな
いもの（例えばマイクロクリスタリンワックス）を使用
する。可塑剤として分子量４００以上のカルボン酸エス
テル等を、酸化防止剤として分子量３００以上のフェノ
ール系化合物を使用する。
状有機物を存在させないようにする。 【解決手段】クリーンルームの壁材の連結用やパーティ
ションの連結用などのために隙間に充填して使用される
湿式シール材として、使用時にガス状有機物を発生しな
いものを用いる。具体的には、一液型ポリウレタン樹脂
を主成分とし、滑剤として、炭素数１９以下の脂肪族炭
化水素および炭素数１７以下の高級アルコールを含まな
いもの（例えばマイクロクリスタリンワックス）を使用
する。可塑剤として分子量４００以上のカルボン酸エス
テル等を、酸化防止剤として分子量３００以上のフェノ
ール系化合物を使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、食品、医
薬品、バイオテクノロジー関連の工場や研究所等で使用
されているクリーンルームに使用される湿式シール材、
その製造方法、これを用いたクリーンルームおよび局所
設備に関するものである。
薬品、バイオテクノロジー関連の工場や研究所等で使用
されているクリーンルームに使用される湿式シール材、
その製造方法、これを用いたクリーンルームおよび局所
設備に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】従来より、半導体、食
品、医薬品、バイオテクノロジー関連の工場や研究所等
で使用されているクリーンルームにおいては、空気中の
浮遊粒状物質を捕集する乾式エアフィルターを空気導入
経路に設置し、これを通過した空気を室内に導入してい
るが、最近では、半導体の高集積度化に伴い、クリーン
ルーム内の空気には塵埃だけでなくガス状有機物の拡散
が問題とされるようになってきた。
品、医薬品、バイオテクノロジー関連の工場や研究所等
で使用されているクリーンルームにおいては、空気中の
浮遊粒状物質を捕集する乾式エアフィルターを空気導入
経路に設置し、これを通過した空気を室内に導入してい
るが、最近では、半導体の高集積度化に伴い、クリーン
ルーム内の空気には塵埃だけでなくガス状有機物の拡散
が問題とされるようになってきた。
【０００３】すなわち、クリーンルーム内で半導体基板
（シリコンウエハ）の表面に有機物が吸着し、素子特性
が劣化することが指摘されるようになった（例えば、藤
井；「ガス状汚染物とその除去対策の現状」空気清浄、
Ｖｏｌ．３２，Ｎｏ．３，Ｐ．４３（１９９４）、
（社）日本空気清浄協会発行）。
（シリコンウエハ）の表面に有機物が吸着し、素子特性
が劣化することが指摘されるようになった（例えば、藤
井；「ガス状汚染物とその除去対策の現状」空気清浄、
Ｖｏｌ．３２，Ｎｏ．３，Ｐ．４３（１９９４）、
（社）日本空気清浄協会発行）。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであり、壁材や間仕切り用のパーティ
ションを連結するため等に使用される湿式シール材にお
いて、クリーンルーム内にガス状有機物を存在させない
ようにすることができるもの、およびその製造方法、こ
れを用いたクリーンルームおよび局所設備を提供するこ
とを目的とする。
めになされたものであり、壁材や間仕切り用のパーティ
ションを連結するため等に使用される湿式シール材にお
いて、クリーンルーム内にガス状有機物を存在させない
ようにすることができるもの、およびその製造方法、こ
れを用いたクリーンルームおよび局所設備を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意検討を重ねた結果、クリーンルー
ム内にガス状有機物が存在する原因の一つに、壁材や間
仕切り用のパーティションを連結するために隙間に充填
して使用される湿式シール材が挙げられることを見出し
て、本発明を完成させた。
を達成するために鋭意検討を重ねた結果、クリーンルー
ム内にガス状有機物が存在する原因の一つに、壁材や間
仕切り用のパーティションを連結するために隙間に充填
して使用される湿式シール材が挙げられることを見出し
て、本発明を完成させた。
【０００６】すなわち、従来のクリーンルーム用湿式シ
ール材としては専らシリコーン系シール材が使用されて
いるが、本発明者らの研究により、シリコーン系シール
材からは低分子量の環状シロキサンが発生することが分
かった。また、これに代わる湿式シール材としては、シ
ロキサンが発生しない点および加工性や耐久性の点から
ポリウレタン系のものが挙げられるが、従来のポリウレ
タン系湿式シール材には、滑剤として流動パラフィン
（炭素数１２〜１８の脂肪族炭化水素）が含まれてお
り、可塑剤や酸化防止剤として比較的低分子量のものが
含有されていることが分かった。
ール材としては専らシリコーン系シール材が使用されて
いるが、本発明者らの研究により、シリコーン系シール
材からは低分子量の環状シロキサンが発生することが分
かった。また、これに代わる湿式シール材としては、シ
ロキサンが発生しない点および加工性や耐久性の点から
ポリウレタン系のものが挙げられるが、従来のポリウレ
タン系湿式シール材には、滑剤として流動パラフィン
（炭素数１２〜１８の脂肪族炭化水素）が含まれてお
り、可塑剤や酸化防止剤として比較的低分子量のものが
含有されていることが分かった。
【０００７】このような知見から、請求項１に係る発明
は、部材間の隙間に充填した後に硬化させる湿式シール
材において、硬化後にポリウレタン樹脂となる主成分
と、添加剤とからなり、前記主成分および添加剤の少な
くとも一方はガス状有機物を発生しないものであること
を特徴とする湿式シール材を提供する。
は、部材間の隙間に充填した後に硬化させる湿式シール
材において、硬化後にポリウレタン樹脂となる主成分
と、添加剤とからなり、前記主成分および添加剤の少な
くとも一方はガス状有機物を発生しないものであること
を特徴とする湿式シール材を提供する。
【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１記載の湿
式シール材において、前記主成分は、ポリエーテルポリ
ーオールまたはポリエステルポリーオールの両末端にイ
ソシアネート基を有するプレポリマーと、低分子量のジ
イソシアネートとからなることを特徴とするものであ
る。この湿式シール材はイソシアネート基と空気中の水
