JPH098100A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 多数の半導体ウエハを熱処理する例えば縦型
熱処理装置において、ウエハボート２３における被処理
ウエハの配列の仕方について大きな自由度が得られ、熱
処理の種類などに応じて適切な移載を行うことのできる
熱処理装置を提供すること。 【構成】 ウエハキャリア内のウエハ群を１ロットとす
ると、ウエハボート２３の保持領域にロット毎にロット
領域を割り当てて固定する、つまりキャリア内のウエハ
枚数にかかわらず各ロットと保持領域とが対応する固定
モードと、指定された保持溝の番号を中心に上下にウエ
ハが詰めて配列される変動モードとをスイッチ部Ｓ１〜
Ｓ３により選択できるように構成する。また固定モード
は、キャリア内の配列の通り保持させる第１のモードと
ロット領域内でウエハを詰めて配列する第２のモードと
が含まれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを製造するにあたって重要
な工程の一つとして熱処理工程がある。この熱処理とし
ては、例えば酸化膜の形成、ドーパントの拡散、アニー
ルあるいはＣＶＤなどが挙げられ、最近では空気の巻き
込みが少ないなどの利点から横型炉に代って縦型の熱処
理装置が多く使用されてきている。

【０００３】この縦型の熱処理装置は、図８に示すよう
に縦型の熱処理炉１１と、多数のウエハＷを上下に間隔
をおいて棚状に配列して保持するウエハ保持具であるウ
エハボート１２と、ウエハＷの受け渡しのためにウエハ
キャリア（以下単に「キャリア」という）Ｃを載置する
受け渡し台１３と、その他図示しないがキャリアの搬入
出ポートやキャリアストッカなどとを備えており、受け
渡し台１３に載置されたキャリアＣ内のウエハＷを搬送
アーム１４によりウエハボート１２に移載し、ウエハボ
ート１２に所定枚数のウエハが搭載された後、ウエハボ
ート１２を熱処理１１内に図示しないボートエレベータ
により搬入し、熱処理１１内でウエハＷに対して所定の
熱処理を行うように構成されている。

【０００４】そしてウエハボート１２の上下両端部は熱
処理炉の構造上他の部分に比べて温度が低くなるのでウ
エハＷ間の処理の不均一性を避けるため、この部分には
ダミーウエハが配置され、上下両端部以外の部分に通常
の被処理ウエハが搭載されることになる。ウエハボート
１２における被処理ウエハの保持領域については、図９
に示すように例えば２５枚のウエハを１ロットとする
と、４ロット分のロット領域Ｐ１〜Ｐ４が指定されてお
り、例えば４個のキャリアからウエハボート１２に被処
理ウエハを移載する場合、４キャリア内のウエハが夫々
ロット領域Ｐ１〜Ｐ４に移載される。各キャリア内のウ
エハの枚数が２５枚に満たない場合には、キャリア内の
配列パターン通りに、つまりキャリア内でウエハの欠け
ている空き段に対応する段数のところはウエハが欠けた
ままとされ、このウエハボート１２上の空き段は、その
ままとされるかあるいは補充ウエハにより補充される。
なお図９中Ｄはダミーウエハの保持領域である。

【０００５】ここで例えば４キャリア分のウエハを搭載
することができるウエハボートを用いた装置において、
１回の処理を行うときにキャリア数が４キャリアに満た
ないことがある。これは例えば熱処理工程の前の工程で
トラブルによりウエハが滞っている場合などに起こり、
この場合には保持領域Ｐ１〜Ｐ４のうちキャリアの数に
応じた数だけ使用され、例えば３キャリアであればオペ
レータの選択により前記ロット領域Ｐ１〜Ｐ３あるいは
Ｐ２〜Ｐ４が使用される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところでウエハボート
１２を熱処理炉１１内に搬入したとき、ウエハボート１
２上の被処理ウエハの保持領域において高さ方向の温度
の多少のばらつきは避けられず、高さ方向の温度分布が
許容範囲内であるといっても、良好な領域とやや劣った
領域とが混在しているのが実情である。従ってキャリア
の数がウエハボート１２の最大収容ロット数に満たない
場合には温度分布が良好な領域にウエハを保持させるこ
とが好ましいが、従来装置では先に一例を挙げたように
例えば３キャリア分のウエハを処理する場合には２通り
の移載パターンしか選べないため、保持領域の中で利用
したい領域を自由に使用することができず、必ずしも良
好な領域を使用することができるわけではなかった。

