JPH0982619A - 防塵装置及び露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動部からの発塵を効果的に防止する。 【解決手段】 本装置は、複数の駆動部をそれぞれ覆う
複数の防塵カバーと、その複数の防塵カバーにそれぞれ
接続される複数の排気管を介して前記防塵カバー内の排
気を行う排気手段を備えており、複数の排気管をそれぞ
れ独立に開閉できる開閉手段により、発塵のおそれのあ
る駆動部が収納された防塵カバーを選択的に排気手段と
連通させることにより、小さな容量の排気手段により効
果的に駆動部からの発塵を防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶用基板製造装置などに実装される防塵装置に係り、
特にマスク上のパターンの像で感光基坂を露光する露光
装置に実装される防塵装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶用基板などの製造プロセス
は多くの工程から構成されており、ウェハやガラス基板
などの基板を各処理装置間、あるいは基板保管装置と処
理装置間で頻繁に移動させる必要がある。また、例え
ば、マスク（レチクル）上に形成されたパターンの像を
感光基板に転写する露光装置では、複数種類のレチクル
を使用するので、複数のレチクルが収納されたレチクル
保管装置とレチクルステージとの間で頻繁にレチクルを
搬送する必要がある。そのため、半導体や液晶用基板な
どの製造工程では、要所要所に、搬送アームなどにより
基板を支持して搬送する搬送装置が設けられている。な
お、本明細書においては、単に「基板」と称した場合に
は、特に言及しない限り、搬送装置により搬送される感
光基板やレチクルなどの搬送対象をすべて含むものとす
る。

【０００３】ところで、半導体や液晶用基板などの製造
プロセスにおいては、歩留まりを向上させるために防塵
対策が重要な技術的課題である。例えば、レチクル上に
形成されたパターンの像をレジストなどが塗布されたウ
ェハやガラス基板などの感光基板に転写するリソグラフ
ィ工程において、レチクルに塵埃が付着すると、その塵
埃が基板上に転写されて、回路パターンに欠陥が生じる
という問題がある。

【０００４】従って、露光装置などの処理装置は、通常
は、塵埃が除去され、所定の空気清浄度に保持された清
浄空間、いわゆるクリーンルーム内に設置されて、外部
から進入した塵埃がレチクルや基板に付着しないように
対策が施されている。特に露光装置は、ＨＥＰＡフィル
タを有する空調装置が接続されたチャンバ内に収納され
て、クリーンルーム内に設置されている。しかし、処理
装置には、それ自体が発塵の原因となる部材が多く含ま
れている。特に、上述の搬送装置は、搬送アームを駆動
するモータなどから構成される駆動部を備えており、こ
の駆動部からの発塵を防止することが重要である。

【０００５】そこで、従来の装置では、搬送装置の駆動
部を、例えば防塵カバーでで覆い、駆動部からの発塵が
露光装置などの処理装置が設置される清浄空間内に漏れ
るのを防止していた。あるいは、さらに真空ポンプなど
の排気手段を排気管を介して各防塵カバーに接続し、駆
動部が収納された防塵カバー内を駆動部からの発塵とと
もに排気して、発塵が防塵カバーの隙間などから周囲環
境に漏洩しないように構成していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置のように、搬送装置の駆動部を単に防塵カバーで覆
っただけでは、カバーの継ぎ目などに生じる隙間から発
塵が周囲環境に漏洩し、周囲を汚染することが避けられ
ないという問題があった。また、塵埃の漏洩を防止する
ために、防塵カバーの気密性を高めることにもコストな
どの面から限界があった。

【０００７】また、真空ポンプなどの排気手段により防
塵カバー内を排気することは、発塵対策として非常に有
効な手段である。しかし、複数の駆動部を有する装置の
場合には、発塵源となるすべての駆動部から排気を行う
ことは、限られたポンプ容量では負荷が大きすぎて困難
である。すなわち、限られたポンプ容量ですべての駆動
部から排気を行えば、排気による十分な防塵効果が得ら
れない。かかる問題の解決策として、使用する真空ポン
プの容量を大きくすることが考えられるが、ポンプ容量
を大きくすれば、それだけ広い設置スペースが必要とな
り、また消費電力が増大するという新たな問題が生じ
る。さらに、大容量のポンプを駆動すれば、それだけ大
きな振動が発生し、振動を嫌う装置、例えば露光装置な
どでは特に問題であった。