分との反応を利用して硬化させる一液型である。
式シール材において、前記主成分は、ポリエーテルポリ
ーオールまたはポリエステルポリーオールの両末端にイ
ソシアネート基を有するプレポリマーと、低分子量のジ
イソシアネートとからなることを特徴とするものであ
る。この湿式シール材はイソシアネート基と空気中の水
分との反応を利用して硬化させる一液型である。
【０００９】請求項３に係る発明は、請求項２記載の湿
式シール材において、前記プレポリマーは、ポリエーテ
ルポリーオールであるポリプロピレンオキサイドと、ジ
フェニルメタンジイソシアネートおよびトルエンジイソ
シアネートのうちの少なくとも一つとの反応により得ら
れたものであることを特徴とするものである。
式シール材において、前記プレポリマーは、ポリエーテ
ルポリーオールであるポリプロピレンオキサイドと、ジ
フェニルメタンジイソシアネートおよびトルエンジイソ
シアネートのうちの少なくとも一つとの反応により得ら
れたものであることを特徴とするものである。
【００１０】使用するポリプロピレンオキサイドとして
は数平均分子量が１０，０００前後であるものが好まし
い。このようなポリオールとジイソシアネートを反応さ
せて両末端にイソシアネート基を有するプレポリマーを
合成するが、ジイソシアネートとしてジフェニルメタン
ジイソシアネートおよびトルエンジイソシアネートのう
ちの少なくとも一つを用いると、反応性がよいため好ま
しい。また、特に黄変しないものが必要な場合には、ポ
リオールと反応させるジイソシアネートとしてジシクロ
ヘキシルメタンジイソシアネートを用いることが好まし
い。
は数平均分子量が１０，０００前後であるものが好まし
い。このようなポリオールとジイソシアネートを反応さ
せて両末端にイソシアネート基を有するプレポリマーを
合成するが、ジイソシアネートとしてジフェニルメタン
ジイソシアネートおよびトルエンジイソシアネートのう
ちの少なくとも一つを用いると、反応性がよいため好ま
しい。また、特に黄変しないものが必要な場合には、ポ
リオールと反応させるジイソシアネートとしてジシクロ
ヘキシルメタンジイソシアネートを用いることが好まし
い。
【００１１】請求項４に係る発明は、請求項２または３
に記載の湿式シール材において、前記低分子量のジイソ
シアネートがジフェニルメタンジイソシアネート（リン
酸エステルを含有しないもの）、ジシクロヘキシルメタ
ンジイソシアネート（例えば４，４’−ジシクロヘキシ
ルメタンジイソシアネート）、イソホロンジイソシアネ
ート、キシレンジイソシアネートのうちの少なくとも一
つであることを特徴とするものである。
に記載の湿式シール材において、前記低分子量のジイソ
シアネートがジフェニルメタンジイソシアネート（リン
酸エステルを含有しないもの）、ジシクロヘキシルメタ
ンジイソシアネート（例えば４，４’−ジシクロヘキシ
ルメタンジイソシアネート）、イソホロンジイソシアネ
ート、キシレンジイソシアネートのうちの少なくとも一
つであることを特徴とするものである。
【００１２】前記低分子量ジイソシアネートは前記プレ
ポリマー同士の架橋材として作用するものであり、当該
低分子量ジイソシアネートのイソシアネート基の数がプ
レポリマー末端のイソシアネート基の数よりわずかに少
なくなるように配合することにより、ジアミンの生成を
抑えることができる。また、特に黄変しないものが必要
な場合には、低分子量のジイソシアネートとしてジシク
ロヘキシルメタンジイソシアネートを用いることが好ま
しい。また、ジフェニルメタンジイソシアネートにはリ
ン酸エステルを含有するものとしないものとがあるが、
リン酸エステルは空気中に揮発しやすいため、リン酸エ
ステルを含有しないものを使用する。
ポリマー同士の架橋材として作用するものであり、当該
低分子量ジイソシアネートのイソシアネート基の数がプ
レポリマー末端のイソシアネート基の数よりわずかに少
なくなるように配合することにより、ジアミンの生成を
抑えることができる。また、特に黄変しないものが必要
な場合には、低分子量のジイソシアネートとしてジシク
ロヘキシルメタンジイソシアネートを用いることが好ま
しい。また、ジフェニルメタンジイソシアネートにはリ
ン酸エステルを含有するものとしないものとがあるが、
リン酸エステルは空気中に揮発しやすいため、リン酸エ
ステルを含有しないものを使用する。
【００１３】請求項５に係る発明は、請求項１〜４に記
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの滑剤の
主成分が、炭素数２０以上の脂肪族炭化水素であること
を特徴とするものである。
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの滑剤の
主成分が、炭素数２０以上の脂肪族炭化水素であること
を特徴とするものである。
【００１４】また、請求項６に係る発明は、請求項５記
載の湿式シール材において、前記滑剤の主成分が、マイ
クロクリスタリンワックス、天然パラフィン、合成パラ
フィン、ポリオレフィンワックスのうちの少なくともい
ずれか一つであることを特徴とするものである。
載の湿式シール材において、前記滑剤の主成分が、マイ
クロクリスタリンワックス、天然パラフィン、合成パラ
フィン、ポリオレフィンワックスのうちの少なくともい
ずれか一つであることを特徴とするものである。
【００１５】ここで、滑剤の主成分が炭素数１９以下の
脂肪族炭化水素であると、温度２３℃湿度３０〜４０％
に管理され、エアフィルターを通過する空気の流速が
０．３〜０．４ｍ／ｓ程度である通常のクリーンルーム
では、これらのガス状物がクリーンルーム内の空気中に
存在するようになるが、２０以上の脂肪族炭化水素であ
る例えば請求項６で挙げられているものを使用すると、
これらのガス状物はクリーンルーム内の空気中に存在し
ない。
脂肪族炭化水素であると、温度２３℃湿度３０〜４０％
に管理され、エアフィルターを通過する空気の流速が
０．３〜０．４ｍ／ｓ程度である通常のクリーンルーム
では、これらのガス状物がクリーンルーム内の空気中に
存在するようになるが、２０以上の脂肪族炭化水素であ
る例えば請求項６で挙げられているものを使用すると、
これらのガス状物はクリーンルーム内の空気中に存在し
ない。
【００１６】請求項７に係る発明は、請求項１〜６に記
