JPH0687511A - ウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間かつ単純な作業でモニタウェーハの移
載位置を均等に振り分けることのできるウェーハ移載動
作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振
り分け方式を提供する。 【構成】 作業者は操作パネル６から各種パラメータの
設定を行い、メカコントローラ４でモニタウェーハが１
枚、２枚、３枚以上の場合にそれぞれモニタウェーハが
均等に移載されるように移載位置を計算し、更に全ウェ
ーハの移載データを作成し、前記移載データに従って移
載動作を行うウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけ
るモニタウェーハ移載位置振り分け方式である。 【効果】 複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載
データ作成を自動化し、人為的ミスを無くし、移載準備
時間を短縮し、装置の信頼性及び効率を向上させる効果
がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造に使用され
る縦型拡散／ＣＶＤ装置に搭載されるウェーハ移載動作
制御装置に係り、特に自動的にモニタウェーハ移載位置
を算出してウェーハ移載データを作成し、移載作業を行
うことができるウェーハ移載動作制御装置及びそれにお
けるモニタウェーハ移載位置振り分け方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】まず、従来のウェーハ移載動作制御装置
について図３を使って説明する。図３は、従来のウェー
ハ移載動作制御装置の構成図である。従来のウェーハ移
載動作制御装置は、図３に示すように、ウェーハを格納
するカセット１と、ウェーハが移載されるボート２と、
カセット１からボート２にウェーハを移載するウェーハ
移載機３と、ウェーハ移載機３を制御するメカコントロ
ーラ４と、装置全体を制御するメインコントローラ５
と、操作パネル６とから構成されている。

【０００３】次に、各部の構成について具体的に説明す
ると、カセット１は製品となるプロセスウェーハやテス
ト用のモニタウェーハやプロセスウェーハの上下にダミ
ーとして移載するサイドダミーウェーハ等を収納するも
ので、作業者が、操作パネル６から全ウェーハの移載デ
ータを入力すると、移載データに従ってメインコントロ
ーラ５の制御の下で、メカコントローラ４がウェーハ移
載機３を制御して各種ウェーハをカセット１からボート
２に移載するようになっている。

【０００４】次に、従来のウェーハ移載動作制御装置に
おけるモニタウェーハ移載位置算出方式について説明す
る。従来のウェーハ移載動作制御装置では、ボートの総
溝数，移載する上下サイドダミーウェーハの枚数，移載
する「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数，及び
移載するモニタウェーハの枚数からボート内にモニタウ
ェーハが均等に振り分けられるように、作業者がモニタ
ウェーハの移載位置を算出し、算出した移載位置に従っ
て使用する装置に合ったデータ形式で全ウェーハの移載
データを作成し、操作パネル６から移載データを入力す
るようになっていた。そして、入力された移載データに
従ってメインコントローラ５の制御の下で、メカコント
ローラ４がウェーハ移載機３を制御して各種ウェーハを
カセット１からボート２に移載するようになっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタ
ウェーハ移載位置振り分け方式では、モニタウェーハ移
載位置の算出、移載データの作成、移載データの入力を
すべて作業者の手で行うため、作業が複雑で、各作業過
程で計算ミスや操作ミスといった人為的なミスが発生す
る可能性が高く、更に移載準備に時間が掛かるという問
題点があった。

【０００６】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、短時間でかつ単純な作業でモニタウェーハの移載位
置を均等に振り分けることのできるウェーハ移載動作制
御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分
け方式を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、カセットからボー
トへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載デ
ータに従って制御するウェーハ移載動作制御装置におい
て、前記ボートの総溝数、前記ボートに移載される上側
サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダミーウェー
ハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェーハの枚数、モ
ニタウェーハの枚数の５つのパラメータを用い、前記モ
ニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フィルダミー
ウェーハの真ん中に前記１枚のモニタウェーハが移載さ
れるようモニタウェーハの移載位置を算出し、前記モニ
タウェーハが２枚の場合は全プロセス＋フィルダミーウ
ェーハの上下に前記２枚のモニタウェーハが移載される
ようモニタウェーハの移載位置を算出し、前記モニタウ
ェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィルダミーウ
ェーハの上下及び前記全プロセス＋フィルダミーウェー
ハを残りのモニタウェーハで均等に分割した位置に前記
３枚以上のモニタウェーハが移載されるようモニタウェ
ーハの移載位置を算出して前記移載データを作成する処
理手段を設けたことを特徴としている。