【０００７】またキャリア内のウエハがキャリア１個当
りの最大収容枚数例えば２５枚に満たない場合であっ
て、補充用ウエハを使用するときには、各ロット領域Ｐ
１〜Ｐ４においてキャリアの空き溝に対応する保持位置
に補充用ウエハが移載されるが、このように被処理ウエ
ハの間に補充用ウエハが入り込むと、補充用ウエハは製
品ではないので、被処理ウエハのように洗浄処理を行う
などのレベルの高い管理がされていないことから、被処
理ウエハと補充用ウエハとの間でコンタミネーションが
起こり、被処理ウエハが汚染されやすいという問題もあ
った。

【０００８】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は保持具に被処理基板を移載する
にあたり、大きな自由度で被処理基板を並べることので
きる熱処理装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の被処理基板を基板キャリア内からロット単位で保持具
に並列に保持させ、加熱炉の反応管内に搬入して熱処理
を行う熱処理装置において、前記保持具の基板保持領域
の中の何段目の保持位置を基準位置とするかを指定する
基準位置指定部と、この基準位置指定部により指定され
た保持位置を基準として、１回のバッチ処理に係る全ロ
ットの被処理基板を詰めた状態で保持具に移載するよう
に基板移載機を制御する制御部と、を備えたことを特徴
とする熱処理装置である。

【００１０】請求項２の発明は、複数の被処理基板をロ
ット単位で保持具に並列に保持させ、加熱炉の反応管内
に搬入して熱処理を行う熱処理装置において、前記保持
具の基板保持領域にロット毎にロット領域を割り当て、
前記ロット領域の夫々に各ロットの被処理基板を移載す
るロット領域固定モードと、前記保持具の基板保持領域
の中の何段目の保持位置を基準位置とするかを指定し、
この保持位置を基準として、１回のバッチ処理に係る全
ロットの被処理基板を詰めた状態で保持具に移載するロ
ット領域変動モードと、のうちの一方のモードを選択す
る移載モード選択部と、この移載モ−ド選択部により選
択されたモ−ドに基づいて被処理基板を前記保持具に移
載するように基板移載機を制御する制御部と、を備えた
ことを特徴とする熱処理装置である。

【００１１】請求項３の発明は、複数の被処理基板を基
板キャリア内からロット単位で保持具に並列に保持さ
せ、加熱炉の反応管内に搬入して熱処理を行う熱処理装
置において、前記保持具の基板保持領域にロット毎にロ
ット領域を割り当て、前記ロット領域の夫々に各ロット
の被処理基板を基板キャリア内の配列パタ−ンに対応し
て移載する第１のロット領域固定モードと、前記保持具
の基板保持領域にロット毎にロット領域を割り当て、基
板キャリア内のウエハの配列に空きがあるか否かにかか
わらず、前記ロット領域の夫々に各ロットの被処理基板
を詰めて移載する第２のロット領域固定モードと、前記
保持具の基板保持領域の中の何段目の保持位置を基準位
置とするかを指定し、この保持位置を基準として、１回
のバッチ処理に係る全ロットの被処理基板を詰めた状態
で保持具に移載するロット領域変動モードと、のうちの
一のモードを選択する移載モード選択部と、この移載モ
−ド選択部により選択されたモ−ドに基づいて前記基板
キャリア内から被処理基板を前記保持具に移載するよう
に基板移載機を制御する制御部と、を備えたことを特徴
とする熱処理装置である。

【００１２】請求項４の発明は、請求項３記載の熱処理
装置において、基板キャリアと保持具との間で被処理基
板の受け渡しを行なうために、複数枚の被処理基板を同
時に搬送するモ−ドと一枚ずつ被処理基板を搬送するモ
−ドとの両方を備えた基板移載機を有することを特徴と
する。

【００１３】請求項５の発明は、請求項１、２、３また
は４記載の熱処理装置において、ロット領域変動モード
は、保持具の基板保持領域の中の何段目の保持位置を基
準位置とするかを指定し、１回のバッチ処理に係る全ロ
ットの被処理基板を前記基準位置を中心として詰めた状
態で保持具に移載するモードであることを特徴とする。

