JPH0990641A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JPH0990641A
JPH0990641A JP8144743A JP14474396A JPH0990641A JP H0990641 A JPH0990641 A JP H0990641A JP 8144743 A JP8144743 A JP 8144743A JP 14474396 A JP14474396 A JP 14474396A JP H0990641 A JPH0990641 A JP H0990641A
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JP
Japan
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panel
light
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exposure apparatus
reflecting
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Application number
JP8144743A
Other languages
English (en)
Inventor
Shosho Kaku
鍾 燮 郭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SANSEI DENKAN KK
Samsung SDI Co Ltd
Original Assignee
SANSEI DENKAN KK
Samsung Electron Devices Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22Applying luminescent coatings
    • H01J9/227Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
    • H01J9/2271Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
    • H01J9/2272Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/01Generalised techniques
    • H01J2209/012Coating
    • H01J2209/015Machines therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パネルを通過して外部に放散される光を
再利用し、入射光の利用効率を高めると共に、光の損失
を少なくし、結果的に生産性を高めた露光装置を提供す
る。 【解決手段】 光源16と、この光源16から出る光を
一定角度で屈折させパネル10に入射されるレンズ系1
8と、パネル10の外側に配置された反射手段22とを
備えていて、この反射手段22によりパネル10を透過
する光を再びパネル表面の露光に使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は主としてカラー陰極
線管製作用の露光装置に関し、特に、光の利用率を高め
て露光時間を短縮することができる露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、カラー陰極線管はその蛍光面に
塗布された蛍光体の配列形状により、ドット型とストラ
イプ型とに分かれる。陰極線管のパネル内側には、赤
色、緑色、及び青色の蛍光物質と鮮明度を高めるための
ブラック・マトリックスとが塗布される。これは、透明
な感光剤をパネル内側に均一な厚さで塗布して蛍光体が
置かれる位置に露光させ、その他の露光されなかった領
域には、ブラック・マトリックスを塗布した後、露光さ
れた感光剤を除去し、各々の位置に赤色、緑色、及び青
色の蛍光物質を塗布して、パネル内面に堅固な状態で取
付けられることができるように露光を行う。
【0003】図3は、前述のような露光装置の一例を示
している。この露光装置は、露光に必要な光源2と、こ
の光源2から出る光を一定角度で進行させて実質的に偏
向された電子ビームがランディングする位置に照射され
得るようにするレンズ系4と、このレンズ系4を通過す
る光量においてパネル6の中央部と周辺部とが異なるよ
うにして均一な露光が行われるようにするフィルター系
8とを備えている。フィルター系8は、パネル6の中央
部に対する照射量を小さくし、パネルの周辺部に対する
照射量を大きくする。このような作用は、フィルター部
材の中央部に光の透過率が低い金属を被覆し、周辺部に
行くほど徐々に光透過率の高い物質を被覆することによ
って実現される。このような露光装置においては、光源
2から出た光がレンズ系4とフィルター系8とを通過し
て、パネル6の内側面に塗布された感光剤を照射しつ
つ、この感光剤を露光させて、パネル6を透過して外部
へ放散する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の露
光装置は、光源2から出た光が感光剤層に入射されつつ
パネルを通過して外部に放散されるので、光の損失が大
きいという問題点がある。そのため、露光時間は光源か
らの照射量のわりに短いものとはならず、必ずしも生産
性は高いとはいえなかった。
【0005】本発明は、上記従来技術の有する問題点を
解決するためになされたもので、その目的は、パネルを
通過して外部に放散される光を再利用し、入射光の利用
効率を高めた露光装置を提供して、光の損失を少なく
し、結果的に生産性を高めた露光装置を提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項記載の
発明により達成される。即ち、本発明の露光装置の特徴
構成は、光源と、この光源から出る光を一定角度で屈折
させパネルに入射されるレンズ系と、前記パネルの外側
に配置された反射手段とを備えていて、この反射手段に
より前記パネルを透過する光を再びパネル表面の露光に
使用する点にある。このようになっていると、パネルに
入射した光を反射手段によりパネル表面の露光に再利用
できて、入射光の利用効率を高めることができる。その
結果、露光時間を短縮できて、生産性の向上に寄与し得
ることになる。
【0007】また、前記レンズ系を通過する光を前記パ
ネルの周辺部および中央部に異なる量が入射されるよう
にするフィルター系を備えると共に、前記反射手段は、
前記パネルを透過する光が入射される複数個の反射面を
有することが好ましい。このようになっていると、曲面
からなるパネルであっても、周辺部および中央部とも
に、高効率で均一な露光が実現できる。さらに、反射面
は、隣接した反射面との間に段部を形成し、入射される
光に対してほぼ直交する姿勢で形成されることが好まし
い。この場合、反射面は入射光に対して直交が好ましい
が、現実的に完全な直交を実現することが難しいので、
本明細書においては、「ほぼ直交」とは直交またはほぼ
直交の意味で用いる。さらに、反射面と段部との角度は
90゜より小さいことが好ましい。このようになってい
ると、光の乱反射を効果的に防止できる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本実施形態
による露光装置の側断面構造を示す。露光しようとする
パネル10が位置する上部板12を有するハウジング1
4と、このハウジング14の内側下部に位置する光源1
6とを備える。さらに、この露光装置は、ハウジング1
4の内側に光源16から出る光を電子ビームの偏向角度
と同一角度で光進路を屈折させるレンズ系18と、この
レンズ系18を通って出る光をパネル10の中央部には
相対的に少なく入射されるとともに、パネルの周辺部に
行くほど相対的に多く入射されるようにしたフィルター
系20とを有する。
【0009】このような構成は、実質的に従来の露光装
置と同様と言えるが、本実施形態による露光装置は、パ
ネル10の外側に反射手段22を備える。この反射手段
22は、パネルを透過した光を同一な光進路軌跡へ逆入
射させて、パネル10を通って再びパネルの内側面に塗
布された蛍光層24に入射されるようにする。図2は、
本実施形態の反射手段22を部分拡大したものである。
光入射面は複数個の反射面26を有する。これら反射面
26は、パネル10を透過した光進路に対してほぼ直交
する角度になるよう配置される。従って、反射面26は
隣接した反射面との間に段部28が形成される。これら
反射面26と段部28との角度θは、90゜以内の範囲
で作成することが光の乱反射を防止するのに効果的であ
る。尚、図中の図番30はシャドーマスクを表わす。
【0010】上述の露光装置は、光源16から出る光が
レンズ系18及びフィルター系20を通ってパネル10
の蛍光層24に入射されて、蛍光体の感光物質を感光さ
せる点は従来と同様と言える。しかしながら、蛍光層2
4を露光しつつ光はパネル10を透過するが、図2を通
じて分かるように、光Lはパネル10の内側面において
角度θ1だけ屈折され、パネル10の外側面においてさ
らに角度θ2だけ屈折されて進行するようになる。この
反射手段22の反射面26は、前述したような光進路に
対してほぼ直交する方向に位置しているため、反射面2
6に入射される光は、光進路に対して逆に進行して再び
蛍光層24に入射される。このとき、逆に入射される光
量だけ蛍光層24はより多量の光を照射されるので、露
光時間を短縮することができる。大略実験値によれば、
40%程度の光量の増加が得られた。これは、それだけ
露光時間が短縮できるようになることを意味する。尚、
反射面の傾斜角度は、パネルの材質(例えばガラス、透
明樹脂など)の屈折率を考慮して適宜選択すればよい。
また、反射手段22の反射面26に、パネル透過光の波
長に見合った反射効率の高いコーティング剤を塗布して
もよい。
【0011】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明による露
光装置は、パネルの外側に反射手段を提供してパネルを
透過する光を再び露光に使用できるようにすることによ
り、従来技術に比べて露光時間を短縮することができる
ので、露光時間に伴う生産性を向上させることができ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】露光装置の側断面図
【図2】反射手段の部分側断面図
【図3】従来の露光装置を説明する図
【符号の説明】
10 パネル 12 上部板 14 ハウジング 16 光源 18 レンズ系 20 フィルター系 22 反射手段 24 蛍光層 26 反射面 28 段部 30 シャドーマスク θ 角度

