JP2755650B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JP2755650B2 JP2755650B2 JP1023274A JP2327489A JP2755650B2 JP 2755650 B2 JP2755650 B2 JP 2755650B2 JP 1023274 A JP1023274 A JP 1023274A JP 2327489 A JP2327489 A JP 2327489A JP 2755650 B2 JP2755650 B2 JP 2755650B2
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- light source
- panel
- incident
- phosphor
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
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- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2231/12—CRTs having luminescent screens
- H01J2231/125—CRTs having luminescent screens with a plurality of electron guns within the tube envelope
- H01J2231/1255—CRTs having luminescent screens with a plurality of electron guns within the tube envelope two or more neck portions containing one or more guns
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、カラーブラウン管等の陰極線管の製造にお
いて、パネルの内面に蛍光面を形成する際に、パネルの
内面に塗布された感光層をシャドウマスクを介して露光
する露光装置に係り、とくに、蛍光面を複数の走査領域
に分割して複数の電子銃を設け、それぞれの走査領域に
それぞれに対応した電子銃による映像を形成する陰極線
管の製造に用いるものに関する。
いて、パネルの内面に蛍光面を形成する際に、パネルの
内面に塗布された感光層をシャドウマスクを介して露光
する露光装置に係り、とくに、蛍光面を複数の走査領域
に分割して複数の電子銃を設け、それぞれの走査領域に
それぞれに対応した電子銃による映像を形成する陰極線
管の製造に用いるものに関する。
（従来の技術） 特開昭61−256551号公報に示されたカラーブラウン管
は、第９図及び第10図に示すように、ファンネルＦとと
もにバルブＢを構成するパネルＰの内面の蛍光面Ｓを、
複数、たとえば画面の水平方向（長手方向）に４分割す
るとともに、画面の垂直方向（短手方向）に４分割し
て、16の走査領域Saに分割し、これに対応して、ファン
ネルＦに16個のネック部Naを設け、この16個のネック部
Naの内側及び外側にそれぞれに赤（Ｒ）緑（Ｇ）青
（Ｂ）の３色に対応した３本の電子ビームｅ（３色３本
の電子ビームｅを１グレープとして１本で表わしてい
る）を出射する電子銃Ga及び電子ビームｅを上下左右に
曲げる偏向ヨークYaを配設するとともに、シャドウマス
クＭを電子ビームｅに対する開口部ａが無い格子状の非
有効領域Mnによって16の有効領域Maに区画した構造であ
る。
は、第９図及び第10図に示すように、ファンネルＦとと
もにバルブＢを構成するパネルＰの内面の蛍光面Ｓを、
複数、たとえば画面の水平方向（長手方向）に４分割す
るとともに、画面の垂直方向（短手方向）に４分割し
て、16の走査領域Saに分割し、これに対応して、ファン
ネルＦに16個のネック部Naを設け、この16個のネック部
Naの内側及び外側にそれぞれに赤（Ｒ）緑（Ｇ）青
（Ｂ）の３色に対応した３本の電子ビームｅ（３色３本
の電子ビームｅを１グレープとして１本で表わしてい
る）を出射する電子銃Ga及び電子ビームｅを上下左右に
曲げる偏向ヨークYaを配設するとともに、シャドウマス
クＭを電子ビームｅに対する開口部ａが無い格子状の非
有効領域Mnによって16の有効領域Maに区画した構造であ
る。
そして、この複数の電子銃Gaを用いたカラーブラウン
管では、それぞれの電子銃Gaから電子ビームｅを出射
し、それぞれの偏向ヨークYaにより、それぞれの電子ビ
ームｅで蛍光面Ｓの対応した走査領域Saを走査して、蛍
光面Ｓのそれぞれの走査領域Saにそれぞれに対応した電
子銃Gaによる映像を形成することによって、蛍光面Ｓ全
体に大きくかつ精密な映像を形成することができる。
管では、それぞれの電子銃Gaから電子ビームｅを出射
し、それぞれの偏向ヨークYaにより、それぞれの電子ビ
ームｅで蛍光面Ｓの対応した走査領域Saを走査して、蛍
光面Ｓのそれぞれの走査領域Saにそれぞれに対応した電
子銃Gaによる映像を形成することによって、蛍光面Ｓ全
体に大きくかつ精密な映像を形成することができる。
ところで、上述した複数の電子銃Gaを用いたカラーブ
ラウン管も、１つの電子銃を用いたカラーブラウン管と
同様に、赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の３色に対応した３
本の電子ビームｅが、シャドウマスクＭの開口部ａを通
ることによって、開口部ａに対する進入角度の相違によ
り対応した色の蛍光体を衝撃発行させるが、蛍光面Ｓ全
体に良好な映像を形成するためには、それぞれの走査領
域Saの蛍光面Ｓを均一に形成することが必要である。
ラウン管も、１つの電子銃を用いたカラーブラウン管と
同様に、赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の３色に対応した３
本の電子ビームｅが、シャドウマスクＭの開口部ａを通