【００１４】請求項６の発明は、請求項１、２、３、４
または５記載の熱処理装置において、基準位置の指定
が、被処理基板が被処理基板保持領域からはみ出すミス
指定であるか否かを、各ロットの被処理基板の枚数と被
処理基板保持領域の段数と基準位置とに基づき演算して
判断し、ミス設定であるときには被処理基板が被処理基
板保持領域内に収まるように基準位置を自動的に修正す
る演算部を備えたことを特徴とする。

【００１５】

【作用】請求項１では、１バッチあたりのロット数が１
バッチあたりの最大ロット数に満たないロット欠けの場
合や、各ロット内の被処理基板の枚数が最大枚数に満た
ない被処理基板欠けの場合に、保持具において全ロット
の被処理基板を所望の領域に詰めた状態で保持させるこ
とができる。従って被処理基板を大きな自由度で移載す
ることができ、装置の特性の良い領域で熱処理できる。
また基準位置に基づいて被処理基板を空き段をなくして
寄せて配列されるので補充用基板を使用する場合に、被
処理基板と補充用基板とが区分けされ、コンタミネーシ
ョンを低減できる。

【００１６】そして請求項５のように指定した基準位置
を中心として被処理基板を上下に（縦型熱処理装置の場
合）配列するように移載モードを組めば、例えば特性の
良い領域の中央を基準位置とすることにより、被処理基
板の枚数にかかわらず被処理基板の並びを効率よくその
領域の中に位置させることができるので、基準位置の指
定が容易である。更に請求項６のように、被処理基板が
保持具上の被処理基板保持領域からはみ出すミス指定を
した場合に自動的に基準位置を修正させるようにすれば
オペレータが再度被処理基板の枚数などを考慮して指定
をやり直さなくて済むので便利であり、またその修正作
業に伴うスループットの低下が避けられる。

【００１７】そして請求項２では基板保持領域にロット
毎にロット領域を割り当てて、上述のロット欠けや被処
理基板欠けの場合にもロット領域が固定されたつまりあ
るロット内の被処理基板はロット領域内に収まるように
移載できるロット領域固定モードを採用し、このモード
と請求項１のロット領域変動モードとのうちの一方を選
択できるようにしているため、被処理基板の移載モード
の自由度がより大きい。またロット領域固定モードを選
択するとロット領域とロットとが対応するので、後で被
処理基板の処理状態を調べるときに、いずれのロットに
含まれているかが分かれば保持具の保持領域が容易に特
定されるため、後の解析が容易である。

【００１８】更にまた請求項３では、ロット領域固定モ
ードとして、キャリア内に被処理基板欠けがあったとき
にはそのままの配列パターンでロット領域に被処理基板
を移し替える第１のロット領域固定モードと（この場合
ロット領域内の被処理基板間には空き段が発生する）、
ロット領域内で被処理基板を詰めた状態で被処理基板を
保持させる第２のロット領域固定モードとの両方を用意
してその一方を選択できるようにしているため、被処理
基板の移載モードの自由度が更により一層大きい。そし
て第１のロット領域固定モードを選択したときには請求
項４のように複数枚同時に移載できる移載機を用いれ
ば、複数枚のアームをキャリア内に進入させて被処理基
板を受け取りそのまま保持具に移載すればよいので移載
が簡単である。また第２の固定モードを選択したときに
はロット領域内で被処理基板が寄せられているので、空
き段を補充用基板で埋めるときには被処理基板と補充用
基板とを区分できるのでコンタミネーションを抑えるこ
とができる。

【００１９】

【実施例】図１及び図２は本発明の実施例に係る熱処理
装置を示す図であり、この熱処理装置は、装置本体の奥
側に、図では見えない反応チューブの外にヒータを囲撓
して設けてなる縦型の熱処理炉２１と、多数の被処理基
板例えばウエハを上下に間隔をおいて各々水平に積層し
て搭載し、ボートエレベータ２２により熱処理炉２１に
対してウエハＷ（図２参照）をロード、アンロードする
ためのウエハボート２３と、このウエハボート２３にウ
エハを着脱するための、ウエハ移載機２４とを有してな
る。