【０００８】上記従来例の問題点を解決するための請求
項２記載の発明は、ウェーハ移載動作制御装置における
モニタウェーハ移載位置振り分け方式において、ボート
の総溝数、前記ボートに移載される上側サイドダミーウ
ェーハの枚数、下側サイドダミーウェーハの枚数、プロ
セス＋フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの
枚数の５つのパラメータから、前記モニタウェーハが１
枚の場合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中
に前記１枚のモニタウェーハが移載されるよう移載位置
を算出し、前記モニタウェーハが２枚の場合は全プロセ
ス＋フィルダミーウェーハの上下に前記２枚のモニタウ
ェーハが移載されるよう移載位置を算出し、前記モニタ
ウェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィルダミー
ウェーハの上下及び前記全プロセス＋フィルダミーウェ
ーハを残りのモニタウェーハで均等に分割した位置に前
記３枚以上のモニタウェーハが移載されるよう移載位置
を算出し、前記算出されたモニタウェーハの移載位置に
従って移載データを作成し、前記移載データによりウェ
ーハの移載を行うことを特徴としている。

【０００９】

【作用】請求項１記載の発明によれば、ボートの総溝
数、上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダミ
ーウェーハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェーハの
枚数、モニタウェーハの枚数の５つのパラメータを用い
て、モニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フィル
ダミーウェーハの真ん中に、モニタウェーハが２枚の場
合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下に、モニ
タウェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィルダミ
ーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウェー
ハを残りのモニタウェーハで均等に分割した位置に、モ
ニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの移載位
置を算出して移載データを作成する処理手段を設けたウ
ェーハ移載動作制御装置としているので、複雑なモニタ
ウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化さ
れ、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミス
がなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼
性及び効率を向上させることができる。

【００１０】請求項２記載の発明によれば、ボートの総
溝数、上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダ
ミーウェーハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェーハ
の枚数、モニタウェーハの枚数の５つのパラメータか
ら、モニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フィル
ダミーウェーハの真ん中を、モニタウェーハが２枚の場
合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下を、モニ
タウェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィルダミ
ーウェーハの上下と残りのモニタウェーハで全プロセス
＋フィルダミーウェーハを均等に分割した位置を、モニ
タウェーハの移載位置として算出し、算出されたモニタ
ウェーハの移載位置に従って移載データを作成し、該移
載データによりモニタウェーハ移載位置を均等に振り分
けるウェーハ移載動作制御装置におけるモニタウェーハ
移載位置振り分け方式としているので、複雑なモニタウ
ェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、
計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがな
くなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及
び効率を向上させることができる。

【００１１】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。本発明の一実施例のウェーハ移載動作制御
装置の構成は、従来のウェーハ移載動作制御装置とほぼ
同様で、図３に示すように、ウェーハを格納するカセッ
ト１と、ウェーハを積み上げるボート２と、カセット１
からボート２にウェーハを移載するウェーハ移載機３
と、ウェーハ移載機３を制御するメカコントローラ４
と、装置全体を制御するメインコントローラ５と、操作
パネル６とから構成され、本実施例の特徴部分として
は、メカコントローラ４の内部にモニタウェーハ移載位
置を算出し、全ウェーハの移載データを作成する処理手
段が設けられている。

【００１２】尚、本実施例のウェーハ移載動作制御装置
ではメカコントローラ４内部に処理手段を設けるように
しているが、モニタウェーハ移載位置を算出し、全ウェ
ーハの移載データを作成する処理手段をメインコントロ
ーラ５内部に設けても構わない。

【００１３】次に、各部の動作について具体的に説明す
ると、作業者が操作パネル６からモニタウェーハの枚数
を入力すると、入力された枚数データはメインコントロ
ーラ５を経由してメカコントローラ４に送られる。メカ
コントローラ４の処理手段では、モニタウェーハの移載
位置を算出する演算処理を行い、その結果を基にして全
ウェーハの移載データを作成し、作成した移載データを
ウェーハ移載機３に送る。ウェーハ移載機３は、移載デ
ータに従ってサイドダミーウェーハとプロセスウェーハ
とフィルダミーウェーハとモニタウェーハを順次カセッ
ト１からボート２に移載するようになっている。