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの可塑剤
の主成分が、分子量４００以上のカルボン酸エステル、
ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの少なくともい
ずれか一つであることを特徴とするものである。
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの可塑剤
の主成分が、分子量４００以上のカルボン酸エステル、
ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの少なくともい
ずれか一つであることを特徴とするものである。
【００１７】また、請求項８に係る発明は、請求項７記
載の湿式シール材において、前記可塑剤の主成分は、フ
タル酸イソノニル（分子量４１８）、フタル酸オクチル
デシル（分子量４１９）、フタル酸ジイソデシル（分子
量４４７）、フタル酸ラウリル（分子量５０１）、フタ
ル酸ミリスチリル（分子量５３０）、アゼライン酸ジ−
２−エチルヘキシル（分子量４１３）、セバチン酸ジ−
２−エチルヘキシル（分子量４２７）、トリメリット酸
トリス−２−エチルヘキシル（分子量５４７）、トリメ
リット酸トリオクチル（分子量５４７）、トリメリット
酸トリノニル（分子量５７０）、トリメリット酸トリデ
シル（分子量６１２）、アジピン酸またはアゼライン酸
またはセバチン酸またはフタル酸とグリコールまたはグ
リセリンとの重縮合により得られるポリエステル（分子
量２０００〜８０００）、エポキシ脂肪酸エステル（分
子量４００〜５００）、およびエポキシ化油（分子量約
１０００）のうちの少なくともいずれか一つであること
を特徴とする。
載の湿式シール材において、前記可塑剤の主成分は、フ
タル酸イソノニル（分子量４１８）、フタル酸オクチル
デシル（分子量４１９）、フタル酸ジイソデシル（分子
量４４７）、フタル酸ラウリル（分子量５０１）、フタ
ル酸ミリスチリル（分子量５３０）、アゼライン酸ジ−
２−エチルヘキシル（分子量４１３）、セバチン酸ジ−
２−エチルヘキシル（分子量４２７）、トリメリット酸
トリス−２−エチルヘキシル（分子量５４７）、トリメ
リット酸トリオクチル（分子量５４７）、トリメリット
酸トリノニル（分子量５７０）、トリメリット酸トリデ
シル（分子量６１２）、アジピン酸またはアゼライン酸
またはセバチン酸またはフタル酸とグリコールまたはグ
リセリンとの重縮合により得られるポリエステル（分子
量２０００〜８０００）、エポキシ脂肪酸エステル（分
子量４００〜５００）、およびエポキシ化油（分子量約
１０００）のうちの少なくともいずれか一つであること
を特徴とする。
【００１８】ここで、前記可塑剤の主成分が分子量４０
０未満の、フタル酸ジブチル（分子量２７８）やフタル
酸ジオクチル（分子量３９１）やアジピン酸ジ−２−エ
チルヘキシル（分子量３７１）であると、前記通常のク
リーンルームでは、これらのガス状物がクリーンルーム
内の空気中に存在するが、分子量４００以上の例えば請
求項８で挙げられているものを使用すると、これらのガ
ス状物はクリーンルーム内の空気中に存在しない。
０未満の、フタル酸ジブチル（分子量２７８）やフタル
酸ジオクチル（分子量３９１）やアジピン酸ジ−２−エ
チルヘキシル（分子量３７１）であると、前記通常のク
リーンルームでは、これらのガス状物がクリーンルーム
内の空気中に存在するが、分子量４００以上の例えば請
求項８で挙げられているものを使用すると、これらのガ
ス状物はクリーンルーム内の空気中に存在しない。
【００１９】請求項９に係る発明は、請求項１〜８に記
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの酸化防
止剤の主成分が分子量３００以上のフェノール系化合物
であることを特徴とするものである。
載の湿式シール材において、前記添加剤のうちの酸化防
止剤の主成分が分子量３００以上のフェノール系化合物
であることを特徴とするものである。
【００２０】また、請求項１０に係る発明は、請求項９
記載の湿式シール材において、前記酸化防止剤の主成分
は、ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−
ヒドロキシフェニル）プロピオネート（分子量５２０．
９）、２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−
ｔ−ブチルフェノール）（分子量３４０．５）、２，
２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）（分子量３６８．５４）、４，４’−チオ
ビス−（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分
子量３５８．５）、４，４’−ブチリデン−ビス−（３
−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３８
２．６）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒ
ドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン（分子量５
４４．８）、１，３，５−トリメチル−２，４，６−ト
リス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベン
ジル）ベンゼン（分子量７７５．２）、テトラキス〔メ
チレン−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒ
ドロキシフェニル）プロピオネート〕メタン（分子量１
１７７．７）、ビス−〔３，３’−ビス−（４’−ヒド
ロキシ−３’−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシ
ド〕グリコールエステル（分子量１１７７．７）、およ
びトコフェノール（分子量７９４．４）のうちの少なく
ともいずれか一つであることを特徴とするものである。
記載の湿式シール材において、前記酸化防止剤の主成分
は、ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−
ヒドロキシフェニル）プロピオネート（分子量５２０．