ることによって、開口部ａに対する進入角度の相違によ
り対応した色の蛍光体を衝撃発行させるが、蛍光面Ｓ全
体に良好な映像を形成するためには、それぞれの走査領
域Saの蛍光面Ｓを均一に形成することが必要である。
一般に、１つの電子銃を用いたシャドウマスク方式の
カラーブラウン管の蛍光面Ｓの形成には、第11図に示す
ような露光装置を用い、感光化剤により増感された第１
色目の蛍光体スラリをパネルＰの内面に回転塗布法等に
より均一に塗布し、乾燥させて感光層としての蛍光体ス
ラリ層Psを形成する。その後、パネルＰにシャドウマス
クＭを装着して露光装置にセットし、水銀ランプやキセ
ノンランプ等の光源Ｌからの光を、補正レンズ１を介し
て、電子銃からの対応した第１色目の電子ビームと同じ
方向から、光量補正フィルタ２及びシャドウマスクＭの
開口部ａを通して蛍光体スラリ層Psに入射させ、蛍光体
スラリ層Psの所定位置に、所望の大きさで、シャドウマ
スクＭの多数の開口部ａの光像をストライプ状に形成す
る。そして、蛍光体スラリ層Psを露光させ、露光装置か
ら外した後、温水により現像して、露光によって励起さ
れた感光化剤により光硬化されたポリマー以外の部分の
蛍光体スラリ層Psを除去することによって、第１色目の
蛍光体をパネルＰの内面に被着形成する。ついで、上記
と同様にして、光源Ｌを電子銃からの対応した第２色目
の電子ビームの位置に合わせて移動した状態で、第２色
目の蛍光体をパネルＰの内面に被着形成する。さらに、
光源Ｌを電子銃からの対応した第３色目の電子ビームの
位置に合わせて移動した状態で、第３色目の蛍光体をパ
ネルＰの内面に被着形成することによって、所定の色に
発光する３色の蛍光体をパネルＰの内面の所定の位置に
規則正しくストライプ状に並んだ状態で被着固定し、パ
ネルＰの内面に蛍光面Ｓを形成する。
カラーブラウン管の蛍光面Ｓの形成には、第11図に示す
ような露光装置を用い、感光化剤により増感された第１
色目の蛍光体スラリをパネルＰの内面に回転塗布法等に
より均一に塗布し、乾燥させて感光層としての蛍光体ス
ラリ層Psを形成する。その後、パネルＰにシャドウマス
クＭを装着して露光装置にセットし、水銀ランプやキセ
ノンランプ等の光源Ｌからの光を、補正レンズ１を介し
て、電子銃からの対応した第１色目の電子ビームと同じ
方向から、光量補正フィルタ２及びシャドウマスクＭの
開口部ａを通して蛍光体スラリ層Psに入射させ、蛍光体
スラリ層Psの所定位置に、所望の大きさで、シャドウマ
スクＭの多数の開口部ａの光像をストライプ状に形成す
る。そして、蛍光体スラリ層Psを露光させ、露光装置か
ら外した後、温水により現像して、露光によって励起さ
れた感光化剤により光硬化されたポリマー以外の部分の
蛍光体スラリ層Psを除去することによって、第１色目の
蛍光体をパネルＰの内面に被着形成する。ついで、上記
と同様にして、光源Ｌを電子銃からの対応した第２色目
の電子ビームの位置に合わせて移動した状態で、第２色
目の蛍光体をパネルＰの内面に被着形成する。さらに、
光源Ｌを電子銃からの対応した第３色目の電子ビームの
位置に合わせて移動した状態で、第３色目の蛍光体をパ
ネルＰの内面に被着形成することによって、所定の色に
発光する３色の蛍光体をパネルＰの内面の所定の位置に
規則正しくストライプ状に並んだ状態で被着固定し、パ
ネルＰの内面に蛍光面Ｓを形成する。
そして、蛍光面Ｓが３色のストライプ状の蛍光体の間
に光を吸収するカーボン等の非発光性の黒色物質をスト
ライプ状に設けるブラックストライプ形の場合、３色の
蛍光体を被着固定する前に、ブラックストライプをパネ
ルＰの内面に被着固定する。
に光を吸収するカーボン等の非発光性の黒色物質をスト
ライプ状に設けるブラックストライプ形の場合、３色の
蛍光体を被着固定する前に、ブラックストライプをパネ
ルＰの内面に被着固定する。
このブラックストライプの形成には、蛍光体の形成と
同様に、パネルＰの内面に塗布した感光層を露光装置を
用いて光硬化させる作業が行なわれるが、この際の露光
は、３色の蛍光体を形成する位置の全てに対して行なう
必要があり、上述した蛍光体用の露光装置を用いた場合
には、光源Ｌを第１色目の位置に合わせた状態と、第２
色目の位置に合わせた状態と、第３色目の位置に合わせ
た状態で、感光層を３回露光する必要がある。
同様に、パネルＰの内面に塗布した感光層を露光装置を
用いて光硬化させる作業が行なわれるが、この際の露光
は、３色の蛍光体を形成する位置の全てに対して行なう
必要があり、上述した蛍光体用の露光装置を用いた場合
には、光源Ｌを第１色目の位置に合わせた状態と、第２
色目の位置に合わせた状態と、第３色目の位置に合わせ
た状態で、感光層を３回露光する必要がある。
このように、蛍光面Ｓの形成に際して、各色の蛍光体
の被着固定には、それぞれの感光層を１回露光するだけ
よいが、ブラックストライプの形成には、同じ感光層を
３回露光する必要があった。
の被着固定には、それぞれの感光層を１回露光するだけ
よいが、ブラックストライプの形成には、同じ感光層を
３回露光する必要があった。
そこで、ブラックストライプを１回の露光で形成する
露光装置が考えられ、実開昭51−30462号公報で開示さ
れた。この露光装置は、３つの独立した光導管を用い、
この３つの光導管の入射端を１つの光源に対向配置する
とともに、この３つの光導管の出射端を従来の光源Ｌを
移動していた３位置に配置したもので、１回に３位置か
ら露光することができる。
露光装置が考えられ、実開昭51−30462号公報で開示さ
れた。この露光装置は、３つの独立した光導管を用い、
この３つの光導管の入射端を１つの光源に対向配置する
とともに、この３つの光導管の出射端を従来の光源Ｌを
移動していた３位置に配置したもので、１回に３位置か
ら露光することができる。
ところで、第９図に示した複数の電子銃Gaを用いたカ
ラーブラウン管の蛍光面Ｓを形成するための露光装置
は、第11図に示した露光装置を複数並設したような構造
で、第12図に示すように、電子数Gaと同数の光源Laを用
いて、この複数の光源Laを電子銃Gaと同様に配置し、そ