【００２０】前記ウエハボート２３は、例えば石英製の
４本の支柱をウエハの輪郭に沿って底板に植設し、これ
ら各支柱の対応する高さ位置にウエハ周縁を保持する保
持溝を形成して構成される。また前記ウエハ移載機２４
は、図１に示すように昇降、回転自在な基台２４ａと例
えば５枚のウエハを一括して搬送できるように進退自在
な５枚のピンセット２４ｂとを備えると共に、そのうち
の１枚のピンセットが他の４枚とは独立して進退できる
ように構成され、１枚のウエハを搬送できるようにもな
っている。なお図１中２５は、ウエハボート２３とキャ
リアＣとの間でウエハの移載が行われている間、熱処理
炉２１の下端開口部を塞ぐための蓋体である。またウエ
ハボート２３の下降位置とウエハ移載機２４を介して対
向するようにウエハ受け渡し部３１が配設されており、
このウエハ受け渡し部３１は、例えばウエハＷを収納す
るキャリアＣを３段置くことができるように構成されて
いる。

【００２１】前記ウエハ受け渡し部３１の上方領域に
は、キャリア収納棚（キャリアストッカ）３２が設けら
れており、このキャリア収納棚３２は例えばキャリアＣ
を４列、４段、最大数１６個収納できるように構成され
ている。キャリア収納棚３２に収納されるキャリアＣと
しては、被処理ウエハを収納したキャリア、ダミーウエ
ハを収納したキャリア、補充用ウエハを収納したキャリ
ア及びモニタウエハを収納したキャリアなどが含まれ
る。

【００２２】前記ウエハ受け渡し部３１及びキャリア収
納棚３２に臨む位置にはキャリア移載機４の移動領域が
確保されており、この移動領域を挟んで装置本体の手前
側にキャリアステージ３３が設けられている。このキャ
リアステージ３３は、ウエハを収納したキャリアＣが外
部との間で搬出入される入出力ポートの役割を果たす個
所であり、キャリアＣのウエハ取り出し口が上に向いた
状態つまりウエハが垂直な状態でキャリアＣが例えば４
個横に（ｘ方向に）並べて載置される。

【００２３】なおこのキャリアステージ３３は図１では
概念的に１枚のステージで描いてあるが、実際には４つ
のキャリアＣに対して夫々設けられ、このキャリアステ
ージ３３には、載置されたキャリアＣを図２に示すよう
に水平な軸のまわりに奥側に回動して横倒しにする機構
が組み合わせられており、キャリアＣは横倒しの状態で
前記キャリア移載機４により移載されることになる。前
記キャリア移載機４は、Ｘ方向に移動自在な支柱４１に
沿って昇降する昇降台４２に、キャリアＣを保持して移
載するためのＺ軸まわりに回動自在なアーム４３を取り
付けて構成される。図２中Ｆはエアフィルタ部である。

【００２４】そして装置本体の正面パネルには、この装
置を運転するための操作用のタッチパネル５が、設けら
れており、このタッチパネル５は、操作部及び表示部を
兼用している。そして本実施例の熱処理装置は、図３に
示すように被処理ウエハをウエハボート２３にどのよう
に移載するかを設定するウエハ移載モード設定部６を備
えている。

【００２５】このウエハ移載モード設定部６の操作画面
の一例を図４に示すと、この画面は、第１のロット領域
固定モード、第２のロット領域固定モード及びロット領
域変動モードを夫々設定するためのスイッチ部Ｓ１、Ｓ
２及びＳ３を有している。各スイッチ部Ｓ１〜Ｓ３の下
方側には、夫々の移載モードを概略的に示す図Ｆ１、Ｆ
２およびＦ３が表示されている。第１及び第２のいずれ
のロット領域固定モードもウエハボート２３のウエハ保
持領域にロット毎にロット領域を割り当て、これらロッ
ト領域に夫々のロットの被処理ウエハを移載するモード
である。