【００１４】次に、本実施例のウェーハ移載動作制御装
置におけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式につい
て説明する。まず、モニタウェーハを「プロセス＋フィ
ルダミーウェーハ」の間に均等に配置する方法につい
て、図１を使って説明する。図１は、本実施例における
モニタウェーハの枚数別に移載位置を示すボートの状態
図である。

【００１５】本実施例のモニタウェーハ移載位置振り分
け方式では、モニタウェーハを「プロセス＋フィルダミ
ーウェーハ」の間に均等に配置して移載するために、移
載するモニタウェーハが１枚の場合と、２枚の場合と、
３枚以上の場合とに分けて考えることにする。

【００１６】移載するモニタウェーハが１枚の場合は、
図１（ａ）に示すように、「プロセス＋フィルダミーウ
ェーハ」の真ん中にモニタウェーハを挿入するように移
載し、ボートの状態は、ボート上部から上側サイドダミ
ーウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，モニタ
ウェーハ，プロセス＋フィルダミーウェーハ，下側サイ
ドダミーウェーハの順で移載されるものである。

【００１７】移載するモニタウェーハが２枚の場合は、
図１（ｂ）に示すように、「プロセス＋フィルダミーウ
ェーハ」の両側にモニタウェーハを挿入するように移載
し、ボートの状態は、ボート上部から上側サイドダミー
ウェーハ，モニタウェーハ，プロセス＋フィルダミーウ
ェーハ，モニタウェーハ，下側サイドダミーウェーハの
順で移載されるものである。

【００１８】移載するモニタウェーハが３枚以上の場合
は、図１（ｃ）に示すように、「プロセス＋フィルダミ
ーウェーハ」の両側と、残りのモニタウェーハを「プロ
セス＋フィルダミーウェーハ」を均等に分けた間に挿入
するように移載し、ボートの状態は、ボート上部から上
側サイドダミーウェーハ，モニタウェーハ，プロセス＋
フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，・・・，プロ
セス＋フィルダミーウェーハ，モニタウェーハ，下側サ
イドダミーウェーハの順で移載されるものである。

【００１９】次に、本実施例のモニタウェーハ移載位置
の算出方法について説明する。本実施例では、メカコン
トローラ４で自動的にモニタウェーハの移載位置を算出
するために、次の５つの値をパラメータとして、予め作
業者が操作パネル６から設定しておく。５つのパラメー
タとは、ボートの総溝数（Ｂ），上側サイドダミーウェ
ーハの枚数（Ｓ１），下側サイドダミーウェーハの枚数
（Ｓ２），「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数
（Ｐt ），モニタウェーハの枚数（Ｍ）である。

【００２０】移載するモニタウェーハが１枚の場合は、
図１（ａ）に示したように、「プロセス＋フィルダミー
ウェーハ」の真ん中にモニタウェーハを挿入するため、
モニタウェーハの上及び下に移載される「プロセス＋フ
ィルダミーウェーハ」の数Ｐ1 ，Ｐ2 の算出は、 Ｐt ÷２ の式によって求められる商をａとし、余りをｂとする
と、 Ｐ1 ＝ａ＋ｂ Ｐ2 ＝ａ で求められる。そこで、ボート上でのモニタウェーハ移
載位置（Ｍ1 ）は、 Ｍ1 ＝Ｂ−Ｓ１−Ｐ1 の式で求めることができる。

【００２１】移載するモニタウェーハが２枚の場合は、
図１（ｂ）に示したように、「プロセス＋フィルダミー
ウェーハ」の両側にモニタウェーハを挿入するため、ボ
ート上でのモニタウェーハ移載位置（Ｍ1 ，Ｍ2 ）は、 Ｍ1 ＝Ｂ−Ｓ１ Ｍ2 ＝Ｍ1 −１−Ｐt の式で求めることができる。