れぞれの光源Laに補正レンズ1a及び光量補正フィルタ2a
を配設した構造で、１つの電子銃を用いたカラーブラウ
ン管と同様の方法で、３色の蛍光体スラリ層Ps等を露光
することによって、３色の蛍光体やブラックストライプ
の形成が行なわれる。
ラーブラウン管の蛍光面Ｓを形成するための露光装置
は、第11図に示した露光装置を複数並設したような構造
で、第12図に示すように、電子数Gaと同数の光源Laを用
いて、この複数の光源Laを電子銃Gaと同様に配置し、そ
れぞれの光源Laに補正レンズ1a及び光量補正フィルタ2a
を配設した構造で、１つの電子銃を用いたカラーブラウ
ン管と同様の方法で、３色の蛍光体スラリ層Ps等を露光
することによって、３色の蛍光体やブラックストライプ
の形成が行なわれる。
この第12図に示す露光装置は、隣接した光源La間の間
隔が極めて狭く、光源Laの冷却装置や光源Laを移動させ
る機構が極めて複雑かつ精密になるという問題があり、
そして、それぞれの光源Laが持つ特性の違いや使用によ
る経時変化の差によって、全ての光源Laの光量を長期的
に一定に保ことが困難であるため、それぞれの走査領域
Saの蛍光面Ｓの３色の蛍光体やブラックストライプのサ
イズやピッチを均一に形成することが困難である。
隔が極めて狭く、光源Laの冷却装置や光源Laを移動させ
る機構が極めて複雑かつ精密になるという問題があり、
そして、それぞれの光源Laが持つ特性の違いや使用によ
る経時変化の差によって、全ての光源Laの光量を長期的
に一定に保ことが困難であるため、それぞれの走査領域
Saの蛍光面Ｓの３色の蛍光体やブラックストライプのサ
イズやピッチを均一に形成することが困難である。
なお、実開昭51−30462号公報に示された露光装置の
ように、複数の独立した光導管を用い、この複数の光導
管の入射端を１つの光源に対向配置するとともに、この
複数の光導管の出射端を第12図の光源Laの位置に配置す
ることも考えられるが、この構造の場合、冷却装置等の
構造はとくに複雑になることはないが、それぞれの光導
管が独立で、その入射端も独立しているため、たとえば
10本以上の光導管の入射端に入射する光量を等しくする
ことはできず、それぞれの走査領域Saの蛍光面Ｓを均一
に形成することが困難である。
ように、複数の独立した光導管を用い、この複数の光導
管の入射端を１つの光源に対向配置するとともに、この
複数の光導管の出射端を第12図の光源Laの位置に配置す
ることも考えられるが、この構造の場合、冷却装置等の
構造はとくに複雑になることはないが、それぞれの光導
管が独立で、その入射端も独立しているため、たとえば
10本以上の光導管の入射端に入射する光量を等しくする
ことはできず、それぞれの走査領域Saの蛍光面Ｓを均一
に形成することが困難である。
（発明が解決しようとする課題） 上述したように、複数の電子銃を用いたカラーブラウ
ン管の蛍光面を形成するための露光装置において、電子
銃と同数の光源を用いた場合、隣接した光源間の間隔が
極めて狭くなるため、露光装置の構造が極めて複雑かつ
精密になり、また、それぞれの光源の光量を長期的に一
定に保つことが困難であるため、それぞれの走査領域の
蛍光面を均一に形成することが困難である。
ン管の蛍光面を形成するための露光装置において、電子
銃と同数の光源を用いた場合、隣接した光源間の間隔が
極めて狭くなるため、露光装置の構造が極めて複雑かつ
精密になり、また、それぞれの光源の光量を長期的に一
定に保つことが困難であるため、それぞれの走査領域の
蛍光面を均一に形成することが困難である。
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、複数
の電子銃を用いたカラーブラウン管の蛍光面を形成する
ための露光装置において、構造を単純化するとともに、
均一な蛍光面を形成しようとするものである。
の電子銃を用いたカラーブラウン管の蛍光面を形成する
ための露光装置において、構造を単純化するとともに、
均一な蛍光面を形成しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、複数の走査領域に分割されたパネルの蛍光
面を、シャドウマスクを介して、上記複数の走査領域に
対応して設けられた複数の電子銃から出射される電子ビ
ームで走査して、上記蛍光面のそれぞれの走査領域にそ
れぞれに対応した電子銃による映像を形成する陰極線管
の製造において、上記蛍光面を形成する際に、パネルの
内面に塗布された感光層をシャドウマスクを介して露光
する露光装置に関するものであって、一次光源と、１つ
の入射端及び複数の出射端を備えた光分割手段とを有
し、一次光源の光を光分割手段の１つの入射端に入射
し、この光分割手段によって一次光源の光を複数に分割
して、複数の出射端から出射し、この複数の出射端を複
数の二次光源として、それぞれの二次光源により上記感
光層の上記分割された走査領域に対応する部分を露光す
るものである。
面を、シャドウマスクを介して、上記複数の走査領域に
対応して設けられた複数の電子銃から出射される電子ビ
ームで走査して、上記蛍光面のそれぞれの走査領域にそ
れぞれに対応した電子銃による映像を形成する陰極線管
の製造において、上記蛍光面を形成する際に、パネルの
内面に塗布された感光層をシャドウマスクを介して露光
する露光装置に関するものであって、一次光源と、１つ
の入射端及び複数の出射端を備えた光分割手段とを有
し、一次光源の光を光分割手段の１つの入射端に入射
し、この光分割手段によって一次光源の光を複数に分割
して、複数の出射端から出射し、この複数の出射端を複
数の二次光源として、それぞれの二次光源により上記感
光層の上記分割された走査領域に対応する部分を露光す
るものである。
（作用） 本発明の露光装置は、一次光源の光を、光分割手段に
より１つの入射端から複数の出射端に分割して、感光層
のそれぞれの走査領域に対応する部分を露光するもので
ある。
より１つの入射端から複数の出射端に分割して、感光層
のそれぞれの走査領域に対応する部分を露光するもので
ある。