【０００８】従って、本発明は、駆動部からの発塵防止
対策上の従来の問題点に鑑みてなされたものであり、個
々の防塵カバーの隙間からの塵埃の漏洩を防止すること
が可能であり、しかも、発塵源となる駆動部が複数ある
場合であっても、最小限の容量の真空ポンプで効率的に
防塵カバー内を排気して発塵を防止することが可能な防
塵装置及びかかる防塵装置を実装する露光装置を提供す
ることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、発塵源となる複数の駆動部をそれぞれ
覆う複数の防塵カバーと、各防塵カバーにそれぞれ接続
される排気管を介して各防塵カバー内の排気を行う真空
ポンプなどの排気手段とを備えた防塵装置に、各排気管
を独立に開閉して複数の防塵カバーの少なくとも１つを
選択的に排気手段と連通させる開閉手段を設けている。

【００１０】特に、本発明にかかる防塵装置は、マスク
上のパターンの像で感光基板を露光する装置に実装する
ことが可能であり、マスクや感光基板などの基板を搬送
する搬送手段の複数の駆動部からの発塵を防止するため
に好適に適用することができる。そして、その場合に、
制御器により、搬送手段の複数の駆動部のうち、稼働中
の駆動部のみが排気手段と連通するように、基板の搬送
シーケンスに応じて開閉手段を制御することが好まし
い。

【００１１】さらに、発塵源となる複数の駆動装置を有
する搬送手段を、空調手段により温度制御された清浄な
気体が循環するチャンバ内に収納することが好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照しながら、
本発明にかかる防塵装置およびその防塵装置を実装した
露光装置の基板搬送装置の実施の一形態について詳細に
説明する。まず、図１及び図２を参照しながら本発明に
かかる防塵装置の基本的なコンセプトについて、従来例
との比較しながら説明する。なお、図１は本実施の形態
にかかる防塵装置の構成を示し、図２は従来の防塵装置
の構成を示している。なお、本明細書及び図面におい
て、実質的に同一の機能構成を有する構成部材について
は、同一の参照番号を付することにより重複説明を省略
している。

【００１３】図１に示すように、本実施の形態にかかる
防塵装置は、発塵源となる複数の駆動部Ｍ１，Ｍ２，
…，Ｍｎ（ｎは任意の整数）からの発塵を対象とするも
のである。図示のように、複数の駆動部Ｍ１，Ｍ２，…
Ｍｎは、それぞれ対応する防塵カバーＣ１，Ｃ２，…，
Ｃｎにより覆われており、各駆動部Ｍ１，Ｍ２，…，Ｍ
ｎにおいて発生した塵埃が外部に容易に漏洩しないよう
になっている。さらに、本実施の形態では、各防塵カバ
ーＣ１，Ｃ２，…，Ｃｎを、排気管Ｅ１，Ｅ２，…，Ｅ
ｎを介して真空ポンプなどの排気手段Ｐに接続し、各駆
動部Ｍ１，Ｍ２，…，Ｍｎにおいて発生した塵埃を空気
とともに排出して、塵埃の周囲雰囲気への漏洩を防止す
ることで、より高い清浄度が要求される環境にも対応す
ることができる。

【００１４】かかる排気系接続の構成については、図２
に参考例として示す従来の排気系を有する防塵装置と同
様である。しかしながら、図２に示すように、従来の防
塵装置では、各防塵カバーＣ１，Ｃ２，…，Ｃｎが排気
管Ｅ１，Ｅ２，…，Ｅｎを介して排気手段Ｐに直接接続
されているため、防塵対象となる駆動部Ｍ１，Ｍ２，
…，Ｍｎの数が多い場合には、通常の小さい容量の真空
ポンプでは十分な排気効果が得られず、これに対して、
大きい容量の真空ポンプでは設置スペースの増大、高い
ランニングコスト、振動の発生といった各種問題が生じ
ていた。なかんずく、図２に示す如き構成では、排気管
Ｅ１，Ｅ２，…，Ｅｎにより接続されているすべての防
塵カバーＣ１，Ｃ２，…，Ｃｎから同時に排気を行って
いるため、稼働していない駆動部（従って、発塵が生じ
ない駆動部）が収納された防塵カバーについても排気が
行われ、大きなエネルギーロスが生じていた。