【００２２】移載するモニタウェーハが３枚以上の場合
は、図１（ｃ）に示したように、「プロセス＋フィルダ
ミーウェーハ」の両側と、残りのモニタウェーハを「プ
ロセス＋フィルダミーウェーハ」を均等に分けた間に挿
入するように移載するため、まず、モニタウェーハによ
って等分される「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の
枚数Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・，Ｐm （ｍ＝Ｍ−１）を求め
る。 Ｐt ÷（Ｍ−１） の式によって求められる商をａとし、余りをｂとする
と、ｎ（１≦ｎ≦ｍ）番目の「プロセス＋フィルダミー
ウェーハ」の振り分け枚数Ｐn は、余りｂが０でない場
合、 Ｐn ＝ａ＋ｃ ｃの値はｎ≦ｂならば１，ｎ＞ｂなら
ば０ 但し、余りｂが０の場合の振り分け枚数Ｐn は Ｐn ＝ａ の式で求められる。

【００２３】そこで、ボート上でのモニタウェーハ１枚
目，２枚目，…，ｍ＋１枚目の移載位置Ｍ1 ，Ｍ2 ，・
・・Ｍm+1 は、 の式で求めることができる。

【００２４】次に、本実施例のモニタウェーハ移載位置
の算出方法を実現するための動作について、図２を使っ
て説明する。図２は、本実施例のモニタウェーハ移載位
置の演算処理のフローチャート図である。尚、パラメー
タであるボートの総溝数（Ｂ），上側サイドダミーウェ
ーハの枚数（Ｓ１），下側サイドダミーウェーハの枚数
（Ｓ２），「プロセス＋フィルダミーウェーハ」の枚数
（Ｐt ），モニタウェーハの枚数（Ｍ）はすでに設定さ
れているものとする。

【００２５】まず、モニタウェーハの位置を記憶するた
めにモニタウェーハの枚数（Ｍ）分のテーブルＭＰ
（Ｍ）を確保し（１００）、モニタウェーハの枚数
（Ｍ）を調べ（１０１）、Ｍ＝１ならばモニタウェーハ
１枚の処理に移り、Ｍ＝２ならばモニタウェーハ２枚の
処理に移り、Ｍ≧３であればモニタウェーハ３枚以上の
処理に移る。

【００２６】モニタウェーハ１枚の処理では、Ｐt ÷２
の商ａと余りｂを求め（１１０）、第１番目の「プロセ
ス＋フィルダミーウェーハ」の枚数Ｐ1 ＝ａ＋ｂを求め
（１１１）、モニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−
Ｓ１−Ｐ1 を求め（１１２）、処理を終了する。

【００２７】モニタウェーハ２枚の処理では、１枚目の
モニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−Ｓ１を求め
（１２０）、２枚目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ
（２）＝ＭＰ（１）−Ｐt を求め（１２１）、処理を終
了する。

【００２８】モニタウェーハ３枚以上の処理では、まず
１枚目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（１）＝Ｂ−Ｓ１
を求め（１３０）、次にＰt ÷（Ｍ−１）の商ａと余り
ｂを求める（１３１）。そして、カウンタｎを１にして
（１３２）、カウンタｎが余りｂより大きいか否かを判
断し（１３３）、ｂより大きければ（ｎ＞ｂ）ｃに０を
入れ（１３４）、ｂより大きくなければ（ｎ≦ｂ）ｃに
１を入れる（１３５）。

【００２９】次に、「プロセス＋フィルダミーウェー
ハ」の枚数Ｐ＝ａ＋ｃを求め（１３６）、（ｎ＋１）番
目のモニタウェーハ移載位置ＭＰ（ｎ＋１）＝ＭＰ
（ｎ）−１−Ｐを求め（１３７）、カウンタｎに１加え
（１３８）、カウンタｎがＭより小さい（ｎ＜Ｍ）か判
断し（１３９）、小さければ処理１３３に戻り、さもな
ければ処理を終了する。

【００３０】上記のような方式により、作業者が関与す
る作業は、５つのパラメータを設定することのみであ
り、作業者の負担が軽減し、その結果、操作ミスの可能
性も少なくなり、装置の信頼性を向上させることができ
る効果がある。

【００３１】更に、モニタウェーハの移載位置の算出や
全ウェーハの移載データの作成を自動化したために、計
算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがなく
なり、かつ移載準備時間が短縮され、装置及び作業全体
の信頼性及び効率を向上させることができる効果があ
る。

【００３２】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ボートの
総溝数、上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイド
ダミーウェーハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェー
ハの枚数、モニタウェーハの枚数の５つのパラメータを
用いて、モニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フ
ィルダミーウェーハの真ん中に、モニタウェーハが２枚
の場合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下に、
モニタウェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィル
ダミーウェーハの上下及び全プロセス＋フィルダミーウ
ェーハを残りのモニタウェーハで均等に分割した位置
に、モニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの
移載位置を算出して移載データを作成する処理手段を設
けたウェーハ移載動作制御装置としているので、複雑な
モニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動
化され、計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的な
ミスがなくなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の
信頼性及び効率を向上させることができる効果がある。

【００３３】請求項２記載の発明によれば、ボートの総
溝数、上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダ
ミーウェーハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェーハ
の枚数、モニタウェーハの枚数の５つのパラメータか
ら、モニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フィル
ダミーウェーハの真ん中を、モニタウェーハが２枚の場
合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下を、モニ
タウェーハが３枚以上の場合は全プロセス＋フィルダミ
ーウェーハの上下と残りのモニタウェーハで全プロセス
＋フィルダミーウェーハを均等に分割した位置を、モニ
タウェーハの移載位置として算出し、算出されたモニタ
ウェーハの移載位置に従って移載データを作成し、該移
載データによりモニタウェーハ移載位置を均等に振り分
けるウェーハ移載動作制御装置におけるモニタウェーハ
移載位置振り分け方式としているので、複雑なモニタウ
ェーハの移載位置計算や移載データ作成が自動化され、
計算ミスやデータ作成及び入力の際の人為的なミスがな
くなり、かつ移載準備時間が短縮され、装置の信頼性及
び効率を向上させることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るウェーハ移載動作制御
装置におけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式での
モニタウェーハの枚数別に移載位置を示すボートの状態
図である。

【図２】本実施例のモニタウェーハ移載位置の演算処理
のフローチャート図である。

【図３】従来のウェーハ移載動作制御装置の構成図であ
る。

【符号の説明】

１…カセット、 ２…ボート、 ３…ウェーハ移載機、
４…メカコントローラ、 ５…メインコントローラ、
６…操作パネル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットからボートへウェーハを移載す
   るウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御する
   ウェーハ移載動作制御装置において、前記ボートの総溝
   数、前記ボートに移載される上側サイドダミーウェーハ
   の枚数、下側サイドダミーウェーハの枚数、プロセス＋
   フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数の
   ５つのパラメータを用い、前記モニタウェーハが１枚の
   場合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの真ん中に前
   記１枚のモニタウェーハが移載されるようモニタウェー
   ハの移載位置を算出し、前記モニタウェーハが２枚の場
   合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下に前記２
   枚のモニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの
   移載位置を算出し、前記モニタウェーハが３枚以上の場
   合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び前記
   全プロセス＋フィルダミーウェーハを残りのモニタウェ
   ーハで均等に分割した位置に前記３枚以上のモニタウェ
   ーハが移載されるようモニタウェーハの移載位置を算出
   して前記移載データを作成する処理手段を設けたことを
   特徴とするウェーハ移載動作制御装置。
2. 【請求項２】 ボートの総溝数、前記ボートに移載され
   る上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダミー
   ウェーハの枚数、プロセス＋フィルダミーウェーハの枚
   数、モニタウェーハの枚数の５つのパラメータから、前
   記モニタウェーハが１枚の場合は全プロセス＋フィルダ
   ミーウェーハの真ん中に前記１枚のモニタウェーハが移
   載されるよう移載位置を算出し、前記モニタウェーハが
   ２枚の場合は全プロセス＋フィルダミーウェーハの上下
   に前記２枚のモニタウェーハが移載されるよう移載位置
   を算出し、前記モニタウェーハが３枚以上の場合は全プ
   ロセス＋フィルダミーウェーハの上下及び前記全プロセ
   ス＋フィルダミーウェーハを残りのモニタウェーハで均
   等に分割した位置に前記３枚以上のモニタウェーハが移
   載されるよう移載位置を算出し、前記算出されたモニタ
   ウェーハの移載位置に従って移載データを作成し、前記
   移載データによりウェーハの移載を行うことを特徴とす
   るウェーハ移載動作制御装置におけるモニタウェーハ移
   載位置振り分け方式。