（実施例） 本発明の露光装置の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は第９図及び第10図に示した陰極線管としての
カラーブラウン管、つまり、パネルＰの内面の蛍光面Ｓ
を、画面の水平方向に４分割するとともに、画面の垂直
方向に４分割して、16の走査領域Saに分割し、これに対
応して、ネック部Na、電子銃Ga及び偏向ヨークYaを16個
設けるとともに、シャドウマスクＭを開口部ａが無い格
子状の非有効領域Mnによって16の有効領域Maに区画した
構造のカラーブラウン管の蛍光面Ｓを形成するために用
いる露光装置を示すものである。
カラーブラウン管、つまり、パネルＰの内面の蛍光面Ｓ
を、画面の水平方向に４分割するとともに、画面の垂直
方向に４分割して、16の走査領域Saに分割し、これに対
応して、ネック部Na、電子銃Ga及び偏向ヨークYaを16個
設けるとともに、シャドウマスクＭを開口部ａが無い格
子状の非有効領域Mnによって16の有効領域Maに区画した
構造のカラーブラウン管の蛍光面Ｓを形成するために用
いる露光装置を示すものである。
この露光装置は、光源部11と露光部12を光分割手段13
を介して連結した構造である。
を介して連結した構造である。
上記光源部11は、遮光ケース16を有し、この遮光ケー
ス16の内部に一次光源としてほぼ1kwの水冷式超高圧水
銀灯17を内蔵し、この超高圧水銀灯17の光を集光レンズ
18によって集光して上記光分割手段13の１つの入射端19
に入射するようになっている。
ス16の内部に一次光源としてほぼ1kwの水冷式超高圧水
銀灯17を内蔵し、この超高圧水銀灯17の光を集光レンズ
18によって集光して上記光分割手段13の１つの入射端19
に入射するようになっている。
上記光分割手段13は、光ファイバーで、1600本の細い
導光ケーブルから成り、その入射端19は、1600本の導光
ケーブルの一端部を１つに束ねたもので、上記光源部11
の遮光ケース16内に導入され、また、この1600本の導光
ケーブルの他端部は、16分割されて100本ずつ束ねら
れ、それぞれの100本の導光ケーブルの束により出射端2
2が形成され、この16個の出射端22をそれぞれ二次光源
として、それぞれの出射端22には、第２図に示すよう
に、集光レンズ23と径1mmのピンホールを有するホール
プレート24が配設されている。
導光ケーブルから成り、その入射端19は、1600本の導光
ケーブルの一端部を１つに束ねたもので、上記光源部11
の遮光ケース16内に導入され、また、この1600本の導光
ケーブルの他端部は、16分割されて100本ずつ束ねら
れ、それぞれの100本の導光ケーブルの束により出射端2
2が形成され、この16個の出射端22をそれぞれ二次光源
として、それぞれの出射端22には、第２図に示すよう
に、集光レンズ23と径1mmのピンホールを有するホール
プレート24が配設されている。
上記露光部12は、上部を開口した矩形箱状の架台27を
有し、この架台27の内部の空間を、格子状に設けた仕切
り板28により、蛍光面Ｓの走査領域Saに対応して16の区
画29に分割し、この16の区画29のそれぞれの底部に上記
光分割手段13の出射端22が１つずつ導入され、この出射
端22が、各区画29の内部に図示左右の水平方向に移動可
能に設けられた移動機構のシフトテーブル30に支持さ
れ、このシフトテーブル30の移動により、各色の蛍光体
形成用の感光層としての蛍光体スラリ層Psを順番に露光
したり、ブラックストライプ形成用の感光層を露光した
りするために、図示左右の水平方向に位置調節されるよ
うになっている。
有し、この架台27の内部の空間を、格子状に設けた仕切
り板28により、蛍光面Ｓの走査領域Saに対応して16の区
画29に分割し、この16の区画29のそれぞれの底部に上記
光分割手段13の出射端22が１つずつ導入され、この出射
端22が、各区画29の内部に図示左右の水平方向に移動可
能に設けられた移動機構のシフトテーブル30に支持さ
れ、このシフトテーブル30の移動により、各色の蛍光体
形成用の感光層としての蛍光体スラリ層Psを順番に露光
したり、ブラックストライプ形成用の感光層を露光した
りするために、図示左右の水平方向に位置調節されるよ
うになっている。
そして、上記架台27の16の区画29のそれぞれにおい
て、上記光分割手段13の出射端22の上方に、補正レンズ
33a及び光量補正フィルタ34aが配設され、それぞれの区
画29に露光系が形成されている。
て、上記光分割手段13の出射端22の上方に、補正レンズ
33a及び光量補正フィルタ34aが配設され、それぞれの区
画29に露光系が形成されている。
また、上記架台27の上部には上記16の区画29に対応し
た開口部を有する面板37が設けられ、この面板37上に露
光されるパネルＰが支持されるようになっており、そし
て、この面板37上には上記架台27内の仕切り板28と同様
の格子状の光遮蔽板38が突設され、この光遮蔽板38がパ
ネルＰの内側に装着されているシャドウマスクＭの非有
効領域Mnに対向するようになっている。
た開口部を有する面板37が設けられ、この面板37上に露
光されるパネルＰが支持されるようになっており、そし
て、この面板37上には上記架台27内の仕切り板28と同様
の格子状の光遮蔽板38が突設され、この光遮蔽板38がパ
ネルＰの内側に装着されているシャドウマスクＭの非有
効領域Mnに対向するようになっている。
そうして、光源部11において、超高圧水銀灯17から出
た波長365nmの紫外光は、集光レンズ18で集光されて、
光分割手段13の入射端19に入射し、この光分割手段13に
よって16分割された上で、露光部12において、光分割手
段13の16個の出射端22から出射される。
た波長365nmの紫外光は、集光レンズ18で集光されて、
光分割手段13の入射端19に入射し、この光分割手段13に
よって16分割された上で、露光部12において、光分割手
段13の16個の出射端22から出射される。
そして、この光分割手段13の入射端19の径は約20mmで