９）、２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−
ｔ−ブチルフェノール）（分子量３４０．５）、２，
２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）（分子量３６８．５４）、４，４’−チオ
ビス−（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分
子量３５８．５）、４，４’−ブチリデン−ビス−（３
−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３８
２．６）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒ
ドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン（分子量５
４４．８）、１，３，５−トリメチル−２，４，６−ト
リス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベン
ジル）ベンゼン（分子量７７５．２）、テトラキス〔メ
チレン−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒ
ドロキシフェニル）プロピオネート〕メタン（分子量１
１７７．７）、ビス−〔３，３’−ビス−（４’−ヒド
ロキシ−３’−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシ
ド〕グリコールエステル（分子量１１７７．７）、およ
びトコフェノール（分子量７９４．４）のうちの少なく
ともいずれか一つであることを特徴とするものである。
【００２１】ここで、前記酸化防止剤の主成分が分子量
３００未満の２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール
（分子量２２０．４）であると、前述の通常のクリーン
ルームでは、これらのガス状物がクリーンルーム内の空
気中に存在するようになるが、分子量３００以上の例え
ば請求項１０で挙げられているものを使用すると、これ
らのガス状物はクリーンルーム内の空気中に存在しな
い。
３００未満の２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール
（分子量２２０．４）であると、前述の通常のクリーン
ルームでは、これらのガス状物がクリーンルーム内の空
気中に存在するようになるが、分子量３００以上の例え
ば請求項１０で挙げられているものを使用すると、これ
らのガス状物はクリーンルーム内の空気中に存在しな
い。
【００２２】なお、本発明者等は、有機物は分子量が大
きくなるほど揮発性は低下し吸着性が大きくなるが、分
子量が所定以上となるとシリコンウエハへの吸着量は小
さくなって収束すること、および前記所定値は分子構造
によって異なることを見出し、前記可塑剤の４００以上
および酸化防止剤の３００以上の限定は、それぞれ対象
となる多数の物質について実験を行った結果に基づいて
設定した。
きくなるほど揮発性は低下し吸着性が大きくなるが、分
子量が所定以上となるとシリコンウエハへの吸着量は小
さくなって収束すること、および前記所定値は分子構造
によって異なることを見出し、前記可塑剤の４００以上
および酸化防止剤の３００以上の限定は、それぞれ対象
となる多数の物質について実験を行った結果に基づいて
設定した。
【００２３】また、具体的には、このような湿式シール
材に含まれる添加剤としては、滑剤の主成分がマイクロ
クリスタリンワックスであり、可塑剤の主成分がセバチ
ン酸ジ−２−エチルヘキシルであり、酸化防止剤の主成
分が２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ
−ブチルフェノール）であるものが好ましい。
材に含まれる添加剤としては、滑剤の主成分がマイクロ
クリスタリンワックスであり、可塑剤の主成分がセバチ
ン酸ジ−２−エチルヘキシルであり、酸化防止剤の主成
分が２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ
−ブチルフェノール）であるものが好ましい。
【００２４】請求項１１の発明は、部材間の隙間に充填
した後に硬化させる湿式シール材の製造方法において、
前記添加剤のうちの可塑剤の主成分として、分子量４０
０以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、エポキシ
系化合物のうちの少なくともいずれか一方を選んで使用
することを特徴とする湿式シール材の製造方法を提供す
る。
した後に硬化させる湿式シール材の製造方法において、
前記添加剤のうちの可塑剤の主成分として、分子量４０
０以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、エポキシ
系化合物のうちの少なくともいずれか一方を選んで使用
することを特徴とする湿式シール材の製造方法を提供す
る。
【００２５】請求項１２の発明は、部材間の隙間に充填
した後に硬化させる湿式シール材の製造方法において、
前記添加剤のうちの酸化防止剤の主成分として、分子量
３００以上のフェノール系化合物を選んで使用すること
を特徴とする湿式シール材の製造方法を提供する。
した後に硬化させる湿式シール材の製造方法において、
前記添加剤のうちの酸化防止剤の主成分として、分子量
３００以上のフェノール系化合物を選んで使用すること
を特徴とする湿式シール材の製造方法を提供する。
【００２６】請求項１３の発明は、湿式シールが必要な
箇所に請求項１〜１０のいずれか一つに記載の湿式シー
ル材を使用したことを特徴とするクリーンルームを提供
する。
箇所に請求項１〜１０のいずれか一つに記載の湿式シー
ル材を使用したことを特徴とするクリーンルームを提供
する。
【００２７】請求項１４の発明は、湿式シールが必要な
箇所に請求項１〜１０のいずれか一つに記載の湿式シー
ル材を使用したことを特徴とする局所設備を提供する。
前記局所設備とは、例えば局所的にクリーン度を高くし
たい場所に設置されるクリーンブースや、所定のクリー
ン度を要求される生産設備、例えば半導体製造装置等の
ことを意味する。
箇所に請求項１〜１０のいずれか一つに記載の湿式シー
ル材を使用したことを特徴とする局所設備を提供する。