【００２６】例えば１５０段の保持溝を有するウエハボ
ート２３を用い、上下２５段づつダミーウエハを配置し
てその間（１００段）に被処理ウエハを保持させる場
合、２５段を一区分とする４区分の夫々がロット領域Ｐ
１〜Ｐ４に相当し、１ロットに対応する１キャリア内の
ウエハが２５枚である場合、または２４枚以下である場
合のいずれでも１キャリア分のウエハは２５段を一区分
とする１ロット領域内に保持される。つまり第１及び第
２のロット領域固定モードは、ウエハボート２３上にお
けるロット領域Ｐ１〜Ｐ４の位置が固定されるモードで
ある。そして両モードの差について述べると、第１のロ
ット領域固定モードは、キャリア内のウエハの配列パタ
ーンに対応して各ロット領域Ｐ１〜Ｐ４内にウエハが移
載されるモードである。即ちこのモードは、キャリア内
にウエハが２５枚揃っていなくて空き溝があっても、ウ
エハ移載機２４の５枚のピンセット２４ｂをキャリア内
に進入させて受け取り動作を行い、ウエハボート２３に
受け渡し動作を行うモードであり、ウエハボート２３の
ロット領域Ｐ１〜Ｐ４では、キャリア内の空き溝に対応
する位置が空き段となる。

【００２７】また第２のロット領域固定モードは、キャ
リア内のウエハの配列に空きがあるか否かにかかわら
ず、ロット領域Ｐ１〜Ｐ４の各々に各ロット（キャリ
ア）内のウエハを例えば上から順に詰めて移載するモー
ドである。このモードではウエハ移載機２４はキャリア
内に５枚のウエハが詰めて（いわゆる歯抜けなしに）配
列されているときには５枚のピンセット２４ｂによる一
括搬送を行うが、５枚の間に空き溝がある場合には１枚
のピンセット２４ｂによる１枚搬送を行う。なお操作画
面中の前記図Ｆ１において水平な実線はウエハを表わ
し、前記図Ｆ２において斜線部はウエハ群を表わし、Ｄ
はダミーウエハ領域を表わしている。

【００２８】一方ロット領域変動モードは、１ロットに
対応する１キャリア内のウエハの枚数に応じてあるいは
１バッチ処理時のロット数（キャリア数）に応じてロッ
ト領域Ｐ１〜Ｐ４の位置が変動する、つまり指定された
基準位置に基づいて全ウエハが詰めて配列されるモード
である。そしてロット領域変動モードＳ３のスイッチ部
Ｓ３の直ぐ下側には、基準位置例えばウエハ群の中心位
置となるべき溝番号表示部６１が設けられており、その
近傍には中心位置の溝番号を指定するためのテンキー６
２が設けられている。

【００２９】次いで図３に戻って本実施例の熱処理装置
の制御系の構成について説明していくと、この熱処理装
置は、演算部６３、パラメータ設定部７、記憶部８及び
駆動制御部７０を備えている。前記演算部６３は、１バ
ッチ処理に係るキャリア数、各キャリア内のウエハ枚
数、ウエハボート２３の総溝数及びダミーウエハ領域
（ダミーウエハの配置枚数）を取り込み、ロット領域変
動モード選択時における中心位置の溝番号の指定が妥当
であるか否か、即ち被処理ウエハがダミーウエハ領域を
除いた被処理ウエハの保持領域に重なるか否かを判断
し、妥当でないミス指定の場合には、被処理ウエハが前
記保持領域内に収まるように中心位置の溝番号を演算に
より求めて自動的に指定する機能を有する。

【００３０】前記パラメータ設定部７は操作パネル５の
操作画面により構成され、ウエハボート２３の総溝数、
ダミーウエハ領域及び補充用ウエハの有無（使用するか
しないか）の入力をはじめ、その他モニタウエハの有無
など種々のパラメータの設定を行うための部分である。
前記記憶部８内には、前記移載モード設定部６で設定さ
れた各モードに夫々対応するプログラム８１、８２、８
３が格納されている。前記駆動制御部７０は、記憶部８
内の選択されたプログラムに基づいてウエハ移載機２４
を駆動制御する機能を有するものであり、ＣＰＵやモー
タ制御回路などから構成される。この実施例では、記憶
部８と駆動制御部７０とは、選択された移載モ−ドに基
づいてウエハ移載機２４を制御する制御部の一部をなす
ものである。 次に上述実施例の作用について述べる。
先ず図４に示すウエハ移載モード設定画面においてスイ
ッチ部Ｓ１を押して第１のロット領域固定モードを選択
した場合について説明する。ウエハを収納したキャリア
Ｃは図１及び図２に示すようにキャリアステージ３３に
搬入されると、キャリア移載機４により一旦キャリア収
納棚３２に収納された後あるいは直接に受け渡し台３１
に搬送される。次いで受け渡し台３１に載置されたキャ
リアＣからウエハ移載機２４によりウエハを取り出して
ウエハボート２３に移載する。