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、この光源から出る光を一定角度
    で屈折させパネルに入射されるレンズ系と、前記パネル
    の外側に配置された反射手段とを備えていて、この反射
    手段により前記パネルを透過する光を再びパネル表面の
    露光に使用する露光装置。
  2. 【請求項2】 前記レンズ系を通過する光を前記パネル
    の周辺部および中央部に異なる量が入射されるようにす
    るフィルター系を備えると共に、前記反射手段は、前記
    パネルを透過する光が入射される複数個の反射面を有す
    る請求項1記載の露光装置。
  3. 【請求項3】 前記反射面は、隣接した反射面との間に
    段部が形成されていると共に、入射される光に対してほ
    ぼ直交する姿勢で形成されている請求項2記載の露光装
    置。
  4. 【請求項4】 前記反射面と前記段部との角度は90゜
    より小さい請求項3記載の露光装置。
JP8144743A 1995-09-25 1996-06-07 露光装置 Pending JPH0990641A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1995-25999 1995-09-25
KR2019950025999U KR200155319Y1 (ko) 1995-09-25 1995-09-25 칼라 음극선관 제작용 노광장치

Publications (1)

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JPH0990641A true JPH0990641A (ja) 1997-04-04

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ID=19424137

Family Applications (1)

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JP8144743A Pending JPH0990641A (ja) 1995-09-25 1996-06-07 露光装置

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US (1) US5742864A (ja)
JP (1) JPH0990641A (ja)
KR (1) KR200155319Y1 (ja)
CN (1) CN1146618A (ja)
DE (1) DE19630942A1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE19630942A1 (de) 1997-03-27
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US5742864A (en) 1998-04-21
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