前記局所設備とは、例えば局所的にクリーン度を高くし
たい場所に設置されるクリーンブースや、所定のクリー
ン度を要求される生産設備、例えば半導体製造装置等の
ことを意味する。
【００２８】
【発明の実施の形態】本発明の湿式シール材は、従来の
ポリウレタン系湿式シール材と同様に、以下のようにし
て得られる。すなわち、一液型の場合には、先ず、ポリ
プロピレンオキサイド等のポリオールとジイソシアネー
トを反応させて、両末端にイソシアネート基を有するプ
レポリマーを合成する。これに架橋材として低分子量ジ
イソシアネート、フィラーとして微細炭酸カルシウムや
珪砂など、添加物として前述の限定された可塑剤、酸化
防止剤、および滑剤を加えたものを筒状のカートリッジ
に入れてアルミニウムシート等で密封しておき、使用時
にシールガンで押し出す。
ポリウレタン系湿式シール材と同様に、以下のようにし
て得られる。すなわち、一液型の場合には、先ず、ポリ
プロピレンオキサイド等のポリオールとジイソシアネー
トを反応させて、両末端にイソシアネート基を有するプ
レポリマーを合成する。これに架橋材として低分子量ジ
イソシアネート、フィラーとして微細炭酸カルシウムや
珪砂など、添加物として前述の限定された可塑剤、酸化
防止剤、および滑剤を加えたものを筒状のカートリッジ
に入れてアルミニウムシート等で密封しておき、使用時
にシールガンで押し出す。
【００２９】二液型の場合には、ジイソシアネートから
なる主剤とポリプロピレンオキサイド等のポリオールか
らなる硬化剤とを使用時に混合するが、硬化剤の方に、
フィラーとして微細炭酸カルシウムや珪砂など、添加物
として前述の限定された可塑剤、酸化防止剤、および滑
剤を加えておくことが好ましい。
なる主剤とポリプロピレンオキサイド等のポリオールか
らなる硬化剤とを使用時に混合するが、硬化剤の方に、
フィラーとして微細炭酸カルシウムや珪砂など、添加物
として前述の限定された可塑剤、酸化防止剤、および滑
剤を加えておくことが好ましい。
【００３０】本発明の実施形態の詳細については以下の
実施例の項で説明する。なお、以下の実施例では一液型
のものについてのみ記載してあるが、二液型であっても
主成分および添加剤が本発明の範囲内のものであれば同
様の効果が得られる。
実施例の項で説明する。なお、以下の実施例では一液型
のものについてのみ記載してあるが、二液型であっても
主成分および添加剤が本発明の範囲内のものであれば同
様の効果が得られる。
【００３１】
〔湿式シール材の構成〕下記の表１および２に示す主成
分（プレポリマー、低分子量ジイソシアネート）、添加
剤（滑剤、可塑剤、酸化防止剤）、フィラーを各比率
（主成分を１００重量部としたときの各成分の比率を
[ ] 内に重量部で示す）で混合して筒状のカートリッジ
に入れ、アルミニウムシート等で密封することにより一
液型の湿式シール材を作製した。また、No. ５について
は、市販のポリウレタン系シール材（三洋工業（株）製
スリーウレッチ（登録商標）Ｃ３２０）をそのまま用
いた。
分（プレポリマー、低分子量ジイソシアネート）、添加
剤（滑剤、可塑剤、酸化防止剤）、フィラーを各比率
（主成分を１００重量部としたときの各成分の比率を
[ ] 内に重量部で示す）で混合して筒状のカートリッジ
に入れ、アルミニウムシート等で密封することにより一
液型の湿式シール材を作製した。また、No. ５について
は、市販のポリウレタン系シール材（三洋工業（株）製
スリーウレッチ（登録商標）Ｃ３２０）をそのまま用
いた。
【００３２】
【表１】
【００３３】
【表２】
【００３４】なお、各表中の略記号は以下の物質を示
す。 ＭＤＩ：メチレンジフェニルジイソシアネート（ジフェ
ニルメタンジイソシアネート） ＴＤＩ：トルエンジイソシアネート Ｋ１：セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル Ｓ１：ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４
−ヒドロキシフェニル）プロピオネート Ｓ２：２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−
ｔ−ブチルフェノール） Ｋ３：トリメリット酸トリス−２−エチルヘキシル Ｓ３：１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロ
キシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン Ｋ４：アジピン酸−１，３−ブチレングリコール Ｓ４：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール Ｋ５：フタル酸ジオクチル 〔成形品での評価〕各シール材をシールガンでカートリ
ッジから押し出し、１００ｍｍ×１００ｍｍ×２ｍｍの
形状の成形品をそれぞれ作製した。
す。 ＭＤＩ：メチレンジフェニルジイソシアネート（ジフェ
ニルメタンジイソシアネート） ＴＤＩ：トルエンジイソシアネート Ｋ１：セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル Ｓ１：ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４
−ヒドロキシフェニル）プロピオネート Ｓ２：２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−
ｔ−ブチルフェノール） Ｋ３：トリメリット酸トリス−２−エチルヘキシル Ｓ３：１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロ
キシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン Ｋ４：アジピン酸−１，３−ブチレングリコール Ｓ４：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール Ｋ５：フタル酸ジオクチル 〔成形品での評価〕各シール材をシールガンでカートリ
ッジから押し出し、１００ｍｍ×１００ｍｍ×２ｍｍの
形状の成形品をそれぞれ作製した。
【００３５】各成形品を硬化後３日経った後に一部（４
０ｍｇ）を切り取ったものを用いて、各成形品から発生
するガス状有機物の量と種類を下記のＰ＆Ｔ−ＧＣ／Ｍ