【００３１】このモードでは第１のロット領域固定モー
ドプログラム８１に基づいてウエハの移載が行われる。
即ち４個のキャリアＣ内のウエハ群が夫々ウエハボート
２３のロット領域Ｐ１〜Ｐ４内に移載され、この場合図
５に示すようにウエハ移載機２４の５本のアーム２４ｂ
を同時に動作させてウエハＷの移載を行うため、既に詳
述したようにキャリアＣ内にウエハ欠けがあった場合に
はウエハボート２３においてそのまま対応する段が空き
になる。

【００３２】ここでパラメータ設定部７（図３参照）に
より補充用ウエハを使用する設定がされていれば、ウエ
ハボート２３上の空き段には補充用ウエハが補充される
が、補充用ウエハを使用しない場合には空き段のままで
ある。補充用ウエハは、空き段が生じることによりガス
の流れが変わることを防止するために用いられ、例えば
ガスの流れの影響を受けにくいアニール処理などでは用
いられない。ただしＣＶＤ処理などにおいて補充用ウエ
ハを用いないモードを設定してもよい。こうしてウエハ
ボート２３にウエハが搭載された後ウエハボート２３は
熱処理炉２１内に搬入され、ウエハに対して熱処理例え
ばアニール処理が行われる。その後ウエハボート２３が
熱処理炉２１から搬出され、ウエハボート２３上のウエ
ハＷは元のキャリアＣに戻される。

【００３３】またパラメータ設定部７にてモニタウエハ
を使用する設定を行ってもよく、この場合例えばロット
領域Ｐ１の一段上、ロット領域Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４間の４
ケ所に各ロットのウエハの処理状態を監視するモニタウ
エハが例えば専用のキャリア内から移載される。従って
モニタウエハを用いる場合と用いない場合とではロット
領域Ｐ１〜Ｐ４の位置は多少ずれるが、ロット領域固定
モードとは、モニタを使用するモードあるいは使用しな
いモードの各々の場合に、被処理ウエハの枚数にかかわ
らずロット領域が固定されているということである。

【００３４】更に第２のロット領域固定モードを選択し
た場合には、既述したようにキャリア内に５枚連続して
ウエハが配列されているときにはウエハ移載機２４の５
枚のピンセット２４ｂが一括して５枚のウエハをウエハ
ボート２３に移載するが、キャリア内の連続した５段の
溝のうち一つでも空きがあるときには図６に示すように
一番下のピンセット２４ｂのみを用いて１枚づつウエハ
をウエハボート２３に移載する。そして４つのキャリア
Ｃ内のウエハ群は、夫々ロット領域Ｐ１〜Ｐ４に移載さ
れるが、各ウエハはロット領域の上側に寄せられ、例え
ばロット領域の最上段から順に詰めて移載され、従って
そのウエハ群の下側には、各キャリアＣ毎の空き溝の合
計に対応する分だけ空き段が生じることになる。なお第
１及び第２のロット領域固定モードのいずれでもキャリ
ア数が３以下の場合には、例えばＰ１、Ｐ２、Ｐ３など
の指定をしてその指定領域が使用される。

【００３５】次に図４の移載モード設定画面によりスイ
ッチ部Ｓ３を押してロット領域変動モードを選択し、か
つ中心位置の溝番号として「７５」を指定した場合につ
いて述べる。この場合には第２のロット領域固定モード
と同様にキャリアＣ内の空き溝の有無に応じてウエハ移
載機２４のピンセット２４ｂの使い分けがなされる。そ
して図７に示すように各キャリアＣ内のウエハが下から
７５番目の溝を中心に上下に空き段なくして詰めて配列
される。ただし全ウエハの枚数が偶数のときには（ｎ／
２＋１）または（ｎ／２−１）が中心位置の溝番号に位
置するように配列される。