あり、この部分に紫外光の光量分布のピークを含む部分
が入射するようになっているが、入射端19の中心部と周
辺部では、それぞれの導光ケーブルに入射する紫外光の
光量が大きく異なるので、入射端19の1600本の導光ケー
ブルを単純に分割すると、16の出射端22から出射する紫
外光の光量がばらつく可能性が大である。このため、こ
こでは、入射端19の1600本の導光ケーブルを、編組した
上で分割することにより、入射端19の1600本の導光ケー
ブルの全体から不規則に100本ずつ取出して出射端22と
して分割し、これによって、それぞれの出射端22から出
射する紫外光の光量を均等にしている。
あり、この部分に紫外光の光量分布のピークを含む部分
が入射するようになっているが、入射端19の中心部と周
辺部では、それぞれの導光ケーブルに入射する紫外光の
光量が大きく異なるので、入射端19の1600本の導光ケー
ブルを単純に分割すると、16の出射端22から出射する紫
外光の光量がばらつく可能性が大である。このため、こ
こでは、入射端19の1600本の導光ケーブルを、編組した
上で分割することにより、入射端19の1600本の導光ケー
ブルの全体から不規則に100本ずつ取出して出射端22と
して分割し、これによって、それぞれの出射端22から出
射する紫外光の光量を均等にしている。
すなわち、第３図に示す21本の導光ケーブルを第４図
（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように７本ずつの３つに分割
する際に、21本の導光ケーブルを途中で編組すると、編
組した位置の前後で、導光ケーブルの配列がばらばらに
なるため、第４図に示す３つのグループの導光ケーブル
は、それぞれ、第３図の21本の導光ケーブルの束の全体
から不規則に取出されることになり、第３図のなかで光
量の分布が部分的に偏っても、第４図の３つのグループ
の光量は均等になる。
（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すように７本ずつの３つに分割
する際に、21本の導光ケーブルを途中で編組すると、編
組した位置の前後で、導光ケーブルの配列がばらばらに
なるため、第４図に示す３つのグループの導光ケーブル
は、それぞれ、第３図の21本の導光ケーブルの束の全体
から不規則に取出されることになり、第３図のなかで光
量の分布が部分的に偏っても、第４図の３つのグループ
の光量は均等になる。
また、それぞれの出射端22から出射する紫外光は、第
５図に示すように、約25度の出射角を有しており、その
ままでは、有効幅が狭いので、第６図に示すように、集
光レンズ23を用いて、約90度の出射角に拡大し、さら
に、出射光を完全な点光源にするために、ホールプレー
ト24の径1mmのピンホールを通して、パネルＰ内面で有
効径約140mmの照射が可能な点光源を実現した。
５図に示すように、約25度の出射角を有しており、その
ままでは、有効幅が狭いので、第６図に示すように、集
光レンズ23を用いて、約90度の出射角に拡大し、さら
に、出射光を完全な点光源にするために、ホールプレー
ト24の径1mmのピンホールを通して、パネルＰ内面で有
効径約140mmの照射が可能な点光源を実現した。
この露光装置で、蛍光面Ｓを形成するカラーブラウン
管のシャドウマスクＭは、電子ビームｅが過大に偏向さ
れたときでも、それぞれの電子銃Gaから出射された電子
ビームｅによって描かれた画像（ラスタ）が重なること
がないように、電子ビームｅに対する開口部ａが無い格
子状の非有効領域Mnを設けたものである。この非有効領
域Mnは、蛍光体形成用の感光層としての蛍光体スラリ層
Psやブラックストライプ形成用の感光層を露光する際に
も、隣接する二次光源としての出射端22からの光が相互
に入射するのを阻止する作用もある。しかしこの非有効
領域Mnだけで露光光を電子ビームｅのように完全に遮蔽
することはできず、第７図に示すように、少なくとも鎖
線で示した位置よりも外側に広がった光を完全に遮蔽す
る手段が必要で、この光遮蔽手段が光遮蔽板38である。
この実施例では、光遮蔽板38を鎖線で示した光の軌道よ
りも5mmシャドウマスクＭ側となる位置（高さ）まで設
け、この光遮蔽板38とシャドウマスクＭの非有効領域Mn
によって、それぞれの二次光源としての出射端22から発
した光が、相互に干渉するのを防ぎ、所定の領域つまり
蛍光面Ｓの分割された走査領域Saに対応した領域だけを
露光するようになっている。
管のシャドウマスクＭは、電子ビームｅが過大に偏向さ
れたときでも、それぞれの電子銃Gaから出射された電子
ビームｅによって描かれた画像（ラスタ）が重なること
がないように、電子ビームｅに対する開口部ａが無い格
子状の非有効領域Mnを設けたものである。この非有効領
域Mnは、蛍光体形成用の感光層としての蛍光体スラリ層
Psやブラックストライプ形成用の感光層を露光する際に
も、隣接する二次光源としての出射端22からの光が相互
に入射するのを阻止する作用もある。しかしこの非有効
領域Mnだけで露光光を電子ビームｅのように完全に遮蔽
することはできず、第７図に示すように、少なくとも鎖
線で示した位置よりも外側に広がった光を完全に遮蔽す
る手段が必要で、この光遮蔽手段が光遮蔽板38である。
この実施例では、光遮蔽板38を鎖線で示した光の軌道よ
りも5mmシャドウマスクＭ側となる位置（高さ）まで設
け、この光遮蔽板38とシャドウマスクＭの非有効領域Mn
によって、それぞれの二次光源としての出射端22から発
した光が、相互に干渉するのを防ぎ、所定の領域つまり
蛍光面Ｓの分割された走査領域Saに対応した領域だけを
露光するようになっている。
なお、この実施例では、光遮蔽手段としての格子状の
光遮蔽板38を架台27の面板28上に設けたが、別の光遮蔽
手段を補正レンズ33aや光量補正フィルタ34aや出射端22
の近傍に設けてもよく、また、シャドウマスクＭやシャ
ドウマスクＭを支持してパネルＰに取付けているマスク
フレームMFに光遮蔽手段を設けてもよい。