【００１５】この点、本実施の形態にかかる防塵装置で
は、図１に示すように、各防塵カバーＣ１，Ｃ２，…，
Ｃｎを排気管Ｅ１，Ｅ２，…，Ｅｎを介して排気手段Ｐ
に直接接続するのではなく、中継部Ｉを介して間接的に
接続している。この中継部Ｉは、例えば電磁弁ボックス
のようなもので、各防塵カバーＣ１，Ｃ２，…，Ｃｎに
接続される各排気管Ｅ１，Ｅ２，…，Ｅｎを個別独立に
開閉することができる複数の電磁弁（開閉手段）を備え
ている。従って、制御器Ｃｎｔからの制御信号により、
対応する電磁弁を開放または閉止することにより、開放
された排気管に接続された防塵カバーのみを真空ポンプ
Ｐに連通させることができる。

【００１６】本願発明者は、発塵源となる駆動部を複数
有する装置であっても、実際の処理シーケンスにおいて
は、すべての駆動部が同時に稼働する機会は無い、ある
いはあっても希であるという事実に着目して、本発明に
想到したものである。従って、本発明を基板搬送装置に
適用した実施の一形態によれば、搬送シーケンスに応じ
て制御器から中継部Ｉに信号を送り、実際に稼働してい
る駆動部（従って、実際に発塵のおそれがある駆動部）
が収納された防塵カバーのみを排気系（真空ポンプＰ）
に連通させその内部を排気し、他の防塵カバーは排気系
から切り離してやることで、必要最小限の容量の真空ポ
ンプを用いて、最大の防塵効果を得ることができる。

【００１７】次に、図３を参照しながら、本発明にかか
る防塵装置を露光装置の基板搬送装置に適用した実施の
一形態について詳細に説明する。図３に示す基板搬送装
置は、基板保管部１０２とレチクルステージ１３８との
間で基板（レチクルＲ）を移動させるための基板搬送部
として、搬送アーム１０４と、キャリア１０６と、ロー
ドアーム１０８と、アンロードアーム１１０を備えてい
る。

【００１８】基板保管部１０２はレチクルＲを収納した
基板ケース１１２を複数個保管する。搬送アーム１０４
は、駆動機構１１４を備えたスライダ１１６を介してＹ
方向に移動可能である。また搬送アーム１０４は、駆動
機構１１８を備えたスライダ１２０を介してＺ方向にも
移動可能である。そして搬送アーム１０４は、駆動機構
１１４、１１８によりスライダ１１６、１２０をＸ方向
あるいはＺ方向に駆動して、搬送アーム１０４により基
板保持部１０２内の基板ケース１１２からレチクルＲの
みを取り出し、レチクルＲを受渡し位置ＣＡ１まで搬送
する。なお、受渡し位置ＣＡ１は搬送アーム１０４から
キャリア１０６へレチクルＲを受渡す位置である。搬送
アーム１０４には不図示の真空吸着孔が設けられてお
り、不図示の真空ポンプのＯＮ、ＯＦＦによりレチクル
Ｒを保持、解除する。

【００１９】キャリア１０６は駆動機構１２２を備えた
スライダ１２４を介してＸ方向に移動可能である。そし
てキャリア１０６はその下部に真空吸着孔を有してお
り、不図示の真空ポンプのＯＮ、ＯＦＦによりレチクル
Ｒを保持、解除する。またキャリア１０６は４つの基準
辺を有するプリアライメント機構を有しており、この４
辺を基準に直交する２方向からレチクルＲを挟み込んで
プリアライメントする。キャリア１０６は、駆動機構１
２２によりスライダ１２４を駆動して、レチクルＲをプ
リアライメントすると共に、レチクルＲをＸ方向に位置
ＣＡ１から位置ＣＡ２まで搬送する。なお、位置ＣＡ２
は、レチクルＲをキャリア１０６からロードアーム１０
８に、あるいはアンロードアーム１１０からキャリア１
０６に受け渡す位置である。

【００２０】ロードアーム１０８は駆動機構１２６を備
えたスライダ１２８を介してＹ方向に移動可能であり、
アンロードアーム１１０は駆動機構１３０を備えたスラ
イダ１３２を介してＹ方向に移動可能である。またロー
ドアーム１０８とアンロードアーム１１０は駆動機構１
３４を備えたスライダ１３６を介してＺ方向にも移動可
能である。そしてロードアーム１０８とアンロードアー
ム１１０とはＹ方向については個別に移動可能であり、
Ｚ方向については一体に移動する構成となっている。ロ
ードアーム１０８とアンロードアーム１１０とには搬送
アーム１０４と同様に真空吸着孔が設けられており、真
空ポンプ（不図示）のＯＮ、ＯＦＦによりレチクルＲの
吸着保持、解除が可能となっている。従って、レチクル
Ｒは、駆動機構１２６、１３０、１３４により、往路で
は、ロードアーム１０８により受け渡し位置ＣＡ２から
レチクルステージ１３８まで搬送され、復路では、アン
ロードアーム１１０によりレチクルステージ１３８から
位置ＣＡまで搬送される。

【００２１】レチクルステージ１３８はレチクルＲを搭
載するステ−ジであり、投影光学系ＰＬの上に設けられ
ている。レチクルＲはレチクルステージ１３８上に搬送
され、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸとレチクルＲの中心が
一致するように、位置決め（アライメント）される。投
影光学系ＰＬの下方には、２次元移動可能なウェハステ
ージ１４０が設置されている。そして、不図示の照明光
学系より、所定の露光光（ｉ線、ｇ線）をレチクルＲに
照射して、レチクルＲに形成されたパターンの像を投影
光学系ＰＬを介してウェハステージ１４０上に載置され
たウェハＷなどの感光基板上に転写することができる。

【００２２】以上のように、図３に示す基板搬送装置で
は、複数の基板搬送部、すなわち搬送アーム１０４、キ
ャリア１０６、ロードアーム１０８、アンロードアーム
１１０を用いて、基板（レチクルＲ）を基板保管部１０
２とレチクルステージ１３８との間で移動している。そ
して、各基板搬送部は、それぞれ基板を搬送するための
動力を供給するために、ステッピングモータのような駆
動部（不図示）を備えた駆動機構１１４、１１８、１２
２、１２６、１３０、１３４を備えている。各駆動部
は、稼働時に発生する塵埃が周囲環境に漏洩して、基板
を汚染するのを防止するために、防塵カバー１１４ａ、
１１８ａ、１２２ａ、１２６ａ、１３０ａ、１３４ａで
覆われている。さらに各防塵カバーには、排気管１１４
ｂ、１１８ｂ、１２２ｂ、１２６ｂ、１３０ｂ、１３４
ｂが接続されており、後述する中継部１４０（Ｉ）や真
空ポンプ１４２（Ｐ）などから成る排気系により、稼働
時に駆動部から生じた発塵を真空排気することができる
ように構成されている。

【００２３】中継部１４０は、図１に関連して説明した
ような電磁弁ボックスのようなもので、複数の防塵カバ
ー１１４ａ、１１８ａ、１２２ａ、１２６ａ、１３０
ａ、１３４ａに連通する複数の入力（排気管）に対し
て、真空ポンプ１４２に連通する単一の出力（排気管）
１４４を備えている。そして、中継部１４０には、接続
される各排気管１１４ｂ、１１８ｂ、１２２ｂ、１２６
ｂ、１３０ｂ、１３４ｂに対応する複数の電磁弁（不図
示）が収納されている。各電磁弁は、制御器１５０（Ｃ
ｎｔ）からの制御信号に応じて、個別にＯＮ、ＯＦＦ制
御可能であり、ＯＮ信号が送られた排気管のみを開放
し、それ以外の排気管を閉止することができる。かかる
構成により、稼働している駆動部（従って、発塵のおそ
れがある駆動部）が収納されている防塵カバーのみを、
真空ポンプ１４２に連通させて、真空排気することがで
きる。その結果、従来のように、停止中の駆動部（従っ
て、発塵のおそれのない駆動部）が収納された防塵カバ
ーからも真空排気するような無駄が省けるので、必要最
小限の容量のポンプで最大の防塵効果を得ることができ
る。

【００２４】以下、図３に示す基板搬送装置の基板交換
シーケンスに応じて、本実施の形態にかかる防塵装置を
駆動する動作について説明する。まず、基板交換動作が
開始すると、まず、レチクルＲを基板保管部１０２から
取り出すために搬送アーム１０４を駆動する際には、排
気管１１４ｂ、１１８ｂを開放し、搬送アーム１０４を
駆動するための駆動機構１１４、１１８を排気系に接続
する（ただし、他の駆動機構（稼働していない駆動機
構）は排気系から切り離されている。）。その結果、搬
送ア−ム１０４により基板保管庫１０２から取り出され
たレチクルＲ１を位置ＣＡ１まで搬送する間に、駆動機
構１１４、１１８から生じる発塵の周囲環境への漏洩が
防止できる。この間、停止中の駆動機構と排気系とは切
り離されているため、排気系（真空ポンプ）に対して余
分な負荷をかけることがない。

【００２５】次いで、搬送ア−ム１０４は、位置ＣＡ１
でキャリア１０６へレチクルＲを受渡す。受渡しは、キ
ャリア１０６の真空をＯＮ、搬送アーム１０４の真空を
ＯＦＦすることにより行われる。そして、制御器１５０
は、所定の指令信号を中継部１４０に送り、排気管１２
２ｂを開放して、キャリア１０６の駆動機構１２２を排
気系に接続するとともに、排気管１１４ｂ、１１８ｂを
閉止することにより、稼働が停止した駆動機構１１４、
１１８を排気系から切り離す。もちろん、排気管１１４
ｂ、１１８ｂの開閉は、駆動機構１１４、１１８の稼働
停止に応じて行われるので、レチクルＲの受け渡し後
に、搬送アーム１０４を開始位置にまで戻す必要がある
場合には、駆動機構１１４、１１８を排気系に接続した
ままにしておく。

【００２６】次に、キャリア１０６はレチクルＲを位置
ＣＡ１から位置ＣＡ２まで搬送するとともに、レチクル
Ｒをプリアライメントする。その間、キャリア１０６の
駆動機構１２２は排気系に接続されているので、駆動機
構１２２の駆動部からの発塵の周囲環境への漏洩が防止
される。さらに、位置ＣＡ２において、ロードアーム１
０８はキャリア１０６からレチクルＲを受け取る。受渡
しはロードアーム１０８の真空をＯＮ、キャリア１０６
の真空をＯＦＦすることにより行われる。

【００２７】次いで、後続の動作を行うロードアーム１
０８の駆動機構１２６が排気系に連通されるとともに、
動作が停止したキャリア１０６の駆動機構１２２が排気
系から切り離される。その後、ロードア−ム１０８は、
Ｙ方向に沿ってレチクルステージ１３８まで移動し、レ
チクルＲをレチクルステージ１３８に受渡す。そして、
レチクルステージ１３８の真空吸着をＯＮ、ロ−ドア−
ム１０８の真空吸着をＯＦＦすることによって、レチク
ルＲがロードアーム１０８からレチクルステージ１３８
に受け渡される。なお、ロードアーム１０８をＺ方向に
移動させる必要がある場合には、駆動機構１３４も排気
系に連通させる必要がある。受渡し後、ロードアーム１
０８を露光を妨げない位置まで退避させた後、ロードア
ーム１０８の運動を停止し、ロードアーム１０８の駆動
機構１２６を排気系から切り離す。そして、露光処理が
行われ、レチクルＲのパターン像が投影光学系ＰＬを介
してウェハＷ上に転写される。

【００２８】露光が終了した後、アンロードアーム１０
６の駆動機構１３０、１３４を排気系に接続する。そし
て、アンロードアーム１１０は、交換するレチクルＲを
受取可能な位置まで移動して、レチクルステージ１３８
よりレチクルＲを受け取る。さらに、アンロードアーム
１１０は交換するレチクルＲをキャリア１０６に受渡し
可能な位置ＣＡ２まで搬送する。次いで、キャリア１０
６の駆動機構１２２を排気系に連通するとともに、停止
したアンロードアーム１０６の駆動機構１３０、１３４
を排気系から切り離した後、キャリア１０６により交換
するレチクルＲを搬送アーム１０４に受け渡し可能な位
置ＣＡ１まで搬送する。次いで、停止したキャリア１０
６の駆動機構１２２を排気系から切り離すとともに、搬
送アーム１０４の駆動機構１１４、１１８を排気系に接
続する。そして、交換するレチクルＲをキャリア１０６
から受け取った後、基板保管部１０２にまで搬送し、所
定のレチクルカセット１１２にレチクルＲを収納する。
そして、搬送アーム１０４は、後続の露光処理に使用さ
れるレチクルＲを基板保管部１０２から取り出して、再
び基板交換シーケンスを反復する。

【００２９】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、基板交換シーケンスに従って、搬送装置のうち稼働
している駆動機構のみが排気系に接続されて、停止して
いる駆動機構は排気系から切り離されているので、必要
最小限の容量の真空ポンプにより効果的に駆動機構から
の発塵を効果的に真空排気することができる。なお、以
上説明した基板交換シーケンスは、一例であり、本発明
がかかる例に限定されないことは言うまでもない。特
に、本実施の形態では、稼働している駆動機構のみを排
気系に接続しているので、例えば、処理のスループット
を向上させるために、搬送系に一時保管部を設置し、搬
送処理を多重的に行うような場合にも、処理シーケンス
に応じて、各駆動機構と排気系との接続／切り離しを制
御することにより、必要最小限の排気系の容量で最大の
防塵効果を得ることができる。