【００３６】図７の例では４個のキャリアＣ内に例えば
夫々１０枚、１５枚、１５枚、１５枚のウエハが収納さ
れ、これら５５枚のウエハが７５段目を中心として上下
に配列された状態、即ち４８段目から１０２段目の間に
ロット順に配列された状態を示している。被処理ウエハ
の保持領域とダミーウエハ領域Ｄとの間には空き段が生
じるが、この部分は処理に応じて空き段のままとされる
か補充用ウエハにより埋められる。ここで図３に示す演
算部６３では中心位置の溝番号の指定が妥当か否かを判
断し、妥当でなければ（ミス指定であれば）全ウエハが
被処理ウエハの保持領域内に収まるように修正する。例
えば被処理ウエハの保持領域が２６段目から１２５段目
であって５５枚のウエハに対して中心位置が１００段
（溝番号が１００）に指定されると上側のダミーウエハ
領域Ｄ内に食い込んでしまうので、一番上の被処理ウエ
ハが１２５段目に位置するように中心位置が９８段に自
動修正される。

【００３７】上述実施例によれば、ロット領域変動モー
ドを設定した場合、指定した保持具２３の溝番号を中心
位置として上下にウエハが詰めた状態で配列されている
のでキャリア内のウエハ欠けやロット欠けの場合に、温
度分布などの装置の特性のより良好な領域にウエハ群を
位置させることができると共に、被処理ウエハと補充用
ウエハとを区分けして保持させているので補充用ウエハ
による被処理ウエハに対する汚染（コンタミネーショ
ン）を低減できる。この場合基準位置はウエハ群の上端
あるいは下端位置を指定するようにしてもよいが、中心
位置を指定するようにすれば、被処理ウエハの枚数にか
かわらず温度分布などの良好な領域の中心部に相当する
溝位置を指定すれば被処理ウエハ群が効率よくその領域
内に位置するので、基準位置の指定が容易である。そし
て被処理ウエハが所定の領域からはみ出すようなミス指
定を行った場合には自動的に基準位置が修正されるので
便利である。

【００３８】更に第１または第２のロット領域固定モー
ドを設定した場合、ウエハボート２３上におけるロット
領域がウエハの枚数にかかわらず固定されているので、
熱処理後のウエハについて解析する場合、キャリアとウ
エハボート２３上の保持領域とが対応し、いずれのキャ
リアであるかがわかればウエハボート２３上の保持領域
が特定されるため解析が容易である。また第１のロット
領域固定モードでは、キャリア内のウエハの歯抜けの有
無にかかわらず５枚のピンセット２４ａを一括動作させ
て複数枚のウエハを同時に移載できるので移載を容易に
迅速に行うことができる。そしてまた第２のロット領域
固定モードではロット領域毎に、被処理ウエハと補充用
ウエハとを区分けできるので、コンタミネーションが抑
えられる。

【００３９】このようにウエハの移載モードとして３つ
のモードが用意されているので、移載モードの自由度が
大きく、そのときの装置の状態（装置が安定している状
態か否かなど）や熱処理の種別、ウエハの種別などに応
じて適切なモードを選択することができ、適切な処理を
行うことができる。

【００４０】以上において本発明では被処理ウエハの保
持領域における最大収容ロット数は４ロットに限られる
ものではないし、また熱処理としては、ＣＶＤ、酸化処
理、拡散処理など種々の処理を挙げることができる。な
お本発明は上述実施例で述べた縦型熱処理装置に限らず
横型熱処理装置にも適用できる。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、被処理基板の移載モー
ドとしてロット領域変動モードを選択できるようにして
いるため、このモードを用いることにより１バッチ当り
のロット数や被処理基板の枚数が所定数に満たないとき
に、特性のより良好な領域で被処理基板を熱処理するこ
とができる。またロット領域変動モードとロット領域固
定モード例えば第１及び第２のロット領域固定モードの
中から移載モードを選択するようにしているため、装置
の状態や熱処理の種別などに応じて適切な移載モードで
熱処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る熱処理装置全体を示す斜
視図である。

【図２】本発明の実施例に係る熱処理装置全体を示す縦
断側面図である。

【図３】本発明の実施例に係る熱処理装置の主要部を示
すブロック図である。

【図４】被処理ウエハの移載モードの設定画面を示す説
明図である。

【図５】第１のロット領域固定モード選択時のウエハの
移載の様子を示す説明図である。

【図６】第２のロット領域固定モード選択時のウエハの
移載の様子を示す説明図である。

【図７】ロット領域変動モード選択時のウエハの移載の
様子を示す説明図である。

【図８】従来の熱処理装置の概略を示す説明図である。

【図９】従来の熱処理装置に用いられるウエハボ−トに
おけるウエハの保持領域を示す説明図である。

【符号の説明】

２１ 熱処理炉 ２３ ウエハボート ２４ ウエハ移載機 ２４ａ ピンセット ３１ 受け渡し台 ５ タッチパネル ６ 移載モード設定部 ６３ 演算部 ７ パラメータ設定部 ７０ 駆動制御部 ８ 記憶部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｅ 21/324 21/324 Ｄ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理基板を基板キャリア内から
   ロット単位で保持具に並列に保持させ、加熱炉の反応管
   内に搬入して熱処理を行う熱処理装置において、 前記保持具の基板保持領域の中の何段目の保持位置を基
   準位置とするかを指定する基準位置指定部と、この基準
   位置指定部により指定された保持位置を基準として、１
   回のバッチ処理に係る全ロットの被処理基板を詰めた状
   態で保持具に移載するように基板移載機を制御する制御
   部と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。
2. 【請求項２】 複数の被処理基板をロット単位で保持具
   に並列に保持させ、加熱炉の反応管内に搬入して熱処理
   を行う熱処理装置において、 前記保持具の基板保持領域にロット毎にロット領域を割
   り当て、前記ロット領域の夫々に各ロットの被処理基板
   を移載するロット領域固定モードと、前記保持具の基板
   保持領域の中の何段目の保持位置を基準位置とするかを
   指定し、この保持位置を基準として、１回のバッチ処理
   に係る全ロットの被処理基板を詰めた状態で保持具に移
   載するロット領域変動モードと、のうちの一方のモード
   を選択する移載モード選択部と、 この移載モ−ド選択部により選択されたモ−ドに基づい
   て被処理基板を前記保持具に移載するように基板移載機
   を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする熱処理
   装置。
3. 【請求項３】 複数の被処理基板を基板キャリア内から
   ロット単位で保持具に並列に保持させ、加熱炉の反応管
   内に搬入して熱処理を行う熱処理装置において、 前記保持具の基板保持領域にロット毎にロット領域を割
   り当て、前記ロット領域の夫々に各ロットの被処理基板
   を基板キャリア内の配列パタ−ンに対応して移載する第
   １のロット領域固定モードと、前記保持具の基板保持領
   域にロット毎にロット領域を割り当て、基板キャリア内
   のウエハの配列に空きがあるか否かにかかわらず、前記
   ロット領域の夫々に各ロットの被処理基板を詰めて移載
   する第２のロット領域固定モードと、前記保持具の基板
   保持領域の中の何段目の保持位置を基準位置とするかを
   指定し、この保持位置を基準として、１回のバッチ処理
   に係る全ロットの被処理基板を詰めた状態で保持具に移
   載するロット領域変動モードと、のうちの一のモードを
   選択する移載モード設定部と、 この移載モ−ド設定部により選択されたモ−ドに基づい
   て前記基板キャリア内から被処理基板を前記保持具に移
   載するように基板移載機を制御する制御部と、を備えた
   ことを特徴とする熱処理装置。
4. 【請求項４】 基板キャリアと保持具との間で被処理基
   板の受け渡しを行なうために、複数枚の被処理基板を同
   時に搬送するモ−ドと一枚ずつ被処理基板を搬送するモ
   −ドとの両方を備えた基板移載機を有することを特徴と
   する請求項３記載の熱処理装置。
5. 【請求項５】 ロット領域変動モードは、保持具の基板
   保持領域の中の何段目の保持位置を基準位置とするかを
   指定し、１回のバッチ処理に係る全ロットの被処理基板
   を前記基準位置を中心として詰めた状態で保持具に移載
   するモードであることを特徴とする請求項１、２、３ま
   たは４記載の熱処理装置。
6. 【請求項６】 基準位置の指定が、被処理基板が被処理
   基板保持領域からはみ出すミス指定であるか否かを、各
   ロットの被処理基板の枚数と被処理基板保持領域と基準
   位置の段数とに基づき演算して判断し、ミス設定である
   ときには被処理基板が被処理基板保持領域内に収まるよ
   うに基準位置を自動的に修正する演算部を備えたことを
   特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の熱処理
   装置。