光遮蔽板38を架台27の面板28上に設けたが、別の光遮蔽
手段を補正レンズ33aや光量補正フィルタ34aや出射端22
の近傍に設けてもよく、また、シャドウマスクＭやシャ
ドウマスクＭを支持してパネルＰに取付けているマスク
フレームMFに光遮蔽手段を設けてもよい。
なお、出射端22からの露光光が極めて鋭い指向性を有
し、隣接部分での露光光の重複（干渉）が無視できる場
合、光遮蔽板38等の光遮蔽手段は不要となる。
し、隣接部分での露光光の重複（干渉）が無視できる場
合、光遮蔽板38等の光遮蔽手段は不要となる。
そして、この実施例では、二次光源としての出射端22
と補正レンズ33aや光量補正フィルタ34aを別々に設けた
が、これらを集光レンズ23やホールプレート24とともに
一体的にユニット化することもできる。
と補正レンズ33aや光量補正フィルタ34aを別々に設けた
が、これらを集光レンズ23やホールプレート24とともに
一体的にユニット化することもできる。
また、二次光源としての出射端22に設けた集光レンズ
23は、出射光の有効幅を広げるためのものであるので、
１枚の凸レンズである必要はなく、たとえば、凹レンズ
を用いたり、複数のレンズを組合わせて用いたりするこ
とができる。
23は、出射光の有効幅を広げるためのものであるので、
１枚の凸レンズである必要はなく、たとえば、凹レンズ
を用いたり、複数のレンズを組合わせて用いたりするこ
とができる。
また、二次光源としての出射端22に設けたホールプレ
ート24も、出射光の径（または光学的な物点径）が十分
に小さい場合は、実用上不要となる。
ート24も、出射光の径（または光学的な物点径）が十分
に小さい場合は、実用上不要となる。
また、１つの超高圧水銀灯17を一次光源としてその紫
外光を１つの光分割手段13によって16分割しているが、
分割によりそれぞれの出射端22の光量が不足する場合に
は、光源部11の遮光ケース16内に２つ以上の超高圧水銀
灯17を設けること等により、複数の一次光源の光を１つ
の光分割手段13に入射して、光量不足を解消することが
できる。さらに、第８図に示すように、複数の光源部11
を設け、この複数の光源部11の超高圧水銀灯17にそれぞ
れ光分割手段13の入射端19を配設し、この複数の光分割
手段13の出射端22を一つにまとめて露光部12に配設する
ことにより、光量不足を解消することができる。
外光を１つの光分割手段13によって16分割しているが、
分割によりそれぞれの出射端22の光量が不足する場合に
は、光源部11の遮光ケース16内に２つ以上の超高圧水銀
灯17を設けること等により、複数の一次光源の光を１つ
の光分割手段13に入射して、光量不足を解消することが
できる。さらに、第８図に示すように、複数の光源部11
を設け、この複数の光源部11の超高圧水銀灯17にそれぞ
れ光分割手段13の入射端19を配設し、この複数の光分割
手段13の出射端22を一つにまとめて露光部12に配設する
ことにより、光量不足を解消することができる。
また、上記実施例では、光ファイバーを用いて入射光
を複数に分割する方法について示したが、本発明では、
光分割手段はこれに限定されるものではなく、他の方法
でもよい。
を複数に分割する方法について示したが、本発明では、
光分割手段はこれに限定されるものではなく、他の方法
でもよい。
たとえば、互いに異なる反射率を有するハーフミラー
を用いて入射光を透過光と反射光に分割する方法や、プ
リズムを用いて入射光を分割する方法等がある。
を用いて入射光を透過光と反射光に分割する方法や、プ
リズムを用いて入射光を分割する方法等がある。
また、これらの方法を組み合わせて、さらに複数の光
に分割する方法でもよい。
に分割する方法でもよい。
そして、光源部11において、集光レンズ18の代わり
に、同じ集光作用を有する凹面鏡を用いることができ
る。
に、同じ集光作用を有する凹面鏡を用いることができ
る。
なお、この実施例では、パネルＰの内面の蛍光面Ｓ
を、画面の水平方向に４分割するとともに、画面の垂直
方向に４分割して、16の走査領域Saに分割し、これに対
応して、ネック部Na、電子銃Ga及び偏向ヨークYaを16個
設けた構造のカラーブラウン管を対象としたが、これに
限らず、異なる分割数の陰極線管を対象とすることがで
きる。
を、画面の水平方向に４分割するとともに、画面の垂直
方向に４分割して、16の走査領域Saに分割し、これに対
応して、ネック部Na、電子銃Ga及び偏向ヨークYaを16個
設けた構造のカラーブラウン管を対象としたが、これに
限らず、異なる分割数の陰極線管を対象とすることがで
きる。
〔発明の効果〕 上述したように、本発明によれば、一次光源の光を、
光分割手段により１つの入射端から複数の出射端に分割
して、感光層のそれぞれの走査領域に対応する部分を露
光するので、それぞれの出射端から出射する光量を均等
にすることができ、このため、それぞれの走査領域の蛍
光面を均一に形成することができ、そして、それぞれの
領域に対応した二次光源となる出射端には光源の冷却装
置が不要となるので、構造が複雑にならない。
光分割手段により１つの入射端から複数の出射端に分割
して、感光層のそれぞれの走査領域に対応する部分を露
光するので、それぞれの出射端から出射する光量を均等
にすることができ、このため、それぞれの走査領域の蛍
光面を均一に形成することができ、そして、それぞれの
領域に対応した二次光源となる出射端には光源の冷却装
置が不要となるので、構造が複雑にならない。
第１図は本発明の露光装置の実施例を示す断面図、第２
図はその二次光源となる光分割手段の出射端の部分の拡
大図、第３図及び第４図は光分割手段による光分割の説
明図で、第３図は入射端側の状態、第４図（Ａ）（Ｂ）
（Ｃ）はそれぞれ出射端側の状態を示し、第５図は光分
割手段の出射端の説明図、第６図は出射端を二次光源と
して用いた状態の説明図、第７図は露光状態の説明図、
第８図は変形例を示す光分割手段の説明図、第９図は対
象とするカラーブラウン管の断面図、第10図はそのシャ
ドウマスクの斜視図、第11図及び第12図はそれぞれ従来