【００３０】また、上記実施の形態では、レチクル搬送
系を例に挙げて説明したが、本発明はかかる形態に限定
されず、ウェハやＬＣＤ基板などの基板搬送系に対して
も当然に適用することが可能である。さらに、各駆動機
構と排気系との接続／切り離しのタイミングについて
は、上記実施の形態と同様に、駆動部のＯＮ動作と同時
に防塵カバーを排気系に接続し、駆動部のＯＦＦ動作と
同時に防塵カバーを排気系を切り離しても良いが、例え
ば、排気管の長さが長く排気するまでに時間を要する場
合には、駆動部のＯＮ動作を行う所定時間前に防塵カバ
ーを排気系に接続することができる。あるいは、駆動部
のＯＦＦ動作後にも防塵カバー内に塵埃が浮遊している
ような場合には、停止動作後の所定時間にわたり防塵カ
バー内を排気し、その後排気系から切り離すように構成
して、防塵効果を高めることもできる。

【００３１】さらに、本発明は、必ずしも駆動部の稼働
／停止に応じて、防塵カバーと排気系とを接続／切り離
しする必要はなく、例えば、防塵カバー内にダストモニ
タ（例えば、パーティクルカウンタ）を設置して、防塵
カバー内のダスト量を常時監視して、ダスト量が所定値
を越えた場合にのみ、防塵カバーと排気系とを接続し、
防塵カバー内のダスト量が所定値以下の場合には、防塵
カバーと排気系とを切り離すように構成することもでき
る。

【００３２】さらに防塵効果を高めるために、搬送手段
自体をチャンバ内に収納し、適当な空調手段により、こ
のチャンバ内に温度制御された清浄な気体を循環させる
構成を採用することにより、基板の搬送環境を常に清浄
な雰囲気に保持することができる。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の駆動部のうち、発塵が生じるおそれのある駆動部
が収納された防塵カバー内のみを排気手段に接続して、
防塵カバー内に浮遊する塵埃を排気することができるの
で、最小限の容量の排気手段により大きな防塵効果を得
ることができる。従って、排気手段の設置スペース及び
消費電力を小さくすることができる。さらに小さな容量
の排気手段を用いることにより、振動も小さくすること
ができ、振動を嫌う露光装置などに適用した場合に、さ
らに大きな効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる防塵装置の基本的概念を示す構
成図である。

【図２】従来の防塵装置の基本的概念を示す構成図であ
る。

【図３】本発明にかかる防塵装置を適用可能な露光装置
の一実施の形態を示す略見取図である。

【符号の説明】

Ｍ 駆動部 Ｃ 防塵カバー Ｅ 排気管 Ｉ 中継部（開閉手段） Ｐ 真空ポンプ（排気手段） Ｃｎｔ 制御器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の駆動部をそれぞれ覆う複数の防塵
   カバーと；前記複数の防塵カバーにそれぞれ接続される
   複数の排気管を介して前記防塵カバー内の排気を行う排
   気手段と；前記複数の排気管をそれぞれ独立に開閉し
   て、前記複数の防塵カバーの少なくとも１つを選択的に
   前記排気手段と連通させる開閉手段と、を備えたことを
   特徴とする、防塵装置。
2. 【請求項２】 マスク上のパターンの像で感光基坂を露
   光する装置において前記マスクまたは前記感光基板を搬
   送する搬送手段と；前記搬送手段の複数の駆動部をそれ
   ぞれ覆う複数の防塵カバーと；前記複数の防塵カバーに
   それぞれ接続される複数の排気管を介して前記防塵カバ
   ー内の排気を行う排気手段と；前記複数の排気管をそれ
   ぞれ独立に開閉して、前記複数の防塵カバーの少なくと
   も１つを選択的に前記排気手段と連通させる開閉手段と
   を備えたことを特徴とする、露光装置。
3. 【請求項３】 前記複数の駆動部のうち、稼働中の駆動
   部のみが前記排気手段と連通するように、前記マスクま
   たは前記感光基板の搬送シーケンスに応じて前記開閉手
   段を制御する制御器を更に備えることを特徴とする、請
   求項２に記載の装置。
4. 【請求項４】 前記搬送手段を収納するチャンバと、該
   チャンバ内で温度制御された清浄な気体を循環させる空
   調手段とを更に備えていることを特徴とする、請求項２
   又は３に記載の装置。