Ｓ法で分析した。
０ｍｇ）を切り取ったものを用いて、各成形品から発生
するガス状有機物の量と種類を下記のＰ＆Ｔ−ＧＣ／Ｍ
Ｓ法で分析した。
【００３６】また、同様に成形品の一部（２０ｇ）を切
り取ったものを、シリコンウエハー（直径６インチ）と
ともに両者を数ｃｍ離した状態でデシケーターに入れて
数時間放置し、下記のＳＷＡ法でこのウエハーに吸着し
たガス状有機物の量と種類を分析した。
り取ったものを、シリコンウエハー（直径６インチ）と
ともに両者を数ｃｍ離した状態でデシケーターに入れて
数時間放置し、下記のＳＷＡ法でこのウエハーに吸着し
たガス状有機物の量と種類を分析した。
【００３７】これらの結果を前記各表に併せて示す。 ＜Ｐ＆Ｔ（パージ＆トラップ）−ＧＣ／ＭＳ法＞所定量
の試料を試験管に充填し、内部にヘリウムガスを流しな
がら当該試験管を１５０℃で３０分間加熱し、揮発成分
を−８０℃に冷却されたトラップ管で捕集し、当該トラ
ップ管内の成分をヘリウム気流下で３００℃まで急速加
熱してガス状としたものを、ＧＣ／ＭＳ装置に導入す
る。
の試料を試験管に充填し、内部にヘリウムガスを流しな
がら当該試験管を１５０℃で３０分間加熱し、揮発成分
を−８０℃に冷却されたトラップ管で捕集し、当該トラ
ップ管内の成分をヘリウム気流下で３００℃まで急速加
熱してガス状としたものを、ＧＣ／ＭＳ装置に導入す
る。
【００３８】ＧＣ装置はヒューレットパッカード社製の
ＨＰ−５８９０Ａであり、ＭＳ装置は同社のＨＰ−５９
７０Ｂである。ＧＣ装置のカラムは同社のＨＰ−ウルト
ラ２（ＯＶ−５系）であり、内径０．２ｍｍ、長さ２５
ｍｍ、膜厚０．３３μｍである。ＧＣ装置の測定時の温
度条件は以下の通りである。
ＨＰ−５８９０Ａであり、ＭＳ装置は同社のＨＰ−５９
７０Ｂである。ＧＣ装置のカラムは同社のＨＰ−ウルト
ラ２（ＯＶ−５系）であり、内径０．２ｍｍ、長さ２５
ｍｍ、膜厚０．３３μｍである。ＧＣ装置の測定時の温
度条件は以下の通りである。
【００３９】初期温度４０℃→速度１０℃／分で昇温→
最終温度２８０℃（１５分間放置）また、ＧＣ装置のキ
ャリアーガスはヘリウムであり、注入方式はスプリット
法、スプリット比は１／２００とする。ＭＳ装置のイオ
ン化法は電子衝撃法であり、検出範囲はｍ／ｚで２５〜
１０００とする。
最終温度２８０℃（１５分間放置）また、ＧＣ装置のキ
ャリアーガスはヘリウムであり、注入方式はスプリット
法、スプリット比は１／２００とする。ＭＳ装置のイオ
ン化法は電子衝撃法であり、検出範囲はｍ／ｚで２５〜
１０００とする。
【００４０】定量分析は、各成分のピーク毎に同定され
た有機物の検量線を作製して行うか、多数のピークが出
る場合には、ｎ−デカンを標準物質としてその検量線を
基準に全成分をｎ−デカン換算の濃度して表示する。こ
れにより、試料中の揮発性有機物の含有量と種類とが測
定される。
た有機物の検量線を作製して行うか、多数のピークが出
る場合には、ｎ−デカンを標準物質としてその検量線を
基準に全成分をｎ−デカン換算の濃度して表示する。こ
れにより、試料中の揮発性有機物の含有量と種類とが測
定される。
【００４１】＜ＳＷＡ装置による分析＞ＳＷＡ装置と
は、ジーエルサイエンス（株）製のシリコンウエハーア
ナライザー（商品名）であり、下記のトラップ装置、Ｔ
ＣＴ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｃｏｌ
ｄ Ｔｒａｐ Ｉｎｊｅｃｔｏｒ）装置、ＧＣ／ＭＳ装
置で構成されている。トラップ装置は、ウエハーの表面
に吸着している物質を脱着し、脱着された成分を捕集す
るものであり、ＴＣＴ装置は、このトラップ装置で捕集
された成分をヘリウム気流中で３００℃に加熱した後
に、液体窒素で−１３０℃に冷却されたキャピラリー管
に導入して冷却捕集するものであり、このＴＣＴ装置で
捕集された成分をヘリウム気流中で３００℃に急速加熱
したものがＧＣ／ＭＳ装置に導入されるようになってい
る。
は、ジーエルサイエンス（株）製のシリコンウエハーア
ナライザー（商品名）であり、下記のトラップ装置、Ｔ
ＣＴ（Ｔｈｅｒｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｃｏｌ
ｄ Ｔｒａｐ Ｉｎｊｅｃｔｏｒ）装置、ＧＣ／ＭＳ装
置で構成されている。トラップ装置は、ウエハーの表面
に吸着している物質を脱着し、脱着された成分を捕集す
るものであり、ＴＣＴ装置は、このトラップ装置で捕集
された成分をヘリウム気流中で３００℃に加熱した後
に、液体窒素で−１３０℃に冷却されたキャピラリー管
に導入して冷却捕集するものであり、このＴＣＴ装置で
捕集された成分をヘリウム気流中で３００℃に急速加熱
したものがＧＣ／ＭＳ装置に導入されるようになってい
る。
【００４２】ここで使用したＧＣ／ＭＳ装置および分析
条件は、前記Ｐ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法と同様であり、これ
により、ウエハー表面に吸着している有機物の含有量と
種類とが測定される。なお、この方法によるとウエハー
一枚当たり数ｎｇ（１０-9ｇ）のオーダーまで分析が可
能である。 〔クリーンルームでの評価〕また、下記のエアフィルタ
ーを前記各No. の湿式シール材でファンフィルターユニ
ットのフレームに取り付けることによりファンフィルタ
ーユニットを作製した。このファンフィルターユニット
を用い、焼付け塗装されたパーテイションを前記各No.
の湿式シール材を用いて連結して壁材とし、床材として
はフリーアクセスフロアの表面材をステンレスシートと
したクリーンルームを構築した。すなわち、使用した湿
式シールの種類が異なる以外は全て同じクリーンルーム
を各No. 毎に用意した。
条件は、前記Ｐ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法と同様であり、これ
により、ウエハー表面に吸着している有機物の含有量と
種類とが測定される。なお、この方法によるとウエハー
一枚当たり数ｎｇ（１０-9ｇ）のオーダーまで分析が可
能である。 〔クリーンルームでの評価〕また、下記のエアフィルタ
ーを前記各No. の湿式シール材でファンフィルターユニ
ットのフレームに取り付けることによりファンフィルタ
ーユニットを作製した。このファンフィルターユニット
を用い、焼付け塗装されたパーテイションを前記各No.
の湿式シール材を用いて連結して壁材とし、床材として
はフリーアクセスフロアの表面材をステンレスシートと
したクリーンルームを構築した。すなわち、使用した湿
式シールの種類が異なる以外は全て同じクリーンルーム
を各No. 毎に用意した。
【００４３】なお、前記壁材および床材は、前述のＰ＆
Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で有機物発生量が共に０．
１μｇ／ｇ以下であった。また、使用したエアフィルタ
ーは、前述のＰ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で濾材か
らの有機物発生量が１．０μｇ／ｇ以下であり、ガスケ
ットは、前述のＰ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で有機
物発生量が９μｇ／ｇであった。
Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で有機物発生量が共に０．
１μｇ／ｇ以下であった。また、使用したエアフィルタ
ーは、前述のＰ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で濾材か
らの有機物発生量が１．０μｇ／ｇ以下であり、ガスケ
ットは、前述のＰ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法による分析で有機
物発生量が９μｇ／ｇであった。
【００４４】＜エアフィルター＞ 濾材の繊維：市販のＵＬＰＡフィルター用のガラス繊維
（紡糸時にシリコーンオイルが塗布されているもの）を
清浄な空気気流下で１２０℃で６時間加熱することによ
ってケイ素数１０以下のシロキサンを除去したものを用
いた。
（紡糸時にシリコーンオイルが塗布されているもの）を
清浄な空気気流下で１２０℃で６時間加熱することによ
ってケイ素数１０以下のシロキサンを除去したものを用
いた。
【００４５】濾材の形成：前記ガラス繊維を所定の大き
さのシート状のウエブに広げて重ね、下記の組成の処理
剤をアセトンとトルエンとの１：１混合溶剤に溶かし、
さらに所定量のアクリル樹脂系バインダーを加えた溶液
を、前記ウエブにしみ込ませた後に乾燥させることによ
り、布状の濾材を形成した。
さのシート状のウエブに広げて重ね、下記の組成の処理
剤をアセトンとトルエンとの１：１混合溶剤に溶かし、
さらに所定量のアクリル樹脂系バインダーを加えた溶液
を、前記ウエブにしみ込ませた後に乾燥させることによ
り、布状の濾材を形成した。
【００４６】 処理剤の組成： 撥水剤 合成パラフィン(Ｃ20〜Ｃ28） 100 重量部 可塑剤 エポキシ化大豆油（Mw＝1000) 7 重量部 酸化防止剤 Ｓ１（Mw＝520.9) 2 重量部 濾材とフィルターフレームとを密封するシール材（このシール材も本発明の湿 式シール材の一実施例である）の組成： 主成分 ポリウレタン樹脂 100 重量部 主剤 メチレンジフェニルジイソシアネート （ジフェニルメタンジイソシアネート） 硬化剤 ポリオール系 可塑剤 Ｋ１（Mw＝427 ） 5 重量部 酸化防止剤 Ｓ２（Mw＝368.54) 3 重量部 滑剤 合成パラフィン(Ｃ20〜Ｃ28） 6 重量部 ※このシール材からの有機物発生量 ４．５μｇ／ｇ （前記湿式シール材と同じ分析方法） フィルターフレーム： アルミフレーム（６００ｍｍ×６００ｍｍ×１００ｍ
ｍ） このような各クリーンルームを、湿式シールによるパー
ティション間の隙間充填を行って２８日後に稼働させ、
３日後にその内部に直径が６インチのシリコンウエハー
を置いて６時間放置し、このウエハーに吸着した有機物
の量と種類を下記のＳＷＡ装置を用いて分析した。その
結果も各表に併せて示す。
ｍ） このような各クリーンルームを、湿式シールによるパー
ティション間の隙間充填を行って２８日後に稼働させ、
３日後にその内部に直径が６インチのシリコンウエハー
を置いて６時間放置し、このウエハーに吸着した有機物
の量と種類を下記のＳＷＡ装置を用いて分析した。その
結果も各表に併せて示す。
【００４７】これらの結果から分かるように、本発明の
各実施形態に相当するNo. １〜３については、クリーン
ルーム内に存在するガス状有機物を少なくすることがで
き、当該クリーンルーム内に置かれたシリコンウエハー
に吸着する有機物の量を、従来の低分子量の可塑剤およ
び酸化防止剤等を使用した湿式シール材（No. ４，５）
の場合の１／５以下にすることができた。
各実施形態に相当するNo. １〜３については、クリーン
ルーム内に存在するガス状有機物を少なくすることがで
き、当該クリーンルーム内に置かれたシリコンウエハー
に吸着する有機物の量を、従来の低分子量の可塑剤およ
び酸化防止剤等を使用した湿式シール材（No. ４，５）
の場合の１／５以下にすることができた。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜１０の
湿式シール材によれば、クリーンルームや局所設備内に
おけるガス状有機物の発生量を低減できる。
湿式シール材によれば、クリーンルームや局所設備内に
おけるガス状有機物の発生量を低減できる。
【００４９】また、請求項１１〜１２の方法によれば、
ガス状有機物の発生量の少ない湿式シール材を製造する
ことができる。また、請求項１３のクリーンルームおよ
び請求項１４の局所設備は、従来の湿式シール材を使用
した場合よりガス状有機物の発生量を少ないため、半導
体製造産業などでこのようなクリーンルームや局所設備
（半導体製造装置）を使用すれば、シリコンウエハーへ
の有機物吸着量が低減されて歩留りが向上する。
ガス状有機物の発生量の少ない湿式シール材を製造する
ことができる。また、請求項１３のクリーンルームおよ
び請求項１４の局所設備は、従来の湿式シール材を使用
した場合よりガス状有機物の発生量を少ないため、半導
体製造産業などでこのようなクリーンルームや局所設備
（半導体製造装置）を使用すれば、シリコンウエハーへ
の有機物吸着量が低減されて歩留りが向上する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０８Ｋ 5/00 Ｃ０８Ｋ 5/00 Ｃ０８Ｌ 63/00 ＮＪＶ Ｃ０８Ｌ 63/00 ＮＪＶ 67/00 ＬＰＫ 67/00 ＬＰＫ 75/04 ＮＦＺ 75/04 ＮＦＺ 91/06 ＬＳＪ 91/06 ＬＳＪ Ｃ０９Ｊ 175/04 ＪＦＧ Ｃ０９Ｊ 175/04 ＪＦＧ ＪＦＨ ＪＦＨ Ｅ０４Ｂ 1/682 Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｅ０４Ｈ 5/02 Ｂ // Ｅ０４Ｈ 5/02 Ｅ０４Ｂ 1/68 Ｌ
Claims (14)
- 【請求項１】 部材間の隙間に充填した後に硬化させる
湿式シール材において、 硬化後にポリウレタン樹脂となる主成分と、添加剤とか
らなり、前記主成分および添加剤の少なくとも一方はガ
ス状有機物を発生しないものであることを特徴とする湿
式シール材。 - 【請求項２】 前記主成分は、ポリエーテルポリオール
またはポリエステルポリオールの両末端にイソシアネー
ト基を有するプレポリマーと、低分子量のジイソシアネ
ートとからなることを特徴とする請求項１記載の湿式シ
ール材。 - 【請求項３】 前記プレポリマーは、ポリプロピレンオ
キサイドと、ジフェニルメタンジイソシアネートおよび
トルエンジイソシアネートのうちの少なくとも一つとの
反応により得られたものであることを特徴とする請求項
２記載の湿式シール材。 - 【請求項４】 前記低分子量のジイソシアネートは、ジ
フェニルメタンジイソシアネート（リン酸エステルを含
有しないもの）、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネ
ート、イソホロンジイソシアネート、キシレンジイソシ
アネートのうちの少なくとも一つであることを特徴とす
る請求項２または３記載の湿式シール材。 - 【請求項５】 前記添加剤のうちの滑剤の主成分が、炭
素数２０以上の脂肪族炭化水素であることを特徴とする
請求項１〜４のいずれか一つに記載の湿式シール材。 - 【請求項６】 前記滑剤の主成分は、マイクロクリスタ
リンワックス、天然パラフィン、合成パラフィン、ポリ
オレフィンワックスのうちの少なくともいずれか一つで
あることを特徴とする請求項５記載の湿式シール材。 - 【請求項７】 前記添加剤のうちの可塑剤の主成分が、
分子量４００以上のカルボン酸エステル、ポリエステ
ル、エポキシ系化合物のうちの少なくともいずれか一方
であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに
記載の湿式シール材。 - 【請求項８】 前記可塑剤の主成分は、フタル酸イソノ
ニル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシ
ル、フタル酸ラウリル、フタル酸ミリスチリル、アゼラ
イン酸ジ−２−エチルヘキシル、セバチン酸ジ−２−エ
チルヘキシル、トリメリット酸トリス−２−エチルヘキ
シル、トリメリット酸トリオクチル、トリメリット酸ト
リノニル、トリメリット酸トリデシル、アジピン酸また
はアゼライン酸またはセバチン酸またはフタル酸とグリ
コールまたはグリセリンとの重縮合により得られるポリ
エステル、エポキシ脂肪酸エステル、およびエポキシ化
油のうちの少なくともいずれか一つであることを特徴と
する請求項７記載の乾式シール材。 - 【請求項９】 前記添加剤のうちの酸化防止剤の主成分
が分子量３００以上のフェノール系化合物であることを
特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の湿式シ
ール材。 - 【請求項１０】 前記酸化防止剤の主成分は、ステアリ
ル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフ
ェニル）プロピオネート、２，２’−メチレン−ビス−
（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’
−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェ
ノール）、４，４’−チオビス−（３−メチル−６−ｔ
−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデン−ビス−
（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，
３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−
ブチルフェニル）ブタン、１，３，５−トリメチル−
２，４，６−トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−
ヒドロキシベンジル）ベンゼン、テトラキス〔メチレン
−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート〕メタン、ビス−〔３，
３’−ビス−（４’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチルフ
ェニル）ブチリックアシド〕グリコールエステル、およ
びトコフェノールのうちの少なくともいずれか一つであ
ることを特徴とする請求項９記載の湿式シール材。 - 【請求項１１】 部材間の隙間に充填した後に硬化させ
る湿式シール材の製造方法において、前記添加剤のうち
の可塑剤の主成分として、分子量４００以上のカルボン
酸エステル、ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの
少なくともいずれか一つを選んで使用することを特徴と
する湿式シール材の製造方法。 - 【請求項１２】 部材間の隙間に充填した後に硬化させ
る湿式シール材の製造方法において、前記添加剤のうち
の酸化防止剤の主成分として、分子量３００以上のフェ
ノール系化合物を選んで使用することを特徴とする湿式
シール材の製造方法。 - 【請求項１３】 湿式シールが必要な箇所に請求項１〜
１０のいずれか一つに記載の湿式シール材を使用したこ
とを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項１４】 湿式シールが必要な箇所に請求項１〜
１０のいずれか一つに記載の湿式シール材を使用したこ
とを特徴とする局所設備。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17464496A JP3473728B2 (ja) | 1995-07-27 | 1996-07-04 | 湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備 |
| US08/685,428 US5869560A (en) | 1995-07-27 | 1996-07-24 | Sealing materials and building components useful for clean rooms |
| EP96111890A EP0755991A3 (en) | 1995-07-27 | 1996-07-24 | Dry or wet sealing material and process for its manufacture |
| MYPI96003089A MY115200A (en) | 1995-07-27 | 1996-07-26 | Sealing materials and building components useful for clean rooms |
| KR1019960030769A KR100233808B1 (ko) | 1995-07-27 | 1996-07-27 | 습식형시일재, 이들의 제조방법, 이들을 이용한 크린룸 및 국소설비 |
| US09/090,199 US6155922A (en) | 1995-07-27 | 1998-06-04 | Building components useful for clean rooms |
| KR1019990020945A KR100255177B1 (ko) | 1995-07-27 | 1999-06-07 | 건축부재,이들의제조방법및이들을이용한크린룸 |
| US09/498,044 US6613835B1 (en) | 1995-07-27 | 2000-02-04 | Wet sealing materials and building components useful for clean rooms and local facilities |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19209295 | 1995-07-27 | ||
| JP7-192092 | 1995-07-27 | ||
| JP17464496A JP3473728B2 (ja) | 1995-07-27 | 1996-07-04 | 湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0995661A true JPH0995661A (ja) | 1997-04-08 |
| JP3473728B2 JP3473728B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=26496189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17464496A Expired - Lifetime JP3473728B2 (ja) | 1995-07-27 | 1996-07-04 | 湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3473728B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005132868A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Ohbayashi Corp | クリーンルーム用ウレタン系シーリング材組成物 |
| JP2021519366A (ja) * | 2018-03-28 | 2021-08-10 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | リン酸エステル変性イソシアネートに基づく二成分接着剤組成物、およびそれを作製するための方法 |
-
1996
- 1996-07-04 JP JP17464496A patent/JP3473728B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005132868A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Ohbayashi Corp | クリーンルーム用ウレタン系シーリング材組成物 |
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