の露光装置の断面図である。 Ｐ……パネル、Ｓ……蛍光面、Sa……走査領域、Ｍ……
シャドウマスク、Ga……電子銃、ｅ……電子ビーム、Ps
……感光層としての蛍光体スラリ層、13……光分割手
段、17……一次光源としての超高圧水銀灯、19……入射
端、22……二次光源としての出射端。
図はその二次光源となる光分割手段の出射端の部分の拡
大図、第３図及び第４図は光分割手段による光分割の説
明図で、第３図は入射端側の状態、第４図（Ａ）（Ｂ）
（Ｃ）はそれぞれ出射端側の状態を示し、第５図は光分
割手段の出射端の説明図、第６図は出射端を二次光源と
して用いた状態の説明図、第７図は露光状態の説明図、
第８図は変形例を示す光分割手段の説明図、第９図は対
象とするカラーブラウン管の断面図、第10図はそのシャ
ドウマスクの斜視図、第11図及び第12図はそれぞれ従来
の露光装置の断面図である。 Ｐ……パネル、Ｓ……蛍光面、Sa……走査領域、Ｍ……
シャドウマスク、Ga……電子銃、ｅ……電子ビーム、Ps
……感光層としての蛍光体スラリ層、13……光分割手
段、17……一次光源としての超高圧水銀灯、19……入射
端、22……二次光源としての出射端。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭51−30462（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−128155（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭47−43461（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- 【請求項１】複数の走査領域に分割されたパネルの蛍光
面を、シャドウマスクを介して、上記複数の走査領域に
対応して設けられた複数の電子銃から出射される電子ビ
ームで走査して、上記蛍光面のそれぞれの走査領域にそ
れぞれに対応した電子銃による映像を形成する陰極線管
の製造において、 上記蛍光面を形成する際に、パネルの内面に塗布された
感光層をシャドウマスクを介して露光する露光装置であ
って、 一次光源と、１つの入射端及び複数の出射端を備えた光
分割手段とを有し、 一次光源の光を光分割手段の１つの入射端に入射し、こ
の光分割手段によって一次光源の光を複数に分割して、
複数の出射端から出射し、この複数の出射端を複数の二
次光源として、それぞれの二次光源により上記感光層の
上記分割された走査領域に対応する部分を露光すること
を特徴とする露光装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1023274A JP2755650B2 (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 露光装置 |
| US07/459,429 US5025166A (en) | 1989-02-01 | 1989-12-29 | Exposure apparatus for color cathode ray tubes |
| CN90100472A CN1013720B (zh) | 1989-02-01 | 1990-01-25 | 彩色阴极射线管的曝光装置 |
| DE69007504T DE69007504T2 (de) | 1989-02-01 | 1990-01-30 | Eine Belichtungsvorrichtung für Kathodenstrahlröhren. |
| KR9001133A KR920007421B1 (en) | 1989-02-01 | 1990-01-30 | Exposure equipment for color crt |
| EP90300949A EP0381442B1 (en) | 1989-02-01 | 1990-01-30 | An exposure apparatus for colour cathode ray tubes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1023274A JP2755650B2 (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02204936A JPH02204936A (ja) | 1990-08-14 |
| JP2755650B2 true JP2755650B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=12106026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1023274A Expired - Fee Related JP2755650B2 (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 露光装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5025166A (ja) |
| EP (1) | EP0381442B1 (ja) |
| JP (1) | JP2755650B2 (ja) |
| KR (1) | KR920007421B1 (ja) |
| CN (1) | CN1013720B (ja) |
| DE (1) | DE69007504T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2775844B2 (ja) * | 1989-05-01 | 1998-07-16 | ソニー株式会社 | 紫外光照射プロジェクターを用いた光学的像形成装置 |
| KR920007032A (ko) * | 1990-09-22 | 1992-04-28 | 김정배 | 칼라브라운관의 노광장치 |
| WO1995024728A1 (en) * | 1994-03-08 | 1995-09-14 | Philips Electronics N.V. | Method for producing phosphor screens, and colour cathode ray tubes incorporating same |
| KR200155319Y1 (ko) * | 1995-09-25 | 1999-09-01 | 손욱 | 칼라 음극선관 제작용 노광장치 |
| US5692942A (en) * | 1995-11-30 | 1997-12-02 | The Boc Group, Inc. | Display forming method |
| EP0856202A2 (en) * | 1996-06-11 | 1998-08-05 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Visible light emitting devices including uv-light emitting diode and uv-excitable, visible light emitting phosphor, and method of producing such devices |
| JP2000331622A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Sony Corp | 陰極線管およびその製造方法並びに陰極線管用色選別部材およびその製造方法 |
| CN109991819B (zh) * | 2018-01-03 | 2021-08-03 | 群创光电股份有限公司 | 曝光系统及其用于制造显示面板的方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3043179A (en) * | 1958-10-29 | 1962-07-10 | American Optical Corp | Fiber optical image transfer devices |
| US3648576A (en) * | 1970-02-09 | 1972-03-14 | Buckbee Mears Co | Temporarily reducing the diametrical opening of apertures by use of a removable annular member |
| US4183637A (en) * | 1976-11-12 | 1980-01-15 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for forming phosphor screen of color picture tubes |
| FR2500201A1 (fr) * | 1981-02-17 | 1982-08-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | Procede et appareil pour le retablissement de la transmittance optique d'un faisceau de fibres optiques apres reduction par une irradiation |
| JPS5926703A (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-13 | Olympus Optical Co Ltd | 光伝送装置 |
| FR2582858B1 (fr) * | 1985-06-04 | 1988-11-10 | Videocolor | Procede et appareil d'illumination de la dalle d'un tube de television en couleurs pour la formation de l'ecran |
-
1989
- 1989-02-01 JP JP1023274A patent/JP2755650B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-29 US US07/459,429 patent/US5025166A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-25 CN CN90100472A patent/CN1013720B/zh not_active Expired
- 1990-01-30 EP EP90300949A patent/EP0381442B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-30 KR KR9001133A patent/KR920007421B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-01-30 DE DE69007504T patent/DE69007504T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5025166A (en) | 1991-06-18 |
| CN1013720B (zh) | 1991-08-28 |
| EP0381442A3 (en) | 1991-05-02 |
| KR920007421B1 (en) | 1992-08-31 |
| DE69007504D1 (de) | 1994-04-28 |
| CN1044733A (zh) | 1990-08-15 |
| EP0381442A2 (en) | 1990-08-08 |
| EP0381442B1 (en) | 1994-03-23 |
| DE69007504T2 (de) | 1994-07-14 |
| JPH02204936A (ja) | 1990-08-14 |
| KR900013557A (ko) | 1990-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |